JPS59211328A - チツプ上電源変換回路 - Google Patents

チツプ上電源変換回路

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JPS59211328A
JPS59211328A JP58086030A JP8603083A JPS59211328A JP S59211328 A JPS59211328 A JP S59211328A JP 58086030 A JP58086030 A JP 58086030A JP 8603083 A JP8603083 A JP 8603083A JP S59211328 A JPS59211328 A JP S59211328A
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potential
power supply
circuit
potentials
external power
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Yukimasa Uchida
内田 幸正
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Original Assignee
Toshiba Corp
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K19/00Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体LSI装置に係シ、特にMO8O8撰集
積回路一のチップ上に形成されるチップ上電源変換回路
に関する。
〔発明の技術的背景〕
MOS)ランジスタを含む集積回路技術の発展はめざま
しく、1960年代後半に実効チャンネル長10μ風の
MOSトランジスタを用いた数十〜数百素子のICが実
現された後、加工の微細化および集積化技術が進み、近
年では実効チャンネル長が1.5μm程度のMOS)ラ
ンジスタを用いた数十万素子のVLSIが実現されてき
ている。さらに近い将来には、実効チャンネル長が1μ
m以下のサブミクロンMO8)ランジスタによるサブミ
クロン半導体集積回路の出現が予想されている。
ところで、従来このような集積回路への電源供給は、外
部電源を直接に回路に与えることにより行なっており、
これによってMOSLSIが動作させられている。この
ように、従来は外部電源を直接回路に与えるように構成
しているため、この外部電源電圧は素子の実効チャンネ
ルの縮小とともに低くなってきている。例えば、現在の
実効チャンネル長が1.5μmの素子を用いる集積回路
では、5V単一電源を外部から供給することによって動
作させている。
〔背景技術の問題点〕
上記の如〈従来は、外部電源を直接回路に供給している
ため、素子の実効チャンネル長が小さくなるにつれて外
部電源の動作範囲の制限が厳しくなるという欠点がある
。なぜならば、実効チャンネル長が小さくなるにつれて
素子中の電界が尚くな9、■インパクトイオン化による
ホットエレクトロン、ホットホールの発生、■基板電流
の増大、■パンチスルー現象の発生、■ソース・ドレイ
ン接合のブレークダウン、■ホットエレクトロン、ホッ
トホールがゲート絶縁膜と半導体基板表面の間に形成さ
れたポテンシャルバリアを越えてゲート絶縁膜中に放出
され、これがゲート絶縁膜中にトラップされることによ
!0M08)ランジスタのしきい値が経時変化する等の
問題が生じるからである。特に、実効チャンネル長が1
μm以下のMOSトランジスタを含むサブミクロン半導
体集積回路では、上記■で説明したMOS)ランジスタ
のしきい値の経時変化によって動作速度、性能の著しい
劣化や不良動作が引きおこされる。従って、電源電圧を
現在の5v単一電源ではなく、よシミ正値の低い外部電
源を使用する必要が生じてくる。
ところが、焦積回路を構成するTTL回路などは現在は
5v電源によって動作するように設計されているため、
例えば外部電源をサブミクロン半導体集積回路にあわせ
て3v単一電源にすると、これらの間の適合性を保持で
きないという欠点が生じる。
また、外部電源を2電源とする(例えばサブミクロン半
導体集積回路用の3V電源とTTL回路等に用いる5v
電源との併用にする)ことは、装置の大型化、高コスト
化等を招くので好ましくない0 さらに別の観点から考えると、一般にMOS型LSIの
性能(特に動作速度、消費電流等)は電源の電圧に大き
く依存し変化するので、外部電源を直接に回路に与えて
動作させる方式では、LSI設計上の困難性やシステム
応用上の使いKくさなどがある。なぜなら、外部電源電
圧に高い安定度を要求するのは容易ではなく(通常は数
チの変動を伴うことが多い)、この電源電圧の変化に対
してMOS型LSIの性能が敏感に反応するからである
また、一般にMOS型LSIは安定度の高い電源の下で
動作させないと、過大電圧のために性能が劣化した9信
頼性が低下することがある。特に、MOS型LSIの場
合、動作に同期した電源電流スパイクが発生することが
多く、このスパイクが電源電圧の変動を引きおこし、デ
バイスを実装したシステムの動作不良をもたらすことが
多い0〔発明の目的〕 本発明は上記の如き従来技術の欠点に鑑みてなされたも
ので、以下の点を目的とする。第1の目的は、広い範囲
で電圧値が変動する外部電源の下で劣化なく高い信頼性
で動作し、一定電圧(外部電源電圧より低い)の内部電
源を供給するチップ上電源変換回路を提供することにあ
る。第2の目的は、動作時の消費電流に過大電流ピーク
成分を有するMO8型来積回路に、電流の変動にかかわ
′シなく電位の安定した内部電源を供給することのでき
るチップ上電源変換回路を提供することにあるO 〔発明の概要〕 上記の目的を実現するため本発明は、以下の如く構成さ
れ、MO8集積回路と同一のチップ上に設けられるチッ
プ上電源変換回路を提供するものである。すなわち、本
発明のチップ上電源変換回路はソースまたはドレインの
いずれか一方の端子に第1の外部電源線(電位V1)が
接続されかつ他方の端子に接続された内部電源線に降圧
電源(電位■A)を出力する降圧用FETと、第1.第
2の外部電源(電位V、、V2)にもとづき電位V。の
昇圧電源(電位V。は■1.V2の間にはなく、かつV
11v2 のいずれとも等しくない)を出力する電源昇
圧回路と、電位■えが電位V2と設定電位VB(■□と
v2の間であらかじめ設定される)の間にあるときは電
位V。と降圧用FETのゲートに出力し、電位vAが電
位v2と設定電位VBの間にないときは電位v1と■2
の間のレベルの出力を降圧用FETのゲートに出力する
降圧電源レベル検知回路とを備えたものである。
〔発明の実施例〕
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する0 第1図は本発明の一実施例の回路図である。降圧用FE
T 10のソースまだはドレインの一方の端子には第1
の外部電源線1から電位v1の外部電源が与えられ、電
位■えの出力はソースまたはドレインの他方の端子から
内部電源線2に与えられている。電位■、の外部電源は
電源昇圧回路加にも与えられており、電圧昇圧回路銀は
電位■。の昇圧電源を昇圧電源線3を介して降圧電源レ
ベル検知回路(9)に与える。また、電源昇圧回路加お
よび降圧電源レベル検知回路間には第2の外部電源線4
を介して電位v2の外部電源が与えられている。
ここで、昇圧電源の電位V。は外部電源V1.■2の間
になく、かつVlA V。、■2へ■。の関係が成立す
るようにする。
降圧用FET 10の出力C電位VA)は内部電源線2
を介して降圧電源レベル検知回路間に帰還され、降圧電
源レベル検知回路刃から出力された設定電位VBの降圧
電源は内部電源線2を介して降圧用FETl0に与えら
れる。ここで、電位VBは電位V□とV2の間に設定さ
れておシ、降圧電源レベル検知回路間は降圧電源の電位
vAが設定電位VBと外部電源電位v2の間にあること
を検知したときに昇圧電源(電位V。)をレベル検知信
号出力線5を介して降圧用FETl0のゲートに与える
。電位VAが電位■、とv2の間にないことを検知した
ときは、電位■1とV2の間の電位を降圧用FETl0
のゲートに与える。
電位vAの内部電源は電源線キャパシタC8およびMO
8型集積回路40に与えられてお!D、MO8型集積回
路には電位■1.■2の外部電源も与えられている。
次に、第1図に示す回路の動作を説明する。
電位vAが電位VBと■2の間のレベルにあるときは、
電位■。が降圧用FETl0のゲートに与えられるので
強反転チャネルが形成され、いわゆるMOSFETの3
極管領域のコンダクタンスの著しく高い状態が形成され
る。そのため、電位v1の外部電源が降圧用FETl0
を介して大電流となって内部電源線2に供給される。こ
うしてMO8型集積回路40に内部電源(電位vA)を
供給しな75(ら電源線キャパシタCを充電するので、
電位7辺しだいに上昇していく。
電位■。が設定電位VBに達すると、降圧電源レベル検
知回路30はこれを検知し、降圧用FET10のゲート
への出力レベルを電位■。から電位v1と■の間のレベ
ルヘスイツチさせる。こうして、降圧用FET10のコ
ンダクタンスが低くなり、内部電源線への電流の供給が
少なくなってくる。
さらに、電位vAが設定電位VBを越えると降圧用FE
Tl0は非導通化し、電位鳳はMO8型集積回路40を
流れる電流によりすみやかに設定電位値VBに戻る。
こうして、降圧用FFJT 10から降圧電源レベル検
知回路(9)へ、さらに降圧電源レベル検知回路間から
降圧用FETl0に戻るフィードバックループによシ、
内部電源線の電位V は設定電位VBとの間で常に V  =V    山・・印・・・・ (1)B の関係が満されることになる。そして、降圧用FET]
、0へのフィードバック信号として電位V。の昇圧電源
が降圧用FETl0のゲートに加わるので、降圧用FE
T10の電流駆動力が著しく向上することになる。
第2図は第1図に示す電源昇圧回路加のより詳細な回路
図で、第1図と同一要素は同一符号で示しである。イン
バータGl r 02 * G3によ多構成されるリン
グオシレータ型の発振回路200 (第1゜第2の外部
電源線から電力を供給されている)の出力は、インバー
タG41 G5によ多構成される発振出力バッファに与
えられる。インバータG4の発振出力■は、出力信号線
7および昇圧用コンデンサC2を介してNMO8FET
23のゲートおよび節点12に与えられる。インバータ
G5の発振出力φは、出力信号線8および昇圧用コンデ
ンサC0を介してNMO8FET22のゲートおよび節
点11に与えられる。ここで、節点11はNMO8FE
T21のソースおよびNMO8FET22のドレインに
接続され、節点12はNMO8FET22のソースおよ
びNMO8FETムのドレインに接続されている。
第1の外部電源線1からNMOS FET 21のゲー
トおよびドレインに与えられた電位V1の外部電源はN
MO8FET2] 、22.23を経て昇圧され、昇圧
電源線3に与えられる。また、平滑用キャパシタC2の
一端には昇圧電源線3が接続され、他端には電源線6(
例えば、第1の外部電源線に接続されている)が接続さ
れる。
次に、第2図に示す回路の動作を第3図を参照して説明
する。第2図はインバータG4.G5の発振出力(蔓、
φ)を示すグラフで、例えば10 MHzで発振してい
る。すると、信号線7,8にはそれぞれ電位振幅IV1
−V21の発振用カフ、φが与えられる。この発振出力
φ、φは昇圧用キャパシタC2,C1の一端をそれぞれ
駆動するので、NMO8FET21,22.23のしき
い値をvthとすると、昇圧電源線3に発生する電位V
。はVC= 3 (v□−vth )  ・−=−・・
(2)となる。但し電位V2−OV(接地)とする。
いま、しきい値Vthの値をバックゲートバイアス効果
による増加分ΔVも含めて vth=vtho+Δv〜2V・・・・・・・・・(3
)とすると、式(2) 、 (31より電位V1= 5
VのときにVo= 3<5−2)=9V  ・・・・・
・・・・(4)となる。すなわち、第2図の回路におい
て、第1の外部電源線1の電位V□を5■とし、第2の
外部電源線4の電位■2を0■(接地電位)とすると、
昇圧電源線3にはV。−9vの電位が得られることにな
る。
巣4図は第1図に示す降圧電源レベル検知回路間のよシ
詳細な回路図で、第1図と同一要素は同一符号で示しで
ある。昇圧電源線3を介して降圧電源レベル検知回路間
に寿えられた電位V の列圧電源はNMO8FET31
のドレインに与えられる。
NMO8FET31はコンダクタンスの小さな負荷用デ
プレッションモードFETで、そのゲートとソースはN
MO8FET32のドレインおよび降圧用FETl0の
ゲートに共通接続されている。また、NMO8FET3
2のゲートには内部電源線2〃・ら電位vAが与えられ
、NMO8FET32のソースにはPN接合ダイオード
D工、 D2. D3. D4を介して電位v2が与え
られる。
次に、第4図に示す回路の動作を第5図および第6図を
参照して説明する。なお、外部電源V!=5V、V2=
OV(Ji地)、ダイオードD1〜D4のフォワード電
位をそれぞれVFThQ、5Vとし、NMOS 1i’
E’I’ 32 (7)しきい値をi、ov、内部電源
線2の設定電位をVB=3.OVとする。
第5図は内部電源線2の降圧電位vAの変化に対するレ
ベル検知信号出方線5の電位V5の変化を示すグラフで
、実線は昇圧電源線3にt位V。
(昇圧されている)が与えられたときを示し、破線は昇
圧電源線3に外部電源(電位V、= 5V)がそのまま
与えられたときを示している。
降圧電位■。が3V以下(設定電位VB以下)のときは
、NMO8Jt’ET 32は非導通なので、レベル検
知信号出力線5の電位V5は電位■3と同じになシ昇圧
電源線3に電位VC(昇圧電源)が与えられているとき
にはV5=9■(Vo)、電位V1=5■(外部電源)
が与えられているときには V5−5v(Vl)となる
降圧電位V が3v以上(設定電位■8以上)になると
、NMO8FET32は導通し、電位■5は低下する。
そして、ダイオードD1〜D4のフォワード電位(岑)
の和2.0■に限りなく近づく。
第6図は第5図に示す電位の変化に対応した電流の変化
を示すグラフである。図に示す如く、電位V3=9V(
Vo)としたときには、電位■6二3■付近で大電流を
供給することができる。これに対し、電位v3−5■(
v2)としたときには大電流を供給することができない
。上記の如く第1図乃至第6図に示す実施例では電位V
□、 V2. VB、 V。
の間にV2< V、 < V□〈voの関係が成立して
いるが、降圧用FETをPチャンネル形で構成したとき
は■。<V2〈VB〈■1が成立することになる0 第7図は本発明の他の実施例の回路図で、第1図、第2
図および第4図と同一要素は同一符号で示しである0第
4図に示す降圧レベル検知回路側の負荷用NMO8,F
ET31はデプレッションモードのNMO8ITに限ら
ず、第7図(a)に示すようにPMO8FET31aと
してもよい。゛なお、このときはゲートに第2の外部電
源(■2)を与えるようにする。また、第7図(b)に
示すようにエンノ・ンスメント型のNMO8FET31
bとしてもよく、また抵抗素子としてもよい。第7図(
b)の如くするときは、レベル検知出力信号線5への出
力電位はV3からしきい値分だけドロップする。
第8図は本発明の他の実施例の一部の回路図でζ第1図
、第2図および第4図と同一要素は同一符号で示しであ
る。図に示す如く、降圧電源レベル検知回路(9)から
レベル検知出力信号線5への信号出力は、信号整形回路
310を介して行なうようにしてもよい。ここで、信号
整形回路310は、NMO8FET33およびディプレ
ッションモードの負荷用MO8FET34で構成される
インバータと、NMO5FET35およびディプレッシ
ョンモードの負荷用MO8FET36で構成されるイン
バータの2段縦続接続から成っている。
第9図は本発明の実施例の一部の回路図で、第1図、第
2図、第4図および第8図と同一要素は同一符号で示し
である。図に示す如く、第8図に示す回路において、N
MO8FET31をPMO8FET31aに置き換え、
波形整形回路310をCMOSインバータの2段縦続接
続されたものに置き換えることができる。
また、第10図に示す如く、降圧用FET10デイプレ
ツシヨンモードのMO8FET10’に置き換えること
ができ、しきい値がO■のMOSFETであってもよい
第11図は本発明の他の実施例の回路図で、第1図、第
2図および第4図と同一要素は同一符号で示しである。
電位V1 + V2の間にVt > v2 OfQ 係
が成り立つときは、降圧用FET 10”はPチャンネ
ル型とし、電源昇圧回路側のチャージポンプ用MO8F
ET 121 、122 、123はそれぞれPチャン
ネルになる。そして、PMO8FET121への入力は
第2の外部電源線4(電位V2)から与えられる。
電源昇圧回路側の出力は昇圧電源線3を介してNMO8
FET 131と、NMO8FET134およびPMO
8FET 133の直列接続で構成されるCMOSイン
ノく−タとに与えられる。PMO8FET132のソー
スにはPN接合ダイオードD5.D6を介して第1の外
部電源(電位■1)が与えられ、PMO8FET132
のドレインの電位はCMOSインノ(−夕を介して降圧
用FET 10″に与えられる。
次に、第11図に示す回路の動作を説明する。なお、昇
圧、電位V。を例えば−4vとし、ダイオードD5.D
6のフォワード電圧(vF)をそれぞれ0.5■とする
内部電源線2の電位vAが設定電位■8より低くなると
、PMO8FET132が導通し、ドレイン側の電位は
電位V□(5v)からダイオードD、D    6 のフォワード電圧の和分(IV)だけ低いVl−IV=
4V となる。従って、PMosFET133とNMO8FE
T134で構成されるCMOSインバータの出方電位は
一4Vとなシ、昇圧電位V。と等しくなる。その結果、
降圧用FETl0“が強く反転し、Mos型集撰集積回
路40源電流を供給して、さらに内部電源線2に付随す
るキャパシタC8を充電する。
内部電源線2の電位Vが設定電位VBよシ高くなると、
PMO8FET132が非導通になシ、ドレイン側の電
位*負u用NMo5FETx31K よ、!1)vr位
V。となる。従って、レベル検知出力信号線5の電位は
V□=5Vとなシ降圧用FETl0”は非導通になる。
このように、第11図に示す回路においても、第1図に
示す回路と同様に大電流を供給することのできる定電圧
のチップ上電源変換回路が得られる。
なお、第11図に示す回路では電位v1.■2.VB、
vcの間にV。<V□<VB<v2の関係が成立してい
るが、降圧用FETをNチャンネル型とするとVl〈V
B<■2〈voの関係が成立する。
第12図は本発明の他の実施例の一部の回路図で、第1
図および第9図と同一要素は同一符号で示す。
図に示す降圧電源レベル検知回路Iは第9図に示すダイ
オードD1〜D4 、 FET31 a 、 32から
なる回路を差動増幅器330に置き換えだもので、差動
増幅器330の一方の入力(NMO8FET312のゲ
ート)には設定電位■3が与えられ、他方の入力(NM
O8FET313のゲート)には内部電源線2の電位■
いが与えられる。上記の如く構成した場合にも第9図に
示す回路と同様に機能させることができる。
なお、上記の実施例の説明においては、電位■1゜V2
の関係を全てV□〉V2としたが、Vl〈V2とした場
合であっても構成のMOSFETのチャンネル形を反転
させ、かつPN接合ダイオードの向きを逆転させるのみ
でよい。
また、降圧用FETは複数のFETのソース、ドレイン
、ゲートのそれぞれを並列に共通接続したものにしても
よい。この場合には、よシ大きな電流を供給することが
可能になる。
〔発明の効果〕
上記の如く本発明のチップ上電源変換回路は、ソースま
たはドレインのいずれか一方の端子に第1の外部電源線
(電位V1)が接続されかつ他方の端子に接続された内
部電源線に降圧電源(電位■A)を出力する降圧用FE
Tと、第1.第2の外部電源(電位V1. V2)にも
とづき電位vcの昇圧電源(電位V。はVl、V2の間
にはなく、がっ、■1゜V2のいずれとも等しくない)
を出力する電源昇圧回路と、電位■えが電位v2と設定
電位VB(Vlと■2の間であらかじめ設定される)の
間にあるときは電位■。を降圧用FETのゲートに出力
し、電位vAが電位■2と設定電位VBの間にないとき
は電位v1とV2の間のレベルの出力を降圧用FETの
ゲートに出力する降圧電源レベル検知回路とを備えたの
で、降圧電源電位■□が設定電位VBに達しなければ降
圧用FETを強反転の状態にしてコンダクタンスをよげ
、設定電位VBに達したときはコンダクタンスを下げる
か非導通とする様なフィードバックを形成することによ
り、大電流駆動能力を有しかつ定圧源に近い特性を実現
できる。そして、この回路は、定電圧源の下において高
い信頼性で動作するMO8型集積回路と同一のチップ上
に集積することができる。
また本発明によれば、昇圧電源を降圧用FETに加えて
なおフィードバックループを有するので、広い範囲で電
位が変動する外部電源に対して、一定電位の大電流供給
可能なチップ上電源変換回路が実現できるという特有の
効果がある。
さらに゛、本発明によれば定猶、圧源に近い大電流駆動
能力を有する内部電源が実現できるので、過大電流ピー
ク成分を動作時の消費電流に有するMO8型集積回路に
も適用できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の回路図、第2図は第1図の
電源昇圧回路の詳細な回路図、第3図は第2図の回路の
動作を説明するグラフ、第4図は第1図の降圧電源レベ
ル検知回路の詳細な回路図、第5図および第6図は第4
図に示す回路の動作を説明するグラフ、第7図乃至第1
2図は本発明の他の実施例の回路図である。 1.4・・・外部電源線、2・・・内部電源線、3・・
・昇圧電源線、5・・・レベル検知(i号出力線、10
,1σ。 10′f・・降圧用FET、 21,22,23,31
.31b 、32,33゜讃、 35 、36 、13
1 、134 、311 、312 、313・・・N
MO8FET 、 31 a 、 37 、38 、1
21 、122 、123゜132 、133 、31
4 、315・・・pMosFET、20(1・・・発
振回路、310・・・波形整形回路、330・・・差動
増幅器。 出願人代理人  猪  股    清 栴1図 畜2M ”l ■ [:j;:;111::i;1111,15.]11:
IIi 図楕4図 第5図    第6図 −vA閏       穎V) 帯7図 (0)          (b) 第8図 楕9図 嗜) 10 [≧1 第11図 2゜ 二 ; ; =

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、集積回路と同一のチップ上に、ソースまたはドレイ
    ンのいずれか一方の端子から電位■1の第1の外部電源
    線を入力し他方の端子から電位■□の降圧電源を出力す
    る降圧用FETと、前記第1の外部電源線および電位■
    2の第2の外部電源線を入力し電位■1.■2のいずれ
    とも等しくなくかつ電位V1とV2の間にない電位V。 の昇圧電源を出力する電源昇圧回路と、電位vAが電位
    ■1とv2の間で設定された設定電位VBと電位V2 
     との間にあるときは前記昇圧電源電位を前記降圧用F
    ETのゲートに与え、電位vAが設定電位■8と電位V
    2の間にないときは電位■、と■2の間の電位の出力を
    前記降圧用FB’l’のゲートに与える降圧電源レベル
    検知回路とを備えるチップ上電源変換回路。 2、前記降圧用FETはNMO8FETであり、前記電
    位Vl 、 V2 + VB t V(2)間にはv2
    〈vB〈vl〈vcなる関係が成立する特許請求の範囲
    第1項記載のチップ上電源変換回路。 3、前記降圧用FETはPMO8FETであシ、前記電
    位v、 、 V2. VB、 VotD間には■。<v
    2〈vB<v□なる関係が成立する特許請求の範囲第1
    項記載のチップ上電源変換回路。 4、前記降圧用F E、TはPMO8FETであり、前
    記電位v□、 V2. VB、 VotD間にはv。<
    Vl<■8〈v2なる関係が成立する特許請求の範囲第
    1項記載のチップ上電源変換回路。 5、前記降圧用FETはNMO8FETであり、前記電
    位v11V2. v、 、 voの間には■□〈■8〈
    ■2〈voなる関係が成立する特許請求の範囲第1項記
    載のチップ上電源変換回路。 6、前記降圧用FETは互いに並列接続された複数のF
    ETである特許請求の範囲第1項乃至第5項記載のチッ
    プ上電源変換回路。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0282566A (ja) * 1988-08-15 1990-03-23 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Cmosスタテイツク回路用のバイアス電圧発生装置

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