JPH1183779A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPH1183779A JPH1183779A JP23973197A JP23973197A JPH1183779A JP H1183779 A JPH1183779 A JP H1183779A JP 23973197 A JP23973197 A JP 23973197A JP 23973197 A JP23973197 A JP 23973197A JP H1183779 A JPH1183779 A JP H1183779A
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Abstract
性に優れ、容易かつ安価に製造可能な高分子複合膜より
なる湿度センサを提供する。 【解決手段】 ポリ−o−アミノフェノール又は可溶性
ポリアニリンとポリビニルアルコールとの複合膜を備え
てなる湿度センサ。
Description
特に、高分子複合膜よりなる感湿性、感湿応答性、再現
性、耐久性に優れた湿度センサに関する。
製品やビル空調では湿度制御によって快適な環境が得ら
れ、また、電子部品製造業、繊維工業及び農業の分野な
どでは、品質向上に適する湿度範囲があることから、安
定な湿度制御が重要視され、この湿度制御のためにより
信頼性の高い湿度センサが要求されている。
て、伸縮式,乾湿球式,電気抵抗式,静電容量式,露点
式,電磁波吸収式があるが、これらのうち、電気信号が
得られてマイクロプロセッサとの接続が容易である、小
型軽量化が図れ、構造が簡単であるなどの特徴を備える
電気抵抗式のものが注目を集めている。
電解質,有機高分子,半導体,金属酸化物など各種の感
湿材が開発されているが、長期安定性が期待される点
で、高分子電解質を感湿膜とする湿度センサの検討が行
われている。
アクリル酸ソーダ等の電解質を含む感湿材(特開昭58
−171657号公報)、更にこれにセルロース誘導体
を配合したもの(特開昭59−94053号公報)、ポ
リイミド膜からなる感湿材(特開平6−148122号
公報)等が提案されている。また、ポリアニリンの感湿
性についても、報告がなされている(Synth. Met., 18,
311,(1987))。
れる特性は次の通りである。 高感度であること。即ち、湿度変化に対して、抵抗
(又は電気伝導度)が大きく変化すること。 応答性に優れること。即ち、湿度の変化に対して追
従性が良く、湿度が上昇したときの抵抗(又は電気伝導
度)変化と湿度が低下したときの抵抗(又は電気伝導
度)変化とで差が殆どなく、ヒステリシスが見られない
こと。 再現性、耐久性に優れること。即ち、高湿条件と低
湿条件とを繰り返し経験しても、抵抗(又は電気伝導
度)の再現性が良く、繰り返し使用に十分に耐え得るこ
と。
易で安価に製造可能であることが要求されており、より
一層高感度で応答性、再現性、耐久性に優れ、しかも容
易かつ安価に製造可能な湿度センサが求められている。
ンサとして、ポリ(o−フェニレンジアミン)(PoP
d)とポリビニルアルコールとの複合膜よりなる湿度セ
ンサを開発し、先に特許出願した(特開平9−1896
73号公報)。
記載の湿度センサは、上記要求特性を満たす良好な高分
子複合膜よりなる湿度センサであるが、工業製品におい
ては、原料の選択の自由度を高める目的で、更に異なる
高分子複合膜素材よりなる湿度センサの開発が求められ
ている。
されているが、ポリアニリンは自立性がなく、殆どの溶
媒に不溶で、そのために加工性が悪く、工業製品として
の応用が困難であった。
ものであって、感湿性、感湿応答性、再現性、繰り返し
耐久性に優れ、容易かつ安価に製造可能な高分子複合膜
よりなる湿度センサを提供することを目的とする。
ポリ−o−アミノフェノール又は可溶性ポリアニリンと
ポリビニルアルコールとの複合膜を備えてなることを特
徴とする。
リビニルアルコール(PVA)で複合膜化したものにつ
いて電気伝導度と湿度との関係を調べたところ、ポリ−
o−アミノフェノール(PoAP)/PVA複合膜の電
気伝導度は湿度変化に対応して直線的に大きく変化する
こと、この電気伝導度の変化は、湿度上昇時と下降時と
で殆ど差がなく、ヒステリシスは見られないこと、ま
た、高湿条件と低湿条件を繰り返し経験しても再現性良
く良好な感湿性を示すことを確認した。
れているポリアニリンについて、ドーパントのイオンサ
イズを大きくすることで可溶化し、可溶性ポリアニリン
(PAn)/PVA複合膜を製造し、その電気伝導度を
調べたところ、湿度変化に対応して直線的に大きく変化
することを確認した。なお、可溶性ポリアニリンの平衡
反応式を図5に示す。この可溶性ポリアニリン自体は公
知であり、特開平7−330901号公報、同6−20
0017号公報、特開昭64−51434号公報に記載
がある。
現性、繰り返し耐久性等に優れ、容易かつ安価に製造可
能な湿度センサが提供される。
膜では、後掲の実施例1の結果からも明らかなように、
約10%から約100%の湿度変化に対して電気伝導度
(S・cm-1)は、5オーダーも変化しており、これ
は、特開平9−18673号公報のPoPD/PVA複
合膜の場合の4オーダーの変化に対して非常に大きい。
ニリン単体の電気伝導度は、約10%から約100%の
湿度変化に対して電気伝導度の変化は著しく小さいが、
所定量の可溶性PAnを含む可溶性PAn/PVA複合
膜であれば3〜4オーダーの変化がみられる。
oAP/PVA複合膜の製造方法について説明する。
は、まず、o−アミノフェノールモノマーを重合させて
PoAPを製造する。PoAPは、例えばo−アミノフ
ェノールを含む酸水溶液に、(NH4 )2 S2 O8 等の
酸化剤を加えて化学重合させることにより製造すること
ができる。
MSO)に、1.5重量%以上、好ましくは約1.7重
量%の飽和濃度に溶解させてPoAP/DMSO溶液を
調製する。
MSOに溶解させてPVA/DMSO溶液を調製する。
DMSO溶液を所定割合で撹拌混合し、真空乾燥するこ
とによりPoAP/PVA複合膜を得ることができる。
とPVAとが化学的に結合したものではなく、単に混合
状態で複合されたものである。
中のPoAPとPVAとの割合は、PoAP20〜90
重量%に対してPVA80〜10重量%であることが好
ましい。この範囲よりもPoAPが多いと導電性の湿度
依存性が低下し、逆にPVAが多いと導電性が損なわ
れ、いずれも良好な感湿性が得られない。
比重であり、従って、上記PoAP20〜90重量%と
いう含有量は、体積含有量にして、約0.3〜1.0体
積%の小容量であるが、PoAPは、DMSOへの溶解
度が高く(33.8g/L)PVAをマトリックスとし
て極めて分散性良く混合され、均質性の高いPoAP/
PVA複合膜を得ることができる。
溶性PAn/PVA複合膜の製造方法について説明す
る。
ては、まず、アニリンを重合させて可溶性PAnを製造
する。可溶性PAnは、アニリンを含む酸水溶液に、
(NH4 )2 S2 O8 等の酸化剤を加えて化学重合させ
ることにより製造することができる。この化学重合に当
り、酸水溶液の酸としては、例えば、塩酸、硫酸、硝
酸、過塩素酸などの無機酸、ベンゼンスルホン酸、p−
トルエンスルホン酸、m−ニトロ安息香酸、トリクロロ
酢酸などの有機酸、ポリビニルスルホン酸等のポリマー
酸を使用することができる。
量%以上、好ましくは約1.5重量%の飽和濃度に溶解
させて可溶性PAn/DMSO溶液を調製する。
MSOに溶解させてPVA/DMSO溶液を調製する。
A/DMSO溶液を所定割合で撹拌混合し、真空乾燥す
ることにより可溶性PAn/PVA複合膜を得ることが
できる。
性PAnとPVAとが化学的に結合したものではなく、
単に混合状態で複合されたものである。
合膜中の可溶性PAnとPVAとの割合は、可溶性PA
n20〜90重量%に対してPVA80〜10重量%で
あることが好ましい。この範囲よりも可溶性PAnが多
いと導電性の湿度依存性が低下し、逆にPVAが多いと
導電性が損なわれ、いずれも良好な感湿性が得られな
い。
く高比重であり、従って、上記可溶性PAn20〜90
重量%という含有量は、体積含有量にして、0.25〜
1.0体積%の小容量であるが、可溶性PAnは、N−
メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、ジ
メチルスルホキシド(DMSO)への溶解度が高く、P
VAをマトリックスとして極めて分散性良く混合され、
均質性の高い可溶性PAn/PVA複合膜を得ることが
できる。可溶性PAn/PVA複合膜中のより好ましい
可溶性PAnの体積含有量は0.20〜0.30体積%
である。
縁基板上に形成された電極上にPoAP/PVA複合膜
又は可溶性PAn/PVA複合膜を成膜し、この上に上
部電極を形成することにより容易にかつ安価に製造する
ことができる。
PAn/PVA複合膜の膜厚は電気伝導度には影響しな
いが、作成上の簡便さの点から0.01〜10μm程度
であることが好ましい。
り具体的に説明する。
対する電気伝導度の測定は次のようにして行った。
し、恒温セル内の試料台に固定して湿度変化に対する電
気伝導度(σ)の変化を二端子法で測定した。測定セル
中の温度は、飽和塩類の水蒸気圧を用いる湿度定法で調
整し、恒湿セルは恒温水槽に入れ、20℃に保った。セ
ル内の温度はデジタル温湿度計で測定した。また、電気
伝導度はHA-501G Potentiostat/Galvanostat(北斗電
工)を用いてin situで測定した。
M硫酸水溶液に、酸化剤として(NH4 )2 S2 O8 を
0.15mM加え、化学酸化重合することにより、Po
APを合成した。このPoAPをDMSOに1.5重量
%の飽和状態に溶解し、6.0重量%PVA/DMSO
溶液と、PoAP/DMSO溶液:PVA/DMSO溶
液=1:4(体積比)の割合で撹拌混合し真空乾燥の
後、膜厚0.01μmのPoAP/PVA複合膜(Po
AP体積含有量:0.2体積%,PoAP重量含有量:
19.4重量%,PVA重量含有量:80.6重量%)
を得た。
り、PoPDを合成し、同様にPoPD/PVA複合膜
を製造した(比較例1)。
湿度依存性を調べ、結果を図1に示した。
%〜約98%の間でPoPD/PVA複合膜の電気伝導
度は4オーダーにわたり直線的に変化するのに対し、P
oAP/PVA複合膜の電気伝導度は5オーダーにわた
り直線的に変化しており、PoAP/PVA複合膜は感
湿性に優れていることがわかる。
た場合)の電気伝導度の変化と除湿時(湿度を下降させ
た場合)の電気伝導度の変化には殆ど差はなく、システ
リシスは見られなかった。
てポリ−m−フェニレンジアミン(PmPD)、ポリ−
o−トルイジン(PoTd)を合成し、各々同様にPm
PD/PVA複合膜(比較例2)、PoTd/PVA複
合膜(比較例3)を製造し、その電気伝導度の湿度依存
性を調べたところ、直線性は成立せず、また加湿時と除
湿時ではヒステリシスが見られた。
Oへの溶解度が大きく、複合膜中で均一に分散している
のに対し、PmPDやPoTdでは、このような均一分
散性が得られないためと推定された。
相対湿度を98%から8%まで変化させて、各々、紫外
可視吸収スペクトルをFT-IR-8100M(島津製作所)を用
いて測定し、結果を図2に示した。図2から、湿度が減
少するにつれ、3500、3200cm-1の水のピーク
の減少が見られ、これに伴い2200cm-1の>C=N
+ H−に帰属されるピークが減少し、1625cm-1の
>C=N−に帰属されるピークが増加していることがわ
かる。前者はPoAPのsalt構造、後者はbase
構造に対応し、雰囲気の湿度の減少に伴って複合膜から
水が脱離し、導電性PoAPが脱プロトン、脱ドーパン
ト反応を受け、絶縁性になり、この結果電気伝導度が低
減することを示している。
酸水溶液100mLに、0.15M(NH4 )2 S2 O
8 /0.1M p−トルエンスルホン酸水溶液40mL
を加えて化学酸化重合することにより、可溶性PAnを
合成した。この可溶性PAnを用いて実施例1と同様に
して膜厚0.01μmの下記可溶性PAn含有量の可溶
性PAn/PVA複合膜を得た。
An含有量 実施例2:0.28体積% 実施例3:0.23体積% 実施例4:4.3体積% 比較のため、PVAを用いず、可溶性PAnのみで同様
の膜厚のPAn膜を製造した(比較例4)。
n膜について、電気伝導度の湿度依存性を調べ、結果を
図3に示した。
から100%に増加すると、可溶性PAnが0.28体
積%、0.23体積%の複合膜では3〜4オーダーの電
気伝導度変化が見られた。しかし、PAnのみの場合で
は直線性は成立しない。また、可溶性PAnの割合が
4.3体積%と多いものでは直線性を示す領域が制限さ
れている。
可溶性PAn含有量が0.28体積%のものについて、
相対湿度を38%から48%に、また48%から38%
に変化させた場合の電気伝導度と応答時間との関係を調
べ、結果を図4に示した。図4より明らかなように、加
湿過程の応答時間は約45秒であり、除湿過程の応答時
間は9分であった。これはPVAの水分子との親和性と
脱離の困難性に起因するものと考えられる。しかし定常
状態における電気伝導度は加湿、除湿過程を問わずほぼ
一定値に達した。
及び実施例2の可溶性PAn/PVA複合膜について、
高湿条件と低湿条件とを繰り返した場合の電気伝導度の
変化を調べたところ、いずれも安定しており、再現性、
繰り返し耐久性に優れ、長期にわたり良好な感湿性を示
すことが確認された。
湿性、感湿応答性、再現性、繰り返し耐久性等に優れ、
容易かつ安価に製造可能な湿度センサが提供される。
比較例1で得られたPoPD/PVA複合膜の電気伝導
度の湿度依存性を示すグラフである。
各湿度条件における紫外可視吸収スペクトルを示すグラ
フである。
複合膜と比較例4のPAn膜の電気伝導度の湿度依存性
を示すグラフである。
膜の加湿及び除湿過程の応答時間を示すグラフである。
Claims (2)
- 【請求項1】 ポリ−o−アミノフェノールとポリビニ
ルアルコールとの複合膜を備えてなる湿度センサ。 - 【請求項2】 可溶性ポリアニリンとポリビニルアルコ
ールとの複合膜を備えてなる湿度センサ。
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JP23973197A JP3448799B2 (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 湿度センサ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23973197A JP3448799B2 (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 湿度センサ |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH1183779A true JPH1183779A (ja) | 1999-03-26 |
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ID=17049100
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP23973197A Expired - Fee Related JP3448799B2 (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 湿度センサ |
Country Status (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19921470A1 (de) * | 1999-05-08 | 2000-11-09 | Behr Gmbh & Co | Fühler zur Lufttemperaturmessung in einem Kraftfahrzeug |
US8008660B2 (en) | 2007-12-18 | 2011-08-30 | Seiko Epson Corporation | Display apparatus and electrophoretic display apparatus |
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1997
- 1997-09-04 JP JP23973197A patent/JP3448799B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19921470A1 (de) * | 1999-05-08 | 2000-11-09 | Behr Gmbh & Co | Fühler zur Lufttemperaturmessung in einem Kraftfahrzeug |
DE19921470B4 (de) * | 1999-05-08 | 2008-12-11 | Behr Gmbh & Co. Kg | Fühler zur Lufttemperaturmessung in einem Kraftfahrzeug |
US8008660B2 (en) | 2007-12-18 | 2011-08-30 | Seiko Epson Corporation | Display apparatus and electrophoretic display apparatus |
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