JPS5874039A - アライメントマ−クの検出方法 - Google Patents
アライメントマ−クの検出方法Info
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- JPS5874039A JPS5874039A JP56172458A JP17245881A JPS5874039A JP S5874039 A JPS5874039 A JP S5874039A JP 56172458 A JP56172458 A JP 56172458A JP 17245881 A JP17245881 A JP 17245881A JP S5874039 A JPS5874039 A JP S5874039A
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- signal
- alignment mark
- alignment
- wafer
- mark
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7069—Alignment mark illumination, e.g. darkfield, dual focus
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7073—Alignment marks and their environment
- G03F9/7076—Mark details, e.g. phase grating mark, temporary mark
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発＠は、レーずビーム等でマスタとクエ＾−上署；櫓
い九アラ、イメンシマークを走査し、てマスタとウェハ
ーとの位置４會せを行なう、ためのアライメンシマーク
の検出方機龜；調するｔのである。
い九アラ、イメンシマークを走査し、てマスタとウェハ
ーとの位置４會せを行なう、ためのアライメンシマーク
の検出方機龜；調するｔのである。
、半導体躾造工程１；於けるマス７タとウェハーとの・
アライメントマ、−夕の従来の位置合せ装置は１例えば
第１１１４：、示すよう１；構成・されていて、レーず
光１１１１本ｐ発したレーずビームＬで、ポ啼プン電う
−２・及びビームスプリッタｉ・を介して、マスタ４、
及びステージＳ上Ｃ；載置され九りエハー６のアテイメ
ントマータＭ％Ｗを走査し、アツイメン、）！−タＭ％
Ｗからの歓１光をＩＩＡ党しνズ７を介して光電検出＠
ｐ ｒ−よって検出するようｒ−なっている、＊出さ
れた信号は制御、ａ路９Ｎ＝ｆｉもれ、制御−路９は、
この信号からマスタ４とクエＡ−６との変位量を算出し
、Ｘ、Ｙ方向暑；ステージＳを駆動させる駆動モータ１
Ｇ、１１１び一転方向（；厘−する駆動令−タ１２値；
よってクエＡ−６を移動し、アライメントマータＭ％Ｗ
岡本の位置会せを行なう、然し、一段暑；レーずビーム
Ｌは第２図暑；示すよう４；例えばウェハー６［株］；
於いてはそのアライメントマータＷ以外の部分も矢印方
向暑方向６；走査すること暑；よ抄、アライメントマー
クＷののポリシンミラー２と同軸で一転する円１［１墨
に設けた小穴１４をツオＦセンｔｌＢで検出し、このツ
オト七ンナ１５からのＩＥ！ｌｆｉ＄）ｔＳ示す信号８
゜から成る時間信号、即ちｗｔｔｒｔａｔｐ）に示すプ
リクインＹｔ信号８會を作動、更にこれかｂアライメン
トマークＷ上をレーダビー＾：Ｌが走査する時間す橿；
椙轟す番りインＦ？信号８・を作）出す、然しクエｌ５
−６は位置会せ前のセット時ζ；は、纂墨−−１；示す
よう橿；整合１れ九檎廟の位置６ａに対し、Ｘ％Ｙ方向
１；６ｂ或いはる＠等のように変位しているのが普通で
−る。＊つてアライメントマークＷの位置も、レーずビ
ームＬのＸＩＩＡ方向の走査に対し、 Ｗｂ 、 Ｗｅ
と変位していることになる。この九めウィンドウ信号Ｓ
、はウェハー６の位置がＸ方向で蛾大書−偏位したと亀
もアライメントマークＷを把先もれるだけの幅Ｃ”：が
必要である。又、このと自アライメントマータＷ以外の
信号がクインドク傅号Ｓ、の期間内に入らないように、
アライメントマークＷａ）左右′に輻ｄ、・の空白の領
域を必要とする。
アライメントマ、−夕の従来の位置合せ装置は１例えば
第１１１４：、示すよう１；構成・されていて、レーず
光１１１１本ｐ発したレーずビームＬで、ポ啼プン電う
−２・及びビームスプリッタｉ・を介して、マスタ４、
及びステージＳ上Ｃ；載置され九りエハー６のアテイメ
ントマータＭ％Ｗを走査し、アツイメン、）！−タＭ％
Ｗからの歓１光をＩＩＡ党しνズ７を介して光電検出＠
ｐ ｒ−よって検出するようｒ−なっている、＊出さ
れた信号は制御、ａ路９Ｎ＝ｆｉもれ、制御−路９は、
この信号からマスタ４とクエＡ−６との変位量を算出し
、Ｘ、Ｙ方向暑；ステージＳを駆動させる駆動モータ１
Ｇ、１１１び一転方向（；厘−する駆動令−タ１２値；
よってクエＡ−６を移動し、アライメントマータＭ％Ｗ
岡本の位置会せを行なう、然し、一段暑；レーずビーム
Ｌは第２図暑；示すよう４；例えばウェハー６［株］；
於いてはそのアライメントマータＷ以外の部分も矢印方
向暑方向６；走査すること暑；よ抄、アライメントマー
クＷののポリシンミラー２と同軸で一転する円１［１墨
に設けた小穴１４をツオＦセンｔｌＢで検出し、このツ
オト七ンナ１５からのＩＥ！ｌｆｉ＄）ｔＳ示す信号８
゜から成る時間信号、即ちｗｔｔｒｔａｔｐ）に示すプ
リクインＹｔ信号８會を作動、更にこれかｂアライメン
トマークＷ上をレーダビー＾：Ｌが走査する時間す橿；
椙轟す番りインＦ？信号８・を作）出す、然しクエｌ５
−６は位置会せ前のセット時ζ；は、纂墨−−１；示す
よう橿；整合１れ九檎廟の位置６ａに対し、Ｘ％Ｙ方向
１；６ｂ或いはる＠等のように変位しているのが普通で
−る。＊つてアライメントマークＷの位置も、レーずビ
ームＬのＸＩＩＡ方向の走査に対し、 Ｗｂ 、 Ｗｅ
と変位していることになる。この九めウィンドウ信号Ｓ
、はウェハー６の位置がＸ方向で蛾大書−偏位したと亀
もアライメントマークＷを把先もれるだけの幅Ｃ”：が
必要である。又、このと自アライメントマータＷ以外の
信号がクインドク傅号Ｓ、の期間内に入らないように、
アライメントマークＷａ）左右′に輻ｄ、・の空白の領
域を必要とする。
例えば、ｇ４ａ６１）ｌ：示すようなアライメントマー
クＭをマスク４に、＄）４：示すようなマークＷをウェ
ハー６ａ：措いて、これを嬉４図Ｑ）のような整合状態
に位置合せしようとする場合電；、轟初は第５１１６１
１） ４’：示すよう攻位置関係にｈ番とする。このと
龜し−ずビームＬの竜査鑑；よ艶検出−８の出力にＩ！
第８１１ ＠ｔｚ示すようなパルス列が得られる。
クＭをマスク４に、＄）４：示すようなマークＷをウェ
ハー６ａ：措いて、これを嬉４図Ｑ）のような整合状態
に位置合せしようとする場合電；、轟初は第５１１６１
１） ４’：示すよう攻位置関係にｈ番とする。このと
龜し−ずビームＬの竜査鑑；よ艶検出−８の出力にＩ！
第８１１ ＠ｔｚ示すようなパルス列が得られる。
このＡ＃ス列−、間隔からマスタ４めマークＭＤｊ準幅
ｆを５ｔａｙ−抽出螢を行ない、マスク４とウェハー６
の変位量を判定するわけであるが、ｍｓ−龜；示すよう
にウェハー６の隣接する例えば次工龜露出用のアライメ
ントマー゛夕腎の信号ｇ１が＆） Ｉ：：示゛すフィン
Ｙり信号８魯の期藺喀内６；入ってくると、有効な信号
□との見極めかつかな（な］位置會せがで會ない、一方
、ウィンドウ信号８ｓとしてはウェハー６を１ツトした
と１龜二最大偏位し、九′鳩合でも、最”％離れたＷｌ
の□信号１雪を橿う幅でいる場合暑；、−接するｊライ
メントマー□りとの関Ｃ；断ｍｅどの境界ｌｌｌＩｈ□
事存潰すると、□そ適位置でレー簀ビームＬが歌１１４
れ検□出・８ｒ−そ゛の重重入射するので、これがウィ
ンドウ信号・＠＄の□期間内に入力すると同様１；マー
クＷの信号と判別不可能と１拳、位置会せがでａｔくな
る問題点もある。
ｆを５ｔａｙ−抽出螢を行ない、マスク４とウェハー６
の変位量を判定するわけであるが、ｍｓ−龜；示すよう
にウェハー６の隣接する例えば次工龜露出用のアライメ
ントマー゛夕腎の信号ｇ１が＆） Ｉ：：示゛すフィン
Ｙり信号８魯の期藺喀内６；入ってくると、有効な信号
□との見極めかつかな（な］位置會せがで會ない、一方
、ウィンドウ信号８ｓとしてはウェハー６を１ツトした
と１龜二最大偏位し、九′鳩合でも、最”％離れたＷｌ
の□信号１雪を橿う幅でいる場合暑；、−接するｊライ
メントマー□りとの関Ｃ；断ｍｅどの境界ｌｌｌＩｈ□
事存潰すると、□そ適位置でレー簀ビームＬが歌１１４
れ検□出・８ｒ−そ゛の重重入射するので、これがウィ
ンドウ信号・＠＄の□期間内に入力すると同様１；マー
クＷの信号と判別不可能と１拳、位置会せがでａｔくな
る問題点もある。
従ってｔ工Ｉ′％−６の隣接するアライメントマータｗ
１ＭＩｔ＝境界線がない場合にａ實−タＷ岡志の間隔１
１が、或いは境界線−が存在する場合署；はマークＷの
端□部と境界線−の間隔１嘗が、４ツト時に最大偏位し
てｔ−接するマーク、又は境界線すの信号がｔインド９
儒号８・の期関内暑二人力してζないようにマークＷの
左右には充分な空白領域が−あ要である。第４ＷＩＪｌ
；示すようにレーずビームＬの走査軸方向ａＣ一対し４
５’の傾斜を有するアライメントマーりＭ、Ｗの場合は
、纂６図−）に示すよう６；つエバー６がＹ方向にノｙ
＊位するとｍ受軸方向であるＸ方゛向にもノｙだけ優位
する仁と礁；なる、従って１４Ｉ１１：、はウェー−６
のＹ方向の量大変位量も考−する必要があり′、第′７
−に示すようζ二り□工＾−６のアライメン）實−りＷ
の整合状−でめ走査−１上の間隔をｊ、Ｘ方向の最大の
変位量をノｘ、Ｙ方向の最大の変位量をノｙとすると１
り一ンドク信□号８Ｉの幅Ｃとしてｊ＋２“（）Ｘ＋ノ
ｙ）′＃必要となる。マータ′Ｗ間の距離をｋとし距離
Ｉを適轟ａ；定めると、クエ／−−６のマークＷ間に境
界線が存在しない場合には、 ｋ≧１＋２Ｃノ翼＋ノア１） ・・・・・（１）境界
線が存在する場合は ｋ＞ｊ＋２（２）翼＋ｊｙ＋ｊ）・・・・・■が必ＪＩ
ｓ畿件で：ある。このようにウェハー６のアライメント
マークＷの走査軸方向の空白領域の大自さは、Ｉｌ舎前
のウェハー６の変位量ΔＸ、ノｙに天動〈依存し、（’
Ｉ）、０式の寸法以下にアライメントマークＷの領域を
小さくすることは不可能である。
１ＭＩｔ＝境界線がない場合にａ實−タＷ岡志の間隔１
１が、或いは境界線−が存在する場合署；はマークＷの
端□部と境界線−の間隔１嘗が、４ツト時に最大偏位し
てｔ−接するマーク、又は境界線すの信号がｔインド９
儒号８・の期関内暑二人力してζないようにマークＷの
左右には充分な空白領域が−あ要である。第４ＷＩＪｌ
；示すようにレーずビームＬの走査軸方向ａＣ一対し４
５’の傾斜を有するアライメントマーりＭ、Ｗの場合は
、纂６図−）に示すよう６；つエバー６がＹ方向にノｙ
＊位するとｍ受軸方向であるＸ方゛向にもノｙだけ優位
する仁と礁；なる、従って１４Ｉ１１：、はウェー−６
のＹ方向の量大変位量も考−する必要があり′、第′７
−に示すようζ二り□工＾−６のアライメン）實−りＷ
の整合状−でめ走査−１上の間隔をｊ、Ｘ方向の最大の
変位量をノｘ、Ｙ方向の最大の変位量をノｙとすると１
り一ンドク信□号８Ｉの幅Ｃとしてｊ＋２“（）Ｘ＋ノ
ｙ）′＃必要となる。マータ′Ｗ間の距離をｋとし距離
Ｉを適轟ａ；定めると、クエ／−−６のマークＷ間に境
界線が存在しない場合には、 ｋ≧１＋２Ｃノ翼＋ノア１） ・・・・・（１）境界
線が存在する場合は ｋ＞ｊ＋２（２）翼＋ｊｙ＋ｊ）・・・・・■が必ＪＩ
ｓ畿件で：ある。このようにウェハー６のアライメント
マークＷの走査軸方向の空白領域の大自さは、Ｉｌ舎前
のウェハー６の変位量ΔＸ、ノｙに天動〈依存し、（’
Ｉ）、０式の寸法以下にアライメントマークＷの領域を
小さくすることは不可能である。
本発明の目的は、１述の欠点を鱗消し、アラ４メントマ
ークの領域の天動さを前述の鍛小寸法の蟻界以下Ｃ；鴫
ホすることを可能とし、位噛合せの精度は従来の重書、
小櫃のアライメントマークでも充分に検出で龜るアライ
メン）マークの噴出方法を提供することに６Ｌその要旨
線、マスタとウェハーの位置会せを実施するためにマス
タとウェハーとのアライメントマークを検出する場合に
於いて、現在位置合せしようとするアライメントマーク
と、これＬＳ＠接するアラ４メントマータとの境界線を
検出し、しかる後信；有鴫なアテイメント實−夕のみを
検出するように―・信号の＊拳込与タイ電ンダを変（シ
、再変アテ４メントマータの検出を行なうことを特徴と
するもので参る。
ークの領域の天動さを前述の鍛小寸法の蟻界以下Ｃ；鴫
ホすることを可能とし、位噛合せの精度は従来の重書、
小櫃のアライメントマークでも充分に検出で龜るアライ
メン）マークの噴出方法を提供することに６Ｌその要旨
線、マスタとウェハーの位置会せを実施するためにマス
タとウェハーとのアライメントマークを検出する場合に
於いて、現在位置合せしようとするアライメントマーク
と、これＬＳ＠接するアラ４メントマータとの境界線を
検出し、しかる後信；有鴫なアテイメント實−夕のみを
検出するように―・信号の＊拳込与タイ電ンダを変（シ
、再変アテ４メントマータの検出を行なうことを特徴と
するもので参る。
本員明をｅＩＡ承の鴫施例に基づいて詳細暑；説明する
。
。
８８図は本発明に係る方法を実施する丸めの繞電の−Ｉ
Ｉ！ｌｌｌ１Ｎであり、クロック発振６１１２Ｇ、４を
啼ゴン２ラー２からの同期信号にょヤセットされる）啼
ツブフロップ回路Ｃ以下ＦＦｌ１ｌ路という）２１、Ｆ
Ｆ−路２１のセットと共にタロツタ発振１＄２０のタロ
ツクを計数するカウンタ回路２２、カウンタ＠路２２の
セット出力によ艶セットされるＦＦ−路２６、ＰＦＭ略
２３のセットと＃ｔにり目ツタ発振ｌ５２０の夕四ツタ
を計数するカウンター路２４．０ＰＵ２Ｓの出力するデ
ータをカウンタ回路２４のセット出力により計数−路２
２にプリセットするためのラッチ２６、ａｐｔｒ’ｚ５
の出力するデータなカウンター路２４のセット出力によ
砂食つン＃−路２４にプリセットするためのラッチ２７
．０ＰＵ２ＳＤｆ−ＩＡｘｔｌ）Ｆ９４Ａ［１６２８、
ＯＰＵ ２５のアドレスとコントロール信号のデコーＦ
ｄ１１２９．検出ｉｓａの出力と、ＦＦ１ｉｉ路２３の
出力を論理積するゲ−１）８０、検出ｌＩ８から出方さ
れる各Ａ＃ス信号の位置をポリゴンミラー！による同期
信号からの距離として計数し、記憶する計Ｉ１１回路！
ｓ１によや構成されている。又、第９ｓ呟本＠嘴の実施
１４に用いるため、隣接するアライメントマーりＷの中
＃４偲二墳界線−を挿入し丸ウェハー６１１４のアライ
メントマークＷである一上記構成に於いて、ウェー−６
のセット時龜；纂１０−一）は示すようにクエＡ−６の
アクイメント！−タＷがマスタ４のアライメントマータ
ＭＳ二対し最大６；懺位しているとする。この結果、ウ
ェハー６のマータＷ間の境界＠ｈはマスタ４の！−タ間
のＭＩＳ位置している。 ＯＰＵ ２ Ｓは先ずウェハ
ー６の変位が零の場合でも、クエｄ−％−６が嬌大に憾
位し九場合でも境界線に、ｂ’の信号のうち少なくとも
一方をｌＩＥり込めるようにか）に示すプダウインＦり
信号８嘗の１１＆びウィンドウ信号ｓ烏の幅Ｃをラッチ
２６及び２７を介して、カウンタ回路２２及び２４ζ二
セツトする。この結果、間開ｍはカウンター路°２２に
よ妙計数され、潮間ζはカウンターｕ ２４ ｔ：よ抄
針ａ−ｇｔＬ＆、Ｆｒａ路２Ｂは。
Ｉ！ｌｌｌ１Ｎであり、クロック発振６１１２Ｇ、４を
啼ゴン２ラー２からの同期信号にょヤセットされる）啼
ツブフロップ回路Ｃ以下ＦＦｌ１ｌ路という）２１、Ｆ
Ｆ−路２１のセットと共にタロツタ発振１＄２０のタロ
ツクを計数するカウンタ回路２２、カウンタ＠路２２の
セット出力によ艶セットされるＦＦ−路２６、ＰＦＭ略
２３のセットと＃ｔにり目ツタ発振ｌ５２０の夕四ツタ
を計数するカウンター路２４．０ＰＵ２Ｓの出力するデ
ータをカウンタ回路２４のセット出力により計数−路２
２にプリセットするためのラッチ２６、ａｐｔｒ’ｚ５
の出力するデータなカウンター路２４のセット出力によ
砂食つン＃−路２４にプリセットするためのラッチ２７
．０ＰＵ２ＳＤｆ−ＩＡｘｔｌ）Ｆ９４Ａ［１６２８、
ＯＰＵ ２５のアドレスとコントロール信号のデコーＦ
ｄ１１２９．検出ｉｓａの出力と、ＦＦ１ｉｉ路２３の
出力を論理積するゲ−１）８０、検出ｌＩ８から出方さ
れる各Ａ＃ス信号の位置をポリゴンミラー！による同期
信号からの距離として計数し、記憶する計Ｉ１１回路！
ｓ１によや構成されている。又、第９ｓ呟本＠嘴の実施
１４に用いるため、隣接するアライメントマーりＷの中
＃４偲二墳界線−を挿入し丸ウェハー６１１４のアライ
メントマークＷである一上記構成に於いて、ウェー−６
のセット時龜；纂１０−一）は示すようにクエＡ−６の
アクイメント！−タＷがマスタ４のアライメントマータ
ＭＳ二対し最大６；懺位しているとする。この結果、ウ
ェハー６のマータＷ間の境界＠ｈはマスタ４の！−タ間
のＭＩＳ位置している。 ＯＰＵ ２ Ｓは先ずウェハ
ー６の変位が零の場合でも、クエｄ−％−６が嬌大に憾
位し九場合でも境界線に、ｂ’の信号のうち少なくとも
一方をｌＩＥり込めるようにか）に示すプダウインＦり
信号８嘗の１１＆びウィンドウ信号ｓ烏の幅Ｃをラッチ
２６及び２７を介して、カウンタ回路２２及び２４ζ二
セツトする。この結果、間開ｍはカウンター路°２２に
よ妙計数され、潮間ζはカウンターｕ ２４ ｔ：よ抄
針ａ−ｇｔＬ＆、Ｆｒａ路２Ｂは。
るので、その出力からフィンドウ信号８．が得られる。
このウインドク信号８滲の期間（に於ける。第１０１［
：）に示す検出８Ｂの出力は、ゲート３０を通って計＃
ｌｌｌ１路３１に入力し各パルス信号の位置が計測され
、ＯＰＵ２５はこれを一１咬与、記憶する。次に０Ｐｆ
Ｊ ２５はウェハー６を走査軸方向であるＸ方向（二微
小量ｄｘだけ勧かす、すると検出信号は、マスク４のマ
ーりＭからの信号Ｐ。
：）に示す検出８Ｂの出力は、ゲート３０を通って計＃
ｌｌｌ１路３１に入力し各パルス信号の位置が計測され
、ＯＰＵ２５はこれを一１咬与、記憶する。次に０Ｐｆ
Ｊ ２５はウェハー６を走査軸方向であるＸ方向（二微
小量ｄｘだけ勧かす、すると検出信号は、マスク４のマ
ーりＭからの信号Ｐ。
は１１１ｊｌ！Ｉせず１；、クエ／−−６の境界＠ｈを
含めたマークＷの信号Ｐｔ、？鵞、Ｐ龜のみがケ）鑑＝
示すように同方向にｄ！だけ移動する。仁の状態でＯＰ
Ｕ ２ Ｓは、再び計−ａｌｌＳｌｅ各信号位置な絖み
込み、前ＩＩｌ定した値と比較して移−した信号Ｐ、を
記憶する。ｌＥいて０ＰＬＪ ２５はＹ方向ｔ；微小量
ｄ７だけウェ＾−６を動かす、すると境界ｔｓｈからの
信号Ｐ畠 を除くクエ／−−６のマークＷかもの信号Ｐ
ｔ晟びＰ、はそれぞれ４１１）に示すように移動するが
、境界線すの信号Ｐ、は馳かない。従って、Ｘ方向にｄ
！だけウェハー６を移動したとき−いた信号のうち。
含めたマークＷの信号Ｐｔ、？鵞、Ｐ龜のみがケ）鑑＝
示すように同方向にｄ！だけ移動する。仁の状態でＯＰ
Ｕ ２ Ｓは、再び計−ａｌｌＳｌｅ各信号位置な絖み
込み、前ＩＩｌ定した値と比較して移−した信号Ｐ、を
記憶する。ｌＥいて０ＰＬＪ ２５はＹ方向ｔ；微小量
ｄ７だけウェ＾−６を動かす、すると境界ｔｓｈからの
信号Ｐ畠 を除くクエ／−−６のマークＷかもの信号Ｐ
ｔ晟びＰ、はそれぞれ４１１）に示すように移動するが
、境界線すの信号Ｐ、は馳かない。従って、Ｘ方向にｄ
！だけウェハー６を移動したとき−いた信号のうち。
Ｙ方向にｄｙ移−したとき動かなかった信号をりエバー
６のマークＷの境界線すと判定し、 ａｌｌ Ｏ閏伽）
に示す境界線す、ｈ’閾の輻ｑからマークＷの中心ｒの
位置を算出する。そしてこれをマスタ４のマークＭの中
心１に合せるぺ（クエーー６をＸ方向Ｗ−＃Ｌ、て（ｆ
）に示すよう１二整合する。この時の躯−は粗くてよく
、マスクの中心１も、実測値でなく予しめ設定されてい
る−でも支障はない。
６のマークＷの境界線すと判定し、 ａｌｌ Ｏ閏伽）
に示す境界線す、ｈ’閾の輻ｑからマークＷの中心ｒの
位置を算出する。そしてこれをマスタ４のマークＭの中
心１に合せるぺ（クエーー６をＸ方向Ｗ−＃Ｌ、て（ｆ
）に示すよう１二整合する。この時の躯−は粗くてよく
、マスクの中心１も、実測値でなく予しめ設定されてい
る−でも支障はない。
次にＯＰＵ ２６はウィンドウ信号８番がクエハー６の
マークＷの境界線−１−１間の輔ｑよ参も映い嬉１０図
−ζ；示す嘱ｑ＃ ｔ＝なるようラッチ２４．２７のセ
ット値を変更する。か（すること薯；よ秒喰出尋ａから
得られ為信号のうち、―）に示すマスク４とクエＡ−４
の位置合せのための實−夕Ｍ、Ｗからの信号の拳が得ら
れる。 ＯＰＵ ２５はこれを再度取勢込み、有効な信
号として稽ＩＨｋ位置合せを実施し、Ｙ方向及び−転方
向の変位もむのときに位置合せができる０、） 第１１１１ｃｍ示すように、豐エバー６のマークＷの境
界線−１ｈ′がマスク４のマークＭの内側に入っていな
いと龜は、ｘ、Ｙ方向Ｉ：そａ−ｔ″れ徹小量―かして
境界線−１ｈ′を見出した優に第１１図（ロ）、―）に
示すようにウィンＶり信号８．の期間Ｃをｑｔ５二変更
するだけで、精密な位置合を操作ができる。
マークＷの境界線−１−１間の輔ｑよ参も映い嬉１０図
−ζ；示す嘱ｑ＃ ｔ＝なるようラッチ２４．２７のセ
ット値を変更する。か（すること薯；よ秒喰出尋ａから
得られ為信号のうち、―）に示すマスク４とクエＡ−４
の位置合せのための實−夕Ｍ、Ｗからの信号の拳が得ら
れる。 ＯＰＵ ２５はこれを再度取勢込み、有効な信
号として稽ＩＨｋ位置合せを実施し、Ｙ方向及び−転方
向の変位もむのときに位置合せができる０、） 第１１１１ｃｍ示すように、豐エバー６のマークＷの境
界線−１ｈ′がマスク４のマークＭの内側に入っていな
いと龜は、ｘ、Ｙ方向Ｉ：そａ−ｔ″れ徹小量―かして
境界線−１ｈ′を見出した優に第１１図（ロ）、―）に
示すようにウィンＶり信号８．の期間Ｃをｑｔ５二変更
するだけで、精密な位置合を操作ができる。
本発明に係るアライメントマークＷの領域の幅の一１２
図に示す最小寸法Ｗは、マーク自身の寸＠１が走査軸方
向の最大の変位置ノＸよ艶も小さい場合は、ΔｘＩ：ｒ
Ｊ４に依存し、胃＞２Ａｘ であればよく、冨〉ノＸの
と会は第１６１のよう書：境界＠ｈを挾んで隣接するア
ライメントマークＷ、ＷＩを接して配置することがクー
である。
図に示す最小寸法Ｗは、マーク自身の寸＠１が走査軸方
向の最大の変位置ノＸよ艶も小さい場合は、ΔｘＩ：ｒ
Ｊ４に依存し、胃＞２Ａｘ であればよく、冨〉ノＸの
と会は第１６１のよう書：境界＠ｈを挾んで隣接するア
ライメントマークＷ、ＷＩを接して配置することがクー
である。
上述の実施例ｒ−於いては、アライメントマークＷの領
域の境界線にとして走査軸方向に口直な線を設け、クエ
ハー６をｘ１Ｙ方向Ｃ−砿少管移−することによ争検出
しているが、境界線及びその検出方法としては４ ｔＬ
ｔ＝拘泥することなく、例えば嬉１４１１ｍに）に示す
ようｒ−境界線として数本のマークＵを設け、仁やマー
ターからの纂１４＠翰礁；示す信号マの周波−一どから
とれを境界線であると碌刺することもクーである。又、
本発明に係る方法は、レーずビームの走査だけでなく、
他の検出系。
域の境界線にとして走査軸方向に口直な線を設け、クエ
ハー６をｘ１Ｙ方向Ｃ−砿少管移−することによ争検出
しているが、境界線及びその検出方法としては４ ｔＬ
ｔ＝拘泥することなく、例えば嬉１４１１ｍに）に示す
ようｒ−境界線として数本のマークＵを設け、仁やマー
ターからの纂１４＠翰礁；示す信号マの周波−一どから
とれを境界線であると碌刺することもクーである。又、
本発明に係る方法は、レーずビームの走査だけでなく、
他の検出系。
例えば撮像管を用いた場合等にも直く応用で自るをｖＡ
＃Ｉ′ｆて境界線を検出し、次・にこの境界線がアライ
メントマークに掛からない位置まで移動し、有効なマス
クかもの信号のみを職）込むよう書＝クィイＦり信号の
幅を狭く奄ットし直すという手帳を庫ることに１９、ア
ライメントマータ纒を′＠紀（１）、０式による眼界を
超えて小さくする仁とがクーとなる。
＃Ｉ′ｆて境界線を検出し、次・にこの境界線がアライ
メントマークに掛からない位置まで移動し、有効なマス
クかもの信号のみを職）込むよう書＝クィイＦり信号の
幅を狭く奄ットし直すという手帳を庫ることに１９、ア
ライメントマータ纒を′＠紀（１）、０式による眼界を
超えて小さくする仁とがクーとなる。
縞１図は従来の検出懐雪の構成図、第２図、４Ｓ図はク
エへ−に対する鏡４取り信号の説明図、第４補はアライ
メントマークの１明−１ｓ５図はマークから得られる波
形のｌｌ＠図、ｇ４−はマークが複数−の場合ｔ）１１
１＠１１１．１１７１１はクエハーを移−した場合の変
位量の説明図、纂６−は本弛１１；係る１法をａｍする
検出−路の実施例の構成−１１１９−はマーク間に境界
線がある場合の説明−１纂１０１ｔｌはマスクに対して
クエ＾−を夢−した場合の１−夕の出力の波形図、第１
１１５１１は必要なマーク信号のみをｍｓ出す場合の説
明図、嘱１２問はマークの大きさＣ；関する説明−１第
１６−はマークと境界線の他の実施例のａ−一、第１４
−は境界線の他の実施例の説明−である。 符号看はレーず光標、２は４９ゴン々ツー、５はビーム
スプ啼ツタ、４はマスタ、５はステージ、６はクエーー
、８は検出器、１０．１１．１２はモータ、２５は０℃
、３１は計測−路、Ｍ％Ｗ。 ＷＩはアライメントマーク、麺は境界線である。 特許出願人 命ヤノン株式金社第３■ １１１４１１ ＳＷ 第６− 第７ｗ 第８図 ｊｌＩＱ図 ４ 廂０図 剃１図 網２図 手続補正歯（自発） 昭和５７年１０月３０日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 ！、事件の表示 昭和５６年特許願第１７２４５８号 ２、発明の名称 アライメントマークの検出方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都大田区下丸子三丁目３０番２号名称（ｉｏ
ｏ）キャノン株式会社 代表者 賀来龍三部 ４、代理人 〒１２１東京都足立区梅島二丁目１７番３号梅島ハイタ
ウンＣ−１０４ ５、補正命令の日付 図面 ？、補正の内容 図面第１図を別紙の通り補正する。
エへ−に対する鏡４取り信号の説明図、第４補はアライ
メントマークの１明−１ｓ５図はマークから得られる波
形のｌｌ＠図、ｇ４−はマークが複数−の場合ｔ）１１
１＠１１１．１１７１１はクエハーを移−した場合の変
位量の説明図、纂６−は本弛１１；係る１法をａｍする
検出−路の実施例の構成−１１１９−はマーク間に境界
線がある場合の説明−１纂１０１ｔｌはマスクに対して
クエ＾−を夢−した場合の１−夕の出力の波形図、第１
１１５１１は必要なマーク信号のみをｍｓ出す場合の説
明図、嘱１２問はマークの大きさＣ；関する説明−１第
１６−はマークと境界線の他の実施例のａ−一、第１４
−は境界線の他の実施例の説明−である。 符号看はレーず光標、２は４９ゴン々ツー、５はビーム
スプ啼ツタ、４はマスタ、５はステージ、６はクエーー
、８は検出器、１０．１１．１２はモータ、２５は０℃
、３１は計測−路、Ｍ％Ｗ。 ＷＩはアライメントマーク、麺は境界線である。 特許出願人 命ヤノン株式金社第３■ １１１４１１ ＳＷ 第６− 第７ｗ 第８図 ｊｌＩＱ図 ４ 廂０図 剃１図 網２図 手続補正歯（自発） 昭和５７年１０月３０日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 ！、事件の表示 昭和５６年特許願第１７２４５８号 ２、発明の名称 アライメントマークの検出方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都大田区下丸子三丁目３０番２号名称（ｉｏ
ｏ）キャノン株式会社 代表者 賀来龍三部 ４、代理人 〒１２１東京都足立区梅島二丁目１７番３号梅島ハイタ
ウンＣ−１０４ ５、補正命令の日付 図面 ？、補正の内容 図面第１図を別紙の通り補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ マスタと一工＾−６との位置合せを貴施する九め暑
；、マスタと、ウェハーとのアテ、イメント彎−一・を
検出する場合、に於いて、堝在位−會せ、しようとする
ア、テイメントマ−Ｉと、これ個ニー接するアライメン
トマークとの境界線を檎畠し、しか、る畿に有効なアツ
イメン）！−夕の拳を検出するように１、信号のＩＩｍ
艶込皐−イ電ンダを、変更し、再魔アライメントマータ
の検出を打電うことを時機とするアライメン）マークの
検出方法、 。 ｔ ｍｌ！儒号の取勢込み一イ電ンダ・Ｏ変罠は、最
初６；轡＊１れている峨参込み信号幅を狭くするよう七
する時評請求の範−編１項ｌｉ！蛎のアライノットマー
タの検出方法。 ＆ 前配取−込み信号−は、椀界−を有す◆マスタ又は
クエ＾−を若干の厖−移−した後の再度の検出仁より境
界線を識別し境界線を避けて検出するよう一二決室する
轡許−求のＩＩＴｓ第１項第１項丁テイメント彎−夕の
検出方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56172458A JPS5874039A (ja) | 1981-10-28 | 1981-10-28 | アライメントマ−クの検出方法 |
| US06/435,958 US4545684A (en) | 1981-10-28 | 1982-10-22 | Alignment mark detecting apparatus and method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56172458A JPS5874039A (ja) | 1981-10-28 | 1981-10-28 | アライメントマ−クの検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5874039A true JPS5874039A (ja) | 1983-05-04 |
Family
ID=15942360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56172458A Pending JPS5874039A (ja) | 1981-10-28 | 1981-10-28 | アライメントマ−クの検出方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4545684A (ja) |
| JP (1) | JPS5874039A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013521525A (ja) * | 2010-03-03 | 2013-06-10 | マイクロニック マイデータ アーベー | 校正システムを有するパターン発生器 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4794648A (en) * | 1982-10-25 | 1988-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Mask aligner with a wafer position detecting device |
| US4641257A (en) * | 1983-07-07 | 1987-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Measurement method and apparatus for alignment |
| US4643579A (en) * | 1983-11-21 | 1987-02-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Aligning method |
| JPS6155710A (ja) * | 1984-08-27 | 1986-03-20 | Sharp Corp | アライメント方法 |
| DE3709858A1 (de) * | 1986-04-18 | 1987-10-22 | Heidelberger Druckmasch Ag | Bestimmung des registerfehlers beim mehrfarbendruck |
| IL130137A (en) * | 1996-11-28 | 2003-07-06 | Nikon Corp | Exposure apparatus and an exposure method |
| US6724479B2 (en) * | 2001-09-28 | 2004-04-20 | Infineon Technologies Ag | Method for overlay metrology of low contrast features |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4408885A (en) * | 1971-03-22 | 1983-10-11 | Kasper Instruments, Inc. | Apparatus for the automatic alignment of two superimposed objects, e.g. a semiconductor wafer and mask |
| JPS5952535B2 (ja) * | 1977-01-21 | 1984-12-20 | キヤノン株式会社 | 光学装置 |
| DE2905636C2 (de) * | 1979-02-14 | 1985-06-20 | Censor Patent- Und Versuchs-Anstalt, Vaduz | Verfahren zum Kopieren von Masken auf ein Werkstück |
-
1981
- 1981-10-28 JP JP56172458A patent/JPS5874039A/ja active Pending
-
1982
- 1982-10-22 US US06/435,958 patent/US4545684A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013521525A (ja) * | 2010-03-03 | 2013-06-10 | マイクロニック マイデータ アーベー | 校正システムを有するパターン発生器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4545684A (en) | 1985-10-08 |
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