JPS5833623B2 - Kougaku Teki Koumitsudokirokuhouhou - Google Patents

Kougaku Teki Koumitsudokirokuhouhou

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Publication number
JPS5833623B2
JPS5833623B2 JP49108576A JP10857674A JPS5833623B2 JP S5833623 B2 JPS5833623 B2 JP S5833623B2 JP 49108576 A JP49108576 A JP 49108576A JP 10857674 A JP10857674 A JP 10857674A JP S5833623 B2 JPS5833623 B2 JP S5833623B2
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JP
Japan
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signal
record
voltage
light
recording
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Application number
JP49108576A
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Japanese (ja)
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JPS5136103A (en
Inventor
健 五島
英昭 佐藤
隆男 辻
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Priority to US06/036,512 priority patent/US4243849A/en
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は例えば映像信号を通常のオーディオレコードと
類似の円板に記録した所謂ビデオレコードなどの製造方
法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a so-called video record, in which, for example, a video signal is recorded on a disc similar to an ordinary audio record.

ビデオ信号により、周波数変調或いはパルス周波数変調
した凹凸波形をプラスチックの円板上にスパイラル状の
軌跡をもって記録し、その凹凸に触針を適当な圧力をも
って接触させた状態で円板−を回転させたとき、触針の
受ける振動を、例えばセラ□ツクピエゾ素子などにより
電気信号に変換し、その信号を復調してビデオ信号を再
生する手段が既に提案されている。
Using a video signal, a frequency-modulated or pulse-frequency modulated uneven waveform was recorded in a spiral trajectory on a plastic disk, and the disk was rotated with a stylus in contact with the unevenness with appropriate pressure. At this time, a method has already been proposed in which the vibrations received by the stylus are converted into an electrical signal using, for example, a ceramic piezo element, and the signal is demodulated to reproduce a video signal.

一般のテレビジョンに用いられるビデオ信号の帯域は少
なくとも3メガヘルツ程度は必要でありこれを周波数変
調する場合には、キャリアの周波数範囲として、大よそ
4乃至6メガヘルツが必要とされる。
The band of a video signal used in general television must be at least 3 MHz, and when frequency modulating this, the frequency range of the carrier is approximately 4 to 6 MHz.

この周波数は、一般の音声周波数の上限、即ち20キロ
ヘルツに比し、200〜300倍高い値である。
This frequency is 200 to 300 times higher than the upper limit of general audio frequencies, ie, 20 kilohertz.

一般にオーディオレコードの場合にはレコードのマスタ
ー即ち通常ラッカー盤と呼ばれるものをカッティングす
る場合、実時間即ちレコードの再生速度と同じ速度でカ
ッティングが行われる。
Generally, in the case of audio records, when cutting the master of the record, which is commonly called a lacquer disc, cutting is performed in real time, that is, at the same speed as the playback speed of the record.

これはレコードのカッターを20キロヘルツ程度の周波
数或いはその2倍程度の太きよな周波数であっても現在
の技術をもってすれば比較的容易に駆動できるからであ
る。
This is because it is relatively easy to drive a record cutter at a frequency of about 20 kilohertz or even twice that frequency with current technology.

しかしビデオ信号の場合には実時間でカッティングを行
おうとすると上述の如く4〜6メガヘルツでカッタを駆
動せねばならず、例えカッティングの深さが1ミクロン
以下であっても、現在の技術でこれを行うことは殆んど
不可能である。
However, in the case of video signals, if you try to cut in real time, you have to drive the cutter at 4 to 6 MHz as mentioned above, and even if the cutting depth is less than 1 micron, current technology cannot do this. It is almost impossible to do so.

上述のように高い周波数の凹凸を実時間で形つくる有力
な手段は、レーザービームによるフォトレジスト薄膜上
への記録である。
As mentioned above, an effective means of forming high-frequency irregularities in real time is recording on a photoresist thin film using a laser beam.

第1図はレーザービームによるフォトレジスト薄膜上へ
凹凸波形を形成する手段の一例で、1は表面に数ミクロ
ンの厚さのポジ形フォトレジスト即ち光溶解形のレジス
トを塗布したガラス円板でディスク駆動モーター2によ
り駆動される。
Figure 1 shows an example of a method for forming uneven waveforms on a photoresist thin film using a laser beam. 1 is a glass disk whose surface is coated with a positive photoresist, that is, a photodissolving type resist, with a thickness of several microns. It is driven by a drive motor 2.

この円板に近接して、集光光学系3がホルダ4に支えら
れている。
A condensing optical system 3 is supported by a holder 4 in the vicinity of this disk.

ホルダ4は送りモーター6により回転される送りねじ5
により移動可能となっており集光光学系を円板の半径方
向に移動させることができるようになっている。
The holder 4 has a feed screw 5 rotated by a feed motor 6.
The converging optical system can be moved in the radial direction of the disk.

なお棒7はホルダ4がねじ5の軸の1わりに回動するの
を防ぐガイド棒である。
The rod 7 is a guide rod that prevents the holder 4 from rotating around the axis of the screw 5.

送りモーター6とディスク駆動モーター2とはそれぞれ
、信号の記録される軌跡であるところのスパイラルの半
径方向のピッチが希望する値になるように関連した回転
数で、図には示されていない駆動回路により駆動される
The feed motor 6 and the disk drive motor 2 each have a drive motor (not shown in the figure) with a related rotational speed so that the radial pitch of the spiral, which is the trajectory on which the signal is recorded, reaches the desired value. Driven by circuit.

集光光学系には、レーザー8からの光りが、光変調器9
を通り、光束直径を拡大するための光学系10を通り、
更にホルダの突起部4−1に支えられた反射鏡11を介
して入射すべく横取されておシ、この集光光学系に入射
した光は第2図に示すようにシリンドリカルレンズ12
及び集光レンズ13により線状分布光14となる。
In the condensing optical system, the light from the laser 8 is transmitted to the optical modulator 9.
passes through an optical system 10 for enlarging the beam diameter,
Furthermore, the light is intercepted to enter through the reflecting mirror 11 supported by the protrusion 4-1 of the holder, and the light incident on this condensing optical system is passed through the cylindrical lens 12 as shown in FIG.
The light becomes linearly distributed light 14 by the condensing lens 13.

線状分布光14を、その長手方向を円板の半径方向とほ
ぼ一致した状態で、円板上のフォトレジスト上に、円板
を回転させながら第3図に示す如き光強度の時間的変化
をもって露光させると、そのレジストを現像した場合露
光された部分が溶解され、残った部分が第4図に示され
る如き、雨どい形の断面のスパイラル状の溝の底口光の
時間的変化に対応した波状凹凸を備えたトラックが形つ
くられる。
The linear distributed light 14 is applied onto the photoresist on the disk with its longitudinal direction almost matching the radial direction of the disk, and the light intensity changes over time as shown in FIG. 3 while rotating the disk. When the resist is exposed to light with A track with corresponding undulations is formed.

フォトレジスト15に生ずる溝が雨どい形になるのは、
第2図に於ける線状分布光14の光エネルギーの、レジ
スト面上に於ける分布が、第5図に示される如き、中心
部に最大値を有する等エネルギー分布曲線により示され
る山形の光分布を有しているためである。
The reason why the grooves formed in the photoresist 15 take on the shape of a rain gutter is because
The distribution of the light energy of the linearly distributed light 14 in FIG. 2 on the resist surface is a mountain-shaped light whose distribution on the resist surface is represented by an equal energy distribution curve with the maximum value at the center, as shown in FIG. This is because it has a distribution.

第3図と第4図の極く概略の結びつきを記すと第4図に
於て黒く陰を付した部分は第3図に於てa + bに相
当する露光を受けた部分であう、最も深くフォトレジス
トが溶出されて釦9、lた陰と陰との間の部分はおおよ
そbに相当する露光を受けた部分である。
To describe the connection between Figures 3 and 4, the black shaded area in Figure 4 is the area exposed to light corresponding to a + b in Figure 3, which is the deepest area. The area between the two shadows where the photoresist has been eluted is the area that has been exposed to light approximately corresponding to b.

第4図の16は記録軌跡の中心に沿った溝の断面を示す
もので、断面に現われている波状の凹凸は、第3図の光
の強度の変化に対応している。
Reference numeral 16 in FIG. 4 shows a cross section of the groove along the center of the recording trajectory, and the wavy unevenness appearing in the cross section corresponds to the change in light intensity shown in FIG.

なお第3図に示す如き光の強度の時間的変化は図には示
されていない電気回路によう光変調器9を駆動すること
により行われる。
Incidentally, the temporal change in the intensity of light as shown in FIG. 3 is achieved by driving the optical modulator 9 through an electric circuit (not shown).

以上は、レーザービームを適当な光変調器及び集光光学
系を通すことにより、第4図の如き、雨どい形の、触針
のガイド及びその溝の底に触針に振動を与えるための波
形の凹凸を形成することが可能なことを、極く単純な光
の強度の時間的変化の場合について説明したものである
The above describes how to apply vibration to the stylus through a rain gutter-shaped stylus guide and the bottom of its groove, as shown in Figure 4, by passing a laser beam through a suitable optical modulator and focusing optical system. The possibility of forming waveform irregularities is explained using a very simple case of temporal change in the intensity of light.

このようにして記録された信号は、オーディオレコード
に於てラッカー盤から、通常のレコードを製造するのと
ほぼ同様な手段、即ち記録された凹凸を有するフォトレ
ジストに銀鏡を施し、これにニッケルメッキを施して型
をとbこの型によシ例えば塩化ポリビニール等の円板表
面に前記フォトレジストの形状を転写することにより、
レコードが作られる。
The signals recorded in this way are produced from lacquer discs in audio records by the same means used to manufacture ordinary records: a photoresist with recorded irregularities is coated with a silver mirror, and this is nickel-plated. By applying a mold and transferring the shape of the photoresist onto the surface of a disk such as polyvinyl chloride using this mold,
A record is made.

これが即ちビデオレコードでありその再生手段の一例は
次の如きものである。
This is a video record, and an example of its reproducing means is as follows.

第6図に於て17はビデオディスク、18はビデオディ
スクを回転させるためのモーターで、図には示されてい
ない電源により所定の速度で矢印19の方向に駆動され
る。
In FIG. 6, 17 is a video disk, and 18 is a motor for rotating the video disk, which is driven at a predetermined speed in the direction of arrow 19 by a power source (not shown).

20は信号の記録されている溝をトレースして信号をピ
ックアップするためのピックアップアセンブリーでホル
ダ21にゴムなどの弾性体25を介して結合され支持さ
れている7゜ ホルダ21はホルダ送シ用モーター22に結合されたね
じ23にようピックアップ20をレコードの半径方向に
移動させるべくねじ23並びに、ホルダのねじ23のま
わりの回転を制するガイド棒24に係合されている。
20 is a pickup assembly for tracing the groove in which the signal is recorded and picking up the signal. The 7° holder 21 is connected to and supported by the holder 21 via an elastic body 25 such as rubber.The 7° holder 21 is for holder feeding. A screw 23 connected to the motor 22 is engaged with the screw 23 to move the pickup 20 in the radial direction of the record, and a guide rod 24 that controls the rotation of the holder around the screw 23.

ホルダ送シ用モーターは図には示されていない回転駆動
回路により、レコード1回転あたり、ホルダが信号の記
録された溝の半径方向の1ピツチに相当する距離だけ移
動するようにヒーター18の回転と関連づけられて回転
される。
The holder feeding motor uses a rotation drive circuit (not shown) to rotate the heater 18 so that the holder moves a distance corresponding to one pitch in the radial direction of the groove in which the signal is recorded per one revolution of the record. It is rotated in relation to

ピックアップセンブリ−20の詳細は第7図に示す如く
なっている。
The details of the pickup assembly 20 are shown in FIG.

即ち、例えばチタンなどの軽い材料により作られたパイ
プ26の一端に長、短両辺が、共に数100ミクロンま
た厚みが数10ミクロンで、その両面に電極27.28
を有するピエゾ素子29の一面を接着し、ピエゾ素子2
9の他の面には例えばダイヤモンドで作られたスタイラ
ス30が接着されている。
That is, at one end of a pipe 26 made of a light material such as titanium, both the long and short sides are several hundred microns and the thickness is several tens of microns, and electrodes 27.28 are placed on both sides.
One side of the piezo element 29 having a
A stylus 30 made of diamond, for example, is bonded to the other surface of the stylus 9.

パイプ26の他端はゴムなどの弾性体25を介して、ホ
ルダ21に結合されている。
The other end of the pipe 26 is connected to the holder 21 via an elastic body 25 such as rubber.

第7図すはスタイラス30とレコード31との保合状態
を示すものである。
FIG. 7 shows the state in which the stylus 30 and the record 31 are engaged.

31−1はレコード表面に設けられた信号である波状凹
凸であシ第7図aに於てレコードが矢印32の方向に送
行したとするとスタイラスの先端部30−1に於て、そ
れ筐でスタイラス30によシ圧縮されていたレコードの
部分31−2が急に解放されスタイラス30に急激な圧
力変化を生ずる。
31-1 is a wave-like unevenness which is a signal provided on the surface of the record.If the record is fed in the direction of the arrow 32 in FIG. The portion 31-2 of the record that had been compressed by the stylus 30 is suddenly released, causing a sudden pressure change in the stylus 30.

この圧力変化はピエゾ素子29に伝わシ、素子の電極か
ら引用されたリード線33−1.33−2を通じて電気
信号として取出される。
This pressure change is transmitted to the piezo element 29 and taken out as an electrical signal through lead wires 33-1 and 33-2 drawn from the electrodes of the element.

このような信号の検出方式は従来のオーディオレコード
とは著しく異なっている。
The method of detecting such signals is significantly different from that of conventional audio records.

即ちオーディオレコードに於ては、スタイラスはチタン
パイプ等のカンチレバーの先端に取付けられ、レコード
溝の凹凸に従ってカンチレバー全体が運動し、カンチレ
バーの付は根附近に設けられた磁気感応部材によりスタ
イラスの運動を検出するようになっているものや、カン
チレバーのスタイラス近傍に結合されたムービングコイ
ルの運動から起透力としてスタイラスの運動を検出する
ものがある。
In other words, in the case of audio records, the stylus is attached to the tip of a cantilever such as a titanium pipe, and the entire cantilever moves according to the unevenness of the record groove. There are some that detect the movement of the stylus as osmotic force from the movement of a moving coil coupled to the cantilever near the stylus.

即ち従来のオーディオ用のピックアップに於てはスタイ
ラス自体が、レコードの凹凸にほぼ忠実に追随するよう
になっている。
That is, in conventional audio pickups, the stylus itself follows the unevenness of the record almost faithfully.

これに比しここで説明しているビデオレコードの信号検
出にあたっては、第7図に於けるカンチレバーパイプ2
6、弾性体25などからなるスタイラスの保持系は、レ
コードの凹凸31−1の個個の波形の形状に追随して運
動することを目的として設計されるものではなく、レコ
ード17の製造工程の不完全さ、或いはレコードの再生
装置のレコード保持手段の不完全さに起因する。
In comparison, when detecting the video record signal described here, the cantilever pipe 2 in Fig. 7 is used.
6. The stylus holding system consisting of the elastic body 25 and the like is not designed to move in accordance with the individual waveforms of the unevenness 31-1 of the record, but rather is This is due to imperfections or imperfections in the record holding means of the record playback device.

レコードの回転にともなう表面の上下運動ないしは、レ
コードのスパイラル状溝のレコードの半径方向の揺動に
追随して、スパイラル30が、常にレコードの溝からは
ずれることなく、なるべく均一な圧力でレコードの溝の
底部に押し付けられるように設計される。
The spiral 30 follows the vertical movement of the surface as the record rotates or the radial rocking of the spiral groove of the record, so that the spiral 30 always remains in the groove of the record and applies as uniform a pressure as possible to the groove of the record. designed to be pressed against the bottom of the

ビデオレコードに於ては前述のように記録すべき変調信
号の周波数は数メガヘルツに及ぶためこのような高い周
波数でカンチレバー自体を振動させることは殆んど不可
能で、もしレコードが充分平担に製造され、更に充分平
担に支持されて回転されれば、カンチレバーパイプ26
は上下運動することなく、レコード表面の波状凹凸の凸
部がスタイラス30により圧縮され30−1を離れる瞬
間、圧縮状態から解放されるという現象を繰り返しつつ
、波状凹凸の繰9返し周期を主たる情報として端子33
−1.33−2から取り出すようになっている。
In video records, as mentioned above, the frequency of the modulation signal to be recorded ranges over several megahertz, so it is almost impossible to vibrate the cantilever itself at such a high frequency. If the cantilever pipe 26 is manufactured and rotated with sufficient flat support, the cantilever pipe 26
does not move up and down, but repeats the phenomenon that the convex part of the wavy concavity and convexity on the record surface is compressed by the stylus 30 and is released from the compressed state at the moment when it leaves the stylus 30-1. as terminal 33
-1.33-2.

第7図の如き検出手段を実現した場合、カンチレバーパ
イプ26がレコードの表面の上下運動に追随可能な振幅
はレコード表面の上下運動の周波数の増加とともに著し
く減少する性質を有し、仮にレコード表面に細かいうね
bがあってレコードの回転とともに数10キロヘルツで
レコード表面が上下運動した場合、カンチレバーパイプ
26の追随可能な振幅はたかが数ミクロン程度である。
When the detection means as shown in FIG. 7 is realized, the amplitude with which the cantilever pipe 26 can follow the vertical movement of the record surface has a property that it decreases significantly as the frequency of the vertical movement of the record surface increases. If there are fine ridges b and the surface of the record moves up and down at several tens of kilohertz as the record rotates, the amplitude that cantilever pipe 26 can follow is only about a few microns.

以上はビデオレコードの再生手段についての概略である
が実際に前述の如きレーザービームにより記録を行った
波状凹凸を再生する場合には次の如き問題がある。
The above is an outline of the video record reproducing means, but when actually reproducing the wave-like irregularities recorded by the laser beam as described above, the following problems arise.

第3図、第4図、第5図に従った前述の説明では第5図
の線状分布光のQ、Q’力方向分布がレコード溝底の波
状凹凸の、スタイラス走行方向の断面形成に及ぼす影響
について考慮するのを省略したが、実際には以下のよう
になる。
In the above explanations according to FIGS. 3, 4, and 5, the Q and Q' force direction distributions of the linearly distributed light in FIG. Although we have omitted consideration of the influence, the actual effect is as follows.

第5図に示した線状分布光の分布の状態は、集束光学系
に入射する光の分布並びに、集束光学系のニューメリカ
ルアパーチュア、シリンドリカルレンズの焦点距離並び
に集束光学系の収差などによう定まるが、そのQ−Q’
力方向分布についてみると大よそ第8図の如き形状にな
る場合が多い。
The state of the distribution of the linearly distributed light shown in Figure 5 is determined by the distribution of light incident on the focusing optical system, the numerical aperture of the focusing optical system, the focal length of the cylindrical lens, and the aberration of the focusing optical system. But that Q-Q'
When looking at the distribution of force in the direction, it often takes a shape roughly as shown in FIG.

光の強度自体は光学系に入射する強度により定するが、
分布は強度とは独立であうノルマライズして表わすこと
ができる。
The intensity of light itself is determined by the intensity that enters the optical system,
The distribution can be expressed in a normalized manner that is independent of intensity.

従って分布を表わすには中心の強度を1単位とした場合
、中心からrだけ離れた位置に於ける強度をもって充分
に表わすことができる。
Therefore, when the intensity at the center is taken as one unit, the distribution can be sufficiently expressed by the intensity at a position r away from the center.

但し以後の説明では第5図に於けるQ−Q’断面につい
てのみ考える。
However, in the following explanation, only the QQ' cross section in FIG. 5 will be considered.

第8図の例では、誤差函数に類似の形状をしたr=Oに
対称な分布をしてお9、これをfl(r)なる函数とし
て表わされるものとする。
In the example shown in FIG. 8, there is a distribution 9 that is symmetrical to r=O and has a shape similar to the error function, and this is expressed as a function fl(r).

今f 1(r)なる分布を有する光束が第9図aに示す
如く、その中心の強度Iと位置Xとの関係がf2(x)
で表わされる関係で、図に於て横方向に端から端筐で等
速度で、移動通過したものとすると成るXの点が受けた
露光量は、 J Cof2 (x+r)・fl(r)dr=f3ω
・−−−−−(1)−〇つ により表わされる。
Now, as shown in Fig. 9a, the light beam having the distribution f1(r) has the relationship between the intensity I at its center and the position X as f2(x).
According to the relationship expressed by , if it moves horizontally from one end to the other at a constant speed in the figure, the amount of exposure received by the point X is J Cof2 (x+r)・fl(r)dr =f3ω
----(1) - Represented by two.

第9図すはこの様子を表わす。光の強度の位置的変化が
、三角函数的の場合には線状分布光が通過した場合、各
位置に於ける露光量を求めることは容易で次のようにな
る。
Figure 9 shows this situation. When the positional change in light intensity is trigonometric, when linearly distributed light passes through, it is easy to find the exposure amount at each position as follows.

即ち第10図に示す如き強度分布の光を、その中心の強
度が第11図aに示す如き位置に対応した変化をしつつ
X=−■からX =:CO4で等速度で移動通過した場
合、Xの各点に於ける露光量EはX並びに、Xに対する
光強度の変化の周期を示す値ωの函数となシ、 となる。
In other words, when light with an intensity distribution as shown in Fig. 10 is passed through at a constant speed from X = -■ to The exposure amount E at each point of ,

第11図す並びに(3)式かられかるように、ωが大き
くなると露光量の変動量が小さくなる。
As can be seen from FIG. 11 and equation (3), as ω becomes larger, the amount of variation in the exposure amount becomes smaller.

つ1りこのことは、例えばフォトレジスト上に、波状凹
凸を記録しようとした場合、記録波長が短かくなるとと
もに記録される凹凸の振幅が減少することを意味する。
This means that, for example, when attempting to record wave-like unevenness on a photoresist, the amplitude of the recorded unevenness decreases as the recording wavelength becomes shorter.

第12図は、実際にビデオ信号を記録する場合に生じる
例を示したもので、レコードの溝の位置Xに対しaの如
く光束に強度変調を行った場合即ち線状分布光の中心が
Xの各位置にきた場合のその周辺の光の強度が鎖線で示
される如き値をとりつつ線状分布光が図に於て横方向に
等速度で通過した場合Xの各位置に於ける露光量即ち各
位置が受けた光束の積分値の第12図すの如くiる。
Figure 12 shows an example that occurs when actually recording a video signal. When the intensity modulation is performed on the light beam as shown in a with respect to the groove position X of the record, that is, the center of the linearly distributed light is If the linearly distributed light passes at a constant speed in the horizontal direction in the figure while the intensity of the light around it takes the value shown by the chain line when it comes to each position of X, the exposure amount at each position of X is That is, the integral value of the luminous flux received by each position is as shown in FIG.

即ち光の強度の変化する周期が第8図に於ける光の幅2
Sよう大きい部分即ちPlの部分に於てはXの位置によ
って露光量に飽和がみられるが、P2の部分に於ては、
Plの部分に比し、露光量の最大値と最小値の輻が小さ
くなっている。
In other words, the period in which the light intensity changes is the light width 2 in Figure 8.
In the large part like S, that is, the part Pl, the exposure amount is saturated depending on the position of X, but in the part P2,
The convergence between the maximum and minimum exposure values is smaller than in the Pl portion.

そしてPlの部分に於ける最小値に比し、P2に於ける
最小値は大きく、またPlに於ける最大値より、P2に
於ける最大値の方が小さくなっている。
The minimum value in P2 is larger than the minimum value in Pl, and the maximum value in P2 is smaller than the maximum value in Pl.

このような露光が、フォトレジストの露光量対溶出量の
直線部分即ち露光量に比例してフォトレジストが溶出す
る領域でフォトレジストに露光されたとすると、レコー
ドの波状凹凸部の形状は第13図の如くなう、レコード
の波状凹凸部の波長の長い部分の頂上に比し、波長の短
い部分の頂上の高さが低くなる。
If such exposure is performed on the photoresist in the linear portion of the photoresist's exposure amount versus elution amount, that is, in the area where the photoresist is eluted in proportion to the exposure amount, the shape of the wavy uneven portion of the record will be as shown in Fig. 13. The height of the top of the part with a short wavelength is lower than the top of the part with a long wavelength of the wavy uneven part of the record.

従って、もしレコードが矢印36の方向に送行したとす
ると、スタイラスの接触位置が凸部35に移るためには
、スタライスはレコードが凸部34と凸部35の距離を
移動する時間よりも、短い時間で第11図のhの高さだ
け下方に変位しなければならない。
Therefore, if the record is fed in the direction of the arrow 36, in order for the contact position of the stylus to move to the protrusion 35, the stylus needs a shorter time than it takes for the record to move the distance between the protrusions 34 and 35. It must be displaced downward by the height h in FIG. 11 in time.

このような危速な変位は、前述の如くスタイラス並びに
カンチレバーパイプの質量などの制約で実現できず、ス
タイラスは凸部35に接することなくその上方を滑空す
ることになる。
Such a rapid displacement cannot be achieved due to constraints such as the mass of the stylus and cantilever pipe as described above, and the stylus glides above the convex portion 35 without coming into contact with it.

スタイラスがどの位置で再びレコードに接するかは、ス
タイラスの上下動の追随性能により定する。
The position at which the stylus contacts the record again is determined by the ability of the stylus to follow the vertical movement.

スタイラスがこのように滑空した場合には凹凸部から忠
実な変調信号を検出することは勿論できず所謂ビデオ信
号にドロップアウトを生ずる。
When the stylus glides in this manner, it is of course impossible to detect a faithful modulation signal from the uneven portion, and a so-called dropout occurs in the video signal.

第14図は第13図と逆に波長の短い部分のあとに波長
の長い部分が続いている場合を示してお9、このような
場合には凸部37には著しく大きな圧力が加わジ、凸部
に永久変形を生じたり、スタイラスに著しい磨耗を生ず
る。
FIG. 14 shows a case where, contrary to FIG. 13, a short wavelength portion is followed by a long wavelength portion.9 In such a case, a significantly large pressure is applied to the convex portion 37. This may cause permanent deformation of the convex portion or significant wear on the stylus.

本発明は上述の如き、レーザーを用いてビデオ信号の変
調信号を記録する際などに生じる。
The present invention occurs when a modulated signal of a video signal is recorded using a laser as described above.

波長による記録波形の頂上の高さの変動をなくするため
の手段に関するものである。
The present invention relates to means for eliminating fluctuations in the height of the top of a recorded waveform due to wavelength.

即ち第4図に示す如きスタイラスのガイド溝と、その溝
の底部に波状凹凸を記録するために、ビデオ信号の変調
信号の周期が、短い部分に於ては、その周期の長い部分
に比し光量変動幅の最小値を小さくするような補正信号
を光変調器に印加することによう短波長部の凸部頂上の
高さと、長波長部の凸部頂上の高さをそろえるようにし
たことを特徴とする。
That is, in order to record the wave-like unevenness on the guide groove of the stylus and the bottom of the groove as shown in FIG. By applying a correction signal to the optical modulator to reduce the minimum value of the light intensity variation width, the height of the top of the convex part in the short wavelength part is made to be the same as the height of the top of the convex part in the long wavelength part. It is characterized by

以下実施例につき説明する。Examples will be explained below.

第15に於てaはビデオ信号の一部でありbはビデオ信
号によう周波数変調されたキャリアの電圧波形を示す。
In No. 15, a is a part of the video signal, and b is the voltage waveform of the carrier frequency-modulated to the video signal.

この電圧に一定の直流電圧並びにビデオ信号のレベルに
応じた関数関係の電圧を加えたものを作ると、Cに示す
如き電圧が得られる。
When this voltage is added to a constant DC voltage and a voltage having a functional relationship depending on the level of the video signal, a voltage as shown in C is obtained.

この電圧を第1図の光変調器に印加すると、レジスト面
で得られる線状分布光の中心の強度はCに示す電圧波形
に比例した値となる。
When this voltage is applied to the optical modulator shown in FIG. 1, the intensity at the center of the linearly distributed light obtained on the resist surface becomes a value proportional to the voltage waveform shown in C.

この光を円板1を所定の一定速度で回転させ、レジスト
上に露光を行うと、現像後得られる波状凹凸の形状は同
図dの如くなる。
When this light is exposed onto the resist by rotating the disk 1 at a predetermined constant speed, the shape of the wavy unevenness obtained after development becomes as shown in the figure d.

dに於てはレジスト面上に於ける各波形の頂上図に於て
は波形の下端の高さがそろっている。
In d, the heights of the lower ends of the waveforms are the same in the top view of each waveform on the resist surface.

つ1りこのようにして得られたレジストの波形を転写し
て製作したレコードを再生する場合には第13図、第1
4図に示されたような、スタイラスとの係合状態にはな
らず円滑なキャリア信号の検出が可能である。
When playing a record produced by transferring the waveform of the resist obtained in this way, Fig. 13, 1.
As shown in FIG. 4, the carrier signal is not engaged with the stylus, and the carrier signal can be detected smoothly.

第16図は上記のように電気信号を処理するための回路
のブロック図で例えばビデオテープレコーダなどのビデ
オ信号源38からの電気信号は周波数変調器39に加え
られ、ビデオ信号のレベルに対し直線的関係をもって変
化する周波数の電圧を発生する。
FIG. 16 is a block diagram of a circuit for processing electrical signals as described above. An electrical signal from a video signal source 38, such as a video tape recorder, is applied to a frequency modulator 39 and is linearly linear with respect to the level of the video signal. It generates a voltage with a frequency that varies in relation to

第17図a、bにそれぞれビデオ信号並びにそれの対応
したキャリア波形を写す。
FIGS. 17a and 17b show a video signal and its corresponding carrier waveform, respectively.

直流バイアス電源40は雨どい状のスタイラスガイド溝
を形つくるためのバイアス光即ち前述の第3図に於ける
光すに相当する光を得るために光変調器に印加すべき電
圧である。
A DC bias power source 40 is a voltage to be applied to the optical modulator in order to obtain bias light for forming a gutter-like stylus guide groove, that is, light corresponding to the light beam in FIG. 3 described above.

加算回路42は直流バイアス電源40並びに周波数変調
器39からの電圧を加算する。
Adding circuit 42 adds voltages from DC bias power supply 40 and frequency modulator 39.

この結果得られる合成電歪は第17図Cの如くなる。The resulting composite electrostriction is as shown in FIG. 17C.

一方ビデオ信号源からの電圧は、プロセサ41に印加さ
れる。
Meanwhile, a voltage from a video signal source is applied to processor 41.

プロセサについて説明する前にプロセサがない場合の記
録波形につき今少し詳しく考察してみる。
Before explaining the processor, let's take a closer look at the recorded waveforms when there is no processor.

記録周波数が高くなると(3)式に示した如く記録面上
への露光量の振幅が減少する。
As the recording frequency increases, the amplitude of the amount of exposure onto the recording surface decreases as shown in equation (3).

あるωに対する露光振幅の値はK及びkを定数とすると
Kc−にω で表わされる。
The value of the exposure amplitude for a certain ω is expressed as Kc-ω, where K and k are constants.

今仮に第17図Cに示される如く一定振輻で変動する電
圧で電圧と透過率の比例するモジュレータ−を駆動した
場合ω1に対する露光量の振幅をAω1 とするとKを
定数とし A(1):Ke−にω121・・・・・(4)となる。
Now, if we drive a modulator whose voltage and transmittance are proportional to voltage with a voltage that fluctuates at a constant amplitude as shown in FIG. Ke- becomes ω121 (4).

周波数がωmの場合はその振幅はその振幅は同となる。When the frequency is ωm, the amplitudes are the same.

従ってβをできるだけ小さくするためには、C図に示さ
れる電圧に−a F 1(Vrn )を加算した電圧で
光変調器を駆動すればよい。
Therefore, in order to make β as small as possible, the optical modulator may be driven with a voltage obtained by adding -a F 1 (Vrn) to the voltage shown in diagram C.

ここに定数aは単位深さのレジスト溶出を得るための、
光変調器に対する印加電圧である。
Here, the constant a is for obtaining resist elution of unit depth.
is the applied voltage to the optical modulator.

プロセサ41はこのaFl(vm)を得るための回路で
、プロセサ41からの出力は第17図Cに示された如き
電圧の極性を逆にしたものとなる。
The processor 41 is a circuit for obtaining this aFl (vm), and the output from the processor 41 is a voltage with the polarity reversed as shown in FIG. 17C.

以上の如くプロセサ41からの電圧により第17図Cの
電圧をビデオ信号電圧に対しaF11’Vm)になる関
係で変動させることにより、一定バイアス電圧並びに一
定振幅電圧で光変調器を駆動した場合に生ずるレコード
の波状凹凸の凸部の高さの変動を補正することができる
As described above, by varying the voltage in FIG. 17C with the voltage from the processor 41 in a relationship such that aF11'Vm) with respect to the video signal voltage, when the optical modulator is driven with a constant bias voltage and constant amplitude voltage, Fluctuations in the height of the convex portions of the resulting wavy unevenness on the record can be corrected.

この補正された波形を第17図fに示す。This corrected waveform is shown in FIG. 17f.

以上は上述の段差βを補正するために加算回路42に印
加すべき電圧を得るのにFl(vm)を用いたが、変調
されたキャリアの周波数から補正電圧を得ることも勿論
可能である。
Although Fl (vm) is used above to obtain the voltage to be applied to the adder circuit 42 in order to correct the above-mentioned step difference β, it is of course possible to obtain the correction voltage from the frequency of the modulated carrier.

この場合には(6)式に従って直ちに −にω2 β=K(e 1 e−ωm)=F2(ωm)・・
・・・・ (9) が得られる。
In this case, according to equation (6), ω2 β = K (e 1 e - ωm) = F2 (ωm)...
...(9) is obtained.

この場合の回路構成を第18図に示す。The circuit configuration in this case is shown in FIG.

図に於て44はビデオ信号源 45は周波数変調器、4
6は直流バイアス電源でそれぞれ第16図に於ける38
.40と同じ機能を有する。
In the figure, 44 is a video signal source, 45 is a frequency modulator, and 4
6 is a DC bias power supply, and 38 in Figure 16 respectively.
.. It has the same functions as 40.

周波数変調器45からの出力の一方はプロセサ入力され
aF2(0m)が得られる。
One of the outputs from the frequency modulator 45 is input to the processor to obtain aF2 (0m).

また47は遅延線で、プロセサで補正電圧を得るに際し
、周波数変調された信号を分析するのに時間遅れを生じ
るため、遅延線がない場合には補正電圧が記録しようと
する周波数変調信号に対し遅れを生ずることになるため
、プロセサがそのプロセスに必要とするだけの遅れ時間
をキャリア信号にも与えるためのものである。
In addition, 47 is a delay line, which causes a time delay in analyzing the frequency modulated signal when obtaining the correction voltage in the processor. This is to give the carrier signal as much delay time as the processor requires for its process.

遅延線の必要な理由につき今少し詳しく例をあげて説明
すると次のようになる。
The reason why a delay line is necessary can be explained in more detail using an example as follows.

今、周波数変調器45により変調されたキャリアが変調
器内部で整形されこれに直流電歪が加えられて第19図
aの実線の如き出力があったとする。
Assume now that the carrier modulated by the frequency modulator 45 is shaped inside the modulator and DC electrostriction is applied to it, resulting in an output as shown by the solid line in FIG. 19a.

このような波形の場合は一般にはパルス周波数変調と呼
ばれるが説明の簡略のためにこのような波形により説明
する。
Such a waveform is generally called pulse frequency modulation, but for the sake of simplicity, this waveform will be used for explanation.

この電圧を変調器に加え第19図すの如き分布の光でレ
ジスト面を等速運動しながら露光したとすると、これに
よるレジストの溶出量はC図の実線の如くなる。
If this voltage is applied to the modulator and the resist surface is exposed to light with a distribution as shown in FIG. 19 while moving at a constant speed, the amount of resist eluted will be as shown by the solid line in FIG.

レジスト面の重重しい形状がC図鎖線の如くであること
は前述の如くであシ、これを得るためにはa図鎖線の如
き電圧を必要とする。
As mentioned above, the heavy shape of the resist surface is as shown by the chain line in Figure C, and in order to obtain this, a voltage as shown by the chain line in Figure A is required.

これはa図実線の電圧とd図の電圧の和であり3図C2
,C3の如き電圧変化、即ちレジスト上では幅のせ1い
突起を生ずべき電圧変化がある場合にはd図の如き補正
電圧を発生ぜしめねばならない。
This is the sum of the voltage shown by the solid line in figure a and the voltage shown in figure d, and is the sum of the voltage shown by the solid line in figure 3, C2.
, C3, that is, when there is a voltage change that would cause a narrow protrusion on the resist, a correction voltage as shown in Figure d must be generated.

しかるにd図の如き補正電圧を必要とするか否かはC2
の電圧変化の時点では未だ判明してい。
However, whether or not a correction voltage as shown in figure d is required depends on C2.
It is still unclear at the time of the voltage change.

ずC3の電圧変化の時点に至って、C2の時点から補正
電圧を発生せしめておくべきであったことが判明する。
At the time when the voltage at C3 changes, it becomes clear that the correction voltage should have been generated from the time at C2.

この補正電圧を発生せしめるのはプロセサ48の担うべ
き機能でプロセサには、キャリアの変化を予知しこれに
先行して補正電圧を発生させることが要求されるのであ
るがこれは不可能なことである。
Generating this correction voltage is the function of the processor 48, and the processor is required to predict carrier changes and generate a correction voltage in advance, but this is impossible. be.

しかしこれは実際には遅延線47を設けることにより、
キャリアの成る第一の時点の変化が加算回路に達する時
刻を、その変化がプロセサに入るのに比し遅らせること
により、その変化に引続き生じた梳二の変化により判明
した補正電圧を第一の変化と同時に加算回路に供給する
ことが可能でありこれによりC図鎖線の如きレジスト溶
出量を得ることができる。
However, in reality, by providing the delay line 47,
By delaying the time at which the change in the first point of carrier formation reaches the summing circuit compared to when that change enters the processor, the correction voltage found due to the subsequent change in It is possible to supply the resist to the addition circuit at the same time as the change, and thereby it is possible to obtain the amount of resist elution as shown by the chain line in figure C.

なおここでは光変調器の透過率が印加電圧に比例する如
き場合、即ち超音波光学変調素子の如き場合について説
明したが、所謂エレクトロオプティカルな変調素子の場
合には、印加電圧と透過率の関係が複雑である。
Here, we have explained the case where the transmittance of the optical modulator is proportional to the applied voltage, that is, the case of an ultrasonic optical modulator, but in the case of a so-called electro-optical modulator, the relationship between the applied voltage and the transmittance is is complicated.

従って補正電圧の値はこの変調素子の特性を考慮に入れ
たものでなければならないことは勿論である。
Therefore, it goes without saying that the value of the correction voltage must take into account the characteristics of this modulation element.

以上の如く本発明は 集光光学系により記録材料上に作
られた光量分布がなだらかな場合に生ずる短波長部の波
状凹凸の頂上部の沈下を、ビデオ信号レベルの関数或い
はキャリア周波数の関数として得られる補正電圧を光変
調器に印加することによシ、全ての記録周波数にわたシ
フラットに補正するようにしたもので、短波長の凹凸部
の記録を安定に検出することが可能な形状の記録を光学
的に行う場合に極めて有効である。
As described above, the present invention deals with the sinking of the top of the wavy unevenness in the short wavelength region that occurs when the light intensity distribution created on the recording material by the condensing optical system is gentle, as a function of the video signal level or carrier frequency. By applying the obtained correction voltage to the optical modulator, correction is made in a flat manner across all recording frequencies. This is extremely effective when recording is performed optically.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はレーザーヒームによりフォトレジスト薄膜上に
情報を記録する記録装置を示す斜視図、第2図は、第1
図に於ける一部拡大斜視図、第3図は光強度の時間的変
化を説明する説明図、第4図は記録媒体上に形成した信
号軌跡を示す一部断面斜視図、第5図は記録媒体上に於
けるビームエネルギー分布を示す説明図、第6図は記録
媒体上の情報を再生する再生装置の斜視図、第7図は第
6図に示した再生装置のピックアップの説明に供する図
であシ、aは側面図、bは拡大斜視図、第8図はビーム
エネルギー分布を示す説明図、第9図a、b及び第10
図は、光強度露光量及びエネルギー分布の説明に供する
説明図、第11図a。 bは、光強度及び露光量の説明に供する図面、第12図
は記録媒体の露光量の説明に供する説明図、第13図、
第14図は記路媒体上に形成される信号跡を示す説明図
、第15図a、b、c、dは本発明に供する信号波形図
及びレジスト溶出深さを示す図である。 第16図は本発明に係る記録方法の説明に供するブロッ
クタイアゲラム、第17図a % fは第16図に示し
た記録方法の説明に供する説明図である。 第18図は本発明に係る記録方法の他の実施例を示すブ
ロックタイアゲラム。 第19図as b s c * dは本発明の説明図で
ある。 ここで、38.44はビデオ信号源、39゜45は周波
数変調器、41.48はプロセサ、40.46は直流バ
イアス電源 42.49は加算回路、43.50は光変
調器、そして47は遅延回路である。
FIG. 1 is a perspective view showing a recording device that records information on a photoresist thin film using a laser beam, and FIG.
3 is an explanatory diagram illustrating temporal changes in light intensity, FIG. 4 is a partially sectional perspective view showing the signal locus formed on the recording medium, and FIG. 5 is a partially enlarged perspective view of the figure. An explanatory diagram showing the beam energy distribution on the recording medium, FIG. 6 is a perspective view of a reproducing device that reproduces information on the recording medium, and FIG. 7 is used to explain the pickup of the reproducing device shown in FIG. 6. In the figures, a is a side view, b is an enlarged perspective view, FIG. 8 is an explanatory diagram showing beam energy distribution, and FIGS. 9 a, b, and 10.
The figure is an explanatory diagram for explaining light intensity exposure amount and energy distribution, FIG. 11a. b is a drawing for explaining the light intensity and exposure amount, FIG. 12 is an explanatory drawing for explaining the exposure amount of the recording medium, FIG. 13,
FIG. 14 is an explanatory diagram showing signal traces formed on a recording medium, and FIGS. 15 a, b, c, and d are diagrams showing signal waveform diagrams and resist elution depths used in the present invention. FIG. 16 is a block tiagelum for explaining the recording method according to the present invention, and FIG. 17 a % f is an explanatory diagram for explaining the recording method shown in FIG. 16. FIG. 18 is a block tiagelum showing another embodiment of the recording method according to the present invention. FIG. 19 as b sc * d is an explanatory diagram of the present invention. Here, 38.44 is a video signal source, 39°45 is a frequency modulator, 41.48 is a processor, 40.46 is a DC bias power supply, 42.49 is an addition circuit, 43.50 is an optical modulator, and 47 is a It is a delay circuit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 記録信号レベルのある方向への変化に応じて周波数
が高くなる如く前記記縁信号によう周波数変調したキャ
リヤと、記縁信号レベルの前記ある方向への変化に応じ
て変調光の振幅を減少させる補正信号とによシ光変調素
子を駆動することを特徴とする光学的高密度記録方法。 2 記縁使号レベルのある方向への変化に応じて周波数
が高くなる如く前記記縁信号により周波数変調したキャ
リヤを遅延した遅延信号と、記録信号もしくはキャリヤ
をプロセッサに加えて該プロセッサよシ得た記録信号レ
ベルの前記ある方向への変化に応じて変調光の振幅を減
少させる如き補正信号とによジ光変調素子を駆動するこ
とを特徴とする光学的高密度記録方法。
[Claims] 1. A carrier frequency-modulated to the recording edge signal such that the frequency increases in response to a change in the recording signal level in a certain direction, and An optical high-density recording method characterized by driving a light modulation element with a correction signal that reduces the amplitude of modulated light. 2. Adding to a processor a delayed signal obtained by delaying a carrier frequency-modulated by the recording edge signal so that the frequency increases in accordance with a change in the recording edge symbol level in a certain direction, and a recording signal or a carrier to obtain a signal from the processor. An optical high-density recording method, characterized in that the optical high-density recording method is characterized in that a correction signal is used to reduce the amplitude of the modulated light in response to a change in the recording signal level in the certain direction.
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DE2521695A DE2521695C3 (en) 1974-05-15 1975-05-15 Signal recording device
US06/036,512 US4243849A (en) 1974-05-15 1979-05-07 Signal recording device

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