JPS5928560U - 単結晶引上機のシ−ドホルダ支持装置 - Google Patents
単結晶引上機のシ−ドホルダ支持装置Info
- Publication number
- JPS5928560U JPS5928560U JP12233282U JP12233282U JPS5928560U JP S5928560 U JPS5928560 U JP S5928560U JP 12233282 U JP12233282 U JP 12233282U JP 12233282 U JP12233282 U JP 12233282U JP S5928560 U JPS5928560 U JP S5928560U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seed holder
- single crystal
- support device
- crystal pulling
- pulling machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図および第２図は本考案のそれぞれ異なる実施例を
示す一部破断部分正面図である。 １・・・・・・引上ワイヤ、２． ５． １０・・・・
・・取付金具、３．５・・・・・・ピン、４・・・・・
・連結棒、６・・・・・・シードホルダ、８・・・・・
・シード、１２・・・・・・ワイヤ。
示す一部破断部分正面図である。 １・・・・・・引上ワイヤ、２． ５． １０・・・・
・・取付金具、３．５・・・・・・ピン、４・・・・・
・連結棒、６・・・・・・シードホルダ、８・・・・・
・シード、１２・・・・・・ワイヤ。
Claims (1)
- シードホルダをワイヤや鎖の下端に取付けた単結晶引上
機のシードホルダ支持装置において、前記ワイヤや鎖を
半導体の融液およびその周辺からのふく射熱から保護す
るための連結棒を、前記ワイヤや鎖とシードホルダとの
間にこれらの両者に対して共に着脱可能に連結したこと
を特徴とする単結晶引上機のシードホルダ支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12233282U JPS5928560U (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 単結晶引上機のシ−ドホルダ支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12233282U JPS5928560U (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 単結晶引上機のシ−ドホルダ支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5928560U true JPS5928560U (ja) | 1984-02-22 |
Family
ID=30279659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12233282U Pending JPS5928560U (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 単結晶引上機のシ−ドホルダ支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5928560U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005035839A1 (ja) * | 2003-10-14 | 2005-04-21 | Komatsu Denshi Kinzoku Kabushiki Kaisha | 半導体単結晶製造装置 |
| WO2010089816A1 (ja) * | 2009-02-03 | 2010-08-12 | 信越半導体株式会社 | 単結晶製造装置 |
| CN102492983A (zh) * | 2011-12-22 | 2012-06-13 | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 | 用于直拉硅单晶生长的晶种夹头 |
| JP2015120636A (ja) * | 2015-01-09 | 2015-07-02 | 株式会社Sumco | 単結晶インゴットの製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5345094U (ja) * | 1976-09-20 | 1978-04-17 |
-
1982
- 1982-08-12 JP JP12233282U patent/JPS5928560U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5345094U (ja) * | 1976-09-20 | 1978-04-17 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005035839A1 (ja) * | 2003-10-14 | 2005-04-21 | Komatsu Denshi Kinzoku Kabushiki Kaisha | 半導体単結晶製造装置 |
| WO2010089816A1 (ja) * | 2009-02-03 | 2010-08-12 | 信越半導体株式会社 | 単結晶製造装置 |
| CN102492983A (zh) * | 2011-12-22 | 2012-06-13 | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 | 用于直拉硅单晶生长的晶种夹头 |
| JP2015120636A (ja) * | 2015-01-09 | 2015-07-02 | 株式会社Sumco | 単結晶インゴットの製造方法 |
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