JPH11310404A - オゾン発生器 - Google Patents
オゾン発生器Info
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- JPH11310404A JPH11310404A JP12092998A JP12092998A JPH11310404A JP H11310404 A JPH11310404 A JP H11310404A JP 12092998 A JP12092998 A JP 12092998A JP 12092998 A JP12092998 A JP 12092998A JP H11310404 A JPH11310404 A JP H11310404A
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 沿面放電を行う放電電極を冷却効果を向上さ
せて、効率良く高濃度のオゾンを発生できるオゾン発生
器を提供する。 【解決手段】 誘電体５の表面に線状などの放電電極１
を設けると共に裏面にアース電極３を設け、それら電極
１，３間に高電圧を印加して誘電体５表面に沿面放電を
発生させてオゾンを発生させるオゾン発生器において、
上記放電電極１側に狭い空間を形成すると共に誘電体５
表面で発生したオゾンを冷却するためのガス冷却カバ７
を設ける。
せて、効率良く高濃度のオゾンを発生できるオゾン発生
器を提供する。 【解決手段】 誘電体５の表面に線状などの放電電極１
を設けると共に裏面にアース電極３を設け、それら電極
１，３間に高電圧を印加して誘電体５表面に沿面放電を
発生させてオゾンを発生させるオゾン発生器において、
上記放電電極１側に狭い空間を形成すると共に誘電体５
表面で発生したオゾンを冷却するためのガス冷却カバ７
を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾン発生器に係
り、特に誘電体の表面に沿って放電が発生する沿面放電
を用いたオゾン発生器に関するものである。
り、特に誘電体の表面に沿って放電が発生する沿面放電
を用いたオゾン発生器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】オゾン発生器は、従来より様々な方式の
ものが知られているが、その一つとして、誘電体の表面
に沿って放電を発生する沿面放電を利用した方式のもの
がある。
ものが知られているが、その一つとして、誘電体の表面
に沿って放電を発生する沿面放電を利用した方式のもの
がある。
【０００３】この方式を用いたものとしては、例えば、
誘電体の表面に線状などの放電電極を設けると共に裏面
にアース電極を設けたオゾン発生器や、そのオゾン発生
器を多段に積層したオゾン発生器が、特開昭５６−１２
０５０７号公報などに開示されている。
誘電体の表面に線状などの放電電極を設けると共に裏面
にアース電極を設けたオゾン発生器や、そのオゾン発生
器を多段に積層したオゾン発生器が、特開昭５６−１２
０５０７号公報などに開示されている。
【０００４】このオゾン発生器は、放電電極とアース電
極との間に高電圧を印加して、誘電体の表面で沿面放電
を行うと共に、放電電極の表面に空気などを流して、そ
の放電により空気中の酸素を反応させ、オゾンを発生さ
せるものである。
極との間に高電圧を印加して、誘電体の表面で沿面放電
を行うと共に、放電電極の表面に空気などを流して、そ
の放電により空気中の酸素を反応させ、オゾンを発生さ
せるものである。
【０００５】このように放電を利用してオゾンを発生さ
せる場合、オゾンの濃度は、オゾン発生器間のガス温度
が低いほど、高濃度であることが知られている。このた
め、オゾン発生器は、放電時に電極が冷却されている。
せる場合、オゾンの濃度は、オゾン発生器間のガス温度
が低いほど、高濃度であることが知られている。このた
め、オゾン発生器は、放電時に電極が冷却されている。
【０００６】例えば、特開昭５６−１２０５０７号公報
に開示されているオゾン発生器にあっては、放電電極が
外側に位置するようにオゾン発生器をパイプ状に形成
し、そのパイプ穴に冷却水などの冷媒を通過させてい
る。また、これ以外では、放電電極が内側に位置するよ
うにオゾン発生器をパイプ状に形成すると共に外側に位
置するアース電極の周りに筒体状のジャケットを設け、
そのアース電極とジャケットとの間に冷却水などの冷媒
を通過させるものも知られている。
に開示されているオゾン発生器にあっては、放電電極が
外側に位置するようにオゾン発生器をパイプ状に形成
し、そのパイプ穴に冷却水などの冷媒を通過させてい
る。また、これ以外では、放電電極が内側に位置するよ
うにオゾン発生器をパイプ状に形成すると共に外側に位
置するアース電極の周りに筒体状のジャケットを設け、
そのアース電極とジャケットとの間に冷却水などの冷媒
を通過させるものも知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、パイプ
穴に冷却水を流して電極を冷却する方法は、オゾン発生
器上に広い空間が存在するために、誘電体の表面で発生
したオゾンと冷却された電極との接触効率が悪く、オゾ
ンの冷却効果が低かった。
穴に冷却水を流して電極を冷却する方法は、オゾン発生
器上に広い空間が存在するために、誘電体の表面で発生
したオゾンと冷却された電極との接触効率が悪く、オゾ
ンの冷却効果が低かった。
【０００８】また、電極の周りに冷却水を流してその電
極を冷却する方法は、装置が複雑になるばかりでなく、
パイプ径を小さく形成してオゾンと電極との接触効率を
良くすれば空気の導入量が少なくなってしまい、またパ
イプ径を大きく形成して空気の導入量を多くすれば、誘
電体上の空間が広がり、オゾンと電極の接触効率が悪化
してしまい、オゾンの冷却効果が低くなるという問題が
あった。
極を冷却する方法は、装置が複雑になるばかりでなく、
パイプ径を小さく形成してオゾンと電極との接触効率を
良くすれば空気の導入量が少なくなってしまい、またパ
イプ径を大きく形成して空気の導入量を多くすれば、誘
電体上の空間が広がり、オゾンと電極の接触効率が悪化
してしまい、オゾンの冷却効果が低くなるという問題が
あった。
【０００９】このように、従来のオゾン発生器は、オゾ
ンの冷却効率が悪いため、ガスの温度上昇を招き、オゾ
ンを分解する反応が進むので、高濃度オゾンが得られな
かった。
ンの冷却効率が悪いため、ガスの温度上昇を招き、オゾ
ンを分解する反応が進むので、高濃度オゾンが得られな
かった。
【００１０】そこで、本発明の目的は、沿面放電を行う
放電電極の冷却効果を向上させて、効率良く高濃度のオ
ゾンを発生できるオゾン発生器を提供することにある。
放電電極の冷却効果を向上させて、効率良く高濃度のオ
ゾンを発生できるオゾン発生器を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１の発明は、誘電体の表面に線状などの放電電
極を設けると共に裏面にアース電極を設け、それら電極
間に高電圧を印加して誘電体表面に沿面放電を発生させ
てオゾンを発生させるオゾン発生器において、上記放電
電極側に狭い空間を形成すると共に誘電体表面で発生し
たオゾンを冷却するためのガス冷却カバを設けたもので
ある。
に請求項１の発明は、誘電体の表面に線状などの放電電
極を設けると共に裏面にアース電極を設け、それら電極
間に高電圧を印加して誘電体表面に沿面放電を発生させ
てオゾンを発生させるオゾン発生器において、上記放電
電極側に狭い空間を形成すると共に誘電体表面で発生し
たオゾンを冷却するためのガス冷却カバを設けたもので
ある。
【００１２】請求項２の発明は、誘電体の表面に線状な
どの放電電極を設けると共に裏面にアース電極を設け、
それら電極間に高電圧を印加して誘電体表面に沿面放電
を発生させてオゾンを発生させるオゾン発生器におい
て、アース電極に冷却手段を設け、そのアース電極を挟
んで両面に誘電体を設けると共に、その誘電体表面に放
電電極を設けて放電ユニットを形成し、その放電ユニッ
トを、放電電極側に狭い空間を形成して上下多段に積層
し、かつ各アース電極に設けた冷却手段で、誘電体表面
で発生したオゾンを上下両側から冷却するようにしたも
のである。
どの放電電極を設けると共に裏面にアース電極を設け、
それら電極間に高電圧を印加して誘電体表面に沿面放電
を発生させてオゾンを発生させるオゾン発生器におい
て、アース電極に冷却手段を設け、そのアース電極を挟
んで両面に誘電体を設けると共に、その誘電体表面に放
電電極を設けて放電ユニットを形成し、その放電ユニッ
トを、放電電極側に狭い空間を形成して上下多段に積層
し、かつ各アース電極に設けた冷却手段で、誘電体表面
で発生したオゾンを上下両側から冷却するようにしたも
のである。
【００１３】請求項３の発明は、誘電体の表裏両面に放
電電極を設けて放電電極ユニットを形成し、他方、冷却
手段を設けたアース電極の表裏両面に誘電体を設けてア
ース電極ユニットを形成し、上記両ユニットを無声放電
ギャップを保ちかつその間に狭い空間を形成するように
上下多段に積層し、上記放電電極とアース電極間に高電
圧を印加して上記空間で無声放電と沿面放電を行ってオ
ゾンを発生させると共に、その発生したオゾンを上記ア
ース電極の冷却手段で冷却するものである。
電電極を設けて放電電極ユニットを形成し、他方、冷却
手段を設けたアース電極の表裏両面に誘電体を設けてア
ース電極ユニットを形成し、上記両ユニットを無声放電
ギャップを保ちかつその間に狭い空間を形成するように
上下多段に積層し、上記放電電極とアース電極間に高電
圧を印加して上記空間で無声放電と沿面放電を行ってオ
ゾンを発生させると共に、その発生したオゾンを上記ア
ース電極の冷却手段で冷却するものである。
【００１４】請求項４の発明は、誘電体の表面に線状な
どの放電電極を設けると共に裏面にアース電極を設け、
それら電極間に高電圧を印加して誘電体表面に沿面放電
を発生させてオゾンを発生させるオゾン発生器におい
て、アース電極に冷却手段を設け、そのアース電極を挟
んで両面に誘電体を設けてユニットを形成し、そのユニ
ットを、狭い空間を規制する高さに形成した放電電極を
介して多段に積層して、形成したものである。
どの放電電極を設けると共に裏面にアース電極を設け、
それら電極間に高電圧を印加して誘電体表面に沿面放電
を発生させてオゾンを発生させるオゾン発生器におい
て、アース電極に冷却手段を設け、そのアース電極を挟
んで両面に誘電体を設けてユニットを形成し、そのユニ
ットを、狭い空間を規制する高さに形成した放電電極を
介して多段に積層して、形成したものである。
【００１５】請求項５の発明は、上記誘電体表面で発生
したオゾンを誘電体とアース電極を通して取り出すため
の取出口を形成し、その取出口に臨んで上記放電電極を
放射状に形成したものである。
したオゾンを誘電体とアース電極を通して取り出すため
の取出口を形成し、その取出口に臨んで上記放電電極を
放射状に形成したものである。
【００１６】このように構成することにより、放電によ
り発生したオゾンは、冷却手段により上下両側から冷却
されながら、オゾン発生器の表面に沿って流れていく。
このため、オゾン全体が冷却手段により冷却される。
り発生したオゾンは、冷却手段により上下両側から冷却
されながら、オゾン発生器の表面に沿って流れていく。
このため、オゾン全体が冷却手段により冷却される。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の好適一実施の形態
を添付図面に基づいて詳述する。
を添付図面に基づいて詳述する。
【００１８】図１（ａ），図１（ｂ），図１（ｃ）に本
発明の第１の実施の形態の概略図を示す。
発明の第１の実施の形態の概略図を示す。
【００１９】図１（ａ）に示すように、オゾン発生器
は、両面に電極１，３が設けられた板状の誘電体５と、
図１（ｂ）に示すように放電を発生する電極１の適宜上
方に設けられたガス冷却カバ７とから構成されている。
は、両面に電極１，３が設けられた板状の誘電体５と、
図１（ｂ）に示すように放電を発生する電極１の適宜上
方に設けられたガス冷却カバ７とから構成されている。
【００２０】このガス冷却カバ７は、図１（ｃ）に示す
ように誘電体５との間に１ｍｍ以下の狭い空間を形成す
るように設けられている。更に、このガス冷却カバ７
は、誘電体５の表面に発生したオゾンを冷却するための
冷却手段を有している。
ように誘電体５との間に１ｍｍ以下の狭い空間を形成す
るように設けられている。更に、このガス冷却カバ７
は、誘電体５の表面に発生したオゾンを冷却するための
冷却手段を有している。
【００２１】この冷却手段は、図示していないが、ガス
冷却カバ７内部に形成され冷媒を通過させるための冷媒
通路と、その冷媒通路の一方に接続され冷媒を供給する
ための冷媒供給管と、その冷媒通路の他方に接続され冷
媒を排出するための冷媒排出管とから構成されている。
冷却カバ７内部に形成され冷媒を通過させるための冷媒
通路と、その冷媒通路の一方に接続され冷媒を供給する
ための冷媒供給管と、その冷媒通路の他方に接続され冷
媒を排出するための冷媒排出管とから構成されている。
【００２２】また、誘電体５の表面側の電極１は、３本
の線状電極部１ａと、各線状電極部１ａを纏めて外部の
高圧電源と接続するための接続端子部１ｂとが櫛形に形
成されており、高圧電源の高圧８０側と接続されて放電
電極１として用いられる。また、誘電体５の裏面側の電
極３は、板状の本体部３ａに外部の高圧電源と接続する
ための接続端子部３ｂが形成されて構成されており、高
圧電源のグランド９０側と接続されてアース電極３とし
て用いられる。
の線状電極部１ａと、各線状電極部１ａを纏めて外部の
高圧電源と接続するための接続端子部１ｂとが櫛形に形
成されており、高圧電源の高圧８０側と接続されて放電
電極１として用いられる。また、誘電体５の裏面側の電
極３は、板状の本体部３ａに外部の高圧電源と接続する
ための接続端子部３ｂが形成されて構成されており、高
圧電源のグランド９０側と接続されてアース電極３とし
て用いられる。
【００２３】次に、本発明の作用を説明する。
【００２４】本発明によりオゾンを製造するに際して
は、オゾン発生器の放電電極１とアース電極３との間に
高電圧を印加する。これにより、誘電体５の表面ではそ
の表面に沿って放電が発生する。また、アース電極３の
冷媒通路内には冷媒供給管から冷媒が供給されて、アー
ス電極３から誘電体５を介して放電電極１を冷却した
後、冷媒排出管より排出される。
は、オゾン発生器の放電電極１とアース電極３との間に
高電圧を印加する。これにより、誘電体５の表面ではそ
の表面に沿って放電が発生する。また、アース電極３の
冷媒通路内には冷媒供給管から冷媒が供給されて、アー
ス電極３から誘電体５を介して放電電極１を冷却した
後、冷媒排出管より排出される。
【００２５】これに伴って、オゾン発生器とガス冷却カ
バ７との間に、空気が導入される。この空気中の酸素
は、誘電体５の表面に沿って発生した放電により、オゾ
ンに反応し、ガス冷却カバ７と十分に接触して冷却され
ながら、その表面に沿って流れていく。これにより、オ
ゾンは上下両側から冷却されることになり、誘電体５表
面で発生したオゾン全体が冷却手段で冷却される。ま
た、本実施の形態にあっては、誘電体５表面に発生した
オゾンをガス冷却カバ７で直接的に冷却するようにした
ので、オゾンを効率良く冷却できる。
バ７との間に、空気が導入される。この空気中の酸素
は、誘電体５の表面に沿って発生した放電により、オゾ
ンに反応し、ガス冷却カバ７と十分に接触して冷却され
ながら、その表面に沿って流れていく。これにより、オ
ゾンは上下両側から冷却されることになり、誘電体５表
面で発生したオゾン全体が冷却手段で冷却される。ま
た、本実施の形態にあっては、誘電体５表面に発生した
オゾンをガス冷却カバ７で直接的に冷却するようにした
ので、オゾンを効率良く冷却できる。
【００２６】このように、本発明の冷却手段は、オゾン
を効率良く冷却できるので、本発明は、高濃度オゾンを
効率良く生成することができる。
を効率良く冷却できるので、本発明は、高濃度オゾンを
効率良く生成することができる。
【００２７】次に、本発明の他の実施の形態を、図２〜
図６に用いて説明する。
図６に用いて説明する。
【００２８】各図（ａ）には平面図を、各図（ｂ）には
正面図を、各図（ｃ）には側面図を示す。
正面図を、各図（ｃ）には側面図を示す。
【００２９】図２（ａ）に示した第２の実施の形態とし
てのオゾン発生器は、アース電極２３に冷却手段を設け
てガス冷却カバを形成したものである。
てのオゾン発生器は、アース電極２３に冷却手段を設け
てガス冷却カバを形成したものである。
【００３０】更に、図２（ｃ）に示すようにアース電極
２３を挟んで両面に誘電体２５を設けると共に、その誘
電体２５表面に放電電極２１を設けて放電ユニット２０
を形成し、その放電ユニット２０を、放電電極２１側に
狭い空間を形成して上下多段に積層されている。そし
て、この積層した放電ユニット２０の両側には、それぞ
れ放電電極２１同士を対向させてオゾン発生器が設けら
れており、また図２（ｂ）に示すように各放電電極２１
が高圧電源の高圧８０側に接続されると共に、各アース
電極２３が高圧電源のグランド９０側に接続される。
２３を挟んで両面に誘電体２５を設けると共に、その誘
電体２５表面に放電電極２１を設けて放電ユニット２０
を形成し、その放電ユニット２０を、放電電極２１側に
狭い空間を形成して上下多段に積層されている。そし
て、この積層した放電ユニット２０の両側には、それぞ
れ放電電極２１同士を対向させてオゾン発生器が設けら
れており、また図２（ｂ）に示すように各放電電極２１
が高圧電源の高圧８０側に接続されると共に、各アース
電極２３が高圧電源のグランド９０側に接続される。
【００３１】このオゾン発生器によりオゾンを製造する
に際しては、第１の実施の形態と同様に、オゾン発生器
の放電電極２１とアース電極２３との間に高電圧を印加
して誘電体２５の表面に放電を発生させると共に、各放
電ユニット２０間に、空気を導入する。この空気中の酸
素は、誘電体の２５の表面に沿って発生した放電によ
り、オゾンに反応し、そのオゾンは、放電ユニット２０
の冷却手段で上下両側から冷却されながら流れていく。
これにより、オゾンをその両側から効率よく冷却するこ
とができる。また、高圧電源のグランド９０側と接続す
るためのアース電極２３の接続端子数を半減できる。
に際しては、第１の実施の形態と同様に、オゾン発生器
の放電電極２１とアース電極２３との間に高電圧を印加
して誘電体２５の表面に放電を発生させると共に、各放
電ユニット２０間に、空気を導入する。この空気中の酸
素は、誘電体の２５の表面に沿って発生した放電によ
り、オゾンに反応し、そのオゾンは、放電ユニット２０
の冷却手段で上下両側から冷却されながら流れていく。
これにより、オゾンをその両側から効率よく冷却するこ
とができる。また、高圧電源のグランド９０側と接続す
るためのアース電極２３の接続端子数を半減できる。
【００３２】また、図３（ａ）に示した第３の実施の形
態としてのオゾン発生器は、第２の実施の形態と同様
に、アース電極２３に冷却手段を設けてガス冷却カバを
形成し、更に、図３（ｃ）に示すように放電ユニット２
０を、放電電極２１側に狭い空間を形成して上下多段に
積層したものである。第１の実施の形態と異なる点とし
ては、図３（ｂ）に示すように、積層した放電ユニット
２０の両側に、片面に誘電電極３５を設けたアース電極
３３を設ける点にあり、このアース電極３３は、誘電体
３５を放電ユニット２０側に向けて設けられている。
態としてのオゾン発生器は、第２の実施の形態と同様
に、アース電極２３に冷却手段を設けてガス冷却カバを
形成し、更に、図３（ｃ）に示すように放電ユニット２
０を、放電電極２１側に狭い空間を形成して上下多段に
積層したものである。第１の実施の形態と異なる点とし
ては、図３（ｂ）に示すように、積層した放電ユニット
２０の両側に、片面に誘電電極３５を設けたアース電極
３３を設ける点にあり、このアース電極３３は、誘電体
３５を放電ユニット２０側に向けて設けられている。
【００３３】このように、積層された放電ユニット２０
の両側に設けられるガス冷却カバは、オゾン発生器だけ
でなくアース電極３３で構成しても良い。
の両側に設けられるガス冷却カバは、オゾン発生器だけ
でなくアース電極３３で構成しても良い。
【００３４】また、図４（ｃ）に示した第４の実施の形
態としてのオゾン発生器は、誘電体４５の表裏両面に放
電電極４１を設けて放電電極ユニット３０を形成し、他
方、冷却手段を設けたアース電極４３の表裏両面に誘電
体４７を設けてアース電極ユニット４０を形成し、上記
両ユニット３０，４０を無声放電ギャップを保ちかつそ
の間に狭い空間を形成するように上下多段に積層したも
のである。このように積層することにより、図４（ａ）
に示すように、誘電体４５の両側に放電電極４１とアー
ス電極４３が配置される。更に、図４（ｂ）に示すよう
に各放電電極４１が高圧電源の高圧８０側に接続される
と共に、各アース電極４３が高圧電源のグランド９０側
に接続される。
態としてのオゾン発生器は、誘電体４５の表裏両面に放
電電極４１を設けて放電電極ユニット３０を形成し、他
方、冷却手段を設けたアース電極４３の表裏両面に誘電
体４７を設けてアース電極ユニット４０を形成し、上記
両ユニット３０，４０を無声放電ギャップを保ちかつそ
の間に狭い空間を形成するように上下多段に積層したも
のである。このように積層することにより、図４（ａ）
に示すように、誘電体４５の両側に放電電極４１とアー
ス電極４３が配置される。更に、図４（ｂ）に示すよう
に各放電電極４１が高圧電源の高圧８０側に接続される
と共に、各アース電極４３が高圧電源のグランド９０側
に接続される。
【００３５】このように構成することにより、沿面放電
と無声放電を併用して効率良く放電を発生させることが
できる。
と無声放電を併用して効率良く放電を発生させることが
できる。
【００３６】また、図５（ｂ）に示した第５の実施の形
態としてのオゾン発生器は、第２の実施の形態と同様
に、アース電極５３に冷却手段を設けてガス冷却カバを
形成し、そのアース電極５３を挟んで両面に誘電体５５
を設けてユニット５０を形成し、そのユニット５０を、
図５（ｃ）に示すように狭い空間を規制する高さに形成
した放電電極５１を介して多段に積層したものである。
このように積層することにより、ガス流路は、放電電極
５１と誘電体５５に囲まれるので、図５（ａ）に示すよ
うに放電電極５１は３本の線状電極部５１ａが平行に形
成されることにより、ガス流路の入口５１ｉと出口５１
ｏが形成されている。
態としてのオゾン発生器は、第２の実施の形態と同様
に、アース電極５３に冷却手段を設けてガス冷却カバを
形成し、そのアース電極５３を挟んで両面に誘電体５５
を設けてユニット５０を形成し、そのユニット５０を、
図５（ｃ）に示すように狭い空間を規制する高さに形成
した放電電極５１を介して多段に積層したものである。
このように積層することにより、ガス流路は、放電電極
５１と誘電体５５に囲まれるので、図５（ａ）に示すよ
うに放電電極５１は３本の線状電極部５１ａが平行に形
成されることにより、ガス流路の入口５１ｉと出口５１
ｏが形成されている。
【００３７】このように構成することにより、放電電極
５１の高さで狭い空間の大きさを管理できる。
５１の高さで狭い空間の大きさを管理できる。
【００３８】また、図６（ｂ）に示した第６の実施の形
態としてのオゾン発生器は、図６（ａ）に示すようにオ
ゾン発生器の放電電極６１が放射状に形成されていると
共に、誘電体６５とアース電極６３とを連通して、誘電
体６５表面に発生したオゾンを取り出すための取出口６
７が形成されたものである。
態としてのオゾン発生器は、図６（ａ）に示すようにオ
ゾン発生器の放電電極６１が放射状に形成されていると
共に、誘電体６５とアース電極６３とを連通して、誘電
体６５表面に発生したオゾンを取り出すための取出口６
７が形成されたものである。
【００３９】このように構成することにより、放電電極
６１の高さで放電ギャップを管理できると共に、放電電
極６１が放射状に形成されているので、図６（ｃ）に示
すようにオゾン発生器の外側から中心方向に導入した空
気中の酸素からオゾンを発生させ、上述した取出口６７
に案内できる。
６１の高さで放電ギャップを管理できると共に、放電電
極６１が放射状に形成されているので、図６（ｃ）に示
すようにオゾン発生器の外側から中心方向に導入した空
気中の酸素からオゾンを発生させ、上述した取出口６７
に案内できる。
【００４０】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、オゾンの
冷却効果が向上するため、高濃度オゾンを効率良く生成
することができる。
冷却効果が向上するため、高濃度オゾンを効率良く生成
することができる。
【００４１】また、本発明は、特別な装置を必要としな
いので、より低コストでオゾンを製造できる。
いので、より低コストでオゾンを製造できる。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す概略図であ
る。
る。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す概略図であ
る。
る。
【図３】本発明の第３の実施の形態を示す概略図であ
る。
る。
【図４】本発明の第４の実施の形態を示す概略図であ
る。
る。
【図５】本発明の第５の実施の形態を示す概略図であ
る。
る。
【図６】本発明の第６の実施の形態を示す概略図であ
る。
る。
１ 放電電極 ３ アース電極 ５ 誘電体 ７ ガス冷却カバ
フロントページの続き (72)発明者 設楽 和弘 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 (72)発明者 広瀬 宏樹 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 (72)発明者 鈴木 孝久 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内
Claims (5)
- 【請求項１】 誘電体の表面に線状などの放電電極を設
けると共に裏面にアース電極を設け、それら電極間に高
電圧を印加して誘電体表面に沿面放電を発生させてオゾ
ンを発生させるオゾン発生器において、上記放電電極側
に狭い空間を形成すると共に誘電体表面で発生したオゾ
ンを冷却するためのガス冷却カバを設けたことを特徴と
するオゾン発生器。 - 【請求項２】 誘電体の表面に線状などの放電電極を設
けると共に裏面にアース電極を設け、それら電極間に高
電圧を印加して誘電体表面に沿面放電を発生させてオゾ
ンを発生させるオゾン発生器において、アース電極に冷
却手段を設け、そのアース電極を挟んで両面に誘電体を
設けると共に、その誘電体表面に放電電極を設けて放電
ユニットを形成し、その放電ユニットを、放電電極側に
狭い空間を形成して上下多段に積層し、かつ各アース電
極に設けた冷却手段で、誘電体表面で発生したオゾンを
上下両側から冷却するようにしたことを特徴とするオゾ
ン発生器。 - 【請求項３】 誘電体の表裏両面に放電電極を設けて放
電電極ユニットを形成し、他方、冷却手段を設けたアー
ス電極の表裏両面に誘電体を設けてアース電極ユニット
を形成し、上記両ユニットを無声放電ギャップを保ちか
つその間に狭い空間を形成するように上下多段に積層
し、上記放電電極とアース電極間に高電圧を印加して上
記空間で無声放電と沿面放電を行ってオゾンを発生させ
ると共に、その発生したオゾンを上記アース電極の冷却
手段で冷却することを特徴とするオゾン発生器。 - 【請求項４】 誘電体の表面に線状などの放電電極を設
けると共に裏面にアース電極を設け、それら電極間に高
電圧を印加して誘電体表面に沿面放電を発生させてオゾ
ンを発生させるオゾン発生器において、アース電極に冷
却手段を設け、そのアース電極を挟んで両面に誘電体を
設けてユニットを形成し、そのユニットを、狭い空間を
規制する高さに形成した放電電極を介して多段に積層し
て、形成したことを特徴とするオゾン発生器。 - 【請求項５】 誘電体表面で発生したオゾンを誘電体と
アース電極を通して取り出すための取出口を形成し、そ
の取出口に臨んで上記放電電極を放射状に形成した請求
項４記載のオゾン発生器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12092998A JPH11310404A (ja) | 1998-04-30 | 1998-04-30 | オゾン発生器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12092998A JPH11310404A (ja) | 1998-04-30 | 1998-04-30 | オゾン発生器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11310404A true JPH11310404A (ja) | 1999-11-09 |
Family
ID=14798477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12092998A Pending JPH11310404A (ja) | 1998-04-30 | 1998-04-30 | オゾン発生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11310404A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1612900A1 (en) * | 2004-07-02 | 2006-01-04 | LG Electronics Inc. | Air purifier |
| US7706121B2 (en) | 2007-01-31 | 2010-04-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ion generator |
| JP2014062020A (ja) * | 2012-09-24 | 2014-04-10 | Murata Mfg Co Ltd | オゾン発生装置 |
-
1998
- 1998-04-30 JP JP12092998A patent/JPH11310404A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1612900A1 (en) * | 2004-07-02 | 2006-01-04 | LG Electronics Inc. | Air purifier |
| US7261767B2 (en) | 2004-07-02 | 2007-08-28 | Lg Electronics Inc. | Air purifier |
| US7706121B2 (en) | 2007-01-31 | 2010-04-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ion generator |
| JP2014062020A (ja) * | 2012-09-24 | 2014-04-10 | Murata Mfg Co Ltd | オゾン発生装置 |
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