JPH1197606A - 半導体パッケージのタイバー切断装置 - Google Patents
半導体パッケージのタイバー切断装置Info
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Abstract
短縮し、機械的な磨耗による作動不良を防止する。 【解決手段】 下部プレート263と、その上部面に離
隔されて垂直で固定設置される複数のガイドコラム26
4と、下部プレート263から上方に離隔されて上下動
作する上部プレート261と、両プレート間に位置し
て、その動作に関連してガイドコラムにより上下動作す
るガイドプレート262と、上部プレート261の上下
動作に関連してガイドプレートによりリードフレームの
所定領域を加圧して固定する加圧固定部材と、上部プレ
ート261の上下動作に関連してガイドプレートによっ
て加圧固定部材により固定された半導体パッケージに所
定圧力を加圧する加圧切断部材269と、リードフレー
ムから分離されたパッケージの一側端部に所定の圧力で
空気を噴射してパッケージをアンロ−ドする空気噴射部
材265とを備える。
Description
タイバー切断装置に係り、より詳細には、トリーム及び
フォーム工程を完了した単一個体のパッケージを空気を
噴射してアンロ−ディングできるようにした半導体パッ
ケージのタイバー切断装置に関するものである。
も発展されてきた。このような電子機器は、高集積、高
密度を持つ半導体素子の開発により高機能化、超小形化
等が可能になり、これによって、半導体パッケージも継
続発展している。ここで、半導体パッケージの製造工程
について簡略に説明すると次のようである。半導体パッ
ケージ(Package)の製造工程は、複数個の半導
体素子が内蔵されたウェハ(Wafer)をダイヤモン
ド(Diamond)刃で切削して個別半導体素子で分
離するダイシング(Dicing)工程と、接着剤を使
用して前記半導体素子をリードフレームのダイパドル
(Die Paddle)に付着するダイボンディング
(Die Bonding)工程と、前記半導体素子の
入出力パッドとリードフレーム(Lead Fram
e)のイナーリード(Inner Lead)とを電気
伝導度が高く極細線化が容易な金属線で連結するワイヤ
ボンディング(Wire Bonding)工程と、ワ
イヤボンディングを完了した前記半導体素子を衝撃、水
粉、ごみ等の外部環境から保護できるように熱硬化性樹
脂で封止するモ−ルディング(Molding)工程
と、前記工程が完了されたリードフレームストリップ
(Lead Frame Strip)から半導体パッ
ケージを個々のデバイス(Device)で分離してリ
ードフレームのアウトリード(Out Lead)模様
を、規定された形態によって製作分離するトリーム/フ
ォーム(Trim/Form)工程と、前記熱硬化性樹
脂の表面に商標及び製品番号を印刷するマーキング(M
arking)工程とでなっている。ここで、トリム/
フォーム工程をより詳細に説明すると、モールディング
工程が完了されたリードフレームがストリップ状態で熱
硬化性樹脂が流出されることを防止するためのダムバー
(Dam Bar)を除去するダムバー切断工程が実施
された後、アウトリードの表面酸化を防止するためアウ
トリードはスズ(Tin)またはスズ合金等で皮膜処理
される。以後には一般的に、モールディングされた部分
の表面に製品番号を標記するマーキング工程が実施され
た後、アウトリードを所定形態で形成するフォーミング
工程が実施される。また、フォーミング工程について説
明すると、リードフレームと半導体パッケージとを連結
するタイバー(Tie Bar)を持つリードストリッ
プをローディングした後、半導体パッケージのアウトリ
ードは段階的に屈曲されて所定形状で形成される。この
時、一般的にSOJ(Small Outline J
−bend)半導体パッケージタイプのアウトリード
は、屈曲率が各々異なる5段階の金型部を順次的に経た
後、一つの完成された製品形態になる。
れた後、半導体パッケージはリードフレームから分離さ
れて、分離された半導体パッケージは、半導体パッケー
ジ貯蔵用チューブ(Tube)内に順次的に収納され
る。ここで、半導体パッケージがチューブ内に貯蔵され
る過程を説明すると、半導体パッケージからタイバーが
除去された後、タイバーが切断された半導体パッケージ
の一側領域と対応する位置に設置された半導体パッケー
ジアンローディング手段により半導体パッケージはチュ
ーブ内に収納される。この時、半導体パッケージアンロ
ーディング手段は所定のシリンダまたは関節アームの作
動によって押しバー(Push Bar)が作動する構
造でなっており、押しバーが往復直線運動をしながら半
導体パッケージを押してチューブ内にアンローディング
させる。
ジの製造設備の構造と金型部について説明する。図3は
一般的な半導体パッケージ製造設備の構造を概略的に示
すブロック図、図4は、図3の金型部をより詳細に示す
ブロック図である。図3に図示されるように、一般的な
半導体パッケージ製造設備は、モールディング工程とト
リム工程を完了した複数個の半導体パッケージを持つリ
ードフレームを意味するリードフレームストリップが装
着されるロ−ディング部100と、前記半導体パッケー
ジのアウトリードに対する屈曲成形及びタイバー(Ti
eBar)を切断する金型部200と、金型部200か
ら一つの個体に分離された前記半導体パッケージが貯蔵
用チューブ内にアンローディングされるアンローディン
グ部300とでなっている。
すると次のようである。図示されるように、金型部20
0は、第1金型部210,第2金型部220,第3金型
部230,第4金型部240,第5金型部250,タイ
バー切断部260とでなり、ローディング部100から
移送される前記半導体パッケージのアウトリードは、急
なアウトリードの屈曲によってリードにクラック(Cr
ack)が発生することを防止するため屈曲率が各々異
なる第1から第5までの金型部210・220・230
・240・250を順次的に図て所定形態でフォーミン
グされる。
220・230・240・250は、一般的に、SOJ
タイプのパッケージに対するアウトリードをフォーミン
グする時使用される。また、前記タイバー切断部260
は、半導体パッケージとリードフレームとの間を連結す
るタイバーを切断して半導体パッケージをリードフレー
ムから分離して一つの単一個体化した後、これをアンロ
ーディング部300にアンローディングする役割をす
る。
体パッケージのアンローディング手段を長時間駆動する
ことにより関節アーム部分の磨耗及びスプリングの老化
によりアンローディング手段の機能が低下されて押しバ
ーの正確な往復直線運動が行われなくなるという問題点
があった。また、往復直線運動する押しバーが一つの半
導体パッケージを押してチューブ内に収納することによ
り、一つの半導体パッケージに対する半導体パッケージ
のアンローディング時間が増加して生産効率が低下する
という問題点があった。
によって半導体パッケージを物理的にアンローディング
せず、空気の油圧によって半導体パッケージをアンロー
ディングできるようにした半導体パッケージのタイバー
切断装置を提供することにある。
めの本発明によると、下部プレートと、前記下部プレー
トの上部面に所定間隔が離隔されて垂直で固定設置され
る複数のガイドコラムと、前記下部プレートから上部方
向に所定距離が離隔されて前記ガイドコラムによってプ
レスにより上下に動作する上部プレートと、前記下部プ
レートと前記上部プレートとの間に位置して前記上部プ
レートの上下動作に関聯して前記ガイドコラムによって
上下に動作するガイドプレートと、前記上部プレートの
上下動作に関聯して前記ガイドプレートのガイドによっ
てリードフレームストリップのリードフレーム所定領域
を加圧して前記リードフレームストリップを固定する加
圧固定部材と、前記上部プレートの上下動作に関聯して
前記ガイドプレートのガイドによって前記加圧固定部材
により固定された前記リードフレームストリップの半導
体パッケージを前記リードフレームから分離させるため
半導体パッケージに所定圧力を加圧する加圧切断部材
と、前記加圧切断部材により前記リードフレームから分
離された前記半導体パッケージの一側端部に所定の圧力
で空気を噴射して前記半導体パッケージをアンロ−ディ
ングさせる空気噴射部材とを含むことを特徴とする。
による好ましい一実施の形態について詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態によるタイバー切断部を概
略的に示す斜視図、図2は図1のA−A’部分に沿って
切開した断面図である。図1、図2を参照してタイバー
切断部について詳細に説明すると次のようである。
切断装置は、四角形状の下部プレート(Bottom
Plate)263が水平に配置されて、下部プレート
263の上部面には二つのガイドコラム(Guide
column)264が所定間隔が離隔されて垂直に固
定設置されて、下部プレート263から対応して上方に
所定距離が離隔された位置にはガイドコラム264に沿
って垂直に上下作動するガイドプレート262が設置さ
れている。また、前記ガイドプレート(Guide P
late)262と対応して上方に所定距離が離隔され
た位置にはガイドコラム264に沿って垂直に上下作動
する上部プレート(Top Plate)261が設置
されている。
は上部プレート261を上下に作動させるプレス(図示
せず)が形成されて、上部プレート261の作動に関聯
してガイドプレート262も作動する。この時、上部プ
レート261は、ガイドコラム264の上端部に形成さ
れたガイドコラムブッシュ(Guide Column
Bush)275により上方への作動が制限されて、
下部プレート263の上部面の所定位置に四角形状で配
置された棒形状のストッパー(Stopper)267
によりガイドプレート262の下方への作動が制限され
る。
61の下部面の中心部分には、上部プレート261の下
向作動によって半導体パッケージとリードフレームとの
間を連結するタイバーから半導体パッケージを分離でき
るように加圧して切断する加圧切断部材、例えば、パン
チ(Punch)269が設置されてガイドプレート2
62に貫通される。前記ポンチ269の下端部面は、半
導体パッケージの上部領域が収容できるように凹に所定
形状でなっており、タイバー部分が位置する方向に下部
面の両側端部領域が開放されている。
にはリードフレームストリップの遊動を防止するため、
タイバーと連結されたリードフレーム領域を加圧して固
定する加圧固定部材、例えば、クランプ(Clamp)
270がガイドプレート262に関連して設置されてい
る。この時、クランプ270の下端部面はポンチ269
の下端部面より垂直に下向して位置して、クランプ27
0の上端部面には上部プレート261の加圧によって圧
縮される弾性部材、例えば、円形のスプリング(Spr
ing)272が設置されている。
れた位置には、下端部面にスプリング273が設置され
た円筒形状の支持部材、例えば、支持金型268が下部
プレート263の上部面に所定高さほど突出設置されて
いる。この時、支持金型268はガイドプレート262
の上下作動によって作動するようにガイドプレート26
2と相互関連して設置されている。
間には、第5金型部の過程まで完了されたリードフレー
ムストリップが1ピッチ(Pitch)ほど移動してリ
ードフレームストリップの半導体パッケージが位置する
ようにタイバーと連結されたリードフレーム領域を収容
しながらリードフレームストリップの長手方向の両側端
部をガイドするガイドレール271が設置されて、クラ
ンプ270と対応するガイドレール271の上部面の所
定領域にはクランプ270がタイバーと連結されたリー
ドフレーム領域をクランピングできるようにクランプ2
70を収容する溝(図示せず)が形成されている。
68の一側領域と対応するガイドレール271の下部に
はリードフレームストリップから分離された半導体パッ
ケージを案内して運搬するガイド移送部材、例えば、ガ
イドトラック(GuideTrack)266が設置さ
れている。また、本発明によると、支持金型268を基
準でガイドトラック266と対応する支持金型268の
他側領域には、リードフレームストリップから分離され
た半導体パッケージがガイドトラック266に移送され
るように半導体パッケージの一側端部に所定の圧力で空
気を持続的に噴射する空気噴射部材265が形成されて
いる。この時、前記空気の圧力は、半導体パッケージを
ガイドトラック266に移送させる適定圧力で、一般的
に3〜5kgf/cm2であり、より好ましくは4kg
f/cm2である。
記空気の圧力に対応して所定の直径を持つチューブ27
4が形成されて、チューブ274は、約2mm程度の直
径を持つことが好ましい。この時、空気噴射部材265
は一般的に金属材質、プラスチック(Plastic)
材質等で設置可能であるが、タイバー切断部260の駆
動環境によって金属材質、例えば、アルミニューム合金
等でなることが好ましい。
大きさによってチューブ274の直径は可変でき、半導
体パッケージの大きさによって複数個のチューブ274
が形成できる。例えば、所定大きさを持つ半導体パッケ
ージの一側端部の両側領域に対応してチューブ274を
各々形成して、空気が噴射されることにより半導体パッ
ケージが安定的に円滑にガイドトラック266に移送さ
れる。
4は、空気噴射によって半導体パッケージが円滑にガイ
ドトラック266に移送されるようにするため、ガイド
トラック266と半導体パッケージと一直線上に位置す
ることが好ましい。また、半導体パッケージの移送効果
を最大にするため半導体パッケージの一側端部とチュー
ブ274の一側端部の距離は約2〜3mmが好ましい。
未説明符号280は複数個の半導体パッケージを持つリ
ードフレームを意味するリードフレームストリップであ
る。
についてより詳細に説明すると次のようである。まず、
所定の移送手段(図示せず)により第5次金型部250
の過程まで完了したリードフレームストリップは、ガイ
ドレール271に沿って移送されて支持金型268の上
部に半導体パッケージが位置するようになる。次に、プ
レス(図示せず)の加圧によって上部プレート261は
ガイドコラム264に沿って下向しながらパンチ269
とスプリング272を通したクランプ270を垂直に下
向させる。この時、クランプ270はガイドプレート2
62によりガイドされながらタイバーと連結されたリー
ドフレーム領域を加圧固定して、パンチ269は半導体
パッケージのモールディング部分を加圧しながら半導体
パッケージとリードフレームとを連結するタイバーから
半導体パッケージを分離する。
たパンチ269は、半導体パッケージがガイドトラック
266とチューブ274との間に介在されて一直線で位
置するように下向して、この時、半導体パッケージのモ
ールディング部分の下部面を支持する支持金型268も
上部プレート261の下向によるガイドプレート262
の下向作動に関連して所定深さで下向する。
269の両側端部は開放されてチューブ274から噴射
される空気は半導体パッケージの一側端部を継続的に加
圧するようになって、ポンチ269の開放された部分が
ガイドトラックトラック266と一致する時、半導体パ
ッケージは噴射される空気圧によりガイドトラック26
6方向に移動されて半導体パッケージ貯蔵用チューブ
(図示せず)にアンローディングされる。
空気が所定圧力で持続的に噴射されることにより、リー
ドフレームから分離された半導体パッケージがポンチと
支持金型により垂直で下向してガイドトラックと空気噴
射口と共に一直線上に位置すると、半導体パッケージは
噴射される空気圧によりガイドトラック方向に移送され
て、押しバーの往復直線運動による半導体パッケージの
アンローディング時間が短縮でき、機械的な磨耗による
押しバーの作動不良が発生しないことにより作業能率が
向上される。
フレームストリップの半導体パッケージをリードフレー
ムから分離させた後、持続的に噴射される空気により半
導体パッケージはポンチと支持金型から分離されてアン
ロ−ディングされることにより、半導体パッケージのア
ンロ−ディング時間が短縮されて、機械的な磨耗による
作動不良が発生しなくて作業能率が向上される効果があ
る。
切断部を概略的に示す斜視図である。
である。
概略的に示すブロック図である。
ある。
Claims (12)
- 【請求項1】 下部プレートと、前記下部プレートの上
部面に所定間隔が離隔されて垂直に固定設置される複数
個のガイドコラムと、前記下部プレートから上方向に所
定距離が離隔されて前記ガイドコラムによってプレスに
より上下に作動する上部プレートと、前記下部プレート
と前記上部プレートとの間に位置して、前記上部プレー
トの上下作動に関連して前記ガイドコラムによって上下
に作動するガイドプレートと、前記上部プレートの上下
作動に関連して前記ガイドプレートのガイドによってリ
ードフレームストリップのリードフレームの所定領域を
加圧して前記リードフレームストリップを固定する加圧
固定部材と、前記上部プレートの上下作動に関連して前
記ガイドプレートのガイドによって前記加圧固定部材に
より固定された前記リードフレームストリップの半導体
パッケージを前記リードフレームから分離させるため前
記半導体パッケージに所定圧力を加圧する加圧切断部材
と、前記加圧切断部材により前記リードフレームから分
離された前記半導体パッケージの一側端部に所定の圧力
で空気を噴射して、前記半導体パッケージをアンローデ
ィングさせる空気噴射部材とを含むことを特徴とする半
導体パッケージのタイバー切断装置。 - 【請求項2】 前記空気噴射部材に対応して所定間隔が
離隔された位置に、前記空気噴射部材によりアンローデ
ィングされる半導体パッケージをガイドして半導体パッ
ケージ貯蔵部材に移送するガイド移送部材が設置される
ことを特徴とする請求項1記載の半導体パッケージのタ
イバー切断装置。 - 【請求項3】 前記ガイド移送部材と前記空気噴射部材
との間に、前記分離された半導体パッケージの底面を支
持する支持部材が設置されることを特徴とする請求項2
記載の半導体パッケージのタイバー切断装置。 - 【請求項4】 前記支持部材は、前記ガイドプレートの
上下作動に関連して弾性的に作動することを特徴とする
請求項3記載の半導体パッケージのタイバー切断装置。 - 【請求項5】 前記空気噴射部材は、前記所定圧力で空
気を持続的に噴射することを特徴とする請求項2記載の
半導体パッケージのタイバー切断装置。 - 【請求項6】 前記空気噴射部材は、前記リードフレー
ムから分離された前記半導体パッケージから約2〜3m
m程度離隔されて設置されることを特徴とする請求項2
記載の半導体パッケージのタイバー切断装置。 - 【請求項7】 前記空気噴射部材から噴射される空気圧
力は、約3〜5kgf/cm2であることを特徴とする請
求項5記載の半導体パッケージのタイバー切断装置。 - 【請求項8】 前記空気圧力は、4kgf/cm2である
ことを特徴とする請求項7記載の半導体パッケージのタ
イバー切断装置。 - 【請求項9】 前記空気噴射部材のチューブの直径は、
約2mmであることを特徴とする請求項7記載の半導体
パッケージのタイバー切断装置。 - 【請求項10】 前記チューブは、複数個形成されるこ
とを特徴とする請求項9記載の半導体パッケージのタイ
バー切断装置。 - 【請求項11】 前記空気噴射部材は、金属材質である
ことを特徴とする請求項2記載の半導体パッケージのタ
イバー切断装置。 - 【請求項12】 前記金属材質は、アルミニウム合金で
あることを特徴とする請求項11記載の半導体パッケー
ジのタイバー切断装置。
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US (1) | US6065381A (ja) |
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