JPS5950181A - 部分エッチング法とそれに使用される機械的マスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は例えば半導体用リードル−ｌ＼の製ｊ６の場合
などにＪ５いＣ１アルミ燕右あるい（４１アルミクラツ
１へ複合金属条から不要アルミを部分的に除去りる場合
に適用づることができる（成域的マスクによる部分エツ
チング法及び装置に関りるしのＣある。

従来、ｉ〜ランジスタや集積回路（Ｉ　Ｃ＞あるい（５
（、電気的端子の製造には、ベース金属条の一部に異種
金１萬をクシラドあるいは蒸れ等にｊ；り被覆した複合
金属条が用いられる。異種金属としＵ　ＬＪ、」に金、
銀、銅、アルミ等の金属か用いられるか、これらはむ１
金属高１１百の折から金、銀から銅、アルミ等ｌ＼ど安
いものに変４つる１り１向にあり、ぞの被ｉ立部位り１
幾能部あるいは必要部に限る（ｑ゛！向にある。

このことｌ）ｒ　＋ら、この種複合金属条どじ（ベース
金属条に異種金属をス１〜ライブあるいはスボツ１〜状
に被覆したものが多く用いられ、しかしこの場合被覆さ
れたゲシ種金１ｉ＋５の別法′！１１度についＵ　Ｉ’
、ｉさを含めてきりめ−Ｃシビアな値が要求される状況
にある。

しかるに、ベース金属条に異種金属を高精度にスボッｌ
−状に被覆ηることは、メッキの場合はとしかく、クラ
ットあるいＩＪ魚着等の場合は困到であり、したがって
クラッドあるいは蒸着等の場合はベース金属条に異（・
ト金属を全面被覆した後、印刷−エツチング法により、
異種金属の不要部を部分的に除去づることか一般に行な
われる１、このにうなＰＡ合合印−エツチング法では、
複合金属条の必要部にエツヂングレジス１〜インキを塗
イＩｉ　した（殺、全体をエツチング液中に浸イ貞りる
方法がどられるが、このＴツヂンクー印刷法は、少なく
ともインク塗イｌｉ、乾燥、１ツヂング及びインク剥因
１の４　Ｉ稈を要し、工程が複雑Ｃあると共に夫々の１
丁稈に°おいて厳しい品質管理を行なう必要がある。

又、インク及０剥離剤を削粍づることがら経済−［及び
環境上の問題もめる。ざらに、第６図にみられるＪ、う
に複合金属条１−の必要部２″にインク３−を塗布して
も、リイ１へ１ツヂング！Ｊ４＝　’Ｉ”Ｊ　Ｉ’）　
Ａ面方向力日らのエッチ・ング液の浸良により必役部２
′の金属パターンがインクパ′ターンＪ、り細くイＣる
と共に境界の断面形状か自店になｊうイｊいため、必要
部の金１１ｎパターンの境界形状が不解明になる欠点が
ある。

本弁明の目的は、前記した従メ（技−１（；１の欠点を
Ｗｒ消し、リーイドエツ・ヂングを防止しうる１幾械的
マスク土ツヂング法を採用−りることにより高ｔ＋’ｊ
瓜かつイ９頼性の高い部分エツチングを可能にした（成
域的マスクに」、る部分エツチング及びＫ　ｆ＞７を提
供りることにある。

づなわら、本発明の要旨は、エツチング液を用い−Ｃ単
一もしくは複合の金属材わ１を部分的に」−ツヂングリ
−る方法に−おい（、機（成約マスクを当Ｊ’ｈ　”Ｊ
るごとにより前記金属相別をエツチングする部分及びエ
ツチングしない部分に分（ノ、かつ画部分に圧力差をつ
けてエツチングしない部分の方の角力を高くすることを
特徴とり−る機械的マスク（こよる部分エツチング法ど
エツチング液を用いＵ　１１１−”　３しくは複合の金
属材わを部分的にエツチングする装置にＪ３いＣ１少４
ｆ＜どし前記金属月利に当接りる先端部分の幅か１　ｍ
ｍ以下の筒状体からなると共に該筒状体の輪郭形状がエ
ツチングＪる部分及び］−ツチングしない部分の境界形
状と実質的に同一であるマスク体と、該マスク体の内外
に圧力差をつける）！、「ｉとからなることを特徴とづ
る機械的マスクににる部分ｈｉツヂング装置にある。

本発明の部分１ツ１−ング装置において、マスク体とし
ては：ｊム、プラスデック等の軟ｖｉ体を使用するより
も例えばスデンレス等金属の剛体を使用ヅるほうが１ツ
ヂング精１哀を上げることができ好ましい。

以下、本発明を図面に示り実施例にしたがっ′Ｃざらに
説明りる。

第１図及び第２図は機械的マスクによる部分ユッヂング
装置の構造を示づものである。ステンレス製のマスク体
′１は、エツチング液ベき金属条体５に当接される先端
部２の幅が１　ｍｍ以下になるように構成される。この
先端部２の幅が大きいとエツチング部分の境界形状か不
鮮明になる。このことから、先端部２の幅は狭いＧ３１
といいが、現実にはマスク加］上及びマスク押ｆ１りを
考慮し−（ある幅をもつことになる。又、この先端部２
の周縁の輪郭形状３）ま第°２図のように４１つ−Ｃお
り、これはエツチング液る部分及びエツチングしない部
分の境界形状と同一ひある。

筒状体からなるマスク体１は、エアシリンタ４により１
０　Ｊ（９ｆの力でエツチング液ペき金属条体５に押（
＝ｊ−Ｕられ、エツチング液６中に浸漬される。

なお、ｊ）ｂ記金属条体５は畝−二ｙクル合金ヘース７
」−にアルミ７−を片側全面被覆したものであり、アル
ミ７上に当接されるマスク体１はカイドシリンタ８によ
り直角に保持される。

ここで、第２図の矢印で示されるべくマスク体１の内側
に空気圧をもって内圧を加えると、この部分りなりちユ
ツチングしない部分は外側の１ツヂング液中に浸必され
た部分よりも圧力が高くなる。こうすることににって、
■ツブーングｄり（うのマスク体１中への侵入を防ぎ、
その輪！／１（を高精度に保つことかＣぎる。４１ａ５
、内圧をかけるには空気のかわりに液イホＣあっＣもよ
い。

因みに、かかる内月二をか（ブイ１い場合はマスク体中
への土ツチング液のｆシ人かみられた。（第６図参ｊ１
．ｊ、ｉ　） これに対し４１５図によれば、エツチング法ペき金属条
体５に対してマスク体１を一定斤力で押（＝することに
より、エツチングの進行と」（にマスク体１ｂ移動りる
ためにリイドコ−・ンヂングが起こらず、７スク休の内
側形状と同一のアルミ金属パターン９が形成される。

なＪ３、第３図及びε１′〕４図は本実施例にもとつぎ
部分二「ツアングした製品の例を示づものである。

第３３図は♀り、−−ツクル含金１０どアルミ２層金属
条体のアルミ側に上記マスク体を＋ｑｉ　Ｌ当で、エツ
チングににり不要部分のアルミを除去した後のツノルミ
パターン１１を示し、この条体（４つい【゛プレスによ
り］Ｊ抜さされて第４図と同様のＩＣリードフレームと
イｌる。

第４図は鉄−ニラグル合金１２とアルミの２層金属条体
をプレスによりＪ］抜き後、アルミ側にマスク体を当Ｃ
’Ｕ　］−ツラブダし、アルミパターン１３を形成して
なるＩ　Ｃ川り一１〜ル−ムを小りものである。

本実施例は、マスク体（・覆われた部分を残し他をエツ
チング法゛る例を示しだか、この逆にマスク体の内側に
］−ツブーンダ液に導入しＣその部分のみユッヂングリ
゛る場合も考える。この場合マスク体の外側の圧力を高
く覆る必要が（ｂる。。

ｊメ十説明したＪ、うに、本発明ににれば、ｑ１殊％機
械的マスク１ツヂング法を採用づることにＪ、り従来の
印刷−エツチング法を比較し・Ｃ］−稈を簡ｊ１１化づ
ることがＣき、この結宋品ｇ４管理かやりヤ）りく、品
質の向上及び経演的効果を１°ｌることかＱさるど共に
、ｊノイドエッヂングを防Ｊ１シ（微少部分につい−Ｃ
しきわめ−Ｃど；１精度に部分上ツチングすることが（
゛いる効果がある。、又、Ｑ＜＋殊マスクを使用りるこ
とにより被ｊ−ツチング金属祠オ゛Ｎ１の表面に多少凹
凸かあってしエツチング法の１２人を１１１１’実に防
ぎ、高粘度の部分エツチングをｔ’Ｊ”　＜Ｅうことか
【゛さる。

【図面の簡単な説明】 第１図は木光明の一実施例に係る機械的マスクによる部
分エツチング装置の正面図、第２図は同マスク体の部分
断面図及び底面図、第３図及び第４図は同１ｃリードフ
レームの一部正面図、第５図は同マスク体によるヨ「ツ
チング状態を示す部分断面図、第６図は従来にかかるエ
ツチング状態を示り゛部分断面図である。 １：マスク体、２：先端部、 ３：輪郭形状、ｄ：］−アシリンター、５：全屈条体、
６：土ツチング液。 ナ１圓 弄２圓

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　二丁ツヂング液を用いて単一−ｂ　ｔ、　＜は複合
   の金属祠イ′）１を部分的にエツチングづる方法におい
   て、機械的マスクを当接りることにより前記金属’ｒＡ
   ′Ａ′Ｎ１をエツチングηる部分及び］−ツチングしな
   い部分に分（）、かつ両部会に圧力差をつＣプてエツチ
   ングしない部分の方のＬに力を高くりることを特徴どづ
   る機械的マスクによる部分エツチンク法。 ２　エツブ−ンク液を用いて単一−シシ＜は複合の金属
   祠イ′８１を部分的に１ツヂングづる装置においで、少
   なくとも前記金属’ｒＡ＄３１に当接゛する先端部分の
   幅か１ｍｍＪメー１・のＢ；］状休からなると几に該筒
   状体の輪郭形状が］−ツヂングづる部分及びエツチング
   しく３゛い部分の境界形状と実質的に同一であるマスク
   休と、該ζスス９体の内外に圧力差をつ（）る装置どか
   らイｆることを特徴とする（成域的マスタにＪ、る部分
   エツヂング装置。