JPS5978438A - 荷電粒子分析装置の光学観察装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はエレクトロンプローブマイクロアナライザ（Ｅ
ＰＭＡ）　　やイオンマイクロアナライザ（ＩＭＡ）な
どの荷電粒子分析装置における光学観察装置に関する。

一般に、ＥＰＭＡなとの荷電粒子分析装置を用いて、鉱
物試料を分析するためには透過偏光観察を行ないながら
最適な分析位置を決める必要がある。このため、従来は
、第１図に示すような光学観察装置が荷電粒子分析装置
に付属して設けられている。

この光学観察装置（ａ）は、試料室（ｂ）を形成するハ
ウジング（ｃ）の底部にランプなどの光源（ｄ）を取付
けるとともに、試料（ｅ）を支承する試料ステージ（ｆ
）には上下に貫通する貫通穴（ｇ）を設け、また、上記
試料ステージ（ｒ）と光源（ｄ）との間に照明光集光用
の集光レンズ（ｌ］）を配置しており、鉱物などの試料
（ｅ）を透過偏光観察する時には、集光レンズ（１１）
で集光された光を試料ステージ（ｆ）の貫通穴（ｇ）を
通して試料（ｅ）に照明するようにしている。

しかしながら、従来の上記構造の光学観察装置において
は、試料（ｅ）をセットしたところ観察１ノだい位置が
端の方にあり、このため、試料ステージ（ｆ）を前後左
右に大きく移動した場合などには貫通穴（ｇ）の大きさ
が自づから制限があるために試料ステーラ（ｆ）自体が
照明光の障害となって、試料の観察範囲が限定されたり
、逆に試料ステージ（ｆ）の移動範囲が規制されたりす
るという不具合が生じる。

さらには、観察すべき試料（ｅ）と集光レンズ（１］）
との間に試料ステージ（ｆ）が介装されているため、試
料（ｅ）と集光レンズ（１１）との距離が長く、従って
、試料（ｅ）を観察する試料観察系の開口角の）と、集
束レンズ（１］）による照明角（α）とが一致せず、ま
た」二記両者の距離が長いために視野が暗くなるなどに
より試を 料観察に支障７きだすという問題がある。

本発明は上記の問題点に鑑み、試料の観察範囲が試料ス
テージによって制限をうけることがなく広範囲に観察す
ることができ、しかも試料の観察位置を試料ステージで
変えた場合でも試料を常に光学的に同一条件で観察でき
、さらに試料観察系の開口角に対して集光レンズの照明
角度を一致することができて視野も明るい荷電粒子分析
装置の光学観察装置を提供することを目的とする。

以下、本発明の構成を実施例について、第２図に基づい
て説明する。

第２図において、符号（１）はＥＰＭＡやＩＭＡなどの
荷電粒子分析装置、（２）はこの荷電粒子分析装置（１
）に設けられた光学観察装置である。（３）　（４）　
（５）はそれぞれ光学観察装置（２）の凹面鏡、凸面鏡
および反射ミラーであり、また（６）は接眼レンズ、（
７）は検光子、（８）は電磁対物レンズ、（９）は鉱物
など透過偏光観察すべき試料である。そして、上記凹面
鏡（３）、凸面鏡（４）、反射ミラー（５）、接眼レン
ズ（６）および検光子（７）により試料観察系００を構
成する。０］）は試料ステージで、この試料ステージ（
１υは図示省略した駆動手段によって上下ならびに前後
左右に移動可能であり、荷電粒子分析装置（１）の試料
室（１ａ）を形成するハウジングθつの側壁（１２ａ）
に取付けられて試料室（１ａ）内に位置している。側は
試料ステージ０１）の上部に取付けられた断面コの字状
の試料ホールダで、試料ホールダａＩＩ）の上部には透
孔（１４ａ）が形成されるとともにプレパラート０６）
が取付けられ、このプレパラートＯＱ上に前記試料（９
）が載置されている。０樟は後述の光源（ハ）からの照
明光を集光する集光レンズ、（イ）はこの集光レンズ０
８）の下方に位置する反射ミラーで、これらの集光レン
ズθ８）と反射ミラー（イ）は共に、試料ステージ（Ｉ
υと反対側の側壁（ｔ２ａ）の内面から試料室（１ａ）
内に突設された中空円筒状の支持部材（イ）の先端部に
収容されて支持されるとともに、前記試料ステージ０υ
と試料（９）との間に配置されている。（ハ）はランプ
などの光源（イ）、レンズ（ハ）および偏光子（１）が
収容されたカバーで、このカバー（財）は側壁（１２ａ
）の外面の上記支持部材（イ）との相対向位置に取付け
られている。なお、０埠は支持部材（イ）とカバー（ハ
）とに狭まれた側壁（１２ａ）に設けられた貫通穴、■
はこの貫通孔０２を閉塞して試料室（１ａ）内の気密性
を保つためのガラス板である。

従って、光源（ハ）から発せられた照明光は、レンズ（
ハ）で平行光となり、さらに偏光子（７）で偏光され、
以降はガラス板■、貫通孔６カおよび支持部材（イ）内
を順次通過し、反射ミラー（イ）で９０°に反射される
。

そして反射光は集光し・ンズθ８）で集光されて試料（
９）が照明される。これにより試料（９）は試料観察系
００）によって透過偏光観察される。

なお、上記実施例においては、集光レンズα８）を設け
た支持部材（イ）と光源（ハ）を設けたカバー（財）と
は共にハウジングａ埠の側壁（１２ａ）に固着された構
造としたが、透過偏光観察しない様な試料では支持部材
（イ）とカバー（ハ）は不必要となるため、両者をベロ
ーズ接手、０リングなどの接続手段を適用してハウジン
グ０２外方から着脱自在とし、透過偏光観察時のみ取付
けるような構造とすることもできる。

以上のように、本発明によれば、試料を照明する光源を
試料室を形成するハウジングの側壁に取り付ける一方、
試料ステージと試料との間に集光レンズを配置し、この
集光レンズを上記ハウジングの側壁から突設した支持部
材で支持するようにしたので、試料観察中に、試料の観
察位置を試料ステージにより変える場合も試料ステージ
によって照明光が遮えぎられることがない。従って、試
料観察範囲が従来に比べて大幅に拡大されるとともに、
試料の観察位置の変化に関係なく常に光学的には同一条
件でもって試料を観察することができる。このため、試
料の端の方を観察するときには暗くなるということがな
い。また、試料に対して集光レンズは近接した位置に配
置されることになるので、試料観察系の開口角（１９）
に集光レンズの照明角度（α）を一致することが可能と
なるとともに、明るい視野が得られ試料観察が極めて良
好な条件のもとで行なえる。さらには、集光レンズの大
きさが従来のものより小さくできるという実用１優れた
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の荷電粒子分析装置の光学観察装置を示す
縦断面図、第２図は本発明に係る荷電粒子分析装置の光
学観察装置の実施例を示す縦断面図である。 （１）荷電粒子分析装置、（１ａ）・・試料室、（２）
・・・光学観察装置、（９）　　試料、０］）・・・試
料ステージ、αの・・・ハウジング、（１２ａ）・側壁
、０４）・・・試料ホールダ、０句・集光レンズ、（イ
）・・・支持部材、（ハ）・・光源特許出願人　　株式
会社　高滓製作所 代　理　人　　弁理士　岡田和秀 第−図 進

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　エレクトロンプローブマイクロアナライザや
   イオンマイクロアナライザなどの荷電粒子分析装置にお
   いて、試料を照明するランプなどの光源が試料室を形成
   するハウジングの側壁に取付けられる一方、前記試料室
   内に配置された試料ステージの上部には前記試料を保持
   する試料ホールダが取付けられ、この試料ホールダによ
   り保持された試料と前記試料ステージとの間には前記光
   源からの照明光を集光する集光レンズが配置され、この
   集光レンズは前記ハウジングの側壁から突設された支持
   部材で支持されていることを特徴とする荷電粒子分析装
   置の光学観察装置。