JPS59102809A - β型炭化ケイ素粉末の製造方法 - Google Patents

β型炭化ケイ素粉末の製造方法

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JPS59102809A
JPS59102809A JP57208958A JP20895882A JPS59102809A JP S59102809 A JPS59102809 A JP S59102809A JP 57208958 A JP57208958 A JP 57208958A JP 20895882 A JP20895882 A JP 20895882A JP S59102809 A JPS59102809 A JP S59102809A
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JP
Japan
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particle
particle diameter
silicon carbide
powder
sic
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JP57208958A
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Hideo Nagashima
長島 秀夫
Hideyasu Matsuo
松尾 秀逸
Yukifumi Sakai
幸文 酒井
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Coorstek KK
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Toshiba Ceramics Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は焼結し易い炭化ケイ素粉末に関するものであ
る。
炭化ケイ素は一般のセラミック材料の中では焼結が困難
な材料の代表的なものである。従来はアチソーン法で合
成された粒子を粉砕し、これを炭素含有物質で結合し、
この炭素を炭化珪素化することによって得る方法、ある
いは炭化ケイ素粉末の成形体を81によって結合する方
法等が知られている。最近これをB2O3等の焼結助剤
を使用して結合する方法も開発されるようになって来た
が、いづハも焼成温度が高(、かつ成形体の寸法精度等
の点で必ずしも満足すべきものではなかった。又、粒径
についても、アチンーン法によって得られた炭化ケイ素
は塊状のものを粉砕するため微粉が得にくいばかりでな
(粒径がそろったものは入手が困難であった。
一方、SiガスとCを含むガスとをプラズマ雰囲気下で
反応合成したものは微粉は得られるものの01μ左あま
りにも細かすぎるものしか得ら八ず、好ましい焼結強度
を有する成形体とすることは困難であった。
この発明は焼結に際し、原料となる炭化ケイ素粉末の性
状について種々検討し、これが焼結体強度に太き(影響
し、かつ成形性の良好なものを得るために必要なもので
あることを見い出した結果なされたものである。
即ち、粒形が比較的球形に近(、かつ適当な大きさが必
要であることを見い出したもので、その結果、得られる
成形体の品質安定性2作業性が著しく改善されたもので
ある。
以下にこの発明の詳細な説明する。
実施例 CH3S i ct3を蒸気化しアルゴンガスをキャリ
ヤーガスとして1550〜2100℃の反応室にH2ガ
スと共に導入した。ノズル前方で炭化ケイ素が連続的に
形成され、反応室内に堆積した。比較のため1500℃
以下および2100℃以上の温度で反応させたものは1
500℃以下では炭化ケイ累の収率が悪く、又、210
0℃以上では極端に細かくなり、又、熱エネルギーが必
要以上多(なり好ましくない。得られた粉末を、アチソ
ン法による粉砕粉(比較例1.2)、プラズマ法による
粉末(比較例3)、低温(1500℃)で合成した粉末
(比較例4)と共にそれぞれの平均粒子径1粒子の最大
直径と最小直径の比の平均値、粘結済添加率、焼結体強
度を測定した結・ 果を次表に示す。
平  均 最大直径/ 粘結法 焼結体強度粒子径(μ
)最小直径 添加率%   (yrpa)実施例1  
0.30    1.3    22  350〜50
02   0.40      1.2       
23    360〜4803  0.70    1
.2    21  330〜500比較例1  0.
40    1.6    25  250〜5202
  0.45    1.9    29  200〜
4803   0.15      1.2     
 25   250〜4004  0.80    1
.2    20  150〜300(、得られる製品
の信頼性に欠ける。比較例3のものは粒径が細かすぎ作
業性も困難であった。
又、比較例4のものは粒径が太き(強度が低い。
以上の結果からも明らかなように、平均粒子径が02〜
0.7μの範囲のものであって、かつ粒子の形状が比較
的球形(最大直径/最小直径=1)に近いものは同一の
成形条件で焼結したもののうち強度も高(かつ製品間に
バラツキの少ない、即ち信頼性の高いものが得られる。
手続補正書 昭和58年1月26日 特許庁長官 若杉和夫 殿 1、事件の表示 特願昭57−208958号 2、発明の名称 易焼結性β型炭化ケイ素粉末 3、補正をする者 事件との関係   特許出願人 〒160  東京都新宿区西新′F51丁目26番2号
4、自発補正 5、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄 明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 (1)明細書中特許請求の範囲を別紙の如く訂正する。
(2)明細書中箱1頁15行口重及び第2頁4行目にお
いて、「アチソーン法」とあるを「アチソン法」と訂正
する。
別紙 2、特許請求の範囲 (1)ハロゲン化シラン産−熱分解して得た炭化ケイ素
粉末の平均粒径が0.2〜0.7μの範囲内であって、
かつ各粒子の最大粒往と最小粒径との比率の平均が1.
1〜1.4であることを特徴とする易焼結性β型炭化ケ
イ素粉末。
43−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  ハロゲン化シランと熱分解して得た炭化ケイ
    素粉末の平均粒径が0.2〜0.7μの範囲内であって
    、かつ各粒子の最大粒径と最小粒径との比率の平均が1
    1〜1.4であることを特徴とする易焼結性β型炭化ケ
    イ素粉末。
JP57208958A 1982-11-29 1982-11-29 β型炭化ケイ素粉末の製造方法 Granted JPS59102809A (ja)

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JPH0114168B2 JPH0114168B2 (ja) 1989-03-09

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5178847A (en) * 1988-11-30 1993-01-12 Kemira Oy Process for producing ceramic raw materials
WO2012121060A1 (ja) 2011-03-08 2012-09-13 信越化学工業株式会社 易焼結性炭化ケイ素粉末及び炭化ケイ素セラミックス焼結体

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