JPH11258074A - Electrostatic capacity type dynamic amount detecting device - Google Patents

Electrostatic capacity type dynamic amount detecting device

Info

Publication number
JPH11258074A
JPH11258074A JP7644598A JP7644598A JPH11258074A JP H11258074 A JPH11258074 A JP H11258074A JP 7644598 A JP7644598 A JP 7644598A JP 7644598 A JP7644598 A JP 7644598A JP H11258074 A JPH11258074 A JP H11258074A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
output
input terminal
voltage
dc bias
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP7644598A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keisuke Uno
圭輔 宇野
Original Assignee
Omron Corp
オムロン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp, オムロン株式会社 filed Critical Omron Corp
Priority to JP7644598A priority Critical patent/JPH11258074A/en
Publication of JPH11258074A publication Critical patent/JPH11258074A/en
Application status is Withdrawn legal-status Critical

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic capacity type dynamic amount detecting device by which bias application type self-diagnosis can be simply executed without complicating the structure of a variable capacity element.
SOLUTION: A variable capacity element 4 and a resistor 5 are serially connected to form a differentiating circuit, one end of a variable capacity element 4 is connected to the output end of an oscillating circuit 6, a connecting point between the variable capacity element 4 and the resistor 5 is connected to the input end of a detecting circuit 8, and the other end of the resistor 5 is an input terminal 7 of d.c. bias voltage. The oscillating circuit 6 outputs a rectangular pulse signal. The detecting circuit 8 includes a second differentiating circuit 8a for eliminating d.c. bias component contained in the output of the differentiating circuit (the variable capacity element 4 and the resistor 5), a comparing circuit 8b for comparing the output of the second differentiating circuit 8a with constant voltage, and a smoothing circuit 8c for equalizing the output of the comparing circuit 8b to generate analog output proportional to the static capacity of the variable capacity element 4.
COPYRIGHT: (C)1999,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、流体圧力や加速度などの力学量を可変容量素子の静電容量変化に反映させて検出する静電容量型力学量検出装置に関し、特に、可変容量素子の動作不良を検出するための自己診断技術に関する。 The present invention relates to relates to a capacitance type physical quantity detection device for detecting to reflect the dynamic quantity such as a fluid pressure or an acceleration change in electrostatic capacitance of the variable capacitance element, in particular, the variable capacitance element on self-diagnostic techniques for detecting a malfunction.

【0002】 [0002]

【従来の技術】代表的な静電容量型力学量検出装置は次のように構成されている。 BACKGROUND OF THE INVENTION Typical capacitive physical quantity detection device is constructed as follows. 固定電極と可動電極とが微小な間隔をおいて対向した可変容量素子が構成されており、検出対象となる力学量に応答して前記可動電極が変位することで、両電極間の静電容量が変化する。 A fixed electrode and the movable electrode is configured variable capacitance element facing at a small spacing, that is the movable electrode in response to a physical quantity to be detected is displaced, the capacitance between the two electrodes to make the transition. 前記可変容量素子を含む微分回路に対して発振回路から所定のパルス信号を印加し、その微分応答信号を検出回路にて処理することで前記可変容量素子の静電容量の変化を検出する。 Said variable capacitance element by applying a predetermined pulse signal from the oscillation circuit against differential circuit comprising, detecting a change in capacitance of the variable capacitance element by processing the differential response signal by the detection circuit.

【0003】このタイプのセンサでは、可動電極が円滑に変位しなくなったり、反対に軽く動きすぎるといった動作不良を生じることがある。 [0003] In this type of sensor, or the movable electrode no longer displaced smoothly, resulting in malfunction such moving too lightly on the opposite. そのため、所定の力学量を受けて可動電極が設計通りに正しく変位しているのかどうかを、適当な周期で実施する自己診断により確認するようにしている。 Therefore, so that whether the movable electrode is properly displaced as designed, confirmed by self-diagnosis carried out in a suitable period by receiving a predetermined physical quantity.

【0004】自己診断にはいろいろなやり方があるが、 [0004] While the self-diagnosis there is a variety of ways,
その1つに次のような方式がある。 It has the following scheme one. 可変容量素子としての前記固定電極とは別に、前記可動電極に対向した駆動電極を設ける。 Apart from the fixed electrode as a variable capacitance element, provided with a driving electrode opposed to the movable electrode. この駆動電極と可動電極の間に直流バイアス電圧を適時に印加することで、前記駆動電極と前記可動電極の間に静電引力による機械的バイアスを与え、 A DC bias voltage between the driving electrode and the movable electrode by applying timely provides mechanical bias due to electrostatic attraction between the drive electrode and the movable electrode,
そのバイアスによる前記可変容量素子の静電容量変化を前記検出回路にて検出する。 The capacitance change of the variable capacitor according to the bias detecting by the detecting circuit.

【0005】 [0005]

【発明が解決しようとする課題】前述した従来の自己診断方式では、可変容量素子に自己診断用の駆動電極を造り込まなければならず、そのため素子構造が複雑になり、素子の生産性が低下するとともに、素子が大型化するという問題があった。 In [0006] Conventional self-diagnosis method described above must be incorporated build a drive electrode for self diagnosis variable capacitance element, therefore the device structure is complicated, decreases the productivity of the device as well as, there is a problem that element is increased in size.

【0006】本発明は、上記した背景に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、上記した問題を解決し、可変容量素子の構造を複雑化することなくバイアス付与式の自己診断を簡単に実施できるようにした静電容量型力学量検出装置を提供することにある。 [0006] The present invention has been made in view of the background described above, it is an object to solve the problems described above, the self-diagnosis biasing formula without complicating the structure of the variable capacitance element and to provide a capacitive dynamic quantity detecting apparatus capable of easily implemented.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成するために、本発明に係る静電容量型力学量検出装置は、固定電極と、検出対象となる力学量に応答して変位する可動電極とが微小な間隔をおいて対向した可変容量素子を含む第1微分回路に対して発振回路から所定のパルス信号を印加し、その微分応答信号を検出回路にて処理することで前記可変容量素子の静電容量の変化を検出するように構成した静電容量型力学量検出装置において、前記可変容量素子に自己診断用の直流バイアス電圧を印加するための入力端子を設け、前記検出回路は、前記入力端子を介して前記直流バイアス電圧を適時に印加することで前記固定電極と前記可動電極の間に静電引力による機械的バイアスを与え、その直流バイアス電圧による前記可変容量素子の静 To achieve the above object SUMMARY OF THE INVENTION, capacitive dynamic quantity detecting apparatus according to the present invention, the movable electrode is displaced in response a fixed electrode, the physical quantity to be detected the variable capacity element by preparative applies a predetermined pulse signal from the oscillation circuit to the first differentiating circuit including a variable capacitance element facing at a small distance, and processes the differential response signal by the detecting circuit in the electrostatic capacitance type physical quantity detection device configured to detect a change in capacitance, an input terminal for applying a DC bias voltage for self-diagnosis to the variable capacitance element is provided, wherein the detection circuit, It provides mechanical bias due to electrostatic attraction between the fixed electrode and the movable electrode by applying in a timely manner the DC bias voltage through the input terminal, the static of the variable capacitor according to the DC bias voltage 容量変化を検出する機能を有し、かつ、前記検出回路は前記第1微分回路の出力に含まれる前記直流バイアス成分を除くための第2微分回路を含むように構成した(請求項1)。 It has a function of detecting a change in capacitance, and the detection circuit is configured to include a second differential circuit for removing the DC bias component included in the output of the first differentiator circuit (claim 1).

【0008】そして、各回路のより具体的な構成の一例としては、発振回路は矩形波のパルス信号を出力するもので、前記第1微分回路は前記可変容量素子と抵抗とが直列接続されることにより構成され、前記可変容量素子の一端が前記発振回路の出力端に接続され、前記可変容量素子と前記抵抗の接続点が前記検出回路の入力端に接続され、前記抵抗の他端が前記直流バイアス電圧の入力端子とし、前記検出回路は、入力側に前記第2微分回路を有するとともに、その第2微分回路の出力と一定電圧とを比較する比較回路と、この比較回路の出力を平均化して前記可変容量素子の静電容量に比例したアナログ出力を発生するための平滑回路とを含むように構成することができる(請求項2)。 [0008] Then, as an example of a specific configuration of each circuit, the oscillation circuit outputs a pulse signal of a rectangular wave, the first differentiating circuit and the resistor and the variable capacitance element is connected in series is constituted by said one end of the variable capacitance element is connected to the output terminal of the oscillation circuit, the connection point of the variable capacitance element and said resistor is connected to an input terminal of the detection circuit, the other end of the resistor is the an input terminal of the DC bias voltage, said detection circuit, an average and having a second differentiating circuit on the input side, a comparator circuit for comparing the output with a constant voltage of the second differentiating circuit, the output of the comparator circuit It turned into and can be configured to include a smoothing circuit for generating an analog output proportional to the capacitance of the variable capacitance element (claim 2). もちろんこの構成に限られるものではない。 It not of course limited to this configuration.

【0009】本発明によれば、入力端子を介して通常の力学量測定に使用する可動電極と固定電極間に直流バイアス電圧を印可する。 According to the present invention, applying a DC bias voltage between the movable electrode and the fixed electrode used through the input terminal to the normal mechanical quantity measurement. すると、その直流バイアス電圧に応じて発生する静電引力により、可動電極が固定電極に引き寄せられる。 Then, the electrostatic attractive force generated in accordance with the DC bias voltage, the movable electrode is attracted to the fixed electrode. これにともない電極間のギャップが変動するので電極間に発生する静電容量も変化する。 Gap between the electrodes due to electrostatic capacitance generated between the electrodes also changes because the fluctuations.

【0010】但し、本発明では、可変容量素子の静電容量の変化を検出するに際し、その可変容量素子を含む第1微分回路に対して発振回路から所定のパルス信号を印加し、その微分応答信号を検出回路にて処理することに可変容量素子の静電容量を検出するため、上記したように直流バイアス電圧を印可すると、その直流バイアス電圧分だけ第1微分回路の出力がシフトすることになり、 [0010] However, in the present invention, upon detecting a change in capacitance of the variable capacitance element, applying a predetermined pulse signal from the oscillation circuit to the first differentiating circuit including the variable capacitance element, the differential response for detecting the capacitance of the variable capacitance element to process the signals by the detection circuit, when applying a DC bias voltage as described above, that the output of the first differential circuit only its DC bias voltage component is shifted now,
そのままではギャップの変化に伴う静電容量の変化分のみを抽出して検出回路で検出することができない。 As such can not be detected by the detection circuit to extract only the change of the electrostatic capacitance caused by the change in the gap.

【0011】そこで、第2微分回路を設けたため、上記直流バイアス電圧に基づくシフトは第2微分回路でキャンセルできるので、検出回路の出力は、静電引力に基づくギャップの変化に相当する信号となる。 [0011] Therefore, due to the provision of the second differential circuit, the shift based on the DC bias voltage can be canceled by the second differentiating circuit, the output of the detection circuit is a signal corresponding to the change of the gap based on the electrostatic attraction . よって、直流バイアス電圧を印可した場合に、所定の出力が出ているか否かにより故障の有無を診断することができる。 Therefore, when applying a DC bias voltage, it is possible to diagnose the presence or absence of a failure based on whether a predetermined output is out. そして、本発明では、従来のように自己診断用の電極が不要となるので、センサ構造・電極パターンが簡単かつ小型化することができ、しかも、検出回路も通常の測定時と自己診断時で同一のものを用いることができるので、センサ自体さらには装置全体の小型化が図れる。 In the present invention, since the conventional electrode for self diagnosis so becomes unnecessary, the sensor structures and the electrode patterns are simple and can be miniaturized, moreover, the detection circuit in the normal measurement and the time of self-diagnosis it is possible to use the same ones, the sensor itself more can be miniaturized the entire apparatus.

【0012】そして、前記入力端子に所定の直流バイアス電圧を印加する回路系をさらに備えるとよい(請求項3)。 [0012] Then, it may further comprise a circuit system for applying a predetermined DC bias voltage to said input terminal (claim 3). これにより、装置自体で自己診断用の電圧を生成することができる。 Thus, it is possible to generate a voltage for self-diagnosis apparatus itself.

【0013】また、前記回路系は、定電圧を発生する電圧発生手段と、前記入力端子に対し前記電圧発生手段の出力とアースとを択一的に切り替えて接続する切り替え手段とを備えて構成することができる(請求項4)。 Further, the circuit system is configured to include a voltage generating means for generating a constant voltage, and a switching means for connecting alternatively switched between output and ground of said voltage generating means to the input terminal it can be (claim 4). この請求項に記載の発明は、第1〜第3の実施の形態により実現されている。 The invention described in claim is implemented by the first to third embodiments.

【0014】さらに、前記回路系は、コンパレータを含み、そのコンパレータの出力を前記入力端子に与えるようにするとともに、前記コンパレータへの入力によって前記入力端子に与える直流バイアス電圧を切り替えるように構成してもよい(請求項5)。 Furthermore, the circuitry includes a comparator, as well as to provide an output of the comparator to the input terminal, and configured to switch a DC bias voltage to be applied to the input terminal by the input to the comparator which may (claim 5). この請求項に記載の発明は、第3の実施の形態により実現されている。 The invention described in claim is implemented by the third embodiment. そして、コンパレータを用いることにより、コンパレータに対する入力電圧(制御信号)の電圧値が変動しても、入力端子へ与える直流バイアス電圧は一定となるので、精度のよい診断が行える。 Then, by using a comparator, it is varied voltage value of the input to the comparator voltage (control signal), the DC bias voltage applied to the input terminal so constant, enabling accurate diagnosis.

【0015】一方、前記回路系は、前記直流バイアス電圧をステップ的に繰り返し変化させた電圧を生成し出力するものとしてもよい(請求項6)。 Meanwhile, the circuit system may be as for generating and outputting a voltage obtained repeatedly changed stepwise the DC bias voltage (claim 6). そして、具体的には例えば前記回路系は、矩形波を出力する自己診断用発振回路を含み、その矩形波に同期して前記入力端子に与える直流バイアス電圧を変化させることによって実現できる(請求項7)。 And, specifically, for example the circuit system includes a self-diagnosis oscillation circuit for outputting a rectangular wave, it can be achieved by changing the DC bias voltage to be applied to the input terminal in synchronism with the square wave (claim 7). これらの請求項に記載の発明は、第4〜第7の実施の形態により実現されている。 The invention described in these claims is implemented by the fourth to seventh embodiments. そして、 And,
このように直流バイアス電圧をステップ的に繰り返し変化させると、装置の出力も可変容量素子が正常であればその変化に同期して変化する。 When the DC bias voltage stepwise repetitively changes the like, the output of the device is also variable capacitance element is varied in synchronization with the change, if successful. よって、正常に動作しているか否かの判断がより簡単かつ確実に行うことができる。 Therefore, it is possible to normally operate to have determined whether performed more easily and reliably.

【0016】 [0016]

【発明の実施の形態】図1は、本発明による静電容量型力学量検出装置における可変容量素子の構造例を示している。 Figure 1 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION illustrates a structure example of a variable capacitance element in the capacitance type physical quantity detecting apparatus according to the present invention. 図示の例では、加速度センサの概略図を示しており、固定基板1と半導体基板2とを接合する。 In the illustrated example, it shows a schematic view of an acceleration sensor, bonding the fixed substrate 1 and the semiconductor substrate 2. そして、 And,
固定基板1の接合側表面には固定電極1aを設ける。 The provision of fixed electrode 1a to the joint surface of the fixed substrate 1. また、半導体基板2は、フレーム2bの内側に可動電極2 Also, the semiconductor substrate 2, the movable electrode 2 on the inner side of the frame 2b
aを配置し、この可動電極2aは、梁部2cを介して片持ち状にフレーム2bに弾性支持させている。 Place a, the movable electrode 2a is elastically supported in cantilever to the frame 2b via the beam portion 2c. 両電極1 Both electrodes 1
a,2a間には、所定のギャップが形成されており、そのギャップに応じた静電容量が発生している。 a, is between 2a, predetermined gap are formed, the electrostatic capacitance is generated in accordance with the gap. そして、 And,
検出対象となる力学量(この場合には加速度)に応答して梁部2bが撓んで可動電極2aが変位することで、両電極1a,2a間の静電容量が変化する。 Physical quantity to be detected by the movable electrode 2a is bent beam portions 2b in response to the (acceleration in this case) is displaced, the electrodes 1a, the capacitance between 2a changes. そして、この加速度センサが以下に示す回路において可変容量素子4 Then, the variable capacitance element 4 in the circuit shown the acceleration sensor is below
として機能する。 To function as.

【0017】図2は、本発明の静電容量型力学量検出装置の回路構成の第1の実施の形態を示している。 [0017] Figure 2 shows a first embodiment of a circuit configuration of a capacitive dynamic quantity detecting apparatus of the present invention. 同図に示すように、この実施の形態においては、可変容量素子4と抵抗5とが直列接続されて前記微分回路が構成されており、可変容量素子4の一端が発振回路6の出力端に接続され、可変容量素子4と抵抗5の接続点が検出回路8の入力端に接続され、抵抗5の他端が前記直流バイアス電圧の入力端子7となっている。 As shown in the figure, in this embodiment, a variable capacitance element 4 and the resistor 5 is constituted that the differentiating circuit is connected in series, one end of the variable capacitance element 4 to the output terminal of the oscillation circuit 6 connected, the connection point of the variable capacitance element 4 and the resistor 5 is connected to the input terminal of the detection circuit 8, the other end of the resistor 5 serves as an input terminal 7 of the DC bias voltage. 発振回路6は、矩形波のパルス信号を出力するようにしている。 Oscillation circuit 6 to output a pulse signal of a rectangular wave.

【0018】前記検出回路8は、微分回路(可変容量素子4と抵抗5)の出力に含まれる直流バイアス成分を除くための第2微分回路8aと、この第2微分回路8aの出力と一定電圧とを比較する比較回路8bと、この比較回路8bの出力を平均化して可変容量素子4の静電容量に比例したアナログ出力を発生するための平滑回路8c [0018] The detection circuit 8, a differentiating circuit and a second differentiating circuit 8a for removing a DC bias component included in the output of the (variable capacitance element 4 and the resistor 5), the output constant voltage of the second differentiating circuit 8a comparator circuit 8b and smoothing circuit 8c for generating an analog output the output was by averaging in proportion to the capacitance of the variable capacitance element 4 of the comparator circuit 8b for comparing the bets
とを含んでいる。 It includes the door. なお、第2微分回路8aの時定数は可変容量素子4と抵抗5からなる第1微分回路の時定数の10 3以上に設定している。 Incidentally, the time constant of the second differentiating circuit 8a is set at 10 3 or more time constants of the first differentiating circuit consisting of the variable capacitance element 4 and the resistor 5. 但し、余りおおきすぎると応答性が低下するので、10 3程度とするのが好ましい。 However, since it decreased responsiveness and too large, preferably about 10 3.

【0019】自己診断用の直流バイアス電圧の入力端子7は、スイッチ9を介して、接地されるか、一定の直流バイアス電圧Vbが印加される。 The input terminal 7 of a DC bias voltage for self-diagnosis, through the switch 9, or is grounded, a constant DC bias voltage Vb is applied. スイッチ9は、この静電容量型力学量検出装置を利用する応用機器のプロセッサによって切り替え制御される。 Switch 9 is switched controlled by a processor in the application equipment to take advantage of this capacitive dynamic quantity detecting device. 通常の測定モードでは入力端子7は接地され、自己診断モードでは入力端子7 In the normal measurement mode of the input terminal 7 is grounded, in the self-diagnostic mode input terminal 7
に直流バイアス電圧Vbが印加される。 DC bias voltage Vb is applied to.

【0020】以上のように構成された静電容量型力学量検出装置の動作波形を図3と図4に示している。 [0020] The operation waveform of the configured capacitive physical quantity detection device as described above is shown in Figure 3 and Figure 4. 図3は通常の測定モードであり、入力端子7は接地されている。 Figure 3 is the normal measurement mode, the input terminal 7 is grounded. このモードでは、発振回路6から出力される図3 In this mode, 3 outputted from the oscillation circuit 6
(A)のパルス信号の電圧がそのまま可変容量素子4に印加される。 Voltage of the pulse signal (A) is applied directly to the variable capacitance element 4. 可変容量素子4と抵抗5の接続点からは図3(B)に示す微分応答波形が取り出される。 From a connection point between the variable capacitance element 4 and the resistor 5 is a differential response waveform shown in FIG. 3 (B) is taken out. この微分応答波形の信号が第2微分回路8aを介して比較回路8 The comparison signal of the differential response waveform via a second differentiator circuit 8a circuit 8
bに入力され、所定のしきい値電圧Vthでレベル弁別され、図3(C)に示すように、可変容量素子4の静電容量を反映したパルス幅の方形波信号が比較回路8bから出力される。 Is input to b, is level-discriminated at a predetermined threshold voltage Vth, as shown in FIG. 3 (C), the output from the square wave signal comparison circuit 8b having a pulse width reflecting the capacitance of the variable capacitance element 4 It is. この方形波信号が平滑回路8cで平滑され、可変容量素子4の静電容量に比例したアナログ電圧信号が平滑回路8cから出力される。 This square wave signal is smoothed by the smoothing circuit 8c, an analog voltage signal proportional to the electrostatic capacitance of the variable capacitance element 4 is outputted from the smoothing circuit 8c.

【0021】自己診断モードではスイッチ9が切り替えられ、入力端子7に直流バイアス電圧Vbが印加される。 The switch 9 in the self-diagnosis mode is switched, a DC bias voltage Vb is applied to the input terminal 7. これにより、可変容量素子4には発振回路6からのパルス信号に直流バイアス電圧Vbが重畳されて印加される。 Thus, the variable capacitance element 4 is applied with the superimposed DC bias voltage Vb to the pulse signal from the oscillation circuit 6. この直流バイアス電圧Vbが印加されることで、 By the DC bias voltage Vb is applied,
可変容量素子4の固定電極1aと可動電極2aの間に静電引力による機械的バイアスが与えられることになる。 So that the mechanical bias is provided by an electrostatic attraction between the fixed electrode 1a and the movable electrode 2a of the variable capacitance element 4.
そして、そのバイアスによる可変容量素子4の静電容量変化を検出回路8にて検出し、正常か否かを診断する。 Then, to detect the change in capacitance of the variable capacitance element 4 due to the bias by the detecting circuit 8, to diagnose whether normal or not.
この自己診断モードの動作波形を図4に示している。 The operation waveform of the self-diagnosis mode is shown in FIG.

【0022】同図に示すように、可変容量素子4に直流バイアス電圧Vbが印加されているので、可変容量素子4と抵抗5の中点から取り出される微分応答波形(B) As shown in the figure, since the DC bias voltage Vb to the variable capacitance element 4 is applied, the differential response waveform is taken out from the midpoint of the variable capacitance element 4 and the resistor 5 (B)
に直流バイアス成分が重畳されている。 DC bias component is superposed on. この直流バイアス成分は第2微分回路8aを通過することで除去され、 The DC bias component is removed by passing through the second differentiating circuit 8a,
比較回路8bには図4(C)に示す波形が入力される。 The comparator circuit 8b is a waveform shown in FIG. 4 (C) is input.
このモードでの平滑回路8cの出力を演算処理することで、可変容量素子4に加わった自己診断用のバイアスが可変容量素子4の出力に正しく反映しているか否かを判断することができる。 By processing the output of the smoothing circuit 8c in this mode, it is possible to bias for self-diagnosis applied to the variable capacitance element 4 determines whether or not correctly reflect the output of the variable capacitance element 4.

【0023】すなわち、図5(A)に示すように、あるタイミングt0でスイッチ9を切り替えることにより、 [0023] That is, as shown in FIG. 5 (A), by switching the switch 9 at a certain timing t0,
入力端子7の電圧は、自己診断時のように0から所定の電圧Vbにステップ的に上昇する。 Voltage of the input terminal 7 is stepwise increased from 0 to the time of self-diagnosis to a predetermined voltage Vb. 一方、センサ出力(回路出力)は、平滑回路8cにて平滑化されるため、 On the other hand, the sensor output (circuit output), because it is smoothed by the smoothing circuit 8c,
可変容量素子4の静電容量、つまり、固定電極1aと可動電極2aの電極間距離に応じた直流電圧が出力される。 The capacitance of the variable capacitance element 4, i.e., a DC voltage corresponding to the distance between the electrodes of the fixed electrode 1a and the movable electrode 2a is output. したがって、時刻t0よりも前(静電容量検出時: Therefore, before the time t0 (capacitance detection:
入力端子7の電圧=0)における加速度等の力学量がかかっていない時のセンサ出力が同図(B)のようになっているとすると、時刻t0以降は定電圧Vbが印加されて電極間距離が短くなるので、所定の電圧に上昇する。 When the sensor output when not applied dynamic quantity such as acceleration in the voltage = 0) of the input terminals 7 and are as shown in FIG. (B), after the time t0 by a constant voltage Vb is applied between the electrodes the distance is shortened, it rises to a predetermined voltage.
よって、このように出力電圧の変化の有無から正常か否かの診断が行える。 Therefore, it can be performed correctly whether the diagnosis from the presence or absence of change in the output voltage.

【0024】また、このように入力端子7に与える電圧には、上記した実施の形態に示すものに限られず、各種の形態をとることができ、また、係る電圧を印可するための回路もさまざまな形態をとることができる。 Further, the voltage applied to the input terminal 7 Thus, not limited to that shown in the embodiment described above, it can take various forms, also various well circuit for applying a voltage according it is possible to take such form. 一例を示すと以下のようになる。 It is as follows an example.

【0025】まず、図6に示す第2の実施の形態では、 Firstly, in the second embodiment shown in FIG. 6,
入力端子7に電源等の電圧発生装置10を接続している。 Connecting the voltage generator 10 of the power supply or the like to the input terminal 7. また、検出回路8の出力に増幅調整回路11を設けているが、これは、出力レベルを調整するもので、特になくてもよく、また、上記した第1の実施の形態において適用してもよい。 Further, it is provided with the amplification adjustment circuit 11 to the output of the detection circuit 8, which is to adjust the output level may be no particular also be applied in the first embodiment described above good. そして、使用に際しては、電圧発生装置10の電圧がアースレベルの時は通常の加速度センサとして動作し、自己診断時は電圧発生装置10が一定の電圧を出力することにより電圧により自己診断が行われ、センサ回路はある一定の加速度相当の電圧を出力する。 Then, in use operates as a normal acceleration sensor when the voltage of the voltage generator 10 is ground level, when the self-diagnosis self-diagnosis is performed by a voltage by the voltage generator 10 outputs a constant voltage the sensor circuit outputs a constant acceleration voltage corresponding with.

【0026】なお、第1の実施の形態ではスイッチ9による切り替えにより入力端子7を直接アースに落としているが、本実施の形態では電圧発生装置10内で出力0 [0026] In the first embodiment are dropped to the ground input terminal 7 by switching by the switch 9 directly, in this embodiment the output voltage generator 10. 0
の状態を生成する点で相違するものの、基本的な動作原理は、第1の実施の形態と同様である。 Although with the difference that generates a state, the basic operating principle is the same as in the first embodiment.

【0027】図7に示す第3の実施の形態では、入力端子7に、コンパレータ17の出力端子を接続し、そのコンパレータ17の反転入力端子をアースに落とすとともに、非反転入力端子15に所定の入力電圧Vinを入力するようにしている。 [0027] In the third embodiment shown in FIG. 7, the input terminal 7, connected to the output terminal of the comparator 17, together with dropping the inverting input terminal of the comparator 17 to ground, the predetermined non-inverting input terminal 15 It is that you enter the input voltage Vin.

【0028】係る構成をとると、図8(A)に示すように入力電圧Vinが変動した場合であっても、時刻t0 [0028] Taking the configuration of, even when the input voltage Vin as shown in FIG. 8 (A) varies, the time t0
以降のコンパレータ14の出力は、Hで一定になるので、センサ出力電圧は同図(B)に示すように、動作する。 Subsequent outputs of the comparator 14, since the constant H, the sensor output voltage as shown in FIG. (B), operates.

【0029】また、上記した各実施の形態では、いずれも自己診断時に入力端子7に印加する電圧は直流バイアスであったが、本発明はこれに限ることはなく、例えば図9に示す第4の実施の形態のように発振回路16を接続することにより、図10(A)に示すような矩形波(直流バイアス電圧をステップ的に繰り返し変化させたもの)を入力するようにしてもよい。 Further, in the embodiments described above, both the voltage applied to the input terminal 7 during the self-diagnosis is a was a DC bias, the present invention is not limited to this, for example, 4 shown in FIG. 9 by connecting the oscillation circuit 16 as in the embodiment, it may be input square wave as shown in FIG. 10 (a) to (DC bias voltage that stepwise so repeatedly changed). そのようにすると、センサ出力電圧は同図(B)に示すように、発振回路16の出力に同期して矩形波が出力されるので、故障の有無の診断精度をより高めることができる。 In so doing, the sensor output voltage as shown in FIG. (B), since the rectangular wave is outputted in synchronization with the output of the oscillation circuit 16, it is possible to further improve the diagnostic accuracy of the presence or absence of a fault.

【0030】そして、実際の動作は、発振回路16の電源端子17をアースレベルにすると、発振回路16は動作せず通常の加速度センサとして動作する。 [0030] Then, the actual operation, when the power supply terminal 17 of the oscillation circuit 16 to the ground level, the oscillation circuit 16 operates as a normal acceleration sensor does not operate. 電源端子1 Power supply terminal 1
7に所定の電圧を加えると発振回路16が動作して自己診断電圧として入力端子7に矩形波(パルス波形)が入力されることになる。 7 in the oscillation circuit 16 applying a predetermined voltage to operate so that the square wave input terminal 7 as a self-diagnostic voltage (pulse waveform) is input.

【0031】また、図11に示す第5の実施の形態によっても入力端子7に矩形波を与えることができる。 Further, it is possible to provide a square wave input terminal 7 by the fifth embodiment shown in FIG. 11. つまり、静電容量検出回路8の自己診断電圧用の入力端子7 That is, the input terminal 7 for self-diagnosis voltage of the electrostatic capacitance detection circuit 8
にコンパレー夕18の出力を接続し、コンパレータ18 Connect the output of the comparator evening 18, the comparator 18
の反転入力端子に発振回路19を接続し、非反転入力端子20に自己診断信号を加えた構造としている。 Inverting connect an oscillation circuit 19 to the input terminal, and a non-inverting plus self-diagnosis signal to an input terminal 20 structure.

【0032】係る構成をとると、図12(A)に示すように、発振回路19は常時駆動して矩形波を出力し、コンパレータ18の反転入力端子への入力電圧V1が図示のようになっているとする。 [0032] Taking the configuration of, as shown in FIG. 12 (A), the oscillation circuit 19 outputs a rectangular wave driven constantly, the input voltage V1 to the inverting input terminal of the comparator 18 becomes as shown to have. すると、自己診断信号V2 Then, the self-diagnosis signal V2
が発振回路19の出力より低い電圧の場合は入力端子7 Input terminal 7 If is lower than the output of the oscillation circuit 19 a voltage
にはアースレベルの電圧が加わり通常の加速度センサとして動作する。 It operates as a normal acceleration sensor applied voltage ground level on. そして、自己診断信号V2が発振回路1 Then, the self-diagnosis signal V2 oscillation circuit 1
9のLOWレベルとHIGHレベルの中間のレベルになった場合は、コンパレータ18の出力は発振回路19の出力に同期して反転するため、入力端子7に矩形波が入力される。 In the event of a LOW level and HIGH level intermediate level of 9, the output of the comparator 18 for inverting in synchronization with the output of the oscillation circuit 19, a rectangular wave is input to the input terminal 7. よって、同図(B)に示すようにセンサ出力もパルスのタイミングにあわせて動作するので、故障の有無が判断できる。 Thus, since the operation in accordance with the timing of the sensor output is also pulsed, as shown in FIG. (B), the presence or absence of failure can be determined.

【0033】さらに同様の機能は、図13に示す第6の実施の形態によっても実現できる。 Furthermore similar functions can also be realized by the sixth embodiment shown in FIG. 13. つまり入力端子7に2チャンネルのアナログスイッチ22を接続し、自己診断電圧用の入力端子7にアースレベルの電圧と発振回路19の出力の2種類を切り替えて入力できる構成としている。 That connecting the analog switch 22 of the two channels to the input terminal 7, and the two types of possible input switching configuration of an output of the input terminal 7 to ground level voltage and the oscillation circuit 19 for self-diagnosis voltage. そして、アナログスイッチ22のコントロール端子23にOFF信号が入力された時は自己診断電圧用の入力端子7にはアースレベルの電圧が加わり通常の加速度センサとして動作する。 When the OFF signal to the control terminal 23 of the analog switch 22 is input to operate as normal acceleration sensor applied voltage ground level to the input terminal 7 for self-diagnosis voltage. 一方、アナログスイッチ22 On the other hand, the analog switch 22
のコントロール端子23にON信号が入力された時は、 When the ON signal is input to the control terminal 23,
接点が発振回路19側に切り替わるので、入力端子7には矩形波が入力される。 Since the contact is switched to the oscillation circuit 19 side, a rectangular wave is inputted to the input terminal 7. よって、上記した第5の実施の形態における動作を示す図12と同様に動作し、自己診断を精度よく行える。 Therefore, works similarly to FIG. 12 showing the operation of the fifth embodiment described above, it enables better self-diagnosis accuracy.

【0034】さらに図14に示す第7の実施の形態によっても、自己診断時に入力端子7に矩形波を与えることができる。 Furthermore by the seventh embodiment shown in FIG. 14, it is possible to provide a square wave to the input terminal 7 during the self-diagnosis. つまり、検出回路8の自己診断電圧用の入力端子7に、2チャンネルのアナログスイッチ22を接続し、そのアナログスイッチ22のコントロール端子に発振回路25を接続する。 That is, the input terminal 7 for self-diagnosis voltage detection circuit 8 is connected a two-channel analog switch 22, connects the oscillator 25 to the control terminal of the analog switch 22. そして、アナログスイッチ22 The analog switch 22
の2つの接点は、それぞれアースと定電圧24に接続されている。 Two contacts are connected to ground and the constant voltage 24, respectively.

【0035】これにより、発振回路25が動作すると、 [0035] Thus, when the oscillation circuit 25 is operated,
自己診断電圧用の入力端子7にアースレベルの電圧と定電圧24の2種類の電圧が一定の周期で切り替えて入力されるようになる。 So two voltages ground level voltage and a constant voltage 24 to the input terminal 7 for self-diagnosis voltage is input to switch at a constant cycle. よって、発振回路25の電源端子2 Therefore, the oscillation circuit 25 power supply terminal 2
6をアースレベルにすると、発振回路25は動作せず入力端子7はアースレベルに接続され通常の加速度センサとして動作する。 When the 6 to ground level, the oscillation circuit 25 is an input terminal 7 does not operate to operate as a normal acceleration sensor is connected to the ground level. そして、電源端子26に所定の電圧を加えると発振回路25が動作してアナログスイッチ22 Then, the analog switch 22 and the oscillation circuit 25 applying a predetermined voltage to the power supply terminal 26 is operated
のコントロール端子に矩形波が入力され、アースレベルと定電圧とを交互に切り替える。 Rectangular wave is inputted to the control terminal, switching between ground level and constant voltage alternately. これにより、図15に示すように、センサ出力も発振波形のタイミングにあわせて動作するので、故障の有無を簡単に診断できる。 Thus, as shown in FIG. 15, the sensor output also operates in accordance with the timing of the oscillation waveform, can easily diagnose the presence or absence of a fault.

【0036】なお、上記した各実施の形態では、いずれも図1に示すように使用する可変容量素子(静電容量型センサ)は、可動電極と固定電極が片側にのみ対向しているタイプのものについて説明したが、例えば図1中二点鎖線で示すように、可動電極2aの両側に固定電極1 [0036] In each embodiment described above, the variable capacitance elements used both as shown in FIG. 1 (capacitive sensor), the type in which the movable electrode and the fixed electrode are opposed to only the one side has been described ones, for example, as shown by the two-dot chain line in FIG. 1, the fixed electrode 1 on both sides of the movable electrode 2a
aを設け、それら各固定電極1aと可動電極2aの間に発生する静電容量を差動的に検出することにより、温度変化などの外部環境の変化を相殺し精度のよい力学量の検出を行うことができるタイプのものもある。 Provided a, by detecting them electrostatic capacitance generated between the stationary electrode 1a and the movable electrode 2a differentially, the offset changes in the external environment detection of good physical quantity accuracy of such temperature change also of the type that can be carried out. 係るタイプのものに本発明を適用する場合には、単純に各電極間、或いは任意の電極間に上記した各実施の形態の回路を装着してもよい。 When applying the present invention of the type of those pertaining, inter simply the electrodes, or the circuits of the embodiments described above may be mounted between any of the electrodes. さらには、この検出回路を差動電極の両方に設け、別々のタイミングで電圧を印可するようにしてもよい。 Furthermore, it provided the detection circuit in both differential electrodes may be applying a voltage at different timings. そのように構成すると、可変容量素子(センサ)をプラス出力とマイナス出力の両側に動作させることができ、より確実な診断を行うことができる。 So configured, the variable capacitance element (sensor) can be operated on both sides of the positive output and negative output, it is possible to perform more reliable diagnosis.

【0037】 [0037]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によれば、自己診断を行うに際し入力端子から直流バイアス電圧を入力し測定用の可動電極と固定電極間に印加すると、その電圧に応じた静電引力が発生し、可動電極が固定電極側に引き寄せられて静電容量が変化する。 As described [Effect Invention above in detail, according to the present invention, when applied between the movable electrode and the fixed electrode for measuring inputs a DC bias voltage from an input terminal when performing the self-diagnosis, depending on the voltage electrostatic attraction is generated, the movable electrode attracted by the electrostatic capacitance is changed to the fixed electrode side. この場合に、パルス信号を与えられた可変容量素子を含む微分回路の出力は、上記直流バイアス電圧分だけシフトしたものとなるが、本発明では第2微分回路を設けたことにより、係るシフト分をキャンセルし、可動電極の変位に基づく静電容量の変化分のみを抽出し、出力することができる。 In this case, by the output of the differentiation circuit including a variable capacitance element that has been given a pulse signal is becomes shifted by the DC bias voltage component, in the present invention provided with the second differentiating circuit, a shift amount of was canceled, and extracts only the change of the electrostatic capacitance based on the displacement of the movable electrode, it is possible to output. そして、第2微分回路は通常の測定時においても何ら影響を与えない。 The second differentiating circuit no effect even at the time of normal measurement. よって、可変容量素子の構造を複雑化することなくバイアス付与式の自己診断を簡単に実施できる。 Therefore, easily implemented self-diagnosis biasing formula without complicating the structure of the variable capacitance element.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明に用いられる可変容量素子の位置形態を示す構造図である。 1 is a structural diagram showing a positional configuration of the variable capacitor used in the present invention.

【図2】本発明の第1の実施の形態を示す静電容量型力学量検出装置の回路構成図である。 2 is a circuit diagram of a capacitive dynamic quantity detecting device according to a first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1の実施の形態の測定モードの動作波形図である。 3 is an operation waveform diagram of a measuring mode according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第1の実施の形態の自己診断モードの動作波形図である。 Is an operation waveform diagram of the self-diagnosis mode of the first embodiment of the present invention; FIG.

【図5】本発明の第1の実施の形態の動作を説明する図である。 5 is a diagram for explaining the operation of the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第2の実施の形態を示す静電容量型力学量検出装置の回路構成図である。 6 is a circuit diagram of a capacitive dynamic quantity detecting apparatus according to the second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第3の実施の形態を示す静電容量型力学量検出装置の回路構成図である。 7 is a circuit diagram of a capacitive dynamic quantity detecting system according to a third embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第3の実施の形態の動作を説明する図である。 8 is a diagram for explaining the operation of the third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第4の実施の形態を示す静電容量型力学量検出装置の回路構成図である。 9 is a circuit diagram of a capacitive dynamic quantity detecting system according to a fourth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第4の実施の形態の動作を説明する図である。 10 is a diagram for explaining the operation of the fourth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第5の実施の形態を示す静電容量型力学量検出装置の回路構成図である。 11 is a circuit diagram of a capacitive dynamic quantity detecting system according to a fifth embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第5の実施の形態の動作を説明する図である。 12 is a diagram for explaining the operation of the fifth embodiment of the present invention.

【図13】本発明の第6の実施の形態を示す静電容量型力学量検出装置の回路構成図である。 13 is a sixth circuit configuration diagram of a capacitive dynamic quantity detecting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第7の実施の形態を示す静電容量型力学量検出装置の回路構成図である。 14 is a seventh circuit diagram of a capacitive dynamic quantity detecting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図15】本発明の第7の実施の形態の動作を説明する図である。 15 is a seventh diagram illustrating the operation of the embodiment of the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1a 固定電極 2a 可動電極 4 可変容量素子 5 抵抗 6 発振回路 7 自己診断電圧用の入力端子 8 検出回路 8a 第2微分回路 8b 比較回路 8c 平滑回路 9 スイッチ 1a fixed electrode 2a movable electrode 4 variable capacitance element 5 resistor 6 oscillating circuit 7 input terminal 8 detecting circuit for self-diagnosis voltage 8a second differentiating circuit 8b comparator circuit 8c smoothing circuit 9 switches

Claims (7)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 固定電極と、検出対象となる力学量に応答して変位する可動電極とが微小な間隔をおいて対向した可変容量素子を含む第1微分回路に対して発振回路から所定のパルス信号を印加し、その微分応答信号を検出回路にて処理することで前記可変容量素子の静電容量の変化を検出するように構成した静電容量型力学量検出装置において、 前記可変容量素子に自己診断用の直流バイアス電圧を印加するための入力端子を設け、 前記検出回路は、前記入力端子を介して前記直流バイアス電圧を適時に印加することで前記固定電極と前記可動電極の間に静電引力による機械的バイアスを与え、その直流バイアス電圧による前記可変容量素子の静電容量変化を検出する機能を有し、 かつ、前記検出回路は前記第1微分回路の出力に含まれる And 1. A fixed electrode, the detection subject to dynamic quantity a manner from the oscillation circuit a predetermined relative first differentiating circuit including a variable capacitance element and the movable electrode are opposed at a small interval of displacement response the pulse signal is applied, the capacitive dynamic quantity detecting device configured to detect a change in capacitance of the variable capacitance element by processing the differential response signal by the detection circuit, the variable capacitance element to provided an input terminal for applying a DC bias voltage for self-diagnosis, the detection circuit between the fixed electrode and the movable electrode by applying in a timely manner the DC bias voltage through the input terminal provides mechanical bias due to electrostatic attraction, it has the function of detecting a change in capacitance of the variable capacitor according to the DC bias voltage, and the detection circuit is included in the output of the first differentiating circuit 前記直流バイアス成分を除くための第2微分回路を含むことを特徴とする静電容量型力学量検出装置。 The capacitive dynamic quantity detecting device, characterized in that it comprises a second differentiating circuit for removing a DC bias component.
  2. 【請求項2】 発振回路は矩形波のパルス信号を出力するもので、 前記第1微分回路は前記可変容量素子と抵抗とが直列接続されることにより構成され、 前記可変容量素子の一端が前記発振回路の出力端に接続され、前記可変容量素子と前記抵抗の接続点が前記検出回路の入力端に接続され、前記抵抗の他端が前記直流バイアス電圧の入力端子とし、 前記検出回路は、入力側に前記第2微分回路を有するとともに、その第2微分回路の出力と一定電圧とを比較する比較回路と、この比較回路の出力を平均化して前記可変容量素子の静電容量に比例したアナログ出力を発生するための平滑回路とを含むように構成したことを特徴とする請求項1に記載の静電容量型力学量検出装置。 Wherein the oscillation circuit outputs a pulse signal of a rectangular wave, the first differentiating circuit is constituted by a resistor and the variable capacitance element are connected in series, one end of the variable capacitance element is the is connected to the output terminal of the oscillation circuit, the connection point of the variable capacitance element and said resistor is connected to an input terminal of the detection circuit, the other end of the resistance is an input terminal of the DC bias voltage, said detection circuit, and has a second differentiating circuit on the input side, a comparator circuit for comparing the output with a constant voltage of the second differentiating circuit, proportional to the capacitance of the variable capacitance element the output of the comparator circuit averages capacitive dynamic quantity detecting apparatus according to claim 1, characterized by being configured to include a smoothing circuit for generating an analog output.
  3. 【請求項3】 前記入力端子に所定の直流バイアス電圧を印加する回路系をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の静電容量型力学量検出装置。 3. A capacitive dynamic quantity detecting apparatus according to claim 1 or 2, further comprising a circuit system for applying a predetermined DC bias voltage to the input terminal.
  4. 【請求項4】 前記回路系は、定電圧を発生する電圧発生手段と、 前記入力端子に対し前記電圧発生手段の出力とアースとを択一的に切り替えて接続する切り替え手段とを備えたことを特徴とする請求項3に記載の静電容量型力学量検出装置。 Wherein said circuit system that includes a voltage generating means for generating a constant voltage, and a switching means for connecting alternatively switched between output and ground of said voltage generating means to the input terminal capacitive dynamic quantity detecting apparatus according to claim 3, characterized in.
  5. 【請求項5】 前記回路系は、コンパレータを含み、そのコンパレータの出力を前記入力端子に与えるようにするとともに、前記コンパレータへの入力によって前記入力端子に与える直流バイアス電圧を切り替えるように構成したことを特徴とする請求項3に記載の静電容量型力学量検出装置。 Wherein said circuit system includes a comparator, as well as to provide an output of the comparator to the input terminal, that is configured to switch a DC bias voltage to be applied to the input terminal by the input to the comparator capacitive dynamic quantity detecting apparatus according to claim 3, characterized in.
  6. 【請求項6】 前記回路系は、前記直流バイアス電圧をステップ的に繰り返し変化させた電圧を生成し出力するものである請求項3に記載の静電容量型力学量検出装置。 Wherein said circuit system, the DC bias voltage capacitive dynamic quantity detecting device according to claim 3 is intended for generating and outputting a voltage obtained repeatedly changed stepwise to.
  7. 【請求項7】 前記回路系は、矩形波を出力する自己診断用発振回路を含み、その矩形波に同期して前記入力端子に与える直流バイアス電圧を変化させるようにしたことを特徴とする請求項6に記載の静電容量型力学量検出装置。 Wherein said circuit system includes a self-diagnosis oscillation circuit for outputting a rectangular wave, and characterized in that so as to vary the DC bias voltage to be applied to the input terminal in synchronization with the rectangular wave claims capacitive dynamic quantity detecting apparatus according to claim 6.
JP7644598A 1998-03-11 1998-03-11 Electrostatic capacity type dynamic amount detecting device Withdrawn JPH11258074A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7644598A JPH11258074A (en) 1998-03-11 1998-03-11 Electrostatic capacity type dynamic amount detecting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7644598A JPH11258074A (en) 1998-03-11 1998-03-11 Electrostatic capacity type dynamic amount detecting device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11258074A true JPH11258074A (en) 1999-09-24

Family

ID=13605363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7644598A Withdrawn JPH11258074A (en) 1998-03-11 1998-03-11 Electrostatic capacity type dynamic amount detecting device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11258074A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7337669B2 (en) * 2003-10-03 2008-03-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Inertial sensor and combined sensor therewith
JP2009180638A (en) * 2008-01-31 2009-08-13 Denso Corp Physical quantity sensor
JP2011521225A (en) * 2008-05-13 2011-07-21 ブリュエル アンド クイェル サウンド アンド ヴァイブレイション メジャーメント アクティーゼルスカブ Full function test for in-situ testing of sensors and amplifiers
CN103245366A (en) * 2013-04-25 2013-08-14 南京航空航天大学 Vibration signal differentiating circuit
KR20130117817A (en) * 2010-11-22 2013-10-28 이턴 코포레이션 Pressure-sensing hose
JP2014521071A (en) * 2011-06-29 2014-08-25 インベンセンス,インク.Invensense,Inc. Hermetically sealed MEMS devices partially exposed to the environment with vertical integrated electronic circuits
JP2017534860A (en) * 2014-09-30 2017-11-24 ローズマウント インコーポレイテッド High temperature pressure sensing

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7337669B2 (en) * 2003-10-03 2008-03-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Inertial sensor and combined sensor therewith
JP2009180638A (en) * 2008-01-31 2009-08-13 Denso Corp Physical quantity sensor
JP2011521225A (en) * 2008-05-13 2011-07-21 ブリュエル アンド クイェル サウンド アンド ヴァイブレイション メジャーメント アクティーゼルスカブ Full function test for in-situ testing of sensors and amplifiers
KR20130117817A (en) * 2010-11-22 2013-10-28 이턴 코포레이션 Pressure-sensing hose
JP2013545104A (en) * 2010-11-22 2013-12-19 イートン コーポレーションEaton Corporation Pressure sensing hose
JP2014521071A (en) * 2011-06-29 2014-08-25 インベンセンス,インク.Invensense,Inc. Hermetically sealed MEMS devices partially exposed to the environment with vertical integrated electronic circuits
CN103245366A (en) * 2013-04-25 2013-08-14 南京航空航天大学 Vibration signal differentiating circuit
JP2017534860A (en) * 2014-09-30 2017-11-24 ローズマウント インコーポレイテッド High temperature pressure sensing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5977803A (en) Capacitance type sensor interface circuit
JP4075022B2 (en) Angular velocity sensor
JP4645013B2 (en) Acceleration sensor and composite sensor using the same
US5728936A (en) Rotary speed sensor
US5618989A (en) Acceleration sensor and measurement method
US6275326B1 (en) Control arrangement for microelectromechanical devices and systems
EP0975982B1 (en) Impedance detection apparatus and method
JP2007171171A (en) Detection circuit, interface circuit, electronic equipment, and reading method for differential capacitive sensor
US5511420A (en) Electric field attraction minimization circuit
EP1174871A1 (en) Apparatus for electrostatically sensing the position of an xy-stage through time-division multiplexing
US20030200803A1 (en) Pulse width modulation drive signal for a MEMS gyroscope
US5751154A (en) capacitive sensor interface circuit
US6148670A (en) Apparatus and method for multi-axis capacitive sensing
US20020135384A1 (en) Capacitive displacement sensor
JP3216955B2 (en) Capacitive sensor device
US20060273804A1 (en) Capacitive measuring sensor and associated ,measurement method
JP5045616B2 (en) Capacitive physical quantity detector
US4584885A (en) Capacitive detector for transducers
JP3339974B2 (en) Feedback control method and apparatus of an asymmetric differential pressure transducer
DE10046958B4 (en) Capacitive device for detecting a physical quantity
EP0715153A1 (en) Differential type capacitive sensor system
US6501282B1 (en) Highly sensitive capacitance comparison circuit
US5612494A (en) Capacitance-type electrostatic servo acceleration sensor
US5583290A (en) Micromechanical apparatus with limited actuation bandwidth
JPH102704A (en) Capacitance-type distance sensor especially for taking fingerprint

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20050607