JPH11284044A - 薄型基板搬送ロボット - Google Patents
薄型基板搬送ロボットInfo
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- JPH11284044A JPH11284044A JP8140498A JP8140498A JPH11284044A JP H11284044 A JPH11284044 A JP H11284044A JP 8140498 A JP8140498 A JP 8140498A JP 8140498 A JP8140498 A JP 8140498A JP H11284044 A JPH11284044 A JP H11284044A
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- hand
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ハンドをコンパクトにして安定した状態で基
板を搬送できるロボットを提供すること。 【解決手段】 ロボット１は２個のハンド９Ａ・９Ｂを
備え、それぞれのハンド９Ａ・９Ｂは機台２の上方に並
設される２列のリンク体５Ａ・５Ｂにそれぞれ回動可能
に支持されている。リンク体５Ａには、機台２に対して
回転する第１アーム６Ａと、第１アーム６Ａに回転可能
に支持されハンド９Ａを支持する第２アーム８Ａとを有
し、第１アーム６Ａと第２アーム８Ａとの間にはスぺー
サ７が配置されている。スぺーサ７を介在することによ
って、第１アーム６と第２アーム８Ａとの間に、他方の
ハンド９Ｂに吸着された基板ＷＢの搬送路となる空間部
１０が形成される。これによってリンク体５Ａの屈伸で
搬送される基板ＷＡとリンク体５Ｂの屈伸で搬送される
基板ＷＢとの干渉を防止する。
板を搬送できるロボットを提供すること。 【解決手段】 ロボット１は２個のハンド９Ａ・９Ｂを
備え、それぞれのハンド９Ａ・９Ｂは機台２の上方に並
設される２列のリンク体５Ａ・５Ｂにそれぞれ回動可能
に支持されている。リンク体５Ａには、機台２に対して
回転する第１アーム６Ａと、第１アーム６Ａに回転可能
に支持されハンド９Ａを支持する第２アーム８Ａとを有
し、第１アーム６Ａと第２アーム８Ａとの間にはスぺー
サ７が配置されている。スぺーサ７を介在することによ
って、第１アーム６と第２アーム８Ａとの間に、他方の
ハンド９Ｂに吸着された基板ＷＢの搬送路となる空間部
１０が形成される。これによってリンク体５Ａの屈伸で
搬送される基板ＷＡとリンク体５Ｂの屈伸で搬送される
基板ＷＢとの干渉を防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ウェハやガラス
基板等の薄型基板を支持して搬送するロボットに関す
る。
基板等の薄型基板を支持して搬送するロボットに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般にシリコンウェハやガラス基板等の
薄型基板は半導体のチップとして使用されクリーンルー
ム内で処理されたり搬送されたりする。そのため、薄型
基板を搬送するロボットもクリーンルーム内に設置さ
れ、水平方向に旋回可能なリンク体を有して薄型基板を
所定の位置から処理される位置に搬送するように構成さ
れていた。従来、薄型基板の搬送ロボットは、クリーン
ルーム内に配置され薄型基板を支持するハンドと前記ハ
ンドを支持するリンク体とを有し、リンク体・ハンド
を、機台内に配置されるモータ、及びリンク体内に配置
されるベルト・プーリで回転駆動することによって、薄
型基板を直線的に搬送するように構成していた。さら
に、薄型基板を効率よく搬送するために、ハンドを支持
するリンク体を２列対称的に並設し、しかもハンドに保
持され搬送される薄型基板を干渉させないように上下方
向に配置したロボットが提供されていた。図７に示す搬
送ロボット７０は、一般的にダブルリンク式ロボットと
呼ばれ、機台７１上に対称的に配置された２列のリンク
体７２Ａ・７２Ｂを有している。それぞれのリンク体７
２Ａ・７２Ｂには、２個のアーム７３・７４を有して先
端部にハンド７５Ａ・７５Ｂが回動可能に支持され、一
方のハンド７５Ａは他方のハンド７５Ｂに保持された薄
型基板ＷＢの搬送路を確保するためにコ字形に形成して
空間部７６を有するようにしていた。そして一方のハン
ド７５Ａでカセットに収納された薄型基板ＷＡを取り出
して保持し、他方のハンド７５Ｂで新たに保持した薄型
基板ＷＢを前記ハンド７５Ａの空間部７６を通って直線
的に搬送するようにしていた。
薄型基板は半導体のチップとして使用されクリーンルー
ム内で処理されたり搬送されたりする。そのため、薄型
基板を搬送するロボットもクリーンルーム内に設置さ
れ、水平方向に旋回可能なリンク体を有して薄型基板を
所定の位置から処理される位置に搬送するように構成さ
れていた。従来、薄型基板の搬送ロボットは、クリーン
ルーム内に配置され薄型基板を支持するハンドと前記ハ
ンドを支持するリンク体とを有し、リンク体・ハンド
を、機台内に配置されるモータ、及びリンク体内に配置
されるベルト・プーリで回転駆動することによって、薄
型基板を直線的に搬送するように構成していた。さら
に、薄型基板を効率よく搬送するために、ハンドを支持
するリンク体を２列対称的に並設し、しかもハンドに保
持され搬送される薄型基板を干渉させないように上下方
向に配置したロボットが提供されていた。図７に示す搬
送ロボット７０は、一般的にダブルリンク式ロボットと
呼ばれ、機台７１上に対称的に配置された２列のリンク
体７２Ａ・７２Ｂを有している。それぞれのリンク体７
２Ａ・７２Ｂには、２個のアーム７３・７４を有して先
端部にハンド７５Ａ・７５Ｂが回動可能に支持され、一
方のハンド７５Ａは他方のハンド７５Ｂに保持された薄
型基板ＷＢの搬送路を確保するためにコ字形に形成して
空間部７６を有するようにしていた。そして一方のハン
ド７５Ａでカセットに収納された薄型基板ＷＡを取り出
して保持し、他方のハンド７５Ｂで新たに保持した薄型
基板ＷＢを前記ハンド７５Ａの空間部７６を通って直線
的に搬送するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来のロボット
７０においては、一方のハンド７５Ａがコ字形に形成さ
れて空間部７６を有しているので、ハンド７５Ａ自体を
大きく形成しなければならず、特に基板ＷＡを保持する
上側の保持部７５ａが長い。ハンド７５Ｂはカセット内
に挿入されるため、通常、薄板状に形成されている。従
ってハンド７５Ａが薄型基板ＷＡを保持する際に、保持
部７５ａが長いと撓みが生じやすく不安定な状態で搬送
することになり、搬送不良を起こしやすい。
７０においては、一方のハンド７５Ａがコ字形に形成さ
れて空間部７６を有しているので、ハンド７５Ａ自体を
大きく形成しなければならず、特に基板ＷＡを保持する
上側の保持部７５ａが長い。ハンド７５Ｂはカセット内
に挿入されるため、通常、薄板状に形成されている。従
ってハンド７５Ａが薄型基板ＷＡを保持する際に、保持
部７５ａが長いと撓みが生じやすく不安定な状態で搬送
することになり、搬送不良を起こしやすい。
【０００４】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、ダブルリンク式のロボットに配設されるハンド
が、安定した状態で薄型基板を保持することのできる薄
型基板搬送ロボットを提供することを目的とする。
あり、ダブルリンク式のロボットに配設されるハンド
が、安定した状態で薄型基板を保持することのできる薄
型基板搬送ロボットを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
基板搬送ロボットでは、上記の課題を解決するために以
下のように構成するものである。すなわち、薄型基板を
保持するハンドが２個配設され、それぞれのハンドが、
対称的に並設されるとともに屈伸可能に構成される２個
のリンク体にそれぞれ回動可能に支持される薄型基板搬
送ロボットであって、前記リンク体が、支点部で回動可
能に配設される２個のアームを有し、一方のリンク体の
アーム間に、他方のリンク体で搬送される基板の搬送路
を確保する空間部が形成されることを特徴とするもので
ある。
基板搬送ロボットでは、上記の課題を解決するために以
下のように構成するものである。すなわち、薄型基板を
保持するハンドが２個配設され、それぞれのハンドが、
対称的に並設されるとともに屈伸可能に構成される２個
のリンク体にそれぞれ回動可能に支持される薄型基板搬
送ロボットであって、前記リンク体が、支点部で回動可
能に配設される２個のアームを有し、一方のリンク体の
アーム間に、他方のリンク体で搬送される基板の搬送路
を確保する空間部が形成されることを特徴とするもので
ある。
【０００６】また好ましくは、前記空間部が、２個のア
ーム間に介在するスぺーサによって形成されることを特
徴とするものであればよい。
ーム間に介在するスぺーサによって形成されることを特
徴とするものであればよい。
【０００７】さらに好ましくは、それぞれの前記ハンド
が、それぞれのリンク体内に配設されるベルトとプーリ
手段によって回転駆動されることを特徴とするものであ
ればよい。
が、それぞれのリンク体内に配設されるベルトとプーリ
手段によって回転駆動されることを特徴とするものであ
ればよい。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。
図面に基づいて説明する。
【０００９】本形態の薄型基板搬送ロボット（以下、ロ
ボットという）１は薄型基板としてのウェハやガラス基
板（以下、基板Ｗという）を直線的に移動させて搬送す
るものに適するものであり、図１〜２に示すように、機
台２と、機台２内を上下方向に移動可能な内機枠３と、
内機枠３の上方で内機枠３に対して回動可能な補助ベー
ス４と、補助ベース４上に対称位置に２列並設されたリ
ンク体５Ａ・５Ｂと、リンク体５Ａ・５Ｂの先端に取り
付けられ基板Ｗを吸着して保持するハンド９Ａ・９Ｂ
と、を有して構成されている。リンク体５Ａは、第１ア
ーム６Ａと第１アーム６Ａの先端上方でスぺーサ７を介
して連結される第２アーム８Ａとを有し、リンク体５Ｂ
は、第１アーム６Ｂと第１アーム６Ｂの先端上方に連結
される第２アーム８Ｂとを有し、それぞれその節点で屈
伸可能に構成されている。内機枠３内には補助ケース４
を内機枠３に対して回動可能に駆動するモータ３１が装
着され、補助ケース４内には、それぞれのリンク体５Ａ
・５Ｂを水平方向に旋回駆動するための駆動モータ４１
Ａ・４１Ｂが装着されている。
ボットという）１は薄型基板としてのウェハやガラス基
板（以下、基板Ｗという）を直線的に移動させて搬送す
るものに適するものであり、図１〜２に示すように、機
台２と、機台２内を上下方向に移動可能な内機枠３と、
内機枠３の上方で内機枠３に対して回動可能な補助ベー
ス４と、補助ベース４上に対称位置に２列並設されたリ
ンク体５Ａ・５Ｂと、リンク体５Ａ・５Ｂの先端に取り
付けられ基板Ｗを吸着して保持するハンド９Ａ・９Ｂ
と、を有して構成されている。リンク体５Ａは、第１ア
ーム６Ａと第１アーム６Ａの先端上方でスぺーサ７を介
して連結される第２アーム８Ａとを有し、リンク体５Ｂ
は、第１アーム６Ｂと第１アーム６Ｂの先端上方に連結
される第２アーム８Ｂとを有し、それぞれその節点で屈
伸可能に構成されている。内機枠３内には補助ケース４
を内機枠３に対して回動可能に駆動するモータ３１が装
着され、補助ケース４内には、それぞれのリンク体５Ａ
・５Ｂを水平方向に旋回駆動するための駆動モータ４１
Ａ・４１Ｂが装着されている。
【００１０】一方、ハンド９Ａ・９Ｂに吸着された基板
ＷＡ・ＷＢを直線的に移動する構成は一般的に採用され
ているベルト・プーリ手段により行なわれる。図３は一
方のリンク体５Ａとハンド９Ａの内部構造を示すもので
あり、他方のリンク体５Ｂとハンド９Ｂの内部構造は略
同様のため以下の説明ではリンク体５Ａを中心に説明す
る。
ＷＡ・ＷＢを直線的に移動する構成は一般的に採用され
ているベルト・プーリ手段により行なわれる。図３は一
方のリンク体５Ａとハンド９Ａの内部構造を示すもので
あり、他方のリンク体５Ｂとハンド９Ｂの内部構造は略
同様のため以下の説明ではリンク体５Ａを中心に説明す
る。
【００１１】駆動モータ４１Ａに連結された第１シャフ
ト４３Ａが、駆動モータ４１Ａの駆動を第１アーム６Ａ
に伝達するために第１アーム６Ａの上端部に固着され、
第１シャフト４３Ａの回りには、補助ベース４にボルト
で固着されている第１駆動プーリ５１Ａが配置されてい
る。一方、第１アーム６Ａの他端には、第１アーム６Ａ
の下壁に固着された第２シャフト５２Ａが配置され、第
２シャフト５２Ａの回りを第２シャフト５２Ａに対して
回動する第２駆動プーリ５３Ａが第１駆動プーリ５１Ａ
に対向するように配置されている。第２駆動プーリ５３
Ａの上部は、第１アーム６Ａと第２アーム８Ａ間に介在
し第２アーム８Ａの一端部の下壁部に固着されるスぺー
サ７の下端部に固着されている。スぺーサ７は円筒状に
形成され、内部に第２シャフト５２Ａが挿通する。そし
て、第１駆動プーリ５１Ａと第２駆動プーリ５３Ａ間に
ベルト５４Ａが巻回されて、第１駆動プーリ５１Ａの回
転をスぺーサ７を介して第２アーム８Ａに伝達する。
ト４３Ａが、駆動モータ４１Ａの駆動を第１アーム６Ａ
に伝達するために第１アーム６Ａの上端部に固着され、
第１シャフト４３Ａの回りには、補助ベース４にボルト
で固着されている第１駆動プーリ５１Ａが配置されてい
る。一方、第１アーム６Ａの他端には、第１アーム６Ａ
の下壁に固着された第２シャフト５２Ａが配置され、第
２シャフト５２Ａの回りを第２シャフト５２Ａに対して
回動する第２駆動プーリ５３Ａが第１駆動プーリ５１Ａ
に対向するように配置されている。第２駆動プーリ５３
Ａの上部は、第１アーム６Ａと第２アーム８Ａ間に介在
し第２アーム８Ａの一端部の下壁部に固着されるスぺー
サ７の下端部に固着されている。スぺーサ７は円筒状に
形成され、内部に第２シャフト５２Ａが挿通する。そし
て、第１駆動プーリ５１Ａと第２駆動プーリ５３Ａ間に
ベルト５４Ａが巻回されて、第１駆動プーリ５１Ａの回
転をスぺーサ７を介して第２アーム８Ａに伝達する。
【００１２】なお、スぺーサ７は、一方のハンド９Ｂに
吸着保持された基板Ｗの搬送路を確保するための空間部
１０を、第１アーム６Ａと第２アーム８Ａ間に形成でき
るようにその厚みと外径を有していればよい。
吸着保持された基板Ｗの搬送路を確保するための空間部
１０を、第１アーム６Ａと第２アーム８Ａ間に形成でき
るようにその厚みと外径を有していればよい。
【００１３】第２シャフト５２Ａの上端部は第２アーム
８Ａの内部まで延設され第３駆動プーリ５５Ａと一体的
に回動するように結合している。第３駆動プーリ５５Ａ
に対向するように第２アーム８Ａの他端には、第４駆動
プーリ５６Ａが、第２アーム８Ａに固着された第３シャ
フト５７Ａに回動可能に取り付けられている。そして、
第３駆動プーリ５５Ａと第４駆動プーリ５６Ａ間をベル
ト５８Ａが巻回されている。第４駆動プーリ５６Ａは上
端部でハンド９Ａにボルトで固着され、従って、第３駆
動プーリ５５Ａの回転により第４駆動プーリ５６Ａを介
してハンド９Ａが第２アーム８Ａに対して回転するよう
に構成されることになる。
８Ａの内部まで延設され第３駆動プーリ５５Ａと一体的
に回動するように結合している。第３駆動プーリ５５Ａ
に対向するように第２アーム８Ａの他端には、第４駆動
プーリ５６Ａが、第２アーム８Ａに固着された第３シャ
フト５７Ａに回動可能に取り付けられている。そして、
第３駆動プーリ５５Ａと第４駆動プーリ５６Ａ間をベル
ト５８Ａが巻回されている。第４駆動プーリ５６Ａは上
端部でハンド９Ａにボルトで固着され、従って、第３駆
動プーリ５５Ａの回転により第４駆動プーリ５６Ａを介
してハンド９Ａが第２アーム８Ａに対して回転するよう
に構成されることになる。
【００１４】ハンド９Ａは、図２に示すように、Ｌ字形
に形成され、一方の端部が第２アーム８Ａとの回転中心
位置に配置される元部９ａと、他方の端部が基板Ｗを吸
着保持する保持部９ｂを形成する。
に形成され、一方の端部が第２アーム８Ａとの回転中心
位置に配置される元部９ａと、他方の端部が基板Ｗを吸
着保持する保持部９ｂを形成する。
【００１５】なお、図１においては、リンク体５Ａの第
１アーム６Ａの上面は、リンク体５Ｂの第２アーム８Ｂ
の上面と、略同一高さ面に位置するようにしている。そ
のため、第１アーム６は内機枠４との間に第１駆動プー
リ５１Ａを囲うように突起部６ａを形成する。しかし、
リンク体５Ａの第１アーム６Ａの上面をリンク体５Ｂの
第１アーム６Ｂの上面にその高さ位置を合わせ、スぺー
サ７の厚みをその分大きくしても構わない。いずれにし
ろ、リンク体５Ａの第２アーム８Ａの下面に前述の空間
部１０を形成できればよい。
１アーム６Ａの上面は、リンク体５Ｂの第２アーム８Ｂ
の上面と、略同一高さ面に位置するようにしている。そ
のため、第１アーム６は内機枠４との間に第１駆動プー
リ５１Ａを囲うように突起部６ａを形成する。しかし、
リンク体５Ａの第１アーム６Ａの上面をリンク体５Ｂの
第１アーム６Ｂの上面にその高さ位置を合わせ、スぺー
サ７の厚みをその分大きくしても構わない。いずれにし
ろ、リンク体５Ａの第２アーム８Ａの下面に前述の空間
部１０を形成できればよい。
【００１６】リンク体５Ｂに連結するハンド９Ｂは、ハ
ンド９Ａを対称にしたものと同様の形状をするものであ
り、それぞれのハンド９Ａ・９Ｂの保持部９ａの中心位
置つまり基板の中心位置は進行方向に対して略同一直線
上にある（図２参照）。
ンド９Ａを対称にしたものと同様の形状をするものであ
り、それぞれのハンド９Ａ・９Ｂの保持部９ａの中心位
置つまり基板の中心位置は進行方向に対して略同一直線
上にある（図２参照）。
【００１７】次に、上記ロボット１の作用を図２及び図
５に基づいて説明する。ロボット１は図示しないカセッ
トの正面に対向するように配置されている。まず、リン
ク体５Ａ・５Ｂは、図１のように屈曲した状態にある。
駆動モータ４１Ａを駆動してリンク体５Ａを伸張してハ
ンド９Ａをカセット内に移動させ基板ＷＡを取り出す。
つまり、駆動モータ４１Ａの駆動により第１アーム６Ａ
が、第１シャフト４３Ａの回りを所定角度回転する。第
１シャフト４３Ａ内に配置する第１駆動プーリ５１Ａは
補助ベース４に固着しているため、第１アーム６Ａの回
転により、その位相差でベルト５４Ａが第１駆動プーリ
５１Ａの回りを回転するとともに第２駆動プーリ５３Ａ
を第２シャフト５２Ａの回りに回転させる。第２駆動プ
ーリ５３Ａが回転することによってスぺーサ７を介して
第２アーム８Ａを回転させる。さらに、第２シャフト５
２Ａの上部に配置された第３駆動プーリ５５Ａが第２ア
ーム８Ａの回転による位相差でベルト５８Ａを回転させ
ることによって第４駆動プーリ５６Ａを介してハンド９
Ａを第２アーム８Ａに対して回転させる。そのため、リ
ンク体５Ａは図５に示すように伸張してカセット内の基
板を取り出すことになる。
５に基づいて説明する。ロボット１は図示しないカセッ
トの正面に対向するように配置されている。まず、リン
ク体５Ａ・５Ｂは、図１のように屈曲した状態にある。
駆動モータ４１Ａを駆動してリンク体５Ａを伸張してハ
ンド９Ａをカセット内に移動させ基板ＷＡを取り出す。
つまり、駆動モータ４１Ａの駆動により第１アーム６Ａ
が、第１シャフト４３Ａの回りを所定角度回転する。第
１シャフト４３Ａ内に配置する第１駆動プーリ５１Ａは
補助ベース４に固着しているため、第１アーム６Ａの回
転により、その位相差でベルト５４Ａが第１駆動プーリ
５１Ａの回りを回転するとともに第２駆動プーリ５３Ａ
を第２シャフト５２Ａの回りに回転させる。第２駆動プ
ーリ５３Ａが回転することによってスぺーサ７を介して
第２アーム８Ａを回転させる。さらに、第２シャフト５
２Ａの上部に配置された第３駆動プーリ５５Ａが第２ア
ーム８Ａの回転による位相差でベルト５８Ａを回転させ
ることによって第４駆動プーリ５６Ａを介してハンド９
Ａを第２アーム８Ａに対して回転させる。そのため、リ
ンク体５Ａは図５に示すように伸張してカセット内の基
板を取り出すことになる。
【００１８】基板ＷＡを取り出すためには、ハンド９Ａ
が基板ＷＡの下方から、機台２内の内機枠３を図示しな
い駆動体によりハンド９Ａを上昇させ、基板ＷＡを吸着
保持して、再び駆動モータ４１Ａを駆動してリンク体５
Ａを屈曲させる。その結果、ハンド９Ａに吸着された基
板ＷＡは、補助ベース４の中心位置に向かって直線的に
移動し、基板ＷＡが元の位置付近に戻ると同時にモータ
３１を駆動して補助ベース４を回転させ、図示しない加
工ステージに基板ＷＡを搬送する。基板ＷＡが加工ステ
ージで加工処理する間にハンド９Ａは元の位置に復帰
し、リンク体５Ｂに支持されたハンド９Ｂが、カセット
内に収納された次の基板ＷＢを取り出すため伸張する。
そして、ハンド９Ｂが基板ＷＢを取り出した後、補助ベ
ース４を前述と同様に回転させ、加工ステージの前で待
機することになる。なお、カセットから基板を取り出し
て吸着するハンドは、それぞれのハンド９Ａ・９Ｂが交
互に行わなくても、一方のハンド９Ａが常に行なうよう
にしてもよい。
が基板ＷＡの下方から、機台２内の内機枠３を図示しな
い駆動体によりハンド９Ａを上昇させ、基板ＷＡを吸着
保持して、再び駆動モータ４１Ａを駆動してリンク体５
Ａを屈曲させる。その結果、ハンド９Ａに吸着された基
板ＷＡは、補助ベース４の中心位置に向かって直線的に
移動し、基板ＷＡが元の位置付近に戻ると同時にモータ
３１を駆動して補助ベース４を回転させ、図示しない加
工ステージに基板ＷＡを搬送する。基板ＷＡが加工ステ
ージで加工処理する間にハンド９Ａは元の位置に復帰
し、リンク体５Ｂに支持されたハンド９Ｂが、カセット
内に収納された次の基板ＷＢを取り出すため伸張する。
そして、ハンド９Ｂが基板ＷＢを取り出した後、補助ベ
ース４を前述と同様に回転させ、加工ステージの前で待
機することになる。なお、カセットから基板を取り出し
て吸着するハンドは、それぞれのハンド９Ａ・９Ｂが交
互に行わなくても、一方のハンド９Ａが常に行なうよう
にしてもよい。
【００１９】次に、基板ＷＡが加工ステージでの加工処
理を完了すると、ハンド９Ａが基板ＷＡを加工ステージ
から取り出し、加工ステージの前で待機していた基板Ｗ
Ｂをリンク体５Ｂの伸張により加工ステージ内に搬送す
る。そして、基板ＷＢを加工ステージで加工処理する間
にハンド９Ａが、基板ＷＡを次の工程（加工済カセット
でもよい）に収納した後、再び元のカセットに対向して
次の基板を取りに行き、上述の作用を繰り返すことにな
る。
理を完了すると、ハンド９Ａが基板ＷＡを加工ステージ
から取り出し、加工ステージの前で待機していた基板Ｗ
Ｂをリンク体５Ｂの伸張により加工ステージ内に搬送す
る。そして、基板ＷＢを加工ステージで加工処理する間
にハンド９Ａが、基板ＷＡを次の工程（加工済カセット
でもよい）に収納した後、再び元のカセットに対向して
次の基板を取りに行き、上述の作用を繰り返すことにな
る。
【００２０】この際、加工ステージへの基板の搬入・搬
出においては、一方のリンク体５Ａが伸張して基板ＷＡ
を吸着し、その後屈曲し始めた後リンク体５Ｂの伸張が
行なわれ、お互いに交差する位置において、ハンド９Ａ
に吸着保持された基板ＷＡは、リンク体５Ａの第２アー
ム８Ａの上方にあり、ハンド９Ｂに吸着保持された基板
ＷＢはリンク体５Ｂの第１アーム６Ａと第２アーム８Ａ
との間に形成された空間部１０を通過するので（図１参
照）、平面視同一直線上を移動してもお互いに干渉する
ことがない。しかも、ハンド９Ａは元部９ａと保持部９
ｂとの距離が短く、搬送の際に安定した移動を行なえ
る。
出においては、一方のリンク体５Ａが伸張して基板ＷＡ
を吸着し、その後屈曲し始めた後リンク体５Ｂの伸張が
行なわれ、お互いに交差する位置において、ハンド９Ａ
に吸着保持された基板ＷＡは、リンク体５Ａの第２アー
ム８Ａの上方にあり、ハンド９Ｂに吸着保持された基板
ＷＢはリンク体５Ｂの第１アーム６Ａと第２アーム８Ａ
との間に形成された空間部１０を通過するので（図１参
照）、平面視同一直線上を移動してもお互いに干渉する
ことがない。しかも、ハンド９Ａは元部９ａと保持部９
ｂとの距離が短く、搬送の際に安定した移動を行なえ
る。
【００２１】なお、リンク体５Ａに支持されるハンド９
Ａは、第２アーム８Ａの上方でなくても、図４に示すよ
うに、第２アーム８Ａの下方に配置するようにしてもよ
い。この際、ハンド９Ａに吸着される基板ＷＡは、ハン
ド９Ｂに吸着される基板ＷＢより上方の位置になるよう
に、スぺーサ７の厚みを形成する。
Ａは、第２アーム８Ａの上方でなくても、図４に示すよ
うに、第２アーム８Ａの下方に配置するようにしてもよ
い。この際、ハンド９Ａに吸着される基板ＷＡは、ハン
ド９Ｂに吸着される基板ＷＢより上方の位置になるよう
に、スぺーサ７の厚みを形成する。
【００２２】さらに、空間部１０を形成するために改良
される形態は、上記に限らず、他の形態にも適応でき
る。例えば、、図６に示すように、軸部５３ａを長くし
た第２駆動プーリ５３Ｃを配置するようにしてもよい。
軸部５３ａは、図３に示すスぺーサ７の厚み分を加えた
長さにし、第２アーム８Ａの下壁に取り付け板６０を介
して固定する。そして、第２駆動プーリ５３Ｃの軸部５
３ａの回りを第１アーム６Ａの上壁に固着した保護カバ
ー６１で囲う。
される形態は、上記に限らず、他の形態にも適応でき
る。例えば、、図６に示すように、軸部５３ａを長くし
た第２駆動プーリ５３Ｃを配置するようにしてもよい。
軸部５３ａは、図３に示すスぺーサ７の厚み分を加えた
長さにし、第２アーム８Ａの下壁に取り付け板６０を介
して固定する。そして、第２駆動プーリ５３Ｃの軸部５
３ａの回りを第１アーム６Ａの上壁に固着した保護カバ
ー６１で囲う。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、薄型基板搬送ロボット
は、薄型基板を保持するハンドが２個配設され、それぞ
れのハンドが、対称的に並設されるとともに屈伸可能に
構成される２個のリンク体にそれぞれ回動可能に支持さ
れるものであり、前記リンク体が、支点部で回動可能に
配設される２個のアームを有し、一方のリンク体のアー
ム間に、他方のリンク体で搬送される基板の搬送路を確
保する空間部が形成されている。そして、一方のリンク
体の屈伸により基板が直線的に搬送され、他方のリンク
体の屈伸により基板が直線的に移動する際、他方の基板
はそれぞれ交差する位置において、一方のリンク体に形
成された空間部を通過する。従って、搬送される２個の
基板は干渉することがなく移動できる。しかも、従来の
ように、前記空間部がハンドに形成されていないので、
ハンドを小さく形成でき、そのため、撓みを生じにくく
基板を安定して保持搬送することが可能となる。
は、薄型基板を保持するハンドが２個配設され、それぞ
れのハンドが、対称的に並設されるとともに屈伸可能に
構成される２個のリンク体にそれぞれ回動可能に支持さ
れるものであり、前記リンク体が、支点部で回動可能に
配設される２個のアームを有し、一方のリンク体のアー
ム間に、他方のリンク体で搬送される基板の搬送路を確
保する空間部が形成されている。そして、一方のリンク
体の屈伸により基板が直線的に搬送され、他方のリンク
体の屈伸により基板が直線的に移動する際、他方の基板
はそれぞれ交差する位置において、一方のリンク体に形
成された空間部を通過する。従って、搬送される２個の
基板は干渉することがなく移動できる。しかも、従来の
ように、前記空間部がハンドに形成されていないので、
ハンドを小さく形成でき、そのため、撓みを生じにくく
基板を安定して保持搬送することが可能となる。
【００２４】またこの発明は、前記空間部が、２個のア
ーム間に介在するスぺーサによって形成されるため、極
めて容易に構成することができる。また、従来のロボッ
トを使用して一部交換するだけで改良されたロボットを
提供することもできる。
ーム間に介在するスぺーサによって形成されるため、極
めて容易に構成することができる。また、従来のロボッ
トを使用して一部交換するだけで改良されたロボットを
提供することもできる。
【００２５】さらに、それぞれのハンドが、それぞれの
リンク体内に配設されるベルトとプーリ手段によって回
転駆動されるので、コストも廉価にできる。
リンク体内に配設されるベルトとプーリ手段によって回
転駆動されるので、コストも廉価にできる。
【図１】本発明による一形態のロボットを示す一部断面
図
図
【図２】図１のロボットの平面図
【図３】図１のロボットのリンク体の内部を示す一部断
面図
面図
【図４】図１のロボットの一方のハンドを第２アームの
下方に配置した形態を示す図
下方に配置した形態を示す図
【図５】図１のロボットの作用を示す図
【図６】図１のロボットにおけるリンク体の空間部を形
成する別の形態を示す一部断面図
成する別の形態を示す一部断面図
【図７】従来のロボットを示す図
１…ロボット ２…機台 ３…内機枠 ４…補助ベース ５Ａ・５Ｂ…リンク体 ６Ａ・６Ｂ…第１アーム ７…スぺーサ ８Ａ・８Ｂ…第２アーム ９Ａ・９Ｂ…ハンド １０…空間部 ４１Ａ・４２Ｂ…駆動モータ ４３Ａ・４３Ｂ…第１シャフト ５１Ａ…第１駆動プーリ ５２Ａ…第２シャフト ５３Ａ…第２駆動プーリ ５４Ａ…ベルト ５５Ａ…第３駆動プーリ ５６Ａ…第４駆動プーリ ５７Ａ…第３シャフト ５８Ａ…ベルト Ｗ・ＷＡ・ＷＢ…基板
Claims (3)
- 【請求項１】 薄型基板を保持するハンドが２個配設さ
れ、それぞれのハンドが、対称的に並設されるとともに
屈伸可能に構成される２個のリンク体にそれぞれ回動可
能に支持される薄型基板搬送ロボットであって、 前記リンク体が、支点部で回動可能に配設される２個の
アームを有し、一方のリンク体のアーム間に、他方のリ
ンク体で搬送される基板の搬送路を確保する空間部が形
成されることを特徴とする薄型基板搬送ロボット。 - 【請求項２】 前記空間部が、２個のアーム間に介在す
るスぺーサによって形成されることを特徴とする請求項
１記載の薄型基板搬送ロボット。 - 【請求項３】 それぞれのハンドが、それぞれのリンク
体内に配設されるベルトとプーリ手段によって回転駆動
されることを特徴とする請求項１記載の薄型搬送ロボッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8140498A JPH11284044A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 薄型基板搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8140498A JPH11284044A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 薄型基板搬送ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11284044A true JPH11284044A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13745395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8140498A Withdrawn JPH11284044A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 薄型基板搬送ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11284044A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7059849B2 (en) | 2000-08-23 | 2006-06-13 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment system and a method for cooling a loading chamber |
| WO2016189565A1 (ja) * | 2015-05-25 | 2016-12-01 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
| JP2021154424A (ja) * | 2020-03-26 | 2021-10-07 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
-
1998
- 1998-03-27 JP JP8140498A patent/JPH11284044A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7059849B2 (en) | 2000-08-23 | 2006-06-13 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment system and a method for cooling a loading chamber |
| US7210924B2 (en) | 2000-08-23 | 2007-05-01 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment system and a method for cooling a loading chamber |
| US7819658B2 (en) | 2000-08-23 | 2010-10-26 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment system and method therefore |
| US8147241B2 (en) | 2000-08-23 | 2012-04-03 | Tokyo Electron Limited | Method of object transfer for a heat treatment system |
| WO2016189565A1 (ja) * | 2015-05-25 | 2016-12-01 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
| CN107530876A (zh) * | 2015-05-25 | 2018-01-02 | 川崎重工业株式会社 | 水平多关节机器人 |
| JPWO2016189565A1 (ja) * | 2015-05-25 | 2018-03-15 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
| US20180182658A1 (en) * | 2015-05-25 | 2018-06-28 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Horizontal articulated robot |
| JP2021154424A (ja) * | 2020-03-26 | 2021-10-07 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050607 |