JPS5815127A - レ−ザの遠視野像の測定装置 - Google Patents
レ−ザの遠視野像の測定装置Info
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- JPS5815127A JPS5815127A JP11394581A JP11394581A JPS5815127A JP S5815127 A JPS5815127 A JP S5815127A JP 11394581 A JP11394581 A JP 11394581A JP 11394581 A JP11394581 A JP 11394581A JP S5815127 A JPS5815127 A JP S5815127A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- signal
- screen
- oscilloscope
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザの遠視野像の測定装置に関するもので
ある。
ある。
従来、出射光の広がり角の大きいレーザの遠視野像の測
定には第１図に示される装置が用いられていた。この装
置では、レーザ１の遠方にピンホール２を入射口に持つ
光電管３を置きレーザ１をＸ軸４郭いは２軸６のまわシ
に数十度回転させ、角度検出器６により角度を検出する
と同時に光電管３の出力を記録計７で記録することによ
り遠視野像の光強度分布を測定する。
定には第１図に示される装置が用いられていた。この装
置では、レーザ１の遠方にピンホール２を入射口に持つ
光電管３を置きレーザ１をＸ軸４郭いは２軸６のまわシ
に数十度回転させ、角度検出器６により角度を検出する
と同時に光電管３の出力を記録計７で記録することによ
り遠視野像の光強度分布を測定する。
この従来の装置では、測定の際、レーザの光軸とピンホ
ールの位置合わせの調節が必要であり、しかもレーザを
回転させるという機械的な動作が必要なため測定は瞬時
に行なえず、測定能率は大変悪かった。さらにレーザは
固定されず回転という不安定な状態に置かれるため、半
導体レーザのチップのような未完成品のままでは、プロ
ーブを接触させたまま回転させることになり、測定中に
プローブがチップから離れた多接触したりしてサージ破
壊を起こす危険があり、測定は実施困難であった。
ールの位置合わせの調節が必要であり、しかもレーザを
回転させるという機械的な動作が必要なため測定は瞬時
に行なえず、測定能率は大変悪かった。さらにレーザは
固定されず回転という不安定な状態に置かれるため、半
導体レーザのチップのような未完成品のままでは、プロ
ーブを接触させたまま回転させることになり、測定中に
プローブがチップから離れた多接触したりしてサージ破
壊を起こす危険があり、測定は実施困難であった。
本発明は、上記従来の欠点を除去しだレーザの遠視野像
の測定装置を提供するものである。すなわち本発明は散
乱効果の高いスクリーンと光電変換器を使用することに
より、レーザを固定したまま°測定が行なえるとともに
、サージ破壊の危険なく安全かつ瞬時的に測定可能なレ
ーザの遠視野像の測定装置である。
の測定装置を提供するものである。すなわち本発明は散
乱効果の高いスクリーンと光電変換器を使用することに
より、レーザを固定したまま°測定が行なえるとともに
、サージ破壊の危険なく安全かつ瞬時的に測定可能なレ
ーザの遠視野像の測定装置である。
以下、具体的な実施例をもとに本発明の詳細について説
明する。第２図は本発明を適用した第１３べ− 実施例におけるレーザの遠視野像の測定装置を示してい
る。レーザ１に対向させて３枚のスフＩＪ ＋７８、８
’、 ８”を適度な間隔（ｏ、ｏｓ 〜ｓｍｇの間隔）
をあけて置き、遠視野像９をテレビカメラ１ｏにより捕
える。レーザ光は３枚の例えば半透明なトレース紙から
なるスクリーンＢ、 Ｂｌ、 ＢＬ／により繰り返
し散乱し３枚目のスクリーン８〃からの透過光は等方向
な光強度を持って散乱する。したがってスクリーン８に
対し任意の入射角を持つレーザ光に対しても、テレビカ
メラ１ｏでは正しい光強度が反映され、遠視野像の位置
がスクリーンの中心部から離れるにつれ外周辺部で光強
度が減衰するということはない。
明する。第２図は本発明を適用した第１３べ− 実施例におけるレーザの遠視野像の測定装置を示してい
る。レーザ１に対向させて３枚のスフＩＪ ＋７８、８
’、 ８”を適度な間隔（ｏ、ｏｓ 〜ｓｍｇの間隔）
をあけて置き、遠視野像９をテレビカメラ１ｏにより捕
える。レーザ光は３枚の例えば半透明なトレース紙から
なるスクリーンＢ、 Ｂｌ、 ＢＬ／により繰り返
し散乱し３枚目のスクリーン８〃からの透過光は等方向
な光強度を持って散乱する。したがってスクリーン８に
対し任意の入射角を持つレーザ光に対しても、テレビカ
メラ１ｏでは正しい光強度が反映され、遠視野像の位置
がスクリーンの中心部から離れるにつれ外周辺部で光強
度が減衰するということはない。
さらにテレビカメラ１ｏからの映像信号１１はオシロス
コープ１２を用いてテレビカメラ１０からの水平同期信
号１３あるいは垂直同期信号１４で同期をとり観測する
。遠視野像９の水平方向の光強度分布は水平同期信号１
３をオシロスコープ１２の同期入力とし遅延モードを用
いて映像信号１１から必要な一本の水平走査線の信号を
選びだし測定する。また遠視野像９の垂直方向の光強度
分布は垂直同期信号１４をオシロスコープ１２の同期入
力とし映像信号１１の包絡線を観測することにより測定
する。
コープ１２を用いてテレビカメラ１０からの水平同期信
号１３あるいは垂直同期信号１４で同期をとり観測する
。遠視野像９の水平方向の光強度分布は水平同期信号１
３をオシロスコープ１２の同期入力とし遅延モードを用
いて映像信号１１から必要な一本の水平走査線の信号を
選びだし測定する。また遠視野像９の垂直方向の光強度
分布は垂直同期信号１４をオシロスコープ１２の同期入
力とし映像信号１１の包絡線を観測することにより測定
する。
第３図は、本発明を適用した第２実施例におけるレーザ
の遠視野像の測定装置を示している。スクリーン８上の
遠視野像９はレンズ１５を通してイメージセンサ１６で
捕えられる。イメージセンサ１６は多くの絵素を持ちそ
れらの信号をマイクロコンピュータ１７でパターン認識
及び演算処理をする。
の遠視野像の測定装置を示している。スクリーン８上の
遠視野像９はレンズ１５を通してイメージセンサ１６で
捕えられる。イメージセンサ１６は多くの絵素を持ちそ
れらの信号をマイクロコンピュータ１７でパターン認識
及び演算処理をする。
第４図はマイクロコンピュータ１７によるパターン認識
と演算処理の次第を説明するもので、イメージセンサ１
６の個々の絵素の信号例を示している。パターン１８は
遠視野像９の輪郭を示すもので、像の中心部１９の光強
度を基準にして一定割合の光強度に入る部分を！イクロ
コンピュータ１７で求めその輪郭を２０とする。そして
輪郭２゜に入る絵素の数を水平、垂直方向でそれぞれ計
算することによりレーザの遠視野像の水平及び垂直５・
− 面内での広がシ角を求める。
と演算処理の次第を説明するもので、イメージセンサ１
６の個々の絵素の信号例を示している。パターン１８は
遠視野像９の輪郭を示すもので、像の中心部１９の光強
度を基準にして一定割合の光強度に入る部分を！イクロ
コンピュータ１７で求めその輪郭を２０とする。そして
輪郭２゜に入る絵素の数を水平、垂直方向でそれぞれ計
算することによりレーザの遠視野像の水平及び垂直５・
− 面内での広がシ角を求める。
なお以上の実施例ではスクリーン８を３枚用いているが
、スクリーン８の散乱の程度により、その枚数を変更し
てよく、１枚でも任意の複数枚でもよい。
、スクリーン８の散乱の程度により、その枚数を変更し
てよく、１枚でも任意の複数枚でもよい。
以上のような構成になっているから本発明は次のような
すぐれた効果を奏する。本発明に係るレーザの遠視野像
測定装置によるとレーザの遠視野像の光強度分布の測定
を瞬時に行なうことが出来る。さらにこの装置では光学
系にピンホールのようなスリットを含まないため、光軸
合わせの調節が不要となり、多数のレーザを測定試験す
る上で極めて能率的である。その上レーザは測定中、回
転のような機械的動作を加えられず固定されているため
、サージ破壊に極めて弱い半導体レーザをチップのまま
プローブで電流を印加して発振動作させながら測定する
ことが可能である。
すぐれた効果を奏する。本発明に係るレーザの遠視野像
測定装置によるとレーザの遠視野像の光強度分布の測定
を瞬時に行なうことが出来る。さらにこの装置では光学
系にピンホールのようなスリットを含まないため、光軸
合わせの調節が不要となり、多数のレーザを測定試験す
る上で極めて能率的である。その上レーザは測定中、回
転のような機械的動作を加えられず固定されているため
、サージ破壊に極めて弱い半導体レーザをチップのまま
プローブで電流を印加して発振動作させながら測定する
ことが可能である。
第１図は従来のレーザの遠視野像の測定装置の構成を示
す図、第２図は本発明の第１の実施例におけるレーザの
遠視野像の測定装置の構成を系す図、第３図は本発明の
第２の実施例におけるレーザの遠視野像の測定装置の構
成を示す図、第４図は第２実施例の遠視野像の演算処理
を示す図である。 １・・・・二・レーｆ、８． ８’、 ８”・川・・ス
クリーン、９・・・・・・遠視野像、１ｏ・・・・・・
テレビカメラ、１２・・・・・・オシロスコープ、１６
・・・・・・レンズ、１６・・・・・・イメージセンサ
、１了・・・…マイクロコンピュータ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １２ 図 ３ 図 １３７
す図、第２図は本発明の第１の実施例におけるレーザの
遠視野像の測定装置の構成を系す図、第３図は本発明の
第２の実施例におけるレーザの遠視野像の測定装置の構
成を示す図、第４図は第２実施例の遠視野像の演算処理
を示す図である。 １・・・・二・レーｆ、８． ８’、 ８”・川・・ス
クリーン、９・・・・・・遠視野像、１ｏ・・・・・・
テレビカメラ、１２・・・・・・オシロスコープ、１６
・・・・・・レンズ、１６・・・・・・イメージセンサ
、１了・・・…マイクロコンピュータ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １２ 図 ３ 図 １３７
Claims (1)
- レーザ光を等方的に散乱させるスクリーンにレーザから
の出射光をあてて、レーザ光を等方的に散乱させ、前記
スクリーン上に生ずるレーザの遠視野像を光電変換器で
検出することを特徴とするレーザの遠視野像の測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11394581A JPS5815127A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | レ−ザの遠視野像の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11394581A JPS5815127A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | レ−ザの遠視野像の測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5815127A true JPS5815127A (ja) | 1983-01-28 |
Family
ID=14625135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11394581A Pending JPS5815127A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | レ−ザの遠視野像の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5815127A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6312343A (ja) * | 1986-07-01 | 1988-01-19 | Nippon Tairan Kk | 紫外線レ−ザモニタ− |
| CN106596062A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-04-26 | 天津津航技术物理研究所 | 激光同步红外视频采集装置 |
| CN112462351A (zh) * | 2021-01-28 | 2021-03-09 | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 | 一种光源的检测系统和检测方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5332781B2 (ja) * | 1973-01-10 | 1978-09-09 |
-
1981
- 1981-07-20 JP JP11394581A patent/JPS5815127A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5332781B2 (ja) * | 1973-01-10 | 1978-09-09 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6312343A (ja) * | 1986-07-01 | 1988-01-19 | Nippon Tairan Kk | 紫外線レ−ザモニタ− |
| CN106596062A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-04-26 | 天津津航技术物理研究所 | 激光同步红外视频采集装置 |
| CN112462351A (zh) * | 2021-01-28 | 2021-03-09 | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 | 一种光源的检测系统和检测方法 |
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