JPH11344453A - 産業用ｘ線ｃｔ装置 - Google Patents
産業用ｘ線ｃｔ装置Info
- Publication number
- JPH11344453A JPH11344453A JP10150910A JP15091098A JPH11344453A JP H11344453 A JPH11344453 A JP H11344453A JP 10150910 A JP10150910 A JP 10150910A JP 15091098 A JP15091098 A JP 15091098A JP H11344453 A JPH11344453 A JP H11344453A
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ビュー数を指定するだけで自動的にＴＶカメ
ラの垂直同期信号周期に応じてそのビュー数のプロファ
イルデータを３６０°回転で正確に収集する。 【解決手段】 ＣＣＤカメラ１３からのビデオ信号をビ
デオキャプチャ部２１に送り、１フレームごとにデジタ
ル化して収集メモリ２２に取り込むとともに、ビデオキ
ャプチャ部２１から垂直同期信号を取り出してタイマー
２９でその周期を測定し、この測定値と操作・入力部２
７から入力されたビュー数とからＣＰＵ２３がテーブル
１４の回転速度を求めてテーブル制御部２８に設定し、
回転装置１５を制御する。
ラの垂直同期信号周期に応じてそのビュー数のプロファ
イルデータを３６０°回転で正確に収集する。 【解決手段】 ＣＣＤカメラ１３からのビデオ信号をビ
デオキャプチャ部２１に送り、１フレームごとにデジタ
ル化して収集メモリ２２に取り込むとともに、ビデオキ
ャプチャ部２１から垂直同期信号を取り出してタイマー
２９でその周期を測定し、この測定値と操作・入力部２
７から入力されたビュー数とからＣＰＵ２３がテーブル
１４の回転速度を求めてテーブル制御部２８に設定し、
回転装置１５を制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電子部品などの
産業上の物品の非破壊検査に用いる産業用Ｘ線ＣＴ装置
に関する。
産業上の物品の非破壊検査に用いる産業用Ｘ線ＣＴ装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線ＣＴ装置は、被検査物の周囲３６０
°の各方向からのＸ線透過データをプロファイルデータ
として取り込んで画像再構成処理することによりその被
検査物の断面の画像（断層像）を再構成するものであ
る。医療用のＸ線ＣＴ装置では被検査物が人体であるた
め被検査物を回転させるわけにはいかないが、産業用Ｘ
線ＣＴ装置では産業上の物品を被検査物としているの
で、この被検査物を回転させ、Ｘ線透過データを収集す
る撮像系（通常、Ｘ線管およびイメージインテンシファ
イアとＴＶカメラ）の方を固定するようにしている。
°の各方向からのＸ線透過データをプロファイルデータ
として取り込んで画像再構成処理することによりその被
検査物の断面の画像（断層像）を再構成するものであ
る。医療用のＸ線ＣＴ装置では被検査物が人体であるた
め被検査物を回転させるわけにはいかないが、産業用Ｘ
線ＣＴ装置では産業上の物品を被検査物としているの
で、この被検査物を回転させ、Ｘ線透過データを収集す
る撮像系（通常、Ｘ線管およびイメージインテンシファ
イアとＴＶカメラ）の方を固定するようにしている。
【０００３】そして、ＴＶカメラ（通常ＣＣＤカメラが
用いられる）から出力されるビデオ信号をデジタル化し
てプロファイルデータを得る際には、ビデオ信号の垂直
同期信号（ＶＳＹＮＣ）に同期させる必要がある。その
ため、被検査物の１回転に要する時間と垂直同期信号の
周期とによって３６０°内のビュー数が決まることにな
る。換言すると、１回転（３６０°回転）する間に所望
のビュー数のデータを収集しようとするなら、被検査物
の回転速度を、垂直同期信号の周期とその所望のビュー
数とによって定める必要がある。
用いられる）から出力されるビデオ信号をデジタル化し
てプロファイルデータを得る際には、ビデオ信号の垂直
同期信号（ＶＳＹＮＣ）に同期させる必要がある。その
ため、被検査物の１回転に要する時間と垂直同期信号の
周期とによって３６０°内のビュー数が決まることにな
る。換言すると、１回転（３６０°回転）する間に所望
のビュー数のデータを収集しようとするなら、被検査物
の回転速度を、垂直同期信号の周期とその所望のビュー
数とによって定める必要がある。
【０００４】そこで、従来、使用するＣＣＤカメラの垂
直同期信号の周期を操作者がマニュアルで入力してお
き、３６０°でのビュー数が決まったなら、その周期と
ビュー数とに基づき回転速度を計算し、その回転速度に
設定するようにしている。
直同期信号の周期を操作者がマニュアルで入力してお
き、３６０°でのビュー数が決まったなら、その周期と
ビュー数とに基づき回転速度を計算し、その回転速度に
設定するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ように使用するＣＣＤカメラの垂直同期信号の周期を操
作者がマニュアルで入力するのでは、操作が煩雑である
し、入力ミスなどがあれば所望のビュー数を得ることが
できなくなって望み通りのＣＴ像を再構成することがで
きない。
ように使用するＣＣＤカメラの垂直同期信号の周期を操
作者がマニュアルで入力するのでは、操作が煩雑である
し、入力ミスなどがあれば所望のビュー数を得ることが
できなくなって望み通りのＣＴ像を再構成することがで
きない。
【０００６】この発明は、上記に鑑み、収集ビュー数さ
え入力すれば、後は自動的にＴＶカメラの垂直同期信号
周期に応じてそのビュー数のプロファイルデータを３６
０°回転中に収集し、望み通りの正確なＣＴ像を得るこ
とができるように改善した、産業用Ｘ線ＣＴ装置を提供
することを目的とする。
え入力すれば、後は自動的にＴＶカメラの垂直同期信号
周期に応じてそのビュー数のプロファイルデータを３６
０°回転中に収集し、望み通りの正確なＣＴ像を得るこ
とができるように改善した、産業用Ｘ線ＣＴ装置を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明による産業用Ｘ線ＣＴ装置においては、被
検査物体が載せられるテーブルを回転させる回転手段
と、該被検査物体にＸ線ビームを照射するＸ線発生手段
と、被検査物体を透過したＸ線ビームによるＸ線画像を
光学像に変換する画像変換手段と、該画像変換手段の出
力光学像を撮影してビデオ信号を得る撮像手段と、該撮
像手段の出力ビデオ信号をデジタル化してデータ収集す
るデータ収集手段と、該収集データから断層像を再構成
する画像再構成手段と、プロファイルデータのビュー数
を入力する手段と、上記撮像手段の垂直同期信号の周期
を測定する測定手段と、測定した垂直同期信号周期と上
記の入力されたビュー数とに基づいて上記のテーブル回
転速度を算出し、その速度でテーブルが回転するように
上記の回転手段を制御する手段とが備えられることが特
徴となっている。
め、この発明による産業用Ｘ線ＣＴ装置においては、被
検査物体が載せられるテーブルを回転させる回転手段
と、該被検査物体にＸ線ビームを照射するＸ線発生手段
と、被検査物体を透過したＸ線ビームによるＸ線画像を
光学像に変換する画像変換手段と、該画像変換手段の出
力光学像を撮影してビデオ信号を得る撮像手段と、該撮
像手段の出力ビデオ信号をデジタル化してデータ収集す
るデータ収集手段と、該収集データから断層像を再構成
する画像再構成手段と、プロファイルデータのビュー数
を入力する手段と、上記撮像手段の垂直同期信号の周期
を測定する測定手段と、測定した垂直同期信号周期と上
記の入力されたビュー数とに基づいて上記のテーブル回
転速度を算出し、その速度でテーブルが回転するように
上記の回転手段を制御する手段とが備えられることが特
徴となっている。
【０００８】撮像手段の垂直同期信号の周期が測定さ
れ、その測定値と指定されたビュー数とに基づいてテー
ブル回転速度が計算され、その回転速度でテーブルが回
転するよう制御される。そのため、１回転（３６０°）
で指定ビュー数のデータを正確に収集することが自動的
になされるようになり、操作者の負担を軽減するととも
に、操作ミスによって所望のＣＴ画像を得ることができ
ないという不都合を解消することができる。
れ、その測定値と指定されたビュー数とに基づいてテー
ブル回転速度が計算され、その回転速度でテーブルが回
転するよう制御される。そのため、１回転（３６０°）
で指定ビュー数のデータを正確に収集することが自動的
になされるようになり、操作者の負担を軽減するととも
に、操作ミスによって所望のＣＴ画像を得ることができ
ないという不都合を解消することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態に
ついて図面を参照しながら詳細に説明する。図１におい
て、電子部品などの被検査物１０に対してＸ線管１１か
らＸ線ビームが照射され、その被検査物１０を透過した
Ｘ線ビームがイメージインテンシファイア１２に入射す
るようにされている。イメージインテンシファイア１２
では、入射した透過Ｘ線ビームによるＸ線画像が輝度増
強された上で光学像に変換され、その出力光学像がＣＣ
Ｄカメラ１３によって撮像されビデオ信号が出力され
る。ＣＣＤカメラ１３から出力されるビデオ信号はビデ
オキャプチャ部２１に送られて１フレームずつのデジタ
ル画像データに変換され、そのデータが収集メモリ２２
に送られて収集される。
ついて図面を参照しながら詳細に説明する。図１におい
て、電子部品などの被検査物１０に対してＸ線管１１か
らＸ線ビームが照射され、その被検査物１０を透過した
Ｘ線ビームがイメージインテンシファイア１２に入射す
るようにされている。イメージインテンシファイア１２
では、入射した透過Ｘ線ビームによるＸ線画像が輝度増
強された上で光学像に変換され、その出力光学像がＣＣ
Ｄカメラ１３によって撮像されビデオ信号が出力され
る。ＣＣＤカメラ１３から出力されるビデオ信号はビデ
オキャプチャ部２１に送られて１フレームずつのデジタ
ル画像データに変換され、そのデータが収集メモリ２２
に送られて収集される。
【００１０】被検査物１０はテーブル１４に載置されて
おり、このテーブル１４は回転装置１５によって一定の
回転速度で回転させられるようになっている。この定速
回転中の被検査物１０の透過Ｘ線画像についてビデオ信
号の１フレームごとにデータが収集されるため、所定の
角度（ビュー）ごとのプロファイルデータが収集される
ことになる。テーブル１４が１回転（３６０°回転）し
て全ての方向（ビュー）のプロファイルデータが収集さ
れると、ＣＰＵ２３の制御の下でそのデータが画像再構
成部２４に転送され、補正処理、コンボリューション処
理、バックプロジェクション処理などの演算処理が施さ
れて、被検査物１０の回転軸に直角な断面での断層像が
得られる。この断層像は画像表示部２５を経て画像モニ
ター装置２６に送られて表示される。
おり、このテーブル１４は回転装置１５によって一定の
回転速度で回転させられるようになっている。この定速
回転中の被検査物１０の透過Ｘ線画像についてビデオ信
号の１フレームごとにデータが収集されるため、所定の
角度（ビュー）ごとのプロファイルデータが収集される
ことになる。テーブル１４が１回転（３６０°回転）し
て全ての方向（ビュー）のプロファイルデータが収集さ
れると、ＣＰＵ２３の制御の下でそのデータが画像再構
成部２４に転送され、補正処理、コンボリューション処
理、バックプロジェクション処理などの演算処理が施さ
れて、被検査物１０の回転軸に直角な断面での断層像が
得られる。この断層像は画像表示部２５を経て画像モニ
ター装置２６に送られて表示される。
【００１１】操作・入力部２７は、キーボードやマウス
などからなり、所定のコマンド、データなどの入力を行
う。この操作・入力部２７より、３６０°におけるビュ
ー数（Ｎ）の入力がなされる。こうしてビュー数が指定
されると、その指定ビュー数のデータを、１回転の間に
正確に収集する必要がある。ビデオキャプチャ部２１は
ビデオ信号の垂直同期信号（ＶＳＹＮＣ）に同期して
（つまり１枚ずつの画像ごとに）データを取り込んでい
るため、その垂直同期信号の周期にＮ（ビュー数）をか
けた時間でちょうど１回転するようにテーブル１４の回
転速度を定めなければ、１回転でＮ個のプロファイルデ
ータ収集を収集することができない。
などからなり、所定のコマンド、データなどの入力を行
う。この操作・入力部２７より、３６０°におけるビュ
ー数（Ｎ）の入力がなされる。こうしてビュー数が指定
されると、その指定ビュー数のデータを、１回転の間に
正確に収集する必要がある。ビデオキャプチャ部２１は
ビデオ信号の垂直同期信号（ＶＳＹＮＣ）に同期して
（つまり１枚ずつの画像ごとに）データを取り込んでい
るため、その垂直同期信号の周期にＮ（ビュー数）をか
けた時間でちょうど１回転するようにテーブル１４の回
転速度を定めなければ、１回転でＮ個のプロファイルデ
ータ収集を収集することができない。
【００１２】たとえば、ビュー数Ｎ＝１８００と指定さ
れ、ＣＣＤカメラ１３がインターレース走査でその垂直
同期信号の周波数＝５９．９４Ｈｚである場合、図２に
示すように２フィールド（垂直同期信号の２周期）で１
フレームの画像が構成されるので、｛（１／５９．９
４）×２｝秒の期間で３６０°／１８００の角度進むよ
うな回転速度とする必要がある。回転速度ｖ（ｒｐｓ）
とするとｖは１回転に要する時間であるからｖはつぎの
ようになる。 回転速度ｖ＝｛（１／５９．９４）×２｝×１８００＝
６０．０６（ｒｐｓ）
れ、ＣＣＤカメラ１３がインターレース走査でその垂直
同期信号の周波数＝５９．９４Ｈｚである場合、図２に
示すように２フィールド（垂直同期信号の２周期）で１
フレームの画像が構成されるので、｛（１／５９．９
４）×２｝秒の期間で３６０°／１８００の角度進むよ
うな回転速度とする必要がある。回転速度ｖ（ｒｐｓ）
とするとｖは１回転に要する時間であるからｖはつぎの
ようになる。 回転速度ｖ＝｛（１／５９．９４）×２｝×１８００＝
６０．０６（ｒｐｓ）
【００１３】従来では、垂直同期信号の周波数を、使用
するＣＣＤカメラ１３の仕様書等で調べ、操作・入力部
２７を介してマニュアル入力していたため、入力ミスな
どがあれば、３６０°で指定ビュー数のデータを正確に
取り込むことができず、所望の再構成画像が得られない
こととなっていた。
するＣＣＤカメラ１３の仕様書等で調べ、操作・入力部
２７を介してマニュアル入力していたため、入力ミスな
どがあれば、３６０°で指定ビュー数のデータを正確に
取り込むことができず、所望の再構成画像が得られない
こととなっていた。
【００１４】ここでは、図１に示すようにビデオキャプ
チャ部２１から垂直同期信号だけを取り出してタイマー
２９に送り、クロック発生器３１からの基準クロック信
号をカウントして垂直同期信号の周期を実測するように
している。収集メモリ２２へのデータ収集の開始前に、
ＣＰＵ２３がこのタイマー２９を動作させて垂直同期信
号周期の実測を行わせる。そして、その実測された垂直
同期信号周期と、操作・入力部２７を介して入力された
ビュー数とによって、ＣＰＵ２３が回転速度を算出し、
その回転速度をテーブル制御部２８に設定する。
チャ部２１から垂直同期信号だけを取り出してタイマー
２９に送り、クロック発生器３１からの基準クロック信
号をカウントして垂直同期信号の周期を実測するように
している。収集メモリ２２へのデータ収集の開始前に、
ＣＰＵ２３がこのタイマー２９を動作させて垂直同期信
号周期の実測を行わせる。そして、その実測された垂直
同期信号周期と、操作・入力部２７を介して入力された
ビュー数とによって、ＣＰＵ２３が回転速度を算出し、
その回転速度をテーブル制御部２８に設定する。
【００１５】検査を開始すると、テーブル制御部２８は
テーブル１４の回転速度がその設定された速度となるよ
うに回転装置１５を制御し、定速回転となったときにＸ
線管１１からＸ線ビームが照射され、ビデオキャプチャ
部２１および収集メモリ２２によって１回転ごとに、図
３で示すように指定のビュー数Ｎのプロファイルデータ
４１が１番目のビュー、２番目のビュー、…、Ｎ番目の
ビューというように収集されていく。
テーブル１４の回転速度がその設定された速度となるよ
うに回転装置１５を制御し、定速回転となったときにＸ
線管１１からＸ線ビームが照射され、ビデオキャプチャ
部２１および収集メモリ２２によって１回転ごとに、図
３で示すように指定のビュー数Ｎのプロファイルデータ
４１が１番目のビュー、２番目のビュー、…、Ｎ番目の
ビューというように収集されていく。
【００１６】この場合、実測した垂直同期信号の周期と
指定ビュー数Ｎとによって被検査物１０の回転速度を定
めているので、３６０°内で正確にＮ個のプロファイル
データ４１が得られ、その角度間隔はすべて正確に３６
０°／Ｎと等しくなる。そのため、ビュー数の指定によ
って期待したＣＴ画像を、その期待通りに得ることが可
能となる。
指定ビュー数Ｎとによって被検査物１０の回転速度を定
めているので、３６０°内で正確にＮ個のプロファイル
データ４１が得られ、その角度間隔はすべて正確に３６
０°／Ｎと等しくなる。そのため、ビュー数の指定によ
って期待したＣＴ画像を、その期待通りに得ることが可
能となる。
【００１７】なお、上記では、ＣＰＵ２３が、実測され
た垂直同期信号周期と、操作・入力部２７を介して入力
されたビュー数とによって、テーブル１４の回転速度を
算出したが、これらを点線で示したルックアップテーブ
ル３２に送ってそれらに対応する回転速度を直接テーブ
ル制御部２８に設定するよう構成することもできる。こ
こでルックアップテーブル３２とは、垂直同期信号周期
とビュー数とに対する回転速度に関する表のようなもの
を記憶しているメモリであり、垂直同期信号周期とビュ
ー数とよってメモリアドレスを指定するとそこに記憶さ
れていた対応する回転速度が読み出されるようにされた
ものである。
た垂直同期信号周期と、操作・入力部２７を介して入力
されたビュー数とによって、テーブル１４の回転速度を
算出したが、これらを点線で示したルックアップテーブ
ル３２に送ってそれらに対応する回転速度を直接テーブ
ル制御部２８に設定するよう構成することもできる。こ
こでルックアップテーブル３２とは、垂直同期信号周期
とビュー数とに対する回転速度に関する表のようなもの
を記憶しているメモリであり、垂直同期信号周期とビュ
ー数とよってメモリアドレスを指定するとそこに記憶さ
れていた対応する回転速度が読み出されるようにされた
ものである。
【００１８】その他、この発明の趣旨を逸脱しない範囲
で種々に構成を変更することができる。すなわち、上記
はこの発明の一つの実施形態の例を示すものにすぎず、
具体的な構成などは種々に変更可能である。
で種々に構成を変更することができる。すなわち、上記
はこの発明の一つの実施形態の例を示すものにすぎず、
具体的な構成などは種々に変更可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の産業用
Ｘ線ＣＴ装置によれば、ビデオ信号の垂直同期信号周期
を実測してその測定値を自動的に取り込むようにしてい
るので、ビュー数の入力だけでテーブル回転速度を正確
に求めることができ、その回転速度でテーブルが回転す
るよう制御することができて、１回転（３６０°）で指
定ビュー数のデータを正確に収集することを自動的に行
うことができる。その結果、所望のＣＴ像をつねに得る
ことができるようになり、操作ミスによって所望のＣＴ
画像を得ることができないという不都合をなくし、操作
者の負担を軽減することができる。
Ｘ線ＣＴ装置によれば、ビデオ信号の垂直同期信号周期
を実測してその測定値を自動的に取り込むようにしてい
るので、ビュー数の入力だけでテーブル回転速度を正確
に求めることができ、その回転速度でテーブルが回転す
るよう制御することができて、１回転（３６０°）で指
定ビュー数のデータを正確に収集することを自動的に行
うことができる。その結果、所望のＣＴ像をつねに得る
ことができるようになり、操作ミスによって所望のＣＴ
画像を得ることができないという不都合をなくし、操作
者の負担を軽減することができる。
【図１】この発明の実施の形態を示すブロック図。
【図２】ビデオ信号波形を示す波形図。
【図３】各ビューのプロファイルデータを示す模式図。
１０ 被検査物 １１ Ｘ線管 １２ イメージインテンシファイア １３ ＣＣＤカメラ １４ テーブル １５ 回転装置 ２１ ビデオキャプチャ部 ２２ 収集メモリ ２３ ＣＰＵ ２４ 画像再構成部 ２５ 画像表示部 ２６ 画像モニター装置 ２７ 操作・入力部 ２８ テーブル制御部 ２９ タイマー ３１ クロック発生器 ３２ ルックアップテーブル ４１ プロファイルデータ
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査物体が載せられるテーブルを回転
させる回転手段と、該被検査物体にＸ線ビームを照射す
るＸ線発生手段と、被検査物体を透過したＸ線ビームに
よるＸ線画像を光学像に変換する画像変換手段と、該画
像変換手段の出力光学像を撮影してビデオ信号を得る撮
像手段と、該撮像手段の出力ビデオ信号をデジタル化し
てデータ収集するデータ収集手段と、該収集データから
断層像を再構成する画像再構成手段と、プロファイルデ
ータのビュー数を入力する手段と、上記撮像手段の垂直
同期信号の周期を測定する測定手段と、測定した垂直同
期信号周期と上記の入力されたビュー数とに基づいて上
記のテーブル回転速度を算出し、その速度でテーブルが
回転するように上記の回転手段を制御する手段とを備え
ることを特徴とする産業用Ｘ線ＣＴ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10150910A JPH11344453A (ja) | 1998-06-01 | 1998-06-01 | 産業用ｘ線ｃｔ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10150910A JPH11344453A (ja) | 1998-06-01 | 1998-06-01 | 産業用ｘ線ｃｔ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11344453A true JPH11344453A (ja) | 1999-12-14 |
Family
ID=15507070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10150910A Pending JPH11344453A (ja) | 1998-06-01 | 1998-06-01 | 産業用ｘ線ｃｔ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11344453A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006214879A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Sony Corp | Ｘ線断層撮像方法及び装置 |
| US7099432B2 (en) | 2003-08-27 | 2006-08-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | X-ray inspection apparatus and X-ray inspection method |
| CN102590243A (zh) * | 2012-02-17 | 2012-07-18 | 重庆大学 | 一种铁路铸件全身ct扫描成像方法 |
| WO2022107476A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 | 日本装置開発株式会社 | Ｘ線検査装置 |
-
1998
- 1998-06-01 JP JP10150910A patent/JPH11344453A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7099432B2 (en) | 2003-08-27 | 2006-08-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | X-ray inspection apparatus and X-ray inspection method |
| JP2006214879A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Sony Corp | Ｘ線断層撮像方法及び装置 |
| CN102590243A (zh) * | 2012-02-17 | 2012-07-18 | 重庆大学 | 一种铁路铸件全身ct扫描成像方法 |
| WO2022107476A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 | 日本装置開発株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| JP7100936B1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-07-14 | 日本装置開発株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| EP4141427A4 (en) * | 2020-11-18 | 2024-06-05 | Jed Co., Ltd | X-RAY INSPECTION DEVICE |
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| JPH10108862A (ja) | Ｘ線断層撮影方法及びｘ線断層撮影装置 |
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