JPS59134846A - 電子ビ−ム装置 - Google Patents
電子ビ−ム装置Info
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- JPS59134846A JPS59134846A JP58007447A JP744783A JPS59134846A JP S59134846 A JPS59134846 A JP S59134846A JP 58007447 A JP58007447 A JP 58007447A JP 744783 A JP744783 A JP 744783A JP S59134846 A JPS59134846 A JP S59134846A
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- Japan
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- circuit
- memory
- electron beam
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本９Ｆ３明は電子ビーム装置に関し、特に呆Ｓ回路等の
Ｌ５都の′電圧全測定して故陣診断筐たは動作肩弘「を
行う電子ビーム装置に関する。
Ｌ５都の′電圧全測定して故陣診断筐たは動作肩弘「を
行う電子ビーム装置に関する。
（２）技術の背景
集積回路の高密反化に伴い、電子ビームにょる診断が注
目されている。電子ビームにより集植回路上で走査する
と、放出される２次′電子の信号により、果翰回路内の
配線の電圧分布に応じた明暗コントラスト１家（電圧像
）が侍られる。集積回路を駆動していくと、この電圧像
の変化が観測され集積回路の動作全２次元的にみること
ができる。
目されている。電子ビームにより集植回路上で走査する
と、放出される２次′電子の信号により、果翰回路内の
配線の電圧分布に応じた明暗コントラスト１家（電圧像
）が侍られる。集積回路を駆動していくと、この電圧像
の変化が観測され集積回路の動作全２次元的にみること
ができる。
集積回路のｔＡ動に従って変化する電圧像の観測は４子
ビームプロービングによる診断の基媛となるものである
。これらについての詳細は、古川、労腰、イイｉ垣、ｒ
ＬＳＩ の診断に威カ勿兄扉する電子ビーム・フ”ロ
ービング」日ｒ１エレクトロニクス、１９８２年３月１
５日号１７２〜２０１真に記述され−Ｃいる。
ビームプロービングによる診断の基媛となるものである
。これらについての詳細は、古川、労腰、イイｉ垣、ｒ
ＬＳＩ の診断に威カ勿兄扉する電子ビーム・フ”ロ
ービング」日ｒ１エレクトロニクス、１９８２年３月１
５日号１７２〜２０１真に記述され−Ｃいる。
（３）従来」夕ａｉ；ｒと問題点
従来は、電子ビーム照射によす先生する２次電子の倹知
悟号（２仄市子信号う七そり１１アナロクーデイシタル
（ＡＤ）変換して衣不画１駅（゛電圧像）としていた。
悟号（２仄市子信号う七そり１１アナロクーデイシタル
（ＡＤ）変換して衣不画１駅（゛電圧像）としていた。
この装置では、放出される２次電子の性實として、批罰
点の電圧が高い（例えば＋５ボルト）部分の配線パター
ンからは信号が殆ど出す、電圧が低い部分（例えば０ボ
ルト〕の配、嵌パターンからは大きな１８号が得られる
ことから、高電圧の配Ｍ パターンは見えなくなってし
１い、低電圧の配線パターンのみが明るく現われ、血圧
像による集積回路の動作状況の理解に支障ｒ＠たすとい
う問題点があった。
点の電圧が高い（例えば＋５ボルト）部分の配線パター
ンからは信号が殆ど出す、電圧が低い部分（例えば０ボ
ルト〕の配、嵌パターンからは大きな１８号が得られる
ことから、高電圧の配Ｍ パターンは見えなくなってし
１い、低電圧の配線パターンのみが明るく現われ、血圧
像による集積回路の動作状況の理解に支障ｒ＠たすとい
う問題点があった。
（４）発明の！」的
本発明の目的は、Ｐｉｉｌ述の従来形式の装置ｋに２け
る問題点にかんがみ、診断される集積回路を駆動回路に
よって鳴動し、異なる複数個の電圧１象データ全侍、該
電圧像データの晒理オロの画像データを求めるとい９燐
想に基づき、集積回路の配線パターンの電圧状態の親Ｎ
ＡＩＪ 全容易にすることにある。
る問題点にかんがみ、診断される集積回路を駆動回路に
よって鳴動し、異なる複数個の電圧１象データ全侍、該
電圧像データの晒理オロの画像データを求めるとい９燐
想に基づき、集積回路の配線パターンの電圧状態の親Ｎ
ＡＩＪ 全容易にすることにある。
（５ン 発明の構成
本発明に２いては、４子ビ一ム元学制簡、集積回路全搭
載して移動可能な試料ステージ、該集積回路を、鳴動す
るための駆動回路、咳躯励回路に信号を与えるための入
力データ列を記憶する記ｔは装置、および該記憶装置を
包含し前記電子ビーム元学続筒、駆動回路および記憶装
置全制仙ｊする制御装置を具備する電子ビーム装置に２
いて、該集積回路の同一領域の、動作状態の異なる複数
の耐圧ｌ駅データから、各々の２値化像データを求める
手段寂よび該２値化像の論理和の画像データを求める手
段を設けたことを特徴とする電子ビーム装置が提供され
る。
載して移動可能な試料ステージ、該集積回路を、鳴動す
るための駆動回路、咳躯励回路に信号を与えるための入
力データ列を記憶する記ｔは装置、および該記憶装置を
包含し前記電子ビーム元学続筒、駆動回路および記憶装
置全制仙ｊする制御装置を具備する電子ビーム装置に２
いて、該集積回路の同一領域の、動作状態の異なる複数
の耐圧ｌ駅データから、各々の２値化像データを求める
手段寂よび該２値化像の論理和の画像データを求める手
段を設けたことを特徴とする電子ビーム装置が提供され
る。
（６）発明の実砲例
本発明の一実施例としての電子ビーム装置の構成が第１
図に示される。本装置は、電子ビーム元学説筒１６、フ
レーム走査制御呻系１、検知器５．２佃、化回路６、画
像処理回路７、駆動回路８．３値１１！１１峨メモリ９
、衣示装置１０．２よひ即ｊ御装置１１ｉ共１１ｉ＋＋
する。峨子ビームプ゛０学鏡筒１６には、電子銃１５、
ブランカ１４、電子レンズ１２、偏向器１３、および試
料ステージ１７が宮葦れる。
図に示される。本装置は、電子ビーム元学説筒１６、フ
レーム走査制御呻系１、検知器５．２佃、化回路６、画
像処理回路７、駆動回路８．３値１１！１１峨メモリ９
、衣示装置１０．２よひ即ｊ御装置１１ｉ共１１ｉ＋＋
する。峨子ビームプ゛０学鏡筒１６には、電子銃１５、
ブランカ１４、電子レンズ１２、偏向器１３、および試
料ステージ１７が宮葦れる。
試料ステージ１７には被診断試料としての集積回路３が
悟植される。
悟植される。
電子銃１５から放出される電子ビーム２はフレーム走査
制：叶糸１により制御さ几るブランカ１４全通過し、電
子レンズ１２によ！ｌｌ呆来され、フレーム定食１１ｆ
ｌｌ呻糸ＩＶこより制御される偏向器１３によって集積
回路３上？走査される。ブランカ１４は・偏向器１３が
動ｆ「する時のみ開かれろ。電子ビーム２が集積回路３
に照射されると、２次ル子４が放出される。放出された
２次ｉ子４は検九器５によ！ｌｌ検出される。検出信号
は２値化回路６により「０」葦たはｒｌＪに２１的化さ
れる。
制：叶糸１により制御さ几るブランカ１４全通過し、電
子レンズ１２によ！ｌｌ呆来され、フレーム定食１１ｆ
ｌｌ呻糸ＩＶこより制御される偏向器１３によって集積
回路３上？走査される。ブランカ１４は・偏向器１３が
動ｆ「する時のみ開かれろ。電子ビーム２が集積回路３
に照射されると、２次ル子４が放出される。放出された
２次ｉ子４は検九器５によ！ｌｌ検出される。検出信号
は２値化回路６により「０」葦たはｒｌＪに２１的化さ
れる。
画像処理回路７は、第２図にその構成が示されるように
、１ＩＩｉＩ隊メモリ選択スイッチ７エおよび７２．２
ｍｔ画像メモリ７３、論理利用−１象メモリ７４．２よ
び３値化回路７５勿具備する。ＭｒＪ述の２値化回路６
に２いて２値化された検出信号は２値画像メモリ７３に
＠稍される。すなわち、集積回路３は駆動回路８により
駆動され、同一領域の容入出力状態に２ける電圧像が画
像メモリ選択スイッチ７１を介して２値画像メモリ７３
に順次裕靜ｊされる。２値画像メモリ７３は、図に２い
ては一部記載が省略されているが、例えば２５６×２５
６ビツトのメモリ１００個、８００キロバイト程度のも
のが用いられる。駆動回路８は匍」＃装置区１１に含葦
れる記憶装置に蓄積されている人力データ列からのデー
タに従って駆動される。集積回路３が１ステツプ駆動さ
れるたひに、屯圧豚が取得さ訛、スイッチ７１が順次２
１直画家メモリ７３全辿択して、その２値画像が格納さ
れる。
、１ＩＩｉＩ隊メモリ選択スイッチ７エおよび７２．２
ｍｔ画像メモリ７３、論理利用−１象メモリ７４．２よ
び３値化回路７５勿具備する。ＭｒＪ述の２値化回路６
に２いて２値化された検出信号は２値画像メモリ７３に
＠稍される。すなわち、集積回路３は駆動回路８により
駆動され、同一領域の容入出力状態に２ける電圧像が画
像メモリ選択スイッチ７１を介して２値画像メモリ７３
に順次裕靜ｊされる。２値画像メモリ７３は、図に２い
ては一部記載が省略されているが、例えば２５６×２５
６ビツトのメモリ１００個、８００キロバイト程度のも
のが用いられる。駆動回路８は匍」＃装置区１１に含葦
れる記憶装置に蓄積されている人力データ列からのデー
タに従って駆動される。集積回路３が１ステツプ駆動さ
れるたひに、屯圧豚が取得さ訛、スイッチ７１が順次２
１直画家メモリ７３全辿択して、その２値画像が格納さ
れる。
Ｍ３図には一連の２値化像の例が示される。電圧像に２
いて明るいコントラストの部分は１１」、暗い部分は「
０」（斜巌都）となめ。すなわち、「１」の部分は低電
圧（０ボルト）の配飯パターンｉ、ｒｏＪは高電圧（５
ボルト）の配朦と配線以タトの部分全衣わしている。
いて明るいコントラストの部分は１１」、暗い部分は「
０」（斜巌都）となめ。すなわち、「１」の部分は低電
圧（０ボルト）の配飯パターンｉ、ｒｏＪは高電圧（５
ボルト）の配朦と配線以タトの部分全衣わしている。
調理）ｆ１１用向１家メモリ７４には、すべての２値画
像の論理和の画像データが求められる。３値化回路７５
は王として押ト佃的論理和否足回路から構成巧れ、ｊＪ
Ｉ’他的論理Ａｌ否定回路の一方の大力には論理オｌｌ
１ｌｉＩ１１４メモリの出力が供給され、他方の人力に
はスインテア２により刺士〈された２１直画１家メモリ
７３の出力が供給されるｏ ＩＦ他的緬埋８１否足回路
の出力は３１直化回路７５の出力の上位の術となり、ス
イッチ７２葡介して供給される２ ｊｌ（ｉ−、画１家
メモリ７３の出力がその−ま１３値化回路７５の出力の
下位の付テとなる。上述の回路により３１１１化出力が
得られることを第４図金柑いて説明する。論理和用画像
メモリ７４からの試料の各部分に対応予る出力Ａがｆ”
０１１ Ｊ （１は配線部分、Ｏは配線以外の部分）
、２値１回像メモリ７３の９ちの選択された１つの出力
Ｂｌ”０ＯＩＪ（１は０ボルト配線、０は５ボルト配線
葦たは起源以外の部分）であるとすると排他的論理和否
定出力Ｃはそれぞれの部分についてｌ ｌ０ＩＪとなり
、出力Ｃ’に上位悄（ＭＳＢ）、出力Ｂを下位１行（Ｌ
ＳＢ）として２ビツトの出力を求めると、Ａが「０」、
Ｂがｌ”ＯＪＯ時は「１０」すなわち２．進数全１０進
数に変換すると「２」となり、同様にＡが「１」、Ｂが
１０」の時は「００」すなわち「−〇」となり、Ａが１
１」、Ｂが１１」の時は１１１」すなわち「３」となる
。「０」全５ボルト配線、「２」全配線以外、１３」を
Ｏボルト起源とすれば、上述の３１直化回路７５により
２値化出力の３値化をすることができる。
像の論理和の画像データが求められる。３値化回路７５
は王として押ト佃的論理和否足回路から構成巧れ、ｊＪ
Ｉ’他的論理Ａｌ否定回路の一方の大力には論理オｌｌ
１ｌｉＩ１１４メモリの出力が供給され、他方の人力に
はスインテア２により刺士〈された２１直画１家メモリ
７３の出力が供給されるｏ ＩＦ他的緬埋８１否足回路
の出力は３１直化回路７５の出力の上位の術となり、ス
イッチ７２葡介して供給される２ ｊｌ（ｉ−、画１家
メモリ７３の出力がその−ま１３値化回路７５の出力の
下位の付テとなる。上述の回路により３１１１化出力が
得られることを第４図金柑いて説明する。論理和用画像
メモリ７４からの試料の各部分に対応予る出力Ａがｆ”
０１１ Ｊ （１は配線部分、Ｏは配線以外の部分）
、２値１回像メモリ７３の９ちの選択された１つの出力
Ｂｌ”０ＯＩＪ（１は０ボルト配線、０は５ボルト配線
葦たは起源以外の部分）であるとすると排他的論理和否
定出力Ｃはそれぞれの部分についてｌ ｌ０ＩＪとなり
、出力Ｃ’に上位悄（ＭＳＢ）、出力Ｂを下位１行（Ｌ
ＳＢ）として２ビツトの出力を求めると、Ａが「０」、
Ｂがｌ”ＯＪＯ時は「１０」すなわち２．進数全１０進
数に変換すると「２」となり、同様にＡが「１」、Ｂが
１０」の時は「００」すなわち「−〇」となり、Ａが１
１」、Ｂが１１」の時は１１１」すなわち「３」となる
。「０」全５ボルト配線、「２」全配線以外、１３」を
Ｏボルト起源とすれば、上述の３１直化回路７５により
２値化出力の３値化をすることができる。
２ビツトの３匝化データは３値画像メモリ９に格納され
る。３値画像メモリ９は１女系が２ピントで構成される
。表示装置１０には３値画博メモリ９のデータに対応し
た３値画像が表示される。
る。３値画像メモリ９は１女系が２ピントで構成される
。表示装置１０には３値画博メモリ９のデータに対応し
た３値画像が表示される。
例えば３ず直１同１家テータ「Ｏ」、「２」、２よび「
３」に対応して赤、黒、１゛の色をΔＩＪ当て谷部を表
示する〇 制御装置１１はフレーム走査順］何糸１を介して電子ビ
ーム元学鏡ｗＪ１６．ｓよび画像処理回路７を市１］御
する。市１１１月１装置は記憶装置金具晦し、該記１意
裟直は制御Ａ）装置１１により制御されて蓄積されてい
る入力データ列データを駆動回路８へ供給する。
３」に対応して赤、黒、１゛の色をΔＩＪ当て谷部を表
示する〇 制御装置１１はフレーム走査順］何糸１を介して電子ビ
ーム元学鏡ｗＪ１６．ｓよび画像処理回路７を市１］御
する。市１１１月１装置は記憶装置金具晦し、該記１意
裟直は制御Ａ）装置１１により制御されて蓄積されてい
る入力データ列データを駆動回路８へ供給する。
本実施クリによる画１様の処理通程が第５図に１帛きれ
る。左徂０から２１直画１家データが人力され、２値画
像メモリに格納され、１ピツトずつｉ面理／ｌｕが求め
られ、両灯オロ画１ぼデータが論理和画１縁メモリにイ
４Ｊられり０谷２１１１画１兼メモリからの各２１直１
曲・１象テータと論理和画像メモリからのＩ＋１ｉｉｉ
理和画イ家データとから３１１ｆｆ回路によって３値化
が行われ３値画１Ｍメモリへ出力される。
る。左徂０から２１直画１家データが人力され、２値画
像メモリに格納され、１ピツトずつｉ面理／ｌｕが求め
られ、両灯オロ画１ぼデータが論理和画１縁メモリにイ
４Ｊられり０谷２１１１画１兼メモリからの各２１直１
曲・１象テータと論理和画像メモリからのＩ＋１ｉｉｉ
理和画イ家データとから３１１ｆｆ回路によって３値化
が行われ３値画１Ｍメモリへ出力される。
本実施例においては、集積回路の釉々の動作状態におけ
る５ボルトの配線２よびＯボルトの配線が同時に表示さ
れるので従来の４子ビーム装置Ｈに比べ果槓回酷の動作
の把握が容易にてさる利点がある。
る５ボルトの配線２よびＯボルトの配線が同時に表示さ
れるので従来の４子ビーム装置Ｈに比べ果槓回酷の動作
の把握が容易にてさる利点がある。
ｆｘ Ｓ？ 、本実施ｙｌｌに２いては、３値化回路、
３値画像メモリおよび色相を対応させた炎示装置？例示
したが、こ扛らを使用することなく、２値化４永２よひ
調Ｉ−！Ｉ！和画球から直接診断することもできる。
３値画像メモリおよび色相を対応させた炎示装置？例示
したが、こ扛らを使用することなく、２値化４永２よひ
調Ｉ−！Ｉ！和画球から直接診断することもできる。
また３１直化回路、３匝画１家メモリ２よび表示装置に
替えて他の回路または装置を用いることもできる。
替えて他の回路または装置を用いることもできる。
（７）発明の効果
本発明によれは、集積回路の配線パターンの電圧状態を
よｐ詳細に診断することができ、集積回路の動作状況の
端側を容易に行うことができる。
よｐ詳細に診断することができ、集積回路の動作状況の
端側を容易に行うことができる。
第１図は本発明の一実施例としての電子ビーム装置の溝
成會示すブロック回路図、第２図は第１図の装置におけ
る画像処理回路のブロック回路図、第３図は第１図の装
置に２ける２値化像の９１１ｋ示す図、第４図は第２図
における３値化回路の処理手順を示す説明図、２よび第
５図は第２図の回路の処理連杵を説明−ｒる図である。 １・・・フレーム走丘糸、 ２・・・電子ビーム、 ３・・・集積回路、 ４・・・２次市子、 ５・・・検知器、 ６・・・２値化回路、 ７・・・ｌＩ！ｊ１１ダ処理回路、 ８・・・座！助し！ｊ回路、 ９・・・３′１直画隊メモリ１ １０・・・衣ボ装置、 １１ ・・・市１］１珪４＋装置ｕ ％１２・・・電子
レンズ、 １３°−＝１帰回器、 １４・・・ブランカ、 １５・・・、ｂ、子、統、 １６・・・螺子ビーム元学説局、 １７・・・試材ステージ、 ７１．７２°°゛画隊メモリ選択スイッチ、７３・・・
２胆画１駅メモリ、 ７４・・・ｊ＋ｉｉｉ理昶用ｌＩ！！１像メモリ、７５
・・・３値化回路。 第１図 第２図 ３７４ １ ．７５ ＝１＝ ７２ ° ９ １Ａｃ晶 第３図 第４図 Ａ ０＋１ Ｂ ＯＯｉ （ＬＳＢ） Ｃ１０１（ＭＳＢ）
成會示すブロック回路図、第２図は第１図の装置におけ
る画像処理回路のブロック回路図、第３図は第１図の装
置に２ける２値化像の９１１ｋ示す図、第４図は第２図
における３値化回路の処理手順を示す説明図、２よび第
５図は第２図の回路の処理連杵を説明−ｒる図である。 １・・・フレーム走丘糸、 ２・・・電子ビーム、 ３・・・集積回路、 ４・・・２次市子、 ５・・・検知器、 ６・・・２値化回路、 ７・・・ｌＩ！ｊ１１ダ処理回路、 ８・・・座！助し！ｊ回路、 ９・・・３′１直画隊メモリ１ １０・・・衣ボ装置、 １１ ・・・市１］１珪４＋装置ｕ ％１２・・・電子
レンズ、 １３°−＝１帰回器、 １４・・・ブランカ、 １５・・・、ｂ、子、統、 １６・・・螺子ビーム元学説局、 １７・・・試材ステージ、 ７１．７２°°゛画隊メモリ選択スイッチ、７３・・・
２胆画１駅メモリ、 ７４・・・ｊ＋ｉｉｉ理昶用ｌＩ！！１像メモリ、７５
・・・３値化回路。 第１図 第２図 ３７４ １ ．７５ ＝１＝ ７２ ° ９ １Ａｃ晶 第３図 第４図 Ａ ０＋１ Ｂ ＯＯｉ （ＬＳＢ） Ｃ１０１（ＭＳＢ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、′ｍ子ビーム元学説間、果顆１ｕ路を拾滅して・１
多励町目眩な試料ステージ、該呆鞘回路全駆動するため
の１易勤回路、該１１躯勤回路に信号を与えるための入
力データ列全８ｃ′１意する記１．＠装置ａ１２よび該
記１急装置全包言し、前記電子ビーム元学儲簡１．駆動
回路および記撹装置鉦を側１即する制御卸装置を其姉す
る成子ビーム装置に２いて、該集積回路の同−鋼酸の、
動作状／さの異々／）酸敗の電圧渾データから、各々の
２１１１化欺ナータ葡求める手段２よひ該２値化稼の１
釉牌和の１＃像データ全求める手段？設６ブたことを神
仏とする電子ビーム装置０ ２、該′電子ビーム装置に２いて、咲論理和画稼データ
と該各々の２領化１グテータから３１直化陳データ全求
める手段ケさらに共面する躬゛１汗Ｍ求の範囲第１項Ｖ
こ記載の重子ビーム装亘０ ３、該′電子ビーム装置に２いて、該３ ＩＨｐｉ化］
家デーｌの３）の値に共なる色相全対応させて画像表示
する手段を設けｆｃ特許請求の範囲第２項に記載の電子
ビーム８直。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58007447A JPS59134846A (ja) | 1983-01-21 | 1983-01-21 | 電子ビ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58007447A JPS59134846A (ja) | 1983-01-21 | 1983-01-21 | 電子ビ−ム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59134846A true JPS59134846A (ja) | 1984-08-02 |
| JPH0363214B2 JPH0363214B2 (ja) | 1991-09-30 |
Family
ID=11666086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58007447A Granted JPS59134846A (ja) | 1983-01-21 | 1983-01-21 | 電子ビ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59134846A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4733174A (en) * | 1986-03-10 | 1988-03-22 | Textronix, Inc. | Circuit testing method and apparatus |
| WO2012011579A1 (ja) * | 2010-07-23 | 2012-01-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 病理組織画像の領域分割画像データ作成システム及び病理組織画像の特徴抽出システム |
-
1983
- 1983-01-21 JP JP58007447A patent/JPS59134846A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4733174A (en) * | 1986-03-10 | 1988-03-22 | Textronix, Inc. | Circuit testing method and apparatus |
| WO2012011579A1 (ja) * | 2010-07-23 | 2012-01-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 病理組織画像の領域分割画像データ作成システム及び病理組織画像の特徴抽出システム |
| US9031294B2 (en) | 2010-07-23 | 2015-05-12 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Region segmented image data creating system and feature extracting system for histopathological images |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0363214B2 (ja) | 1991-09-30 |
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