JPS59128420A - Thermostatic chamber - Google Patents

Thermostatic chamber

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Publication number
JPS59128420A
JPS59128420A JP58003886A JP388683A JPS59128420A JP S59128420 A JPS59128420 A JP S59128420A JP 58003886 A JP58003886 A JP 58003886A JP 388683 A JP388683 A JP 388683A JP S59128420 A JPS59128420 A JP S59128420A
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JP
Japan
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sample
heat distribution
thermostatic chamber
infrared sensor
temperature
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Application number
JP58003886A
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Japanese (ja)
Inventor
Yuji Aonuma
青沼 裕二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/48Thermography; Techniques using wholly visual means

Abstract

PURPOSE:To enable to measure and monitor the heat distribution of a smaple witout contact, by providing an infrared ray sensor in a thermostatic chamber. CONSTITUTION:Infrared ray emitted from a sample in a thermostatic chamber 1 are detected by an infrared ray sensor 2. The range of heat distribution measurement of a sample 10 is set by a measuring range determining means 5. The heat distribution of the sample, which also corresponds to the state of the inside of the sample, is measured by a heat distribution measuring means 6 without contact, based on the scanning of the sample by the sensor 2. The thermal image of the sample based on the measured heat distribution values is displayed by a CRT9 through an image processing means 8 and monitored. A heater 3 and a cooler 4 are controlled through a thermostatic chamber control means 7, which operates in correspondence with the means 6, and repeated environmental tests under the desired program can be performed.

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は試料の熱分布を測定するための恒温槽に関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a constant temperature bath for measuring heat distribution of a sample.

一般に試料の電気的特性を評価する上で、恒温槽を用い
た高温保持、温度サイクルなどの環境試験が多〈実施さ
れている。その試験中、試料に不良が生じた時、その不
良が熱、温度に依存する不良箇所であった場合、その試
料の熱分布測定を行うことにより、不良箇所例えば異物
の混入位置。
Generally, in order to evaluate the electrical characteristics of a sample, many environmental tests such as high temperature holding using a constant temperature bath and temperature cycling are carried out. During the test, if a defect occurs in the sample and the defect is in a defective location that depends on heat or temperature, the defective location, such as the location of foreign matter, can be determined by measuring the heat distribution of the sample.

大きさ、形状などを視覚上推定することができる。Size, shape, etc. can be estimated visually.

このような事から熱分布測定が必要となってくる。For this reason, heat distribution measurement becomes necessary.

この種の従来の熱分布測定としては、恒温槽内の試料の
複数箇所に、サーミスタ又は熱電対を取り付け、環境試
験を通してサーミスタ又は熱電対の出力を温度記録装置
に記録させその記録結果を基にして、熱分布を推定する
方法であった。
This type of conventional heat distribution measurement involves attaching thermistors or thermocouples to multiple locations on a sample in a thermostatic oven, and recording the output of the thermistors or thermocouples on a temperature recording device through an environmental test, based on the recorded results. This was a method for estimating heat distribution.

上記方法では直接接触による点計測であるために、試料
の表面温度しか測定できず、内部の熱分布まで推定でき
なかった。
In the above method, since point measurement is performed by direct contact, only the surface temperature of the sample can be measured, and the internal heat distribution cannot be estimated.

この発明は以上のような問題を改善するためになされた
ものであり、赤外線センサを恒温槽内に設けることによ
り、試料の熱分布を非接触で測定し、モニターすること
ができるようにした恒温槽を提供するものである。
This invention was made to improve the above-mentioned problems, and by installing an infrared sensor in a thermostatic chamber, it is possible to measure and monitor the heat distribution of a sample without contact. It provides a tank.

第1図はこの発明による恒温槽の一実施例の全体構成図
である。この実施例は第1図から明らかなように恒温槽
(1)内の試料から数品される赤外線エネルギー量を検
出する赤外線センサ(2)と恒温槽(1)内の温度を加
熱する加熱器(3)と温度を冷却する冷却器(4)とを
設け、この赤外線センサ(2)の検出信号を入力とする
測定範囲決定手段(5)によって試料の熱分布測定範囲
の設定をする。その出力に基づき熱分布測定手段(6)
で槽内の試料の赤外線エネルギー量を測定する。その測
定結果をレベル判定し画像処理手段(8)によってCR
T f91にモニターする。
FIG. 1 is an overall configuration diagram of an embodiment of a constant temperature bath according to the present invention. As is clear from Fig. 1, this embodiment includes an infrared sensor (2) that detects the amount of infrared energy from several samples in a thermostatic oven (1), and a heater that heats the temperature inside the thermostatic oven (1). (3) and a cooler (4) for cooling the temperature, and the measurement range determination means (5) which receives the detection signal of the infrared sensor (2) as input sets the heat distribution measurement range of the sample. Heat distribution measuring means (6) based on its output
Measure the amount of infrared energy of the sample in the tank. The measurement result is level judged and CR is determined by the image processing means (8).
Monitor T f91.

この画像処理手段(8)の出力に基づいて恒温槽(1)
の加熱器(3)と冷却器(4)並びにプログラム運転を
恒温槽制御手段(7)により制御するように構成されて
いる。
Based on the output of this image processing means (8),
The heater (3), the cooler (4), and the programmed operation are controlled by a constant temperature oven control means (7).

第2図は、第1図の実施例に使用される恒温槽の本体図
である。図中叫は試料で赤外線センサ(2)と共に恒温
槽+11内に設置されている。αBは恒温槽(1)内の
温度を設定するための加熱器(3)と冷却器(4)の熱
冷気を槽内に拡はんさせるファン、 (121は恒温槽
自体のプログラムを実行制御しているプログラムマツチ
ングユニット、03)はメータ式の温度指示器、0勾は
恒温槽の電源スィッチ、 1151は恒温槽の温度を記
録するペン書きレコーダ式記録計である。
FIG. 2 is a main body view of the thermostatic oven used in the embodiment of FIG. 1. In the figure, the sample is placed in a thermostatic oven +11 together with an infrared sensor (2). αB is a fan that spreads hot and cold air from the heater (3) and cooler (4) to set the temperature inside the thermostatic oven (1); (121 is a control for executing the program of the thermostatic oven itself) The program matching unit 03) is a meter-type temperature indicator, the 0 slope is a power switch for the thermostatic chamber, and 1151 is a pen-recorder type recorder that records the temperature of the thermostatic chamber.

第3図は第1図の実施例の電気接続を示す回路図である
。図中、(9)はCRT、(15)はマイクロコンピュ
ータのCPU、αηは信号を判別するインターフェース
、囮はデータを記憶するメモリ。09はタイマーで恒温
槽(1)のプログラム運転の時間の制御を行うものでプ
ログラムマツチングユニットα2と接続されている。@
)は加熱器(3)の切換スイッチ。
FIG. 3 is a circuit diagram showing the electrical connections of the embodiment of FIG. 1. In the figure, (9) is a CRT, (15) is a microcomputer CPU, αη is an interface for determining signals, and a decoy is a memory for storing data. A timer 09 controls the program operation time of the thermostatic chamber (1), and is connected to the program matching unit α2. @
) is the changeover switch for heater (3).

C旧ま冷却器(4)の切換スイッチで(支))、 (2
1+ともファン圓に接続されていると同時にプログラム
マッチングユニッI−(12+により制御される。@は
試料0〔から放出される赤外線エネルギー量を赤外線セ
ンサ(2)で検出し−た検出出力が入力されるアナログ
マルチプレクサ、關はその出力をディジタルに変換する
4勺変換器であり、その出力はインターフェース0ηを
通ってc p U (161に与えられる。
With the changeover switch of the cooler (4),
Both 1+ and 1+ are connected to the fan circle and are controlled by the program matching unit I- (12+). The connected analog multiplexer is a 4-channel converter that converts its output to digital, and the output is given to c p U (161) through the interface 0η.

(財)はCRT <91に再生された熱像の測定範囲を
可変させるための操作機構であり、これもX、  Y方
向に一定間隔で移動するように制御されている。
(Incorporated) is an operating mechanism for varying the measurement range of a thermal image reproduced on a CRT <91, and this is also controlled to move at regular intervals in the X and Y directions.

次に上記実施例の動作を第3図、第4図及び第6図を参
照しながら説明する。第4図はマイクロコンピュータの
メモリαQに記憶された実行プログラムを示すフローチ
ャー1・、第5図は恒温槽(1)内の試料(10)の放
出された赤外線エネルギー量を赤外線センサ(2)で検
出された出力の温度レベルの判定を説明する図、第6図
は測定範囲決定手段(5)、熱分布測定手段(6)、恒
温槽制御手段(7)1画像処理手段(8)、  CRT
jg)の各スターI・及びタイミングパルスの動作説明
図である。
Next, the operation of the above embodiment will be explained with reference to FIGS. 3, 4, and 6. Figure 4 shows flowchart 1 showing the execution program stored in the memory αQ of the microcomputer, and Figure 5 shows the amount of infrared energy emitted from the sample (10) in the thermostatic oven (1) using the infrared sensor (2). FIG. 6 is a diagram illustrating the determination of the temperature level of the output detected by the measurement range determining means (5), heat distribution measuring means (6), thermostat control means (7), image processing means (8), CRT
FIG. 3 is an explanatory diagram of the operation of each star I and timing pulse of FIG.

まず、プログラムをスタートさせるとステップ(5)に
より恒温槽(1)のスタートパルスPtaがHIGHレ
ベル(以下HIという)になると同時にプログラムマツ
チングユニット(2)を通してタイマー(1!llのタ
イミングパルスPxl)がHIになる。そしてステップ
(26)により予じめ設定した試験のモニター開始時間
になるまで、タイマータイミングパルスPtb#″−H
I状態を保ち、タイマータイミングパルスPt1)がL
OWレベル(以下LOWという)になった時、試験のモ
ニター開始時間になる。規定の温度サイクルを繰り返す
ために加熱器スタートパルスPz1と冷却器スタートパ
ルスPH)が同時に発生し、 PzaとP2bが同期し
て、 HI、 LOW状態を繰り返し、これにより加熱
器+a+と冷却器(4)のスイッチ(20)、 (21
1の0NOFFをさせ、規定のサイクル時間を繰り返す
First, when the program is started, the start pulse Pta of the thermostatic chamber (1) goes to HIGH level (hereinafter referred to as HI) in step (5), and at the same time a timer (1!ll timing pulse Pxl) is sent through the program matching unit (2). becomes HI. Then, in step (26), the timer timing pulse Ptb#''-H is applied until the preset test monitoring start time is reached.
I state is maintained, and the timer timing pulse Pt1) is L.
When the level reaches OW (hereinafter referred to as LOW), it is time to start monitoring the test. In order to repeat the specified temperature cycle, heater start pulse Pz1 and cooler start pulse PH) are generated at the same time, Pza and P2b are synchronized and repeat the HI and LOW states, which causes heater +a+ and cooler (4 ) switches (20), (21
1 0NOFF and repeat the specified cycle time.

次にステップ−によりCRTスタートパルスPa2がH
IになるとCRT j91の内部で画像調整され。
Next, in step -, the CRT start pulse Pa2 is set to H.
When it becomes I, the image is adjusted inside the CRT j91.

CP U (161により試料−の測定範囲が設定され
ると同時にCPUα6)によりサンプリングスキャンパ
ルスP3bが発生される。
At the same time as the sample measurement range is set by the CPU 161, the CPU α6 generates a sampling scan pulse P3b.

ステップ(至)によって試料−の熱分布データレベル検
出が赤外線センサ(2)によって行われる。ここでステ
ップ(2)で、赤外線センサ(2)によって得られた熱
分布データをステップ(支)によってCRT j9)に
モニターされる。次にステップ(社)により赤外線セン
サ(2)を操作機構(至)で試料に対応して、XY方向
に一定間隔にスキャンさせるためにサンプリングスキャ
ンパルスPabが一定間隔でHI、 LOWを繰り返す
In step (to), detection of the thermal distribution data level of the sample is performed by the infrared sensor (2). Here, in step (2), heat distribution data obtained by the infrared sensor (2) is monitored by the CRT j9). Next, in order to cause the infrared sensor (2) to scan the infrared sensor (2) at regular intervals in the X and Y directions using the operating mechanism (to) at regular intervals, the sampling scan pulse Pab repeats HI and LOW at regular intervals.

このサンプリングスキャンパルスPabと同時にサンプ
リングパルスP4Bが発生し、同期してHI。
At the same time as this sampling scan pulse Pab, sampling pulse P4B is generated and becomes HI in synchronization.

LOWをCRTスタートパルスPs3がLOWになる時
間まで繰り返し行い、上記熱分布データをCRT(9)
にモニターさせる。
LOW is repeated until the time when the CRT start pulse Ps3 becomes LOW, and the above heat distribution data is transferred to the CRT (9).
be monitored.

ステップGυによりサンプリングスキャンパルスPab
とサンプリングパルスPa、1がLOWになると。
By step Gυ, sampling scan pulse Pab
When the sampling pulse Pa,1 becomes LOW.

サンプリング終了を検知する。そしてステップ(3渇に
よりCRTスタートパルスP3aがLOWになるとCR
T j91のモニターがOFFになる。次にステップ(
至)によりモニター最終時間のモニターが終了するまで
ステップ(イ)〜關を繰り返す。そしてタイマータイミ
ングパルスPlbがHIになることにより最終時間のモ
ニターを検知しPsa+  P2a+  P2b、  
P3aPab、  Piaの各パルスが停止し、全ての
動作がストップする。そして改たなスタートに備える。
Detects the end of sampling. Then, step (3) When the CRT start pulse P3a becomes LOW due to
T j91's monitor turns off. Then step (
Steps (a) to (b) are repeated until the final monitoring time is completed. Then, when the timer timing pulse Plb becomes HI, the final time monitor is detected and Psa+P2a+P2b,
Each pulse of P3aPab and Pia stops, and all operations stop. And prepare for a new start.

次に熱分布データレベル検出について第5図。Next, Fig. 5 shows the detection of heat distribution data level.

第7図及び第8図を用いて説明する。まず第5図(イ)
において(至)は円筒形の部品の断面1例えば固定抵抗
器の断面の熱分布データレベル検出を行った時のCRT
 j9)にモニターされた熱像である。 (35)は低
温部で、第5図(ロ)においてDlに相当する波形で。
This will be explained using FIGS. 7 and 8. First, Figure 5 (a)
In (to) is a cross section of a cylindrical part 1, for example, a CRT when detecting the level of heat distribution data of a cross section of a fixed resistor.
This is a thermal image monitored by j9). (35) is a waveform corresponding to Dl in FIG. 5(b) at the low temperature section.

レベルとしては、L(LOW)の範囲に出力され。The level is output in the L (LOW) range.

CRT 191に淡色でモニターされる。((財)は中
温部で。
It is monitored in light color on CRT 191. (Foundation) is in the middle temperature section.

第5図(ロ)においてはD2に相当する波形でレベルと
しては、 M (MIDDLE)の範囲に出力され、中
濃色でCRT 191にモニターされる。(資)は高温
部で第5図(ロ)において、 Daに相当する波形で、
レベルとしては、 H(HI)の範囲に出力され、CR
T!9)に濃厚色でモニターされる。この温度レベルL
、 M。
In FIG. 5(b), the waveform corresponding to D2 is outputted at a level in the range of M (MIDDLE), and is monitored on the CRT 191 in a medium-dark color. (Ma) is the waveform corresponding to Da in Figure 5 (B) at the high temperature section,
The level is output in the H (HI) range, and CR
T! 9) is monitored in deep color. This temperature level L
, M.

Hの温度範囲を設定することでD1〜D3のような温度
検出信号が範囲内に電圧波形として得られる。
By setting the temperature range H, temperature detection signals such as D1 to D3 can be obtained as voltage waveforms within the range.

次に第7図と第8図で、実際の環境試験によるC RT
 j91にモニターされた試料ααの熱像の変化並びに
異常箇所について説明する。第7図はCRT(9)上に
モニターされている常温時における熱像を示す図である
Next, in Figures 7 and 8, C RT
Changes in the thermal image of sample αα monitored by j91 and abnormal locations will be explained. FIG. 7 is a diagram showing a thermal image at room temperature monitored on the CRT (9).

■は固定抵抗器の成形されたモールド樹脂、 +391
は、抵抗体(図示せず)とリード線(仰を接続するだめ
のキャップ、 (411は固定抵抗器内のモールド樹脂
(381の中に混入している異物であるが、モニター上
よくわからない状態になっている。
■ is the molded resin of the fixed resistor, +391
is a cap that connects the resistor (not shown) and the lead wire (back); (411 is a foreign object mixed in the molded resin (381) in the fixed resistor, but it is not clearly visible on the monitor. It has become.

第8図は環境試験中の試料で加熱された時の熱像である
FIG. 8 is a thermal image when the sample was heated during an environmental test.

(381は低温になっており、淡色でモニターされてい
るモールド樹脂の部分である。
(381 is the part of the mold resin that is at a low temperature and is monitored in light color.

(39)は中温にな・りており、中濃色でモニターされ
ているキャップの部分である。
(39) is the part of the cap that is at medium temperature and is monitored in medium dark color.

(40)は加熱によって高温になっており、濃厚色でモ
ニターされているリード線の部分である。
(40) is a portion of the lead wire that has reached a high temperature due to heating and is monitored in a dark color.

(41)はモールド樹脂(38)内に混入されている異
物であり、温度をかける前では、存在が良くわからなか
った異物(41)である。このように熱に反応して異物
(41)がCRT(9)にモニターされた時にはっきり
とその混入されている位置、大きさ、形状がわかるよう
になる。このように常温と加熱試験中の熱像は変化する
。さらに1回路(42)で試料(10)に定格電力を印
加することにより内部からも電流によって熱をかけるこ
とができるので、一層、異物(41)の発見を早める効
果につながる。
(41) is a foreign substance mixed in the mold resin (38), and its existence was not well known before the temperature was applied. In this way, when the foreign matter (41) reacts to heat and is monitored by the CRT (9), the location, size, and shape of the foreign matter can be clearly seen. In this way, the thermal images at room temperature and during the heating test change. Furthermore, by applying the rated power to the sample (10) with one circuit (42), heat can be applied from the inside by the electric current, which leads to the effect of further speeding up the discovery of the foreign object (41).

尚、前記実施例は固定抵抗器だけであったが他の部品に
も同じように利用できる例えば、プリント基板のパター
ン、スルホールなどの異常箇所。
Although the above embodiment was limited to fixed resistors, it can be used for other parts as well, such as patterns on printed circuit boards, through-holes, and other abnormal locations.

短絡、パターン切れ、異物混入等の発見、リレーの動作
試験中の溶着などの溶着温度の測定、温度ヒユーズの評
価試験の一環として規定温度で切断するかどうかの確認
、又、実装上のユニット等の熱設計においての確認、経
年変化等の測定等のこれらについても前述したのと同様
にできる。
Discovery of short circuits, pattern breaks, foreign matter contamination, etc., measurement of welding temperature during relay operation tests, confirmation of whether or not disconnection occurs at the specified temperature as part of temperature fuse evaluation tests, and mounting units, etc. Confirmation of thermal design, measurement of changes over time, etc. can be done in the same way as described above.

以上のようにこの発明によれば、恒温槽内の試料を自動
的に赤外線センサにより、赤外線エネルギー量を測定す
る手段を設け、その測定結果をCRTにモニターするよ
うに構成したので、測定する試料を非接触で、全箇所を
表面、内部共に人為的誤操作等の不都合を回避しながら
、熱分布状態を検出信号のレベルで判定し、その結果を
色の濃淡でCRTにモニターしながら、環境試験等を行
い、尚かつその場での不良発生時に視覚上の確認ができ
る。
As described above, according to the present invention, a means is provided to automatically measure the amount of infrared energy of a sample in a thermostatic chamber using an infrared sensor, and the measurement results are monitored on a CRT. Environmental tests can be carried out by non-contact, while avoiding inconveniences such as human error on all surfaces and internal parts, determining the state of heat distribution based on the level of the detection signal, and monitoring the results on a CRT using color shading. In addition, visual confirmation can be made when a defect occurs on the spot.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明による恒温槽の一実施例の全体構成図
、第2図は恒温槽本体の構成図、第3図は第1図の電気
接続を示す回路図、第4図は第3図の動作を示すフロー
チャー1・図、第5図は第4図、第6図で得られた検出
信号の波形のレベルと色の濃淡の関係とその測定範囲を
説明する図、第6図は第3図と第4図のパルス動作を説
明する図。 第7図と第8図は、熱像の変化と異常箇所の発見を説明
する図である。 図中、(1)は恒温槽、(2)は赤外線センサ、(3)
は加熱器、(4)は冷却器、(5)は測定範囲決定手段
、(6)は熱分布測定手段、(7)は恒温槽決定手段、
(8)は画像処理手段、(9)はCRT、α0)は試料
、α2はプログラムマッチングユニッI−,(16)は
マイクロコンピュータのCPU、(lりはインターフェ
ース、 (1B+はメモリ。 0翅はタイマー、(イ)は加熱器のスイッチ、(2υは
冷却器のスイッチ、 (22)はアナログマルチプレク
サ、’(231はへの変換器、(財)は操作機構、 (
38)はモールド樹脂。 (39)は抵抗器のキャップ、 (40)は抵抗器のリ
ード線。 (41)は異物である。尚9図中同一符号は同−又は相
当部分を示す。 代理人 葛 野 信 − 第1図 二] 二上。 2 73 74 〜15 第4図 スタート 恒蓋糟  25 人ダート NOニター 1rる時間か ES CRT入り叶 画像調整 ”  −”   2.!? レベル検出 0尺丁 モニタ セ\ノサ VV−7うシ鳥ッ\ノ 第 7 図 第8図
FIG. 1 is an overall configuration diagram of an embodiment of a thermostatic chamber according to the present invention, FIG. 2 is a configuration diagram of the thermostatic chamber main body, FIG. 3 is a circuit diagram showing the electrical connections of FIG. Flowchart 1/Figure 5 shows the operation shown in Figures 4 and 6. Figure 5 is a diagram explaining the relationship between the level of the waveform of the detection signal obtained in Figures 4 and 6 and the shade of color, and its measurement range. 4 is a diagram explaining the pulse operation of FIGS. 3 and 4. FIG. FIGS. 7 and 8 are diagrams for explaining changes in thermal images and discovery of abnormal locations. In the figure, (1) is a constant temperature bath, (2) is an infrared sensor, and (3)
is a heater, (4) is a cooler, (5) is a measurement range determining means, (6) is a heat distribution measuring means, (7) is a constant temperature oven determining means,
(8) is the image processing means, (9) is the CRT, α0 is the sample, α2 is the program matching unit I-, (16) is the CPU of the microcomputer, (l is the interface, (1B+ is the memory. Timer, (a) is the heater switch, (2υ is the cooler switch, (22) is the analog multiplexer, '(231 is the converter, (goods) is the operating mechanism, (
38) is mold resin. (39) is the resistor cap, (40) is the resistor lead wire. (41) is a foreign substance. Note that the same reference numerals in Figure 9 indicate the same or equivalent parts. Agent Shin Kuzuno - Figure 1 2] Futagami. 2 73 74 ~ 15 Figure 4 Start 25 people Dirt NO monitor 1r time ES CRT image adjustment "-" 2. ! ? Level detection 0 shakucho monitor set\Nosa VV-7 Ushitori\no No. 7 Figure 8

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] その内部に試料を取付け、試料の熱分布を測定するため
の恒温槽において、前記恒温槽の内壁に取り付けられ、
上記試料が放出する赤外線エネルギー量を総体的に、検
出する赤外線センサ、この赤外線センサの検出信号を入
力とし、赤外線センサの検出範囲を決定する測定範囲決
定手段、上記赤外線センサを上記試料上にスキャンさせ
るとともに上記迎j定範囲決定手段の出力に基づき、上
記恒温槽内の試料の赤外線エネルギー量を測定する熱分
布測定手段、この熱分布測定手段の出力に基づき、上記
恒温槽の加熱器と冷却器の切換えおよび測定時間の開始
又は終了を検知する恒温槽制御手段、上記熱分布測定手
段により測定された赤外線エネルギー量の検出信号を画
像処理して熱像に再生する画像処理手段、この画像処理
手段の出力に基づき、上記試料の熱分布を熱像として表
示する表示器とを備えた恒温槽。
attached to the inner wall of the thermostatic chamber in which a sample is mounted and the heat distribution of the sample is measured;
an infrared sensor that detects the overall amount of infrared energy emitted by the sample; a measurement range determining means that receives the detection signal of the infrared sensor as an input and determines the detection range of the infrared sensor; and scans the infrared sensor over the sample. and a heat distribution measuring means for measuring the amount of infrared energy of the sample in the thermostatic chamber based on the output of the predetermined range determining means; a thermostat control means for detecting switching of the device and the start or end of the measurement time; an image processing means for performing image processing on the detection signal of the amount of infrared energy measured by the heat distribution measuring means and reproducing it into a thermal image; and a display device that displays the heat distribution of the sample as a thermal image based on the output of the means.
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JP58003886A Pending JPS59128420A (en) 1983-01-13 1983-01-13 Thermostatic chamber

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JP (1) JPS59128420A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5335308A (en) * 1992-05-04 1994-08-02 Bgk Finishing Systems, Inc. Movable heat treat apparatus with sighting means

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5335308A (en) * 1992-05-04 1994-08-02 Bgk Finishing Systems, Inc. Movable heat treat apparatus with sighting means

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