JPH11276860A - Treatment of fluorocarbon by decomposition and decomposition treatment device - Google Patents

Treatment of fluorocarbon by decomposition and decomposition treatment device

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JPH11276860A
JPH11276860A JP10100378A JP10037898A JPH11276860A JP H11276860 A JPH11276860 A JP H11276860A JP 10100378 A JP10100378 A JP 10100378A JP 10037898 A JP10037898 A JP 10037898A JP H11276860 A JPH11276860 A JP H11276860A
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fluorocarbon
decomposition
fluorocarbons
gas
aluminum
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JP10100378A
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Yoji Nawa
Kenji Otsuka
Hiroshi Waki
洋二 名和
健二 大塚
弘 脇
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Japan Pionics Co Ltd
日本パイオニクス株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to continuously decompose a fluorocarbon at a comparatively lower temperature and with high efficiency by bringing a gas containing the fluorocarbon into contact with an eliminator containing an aluminum oxide as an active principle at a specific temperature to decompose the fluorocarbon and thereby forming aluminum fluoride.
SOLUTION: When a gas containing a fluorocarbon is treated with a fluorocarbon decomposition treatment device structured of elimination columns 1, 1' aligned in two parallel rows, eliminators 2, 2' containing an aluminum oxide as an active principle are charged in the elimination columns 1, 1', respectively. The fluorocarbon is decomposed by bringing the gas into contact with the eliminators 2, 2' at 400°C or higher to decompose the fluorocarbon and, consequently, aluminum fluoride is formed. Further, the eliminators 2, 2' which are no longer capable of decomposing the fluorocarbon are regenerated by bringing the eliminators 2, 2' into contact with the gas containing water vapor under heat. The fluorine fixed as the aluminum fluoride in the eliminators 2, 2' is discharged as hydrogen fluoride, and aluminum is recycled as aluminum oxide.
COPYRIGHT: (C)1999,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明はフルオロカーボン含有ガスの分解処理方法および分解処理装置に関する。 The present invention relates to relates cracking process and decomposition treating apparatus of the fluorocarbon-containing gas. さらに詳細には冷媒、発泡剤、溶剤などに使用されるほか、半導体製造工程などで使用されたり、アルミニウムの精練工程で副生するヒドロフルオロカーボンおよびパーフルオロカーボンの分解処理方法および分解処理装置に関する。 Furthermore refrigerant in detail, the foaming agent, in addition to be used as solvents, etc. or used in a semiconductor manufacturing process, to a cracking process and decomposition treating apparatus of hydrofluorocarbons and perfluorocarbons by-produced in an aluminum refining step.

【0002】 [0002]

【従来の技術】炭化水素の水素の一部が弗素に置換されたヒドロフルオロカーボン、および水素の全てが弗素に置換されたパーフルオロカーボンなどのフルオロカーボンは冷媒、発泡剤、溶剤等として広く使用されているほか半導体製造工程などにおいても使用されている。 Fluorocarbons such BACKGROUND ART perfluorocarbon hydrofluorocarbon part of which is substituted with fluorine of hydrocarbons and all hydrogen, is replaced by a fluorine refrigerants, blowing agents, it is widely used as solvents It has also been used in such other semiconductor manufacturing processes.

【0003】また、フルオロカーボンのうちでもCF 4 [0003] In addition, CF 4 Among fluorocarbon
およびC 26は、シリコンウェハー表面のクリーニングおよびエッチング剤、プラズマCVDチャンバーのクリーニング剤や、光ファイバー用ドーピング剤、液晶T And C 2 F 6, the cleaning and etching agents of the silicon wafer surface, a cleaning agent and a plasma CVD chamber, fiber for doping agents, crystal T
FT製造時のエッチング剤として使用されるなど半導体工業の発展とともにその使用量が増加している。 The amount with the development of the semiconductor industry is increasing like is used as the FT etchant during fabrication. しかしながら、このガスは水に対する溶解度は小さく、酸やアルカリともほとんど反応しないなど室温では非常に安定であるほか、高温下においても安定である。 However, the gas solubility in water is small, with an acid or alkali addition is very stable at room temperature, such as hardly reacts, is stable even at high temperatures. これらのフルオロカーボンは地球の温暖化をもたらす物質であることから、使用された後外気に排出する場合には、排出に先立って分解処理する必要がある。 Since these fluorocarbons are substances leading to global warming, in the case of discharging to the outside air after being used, it is necessary to decompose prior to discharge. またアルミニウムの精練工程では大量にCF 4が生成排出されることから、 Also since the large quantities CF 4 in the refining process of aluminum is produced discharged,
このCF 4も分解処理する必要がある。 The CF 4 also needs to be decomposed.

【0004】炭化水素の水素を弗素および塩素で置換したクロロフルオロカーボンはオゾン層を破壊する物質であることから、使用された後排出に先立って分解処理する必要がある。 [0004] chlorofluorocarbons obtained by substituting hydrogen of the hydrocarbon with fluorine and chlorine since it is a substance that destroys the ozone layer, it is necessary to decompose prior to discharge after use. このためこれまでクロロフルオロカーボンの分解処理に関する各種の研究がなされている。 Various studies have been made about the decomposition treatment of the for this to chlorofluorocarbons. クロロフルオロカーボンおよびフルオロカーボンを含めた一般的にフロンと称されるものを分解処理する方法としては、従来から、燃焼熱分解法、プラズマ分解法、 As a method for decomposing what is referred to as generally CFCs, including chlorofluorocarbons and fluorocarbons, conventionally, combustion heat decomposition method, a plasma decomposition method,
超臨界水分解法、試薬分解法、触媒分解法などの分解方法が知られている。 Supercritical water solution, reagent decomposition method, the decomposition method such as catalytic decomposition method are known.

【0005】しかし、これらの分解処理方法には次のような問題点があった。 However, these cracking process has the following problems. すなわち、燃焼熱分解法では一般的なフロンを分解することはできるものの、CF 4の場合には高温でなければ十分な分解率が得られず、フロンを十分に分解させ得るような燃焼条件では燃焼中に窒素酸化物が大量に発生するという不都合がある。 That is, although it is possible to decompose the common CFCs combustion pyrolysis, sufficient degradation rates obtained unless high temperature in the case of CF 4, the combustion conditions, such as capable of sufficiently decomposing the chlorofluorocarbon there is a disadvantage that the nitrogen oxide a large amount generated during combustion. プラズマ分解法は電力やプラズマガス等にかかるランニングコストが高く経済性に問題がある。 Plasma decomposition method has a problem in high economic efficiency running cost of power and plasma gas. 超臨界水分解法は400℃の温度で320気圧以上の高圧を必要とすることから、処理装置が大型となるばかりでなく、処理費用が高額となる不都合がある。 Supercritical water solution from the need for high voltage of 320 atm at a temperature of 400 ° C., not only processing apparatus becomes large, there is a disadvantage that the processing cost becomes high. 試薬分解法はナトリウムナフタレニドを用いてフロンを還元的に分解する方法であるが、安定した分解率が得られないという不都合がある。 Although the reagent decomposition method is reductively decomposing CFCs by using sodium naphthalenide, there is a disadvantage that can not be obtained a stable decomposition rate. また、触媒分解法は、高温下で貴金属触媒を用いた加水分解方法であり、フロンの分解副生成物である弗化水素により触媒が腐食されるために十分な処理能力が得られていない。 Further, catalytic decomposition method is a hydrolysis method using a noble metal catalyst at a high temperature, sufficient processing power is not obtained for the catalyst is corroded by hydrogen fluoride is an exploded-product CFC. この問題を解消するために耐食性に優れた触媒坦体の研究が行われてきたが、いまだ効果的なものは見出されていない。 Although studies of excellent catalytic carrier in corrosion resistance have been made in order to solve this problem, not found yet effective.

【0006】 [0006]

【発明が解決しようとする課題】以上のように各種のフロン分解方法が研究されているが、特に、CF 4等のようなパーフルオロカーボンの場合には、熱的にも、化学的にも極めて安定性が高く、上記の処理技術を用いても分解処理することができない。 Various Freon decomposition method as described above [0006] have been studied, in particular, in the case of perfluorocarbon such as CF 4 is also thermally, chemically very well high stability can not be decomposed even by using the above processing techniques. これらのことから、フルオロカーボンとりわけパーフルオロカーボンを比較的低い温度で、効率良く、しかも連続的に分解処理し得る方法の開発が強く望まれていた。 From these, at relatively low temperatures the fluorocarbon especially perfluorocarbons, efficient, yet the development of a method capable of continuously decomposed it has been strongly desired.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、これら従来技術の欠点を解決し、地球の温暖化をもたらすフルオロカーボンを分解処理する方法を得るべく鋭意研究を重ねた結果、フルオロカーボンを含むガスを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と400℃以上の温度で接触させることによりフルオロカーボンを分解し弗化アルミニウムを形成させることを見出した。 Means for Solving the Problems The present inventors have overcome the shortcomings of these prior art, result to diligent studies to obtain a method for decomposing fluorocarbons which results in global warming, gas containing fluorocarbon It was found that the formation of aluminum fluoride is decomposed fluorocarbon by contacting with detoxifying agents and 400 ° C. temperature above as an active ingredient aluminum oxide. また、フルオロカーボンを含むガスに水蒸気を共存させることによりフルオロカーボンの分解処理能力が増加することを見出した。 Also it found that decomposition treatment capability of the fluorocarbon is increased by the coexistence of steam to a gas including fluorocarbon. さらに、フルオロカーボンを分解処理した後の除害剤を水蒸気共存下に加熱することによって再生し、再使用することができること、そしてフルオロカーボンの分解処理と除害剤の再生操作を組み合わせることにより連続的に効率よくフルオロカーボンを分解処理し得ること等を見い出し本発明を完成した。 Furthermore, the detoxifying agents after decomposing fluorocarbons regenerated by heating under water vapor coexistence, it can be reused, and continuously by combining the regenerating operation of the decomposition process as detoxifying agent fluorocarbons and it completed the present invention found such that efficiently fluorocarbons may decomposition treatment.

【0008】すなわち本発明は、フルオロカーボンを含有するガスを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と400℃以上の温度で接触させて該フルオロカーボンを分解し弗化アルミニウムを形成させることを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法である。 That is, the present invention is characterized in that by contacting a gas containing fluorocarbon abatement agent and 400 ° C. temperature above as an active ingredient aluminum oxide to form aluminum fluoride and decomposing the fluorocarbons it is an exploded processing method of fluorocarbons.

【0009】また本発明は、フルオロカーボンを含有するガスを水蒸気および/または酸素の共存下に酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と400℃以上の温度で接触させて該フルオロカーボンを分解し弗化アルミニウムを形成させることを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法である。 [0009] The present invention is a gas containing fluorocarbon is contacted with detoxifying agents and 400 ° C. temperature above as an active ingredient of aluminum oxide in the presence of water vapor and / or oxygen to decompose the fluorocarbon fluoride is a cracking process of fluorocarbons, characterized in that to form the aluminum.

【0010】さらに本発明は、フルオロカーボンを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤で分解処理した後の除害剤を400℃以上の温度で水蒸気の共存下に加熱することにより再生し、再使用することを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法でもある。 [0010] The present invention is regenerated by heating the detoxifying agent after decomposing abatement agent comprising as an active ingredient the aluminum oxide fluorocarbon in the presence of water vapor at 400 ° C. or higher, reuse It is also a cracking process of fluorocarbons, characterized by.

【0011】さらにまた本発明は、酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤を充填した除害筒を2筒以上並列に接続し、ガス流路を切り替えることにより少なくとも1筒でフルオロカーボンの分解を行い、その間に少なくとも1筒で除害剤の再生を行うことにより連続的にフルオロカーボンの分解処理を行うことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法である。 [0011] Furthermore, the present invention is the detoxification column packed with detoxifying agent comprising as an active ingredient the aluminum oxide connected in parallel two or more cylinders, perform decomposition of fluorocarbons by at least 1 cylinder by switching a gas flow path a cracking process of fluorocarbons, characterized by continuously performing decomposition treatment of a fluorocarbon by reproducing a detoxifying agent in at least one cylinder in between.

【0012】このほか本発明は酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤が充填された除害筒に、フルオロカーボンを含有するガスを単独、もしくは水蒸気および/または酸素共存下に流通させて該除害剤と接触させて、該フルオロカーボン中の弗素を弗化アルミニウムに変換することにより分解処理した後の除害剤を、水蒸気の共存下に加熱することにより再生し、再使用することができる構成としたことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理装置である。 [0012] In addition the present invention is the detoxification column of harm-removing agent comprising as an active ingredient an aluminum oxide filled, 該除 harm by circulating gas containing fluorocarbon alone or steam and / or the presence of oxygen in contact with the agent, a detoxifying agent after decomposing by converting the fluorine in the fluorocarbon aluminum fluoride, regenerated by heating in the presence of water vapor, the configuration can be reused is an exploded processing apparatus fluorocarbons, characterized in that the.

【0013】さらに加えて本発明は、酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤が充填された除害筒が2筒以上並列に接続され、ガス流路を切り替えることにより少なくとも1筒でフルオロカーボンの分解を行い、その間に少なくとも1筒で除害剤の再生を行うことにより連続的にフルオロカーボンの分解処理を行うことができる構成としたことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理装置である。 Furthermore Additionally, the present invention is the detoxification column of harm-removing agent comprising as an active ingredient an aluminum oxide filled are connected in parallel two or more cylinders, the decomposition of fluorocarbons by at least 1 cylinder by switching a gas flow path was carried out, an exploded processing apparatus fluorocarbons, characterized in that a structure capable of performing the decomposition treatment continuously fluorocarbon by reproducing a detoxifying agent in at least one cylinder in between.

【0014】 [0014]

【発明の実施の形態】本発明は、フルオロカーボンを含有するガスの分解処理に適用される。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention is applied to decomposition treatment of a gas containing fluorocarbon. 分解処理の対象となるフルオロカーボンとしては、ヒドロフルオロカーボン、パーフルオロカーボン類すべてに適用される。 The subject to fluorocarbon decomposition process is applied hydrofluorocarbons, perfluorocarbons all. 例えばヒドロフルオロカーボンとしてはCH 3 F、CH 2 For example, as the hydrofluorocarbon CH 3 F, CH 2 F
2 、CHF 3 、C 224 、C 242等があり、 There are 2, CHF 3, C 2 H 2 F 4, C 2 H 4 F 2 or the like,
パーフルオロカーボンとしてはCF 4 、C 26 、C 3 The perfluorocarbon CF 4, C 2 F 6, C 3
8 、C 48 、およびC 512等が挙げられる。 F 8, C 4 F 8, and C 5 F 12, and the like. これらのフルオロカーボンを含む空気、窒素、酸素、水素、希ガスなどの分解処理に適用される。 Air containing these fluorocarbons, nitrogen, oxygen, hydrogen, is applied to decomposition treatment such as a rare gas.

【0015】本発明において、除害剤は有効成分として酸化アルミニウムを含むものであり、酸化アルミニウム単独のほか、実質的に反応に不活性な金属酸化物が含まれるものであっても用いることができる。 [0015] In the present invention, Jogaizai are those containing aluminum oxide as an active ingredient, in addition to aluminum oxide alone, be used even those that contain inert metal oxides substantially react it can. また、触媒担体、吸着剤として酸化アルミニウムの成形品が市販されていることからそれらを用いることもできる。 Further, the catalyst support, they can also be used since the molded article of aluminum oxide are commercially available as an adsorbent.

【0016】除害剤の形状に特に制限はないが、通常は球状、円柱状、不定形の破砕状物などが用いられる。 [0016] There is no particular restriction on the shape of the harm-removing agent, usually spherical, cylindrical, irregular crushed like material or the like is used. このほかハニカム状に成形されたものなども用いることができる。 Such that this molded besides honeycomb can also be used. また、除害剤の大きさは除害剤の用いられる形態によって適宜選択することができる。 The size of the harm-removing agent can be appropriately selected depending on the form used of detoxifying agents.

【0017】本発明において、除害剤は固定床として用いられるほか、移動床、流動床として用いることもできる。 [0017] In the present invention, Jogaizai except that used as a fixed bed, it is also possible to use a moving bed, a fluidized bed. 通常は除害剤を除害筒内に充填しこの除害筒にフルオロカーボンを含有するガスを流して除害剤と接触させることにより、フルオロカーボンを分解処理する。 Usually by contact with detoxifying agents by flowing a gas containing fluorocarbon to the detoxification column packed with detoxifying agents abatement inner cylinder, decomposing a fluorocarbon. フルオロカーボンと除害剤とを接触させる温度は、400℃ Temperature of contacting a fluorocarbon and detoxifying agent, 400 ° C.
以上、好ましくは500〜800℃である。 Or more, preferably from 500 to 800 ° C.. 温度が40 The temperature is 40
0℃以下ではフルオロカーボンの分解が難しく、一方8 0 ℃ difficult decomposition of the fluorocarbon in the following, whereas 8
00℃以上では除害剤の熱劣化に伴いフルオロカーボンの分解処理能力が低下するほか、除害筒に耐熱性の高い材料が要求される不都合がある。 00 ℃ or higher addition to decreased decomposition treatment capability of the fluorocarbon with the thermal degradation of the abatement agent, there is a disadvantage that highly heat resistant materials are required in detoxification column. フルオロカーボンを分解処理する際の圧力は通常は常圧で行われるが、減圧あるいは加圧下で行うこともできる。 The pressure at the time of decomposing fluorocarbons is usually carried out at normal pressure, but can also be carried out under reduced or elevated pressure.

【0018】本発明においてフルオロカーボンを含むガスの流速に特に制限はないが、一般にガス中に含有されるフルオロカーボンの濃度が高いほど流速を小さくすることが好ましい。 No particular limitation is imposed on the flow rate of the gas containing fluorocarbon in [0018] the present invention, it is preferable that generally the concentration of the fluorocarbon contained in the gas to reduce the flow rate higher. このため除害筒はフルオロカーボンの濃度、処理対象ガスの量などに応じて設計されるが、フルオロカーボン濃度が0.1%以下のような比較的低濃度では空筒基準線速度(LV)が0.5〜50cm/s Thus the concentration of the detoxification column fluorocarbon, are designed in accordance with the amount of processed gas, superficial reference linear velocity at relatively low concentrations, such as a fluorocarbon concentration of less 0.1% (LV) is 0 .5~50cm / s
ec、フルオロカーボン濃度が0.1〜1%程度では空筒基準線速度(LV)が0.05〜20cm/sec、 ec, superficial reference linear velocity is a fluorocarbon concentration of about 0.1 to 1% (LV) is 0.05~20cm / sec,
フルオロカーボン濃度が1%以上のような高濃度では空筒基準線速度(LV)が10cm/sec以下の範囲となるように設計することが好ましい。 It is preferable in high concentrations such as fluorocarbon concentration of more than 1% of superficial reference linear velocity (LV) is designed to be in the range of less than 10 cm / sec. 従って、半導体製造プロセスから定常的に排出される場合のように比較的高い濃度の場合には10cm/sec以下が一般的な基準となる。 Thus, 10 cm / sec or less is a general reference in the case of a relatively high concentration as in the case of regularly discharged from a semiconductor manufacturing process.

【0019】このようにフルオロカーボンを含むガスを400℃以上の温度で酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と接触させることにより、フルオロカーボン中のフッ素は弗化アルミニウムに変換され、炭素は二酸化炭素として放出される。 [0019] By contacting the harm-removing agent to thus aluminum oxide the gas containing fluorocarbon at a temperature above 400 ° C. active ingredient, the fluorine in the fluorocarbon is converted to aluminum fluoride, carbon as carbon dioxide It is released.

【0020】なお、フルオロカーボンの種類によっては、酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と接触させて分解処理する際に、除害剤表面にカーボンが析出したり、処理能力が低下する場合がある。 [0020] Incidentally, the type of fluorocarbon, when decomposed in contact with detoxifying agent comprising as an active ingredient the aluminum oxide, or deposited carbon in the detoxifying agent surface, there is a case where the processing capacity is lowered . また除害筒出口ガス中に一酸化炭素が流出する場合がある。 Also there is a case where carbon monoxide flowing out to the detoxification column outlet gas. このようなフルオロカーボンを処理する場合には、分解処理する際に酸素を共存させることによってこれらの問題点を解消し、効率よく分解処理することができる。 When processing such fluorocarbons may be solved these problems, efficiently decomposed by the coexistence of oxygen during the decomposition process. ここで、酸素を共存させる方法としては、フルオロカーボンを含むガスに純酸素を添加することのほか、空気を添加することによっても行うことができる。 As a method for the coexistence of oxygen, in addition to adding pure oxygen to a gas containing a fluorocarbon, it can be carried out by adding air.

【0021】本発明においてフルオロカーボンを含むガスを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と400 [0021] The aluminum oxide gas containing fluorocarbon in the present invention as an active ingredient detoxifying agent and 400
℃以上の温度で接触させて分解処理する際に、水蒸気を共存させることによって除害剤単位重量当たりの処理能力を増大させることができる。 ℃ when decomposed by contacting at a temperature above, it is possible to increase the processing capability per detoxifying agents unit weight by the coexistence of steam. この方法においてはガス中の水蒸気分圧が高くなるにしたがって処理能力が増加する。 In this method increases capacity according to increased water vapor partial pressure in the gas. しかし、水蒸気分圧が高すぎる場合には分解率の低下を生じることや処理能力の低下を生じることから、 However, since the results in a decrease of that or processing power results in a decrease of the rate of decomposition when the water vapor partial pressure is too high,
通常はガス中の水蒸気分圧として150mmHg以下、 Usually 150mmHg below as the partial pressure of water vapor in the gas,
好ましくは100mmHg以下である。 Preferably is less than or equal to 100mmHg.

【0022】水蒸気を共存させる方法は、例えばフルオロカーボンを含むガスを常温で水に接触させて水分を含ませたのち加熱された除害筒に導入する方法、または水もしくは水蒸気を除害筒の入口でフルオロカーボンを含むガスに添加する方法等がある。 The method for the coexistence of steam, for example, a method of gas containing fluorocarbon is contacted with water at ambient temperature is introduced into detoxification column which is heated after moistened with water or inlet of water or steam detoxification column, in and a method of adding a gas containing fluorocarbon. フルオロカーボンに水蒸気を共存させて分解処理する際の操作条件として、通常は前記の水蒸気を共存させない場合の条件に準じて行うことができる。 As operation conditions for decomposition treatment coexist steam fluorocarbons, typically it may be carried out according to the conditions when not coexist said steam.

【0023】本発明において、フルオロカーボンを含むガスを分解処理し浄化能力の低下した除害剤、もしくは除害能力を失った除害剤は加熱下に水蒸気を含むガスと接触させることによって再生することができる。 [0023] In the present invention, detoxifying agents with decreased decomposition treatment and purification capacity of a gas containing a fluorocarbon, or detoxifying agents that have lost abatement capability be regenerated by contacting it with a gas containing water vapor under heating can. さらに、再生したのち除害剤として再使用することができる。 Furthermore, it can be re-used as a detoxifying agent After regeneration. この再生処理によって除害剤中に弗化アルミニウムとして固定されていた弗素は弗化水素として系外に排出され、アルミニウムは酸化アルミニウムとして再生される。 The fluorine was fixed as aluminum fluoride in the detoxifying agent by the reproduction process is discharged from the system as hydrogen fluoride, aluminum is reproduced as aluminum oxide.

【0024】再生方法としては、400℃以上の温度に加熱された除害筒に、水蒸気単独あるいは水蒸気を含む空気、窒素、酸素、水素、希ガスなどを流通させることによって行うことができる。 [0024] As playback process can be carried out in detoxification column which is heated to a temperature above 400 ° C., air containing water vapor alone or water vapor, nitrogen, oxygen, hydrogen, by circulating the like noble gases. 再生の際の加熱温度が80 Heating temperature at the time of reproduction is 80
0℃以上では除害剤の熱劣化を生じ、再生後の処理能力が低下することから通常は400〜800℃、好ましくは500〜800℃程度である。 In 0 ℃ or cause thermal degradation of the abatement agent, usually 400 to 800 ° C. Since the processing capacity after regeneration is reduced, and preferably about 500 to 800 ° C.. また水蒸気分圧、ガスの流速などに特に制限はないが、水蒸気分圧が低い場合には再生に長時間を要することから通常は5mmHg以上、好ましくは10mmHg以上、より好ましくは15 The partial pressure of water vapor is not particularly limited to such a flow rate of the gas, usually it takes a long time to play when the low water vapor partial pressure 5mmHg or more, preferably 10mmHg or more, more preferably 15
mmHg以上である。 It is mmHg or more.

【0025】また、再生の際の水蒸気単独、あるいは水蒸気を含む酸素、水素、窒素、空気、希ガスの全圧としては常圧、減圧あるいは加圧状態であってもよく特に限定されるものではない。 Further, the oxygen containing water vapor alone or steam, during reproduction, hydrogen, nitrogen, air, atmospheric pressure as the total pressure of the rare gas, a reduced pressure or pressurized state but also are particularly well limited Absent. 再生操作におけるの水蒸気を含むガスの流速に特に制限はないが、通常は空筒基準線速度(LV)で0.5〜150cm/sec、好ましくは2〜100cm/sec程度である。 There is no particular limitation on the flow velocity of the gas containing water vapor in the regeneration operation, usually 0.5~150cm / sec with superficial reference linear velocity (LV), preferably about 2~100cm / sec.

【0026】このように除害剤を再生、再使用することができることから、除害筒を2列並列に配置し、片方の除害筒ではフルオロカーボンの分解処理を行い、その間に他の除害筒では除害剤の再生操作を行う方法を切り替え弁を介して交互に行うことにより、連続的にフルオロカーボンを分解処理することができる。 The play thus detoxifying agent, since it can be reused, the detoxification column arranged in two rows parallel, it performs decomposed fluorocarbon abatement barrel one, other abatement during the cylinder by alternately performed through the valve to switch the method of performing the reproduction operation of the detoxifying agent, it is possible to decompose continuously fluorocarbon. この処理方法において、除害筒を2筒とするほか3筒、4筒等の複数列を切り替え弁を介して配置することによって処理ガス量の変動が大の場合においても効率よく連続的に分解処理することができる。 In this processing method, three other cylinder to the detoxification column 2 cylinder, also effectively continuously degraded in case the variation of the processing gas amount is larger by placing through the switching valve multiple columns, such as 4-cylinder it can be processed. 本発明におけるフルオロカーボンの分解処理装置を図1により除害筒を2列並列に配置した場合の例で示した。 The decomposition treating apparatus of the fluorocarbons of the present invention shown in the example in the case where a detoxification column in two rows parallel by FIG.

【0027】本発明においてフルオロカーボンの分解処理後の除害剤を水蒸気と接触させて再生する場合には除害筒出口のガス中に弗化水素が流出する。 [0027] If the detoxifying agent after the decomposition treatment of a fluorocarbon in the present invention is reproduced in contact with steam of hydrogen fluoride flows out in the gas abatement tube outlet. 弗化水素は有害物質であり排出するに先立って処理する必要がある。 Hydrogen fluoride should be treated prior to discharge a harmful substance.
弗化水素は常温で弗素系ガスを浄化し得る浄化剤と接触させることにより容易に除去することができる。 Hydrogen fluoride can be easily removed by contact with a cleaning agent capable of cleaning fluorine-based gas at ordinary temperature. このような浄化剤としては、酸化亜鉛を主成分とする浄化剤(特開平5−237324号公報)および水酸化ストロンチウムを主成分とする浄化剤(特開平9−9921号公報)などを用いる乾式浄化方法、および公知の湿式浄化方法がある。 Such cleaning agent, dry the like purifying agent containing zinc oxide as the main component (JP-A 5-237324 JP) and cleaning agent composed mainly of strontium hydroxide (Japanese Patent Laid-Open No. 9-9921) purification method, and a known wet cleaning methods. これらの浄化方法をフルオロカーボンの分解処理方法と組み合わせることにより、外部に弗素化合物の流出のない完全な処理を行うことができる。 By combining these purification methods and cracking process of fluorocarbons, it is possible to perform the flow without complete processing of the fluorine compound to the outside.

【0028】 [0028]

【実施例】次に本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらにより限定されるものではない。 EXAMPLES Next specifically describes the invention based on examples, but the present invention is not limited to these. 実施例1 触媒坦体用アルミナ(日産ガードラー(株)製、H−2 Example 1 Catalyst Tan-body alumina (Nissan Girdler Co., H-2
18A)を破砕し、篩分けした12〜16メッシュのアルミナを内径23.0mm、長さ400mmのステンレス製の除害筒に24.9mL(充填長60mm)充填し、窒素ガスを流通させながら電気炉で700℃に加熱した。 18A) crushing, sieved 12-16 mesh alumina inner diameter 23.0 mm, and a stainless steel 24.9mL the detoxification column (packed length 60 mm) packed length 400 mm, while circulating nitrogen gas electric It was heated to 700 ° C. in a furnace. これにCF 4ガスを2000ppm含有する窒素ガスを、常圧下で500mL/min(空筒基準線速度 LV=7cm/sec)の流量で流通させ、出口ガスをガスクロマトグラフ(島津製作所(株)製、GC−4 Nitrogen gas 2000ppm containing CF 4 gas thereto under normal pressure at allowed to flow at a flow rate of 500 mL / min (superficial reference linear velocity LV = 7 cm / sec), the outlet gas gas chromatograph (Shimadzu Corp., GC-4
C)によりモニターし、出口ガス中のCF 4濃度が20 Monitored by C), CF 4 concentration in the outlet gas is 20
ppmに達した点を破過点として、破過するまでの時間を測定した。 As breakthrough point was reached ppm, it was measured the time to breakthrough. その結果から計算により処理能力(アルミナ1L当たりに対する純粋なCF 4の処理量(L))を求めた。 As a result from the processing by the calculation capacity (throughput of pure CF 4 for per alumina 1L (L)) was determined. 結果を表1に示した。 The results are shown in Table 1.

【0029】 [0029]

【表1】 表 1 実施例 破過までの時間 CF 4ガスの除害量 (min) (L/L除害剤) 1 2988 120.3 TABLE 1 detoxifying amount of time CF 4 gas to Example breakthrough (min) (L / L Jogaizai) 1 2988 120.3

【0030】実施例 2 CF 4を含む窒素ガスを20℃で水分飽和としたほかは、実施例1と同様にして分解処理実験を行った。 The addition to the water saturated at 20 ° C. Nitrogen gas containing Example 2 CF 4 were carried out decomposition treatment experiments in the same manner as in Example 1. 結果を表2に示す。 The results are shown in Table 2.

【0031】 [0031]

【表2】 表 2 実施例 破過までの時間 CF 4ガスの除害量 (min) (L/L除害剤) 2 8988 361.1 TABLE 2 abatement amount of time CF 4 gas to Example breakthrough (min) (L / L Jogaizai) 2 8988 361.1

【0032】実施例 3 CF 4を含む窒素ガスをCF 4を含む空気に変えたほかは、実施例1と同様にして分解処理実験を行った。 [0032] In addition to the nitrogen gas containing Example 3 CF 4 was changed to air containing CF 4 were carried out decomposition treatment experiments in the same manner as in Example 1. 結果を表3に示す。 The results are shown in Table 3.

【0033】 [0033]

【表3】 表 3 実施例 破過までの時間 CF 4ガスの除害量 (min) (L/L除害剤) 3 3598 144.5 TABLE 3 abatement of time CF 4 gas to Example breakthrough (min) (L / L Jogaizai) 3 3598 144.5

【0034】実施例 4 CF 4をCH 22に変え、窒素を空気に変えたほかは、実施例1と同様に分解処理実験を行った。 [0034] changing the Example 4 CF 4 in CH 2 F 2, nitrogen other for changing the air was subjected to the same decomposition treatment experiment as in Example 1. 結果を表4に示す。 The results are shown in Table 4.

【0035】 [0035]

【表4】 表 4 実施例 破過までの時間 CH 22の除害量 (min) (L/L除害剤) 4 5976 240.7 [Table 4 abatement of time CH 2 F 2 to Example breakthrough (min) (L / L Jogaizai) 4 5976 240.7

【0036】実施例 5 実施例1で用いた分解処理後の除害剤を700℃に加熱し、常圧下において、20℃で水分飽和した窒素ガスを500mL/min(空筒基準線速度 LV=5cm/ [0036] The harm-removing agent after the decomposition process used in Example 5 Example 1 was heated to 700 ° C., under normal pressure, the water saturated nitrogen gas at 20 ℃ 500mL / min (superficial reference linear velocity LV = 5cm /
sec)の流量で48時間流通させた。 It was passed through 48 hours at a flow rate of sec). さらにその後乾燥窒素ガスを700℃の加熱常圧下において12時間流通しアルミナを再生した。 Further followed dry nitrogen gas was circulated for 12 hours in the heating under normal pressure of 700 ° C. to play the alumina. 次に実施例1と同様にCF 4 Then in the same manner as in Example 1 CF 4
を2000ppm含有する窒素ガスを、常圧下で500 A nitrogen gas containing 2000ppm, and 500 under normal pressure
mL/min(空筒基準線速度 LV=7cm/se mL / min (superficial reference linear velocity LV = 7 cm / se
c)の流量で流通させ、破過までの時間を測定した。 It was circulated at a flow rate of c), to measure the time until breakthrough. このようにCF 4分解処理、除害剤の再生操作を数回くり返した。 Thus CF 4 decomposition treatment was repeated several times regenerating operation of the abatement agent. これらの結果を表5に示す。 The results are shown in Table 5. またCF 4処理前後において、除害筒内の入口側の除害剤をエネルギー分散型X線分析装置(EDAX)により分析し弗素の含有率を調べた。 In addition CF 4 before and after the treatment, the inlet side of the detoxifying agent abatement inner tube and analyzed by an energy dispersive X-ray analyzer (EDAX) was investigated the content of fluorine. これらの結果を表6に示す。 The results are shown in Table 6.

【0037】 [0037]

【表5】 表 5 除害剤使用回数 破過までの時間 CF 4ガスの除害量 (min) (L/L除害剤) 初回 2995 120.3 2 2614 105.4 3 2315 93.0 4 2186 87.8 5 2137 85.9 Table 5 abatement of time CF 4 gas to detoxifying agents used number breakthrough (min) (L / L Jogaizai) Initial 2995 120.3 2 2614 105.4 3 2315 93.0 4 2186 87.8 5 2137 85.9

【0038】 [0038]

【表6】 表 6 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回CF 4処理後 65%(アルミ含有率32%) 初回再生後 0.5%(アルミ含有率53%) 2回目CF 4理後 64%(アルミ含有率33%) 2回目初回再生後 0.4%(アルミ含有率53%) 3回目CF 4処理後 65%(アルミ含有率32%) 3回目初回再生後 0.6%(アルミ含有率52%) Table 6 fluorine content Initial CF 4 65% after treatment in detoxifying agents analytical measurement points detoxifying agents (aluminum content 32%) after the first regeneration 0.5% (an aluminum content of 53%) 2nd CF 4 64% after management (aluminum content 33%) 0.4% second initial reproduction after (aluminum content 53%) third CF 4 treatment 65% after (aluminum content 32%) the third initial reproduction after 0 .6% (aluminum content 52%)

【0039】実施例6 実施例2の分解処理条件で、実施例5と同様の分解処理、除害剤の再生操作のくり返しを行った(CF 4の分解処理を20℃での水分飽和で行ったほかは実施例5に同じ)。 [0039] In the decomposition treatment conditions of Example 6 Example 2, carried out similar to the decomposition treatment as in Example 5, the decomposition treatment of performing the repetitive playback operation of detoxifying agents (CF 4 in water saturated at 20 ° C. the others are the same as in example 5). 結果を表7、8に示す。 The results are shown in Table 7 and 8.

【0040】 [0040]

【表7】 表 7 除害剤使用回数 破過までの時間 CF 4ガスの除害量 (min) (L/L剤) 初回 8990 361.1 2 7870 316.1 3 6753 271.2 Table 7 abatement of time CF 4 gas to detoxifying agents used number breakthrough (min) (L / L agents) Initial 8990 361.1 2 7870 316.1 3 6753 271.2

【0041】 [0041]

【表8】 表 8 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回CF 4処理後 65%(アルミ含有率32%) 初回再生後 0.4%(アルミ含有率52%) 2回目CF 4処理後 64%(アルミ含有率32%) 2回目初回再生後 0.6%(アルミ含有率53%) 3回目CF 4処理後 65%(アルミ含有率32%) 3回目初回再生後 0.5%(アルミ含有率52%) [Table 8 fluorine content Initial CF 4 65% after treatment in detoxifying agents analytical measurement points detoxifying agents (aluminum content 32%) 0.4% after the first regeneration (aluminum content 52%) 2nd CF 4 after treatment 64% (aluminum content 32%) 0.6% after the second initial reproduction (aluminum content 53%) third CF 4 65% after treatment (aluminum content 32%) the third initial reproduction after 0 .5% (aluminum content 52%)

【0042】実施例7実施例3の条件で、実施例5と同様に分解処理と除害剤の再生のくり返しを行った(CF [0042] In the conditions of Example 7 Example 3 was subjected to repeated regeneration of decomposing and detoxifying agent in the same manner as in Example 5 (CF
4を含むガスを窒素から空気に変えたほかは実施例6に同じ)。 4 Same as Example 6 except for changing the air gas from the nitrogen containing). 結果を表9、10に示す。 The results are shown in Table 9 and 10.

【0043】 [0043]

【表9】 表 9 除害剤使用回数 破過までの時間 CF 4ガスの除害量 (min) (L/L剤) 初回 3595 144.5 2 3150 126.5 3 2870 115.0 [Table 9 abatement of time CF 4 gas to detoxifying agents used number breakthrough (min) (L / L agents) Initial 3595 144.5 2 3150 126.5 3 2870 115.0

【0044】 [0044]

【表10】 表 10 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回CF 4処理後 65%(アルミ含有率32%) 初回再生後 0.5%(アルミ含有率52%) 2回目CF 4処理後 64%(アルミ含有率33%) 2回目初回再生後 0.4%(アルミ含有率52%) 3回目CF 4理後 65%(アルミ含有率32%) 3回目初回再生後 0.6%(アルミ含有率53%) Table 10 fluorine content Initial CF 4 65% after treatment in detoxifying agents analytical measurement points detoxifying agents (aluminum content 32%) 0.5% after the first regeneration (aluminum content 52%) 2nd CF 4 after treatment 64% (aluminum content 33%) 0.4% second initial reproduction after (aluminum content 52%) third CF 4 65% after management (aluminum content 32%) the third initial reproduction after 0 .6% (aluminum content 53%)

【0045】実施例8 実施例4の条件で、実施例5と同様にくり返し再生を行った(CH 4をCH 22に変え、窒素を空気に変えたほかは実施例5に同じ)。 [0045] In the conditions of Example 8 Example 4 was subjected to regeneration repeated in the same manner as in Example 5 (changed CH 4 to CH 2 F 2, nitrogen except for changing the air Example 5 in the same). 結果を表11、12に示す。 The results are shown in Table 11 and 12.

【0046】 [0046]

【表11】 表 11 除害剤使用回数 破過までの時間 CH 22ガスの除害量 (min) (L/L剤) 初回 5980 240.8 2 5280 212.0 3 4930 198.0 Table 11 Table 11 abatement of time CH 2 F 2 gas to detoxifying agents used number breakthrough (min) (L / L agents) Initial 5980 240.8 2 5280 212.0 3 4930 198.0

【0047】 [0047]

【表12】 表 12 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回CF 4処理後 65%(アルミ含有率32%) 初回再生後 0.6%(アルミ含有率52%) 2回目CF 4処理後 64%(アルミ含有率32%) 2回目初回再生後 0.6%(アルミ含有率53%) 3回目CF 4処理後 65%(アルミ含有率32%) 3回目初回再生後 0.4%(アルミ含有率52%) Table 12 Table 12 fluorine content Initial CF 4 65% after treatment in detoxifying agents analytical measurement points detoxifying agents (aluminum content 32%) 0.6% after the first regeneration (aluminum content 52%) 2nd CF 4 after treatment 64% (aluminum content 32%) 0.6% after the second initial reproduction (aluminum content 53%) third CF 4 65% after treatment (aluminum content 32%) the third initial reproduction after 0 .4% (aluminum content 52%)

【0048】実施例9 実施例1と同じ除害剤を内径23.0mm、長さ100 [0048] Example 9 Example 1 and the same detoxifying agent inside diameter 23.0 mm, length 100
0mmのステンレス製の除害筒に83mL(充填長20 0mm of 83mL stainless steel detoxification column (packed length 20
0mm)充填したものを2筒製作し、これらを電気管状炉で700℃に加熱保持した。 0 mm) those filled with 2 cylinder manufactured and kept heated at 700 ° C. These electric tube furnace. 一方の筒に窒素ガスを流通させながらCF 4を5000ppm含有する窒素ガスを、加熱常圧下で500mL/min(空筒基準線速度 LV=7cm/sec)の流量で24時間流通させた。 Nitrogen gas 5000ppm containing CF 4 with the one of the tubular was circulated nitrogen gas flow rate is circulated for 24 hours in the heating atmospheric pressure 500 mL / min (superficial reference linear velocity LV = 7cm / sec). 他の一方の筒には、25℃で水分飽和した窒素ガスを加熱常圧下で500mL/min(空筒基準線速度 Other one of the cylinder, the heating under normal pressure the water saturated nitrogen gas at 25 ℃ 500mL / min (superficial reference linear velocity
LV=7cm/sec)の流量で20時間流通させた。 It was allowed to flow for 20 hours at a flow rate of LV = 7cm / sec).
さらに乾燥窒素ガスを700℃の加熱常圧下において4 4 further dry nitrogen gas at elevated temperature and atmospheric pressure of 700 ° C.
時間流通し、除害剤の再生を行った。 Circulation time, was regeneration of the detoxifying agent.

【0049】これらの操作を交互に連続的に3サイクル行い、CF 4を分解処理した。 [0049] carried out continuously three cycles alternating these operations were decomposing CF 4. また、それらの分解処理後のガスおよび再生排ガスを酸化亜鉛を主成分とする浄化剤(酸化亜鉛86%、酸化カリウム5%、アルミナ9 Also, their degradation of gas after treatment and regeneration exhaust gas purifying agent composed mainly of zinc oxide (zinc oxide 86%, potassium oxide 5%, alumina 9
%)を内径150mm、長さ500mmのステンレス製の筒に5.3L充填(充填長300mm)した浄化筒に流通させ、浄化筒出口ガスの分析を行った。 The%) internal diameter 150 mm, was circulated in 5.3L filling (filling length 300 mm) were cleaning column in a stainless steel cylinder of length 500 mm, were analyzed cleaning column outlet gas. CF 4を熱伝導度型検出器付きガスクロマトグラフ(GC−4C、 CF 4 with a thermal conductivity detector with a gas chromatograph (GC-4C,
島津製作所(株)製)で分析し、弗化水素を弗化水素用検知管((株)ガステック社製)でモニターし、窒素酸化物を窒素酸化物用検知管((株)ガステック社製)でモニターした。 Was analyzed by Shimadzu Corp.), a hydrogen fluoride hydrogen fluoride detector tube (Corporation monitored by Gastec, Inc.), nitrogen oxides detector tube of nitrogen oxides (Co. Gastec It was monitored by the company, Ltd.). これらの結果を表13に示す。 The results are shown in Table 13.

【0050】 [0050]

【表13】 表 13 測定ガスの種類 3サイクル中の浄化筒 検出下限濃度 出口ガス中の濃度 (ppm) CF 4 N. Table 13 Concentration of cleaning column detection limit concentration in the outlet gas of the type 3 in the cycle of the measurement gas (ppm) CF 4 N. D. D. 5 HF(F 2 ) N. 5 HF (F 2) N. D. D. 0.25 NO N. 0.25 NO N. D. D. 1 NO 2 N. 1 NO 2 N. D. D. 0.5 0.5

【0051】比較例 1〜2 除害剤をチタニアおよびジルコニアに変更した以外は実施例1と同じ条件でCF 4の分解処理を行った。 [0051] except that the Comparative Examples 1-2 detoxifying agent was changed to titania and zirconia was decomposed in CF 4 under the same conditions as in Example 1. その結果、分解実験開始直後から除害筒出口ガス中にCF 4が多量に流出していることが認められた。 As a result, CF 4 was observed to have a large amount of effluent to detoxification column outlet gas immediately after the start of degradation experiments. 実験開始1時間後において除害筒出口ガスを分析し、CF 4の分解率を測定した。 Analyze the detoxification column outlet gas at the start of the experiment after 1 hour was measured decomposition rate of CF 4. これらの結果を実施例1における場合と共に表14に示した。 It is shown in Table 14 together with the case of these results in Example 1.

【0052】 [0052]

【表14】 表 14 除害剤の種類 1時間後の除害筒出口ガスのCF 4濃度(ppm) 分解率(%) 実施例1 酸化アルミニウム n. Table 14 Table 14 CF 4 concentration in the detoxification column outlet gas of 1 hour after the kind of detoxifying agents (ppm) decomposition rate (%) Example 1 Aluminum oxide n. d 100 比較例1 酸化チタン 1760 12 比較例2 酸化ジルコニウム 1700 15 d 100 Comparative Example 1 Titanium oxide 1760 12 Comparative Example 2 Zirconium oxide 1700 15

【0053】 [0053]

【発明の効果】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法によれば、ヒドロフルオロカーボンのほか従来分解が困難であったパーフルオロカーボンをも極めて効率よく分解し無害化することができるようになった。 According to the decomposition treatment process of fluorocarbons of the present invention according to the present invention, it has become possible to very efficiently decomposed harmless even perfluorocarbon other conventional decomposition is difficult hydrofluorocarbon. また、分解処理後の除害剤を効率よく再生することができ、さらに除害筒を並列に複数列配置することによって、フルオロカーボンの分解処理と除害剤の再生を平行して行うことできることから、フルオロカーボンを連続的に効率よく分解処理することができるようになった。 Further, a detoxifying agent after the decomposition treatment can be efficiently reproduced, by further plurality of rows arranged detoxification column in parallel, because it can be performed in parallel reproduction of the decomposition process as detoxifying agent fluorocarbons , it has become possible to decompose well continuously efficiency fluorocarbon.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明における除害筒を2列並列に配置した分解処理装置の例である。 1 is an example of the decomposition treating apparatus of arranging the detoxification column in two rows parallel to the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1、1' 除害筒 2、2' 除害剤 3 フルオロカーボンを含むガス供給ライン 4、4' 入口側切り替え弁 5、5' 出口側切り替え弁 6 排気ライン 7 再生用水蒸気を含むガスの供給ライン 8、8' 再生用ガス入り口切り替え弁 9、9' 再生用ガス出口切り替え弁 10 再生ガス排気ライン 11、11' ヒーター 1,1 supply line of 'detoxification column 2,2' Jogaizai 3 gas supply line 4,4 containing fluorocarbon 'inlet side switching valve 5, 5' outlet side switching valve 6 exhaust line 7 gas containing regeneration steam 8,8 'regeneration gas inlet switching valves 9, 9' regeneration gas outlet switching valve 10 the regeneration gas discharge line 11, 11 'heater

Claims (8)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 フルオロカーボンを含有するガスを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と400℃以上の温度で接触させて該フルオロカーボンを分解し弗化アルミニウムを形成させることを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法。 We claim: 1. a gas containing fluorocarbon is contacted at a temperature above the 400 ° C. detoxifying agent comprising as an active ingredient the aluminum oxide decomposition of fluorocarbons, characterized in that to form aluminum fluoride and decomposing the fluorocarbons Processing method.
  2. 【請求項2】 フルオロカーボンを含有するガスを水蒸気および/または酸素の共存下に酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と400℃以上の温度で接触させて該フルオロカーボンを分解し弗化アルミニウムを形成させることを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法。 2. A gas containing fluorocarbon is contacted with detoxifying agents and 400 ° C. temperature above as an active ingredient of aluminum oxide in the presence of water vapor and / or oxygen forming a decomposed aluminum fluoride said fluorocarbon cracking process of fluorocarbons, characterized in that to.
  3. 【請求項3】 請求項1もしくは請求項2に記載の分解処理方法によりフルオロカーボンを分解処理した後の除害剤を、400℃以上の温度で水蒸気の共存下で加熱することにより再生し、再使用することを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法。 The 3. A process according to claim 1 or detoxifying agent after decomposing fluorocarbons by the decomposition processing method according to claim 2, regenerated by heating in the presence of water vapor at 400 ° C. or higher, re cracking process fluorocarbons, characterized in that it uses.
  4. 【請求項4】 酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤を充填した除害筒を2筒以上並列に接続し、ガス流路を切り替えることにより少なくとも1筒でフルオロカーボンの分解を行い、その間に少なくとも1筒で除害剤の再生を行うことにより連続的にフルオロカーボンの分解処理を行うことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法。 4. Connect the detoxification column packed with detoxifying agent comprising as an active ingredient the aluminum oxide in parallel in two or more cylinder performs decomposition of fluorocarbons by at least 1 cylinder by switching a gas flow path, at least during cracking process of fluorocarbons, characterized by continuously performing decomposition treatment of a fluorocarbon by reproducing a detoxifying agent in 1 cylinder.
  5. 【請求項5】 フルオロカーボンがCH 3 F、CH 2 5. A fluorocarbon CH 3 F, CH 2 F
    2 、CHF 3 、C 224 、C 242 、CF 4 2, CHF 3, C 2 H 2 F 4, C 2 H 4 F 2, CF 4,
    26 、C 38 、C 48 、およびC 512から選ばれる少なくとも1種である請求項1から請求項4のいずれかに記載のフルオロカーボンの分解処理方法。 C 2 F 6, C 3 F 8, C 4 F 8, and C 5 at least one a cracking process for fluorocarbons according to any one of claims 1 to claim 4 selected from F 12.
  6. 【請求項6】 酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤が充填された除害筒に、フルオロカーボンを含有するガスを単独、もしくは水蒸気および/または酸素共存下に流通させて該除害剤と接触させて、該フルオロカーボン中の弗素を弗化アルミニウムに変換することにより分解処理した後の除害剤を、水蒸気の共存下に加熱することにより再生し、再使用することができる構成としたことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理装置。 6. A detoxification column for detoxifying agent is filled as an active ingredient of aluminum oxide, in contact with 該除 harm agent by circulating the gas containing fluorocarbon alone or steam and / or the presence of oxygen by the detoxifying agent after decomposing by converting the fluorine in the fluorocarbon aluminum fluoride, that regenerated by heating in the presence of water vapor, and configured to be reused decomposition treating apparatus of fluorocarbons, characterized.
  7. 【請求項7】 酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤が充填された筒が2筒以上並列に接続され、ガス流路を切り替えることにより少なくとも1筒でフルオロカーボンの分解を行い、その間に少なくとも1筒で除害剤の再生を行うことにより連続的にフルオロカーボンの分解処理を行うことができる構成としたことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理装置。 7. A cylinder that detoxifying agent is filled as an active ingredient of aluminum oxide is connected in parallel with two or more cylinders, perform decomposition of the fluorocarbon with at least 1 cylinder by switching the gas flow path, at least during decomposition treating apparatus of fluorocarbons, characterized in continuously it has a structure capable of performing the decomposition treatment of a fluorocarbon by reproducing the detoxifying agent in the cylinder.
  8. 【請求項8】 フルオロカーボンがCH 3 F、CH 2 8. A fluorocarbon CH 3 F, CH 2 F
    2 、CHF 3 、C 224 、C 242 、CF 4 2, CHF 3, C 2 H 2 F 4, C 2 H 4 F 2, CF 4,
    26 、C 38 、C 48 、およびC 512から選ばれる少なくとも1種である請求項6または請求項7に記載のフルオロカーボンの分解処理装置。 C 2 F 6, C 3 F 8, C 4 F 8, and C 5 cracking facility of fluorocarbon according to claim 6 or claim 7 is at least one selected from F 12.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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SG80662A1 (en) * 1999-10-18 2001-05-22 Atmi Ecosys Corp Fluorine abatement using steam injection in oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases
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