JPH1187231A - 画像取り込み装置 - Google Patents
画像取り込み装置Info
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- JPH1187231A JPH1187231A JP9254094A JP25409497A JPH1187231A JP H1187231 A JPH1187231 A JP H1187231A JP 9254094 A JP9254094 A JP 9254094A JP 25409497 A JP25409497 A JP 25409497A JP H1187231 A JPH1187231 A JP H1187231A
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- optical system
- forming optical
- imaging optical
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 反射率が相当異なる２物体の画像を、時間ド
リフトの悪影響を抑制しつつ適切に取り込むことのでき
る画像取り込み装置を提供する。 【解決手段】 本画像取り込み装置は、ウェハ２３上の
ボックスマークのような第１の物体２５の画像及び第２
の物体２７の画像を取り込む装置である。同装置は、両
物体を照明する照明光学系（光源１１等）を備える。ま
た、第１の物体２５からの反射光を第１の光電変換器３
９ａに結像する第１の結像光学系と、第２の物体２７か
らの反射光を第２の光電変換器３９ｂに結像する第２の
結像光学系と、装置各部をコントロールする制御部５０
を備える。上記第１の結像光学系又は第２の結像光学系
の露光時間のうちのいずれか長い方の間、両結像光学系
のうちのいずれか短い露光時間の方の結像光学系を繰り
返し露光し、繰り返し露光して得られた光電変換画像を
積算し、次いで、積算した画像を平均化して露光時間の
短い方の結像光学系の画像を得る。
リフトの悪影響を抑制しつつ適切に取り込むことのでき
る画像取り込み装置を提供する。 【解決手段】 本画像取り込み装置は、ウェハ２３上の
ボックスマークのような第１の物体２５の画像及び第２
の物体２７の画像を取り込む装置である。同装置は、両
物体を照明する照明光学系（光源１１等）を備える。ま
た、第１の物体２５からの反射光を第１の光電変換器３
９ａに結像する第１の結像光学系と、第２の物体２７か
らの反射光を第２の光電変換器３９ｂに結像する第２の
結像光学系と、装置各部をコントロールする制御部５０
を備える。上記第１の結像光学系又は第２の結像光学系
の露光時間のうちのいずれか長い方の間、両結像光学系
のうちのいずれか短い露光時間の方の結像光学系を繰り
返し露光し、繰り返し露光して得られた光電変換画像を
積算し、次いで、積算した画像を平均化して露光時間の
短い方の結像光学系の画像を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイス製
造工程において重ね合わせ精度等を測定するレジストレ
ーション装置用の画像処理装置に代表される、近接して
配置されている微細な二つの物体の画像を取り込むのに
適した画像取り込み装置に関する。特には、反射率又は
透過率が相当異なる２物体の画像を、時間ドリフトの悪
影響を抑制しつつ適切に取り込むことのできる画像取り
込み装置に関する。
造工程において重ね合わせ精度等を測定するレジストレ
ーション装置用の画像処理装置に代表される、近接して
配置されている微細な二つの物体の画像を取り込むのに
適した画像取り込み装置に関する。特には、反射率又は
透過率が相当異なる２物体の画像を、時間ドリフトの悪
影響を抑制しつつ適切に取り込むことのできる画像取り
込み装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスのレジストレーション装
置を例にとって説明する。図３は、従来のレジストレー
ション装置の構成を模式的に示す図である。このレジス
トレーション装置は、例えば半導体ウェハ２３上に形成
されている下地層のような第１の物体２５と、該物体の
上に積層された現像済のフォトレジスト層のような第２
の物体２７との中心のズレを検査するため、それらの物
体の側辺である第１の部位２５ａと第２の部位２７ａと
の間の距離を測定する装置である。なお、両物体２５、
２７は検査用のボックスマークである。
置を例にとって説明する。図３は、従来のレジストレー
ション装置の構成を模式的に示す図である。このレジス
トレーション装置は、例えば半導体ウェハ２３上に形成
されている下地層のような第１の物体２５と、該物体の
上に積層された現像済のフォトレジスト層のような第２
の物体２７との中心のズレを検査するため、それらの物
体の側辺である第１の部位２５ａと第２の部位２７ａと
の間の距離を測定する装置である。なお、両物体２５、
２７は検査用のボックスマークである。
【０００３】この従来例のレジストレーション装置は、
照明用の光源１１を有する。光源１１から発した照明光
１３は、光源１１と同軸上に配置されているコンデンサ
レンズ１５を通って適当な照明倍率に調整される。コン
デンサレンズ１５を出た照明光１９は、コンデンサレン
ズ１５の軸と、対物レンズ２１や結像レンズ３３の軸と
が交差する点に置かれているハーフミラー１７に当って
下方に偏向され、ハーフミラー１７の下方に置かれてい
る対物レンズ２１を通過して上記第１の物体２５及び第
２の物体２７を照明する。通常この種のレジストレーシ
ョン装置においては、照明の均一性を保つために、照明
光学系の配置をいわゆるケーラー照明とすることが多
い。なお、第１の物体２５及び第２の物体２７は、対物
レンズ２１の光軸付近に、ウェハステージ２４によって
位置決めされる。
照明用の光源１１を有する。光源１１から発した照明光
１３は、光源１１と同軸上に配置されているコンデンサ
レンズ１５を通って適当な照明倍率に調整される。コン
デンサレンズ１５を出た照明光１９は、コンデンサレン
ズ１５の軸と、対物レンズ２１や結像レンズ３３の軸と
が交差する点に置かれているハーフミラー１７に当って
下方に偏向され、ハーフミラー１７の下方に置かれてい
る対物レンズ２１を通過して上記第１の物体２５及び第
２の物体２７を照明する。通常この種のレジストレーシ
ョン装置においては、照明の均一性を保つために、照明
光学系の配置をいわゆるケーラー照明とすることが多
い。なお、第１の物体２５及び第２の物体２７は、対物
レンズ２１の光軸付近に、ウェハステージ２４によって
位置決めされる。
【０００４】第１の物体２５及び第２の物体２７に当て
られた光は反射して（反射光２８）、対物レンズ２１及
び、ハーフミラー１７を通過し、さらに同レンズ２１と
同軸で上方に配置された結像レンズ３３を通過して、さ
らに上方に配置された光電変換器としてのＣＣＤカメラ
２０３の光電変換面に達する。この対物レンズ２１及び
結像レンズ３３によって、第１の物体２５及び第２の物
体２７の拡大像がＣＣＤカメラ２０３の光電変換面に結
像する。そして、例えば、第１の部位２５ａの像と第２
の部位２７ａの像を、ＣＣＤカメラ２０３からの画像信
号を処理する画像処理制御部２０５で自動認識し、両像
の間隔を測定する。同間隔を光学系の拡大率で割れば実
際の第１の部位２５ａと第２の部位２７ａの間の距離を
知ることができる。
られた光は反射して（反射光２８）、対物レンズ２１及
び、ハーフミラー１７を通過し、さらに同レンズ２１と
同軸で上方に配置された結像レンズ３３を通過して、さ
らに上方に配置された光電変換器としてのＣＣＤカメラ
２０３の光電変換面に達する。この対物レンズ２１及び
結像レンズ３３によって、第１の物体２５及び第２の物
体２７の拡大像がＣＣＤカメラ２０３の光電変換面に結
像する。そして、例えば、第１の部位２５ａの像と第２
の部位２７ａの像を、ＣＣＤカメラ２０３からの画像信
号を処理する画像処理制御部２０５で自動認識し、両像
の間隔を測定する。同間隔を光学系の拡大率で割れば実
際の第１の部位２５ａと第２の部位２７ａの間の距離を
知ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例において
は、次のような問題点があった。 （１）第１の物体２５の反射率と第２の物体２７の反射
率との間には、極端な差がある場合がある。例えばアル
ミニウムやポリシリコンの配線層の反射率は数十％であ
るのに対し、反射防止膜（ＡＲＣ）の反射率はわずか数
％である。その場合、反射率の高い方の像が飽和（露光
オーバー）しないような露光条件にすると、反射率の低
い方の像のコントラストが十分得られず、良好な測定再
現性を得られない欠点があった。
は、次のような問題点があった。 （１）第１の物体２５の反射率と第２の物体２７の反射
率との間には、極端な差がある場合がある。例えばアル
ミニウムやポリシリコンの配線層の反射率は数十％であ
るのに対し、反射防止膜（ＡＲＣ）の反射率はわずか数
％である。その場合、反射率の高い方の像が飽和（露光
オーバー）しないような露光条件にすると、反射率の低
い方の像のコントラストが十分得られず、良好な測定再
現性を得られない欠点があった。
【０００６】（２）像のコントラストを確保するため
に、第１の物体２５と第２の物体２７とを、時間分割し
てかつ別々の露光時間でそれぞれ光電変換して像を得る
こともできる。しかし、その場合は、ウェハステージ２
４が温度の揺らぎなどの影響でドリフトすることに起因
して、第１の物体２５と第２の物体２７との間の測定距
離に、ウェハステージ（ＸＹＺステージ）２４のドリフ
ト要素が加わる。このドリフトは、例えばＸ・Ｙステー
ジ上に載置されているウェハの移動速度で１００〜２０
０nm/minに達する場合があり、到底無視しえぬものであ
る。そのため、正確な測定ができず、ドリフトの大小が
不確定要因となって測定再現性を悪くする欠点があっ
た。
に、第１の物体２５と第２の物体２７とを、時間分割し
てかつ別々の露光時間でそれぞれ光電変換して像を得る
こともできる。しかし、その場合は、ウェハステージ２
４が温度の揺らぎなどの影響でドリフトすることに起因
して、第１の物体２５と第２の物体２７との間の測定距
離に、ウェハステージ（ＸＹＺステージ）２４のドリフ
ト要素が加わる。このドリフトは、例えばＸ・Ｙステー
ジ上に載置されているウェハの移動速度で１００〜２０
０nm/minに達する場合があり、到底無視しえぬものであ
る。そのため、正確な測定ができず、ドリフトの大小が
不確定要因となって測定再現性を悪くする欠点があっ
た。
【０００７】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたもので、反射率が相当異なる２物体の画像を、時間
ドリフトの悪影響を抑制しつつ適切に取り込むことので
きる画像取り込み装置を提供することを目的とする。
れたもので、反射率が相当異なる２物体の画像を、時間
ドリフトの悪影響を抑制しつつ適切に取り込むことので
きる画像取り込み装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の画像取り込み装置は、 第１の物体の画像
及び第２の物体の画像を取り込む装置であって； 第１
の物体及び第２の物体を照明する照明光学系と、 第１
の物体からの反射光又は透過光を第１の光電変換器に結
像する、適正露光量調整機構を有する第１の結像光学系
と、 第２の物体からの反射光又は透過光を第２の光電
変換器に結像する、適正露光量調整機構を有する第２の
結像光学系と、 装置各部をコントロールする制御部
と、を具備し； 該制御部の指令により、 上記第１の
結像光学系又は第２の結像光学系の露光時間のうちのい
ずれか長い方の間、両結像光学系のうちのいずれか短い
露光時間の方の結像光学系を繰り返し露光し、 繰り返
し露光して得られた光電変換画像を積算し、 次いで、
積算した画像を平均化して露光時間の短い方の結像光学
系の画像を得ることを特徴とする。
め、本発明の画像取り込み装置は、 第１の物体の画像
及び第２の物体の画像を取り込む装置であって； 第１
の物体及び第２の物体を照明する照明光学系と、 第１
の物体からの反射光又は透過光を第１の光電変換器に結
像する、適正露光量調整機構を有する第１の結像光学系
と、 第２の物体からの反射光又は透過光を第２の光電
変換器に結像する、適正露光量調整機構を有する第２の
結像光学系と、 装置各部をコントロールする制御部
と、を具備し； 該制御部の指令により、 上記第１の
結像光学系又は第２の結像光学系の露光時間のうちのい
ずれか長い方の間、両結像光学系のうちのいずれか短い
露光時間の方の結像光学系を繰り返し露光し、 繰り返
し露光して得られた光電変換画像を積算し、 次いで、
積算した画像を平均化して露光時間の短い方の結像光学
系の画像を得ることを特徴とする。
【０００９】本発明によれば、コントラストの異なる第
１の物体と第２の物体をそれぞれ適切な露光時間で光電
変換し、より露光に時間を要する物体を露光している
間、露光時間の短い方も露光を繰り返し積算して像を得
るようにしたことにより、どちらの物体も測定に十分な
コントラストが得られる。また、どちらの物体も、ほぼ
同時に露光することにより、ステージのドリフトに影響
されることなく測定ができ、良好な測定再現性を実現で
きる。
１の物体と第２の物体をそれぞれ適切な露光時間で光電
変換し、より露光に時間を要する物体を露光している
間、露光時間の短い方も露光を繰り返し積算して像を得
るようにしたことにより、どちらの物体も測定に十分な
コントラストが得られる。また、どちらの物体も、ほぼ
同時に露光することにより、ステージのドリフトに影響
されることなく測定ができ、良好な測定再現性を実現で
きる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ説明す
る。図１は、本発明の１実施例に係る画像取り込み装置
の構成を示す図である。（Ａ）は全体構成を示し、
（Ｂ）は画像処理制御部内の構成を示す。図２は、第１
及び第２の光電変換器における露光状態を示すタイミン
グチャートである。
る。図１は、本発明の１実施例に係る画像取り込み装置
の構成を示す図である。（Ａ）は全体構成を示し、
（Ｂ）は画像処理制御部内の構成を示す。図２は、第１
及び第２の光電変換器における露光状態を示すタイミン
グチャートである。
【００１１】このレジストレーション装置は、半導体ウ
ェハ２３上に形成されている下地層のような第１の物体
２５と、該物体の上に積層された現像済のフォトレジス
ト層のような第２の物体２７との中心のズレを検査する
ため、例えば、それらの物体の側辺である第１の部位２
５ａと第２の部位２７ａとの間の距離を測定する装置で
ある。なお、両物体２５、２７は検査用のボックスマー
クである。
ェハ２３上に形成されている下地層のような第１の物体
２５と、該物体の上に積層された現像済のフォトレジス
ト層のような第２の物体２７との中心のズレを検査する
ため、例えば、それらの物体の側辺である第１の部位２
５ａと第２の部位２７ａとの間の距離を測定する装置で
ある。なお、両物体２５、２７は検査用のボックスマー
クである。
【００１２】このレジストレーション装置は、照明用の
光源１１を有する。光源１１から発した照明光１３は、
光源１１と同軸上に配置されているコンデンサレンズ１
５を通って適当な照明倍率に調整される。コンデンサレ
ンズ１５を出た照明光１９は、コンデンサレンズ１５の
軸と、対物レンズ２１や結像レンズ３３の軸とが交差す
る点に置かれているハーフミラー１７に当って下方に偏
向され、ハーフミラー１７の下方に置かれている対物レ
ンズ２１を通過して上記第１の物体２５及び第２の物体
２７を照明する。この種のレジストレーション装置にお
いては、照明の均一性を保つために、照明光学系の配置
としていわゆるケーラー照明を採用している。なお、第
１の物体２５及び第２の物体２７は、対物レンズ２１の
光軸付近に、ウェハステージ２４によって位置決めされ
る。
光源１１を有する。光源１１から発した照明光１３は、
光源１１と同軸上に配置されているコンデンサレンズ１
５を通って適当な照明倍率に調整される。コンデンサレ
ンズ１５を出た照明光１９は、コンデンサレンズ１５の
軸と、対物レンズ２１や結像レンズ３３の軸とが交差す
る点に置かれているハーフミラー１７に当って下方に偏
向され、ハーフミラー１７の下方に置かれている対物レ
ンズ２１を通過して上記第１の物体２５及び第２の物体
２７を照明する。この種のレジストレーション装置にお
いては、照明の均一性を保つために、照明光学系の配置
としていわゆるケーラー照明を採用している。なお、第
１の物体２５及び第２の物体２７は、対物レンズ２１の
光軸付近に、ウェハステージ２４によって位置決めされ
る。
【００１３】第１の物体２５及び第２の物体２７に当て
られた光は反射して（反射光２８）、対物レンズ２１及
び、ハーフミラー１７を通過し、さらに同レンズ２１と
同軸で上方に配置された結像レンズ３３を通過する。そ
の後、さらに上方に配置されたハーフミラー３５におい
て分割され、同ミラー３５を通過した光３７ａは、上方
の第１のＣＣＤカメラ（第１の光電変換器）３９ａの光
電変換面に達する。一方、ハーフミラー３５で左方向に
反射された光３７ｂは、第２のＣＣＤカメラ（第２の光
電変換器）３９ｂに入射する。ここで、両光電変換器３
９ａ、３９ｂは、各々第１の物体２５又は第２の物体２
７のコントラストが測定に最適になるように露光時間を
設定して画像を取り込む。
られた光は反射して（反射光２８）、対物レンズ２１及
び、ハーフミラー１７を通過し、さらに同レンズ２１と
同軸で上方に配置された結像レンズ３３を通過する。そ
の後、さらに上方に配置されたハーフミラー３５におい
て分割され、同ミラー３５を通過した光３７ａは、上方
の第１のＣＣＤカメラ（第１の光電変換器）３９ａの光
電変換面に達する。一方、ハーフミラー３５で左方向に
反射された光３７ｂは、第２のＣＣＤカメラ（第２の光
電変換器）３９ｂに入射する。ここで、両光電変換器３
９ａ、３９ｂは、各々第１の物体２５又は第２の物体２
７のコントラストが測定に最適になるように露光時間を
設定して画像を取り込む。
【００１４】次に、各光電変換器３９ａ、３９ｂからの
信号を処理するとともに両光電変換器をコントロールす
る画像処理制御部５０について、図１（Ｂ）を参照しつ
つ説明する。第１の光電変換器（ＣＣＤカメラ）３９ａ
の光電変換信号は、画像処理制御部５０内の積算器４１
ａに送られて積算される。次に、積算された信号は、ビ
ットシフタ等からなる割算器４３ａに送られて、後述す
る露光の繰り返し数Ｎａで割算して平均化される。平均
化された信号は、画像処理部４５に送られて、画像合成
やエッジ認識、寸法測定、表示等の処理がなされる。同
様に、第２の光電変換器（ＣＣＤカメラ）３９ｂの光電
変換信号は、積算器４１ｂに送られて積算される。次
に、積算された信号は、ビットシフタ等からなる割算器
４３ｂに送られて、露光の繰り返し数Ｎｂで割算して平
均化される。平均化された信号は、画像処理部４５に送
られて処理される。なお、いずれか片方の信号処理系統
は、本実施例では、繰り返し数Ｎａ＝１である。
信号を処理するとともに両光電変換器をコントロールす
る画像処理制御部５０について、図１（Ｂ）を参照しつ
つ説明する。第１の光電変換器（ＣＣＤカメラ）３９ａ
の光電変換信号は、画像処理制御部５０内の積算器４１
ａに送られて積算される。次に、積算された信号は、ビ
ットシフタ等からなる割算器４３ａに送られて、後述す
る露光の繰り返し数Ｎａで割算して平均化される。平均
化された信号は、画像処理部４５に送られて、画像合成
やエッジ認識、寸法測定、表示等の処理がなされる。同
様に、第２の光電変換器（ＣＣＤカメラ）３９ｂの光電
変換信号は、積算器４１ｂに送られて積算される。次
に、積算された信号は、ビットシフタ等からなる割算器
４３ｂに送られて、露光の繰り返し数Ｎｂで割算して平
均化される。平均化された信号は、画像処理部４５に送
られて処理される。なお、いずれか片方の信号処理系統
は、本実施例では、繰り返し数Ｎａ＝１である。
【００１５】ここで、第２の物体２７の方が、第１の物
体２５よりも相当反射率が高いとする。そうすると、図
２に示すように、第１の光電変換器の露光時間Ｔ1 は長
く、第２の光電変換器３９ｂの露光時間Ｔ2 は短い。図
中のＴ3 は、第２の光電変換器の複数の露光の間のイン
ターバル６５の長さである。両画像処理制御部５０は、
Ｔ1 をＴ2 ＋Ｔ3 で割って端数を切り捨て整数Ｎｂを得
る。そして、第１の光電変換器の長い露光６１の間（Ｔ
1 ）に、第２の光電変換器の露光６３をＮｂ回（この場
合６回）繰り返す。なお、第２の光電変換器の複数の露
光の間のインターバル６５の長さＴ3 は、最終的には、
両光電変換器の露光の始点と終点を合わせるため、 Ｔ3 ＝（Ｔ1 −ＮＴ2 ）÷（Ｎ−１） Ｔ3 ＞Ｔtr（画像データをＣＣＤカメラ３９ｂから積算
器４１ｂに転送するのに必要とされる時間）により設定
される。なお、繰り返し数Ｎは、上述の計算よりも少し
低い数としてもよいし、予め画像処理制御部に登録して
おいてもよい。また、両光電変換器の露光の始点と終点
は少々ずれてもよい。
体２５よりも相当反射率が高いとする。そうすると、図
２に示すように、第１の光電変換器の露光時間Ｔ1 は長
く、第２の光電変換器３９ｂの露光時間Ｔ2 は短い。図
中のＴ3 は、第２の光電変換器の複数の露光の間のイン
ターバル６５の長さである。両画像処理制御部５０は、
Ｔ1 をＴ2 ＋Ｔ3 で割って端数を切り捨て整数Ｎｂを得
る。そして、第１の光電変換器の長い露光６１の間（Ｔ
1 ）に、第２の光電変換器の露光６３をＮｂ回（この場
合６回）繰り返す。なお、第２の光電変換器の複数の露
光の間のインターバル６５の長さＴ3 は、最終的には、
両光電変換器の露光の始点と終点を合わせるため、 Ｔ3 ＝（Ｔ1 −ＮＴ2 ）÷（Ｎ−１） Ｔ3 ＞Ｔtr（画像データをＣＣＤカメラ３９ｂから積算
器４１ｂに転送するのに必要とされる時間）により設定
される。なお、繰り返し数Ｎは、上述の計算よりも少し
低い数としてもよいし、予め画像処理制御部に登録して
おいてもよい。また、両光電変換器の露光の始点と終点
は少々ずれてもよい。
【００１６】この実施例では、第１の光電変換器３９ａ
の露光繰り返しは行わないので、図１（Ｂ）に示す積算
器４１ａ、割算器４３ａは、単に第１の光電変換器３９
ａからの信号を素通して画像処理部４５に送るのみであ
る。一方、第２の光電変換器３９ａでは６回露光が繰り
返されるので、積算器４１ｂは６回分の露光の光電変換
信号を積算し、割算器４３ｂはその積算値を６で割って
平均化し画像処理部４５に送る。
の露光繰り返しは行わないので、図１（Ｂ）に示す積算
器４１ａ、割算器４３ａは、単に第１の光電変換器３９
ａからの信号を素通して画像処理部４５に送るのみであ
る。一方、第２の光電変換器３９ａでは６回露光が繰り
返されるので、積算器４１ｂは６回分の露光の光電変換
信号を積算し、割算器４３ｂはその積算値を６で割って
平均化し画像処理部４５に送る。
【００１７】画像処理部４５は、両者の光電変換信号を
合成し、第１の物体２５及び第２の物体２７のエッジ２
５ａ及び２７ａを認識する。合成して得られる画像は、
各物体２５、２７の反射率に合わせた適切なコントラス
トであるので、合成画像上では両物体を明確に認識でき
る。その後、両エッジ２５ａと２７ａの間隔を測定し、
両物体（ボックスマーク）の中心位置ずれを検出し、半
導体デバイスの転写露光の重ね合わせ精度の指標が提供
される。
合成し、第１の物体２５及び第２の物体２７のエッジ２
５ａ及び２７ａを認識する。合成して得られる画像は、
各物体２５、２７の反射率に合わせた適切なコントラス
トであるので、合成画像上では両物体を明確に認識でき
る。その後、両エッジ２５ａと２７ａの間隔を測定し、
両物体（ボックスマーク）の中心位置ずれを検出し、半
導体デバイスの転写露光の重ね合わせ精度の指標が提供
される。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、第１の物体及び第２の物体それぞれの適切な
コントラストの画像が得られ、良好な測定再現性を実現
することができる。また、露光時間が短い方の物体のト
ータルの画像取り込み時間を、露光時間が長い方にほぼ
合わせることができるので、露光中に測定物がドリフト
移動したとしても、短い露光時間と長い露光時間の物体
の画像には、ドリフト移動の影響が均等に反映されるの
で、良好な測定再現性を実現することができる。
によれば、第１の物体及び第２の物体それぞれの適切な
コントラストの画像が得られ、良好な測定再現性を実現
することができる。また、露光時間が短い方の物体のト
ータルの画像取り込み時間を、露光時間が長い方にほぼ
合わせることができるので、露光中に測定物がドリフト
移動したとしても、短い露光時間と長い露光時間の物体
の画像には、ドリフト移動の影響が均等に反映されるの
で、良好な測定再現性を実現することができる。
【図１】本発明の１実施例に係る画像取り込み装置の構
成を示す図である。（Ａ）は全体構成を示し、（Ｂ）は
画像処理制御部内の構成を示す。
成を示す図である。（Ａ）は全体構成を示し、（Ｂ）は
画像処理制御部内の構成を示す。
【図２】第１及び第２の光電変換器における露光状態を
示すタイミングチャートである。
示すタイミングチャートである。
【図３】従来例に係るレジストレーション装置の構成を
模式的に示す図である。
模式的に示す図である。
１１ 光源 １３ 照明光 １５ コンデンサレンズ １７ ハーフミラ
ー １９ 照明光 ２１ 対物レンズ ２３ ウェハ ２４ ウェハステ
ージ ２５ 第１の物体 ２７ 第２の物体 ２８ 反射光 ３３ 結像レンズ ３５ ハーフミラー ３７ 反射光 ３９ａ 第１のＣＣＤカメラ ３９ｂ 第２のＣ
ＣＤカメラ ４１ａ、４１ｂ 積算器 ４３ａ、４３ｂ
割算器 ４５ 画像処理部 ５０ 画像処理制
御部 ６１ 第１の光電変換器の露光 ６３ 第２の光電
変換器の露光 ６５ 第２の光電変換器の複数の露光の間のインターバ
ル長さ
ー １９ 照明光 ２１ 対物レンズ ２３ ウェハ ２４ ウェハステ
ージ ２５ 第１の物体 ２７ 第２の物体 ２８ 反射光 ３３ 結像レンズ ３５ ハーフミラー ３７ 反射光 ３９ａ 第１のＣＣＤカメラ ３９ｂ 第２のＣ
ＣＤカメラ ４１ａ、４１ｂ 積算器 ４３ａ、４３ｂ
割算器 ４５ 画像処理部 ５０ 画像処理制
御部 ６１ 第１の光電変換器の露光 ６３ 第２の光電
変換器の露光 ６５ 第２の光電変換器の複数の露光の間のインターバ
ル長さ
Claims (3)
- 【請求項１】 第１の物体の画像及び第２の物体の画像
を取り込む装置であって；第１の物体及び第２の物体を
照明する照明光学系と、 第１の物体からの反射光又は透過光を第１の光電変換器
に結像する、適正露光量調整機構を有する第１の結像光
学系と、 第２の物体からの反射光又は透過光を第２の光電変換器
に結像する、適正露光量調整機構を有する第２の結像光
学系と、 装置各部をコントロールする制御部と、を具備し；該制
御部の指令により、 上記第１の結像光学系又は第２の結像光学系の露光時間
のうちのいずれか長い方の間、両結像光学系のうちのい
ずれか短い露光時間の方の結像光学系を繰り返し露光
し、 繰り返し露光して得られた光電変換画像を積算し、 次いで、積算した画像を平均化して露光時間の短い方の
結像光学系の画像を得ることを特徴とする画像取り込み
装置。 - 【請求項２】 さらに、上記第１の物体の画像と第２の
物体の画像を合成する機構を有する請求項１記載の画像
取り込み装置。 - 【請求項３】 上記第１の物体及び第２の物体が半導体
デバイス製造過程におけるプロセス層又はレジスト層で
ある請求項１又は２記載の画像取り込み装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9254094A JPH1187231A (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 画像取り込み装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9254094A JPH1187231A (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 画像取り込み装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1187231A true JPH1187231A (ja) | 1999-03-30 |
Family
ID=17260148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9254094A Pending JPH1187231A (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 画像取り込み装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1187231A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005520353A (ja) * | 2000-10-26 | 2005-07-07 | ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション | 重ね合わせ誤差検出 |
-
1997
- 1997-09-04 JP JP9254094A patent/JPH1187231A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005520353A (ja) * | 2000-10-26 | 2005-07-07 | ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション | 重ね合わせ誤差検出 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040720 |