JPH11271480A5 - - Google Patents
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- JPH11271480A5 JPH11271480A5 JP1998070997A JP7099798A JPH11271480A5 JP H11271480 A5 JPH11271480 A5 JP H11271480A5 JP 1998070997 A JP1998070997 A JP 1998070997A JP 7099798 A JP7099798 A JP 7099798A JP H11271480 A5 JPH11271480 A5 JP H11271480A5
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- JP
- Japan
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- Granted
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Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07099798A JP4197196B2 (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 圧電アクチュエータもしくは超音波モータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器、印刷装置 |
| US09/253,501 US6252333B1 (en) | 1998-02-20 | 1999-02-19 | Stage utilizing ultrasonic motor and electronic equipment and printer utilizing the stage |
| EP99301264A EP0938144A3 (en) | 1998-02-20 | 1999-02-22 | Stage utilizing ultrasonic motor and printer utilizing the stage |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07099798A JP4197196B2 (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 圧電アクチュエータもしくは超音波モータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器、印刷装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007290976A Division JP4714722B2 (ja) | 2007-11-08 | 2007-11-08 | 圧電アクチュエータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271480A JPH11271480A (ja) | 1999-10-08 |
| JPH11271480A5 true JPH11271480A5 (cs) | 2005-07-07 |
| JP4197196B2 JP4197196B2 (ja) | 2008-12-17 |
Family
ID=13447720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07099798A Expired - Fee Related JP4197196B2 (ja) | 1998-02-20 | 1998-03-19 | 圧電アクチュエータもしくは超音波モータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器、印刷装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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-
1998
- 1998-03-19 JP JP07099798A patent/JP4197196B2/ja not_active Expired - Fee Related