JPH1163910A - 位置センサ - Google Patents
位置センサInfo
- Publication number
- JPH1163910A JPH1163910A JP22265897A JP22265897A JPH1163910A JP H1163910 A JPH1163910 A JP H1163910A JP 22265897 A JP22265897 A JP 22265897A JP 22265897 A JP22265897 A JP 22265897A JP H1163910 A JPH1163910 A JP H1163910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- movable
- coil portion
- electromotive force
- position sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】この発明は、小形・軽量化を実現したうえで、
信頼性の高い高精度な測定を実現し得るようにすること
にある。 【解決手段】固定部１０に第１及び第２のコイル部１
２，１３を配設して、可動部１１に第３のコイル部１７
を対向して配置し、第１のコイル部１２に定常的に電流
を供給することにより、可動部１１が固定部１０に対し
て移動されると、その移動に連動して第１のコイル部１
２からの磁束が変化され、その電磁誘導により第３のコ
イル部１７に起電力が発生されて、第２のコイル部１３
に電磁誘導による起電力が発生され、この起電力を検出
することにより、可動部１１の位置の変化を測定するよ
うに構成したものである。
信頼性の高い高精度な測定を実現し得るようにすること
にある。 【解決手段】固定部１０に第１及び第２のコイル部１
２，１３を配設して、可動部１１に第３のコイル部１７
を対向して配置し、第１のコイル部１２に定常的に電流
を供給することにより、可動部１１が固定部１０に対し
て移動されると、その移動に連動して第１のコイル部１
２からの磁束が変化され、その電磁誘導により第３のコ
イル部１７に起電力が発生されて、第２のコイル部１３
に電磁誘導による起電力が発生され、この起電力を検出
することにより、可動部１１の位置の変化を測定するよ
うに構成したものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば人工衛星
等の宇宙飛行体に搭載される搭載機器の可動部等の位置
の変位、あるいは位置の変位量を測定するのに用いられ
る位置センサに関する。
等の宇宙飛行体に搭載される搭載機器の可動部等の位置
の変位、あるいは位置の変位量を測定するのに用いられ
る位置センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、位置センサとしては、エンコーダ
を用いて光学的に変位量を検出する光学方式や、マイク
ロスイッチを用いた機械方式が知られている。ところ
が、上記位置センサにあっては、前者の光学方式では、
高精度な測定が可能であるが、その構成が非常に複雑
で、大掛かりとなり、大形となるという問題を有する。
を用いて光学的に変位量を検出する光学方式や、マイク
ロスイッチを用いた機械方式が知られている。ところ
が、上記位置センサにあっては、前者の光学方式では、
高精度な測定が可能であるが、その構成が非常に複雑
で、大掛かりとなり、大形となるという問題を有する。
【０００３】また、後者の機械方式では、比較的構成が
簡単であるが、その構造上、使用範囲（適用範囲）に制
約を受けると共に、その取付けに高精度な精度が要求さ
れるために、その組付け作業が非常に面倒であるという
問題を有する。なお、係る位置センサの問題は、宇宙開
発の分野に限ることなく、地上における測定センサの分
野においても同様である。
簡単であるが、その構造上、使用範囲（適用範囲）に制
約を受けると共に、その取付けに高精度な精度が要求さ
れるために、その組付け作業が非常に面倒であるという
問題を有する。なお、係る位置センサの問題は、宇宙開
発の分野に限ることなく、地上における測定センサの分
野においても同様である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来の位置センサでは、構成が複雑で、大形となるもので
あったり、使用範囲に制約があり、その組付け作業が非
常に面倒であるという問題を有する。
来の位置センサでは、構成が複雑で、大形となるもので
あったり、使用範囲に制約があり、その組付け作業が非
常に面倒であるという問題を有する。
【０００５】この発明は上記の事情に鑑みてなされたも
ので、構成簡易にして、小形・軽量化を実現し得、且つ
信頼性の高い高精度な測定を実現し得るようにした位置
センサを提供することを目的とする。
ので、構成簡易にして、小形・軽量化を実現し得、且つ
信頼性の高い高精度な測定を実現し得るようにした位置
センサを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、固定部に設
けられ、電流が供給される第１のコイル部と、前記固定
部に対して移動自在に対向配置される可動部に前記第１
のコイル部に対向して設けられ、前記第１のコイル部と
磁気結合される第２のコイル部と、前記固定部に前記第
２のコイル部に対向して設けられ、前記第２のコイル部
と磁気結合される第３のコイル部と、この第３のコイル
部で発生する起電力に応動して前記可動部の位置の変化
を検出する検出手段とを備えて位置センサを構成した。
けられ、電流が供給される第１のコイル部と、前記固定
部に対して移動自在に対向配置される可動部に前記第１
のコイル部に対向して設けられ、前記第１のコイル部と
磁気結合される第２のコイル部と、前記固定部に前記第
２のコイル部に対向して設けられ、前記第２のコイル部
と磁気結合される第３のコイル部と、この第３のコイル
部で発生する起電力に応動して前記可動部の位置の変化
を検出する検出手段とを備えて位置センサを構成した。
【０００７】また、この発明は、固定部に対して移動自
在に対向配置される可動部に設けられ、電流が供給され
る第１のコイル部と、前記固定部に前記可動部の第１の
コイル部に対向して設けられ、前記第１のコイル部と磁
気結合される第２のコイル部と、前記可動部に前記第２
のコイル部に対向して設けられ、前記第２のコイル部と
磁気結合される第３のコイル部と、この第３のコイル部
で発生する起電力に応動して前記可動部の位置の変化を
検出する検出手段とを備えて位置センサを構成した。
在に対向配置される可動部に設けられ、電流が供給され
る第１のコイル部と、前記固定部に前記可動部の第１の
コイル部に対向して設けられ、前記第１のコイル部と磁
気結合される第２のコイル部と、前記可動部に前記第２
のコイル部に対向して設けられ、前記第２のコイル部と
磁気結合される第３のコイル部と、この第３のコイル部
で発生する起電力に応動して前記可動部の位置の変化を
検出する検出手段とを備えて位置センサを構成した。
【０００８】上記構成によれば、第１のコイル部は、定
常的に電流が供給されて定常的に磁束を発生しており、
可動部が固定部に対して移動されると、第１のコイル部
を通過する磁束が変化され、その電磁誘導により第３の
コイル部に起電力が発生されて電流が流れ、これに対応
した電磁誘導により第２のコイル部に起電力が発生され
ることにより、この起電力が検出手段で検出され、可動
部の位置の変化が測定される。
常的に電流が供給されて定常的に磁束を発生しており、
可動部が固定部に対して移動されると、第１のコイル部
を通過する磁束が変化され、その電磁誘導により第３の
コイル部に起電力が発生されて電流が流れ、これに対応
した電磁誘導により第２のコイル部に起電力が発生され
ることにより、この起電力が検出手段で検出され、可動
部の位置の変化が測定される。
【０００９】さらに、この発明は、第１乃至第３のコイ
ル部を、第１及び第２のコイル部の相互インダクタンス
が前記可動部の位置に対応して変化するように配置し
て、前記検出手段が前記第２のコイル部で発生した信号
電圧に基づいて前記可動部の位置の変位量を検出するよ
うに構成した。
ル部を、第１及び第２のコイル部の相互インダクタンス
が前記可動部の位置に対応して変化するように配置し
て、前記検出手段が前記第２のコイル部で発生した信号
電圧に基づいて前記可動部の位置の変位量を検出するよ
うに構成した。
【００１０】上記構成によれば、第１のコイル部に対し
て、電流を所定の特性で供給することにより、可動部が
固定部に対して移動されると、その可動部の変位量に応
じた振幅の信号電圧が第２のコイル部から検出手段に入
力される。ここで、検出手段は、信号電圧に基づいて第
１及び第２のコイル部の相互インダクタンスを算出して
可動部の位置の変位量を求める。
て、電流を所定の特性で供給することにより、可動部が
固定部に対して移動されると、その可動部の変位量に応
じた振幅の信号電圧が第２のコイル部から検出手段に入
力される。ここで、検出手段は、信号電圧に基づいて第
１及び第２のコイル部の相互インダクタンスを算出して
可動部の位置の変位量を求める。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて、図面を参照して詳細に説明する。図１はこの発明
の一実施の形態に係る位置センサを示すもので、固定部
１０には、被測定体である可動部１１が矢印ｘ方向に移
動自在に組付けられる。固定部１０には、第１及び第２
のコイル部１２，１３が設けられる。このうち、第１の
コイル部１２には、コイル電源１４が接続され、コイル
電源１４より直流電流（ＩA ）が供給される。そして、
第２のコイル部１３には、電圧検出器１５が接続され、
この電圧検出器１５の出力端には、演算処理部１６が接
続される。
いて、図面を参照して詳細に説明する。図１はこの発明
の一実施の形態に係る位置センサを示すもので、固定部
１０には、被測定体である可動部１１が矢印ｘ方向に移
動自在に組付けられる。固定部１０には、第１及び第２
のコイル部１２，１３が設けられる。このうち、第１の
コイル部１２には、コイル電源１４が接続され、コイル
電源１４より直流電流（ＩA ）が供給される。そして、
第２のコイル部１３には、電圧検出器１５が接続され、
この電圧検出器１５の出力端には、演算処理部１６が接
続される。
【００１２】他方、可動部１１には、第３のコイル部１
７が固定部の第１及び第２のコイル部１２，１３に対応
して配設される。上記第１乃至第３のコイル部１２，１
３，１７は、例えばフレキシブル基板上に図２に示すよ
うにその感度方向が可動部１１の移動方向（矢印ｘ方
向）に対応して矩形状に形成され、その第１のコイル部
１２が、その幅寸法をｗとして、第３のコイル部１７に
含まれる状態をｘ＝０となるようにそれぞれ固定部１０
及び可動部１１に組付けられる。そして、これら第１及
び第２のコイル部１２，１３は、相互インダクタンスＭ
AB（ｘ）（第１及び第３のコイル部１２，１７の相互イ
ンダクタンスＭAC、第２及び第３のコイル部１３，１７
の相互インダクタンスＭBC、第１乃至第３のコイル部１
２，１３，１７の自己インダクタンスとインピーダンス
により決定）が可動部の矢印ｘ方向の位置により変化す
るように設定される。
７が固定部の第１及び第２のコイル部１２，１３に対応
して配設される。上記第１乃至第３のコイル部１２，１
３，１７は、例えばフレキシブル基板上に図２に示すよ
うにその感度方向が可動部１１の移動方向（矢印ｘ方
向）に対応して矩形状に形成され、その第１のコイル部
１２が、その幅寸法をｗとして、第３のコイル部１７に
含まれる状態をｘ＝０となるようにそれぞれ固定部１０
及び可動部１１に組付けられる。そして、これら第１及
び第２のコイル部１２，１３は、相互インダクタンスＭ
AB（ｘ）（第１及び第３のコイル部１２，１７の相互イ
ンダクタンスＭAC、第２及び第３のコイル部１３，１７
の相互インダクタンスＭBC、第１乃至第３のコイル部１
２，１３，１７の自己インダクタンスとインピーダンス
により決定）が可動部の矢印ｘ方向の位置により変化す
るように設定される。
【００１３】上記構成において、可動部１１の位置の変
化を測定する場合には、第１のコイル部１２には、コイ
ル電源１４より直流電流ＩA が定常的に供給される。そ
して、可動部１１が固定部１０に対して位置が変化され
ると、第１のコイル部１２は、第３のコイル部１７を通
過する磁束が変化されて、その電磁誘導により第３のコ
イル部１７に起電力が発生され、該第３のコイル部１７
に電流が流れる。これにより、第３のコイル部１７に
は、起電力に対応した磁束が発生されて、電磁結合によ
り第２のコイル部１３に起電力ＶB が発生される。この
第２のコイル部１３で発生した発生起電力ＶB は、電圧
検出部１５に入力され、ここに演算処理部１６が可動部
１１の位置の変化を検出する。
化を測定する場合には、第１のコイル部１２には、コイ
ル電源１４より直流電流ＩA が定常的に供給される。そ
して、可動部１１が固定部１０に対して位置が変化され
ると、第１のコイル部１２は、第３のコイル部１７を通
過する磁束が変化されて、その電磁誘導により第３のコ
イル部１７に起電力が発生され、該第３のコイル部１７
に電流が流れる。これにより、第３のコイル部１７に
は、起電力に対応した磁束が発生されて、電磁結合によ
り第２のコイル部１３に起電力ＶB が発生される。この
第２のコイル部１３で発生した発生起電力ＶB は、電圧
検出部１５に入力され、ここに演算処理部１６が可動部
１１の位置の変化を検出する。
【００１４】ここで、起電力ＶB は、第１及び第３のコ
イル部１２，１７の相互インダクタンスをＭAC、第２及
び第３のコイル部１３，１７の相互インダクタンスをＭ
BC、第３のコイル部１７の自己インダクタンスをＬC と
して、ＭBCが変化せず、第２のコイル部１３に流れる電
流が無視できるとすると、 ＶB ＝（ＭBC・ＩA ／ＬC ）×（ｄＭAC／ｄｔ） の式で表される。
イル部１２，１７の相互インダクタンスをＭAC、第２及
び第３のコイル部１３，１７の相互インダクタンスをＭ
BC、第３のコイル部１７の自己インダクタンスをＬC と
して、ＭBCが変化せず、第２のコイル部１３に流れる電
流が無視できるとすると、 ＶB ＝（ＭBC・ＩA ／ＬC ）×（ｄＭAC／ｄｔ） の式で表される。
【００１５】また、可動部１１の位置の変位量を検出す
る場合には、コイル電源１４より第１のコイル部１２に
電流ＩA を所定の特性で変化させて供給する。そして、
可動部１１が固定部１０に対して矢印ｘ方向に移動され
ると、第１のコイル部１２は、可動部１１の位置に対応
して磁束が変化され、その電磁誘導により第３のコイル
部１７に起電力を発生させ、該第３のコイル部１７で発
生する磁束によるが電磁誘導により、第２のコイル部１
３が可動部１１の位置に対応した振幅の信号電圧ＶB を
発生して電圧検出器１５に出力する。電圧検出器１５
は、信号電圧ＶBを検出して演算処理部１６に出力す
る。
る場合には、コイル電源１４より第１のコイル部１２に
電流ＩA を所定の特性で変化させて供給する。そして、
可動部１１が固定部１０に対して矢印ｘ方向に移動され
ると、第１のコイル部１２は、可動部１１の位置に対応
して磁束が変化され、その電磁誘導により第３のコイル
部１７に起電力を発生させ、該第３のコイル部１７で発
生する磁束によるが電磁誘導により、第２のコイル部１
３が可動部１１の位置に対応した振幅の信号電圧ＶB を
発生して電圧検出器１５に出力する。電圧検出器１５
は、信号電圧ＶBを検出して演算処理部１６に出力す
る。
【００１６】ここで、演算処理部１６は、信号電圧ＶB
に基づいて、第２のコイル部に流れる電流を無視できる
ものとして、 ＶB ＝（−ＭAB（ｘ））ｄＩA ／ｄｔ の演算を実行して、ＭAB（ｘ）を算出し、第１のコイル
部１２の矢印ｘ方向の幅寸法をｗ（図２参照）、比例定
数をａとして、 ＭAB（ｘ）＝ａ｜ｗ−ｘ｜ （｜ｘ｜≦ｗ） ＭAB（ｘ）＝０ （｜ｘ｜＞ｗ） の式に基づいて近似的に可動部の変位量を算出する。
に基づいて、第２のコイル部に流れる電流を無視できる
ものとして、 ＶB ＝（−ＭAB（ｘ））ｄＩA ／ｄｔ の演算を実行して、ＭAB（ｘ）を算出し、第１のコイル
部１２の矢印ｘ方向の幅寸法をｗ（図２参照）、比例定
数をａとして、 ＭAB（ｘ）＝ａ｜ｗ−ｘ｜ （｜ｘ｜≦ｗ） ＭAB（ｘ）＝０ （｜ｘ｜＞ｗ） の式に基づいて近似的に可動部の変位量を算出する。
【００１７】このように、上記位置センサは、固定部１
０に第１及び第２のコイル部１２，１３を配設して、可
動部１１に第３のコイル部１７を対向して配置し、第１
のコイル部１２に定常的に電流を供給することにより、
可動部１１が固定部１０に対して移動されると、その移
動に連動して第１のコイル部１２からの磁束が変化さ
れ、その電磁誘導により第３のコイル部１７に起電力が
発生されて、第２のコイル部１３に電磁誘導による起電
力が発生され、この起電力を検出することにより、可動
部１１の位置の変化を測定するように構成した。
０に第１及び第２のコイル部１２，１３を配設して、可
動部１１に第３のコイル部１７を対向して配置し、第１
のコイル部１２に定常的に電流を供給することにより、
可動部１１が固定部１０に対して移動されると、その移
動に連動して第１のコイル部１２からの磁束が変化さ
れ、その電磁誘導により第３のコイル部１７に起電力が
発生されて、第２のコイル部１３に電磁誘導による起電
力が発生され、この起電力を検出することにより、可動
部１１の位置の変化を測定するように構成した。
【００１８】また、上記位置センサは、第１乃至第３の
コイル部１２，１３，１７を、その第１及び第２のコイ
ル部１２，１３の相互インダクタンスが可動部１１の位
置に対応して変化するように配置して、第１のコイル部
１２に対して電流を所定の特性で供給することにより、
可動部１１が固定部１０に対して移動されると、第２の
コイル部１３が可動部１１の司る位置に応じた振幅の信
号電圧が出力されるようにして、この信号電圧に基づい
て第１及び第２のコイル部１２，１３の相互インダクタ
ンスを算出して可動部１１の位置の変位量を求めるよう
に構成した。
コイル部１２，１３，１７を、その第１及び第２のコイ
ル部１２，１３の相互インダクタンスが可動部１１の位
置に対応して変化するように配置して、第１のコイル部
１２に対して電流を所定の特性で供給することにより、
可動部１１が固定部１０に対して移動されると、第２の
コイル部１３が可動部１１の司る位置に応じた振幅の信
号電圧が出力されるようにして、この信号電圧に基づい
て第１及び第２のコイル部１２，１３の相互インダクタ
ンスを算出して可動部１１の位置の変位量を求めるよう
に構成した。
【００１９】これによれば、可動部１１側に、単に第３
のコイル部１７を配設するだけの構成で、可動部１１の
位置の変化が確実に検出されることにより、可及的に小
形・軽量化の促進が図れると共に、簡便な組付け作業が
実現される。また、これによれば、機械的結合部を設け
ることなく、確実な測定が実現されることで、寿命の長
寿命化が実現されると共に、省電力化の促進が図れ、特
に宇宙開発の分野における使用に好適される。
のコイル部１７を配設するだけの構成で、可動部１１の
位置の変化が確実に検出されることにより、可及的に小
形・軽量化の促進が図れると共に、簡便な組付け作業が
実現される。また、これによれば、機械的結合部を設け
ることなく、確実な測定が実現されることで、寿命の長
寿命化が実現されると共に、省電力化の促進が図れ、特
に宇宙開発の分野における使用に好適される。
【００２０】なお、上記実施の形態では、第１乃至第３
のコイル部１２，１３，１７をそれぞれ１個のコイルで
形成した場合で説明したが、これに限ることなく、第１
乃至第３のコイル部１２，１３，１７をそれぞれ複数個
を組合わせて形成ように構成することも可能である。
のコイル部１２，１３，１７をそれぞれ１個のコイルで
形成した場合で説明したが、これに限ることなく、第１
乃至第３のコイル部１２，１３，１７をそれぞれ複数個
を組合わせて形成ように構成することも可能である。
【００２１】また、上記実施の形態では、第１及び第２
のコイル部１２，１３を固定部１０に設け、第３のコイ
ル部１７を可動部１１に設けて構成した場合で説明した
が、これに限ることなく、第１及び第２のコイル部１
２，１３を可動部１１に設けて、第３のコイル部１７を
固定部１０に設けるように構成することも可能である。
のコイル部１２，１３を固定部１０に設け、第３のコイ
ル部１７を可動部１１に設けて構成した場合で説明した
が、これに限ることなく、第１及び第２のコイル部１
２，１３を可動部１１に設けて、第３のコイル部１７を
固定部１０に設けるように構成することも可能である。
【００２２】さらに、上記実施の形態では、第１乃至第
３のコイル部１２，１３，１７をフレキシブル基板に形
成して固定部１０及び可動部１１に設けた場合で構成し
たが、これに限ることなく、各種のコイル構造が構成可
能である。よって、この発明は上記実施の形態に限るこ
となく、その他、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種
々の変形を実施し得ることは勿論のことである。
３のコイル部１２，１３，１７をフレキシブル基板に形
成して固定部１０及び可動部１１に設けた場合で構成し
たが、これに限ることなく、各種のコイル構造が構成可
能である。よって、この発明は上記実施の形態に限るこ
となく、その他、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種
々の変形を実施し得ることは勿論のことである。
【００２３】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、構成簡易にして、小形・軽量化を実現し得、且つ信
頼性の高い高精度な測定を実現し得るようにした位置セ
ンサを提供することができる。
ば、構成簡易にして、小形・軽量化を実現し得、且つ信
頼性の高い高精度な測定を実現し得るようにした位置セ
ンサを提供することができる。
【図１】この発明の一実施の形態に係る位置センサを示
した図。
した図。
【図２】図１の第１乃至第３のコイル部の配置構成を示
した図。
した図。
１０…固定部。 １１…可動部。 １２…第１のコイル部。 １３…第２のコイル部。 １４…コイル電源。 １５…電圧検出器。 １６…演算処理部。 １７…第３のコイル部。
Claims (5)
- 【請求項１】 固定部に設けられ、電流が供給される第
１のコイル部と、 前記固定部に対して移動自在に対向配置される可動部に
前記第１のコイル部に対向して設けられ、前記第１のコ
イル部と磁気結合される第２のコイル部と、 前記固定部に前記第２のコイル部に対向して設けられ、
前記第２のコイル部と磁気結合される第３のコイル部
と、 この第３のコイル部で発生する起電力に応動して前記可
動部の位置の変化を検出する検出手段とを具備したこと
を特徴とする位置センサ。 - 【請求項２】 固定部に対して移動自在に対向配置され
る可動部に設けられ、電流が供給される第１のコイル部
と、 前記固定部に前記可動部の第１のコイル部に対向して設
けられ、前記第１のコイル部と磁気結合される第２のコ
イル部と、 前記可動部に前記第２のコイル部に対向して設けられ、
前記第２のコイル部と磁気結合される第３のコイル部
と、 この第３のコイル部で発生する起電力に応動して前記可
動部の位置の変化を検出する検出手段とを具備したこと
を特徴とする位置センサ。 - 【請求項３】 前記第１乃至第３のコイル部を、第１及
び第２のコイル部の相互インダクタンスが前記可動部の
位置に対応して変化するように配置して、前記検出手段
が前記第２のコイル部で発生した信号電圧に基づいて前
記可動部の位置の変位量を検出することを特徴とする請
求項１又は２記載の位置センサ。 - 【請求項４】 前記検出手段は、第３のコイル部で発生
した起電力に基づいて可動部の位置の変化及び変位量を
検出することを特徴とする請求項３記載の位置センサ。 - 【請求項５】 前記第１乃至第３のコイル部は、それぞ
れ複数のコイルが組合わせ配置されることを請求項１乃
至４のいずれか記載の位置センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22265897A JPH1163910A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 位置センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22265897A JPH1163910A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 位置センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1163910A true JPH1163910A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16785907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22265897A Pending JPH1163910A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 位置センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1163910A (ja) |
-
1997
- 1997-08-19 JP JP22265897A patent/JPH1163910A/ja active Pending
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