JPS5870319A - 流量制御装置 - Google Patents

流量制御装置

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Publication number
JPS5870319A
JPS5870319A JP16707881A JP16707881A JPS5870319A JP S5870319 A JPS5870319 A JP S5870319A JP 16707881 A JP16707881 A JP 16707881A JP 16707881 A JP16707881 A JP 16707881A JP S5870319 A JPS5870319 A JP S5870319A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow rate
switching
minor
rate region
small
Prior art date
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Pending
Application number
JP16707881A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuyuki Yamada
和幸 山田
Tsutomu Sawada
勉 沢田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS5870319A publication Critical patent/JPS5870319A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00Control of flow
    • G05D7/06Control of flow characterised by the use of electric means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Flow Control (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、流量制御装置に係り、特に、測定及び、制御
のレンジ幅の大きな流量制御に好適な、大小2つの流路
と、切替回路部を有する流量制御装置に関する。
従来の流量制御装置、特に、測定及び、制御のレンジ幅
の大きな流量制御装置は、犬・小2つの流路を設け、犬
・小2つの操作端を操作するととによシ、流量を制御す
る。第1図に従い、制御方法を説明する。■は大流量検
出端、2は大操作端、3は小流量検出端、4け小操作端
、5け制御演算部である。第1図、(a)及び(b)、
いずれの制御方法も、小流量領域においては、小の操作
端においてのみで流量の制御を実行し、小流量領域を越
えた場合、即ち、大流量領域においては、小の操作端を
開放とし、犬の操作端において流量の制御を実行する。
しかし、図1(a)の方法においては、小流量領域の下
部及び、大流量領域の上部において、(図中斜線部)検
出端の測定範囲を越え測定精度、ひいては、制御精度が
低下するという欠点がある。
また、第1図(b)の制御方法は、大流量領域の下部、
即ち、大流量検出端の低いレンジの領域(図中斜線部)
においては、検出端の測定範囲下限を越え測定精度が低
下、また、大流量領域においては、小流量検出端の測定
範囲上限を越える測定が要求されるため、その防止のた
めの流計制限装置が必要となり、制御系が、複雑となる
等の欠点がある。
第1図(a)及び、■)の流量制御方法において、図中
の斜線領域内における流量制御が要求される場合、特に
それが、流量積算値により生産物の品質が左右される場
合、測定精度、制御精度の低下は、致命的な欠点となる
。さらに、上記領域は本質的なものであり、調整によっ
て修正できる範囲ではないという、欠点も有していた。
本発明の目的は、小流量領域から、大流量領域に亘る広
いレンジ幅において、精度の良い測定、及び、制御を実
行する流量制御装置を提供することにある。
本発明の特徴は、大小2つの流路から構成される流量制
御装置において、切替回路部を設置し、犬・l]・2つ
の操作端を切替え制御することにある。
第1図(c)に、構成を示す。小流量領域においては、
小の操作端により制御を実行、小流量検出端の測定範囲
上限に達した時、切替回路部6の切替動作に従い小の操
作端は締切り方向へ制御、同時に、大操作端を一定状態
まで開け、大流量検出端の測定範囲下域を越えた領域よ
り大流量制御を実行する。寸だ、大流量領域より小流量
領域への移行は、前記の逆動作によって切替動作が実行
される。従って大小操作端の切替動作を実行することに
より検出端測定精度を越える領域がなくなり、精度の良
い測定及び、制御を実現することが可能となる。
以下、本発明の詳細を第2図2の実施例に従い説明する
。小理量領域において、上限検出器61において小流量
検出端の上限(以下TTAと記す)を越えると、信号I
IAが保持され切替信号8がONされ、出力切替器68
により小操作端より大操作端への切替が実行されるが、
切替動作の過渡状態において、切替動作そのものが制御
動作に対する外乱とならぬよう、切替信号8と同時に設
定される過渡状態信号9に従い、保持器65における設
定値の保持、及び、出力変換器67における、操作端の
一定開度を保障する操作量を出力、大流量領域へ移行す
る。この切替過渡状態は、タイマ63の設定により規定
さn、この時、小操作端は、締切り方向への操作量が出
力される。さらに、大流量領域への移行に伴い、測定値
入力検出端の切替及び、設定値のレンジ切替器66によ
る切替が実行される。
大流量領域より、小流量領域への切替動作は、下限検出
器o2において、大流量検出端の下限(以下LAと記す
)を越えると、LA信号は保持され、切替信号8はリセ
ットされ、小流量領域へ移行する。LA信号及び、タイ
マ64動作により、過渡状態信号9がONされ、前記同
様の過渡切替を経て、小流量領域への移行が実行される
以上述べたように、犬・小者々の検出端の測定可能範囲
内においてのみ、測定、制御が実行され、さらに犬・1
1・2流路の切替により広いレンジ幅全域に亘って、高
精度の流量測定、制御が実現される。また、大小切替動
作点にヒステリシス()−I A−LA)を設定するこ
とにより、過渡状態を保持するタイマ63、タイマ64
を設置することにより切替動作点近辺における制御も、
大より小、あるいは、小より犬への頻繁な切替に起因す
る・・ンチング動作無く実現することが可能である。さ
らに、タイマ63.64の時間設定値、HA及びL A
等設定値の調整により、プロセスに応じた広いレンジ幅
に亘る流量制御を実現することが可能となる。
本発明によれば、犬・小2つの流路を切替えて使用する
ため、大小者々の検出端の測定可能範囲内で流量を制御
することができるため、測定精度の高い制御が実現でき
、さらに、流量積算値による生産物の品質への影響の大
きいプロセスには、より高度な品質管理が可能となると
いう効゛果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は大・小2つの流路を使用してい流量制御方法の
従来例および本発明例のブロック図および動作図全示し
、第2図は、本発明における一実施例のブロック図を示
す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、流体の流量を制御する装置において、流量を測定す
    る検出端と、流量を制御する操作端と、流量信号及び制
    御目標値より操作端動作を規定する演算制御部からなる
    流量制御系において、大・小2つの流路を設け、さらに
    、各々の流路に犬・小2つの検出端及び犬・小2つの操
    作端と1つの演算制御部を投首し、犬・小者々の流路を
    切替えて制御する切替回路部を有することを特徴とする
    流量制御装置。
JP16707881A 1981-10-21 1981-10-21 流量制御装置 Pending JPS5870319A (ja)

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JPS5870319A true JPS5870319A (ja) 1983-04-26

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JP16707881A Pending JPS5870319A (ja) 1981-10-21 1981-10-21 流量制御装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63188210A (ja) * 1987-01-30 1988-08-03 Kubota Ltd 流量制御装置
JP2012099730A (ja) * 2010-11-04 2012-05-24 Tokyo Electron Ltd 液体流量制御装置、液体流量制御方法、基板処理装置および記憶媒体

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63188210A (ja) * 1987-01-30 1988-08-03 Kubota Ltd 流量制御装置
JP2012099730A (ja) * 2010-11-04 2012-05-24 Tokyo Electron Ltd 液体流量制御装置、液体流量制御方法、基板処理装置および記憶媒体
US8622073B2 (en) 2010-11-04 2014-01-07 Tokyo Electron Limited Apparatus and method for controlling flow rate of liquid, and storage medium

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