JPH11194739A - Image display device and image forming device - Google Patents

Image display device and image forming device

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Publication number
JPH11194739A
JPH11194739A JP36922797A JP36922797A JPH11194739A JP H11194739 A JPH11194739 A JP H11194739A JP 36922797 A JP36922797 A JP 36922797A JP 36922797 A JP36922797 A JP 36922797A JP H11194739 A JPH11194739 A JP H11194739A
Authority
JP
Japan
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image
electron
definition
display device
image display
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP36922797A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yukio Masuda
幸男 増田
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH11194739A publication Critical patent/JPH11194739A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To display an image in a state optimal to the characteristic to each image by controlling a light emitting area rate to a unit area per one pixel in accordance with the characteristic content of the image to be displayed. SOLUTION: When an image signal is inputted to a precision calculation part 1-1, it calculates precision degree required for the image. Then a luminescent spot area rate control part 1-2 determines the degree of the area rate, based on the calculated precision degree. Moreover, a luminance correction part 1-3 corrects the noteworthy pixels inputted, based on the area rate. A drive circuit 1-4 controls to drive a display panel 1-5 so that the corrected attentinal pixel data are emitted, based on the area rate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、行列配置された原
色表示要素を用いて画像を表示する表示装置及び画像形
成装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display device and an image forming apparatus for displaying an image using primary color display elements arranged in a matrix.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、電子放出素子として熱陰極素
子と冷陰極素子の2種類が知られている。このうち冷陰
極素子では、たとえば表面伝導型放出素子や、電界放出
型素子(以下FE型と記す)や、金属/絶縁層/金属型
放出素子(以下MIM型と記す)、などが知られてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, two types of electron emitting devices, a hot cathode device and a cold cathode device, are known. Among these, among the cold cathode devices, for example, a surface conduction type emission device, a field emission type device (hereinafter referred to as FE type), a metal / insulating layer / metal type emission device (hereinafter referred to as MIM type), and the like are known. I have.

【0003】表面伝導型放出素子としては、たとえば、
M.I.Elinson,Radio E−ng.El
ectron Phys.,10,1290,(196
5)や、後述する他の例が知られている。
[0003] As a surface conduction type emission element, for example,
M. I. Elinson, Radio E-ng. El
electron Phys. , 10, 1290, (196
5) and other examples described later are known.

【0004】表面伝導型放出素子は、基板上に形成され
た小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことにより
電子放出が生ずる現象を利用するものである。この表面
伝導型放出素子としては、前記エリンソン等によるSn
O2 薄膜を用いたものの他に、Au薄膜によるもの
[G.Dittmer:”Thin Solid Fi
lms”,9,317(1972)]や、In2 O3 /
SnO2 薄膜によるもの[M.Hartwell an
d C.G.Fonstad:”IEEE Tran
s.ED Conf.”,519(1975)]や、カ
ーボン薄膜によるもの[荒木久 他:真空、第26巻、
第1号、22(1983)]等が報告されている。
The surface conduction electron-emitting device utilizes a phenomenon in which an electron is emitted when a current flows in a small-area thin film formed on a substrate in parallel with the film surface. As this surface conduction type emission element, Sn described by Elinson et al.
In addition to those using an O2 thin film, those using an Au thin film [G. Dittmer: "Thin Solid Fi
lms ", 9,317 (1972)] and In2O3 /
According to SnO2 thin film [M. Hartwell an
d C.I. G. FIG. Fonstad: "IEEE Tran
s. ED Conf. , 519 (1975)] and those using carbon thin films [Hisashi Araki et al .: Vacuum, Vol. 26,
No. 1, 22 (1983)].

【0005】これらの表面伝導型放出素子の素子構成の
典型的な例として、図28に前述のM.Hartwel
lらによる素子の平面図を示す。同図において、300
1は基板で、3004はスパッタで形成された金属酸化
物よりなる導電性薄膜である。導電性薄膜3004は図
示のようにH字形の平面形状に形成されている。該導電
性薄膜3004に後述の通電フォーミングと呼ばれる通
電処理を施すことにより、電子放出部3005が形成さ
れる。図中の間隔Lは、0.5〜1[mm],Wは、
0.1[mm]で設定されている。尚、図示の便宜か
ら、電子放出部3005は導電性薄膜3004の中央に
矩形の形状で示したが、これは模式的なものであり、実
際の電子放出部の位置や形状を忠実に表現しているわけ
ではない。
[0005] As a typical example of the element structure of these surface conduction electron-emitting devices, FIG. Hartwel
1 shows a plan view of an element according to the present invention. In FIG.
Reference numeral 1 denotes a substrate, and reference numeral 3004 denotes a conductive thin film made of a metal oxide formed by sputtering. The conductive thin film 3004 is formed in an H-shaped planar shape as shown. An electron emission portion 3005 is formed by performing an energization process called energization forming described later on the conductive thin film 3004. The interval L in the figure is 0.5 to 1 [mm], and W is
It is set at 0.1 [mm]. In addition, for convenience of illustration, the electron emitting portion 3005 is shown in a rectangular shape at the center of the conductive thin film 3004, but this is a schematic one, and the position and shape of the actual electron emitting portion are faithfully represented. Not necessarily.

【0006】M.Hartwellらによる素子をはじ
めとして上述の表面伝導型放出素子においては、電子放
出を行う前に導電性薄膜3004に通電フォーミングと
呼ばれる通電処理を施すことにより電子放出部3005
を形成するのが一般的であった。すなわち、通電フォー
ミングとは、通電によって電子放出部を形成するもので
あり、例えば前記導電性薄膜3004の両端に一定の直
流電圧、もしくは、例えば1V/分程度の非常にゆっく
りとしたレートで昇圧する直流電圧を印加して通電し、
導電性薄膜3004を局所的に破壊もしくは変形もしく
は変質せしめ、電気的に高抵抗な状態の電子放出部30
05を形成することである。尚、局所的に破壊もしくは
変形もしくは変質した導電性薄膜3004の一部には、
亀裂が発生する。前記通電フォーミング後に導電性薄膜
3004に適宜の電圧を印加した場合には、前記亀裂付
近において電子放出が行われる。
[0006] M. In the above-described surface conduction electron-emitting device including the device by Hartwell et al., The electron-emitting portion 3005 is formed by subjecting the conductive thin film 3004 to an energization process called energization forming before electron emission.
It was common to form That is, the energization forming is to form an electron emission portion by energization. For example, a constant DC voltage is applied to both ends of the conductive thin film 3004 or a voltage is increased at a very slow rate of, for example, about 1 V / min. Energize by applying DC voltage,
The electron emitting portion 30 in a state where the conductive thin film 3004 is locally destroyed, deformed or deteriorated, and is in an electrically high resistance state.
05 is formed. Note that a part of the conductive thin film 3004 that has been locally broken, deformed, or altered includes
Cracks occur. When an appropriate voltage is applied to the conductive thin film 3004 after the energization forming, electron emission is performed in the vicinity of the crack.

【0007】また、FE型の例は、たとえば、W.P.
Dyke&W.W.Dolan,”Fie−ld em
ission”,Advance in Electr
onPhysics,8,89(1956)や、あるい
は、 C.A.Spindt,”Physicalpr
operties of thin−film fie
ld emissioncathodes with
molybdenium cones”,J.App
l.Phys.,47,5248(1976)などが知
られている。
[0007] Examples of the FE type are described in, for example, W.S. P.
Dyke & W. W. Dolan, "Fie-ld em
issue ", Advance in Electr
on Physics, 8, 89 (1956), or C.I. A. Spindt, "Physicalpr
operations of thin-film figure
ld emissioncathodes with
molybdenium cones ", J. App.
l. Phys. , 47, 5248 (1976).

【0008】FE型の素子構成の典型的な例として、図
29に前述のC.A.Spindtらによる素子の断面
図を示す。同図において、3010は基板で、3011
は導電材料よりなるエミッタ配線、3012はエミッタ
コーン、3013は絶縁層、3014はゲート電極であ
る。本素子は、エミッタコーン3012とゲート電極3
014の間に適宜の電圧を印加することにより、エミッ
タコーン3012の先端部より電界放出を起こさせるも
のである。
As a typical example of the FE type device configuration, FIG. A. 1 shows a cross-sectional view of a device by Spindt et al. In the figure, reference numeral 3010 denotes a substrate;
Is an emitter wiring made of a conductive material, 3012 is an emitter cone, 3013 is an insulating layer, and 3014 is a gate electrode. This device comprises an emitter cone 3012 and a gate electrode 3
By applying an appropriate voltage during 014, field emission is caused from the tip of the emitter cone 3012.

【0009】また、FE型の他の素子構成として、図2
9のような積層構造ではなく、基板上に基板平面とほぼ
平行にエミッタとゲート電極を配置した例もある。
As another element structure of the FE type, FIG.
There is also an example in which the emitter and the gate electrode are arranged on the substrate almost in parallel with the substrate plane, instead of the laminated structure as shown in FIG.

【0010】また、MIM型の例としては、たとえば、
C.A.Mead,”Operationof tun
nel−emission Devices,J.Ap
pl.Phys.,32,646(1961)などが知
られている。MIM型の素子構成の典型的な例を図30
に示す。同図は断面図であり、図において、3020は
基板で、3021は金属よりなる下電極、3022は厚
さ100オングストローム程度の薄い絶縁層、3023
は厚さ80〜300オングストローム程度の金属よりな
る上電極である。MIM型においては、上電極3023
と下電極3021の間に適宜の電圧を印加することによ
り、上電極3023の表面より電子放出を起こさせるも
のである。
As an example of the MIM type, for example,
C. A. Mead, “Operation of tun
nel-emission Devices, J. et al. Ap
pl. Phys. , 32, 646 (1961). FIG. 30 shows a typical example of an MIM type device configuration.
Shown in The figure is a sectional view, in which 3020 is a substrate, 3021 is a lower electrode made of metal, 3022 is a thin insulating layer having a thickness of about 100 Å, 3023
Is an upper electrode made of a metal having a thickness of about 80 to 300 angstroms. In the MIM type, the upper electrode 3023
By applying an appropriate voltage between the upper electrode 3023 and the lower electrode 3021, electrons are emitted from the surface of the upper electrode 3023.

【0011】上述の冷陰極素子は、熱陰極素子と比較し
て低温で電子放出を得ることができるため、加熱用ヒー
ターを必要としない。したがって、熱陰極素子よりも構
造が単純であり、微細な素子を作成可能である。また、
基板上に多数の素子を高い密度で配置しても、基板の熱
溶融などの問題が発生しにくい。また、熱陰極素子がヒ
ーターの加熱により動作するため応答速度が遅いのとは
異なり、冷陰極素子の場合には応答速度が速いという利
点もある。
The above-mentioned cold cathode device can obtain electrons at a lower temperature than the hot cathode device, and therefore does not require a heater for heating. Therefore, the structure is simpler than that of the hot cathode element, and a fine element can be produced. Also,
Even if a large number of elements are arranged on a substrate at a high density, problems such as thermal melting of the substrate hardly occur. In addition, unlike the hot cathode device, which operates by heating the heater, the response speed is slow, and the cold cathode device also has the advantage that the response speed is fast.

【0012】このため、冷陰極素子を応用するための研
究が盛んに行われてきている。
For this reason, research for applying the cold cathode device has been actively conducted.

【0013】たとえば、表面伝導型放出素子は、冷陰極
素子のなかでも特に構造が単純で製造も容易であること
から、大面積にわたり多数の素子を形成できる利点があ
る。そこで、たとえば本出願人による特開昭64−31
332号公報において開示されるように、多数の素子を
配列して駆動するための方法が研究されている。
For example, the surface conduction electron-emitting device has the advantage of being able to form a large number of devices over a large area because it has a particularly simple structure and is easy to manufacture among the cold cathode devices. Therefore, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No.
As disclosed in JP-A-332-332, a method for arranging and driving a large number of elements has been studied.

【0014】また、表面伝導型放出素子の応用について
は、たとえば、画像表示装置、画像記録装置などの画像
形成装置や、荷電ビーム源、等が研究されている。
As for the application of the surface conduction electron-emitting device, for example, an image forming apparatus such as an image display device and an image recording device, a charged beam source, and the like have been studied.

【0015】特に、画像表示装置への応用としては、た
とえば本出願人によるUSP5,066,883や特開
平2−257551号公報や特開平4−28137号公
報において開示されているように、表面伝導型放出素子
と電子ビームの照射により発光する蛍光体とを組み合わ
せて用いた画像表示装置が研究されている。表面伝導型
放出素子と蛍光体とを組み合わせて用いた画像表示装置
は、従来の他の方式の画像表示装置よりも優れた特性が
期待されている。たとえば、近年普及してきた液晶表示
装置と比較しても、自発光型であるためバックライトを
必要としない点や、視野角が広い点が優れていると言え
る。
In particular, as an application to an image display device, for example, as disclosed in US Pat. No. 5,066,883, JP-A-2-257551 and JP-A-4-28137 by the present applicant, surface conduction is disclosed. An image display apparatus using a combination of a mold emission element and a phosphor that emits light by irradiation with an electron beam has been studied. An image display device using a combination of a surface conduction electron-emitting device and a phosphor is expected to have better characteristics than other conventional image display devices. For example, compared to a liquid crystal display device that has become widespread in recent years, it can be said that it is superior in that it does not require a backlight because it is a self-luminous type and that it has a wide viewing angle.

【0016】また、FE型を多数個ならべて駆動する方
法は、たとえば本出願人によるUSP4,904,89
5に開示されている。また、FE型を画像表示装置に応
用した例として、たとえば、R.Meyerらにより報
告された平板型表示装置が知られている。[R.Mey
er:”Recent Developmenton
MicrotipsDisplay at LET
I”,Tech.Digest of 4th In
t. Vacuum Microele−ctroni
cs Conf.,Nagahama,pp.6〜9
(1991)]また、MIM型を多数個並べて画像表示
装置に応用した例は、たとえば本出願人による特開平3
−55738号公報に開示されている。
A method of driving a large number of FE types is disclosed in US Pat. No. 4,904,89 by the present applicant.
5 is disclosed. Further, as an example in which the FE type is applied to an image display device, for example, R.F. The flat panel display reported by Meyer et al. Is known. [R. Mey
er: "Recent Development
Microtips Display at LET
I ", Tech. Digest of 4th In
t. Vacuum Microele-troni
cs Conf. , Nagahama, pp .; 6-9
(1991)] Further, an example in which a number of MIM types are arranged and applied to an image display device is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No.
-55738.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】本発明者は上記のよう
な冷陰極素子、とりわけ表面伝導型放出素子を用いた表
示装置を構成する研究を重ねてきたが、素子に対向する
位置に設けられた蛍光体(実際には蛍光膜)に電子ビー
ムを照射させたときの面積、すなわち、輝点面積の大小
で異なる質感の画像を表示することを見いだした。
The present inventor has been studying the construction of a display device using the above-mentioned cold cathode device, particularly a surface conduction type emission device, but it is provided at a position facing the device. It has been found that an area of a phosphor (actually, a phosphor film) irradiated with an electron beam, that is, an image having a different texture depending on the size of the bright spot area is displayed.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】本発明は、表示対象の画
像の特性内容に応じて1画素当たりの単位面積に対する
発光もしくは形成面積率を制御することで夫々の画像の
特性に最適な状態で表示或いは形成することを可能なら
しめる画像表示装置及び画像形成装置を提供しようとす
るものである。
According to the present invention, the light emission or the formation area ratio per unit area per pixel is controlled in accordance with the characteristics of the image to be displayed, so that the characteristics of each image are optimized. It is an object of the present invention to provide an image display apparatus and an image forming apparatus which can display or form an image.

【0019】この課題を解決するため、例えば本発明の
画像表示装置は以下の構成を備える。すなわち、画像デ
ータを入力し、発光体を発光させて表示する画像表示装
置であって、表示対象の画像の精細度を検出する精細度
検出手段と、該精細度検出手段で検出された精細度に応
じて発光面積を制御する輝点面積率制御手段と、前記輝
点面積制御手段によって制御され発光面積に応じて、表
示対象の画像データの輝度を補正する輝度補正手段とを
備える。
In order to solve this problem, for example, an image display device of the present invention has the following configuration. That is, an image display device for inputting image data and causing a luminous body to emit light for display, wherein a fineness detecting means for detecting fineness of an image to be displayed, and a fineness level detected by the fineness detecting means Luminous area ratio control means for controlling the luminous area in accordance with the luminous area, and luminance correction means for controlling the luminance of the image data to be displayed, which is controlled by the luminous point area control means and in accordance with the luminous area.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係る実施形態を詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0021】<表示パネルの構成と製造法>先ず、実施
形態における画像表示装置の表示パネルの構成と製造法
について、具体的な例を示して説明する。
<Structure and Manufacturing Method of Display Panel> First, the structure and manufacturing method of the display panel of the image display device according to the embodiment will be described with reference to specific examples.

【0022】図16は、実施形態に用いた表示パネルの
斜視図であり、内部構造を示すためにパネルの1部を切
り欠いて示している。
FIG. 16 is a perspective view of the display panel used in the embodiment, in which a part of the panel is cut away to show the internal structure.

【0023】図中、1005はリアプレート、1006
は側壁、1007はフェースプレートであり、1005
〜1007により表示パネルの内部を真空に維持するた
めの気密容器を形成している。気密容器を組み立てるに
あたっては、各部材の接合部に十分な強度と気密性を保
持させるため封着する必要があるが、たとえばフリット
ガラスを接合部に塗布し、大気中あるいは窒素雰囲気中
で、摂氏400〜500度で10分以上焼成することに
より封着を達成した。気密容器内部を真空に排気する方
法については後述する。
In the figure, 1005 is a rear plate, 1006
Is a side wall, 1007 is a face plate, 1005
1007 form an airtight container for maintaining the inside of the display panel at a vacuum. When assembling an airtight container, it is necessary to seal the joints of each member to maintain sufficient strength and airtightness.For example, apply frit glass to the joints, and in air or nitrogen atmosphere, Sealing was achieved by baking at 400 to 500 degrees for 10 minutes or more. A method of evacuating the inside of the airtight container to a vacuum will be described later.

【0024】リアプレート1005には、基板1001
が固定されているが、該基板上には冷陰極素子1002
がNxM個形成されている。(N,Mは2以上の正の整
数であり、目的とする表示画素数に応じて適宜設定され
る。たとえば、高品位テレビジョンの表示を目的とした
表示装置においては、N=3000,M=1000以上
の数を設定することが望ましい。本実施形態において
は、N=3072,M=1024とした。)前記NxM
個の冷陰極素子は、M本の行方向配線1003とN本の
列方向配線1004により単純マトリクス配線されてい
る。前記、1001〜1004によって構成される部分
をマルチ電子ビーム源と呼ぶ。なお、マルチ電子ビーム
源の製造方法や構造については、後で詳しく述べる。
The rear plate 1005 has a substrate 1001
Is fixed, but the cold cathode device 1002 is provided on the substrate.
N × M are formed. (N and M are positive integers of 2 or more and are appropriately set according to the target number of display pixels. For example, in a display device for displaying high-definition television, N = 3000, M It is desirable to set a number equal to or greater than 1000. In the present embodiment, N = 3072 and M = 1024.)
The cold cathode elements are arranged in a simple matrix by M row-directional wirings 1003 and N column-directional wirings 1004. The portion constituted by 1001 to 1004 is called a multi-electron beam source. The manufacturing method and structure of the multi-electron beam source will be described later in detail.

【0025】本実施形態においては、気密容器のリアプ
レート1005にマルチ電子ビーム源の基板1001を
固定する構成としたが、マルチ電子ビーム源の基板10
01が十分な強度を有するものである場合には、気密容
器のリアプレートとしてマルチ電子ビーム源の基板10
01自体を用いてもよい。
In the present embodiment, the substrate 1001 of the multi-electron beam source is fixed to the rear plate 1005 of the airtight container.
01 has sufficient strength, the substrate 10 of the multi-electron beam source is used as a rear plate of the hermetic container.
01 itself may be used.

【0026】また、フェースプレート1007の下面に
は、蛍光膜1008が形成されている。本実施形態はカ
ラー表示装置であるため、蛍光膜1008の部分にはC
RTの分野で用いられる赤、緑、青、の3原色の蛍光体
が塗り分けられている。各色の蛍光体は、たとえば図1
7(a)に示すようにストライプ状に塗り分けられ、蛍
光体のストライプの間には黒色の導電体1010が設け
てある。黒色の導電体1010を設ける目的は、電子ビ
ームの照射位置に多少のずれがあっても表示色にずれが
生じないようにする事や、外光の反射を防止して表示コ
ントラストの低下を防ぐ事、電子ビームによる蛍光膜の
チャージアップを防止する事などである。黒色の導電体
1010には、黒鉛を主成分として用いたが、上記の目
的に適するものであればこれ以外の材料を用いても良
い。
On the lower surface of the face plate 1007, a fluorescent film 1008 is formed. Since the present embodiment is a color display device, the fluorescent film 1008 has C
Phosphors of three primary colors of red, green and blue used in the field of RT are separately applied. The phosphor of each color is, for example, as shown in FIG.
As shown in FIG. 7A, black conductors 1010 are provided in stripes, and black conductors 1010 are provided between the phosphor stripes. The purpose of providing the black conductor 1010 is to prevent the display color from shifting even if the electron beam irradiation position is slightly shifted, and to prevent the reflection of external light to prevent the display contrast from lowering. And preventing charge-up of the fluorescent film by the electron beam. Although graphite is used as a main component for the black conductor 1010, any other material may be used as long as it is suitable for the above purpose.

【0027】また、3原色の蛍光体の塗り分け方は図1
7(a)に示したストライプ状の配列に限られるもので
はなく、たとえば図17(b)に示すようなデルタ状配
列や、それ以外の配列であってもよい。
FIG. 1 shows how to paint the three primary color phosphors.
The arrangement is not limited to the stripe arrangement shown in FIG. 7A, and may be, for example, a delta arrangement as shown in FIG. 17B or another arrangement.

【0028】なお、モノクロームの表示パネルを作成す
る場合には、単色の蛍光体材料を蛍光膜1008に用い
ればよく、また黒色導電材料は必ずしも用いなくともよ
い。
When a monochrome display panel is manufactured, a monochromatic phosphor material may be used for the phosphor film 1008, and a black conductive material may not be necessarily used.

【0029】また、蛍光膜1008のリアプレート側の
面には、CRTの分野では公知のメタルバック1009
を設けてある。メタルバック1009を設けた目的は、
蛍光膜1008が発する光の一部を鏡面反射して光利用
率を向上させる事や、負イオンの衝突から蛍光膜100
8を保護する事や、電子ビーム加速電圧を印加するため
の電極として作用させる事や、蛍光膜1008を励起し
た電子の導電路として作用させる事などである。メタル
バック1009は、蛍光膜1008をフェースプレート
基板1007上に形成した後、蛍光膜表面を平滑化処理
し、その上にAlを真空蒸着する方法により形成した。
なお、蛍光膜1008に低電圧用の蛍光体材料を用いた
場合には、メタルバック1009は用いない。
A metal back 1009, which is well known in the field of CRTs, is provided on the surface of the fluorescent film 1008 on the rear plate side.
Is provided. The purpose of providing the metal back 1009 is
A part of the light emitted from the fluorescent film 1008 is specularly reflected to improve the light utilization rate, or the fluorescent film 1008
8 to protect it, to act as an electrode for applying an electron beam acceleration voltage, and to act as a conductive path for excited electrons of the fluorescent film 1008. The metal back 1009 was formed by forming a fluorescent film 1008 on the face plate substrate 1007, smoothing the surface of the fluorescent film, and vacuum-depositing Al thereon.
Note that when a fluorescent material for low voltage is used for the fluorescent film 1008, the metal back 1009 is not used.

【0030】また、本実施形態では用いなかったが、加
速電圧の印加用や蛍光膜の導電性向上を目的として、フ
ェースプレート基板1007と蛍光膜1008との間
に、たとえばITOを材料とする透明電極を設けてもよ
い。
Although not used in the present embodiment, for the purpose of applying an acceleration voltage and improving the conductivity of the fluorescent film, a transparent material made of, for example, ITO is provided between the face plate substrate 1007 and the fluorescent film 1008. Electrodes may be provided.

【0031】また、Dx1〜DxmおよびDy1〜Dynおよび
Hvは、当該表示パネルと不図示の電気回路とを電気的
に接続するために設けた気密構造の電気接続用端子であ
る。Dx1〜Dxmはマルチ電子ビーム源の行方向配線10
03と、Dy1〜Dynはマルチ電子ビーム源の列方向配線
1004と、Hvはフェースプレートのメタルバック1
009と電気的に接続している。
Dx1 to Dxm, Dy1 to Dyn and Hv are electric connection terminals of an airtight structure provided for electrically connecting the display panel to an electric circuit (not shown). Dx1 to Dxm are the row wirings 10 of the multi-electron beam source.
03, Dy1 to Dyn are the column direction wirings 1004 of the multi-electron beam source, and Hv is the metal back 1 of the face plate.
009 electrically.

【0032】また、気密容器内部を真空に排気するに
は、気密容器を組み立てた後、不図示の排気管と真空ポ
ンプとを接続し、気密容器内を10のマイナス7乗[T
orr]程度の真空度まで排気する。その後、排気管を
封止するが、気密容器内の真空度を維持するために、封
止の直前あるいは封止後に気密容器内の所定の位置にゲ
ッター膜(不図示)を形成する。ゲッター膜とは、たと
えばBaを主成分とするゲッター材料をヒーターもしく
は高周波加熱により加熱し蒸着して形成した膜であり、
該ゲッター膜の吸着作用により気密容器内は1x10マ
イナス5乗ないしは1x10マイナス7乗[Torr]
の真空度に維持される。
In order to evacuate the inside of the airtight container, after the airtight container is assembled, an exhaust pipe (not shown) and a vacuum pump are connected, and the inside of the airtight container is raised to the power of 10 −7 [T
orr]. Thereafter, the exhaust pipe is sealed, but a getter film (not shown) is formed at a predetermined position in the airtight container immediately before or after the sealing in order to maintain the degree of vacuum in the airtight container. The getter film is, for example, a film formed by heating and depositing a getter material containing Ba as a main component by a heater or high-frequency heating,
Due to the adsorbing action of the getter film, the inside of the airtight container is 1 × 10 −5 or 1 × 10 −7 [Torr].
Is maintained at a vacuum degree.

【0033】以上、本発明実施形態の表示パネルの基本
構成と製法を説明した。
The basic configuration and the manufacturing method of the display panel according to the embodiment of the present invention have been described above.

【0034】次に、前記実施形態の表示パネルに用いた
マルチ電子ビーム源の製造方法について説明する。本発
明の画像表示装置に用いるマルチ電子ビーム源は、冷陰
極素子を単純マトリクス配線した電子源であれば、冷陰
極素子の材料や形状あるいは製法に制限はない。したが
って、たとえば表面伝導型放出素子やFE型、あるいは
MIM型などの冷陰極素子を用いることができる。
Next, a method of manufacturing the multi-electron beam source used for the display panel of the above embodiment will be described. The material, shape, and manufacturing method of the cold cathode device are not limited as long as the multi-electron beam source used for the image display device of the present invention is an electron source in which cold cathode devices are arranged in a simple matrix. Therefore, for example, a cold cathode device such as a surface conduction type emission device, an FE type, or an MIM type can be used.

【0035】ただし、表示画面が大きくてしかも安価な
表示装置が求められる状況のもとでは、これらの冷陰極
素子の中でも、表面伝導型放出素子が特に好ましい。す
なわち、FE型ではエミッタコーンとゲート電極の相対
位置や形状が電子放出特性を大きく左右するため、極め
て高精度の製造技術を必要とするが、これは大面積化や
製造コストの低減を達成するには不利な要因となる。ま
た、MIM型では、絶縁層と上電極の膜厚を薄くてしか
も均一にする必要があるが、これも大面積化や製造コス
トの低減を達成するには不利な要因となる。その点、表
面伝導型放出素子は、比較的製造方法が単純なため、大
面積化や製造コストの低減が容易である。また、発明者
らは、表面伝導型放出素子の中でも、電子放出部もしく
はその周辺部を微粒子膜から形成したものがとりわけ電
子放出特性に優れ、しかも製造が容易に行えることを見
いだしている。したがって、高輝度で大画面の画像表示
装置のマルチ電子ビーム源に用いるには、最も好適であ
ると言える。そこで、上記実施形態の表示パネルにおい
ては、電子放出部もしくはその周辺部を微粒子膜から形
成した表面伝導型放出素子を用いた。そこで、まず好適
な表面伝導型放出素子について基本的な構成と製法およ
び特性を説明し、その後で多数の素子を単純マトリクス
配線したマルチ電子ビーム源の構造について述べる。
However, in a situation where a display device having a large display screen and an inexpensive display device is required, among these cold cathode devices, a surface conduction type emission device is particularly preferable. That is, in the FE type, since the relative position and shape of the emitter cone and the gate electrode greatly affect the electron emission characteristics, extremely high-precision manufacturing technology is required, but this achieves a large area and a reduction in manufacturing cost. Is a disadvantageous factor. In the case of the MIM type, it is necessary to make the thicknesses of the insulating layer and the upper electrode thin and uniform, which is also a disadvantageous factor in achieving a large area and a reduction in manufacturing cost. On the other hand, since the surface conduction electron-emitting device has a relatively simple manufacturing method, it is easy to increase the area and reduce the manufacturing cost. In addition, the inventors have found that among the surface conduction electron-emitting devices, those in which the electron-emitting portion or its peripheral portion is formed of a fine particle film have particularly excellent electron-emitting characteristics and can be easily manufactured. Therefore, it can be said that it is most suitable for use in a multi-electron beam source of a high-luminance, large-screen image display device. Therefore, in the display panel of the above embodiment, a surface conduction electron-emitting device in which the electron-emitting portion or its peripheral portion is formed of a fine particle film is used. Therefore, the basic configuration, manufacturing method and characteristics of a suitable surface conduction electron-emitting device will be described first, and then the structure of a multi-electron beam source in which many devices are arranged in a simple matrix will be described.

【0036】<表面伝導型放出素子の好適な素子構成と
製法>電子放出部もしくはその周辺部を微粒子膜から形
成する表面伝導型放出素子の代表的な構成には、平面型
と垂直型の2種類があげられる。
<Suitable Device Configuration and Manufacturing Method of Surface Conduction Emission Device> A typical configuration of a surface conduction electron-emitting device in which an electron-emitting portion or its peripheral portion is formed from a fine particle film is a flat type or a vertical type. Kinds are given.

【0037】<平面型の表面伝導型放出素子>まず最初
に、平面型の表面伝導型放出素子の素子構成と製法につ
いて説明する。図18に示すのは、平面型の表面伝導型
放出素子の構成を説明するための平面図(a)および断
面図(b)である。図中、1101は基板、1102と
1103は素子電極、1104は導電性薄膜、1105
は通電フォーミング処理により形成した電子放出部、1
113は通電活性化処理により形成した薄膜である。
<Plane type surface conduction electron-emitting device> First, the structure and manufacturing method of a plane surface conduction electron-emitting device will be described. FIG. 18 is a plan view (a) and a cross-sectional view (b) for describing the configuration of a planar surface conduction electron-emitting device. In the figure, 1101 is a substrate, 1102 and 1103 are device electrodes, 1104 is a conductive thin film, 1105
Are electron-emitting portions formed by an energization forming process;
Reference numeral 113 denotes a thin film formed by the activation process.

【0038】基板1101としては、たとえば、石英ガ
ラスや青板ガラスをはじめとする各種ガラス基板や、ア
ルミナをはじめとする各種セラミクス基板、あるいは上
述の各種基板上にたとえばSiO2 を材料とする絶縁層
を積層した基板、などを用いることができる。
As the substrate 1101, for example, various glass substrates such as quartz glass and blue plate glass, various ceramics substrates such as alumina, or an insulating layer made of, for example, SiO 2 is laminated on the various substrates described above. Substrate or the like can be used.

【0039】また、基板1101上に基板面と平行に対
向して設けられた素子電極1102と1103は、導電
性を有する材料によって形成されている。たとえば、N
i,Cr,Au,Mo,W,Pt,Ti,Cu,Pd,
Ag等をはじめとする金属、あるいはこれらの金属の合
金、あるいはIn2 O3 −SnO2 をはじめとする金属
酸化物、ポリシリコンなどの半導体、などの中から適宜
材料を選択して用いればよい。電極を形成するには、た
とえば真空蒸着などの製膜技術とフォトリソグラフィ
ー、エッチングなどのパターニング技術を組み合わせて
用いれば容易に形成できるが、それ以外の方法(たとえ
ば印刷技術)を用いて形成してもさしつかえない。
The device electrodes 1102 and 1103 provided on the substrate 1101 in parallel with the substrate surface are formed of a conductive material. For example, N
i, Cr, Au, Mo, W, Pt, Ti, Cu, Pd,
The material may be appropriately selected from metals such as Ag and the like, alloys of these metals, metal oxides such as In 2 O 3 —SnO 2, and semiconductors such as polysilicon. An electrode can be easily formed by using a combination of a film forming technique such as vacuum evaporation and a patterning technique such as photolithography and etching. However, the electrode can be formed by other methods (for example, printing technique). I can't wait.

【0040】素子電極1102と1103の形状は、当
該電子放出素子の応用目的に合わせて適宜設計される。
一般的には、電極間隔Lは通常は数百オングストローム
から数百マイクロメーターの範囲から適当な数値を選ん
で設計されるが、なかでも表示装置に応用するために好
ましいのは数マイクロメーターより数十マイクロメータ
ーの範囲である。また、素子電極の厚さdについては、
通常は数百オングストロームから数マイクロメーターの
範囲から適当な数値が選ばれる。
The shapes of the device electrodes 1102 and 1103 are appropriately designed according to the application purpose of the electron-emitting device.
Generally, the electrode spacing L is usually designed by selecting an appropriate value from the range of several hundreds of angstroms to several hundreds of micrometers. It is in the range of ten micrometers. Further, regarding the thickness d of the device electrode,
Usually, an appropriate numerical value is selected from the range of several hundred angstroms to several micrometers.

【0041】また、導電性薄膜1104の部分には、微
粒子膜を用いる。ここで述べた微粒子膜とは、構成要素
として多数の微粒子を含んだ膜(島状の集合体も含む)
のことをさす。微粒子膜を微視的に調べれば、通常は、
個々の微粒子が離間して配置された構造か、あるいは微
粒子が互いに隣接した構造か、あるいは微粒子が互いに
重なり合った構造が観測される。
A fine particle film is used for the conductive thin film 1104. The fine particle film mentioned here is a film containing many fine particles as a constituent element (including an island-shaped aggregate).
I mean If you examine the microparticle film microscopically, usually
A structure in which the individual fine particles are spaced apart, a structure in which the fine particles are adjacent to each other, or a structure in which the fine particles overlap each other is observed.

【0042】微粒子膜に用いた微粒子の粒径は、数オン
グストロームから数千オングストロームの範囲に含まれ
るものであるが、なかでも好ましいのは10オングスト
ロームから200オングストロームの範囲のものであ
る。また、微粒子膜の膜厚は、以下に述べるような諸条
件を考慮して適宜設定される。すなわち、素子電極11
02あるいは1103と電気的に良好に接続するのに必
要な条件、後述する通電フォーミングを良好に行うのに
必要な条件、微粒子膜自身の電気抵抗を後述する適宜の
値にするために必要な条件、などである。
The particle size of the fine particles used in the fine particle film is in the range of several Angstroms to several thousand Angstroms, and preferably in the range of 10 Angstroms to 200 Angstroms. Further, the thickness of the fine particle film is appropriately set in consideration of various conditions described below. That is, the device electrode 11
02, or 1103, conditions necessary for satisfactorily performing energization forming described later, conditions necessary for setting the electric resistance of the fine particle film itself to an appropriate value described later. , And so on.

【0043】具体的には、数オングストロームから数千
オングストロームの範囲のなかで設定するが、なかでも
好ましいのは10オングストロームから500オングス
トロームの間である。
More specifically, it is set within a range of several Angstroms to several thousand Angstroms, and a preferable range is between 10 Angstroms and 500 Angstroms.

【0044】また、微粒子膜を形成するのに用いられう
る材料としては、たとえば、Pd,Pt,Ru,Ag,
Au,Ti,In,Cu,Cr,Fe,Zn,Sn,T
a,W,Pb,などをはじめとする金属や、PdO,S
nO2 ,In2 O3 ,PbO,Sb2 O3 ,などをはじ
めとする酸化物や、HfB2 ,ZrB2 ,LaB6 ,C
eB6 ,YB4 ,GdB4 ,などをはじめとする硼化物
や、TiC,ZrC,HfC,TaC,SiC,WC,
などをはじめとする炭化物や、TiN,ZrN,Hf
N,などをはじめとする窒化物や、Si,Ge,などを
はじめとする半導体や、カーボン、などがあげられ、こ
れらの中から適宜選択される。
Materials that can be used to form the fine particle film include, for example, Pd, Pt, Ru, Ag,
Au, Ti, In, Cu, Cr, Fe, Zn, Sn, T
a, W, Pb, and other metals, PdO, S
Oxides such as nO2, In2 O3, PbO, Sb2 O3, etc .; HfB2, ZrB2, LaB6, C
Borides such as eB6, YB4, GdB4, etc., TiC, ZrC, HfC, TaC, SiC, WC,
And other carbides, TiN, ZrN, Hf
Nitrides such as N, etc., semiconductors such as Si, Ge, etc., carbon, and the like are listed, and are appropriately selected from these.

【0045】以上述べたように、導電性薄膜1104を
微粒子膜で形成したが、そのシート抵抗値については、
10の3乗から10の7乗[オーム/sq]の範囲に含
まれるよう設定した。
As described above, the conductive thin film 1104 is formed of a fine particle film.
It was set to be included in the range of 10 3 to 10 7 [Ohm / sq].

【0046】なお、導電性薄膜1104と素子電極11
02および1103とは、電気的に良好に接続されるの
が望ましいため、互いの一部が重なりあうような構造を
とっている。その重なり方は、図18の例においては、
下から、基板、素子電極、導電性薄膜の順序で積層した
が、場合によっては下から基板、導電性薄膜、素子電
極、の順序で積層してもさしつかえない。
The conductive thin film 1104 and the device electrode 11
Since it is desirable that the wires 02 and 1103 be electrically connected well, they have a structure in which a part of each overlaps with the other. In the example shown in FIG.
Although the substrate, the device electrode, and the conductive thin film are stacked in this order from the bottom, in some cases, the substrate, the conductive thin film, and the device electrode may be stacked in this order from the bottom.

【0047】また、電子放出部1105は、導電性薄膜
1104の一部に形成された亀裂状の部分であり、電気
的には周囲の導電性薄膜よりも高抵抗な性質を有してい
る。亀裂は、導電性薄膜1104に対して、後述する通
電フォーミングの処理を行うことにより形成する。亀裂
内には、数オングストロームから数百オングストローム
の粒径の微粒子を配置する場合がある。なお、実際の電
子放出部の位置や形状を精密かつ正確に図示するのは困
難なため、図18においては模式的に示した。また、平
面図(a)においては、薄膜1113の一部を除去した
素子を図示した。
The electron-emitting portion 1105 is a crack-like portion formed in a part of the conductive thin film 1104, and has an electrically higher resistance than the surrounding conductive thin film. The crack is formed by performing a later-described energization forming process on the conductive thin film 1104. Fine particles having a particle size of several Angstroms to several hundred Angstroms may be arranged in the crack. Since it is difficult to accurately and accurately show the actual position and shape of the electron-emitting portion, they are schematically shown in FIG. In addition, in the plan view (a), an element in which a part of the thin film 1113 is removed is illustrated.

【0048】また、薄膜1113は、炭素もしくは炭素
化合物よりなる薄膜で、電子放出部1105およびその
近傍を被覆している。薄膜1113は、通電フォーミン
グ処理後に、後述する通電活性化の処理を行うことによ
り形成する。
The thin film 1113 is a thin film made of carbon or a carbon compound, and covers the electron emitting portion 1105 and its vicinity. The thin film 1113 is formed by performing an energization activation process described later after the energization forming process.

【0049】薄膜1113は、単結晶グラファイト、多
結晶グラファイト、非晶質カーボン、のいずれかか、も
しくはその混合物であり、膜厚は500[オングストロ
ーム]以下とするが、300[オングストローム]以下
とするのがさらに好ましい。
The thin film 1113 is made of any one of single crystal graphite, polycrystal graphite, and amorphous carbon, or a mixture thereof, and has a thickness of 500 [Å] or less, but 300 [Å] or less. Is more preferred.

【0050】以上、好ましい素子の基本構成を述べた
が、実施形態においては以下のような素子を用いた。
The basic structure of the preferred device has been described above. In the embodiment, the following device is used.

【0051】すなわち、基板1101には青板ガラスを
用い、素子電極1102と1103にはNi薄膜を用い
た。素子電極の厚さdは1000[オングストロー
ム]、電極間隔Lは2[マイクロメーター]とした。
That is, blue glass was used for the substrate 1101, and Ni thin films were used for the device electrodes 1102 and 1103. The thickness d of the device electrode was 1000 [angstrom], and the electrode interval L was 2 [micrometer].

【0052】微粒子膜の主要材料としてPdもしくはP
dOを用い、微粒子膜の厚さは約100[オングストロ
ーム]、幅Wは100[マイクロメータ]とした。
Pd or P as the main material of the fine particle film
Using dO, the thickness of the fine particle film was set to about 100 [angstrom], and the width W was set to 100 [micrometer].

【0053】次に、好適な平面型の表面伝導型放出素子
の製造方法について説明する。図19(a)〜(d)
は、表面伝導型放出素子の製造工程を説明するための断
面図で、各部材の表記は前記図18と同一である。
Next, a description will be given of a method of manufacturing a preferred planar type surface conduction electron-emitting device. FIGS. 19 (a) to (d)
Is a cross-sectional view for explaining the manufacturing process of the surface conduction electron-emitting device, and the notation of each member is the same as in FIG.

【0054】1)まず、図19(a)に示すように、基
板1101上に素子電極1102および1103を形成
する。
1) First, as shown in FIG. 19A, device electrodes 1102 and 1103 are formed on a substrate 1101.

【0055】形成するにあたっては、あらかじめ基板1
101を洗剤、純水、有機溶剤を用いて十分に洗浄後、
素子電極の材料を堆積させる。(堆積する方法として
は、たとえば、蒸着法やスパッタ法などの真空成膜技術
を用ればよい。)その後、堆積した電極材料を、フォト
リソグラフィー・エッチング技術を用いてパターニング
し、同図(a)に示した一対の素子電極(1102と1
103)を形成する。
Before formation, the substrate 1
After sufficiently washing 101 with a detergent, pure water and an organic solvent,
The material of the device electrode is deposited. (As a deposition method, for example, a vacuum film forming technique such as a vapor deposition method or a sputtering method may be used.) Thereafter, the deposited electrode material is patterned by using a photolithography / etching technique, and ), A pair of device electrodes (1102 and 1
103) is formed.

【0056】2)次に、同図(b)に示すように、導電
性薄膜1104を形成する。
2) Next, a conductive thin film 1104 is formed as shown in FIG.

【0057】形成するにあたっては、まず同図(a)の
基板に有機金属溶液を塗布して乾燥し、加熱焼成処理し
て微粒子膜を成膜した後、フォトリソグラフィー・エッ
チングにより所定の形状にパターニングする。ここで、
有機金属溶液とは、導電性薄膜に用いる微粒子の材料を
主要元素とする有機金属化合物の溶液である。(具体的
には、本実施形態では主要元素としてPdを用いた。ま
た、実施形態では塗布方法として、ディッピング法を用
いたが、それ以外のたとえばスピンナー法やスプレー法
を用いてもよい。) また、微粒子膜で作られる導電性薄膜の成膜方法として
は、本実施形態で用いた有機金属溶液の塗布による方法
以外の、たとえば真空蒸着法やスパッタ法、あるいは化
学的気相堆積法などを用いる場合もある。
In the formation, first, an organic metal solution is applied to the substrate shown in FIG. 1A, dried, heated and baked to form a fine particle film, and then patterned into a predetermined shape by photolithography and etching. I do. here,
The organic metal solution is a solution of an organic metal compound containing a material of fine particles used for the conductive thin film as a main element. (Specifically, in the present embodiment, Pd is used as a main element. In the embodiment, a dipping method is used as a coating method, but other methods such as a spinner method and a spray method may be used.) In addition, as a method for forming a conductive thin film made of a fine particle film, other than the method of applying the organometallic solution used in the present embodiment, for example, a vacuum evaporation method, a sputtering method, or a chemical vapor deposition method may be used. Sometimes used.

【0058】3)次に、同図(c)に示すように、フォ
ーミング用電源1110から素子電極1102と110
3の間に適宜の電圧を印加し、通電フォーミング処理を
行って、電子放出部1105を形成する。
3) Next, as shown in FIG. 3C, a forming power supply 1110 supplies the device electrodes 1102 and 1102 with each other.
3, an appropriate voltage is applied, and an energization forming process is performed to form the electron-emitting portion 1105.

【0059】通電フォーミング処理とは、微粒子膜で作
られた導電性薄膜1104に通電を行って、その一部を
適宜に破壊、変形、もしくは変質せしめ、電子放出を行
うのに好適な構造に変化させる処理のことである。微粒
子膜で作られた導電性薄膜のうち電子放出を行うのに好
適な構造に変化した部分(すなわち電子放出部110
5)においては、薄膜に適当な亀裂が形成されている。
なお、電子放出部1105が形成される前と比較する
と、形成された後は素子電極1102と1103の間で
計測される電気抵抗は大幅に増加する。
The energization forming treatment is to energize the conductive thin film 1104 made of a fine particle film, and to appropriately break, deform, or alter a part of the conductive thin film 1104 to change into a structure suitable for emitting electrons. This is the process that causes A portion of the conductive thin film made of a fine particle film that has been changed to a structure suitable for emitting electrons (that is, the electron emitting portion 110
In 5), an appropriate crack is formed in the thin film.
Note that the electrical resistance measured between the device electrodes 1102 and 1103 is significantly increased after the formation of the electron emission portions 1105 as compared to before the formation.

【0060】通電方法をより詳しく説明するために、図
20に、フォーミング用電源1110から印加する適宜
の電圧波形の一例を示す。微粒子膜で作られた導電性薄
膜をフォーミングする場合には、パルス状の電圧が好ま
しく、本実施形態の場合には同図に示したようにパルス
幅T1の三角波パルスをパルス間隔T2で連続的に印加
した。その際には、三角波パルスの波高値Vpfを、順
次昇圧した。また、電子放出部1105の形成状況をモ
ニターするためのモニターパルスPmを適宜の間隔で三
角波パルスの間に挿入し、その際に流れる電流を電流計
1111で計測した。
FIG. 20 shows an example of an appropriate voltage waveform applied from the forming power supply 1110 in order to explain the energization method in more detail. When forming a conductive thin film made of a fine particle film, a pulse-like voltage is preferable. In the case of this embodiment, a triangular wave pulse having a pulse width T1 is continuously generated at a pulse interval T2 as shown in FIG. Was applied. At that time, the peak value Vpf of the triangular wave pulse was sequentially increased. In addition, monitor pulses Pm for monitoring the state of formation of the electron-emitting portion 1105 were inserted at appropriate intervals between the triangular-wave pulses, and the current flowing at that time was measured by the ammeter 1111.

【0061】実施形態においては、たとえば10のマイ
ナス5乗[torr]程度の真空雰囲気下において、た
とえばパルス幅T1を1[ミリ秒]、パルス間隔T2を
10[ミリ秒]とし、波高値Vpfを1パルスごとに
0.1[V]ずつ昇圧した。そして、三角波を5パルス
印加するたびに1回の割りで、モニターパルスPmを挿
入した。フォーミング処理に悪影響を及ぼすことがない
ように、モニターパルスの電圧Vpmは0.1[V]に
設定した。そして、素子電極1102と1103の間の
電気抵抗が1x10の6乗[オーム]になった段階、す
なわちモニターパルス印加時に電流計1111で計測さ
れる電流が1x10のマイナス7乗[A]以下になった
段階で、フォーミング処理にかかわる通電を終了した。
In the embodiment, for example, in a vacuum atmosphere of about 10 −5 [torr], for example, the pulse width T1 is 1 [millisecond], the pulse interval T2 is 10 [millisecond], and the peak value Vpf is The voltage was increased by 0.1 [V] for each pulse. Then, the monitor pulse Pm was inserted at a rate of one every time five triangular waves were applied. The monitor pulse voltage Vpm was set to 0.1 [V] so as not to adversely affect the forming process. Then, when the electric resistance between the element electrodes 1102 and 1103 becomes 1 × 10 6 [ohm], that is, the current measured by the ammeter 1111 when the monitor pulse is applied becomes 1 × 10 −7 [A] or less. At this stage, the energization related to the forming process was terminated.

【0062】なお、上記の方法は、本実施形態の表面伝
導型放出素子に関する好ましい方法であり、たとえば微
粒子膜の材料や膜厚、あるいは素子電極間隔Lなど表面
伝導型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じ
て通電の条件を適宜変更するのが望ましい。
The above-described method is a preferable method for the surface conduction electron-emitting device of the present embodiment. For example, the design of the surface conduction electron-emitting device such as the material and film thickness of the fine particle film or the element electrode interval L is changed. In such a case, it is desirable to appropriately change the energization conditions accordingly.

【0063】4)次に、図19(d)に示すように、活
性化用電源1112から素子電極1102と1103の
間に適宜の電圧を印加し、通電活性化処理を行って、電
子放出特性の改善を行う。
4) Next, as shown in FIG. 19D, an appropriate voltage is applied between the element electrodes 1102 and 1103 from the activation power supply 1112, and an energization activation process is performed to perform electron emission characteristics. Make improvements.

【0064】通電活性化処理とは、前記通電フォーミン
グ処理により形成された電子放出部1105に適宜の条
件で通電を行って、その近傍に炭素もしくは炭素化合物
を堆積せしめる処理のことである。(図においては、炭
素もしくは炭素化合物よりなる堆積物を部材1113と
して模式的に示した。)なお、通電活性化処理を行うこ
とにより、行う前と比較して、同じ印加電圧における放
出電流を典型的には100倍以上に増加させることがで
きる。
The energization activation process is a process of energizing the electron-emitting portion 1105 formed by the energization forming process under appropriate conditions to deposit carbon or a carbon compound in the vicinity thereof. (In the figure, a deposit made of carbon or a carbon compound is schematically shown as a member 1113.) By performing the activation process, the emission current at the same applied voltage is typically smaller than that before the activation. Specifically, it can be increased by 100 times or more.

【0065】具体的には、10のマイナス4乗ないし1
0のマイナス5乗[torr]の範囲内の真空雰囲気中
で、電圧パルスを定期的に印加することにより、真空雰
囲気中に存在する有機化合物を起源とする炭素もしくは
炭素化合物を堆積させる。堆積物1113は、単結晶グ
ラファイト、多結晶グラファイト、非晶質カーボン、の
いずれかか、もしくはその混合物であり、膜厚は500
[オングストローム]以下、より好ましくは300[オ
ングストローム]以下である。
Specifically, 10 minus the fourth power to 1
By applying a voltage pulse periodically in a vacuum atmosphere within the range of 0 to the fifth power [torr], carbon or a carbon compound originating from an organic compound existing in the vacuum atmosphere is deposited. The deposit 1113 is any of single crystal graphite, polycrystalline graphite, and amorphous carbon, or a mixture thereof, and has a thickness of 500.
[Angstrom] or less, more preferably 300 [angstrom] or less.

【0066】通電方法をより詳しく説明するために、図
21(a)に、活性化用電源1112から印加する適宜
の電圧波形の一例を示す。本実施形態においては、一定
電圧の矩形波を定期的に印加して通電活性化処理を行っ
たが、具体的には,矩形波の電圧Vacは14[V],
パルス幅T3は1[ミリ秒],パルス間隔T4は10
[ミリ秒]とした。なお、上述の通電条件は、本実施形
態の表面伝導型放出素子に関する好ましい条件であり、
表面伝導型放出素子の設計を変更した場合には、それに
応じて条件を適宜変更するのが望ましい。
FIG. 21A shows an example of an appropriate voltage waveform applied from the activation power supply 1112 in order to explain the energization method in more detail. In the present embodiment, the energization activation process is performed by periodically applying a rectangular wave having a constant voltage, but specifically, the voltage Vac of the rectangular wave is 14 [V],
The pulse width T3 is 1 [millisecond], and the pulse interval T4 is 10
[Milliseconds]. Note that the above-described energization conditions are preferable conditions for the surface conduction electron-emitting device of the present embodiment,
When the design of the surface conduction electron-emitting device is changed, it is desirable to appropriately change the conditions accordingly.

【0067】図19(d)に示す1114は該表面伝導
型放出素子から放出される放出電流Ieを捕捉するため
のアノード電極で、直流高電圧電源1115および電流
計1116が接続されている。(なお、基板1101
を、表示パネルの中に組み込んでから活性化処理を行う
場合には、表示パネルの蛍光面をアノード電極1114
として用いる。)活性化用電源1112から電圧を印加
する間、電流計1116で放出電流Ieを計測して通電
活性化処理の進行状況をモニターし、活性化用電源11
12の動作を制御する。電流計1116で計測された放
出電流Ieの一例を図21(b)に示すが、活性化電源
1112からパルス電圧を印加しはじめると、時間の経
過とともに放出電流Ieは増加するが、やがて飽和して
ほとんど増加しなくなる。このように、放出電流Ieが
ほぼ飽和した時点で活性化用電源1112からの電圧印
加を停止し、通電活性化処理を終了する。
Reference numeral 1114 shown in FIG. 19D denotes an anode electrode for capturing the emission current Ie emitted from the surface conduction electron-emitting device, to which a DC high voltage power supply 1115 and an ammeter 1116 are connected. (Note that the substrate 1101
When the activation process is performed after the display panel is incorporated into the display panel, the phosphor screen of the display panel is connected to the anode electrode 1114.
Used as While the voltage is applied from the activation power supply 1112, the emission current Ie is measured by the ammeter 1116 to monitor the progress of the energization activation process.
12 is controlled. An example of the emission current Ie measured by the ammeter 1116 is shown in FIG. 21B. When the pulse voltage is started to be applied from the activation power supply 1112, the emission current Ie increases with the passage of time, but eventually saturates. And hardly increase. As described above, when the emission current Ie is substantially saturated, the application of the voltage from the activation power supply 1112 is stopped, and the energization activation process ends.

【0068】なお、上述の通電条件は、本実施形態の表
面伝導型放出素子に関する好ましい条件であり、表面伝
導型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じて
条件を適宜変更するのが望ましい。
The above-mentioned energization conditions are preferable conditions for the surface conduction electron-emitting device of the present embodiment, and when the design of the surface conduction electron-emitting device is changed, the conditions should be changed accordingly. desirable.

【0069】以上のようにして、図19(e)に示す平
面型の表面伝導型放出素子を製造した。
As described above, a planar surface conduction electron-emitting device shown in FIG. 19E was manufactured.

【0070】<垂直型の表面伝導型放出素子>次に、電
子放出部もしくはその周辺を微粒子膜から形成した表面
伝導型放出素子のもうひとつの代表的な構成、すなわち
垂直型の表面伝導型放出素子の構成について説明する。
<Vertical Surface Conduction Emitting Element> Next, another typical structure of a surface conduction electron-emitting device in which the electron-emitting portion or its periphery is formed of a fine particle film, that is, a vertical surface-conduction emission device. The configuration of the element will be described.

【0071】図22は、垂直型の基本構成を説明するた
めの模式的な断面図であり、図中の1201は基板、1
202と1203は素子電極、1206は段差形成部
材、1204は微粒子膜を用いた導電性薄膜、1205
は通電フォーミング処理により形成した電子放出部、1
213は通電活性化処理により形成した薄膜、である。
FIG. 22 is a schematic cross-sectional view for explaining the basic structure of a vertical type. In FIG.
202 and 1203 are device electrodes, 1206 is a step forming member, 1204 is a conductive thin film using a fine particle film, 1205
Are electron-emitting portions formed by an energization forming process;
213 is a thin film formed by the activation process.

【0072】垂直型が先に説明した平面型と異なる点
は、素子電極のうちの片方(1202)が段差形成部材
1206上に設けられており、導電性薄膜1204が段
差形成部材1206の側面を被覆している点にある。し
たがって、図18の平面型における素子電極間隔Lは、
垂直型においては段差形成部材1206の段差高Lsと
して設定される。なお、基板1201、素子電極120
2および1203、微粒子膜を用いた導電性薄膜120
4については、前記平面型の説明中に列挙した材料を同
様に用いることが可能である。また、段差形成部材12
06には、たとえばSiO2 のような電気的に絶縁性の
材料を用いる。
The difference between the vertical type and the flat type described above is that one of the device electrodes (1202) is provided on the step forming member 1206, and the conductive thin film 1204 is provided on the side surface of the step forming member 1206. It is in the point of coating. Therefore, the element electrode interval L in the planar type shown in FIG.
In the vertical type, the height is set as the step height Ls of the step forming member 1206. Note that the substrate 1201, the element electrode 120
2 and 1203, conductive thin film 120 using fine particle film
As for No. 4, the materials listed in the description of the flat type can be similarly used. Also, the step forming member 12
For 06, an electrically insulating material such as SiO2 is used.

【0073】次に、垂直型の表面伝導型放出素子の製法
について説明する。図23(a)〜(f)は、製造工程
を説明するための断面図で、各部材の表記は図22と同
一である。
Next, a method of manufacturing a vertical surface conduction electron-emitting device will be described. FIGS. 23A to 23F are cross-sectional views for explaining a manufacturing process, and the notation of each member is the same as FIG.

【0074】1)まず、図23(a)に示すように、基
板1201上に素子電極1203を形成する。
1) First, as shown in FIG. 23A, an element electrode 1203 is formed on a substrate 1201.

【0075】2)次に、同図(b)に示すように、段差
形成部材を形成するための絶縁層を積層する。絶縁層
は、たとえばSiO2 をスパッタ法で積層すればよい
が、たとえば真空蒸着法や印刷法などの他の成膜方法を
用いてもよい。
2) Next, as shown in FIG. 7B, an insulating layer for forming a step forming member is laminated. The insulating layer may be formed by laminating SiO2 by sputtering, for example, but other film forming methods such as vacuum deposition or printing may be used.

【0076】3)次に、同図(c)に示すように、絶縁
層の上に素子電極1202を形成する。
3) Next, as shown in FIG. 3C, an element electrode 1202 is formed on the insulating layer.

【0077】4)次に、同図(d)に示すように、絶縁
層の一部を、たとえばエッチング法を用いて除去し、素
子電極1203を露出させる。
4) Next, as shown in FIG. 4D, a part of the insulating layer is removed by using, for example, an etching method to expose the element electrode 1203.

【0078】5)次に、同図(e)に示すように、微粒
子膜を用いた導電性薄膜1204を形成する。形成する
には、前記平面型の場合と同じく、たとえば塗布法など
の成膜技術を用いればよい。
5) Next, as shown in FIG. 7E, a conductive thin film 1204 using a fine particle film is formed. For the formation, as in the case of the flat type, a film forming technique such as a coating method may be used.

【0079】6)次に、前記平面型の場合と同じく、通
電フォーミング処理を行い、電子放出部を形成する。
(図19(c)を用いて説明した平面型の通電フォーミ
ング処理と同様の処理を行えばよい。) 7)次に、前記平面型の場合と同じく、通電活性化処理
を行い、電子放出部近傍に炭素もしくは炭素化合物を堆
積させる。(図19(d)を用いて説明した平面型の通
電活性化処理と同様の処理を行えばよい。) 以上のようにして、図23(f)に示す垂直型の表面伝
導型放出素子を製造した。
6) Next, similarly to the case of the above-mentioned flat type, the energization forming process is performed to form an electron emitting portion.
(A process similar to the planar type energization forming process described with reference to FIG. 19C may be performed.) 7) Next, as in the case of the planar type, the energization activation process is performed, and the electron emission section is performed. Carbon or a carbon compound is deposited in the vicinity. (The same process as the planar energization activation process described with reference to FIG. 19D may be performed.) As described above, the vertical surface conduction electron-emitting device shown in FIG. Manufactured.

【0080】<表示装置に用いた表面伝導型放出素子の
特性>以上、平面型と垂直型の表面伝導型放出素子につ
いて素子構成と製法を説明したが、次に表示装置に用い
た素子の特性について述べる。
<Characteristics of Surface Conduction Emission Device Used in Display Device> The device configuration and manufacturing method of the planar and vertical surface conduction electron-emitting devices have been described above. Next, the characteristics of the device used in the display device will be described. Is described.

【0081】図24に、表示装置に用いた素子の、(放
出電流Ie)対(素子印加電圧Vf)特性、および(素
子電流If)対(素子印加電圧Vf)特性の典型的な例
を示す。なお、放出電流Ieは素子電流Ifに比べて著
しく小さく、同一尺度で図示するのが困難であるうえ、
これらの特性は素子の大きさや形状等の設計パラメータ
を変更することにより変化するものであるため、2本の
グラフは各々任意単位で図示した。
FIG. 24 shows typical examples of (emission current Ie) versus (element applied voltage Vf) characteristics and (element current If) versus (element applied voltage Vf) characteristics of the elements used in the display device. . Note that the emission current Ie is significantly smaller than the element current If, and it is difficult to show the same current on the same scale.
Since these characteristics are changed by changing design parameters such as the size and shape of the element, the two graphs are shown in arbitrary units.

【0082】表示装置に用いた素子は、放出電流Ieに
関して以下に述べる3つの特性を有している。
The element used in the display device has the following three characteristics with respect to the emission current Ie.

【0083】第一に、ある電圧(これを閾値電圧Vth
と呼ぶ)以上の大きさの電圧を素子に印加すると急激に
放出電流Ieが増加するが、一方、閾値電圧Vth未満
の電圧では放出電流Ieはほとんど検出されない。
First, a certain voltage (this is referred to as a threshold voltage Vth
When a voltage of the above magnitude is applied to the element, the emission current Ie sharply increases. On the other hand, at a voltage lower than the threshold voltage Vth, the emission current Ie is hardly detected.

【0084】すなわち、放出電流Ieに関して、明確な
閾値電圧Vthを持った非線形素子である。
That is, the non-linear element has a clear threshold voltage Vth with respect to the emission current Ie.

【0085】第二に、放出電流Ieは素子に印加する電
圧Vfに依存して変化するため、電圧Vfで放出電流I
eの大きさを制御できる。
Secondly, since the emission current Ie changes depending on the voltage Vf applied to the element, the emission current Ie depends on the voltage Vf.
The magnitude of e can be controlled.

【0086】第三に、素子に印加する電圧Vfに対して
素子から放出される電流Ieの応答速度が速いため、電
圧Vfを印加する時間の長さによって素子から放出され
る電子の電荷量を制御できる。
Third, since the response speed of the current Ie emitted from the device is faster than the voltage Vf applied to the device, the amount of charge of the electrons emitted from the device depends on the length of time for applying the voltage Vf. Can control.

【0087】以上のような特性を有するため、表面伝導
型放出素子を表示装置に好適に用いることができた。た
とえば多数の素子を表示画面の画素に対応して設けた表
示装置において、第一の特性を利用すれば、表示画面を
順次走査して表示を行うことが可能である。すなわち、
駆動中の素子には所望の発光輝度に応じて閾値電圧Vt
h以上の電圧を適宜印加し、非選択状態の素子には閾値
電圧Vth未満の電圧を印加する。駆動する素子を順次
切り替えてゆくことにより、表示画面を順次走査して表
示を行うことが可能である。
Because of the above characteristics, the surface conduction electron-emitting device can be suitably used for a display device. For example, in a display device in which a large number of elements are provided corresponding to pixels of a display screen, if the first characteristic is used, display can be performed by sequentially scanning the display screen. That is,
The driving element has a threshold voltage Vt according to a desired light emission luminance.
h or higher, and a voltage lower than the threshold voltage Vth is applied to the non-selected elements. By sequentially switching the elements to be driven, the display screen can be sequentially scanned and displayed.

【0088】また、第二の特性かまたは第三の特性を利
用することにより、発光輝度を制御することができるた
め、諧調表示を行うことが可能である。
Further, by using the second characteristic or the third characteristic, the light emission luminance can be controlled, so that a gradation display can be performed.

【0089】<多数素子を単純マトリクス配線したマル
チ電子ビーム源の構造>次に、上述の表面伝導型放出素
子を基板上に配列して単純マトリクス配線したマルチ電
子ビーム源の構造について述べる。
<Structure of a Multi-Electron Beam Source in Which Many Devices are Wired in a Simple Matrix> Next, the structure of a multi-electron beam source in which the above-described surface conduction electron-emitting devices are arranged on a substrate and wired in a simple matrix will be described.

【0090】図25に示すのは、図16の表示パネルに
用いたマルチ電子ビーム源の平面図である。基板上に
は、図18で示したものと同様な表面伝導型放出素子が
配列され、これらの素子は行方向配線電極1003と列
方向配線電極1004により単純マトリクス状に配線さ
れている。行方向配線電極1003と列方向配線電極1
004の交差する部分には、電極間に絶縁層(不図示)
が形成されており、電気的な絶縁が保たれている。
FIG. 25 is a plan view of the multi-electron beam source used for the display panel of FIG. On the substrate, surface conduction electron-emitting devices similar to those shown in FIG. 18 are arranged, and these devices are wired in a simple matrix by row-direction wiring electrodes 1003 and column-direction wiring electrodes 1004. Row direction wiring electrode 1003 and column direction wiring electrode 1
At the intersection of 004, an insulating layer (not shown) is provided between the electrodes.
Are formed, and electrical insulation is maintained.

【0091】図25のA−A’に沿った断面を、図26
に示す。
FIG. 26 is a sectional view taken along the line AA ′ of FIG.
Shown in

【0092】なお、このような構造のマルチ電子源は、
あらかじめ基板上に行方向配線電極1003、列方向配
線電極1004、電極間絶縁層(不図示)、および表面
伝導型放出素子の素子電極と導電性薄膜を形成した後、
行方向配線電極1003および列方向配線電極1004
を介して各素子に給電して通電フォーミング処理と通電
活性化処理を行うことにより製造した。
The multi-electron source having such a structure is as follows.
After previously forming a row direction wiring electrode 1003, a column direction wiring electrode 1004, an interelectrode insulating layer (not shown), and a device electrode and a conductive thin film of a surface conduction electron-emitting device on a substrate,
Row direction wiring electrode 1003 and column direction wiring electrode 1004
The device was manufactured by supplying power to each element through the device and performing an energization forming process and an energization activation process.

【0093】図27は、前記説明の表面伝導型放出素子
を電子ビーム源として用いたディスプレイパネルに、た
とえばテレビジョン放送をはじめとする種々の画像情報
源より提供される画像情報を表示できるように構成した
多機能表示装置の一例を示すための図である。図中、2
100はディスプレイパネル、2101はディスプレイ
パネルの駆動回路、2102はディスプレイコントロー
ラ、2103はマルチプレクサ、2104はデコーダ、
2105は入出力インターフェース回路、2106はC
PU、2107は画像生成回路、2108および210
9および2110は画像メモリインターフェース回路、
2111は画像入力インターフェース回路、2112お
よび2113はTV信号受信回路、2114は入力部で
ある。
FIG. 27 shows a display panel using the above-described surface conduction electron-emitting device as an electron beam source so that image information provided from various image information sources such as television broadcasting can be displayed. It is a figure for showing an example of the constituted multifunctional display. In the figure, 2
100 is a display panel, 2101 is a display panel driving circuit, 2102 is a display controller, 2103 is a multiplexer, 2104 is a decoder,
2105 is an input / output interface circuit, 2106 is C
PU 2107 is an image generation circuit, 2108 and 210
9 and 2110 are image memory interface circuits,
2111 is an image input interface circuit, 2112 and 2113 are TV signal receiving circuits, and 2114 is an input unit.

【0094】(なお、本表示装置は、たとえばテレビジ
ョン信号のように映像情報と音声情報の両方を含む信号
を受信する場合には、当然映像の表示と同時に音声を再
生するものであるが、本発明の特徴と直接関係しない音
声情報の受信,分離,再生,処理,記憶などに関する回
路やスピーカなどについては説明を省略する。)以下、
画像信号の流れに沿って各部の機能を説明してゆく。
(When the present display device receives a signal containing both video information and audio information, such as a television signal, it naturally reproduces the audio simultaneously with the display of the video. Descriptions of circuits, speakers, and the like related to reception, separation, reproduction, processing, storage, and the like of audio information that are not directly related to the features of the present invention are omitted.)
The function of each unit will be described along the flow of the image signal.

【0095】まず、TV信号受信回路2113は、たと
えば電波や空間光通信などのような無線伝送系を用いて
伝送されるTV画像信号を受信するための回路である。
受信するTV信号の方式は特に限られるものではなく、
たとえば、NTSC方式、PAL方式、SECAM方式
などの諸方式でもよい。また、これらよりさらに多数の
走査線よりなるTV信号(たとえばMUSE方式をはじ
めとするいわゆる高品位TV)は、大面積化や大画素数
化に適した前記ディスプレイパネルの利点を生かすのに
好適な信号源である。TV信号受信回路2113で受信
されたTV信号は、デコーダ2104に出力される。
First, the TV signal receiving circuit 2113 is a circuit for receiving a TV image signal transmitted using a wireless transmission system such as radio waves or spatial optical communication.
The type of TV signal to be received is not particularly limited,
For example, various systems such as the NTSC system, the PAL system, and the SECAM system may be used. A TV signal (for example, a so-called high-definition TV such as the MUSE system) composed of a larger number of scanning lines is suitable for taking advantage of the display panel suitable for a large area and a large number of pixels. Signal source. The TV signal received by the TV signal receiving circuit 2113 is output to the decoder 2104.

【0096】また、TV信号受信回路2112は、たと
えば同軸ケーブルや光ファイバーなどのような有線伝送
系を用いて伝送されるTV画像信号を受信するための回
路である。前記TV信号受信回路2113と同様に、受
信するTV信号の方式は特に限られるものではなく、ま
た本回路で受信されたTV信号もデコーダ2104に出
力される。
The TV signal receiving circuit 2112 is a circuit for receiving a TV image signal transmitted using a wired transmission system such as a coaxial cable or an optical fiber. As with the TV signal receiving circuit 2113, the type of the TV signal to be received is not particularly limited, and the TV signal received by this circuit is also output to the decoder 2104.

【0097】また、画像入力インターフェース回路21
11は、たとえばTVカメラや画像読み取りスキャナな
どの画像入力装置から供給される画像信号を取り込むた
めの回路で、取り込まれた画像信号はデコーダ2104
に出力される。
The image input interface circuit 21
Reference numeral 11 denotes a circuit for receiving an image signal supplied from an image input device such as a TV camera or an image reading scanner.
Is output to

【0098】また、画像メモリインターフェース回路2
110は、ビデオテープレコーダ(以下VTRと略す)
に記憶されている画像信号を取り込むための回路で、取
り込まれた画像信号はデコーダ2104に出力される。
The image memory interface circuit 2
110 is a video tape recorder (hereinafter abbreviated as VTR)
Is a circuit for capturing the image signal stored in the decoder 2104. The captured image signal is output to the decoder 2104.

【0099】また、画像メモリインターフェース回路2
109は、ビデオディスクに記憶されている画像信号を
取り込むための回路で、取り込まれた画像信号はデコー
ダ2104に出力される。
The image memory interface circuit 2
Reference numeral 109 denotes a circuit for capturing an image signal stored in the video disk, and the captured image signal is output to the decoder 2104.

【0100】また、画像メモリインターフェース回路2
108は、いわゆる静止画ディスクのように、静止画像
データを記憶している装置から画像信号を取り込むため
の回路で、取り込まれた静止画像データはデコーダ21
04に出力される。
The image memory interface circuit 2
Reference numeral 108 denotes a circuit for taking in an image signal from a device that stores still image data, such as a so-called still image disk.
04 is output.

【0101】また、入出力インターフェース回路210
5は、本表示装置と、外部のコンピュータもしくはコン
ピュータネットワークもしくはプリンタなどの出力装置
とを接続するための回路である。画像データや文字デー
タ・図形情報の入出力を行うのはもちろんのこと、場合
によっては本表示装置の備えるCPU2106と外部と
の間で制御信号や数値データの入出力などを行うことも
可能である。
The input / output interface circuit 210
Reference numeral 5 denotes a circuit for connecting the present display device to an external computer, a computer network, or an output device such as a printer. In addition to inputting and outputting image data, character data, and graphic information, control signals and numerical data can be input and output between the CPU 2106 included in the display device and the outside in some cases. .

【0102】また、画像生成回路2107は、前記入出
力インターフェース回路2105を介して外部から入力
される画像データや文字・図形情報や、あるいはCPU
2106より出力される画像データや文字・図形情報に
基づき表示用画像データを生成するための回路である。
本回路の内部には、たとえば画像データや文字・図形情
報を蓄積するための書き換え可能メモリや、文字コード
に対応する画像パターンが記憶されている読みだし専用
メモリや、画像処理を行うためのプロセッサなどをはじ
めとして画像の生成に必要な回路が組み込まれている。
本回路により生成された表示用画像データは、デコーダ
2104に出力されるが、場合によっては前記入出力イ
ンターフェース回路2105を介して外部のコンピュー
タネットワークやプリンタ入出力することも可能であ
る。
Further, the image generation circuit 2107 is provided with image data, character / graphic information input from the outside via the input / output interface circuit 2105, or a CPU.
A circuit for generating display image data based on the image data and character / graphic information output from 2106.
The circuit includes a rewritable memory for storing, for example, image data and character / graphic information, a read-only memory for storing image patterns corresponding to character codes, and a processor for performing image processing. Circuits necessary for generating an image, such as those described above, are incorporated.
The display image data generated by this circuit is output to the decoder 2104, but may be input / output to an external computer network or a printer via the input / output interface circuit 2105 in some cases.

【0103】また、CPU2106は、主として本表示
装置の動作制御や、表示画像の生成や選択や編集に関わ
る作業を行う。
The CPU 2106 mainly performs operations related to operation control of the display device and generation, selection, and editing of a display image.

【0104】たとえば、マルチプレクサ2103に制御
信号を出力し、ディスプレイパネルに表示する画像信号
を適宜選択したり組み合わせたりする。また、その際に
は表示する画像信号に応じてディスプレイパネルコント
ローラ2102に対して制御信号を発生し、画面表示周
波数や走査方法(たとえばインターレースかノンインタ
ーレースか)や一画面の走査線の数など表示装置の動作
を適宜制御する。
For example, a control signal is output to multiplexer 2103, and image signals to be displayed on the display panel are appropriately selected or combined. In this case, a control signal is generated for the display panel controller 2102 in accordance with the image signal to be displayed, and the display frequency, the scanning method (for example, interlaced or non-interlaced), the number of scanning lines on one screen, and the like are displayed. The operation of the device is appropriately controlled.

【0105】また、前記画像生成回路2107に対して
画像データや文字・図形情報を直接出力したり、あるい
は前記入出力インターフェース回路2105を介して外
部のコンピュータやメモリをアクセスして画像データや
文字・図形情報を入力する。
Further, image data and character / graphic information are directly output to the image generation circuit 2107, or an external computer or memory is accessed via the input / output interface circuit 2105 to access the image data or character / graphic information. Enter graphic information.

【0106】なお、CPU2106は、むろんこれ以外
の目的の作業にも関わるものであっても良い。たとえ
ば、パーソナルコンピュータやワードプロセッサなどの
ように、情報を生成したり処理する機能に直接関わって
も良い。あるいは、前述したように入出力インターフェ
ース回路2105を介して外部のコンピュータネットワ
ークと接続し、たとえば数値計算などの作業を外部機器
と協同して行っても良い。
The CPU 2106 may, of course, be involved in work for other purposes. For example, it may directly relate to a function of generating and processing information, such as a personal computer or a word processor. Alternatively, it may be connected to an external computer network via the input / output interface circuit 2105 as described above, and work such as numerical calculation may be performed in cooperation with external equipment.

【0107】また、入力部2114は、CPU2106
に使用者が命令やプログラム、あるいはデータなどを入
力するためのものであり、たとえばキーボードやマウス
のほか、ジョイスティック,バーコードリーダー,音声
認識装置など多様な入力機器を用いる事が可能である。
The input unit 2114 is connected to the CPU 2106
The user inputs commands, programs, data, and the like, and various input devices such as a joystick, a barcode reader, and a voice recognition device can be used, for example, in addition to a keyboard and a mouse.

【0108】また、デコーダ2104は、前記2107
ないし2113より入力される種々の画像信号を3原色
信号、または輝度信号とI信号,Q信号に逆変換するた
めの回路である。なお、同図中に点線で示すように、デ
コーダ2104は内部に画像メモリを備えるのが望まし
い。これは、たとえばMUSE方式をはじめとして、逆
変換するに際して画像メモリを必要とするようなテレビ
信号を扱うためである。また、画像メモリを備えること
により、静止画の表示が容易になる、あるいは前記画像
生成回路2107およびCPU2106と協同して画像
の間引き,補間,拡大,縮小,合成をはじめとする画像
処理や編集が容易に行えるようになるという利点が生ま
れるからである。
Also, the decoder 2104 has the
And 2113 are circuits for inversely converting various image signals inputted from 2113 into three primary color signals or luminance signals and I and Q signals. It is to be noted that the decoder 2104 desirably includes an image memory therein, as indicated by a dotted line in FIG. This is for handling a television signal that requires an image memory when performing inverse conversion, such as the MUSE method. Further, the provision of the image memory facilitates the display of a still image, or enables image processing and editing including image thinning, interpolation, enlargement, reduction, and synthesis in cooperation with the image generation circuit 2107 and the CPU 2106. This is because there is an advantage that it can be easily performed.

【0109】また、マルチプレクサ2103は、前記C
PU2106より入力される制御信号に基づき表示画像
を適宜選択するものである。すなわち、マルチプレクサ
2103はデコーダ2104から入力される逆変換され
た画像信号のうちから所望の画像信号を選択して駆動回
路2101に出力する。その場合には、一画面表示時間
内で画像信号を切り替えて選択することにより、いわゆ
る多画面テレビのように、一画面を複数の領域に分けて
領域によって異なる画像を表示することも可能である。
The multiplexer 2103 is connected to the C
A display image is appropriately selected based on a control signal input from the PU 2106. That is, the multiplexer 2103 selects a desired image signal from the inversely converted image signals input from the decoder 2104 and outputs the selected image signal to the drive circuit 2101. In that case, by switching and selecting an image signal within one screen display time, it is possible to divide one screen into a plurality of areas and display different images depending on the areas, as in a so-called multi-screen TV. .

【0110】また、ディスプレイパネルコントローラ2
102は、前記CPU2106より入力される制御信号
に基づき駆動回路2101の動作を制御するための回路
である。
The display panel controller 2
Reference numeral 102 denotes a circuit for controlling the operation of the drive circuit 2101 based on a control signal input from the CPU 2106.

【0111】まず、ディスプレイパネルの基本的な動作
にかかわるものとして、たとえばディスプレイパネルの
駆動用電源(図示せず)の動作シーケンスを制御するた
めの信号を駆動回路2101に対して出力する。また、
ディスプレイパネルの駆動方法に関わるものとして、た
とえば画面表示周波数や走査方法(たとえばインターレ
ースかノンインターレースか)を制御するための信号を
駆動回路2101に対して出力する。
First, as a signal related to the basic operation of the display panel, for example, a signal for controlling an operation sequence of a drive power source (not shown) for the display panel is output to the drive circuit 2101. Also,
A signal for controlling, for example, a screen display frequency and a scanning method (for example, interlaced or non-interlaced) related to the display panel driving method is output to the driving circuit 2101.

【0112】また、場合によっては表示画像の輝度やコ
ントラストや色調やシャープネスといった画質の調整に
関わる制御信号を駆動回路2101に対して出力する場
合もある。
In some cases, a control signal related to image quality adjustment such as brightness, contrast, color tone, and sharpness of a display image may be output to the drive circuit 2101.

【0113】また、駆動回路2101は、ディスプレイ
パネル2100に印加する駆動信号を発生するための回
路であり、前記マルチプレクサ2103から入力される
画像信号と、前記ディスプレイパネルコントローラ21
02より入力される制御信号に基づいて動作するもので
ある。
The drive circuit 2101 is a circuit for generating a drive signal to be applied to the display panel 2100, and includes an image signal input from the multiplexer 2103 and the display panel controller 21.
02 operates based on a control signal input from the control unit 02.

【0114】以上、各部の機能を説明したが、図27に
例示した構成により、本表示装置においては多様な画像
情報源より入力される画像情報をディスプレイパネル2
100に表示する事が可能である。すなわち、テレビジ
ョン放送をはじめとする各種の画像信号はデコーダ21
04において逆変換された後、マルチプレクサ2103
において適宜選択され、駆動回路2101に入力され
る。一方、ディスプレイコントローラ2102は、表示
する画像信号に応じて駆動回路2101の動作を制御す
るための制御信号を発生する。駆動回路2101は、上
記画像信号と制御信号に基づいてディスプレイパネル2
100に駆動信号を印加する。これにより、ディスプレ
イパネル2100において画像が表示される。これらの
一連の動作は、CPU2106により統括的に制御され
る。
The function of each unit has been described above. With the configuration illustrated in FIG. 27, in this display device, image information input from various image information sources is displayed on the display panel 2.
100 can be displayed. That is, various image signals including television broadcasting are transmitted to the decoder 21.
After the inverse conversion at 04, the multiplexer 2103
And is input to the driving circuit 2101 as appropriate. On the other hand, the display controller 2102 generates a control signal for controlling the operation of the drive circuit 2101 according to the image signal to be displayed. The drive circuit 2101 controls the display panel 2 based on the image signal and the control signal.
100 is applied with a drive signal. Accordingly, an image is displayed on display panel 2100. These series of operations are totally controlled by the CPU 2106.

【0115】また、本表示装置においては、デコーダ2
104に内蔵する画像メモリや、画像生成回路2107
およびCPU2106が関与することにより、単に複数
の画像情報の中から選択したものを表示するだけでな
く、表示する画像情報に対して、たとえば拡大,縮小,
回転,移動,エッジ強調,間引き,補間,色変換,画像
の縦横比変換などをはじめとする画像処理や、合成,消
去,接続,入れ換え,はめ込みなどをはじめとする画像
編集を行う事も可能である。また、本実施形態の説明で
は特に触れなかったが、画像処理や画像編集と同様に、
音声情報に関しても処理や編集を行うための専用回路を
設けても良い。
In the present display device, the decoder 2
An image memory built in the image processing circuit 104;
And the involvement of the CPU 2106 not only displays the selected one of the plurality of image information but also enlarges, reduces,
It is also possible to perform image processing such as rotation, movement, edge enhancement, thinning, interpolation, color conversion, image aspect ratio conversion, and image editing such as synthesis, erasure, connection, replacement, and fitting. is there. Although not particularly mentioned in the description of the present embodiment, like image processing and image editing,
A dedicated circuit for processing and editing audio information may also be provided.

【0116】したがって、本表示装置は、テレビジョン
放送の表示機器,テレビ会議の端末機器,静止画像およ
び動画像を扱う画像編集機器,コンピュータの端末機
器,ワードプロセッサをはじめとする事務用端末機器,
ゲーム機などの機能を一台で兼ね備える事が可能で、産
業用あるいは民生用として極めて応用範囲が広い。
Therefore, the present display device is a television broadcast display device, a video conference terminal device, an image editing device for handling still images and moving images, a computer terminal device, an office terminal device such as a word processor,
It can be equipped with the functions of a game machine etc. by one unit, and has a very wide application range for industrial or consumer use.

【0117】なお、図27は、表面伝導型放出素子を電
子ビーム源とするディスプレイパネルを用いた表示装置
の構成の一例を示したにすぎず、これのみに限定される
ものではない事は言うまでもない。たとえば、図27の
構成要素のうち使用目的上必要のない機能に関わる回路
は省いても差し支えない。またこれとは逆に、使用目的
によってはさらに構成要素を追加しても良い。たとえ
ば、本表示装置をテレビ電話機として応用する場合に
は、テレビカメラ,音声マイク,照明機,モデムを含む
送受信回路などを構成要素に追加するのが好適である。
FIG. 27 shows only an example of the configuration of a display device using a display panel using a surface conduction electron-emitting device as an electron beam source, and it goes without saying that the present invention is not limited to this. No. For example, among the components shown in FIG. 27, circuits relating to functions that are not necessary for the purpose of use may be omitted. Conversely, additional components may be added depending on the purpose of use. For example, when the present display device is applied as a video phone, it is preferable to add a transmission / reception circuit including a television camera, an audio microphone, an illuminator, and a modem to the components.

【0118】本表示装置においては、とりわけ表面伝導
型放出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルが
容易に薄形化できるため、表示装置全体の奥行きを小さ
くすることが可能である。それに加えて、表面伝導型放
出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルは大画
面化が容易で輝度が高く視野角特性にも優れるため、本
表示装置は臨場感あふれ迫力に富んだ画像を視認性良く
表示する事が可能である。
In the present display device, in particular, since the display panel using the surface conduction electron-emitting device as the electron beam source can be easily made thin, the depth of the entire display device can be reduced. In addition, the display panel using surface conduction electron-emitting devices as the electron beam source can easily enlarge the screen, and has high brightness and excellent viewing angle characteristics. It is possible to display well.

【0119】以上、電子放出素子の原理、表示パネルの
構成と製造法、応用実施形態を示した。
The principle of the electron-emitting device, the configuration and the manufacturing method of the display panel, and the applied embodiments have been described above.

【0120】一方、このようなマトリクス型の画像表示
装置の画質に関して、昨今、種々の検討が進められてい
る。その一つに画像の鮮鋭感となめらかさの問題があ
る。
On the other hand, various studies have recently been made on the image quality of such a matrix type image display device. One of the problems is the sharpness and smoothness of the image.

【0121】文献(『最近のディスプレイ装置』テレビ
ジョン学会1974年)によると「トリニトロン管の例
のようなすだれ式サンプリング作用は、鮮鋭感の擬似補
正効果がある」とある。
According to the literature ("Recent Display Devices", The Television Society of Japan, 1974), "the intermittent sampling function as in the case of the trinitron tube has a pseudo-correction effect of sharpness".

【0122】本発明者は、画像の鮮鋭感となめらかさの
好みを定量化するために、主観評価実験を行った。
The inventor conducted a subjective evaluation experiment in order to quantify the preference for sharpness and smoothness of an image.

【0123】実験は、鮮鋭感、滑らかさのことなるいく
つかの原画像に、図2のようなマトリクス型ディスプレ
イの輝点面積率をかえることを行った。この結果、次の
知見を得た。 ・輝点面積率が低いほど、鮮鋭感は高くなる。 ・輝点面積率が高いほど、滑らか感は高くなる。 ・精細部の多い画像では鮮鋭感の高い表示が好まれる。 ・滑らかな色調変化に富んだ画像は滑らか感の高い表示
が好まれる。
In the experiment, the luminescent spot area ratio of the matrix type display as shown in FIG. 2 was changed for some original images having different sharpness and smoothness. As a result, the following findings were obtained. -The lower the bright spot area ratio, the higher the sharpness. -The higher the bright spot area ratio, the higher the smoothness. -A display with high sharpness is preferred for an image with many details. -An image rich in smooth color tone change is preferably displayed with high smoothness.

【0124】かかる特性を有効活用する本実施形態を以
下に説明する。
The present embodiment which makes effective use of such characteristics will be described below.

【0125】[第1の実施形態]先ず、概要を簡単に説
明する。本第1の実施形態では、入力された画像信号の
適当なサイズの領域について着目し、その領域について
精細度を判定する。具体的には、その領域内における輝
度変化が大小で判定し、その結果を例えば3段階で表現
する。つまり、その領域における注目画素がどの段階の
領域にあるかを判定する。そして、注目画素について例
えば3×3の蛍光体で再現する場合に、発光する蛍光体
の数を決定する。但し、1入力画素について表示パネル
上では3×3の蛍光体で表現するわけであるから、入力
画素の輝度が同じであれば、発光する輝度の総和を同じ
にする。
[First Embodiment] First, the outline will be briefly described. In the first embodiment, attention is paid to a region of an appropriate size of an input image signal, and the definition of the region is determined. More specifically, the luminance change in the area is determined based on the magnitude, and the result is expressed, for example, in three stages. That is, it is determined at which stage the pixel of interest in that region is located. Then, when the target pixel is reproduced with, for example, 3 × 3 phosphors, the number of light-emitting phosphors is determined. However, since one input pixel is represented by a 3 × 3 phosphor on the display panel, if the luminance of the input pixel is the same, the total sum of the luminances to emit light is the same.

【0126】図1に従い説明する。同図は第1の実施形
態としての画像表示装置の駆動回路の構成図である。
Description will be made with reference to FIG. FIG. 2 is a configuration diagram of a drive circuit of the image display device according to the first embodiment.

【0127】図中、精細度計算部1−1は、注目目画像
信号値から着目画素近傍の画像領域の精細度を計算する
回路である。得られた精細度は、起点面積率制御部1−
2へ送られる。輝点面積率制御部1−2では、精細度に
応じて、画素領域内で発光させるべき面積を輝点面積率
として出力する。輝点面積率は、駆動回路1−5に送ら
れると同時に、輝度補正部1−3に送られる。輝度補正
部1−3では、画素値が等しいなら、輝反面積率にかか
わらず、等しい輝度を再現させるべく、輝度面積率に応
じた画像信号の輝度補正量を計算する。この輝度補正量
は駆動回路1−4に送られる。駆動回路1−4は、画像
信号と輝点面積率と輝度補正量に基づいてディスプレイ
パネル1−5の所定の画素領域を発光させる。
In the figure, a definition calculating unit 1-1 is a circuit for calculating the definition of an image area near a pixel of interest from the image signal value of the target eye. The obtained definition is based on the starting area ratio control unit 1-.
Sent to 2. The bright spot area ratio control unit 1-2 outputs an area to be illuminated in the pixel region as a bright spot area ratio according to the definition. The bright spot area ratio is sent to the drive circuit 1-5 and, at the same time, to the brightness correction unit 1-3. If the pixel values are equal, the luminance correction unit 1-3 calculates the luminance correction amount of the image signal according to the luminance area ratio so as to reproduce the same luminance regardless of the area ratio. This luminance correction amount is sent to the drive circuit 1-4. The drive circuit 1-4 causes a predetermined pixel area of the display panel 1-5 to emit light based on the image signal, the bright spot area ratio, and the luminance correction amount.

【0128】さらに詳しく説明する。図3は、図1中の
精細度計算部1−1を詳細化した一例である。同図で、
画像信号は微分回路3−1に入力され、微分が計算され
る。この微分値は、絶対値計算回路3−2に入力され、
全て正の値に変換される。つまり、輝度変化の大きさの
度合を示すデータを得ることになる。次に平均化回路3
−3に入力され、設定した範囲で平均化された値を精細
度として出力する。
This will be described in more detail. FIG. 3 is an example in which the definition calculator 1-1 in FIG. 1 is detailed. In the figure,
The image signal is input to the differentiating circuit 3-1 and the differentiation is calculated. This differential value is input to the absolute value calculation circuit 3-2,
All are converted to positive values. That is, data indicating the degree of the change in luminance is obtained. Next, the averaging circuit 3
-3, and outputs a value averaged in the set range as the definition.

【0129】図4は、図1中の輝点面積率制御部1−2
を詳細化した一例である。最も簡単には、同図のように
ルックアップテーブル4−1により実現可能である。図
5は、ルックアップテーブル4−1の入出力関係を示す
一例である。図5では、精細度は8ビットで出力され、
輝点面積率(3×3の画素のいくつを発光させるかを示
す値)は、1/9,4/9,9/9の3段階に変化でき
るものとして例示してある。
FIG. 4 shows a bright spot area ratio control unit 1-2 in FIG.
FIG. Most simply, it can be realized by the look-up table 4-1 as shown in FIG. FIG. 5 is an example showing the input / output relationship of the lookup table 4-1. In FIG. 5, the definition is output in 8 bits,
The luminescent spot area ratio (value indicating how many of the 3 × 3 pixels emit light) is illustrated as one that can be changed in three stages of 1/9, 4/9, and 9/9.

【0130】図6は、図1中の輝度補正部1−3を詳細
化した一例である。最も簡単には、同図のようにルック
アップテーブル6−1により実現可能である。図7は、
図5で例示した3段階の輝点面積率変換を行った場合の
ルックアップテーブル6−1による輝度補正テーブルを
例示したものである。
FIG. 6 is a detailed example of the brightness correction section 1-3 in FIG. Most simply, it can be realized by the look-up table 6-1 as shown in FIG. FIG.
FIG. 6 illustrates a luminance correction table based on a look-up table 6-1 when the three-step bright spot area ratio conversion illustrated in FIG. 5 is performed.

【0131】図8は、図1中の駆動回路1−4を詳細化
した一例である。
FIG. 8 is a detailed example of the drive circuit 1-4 in FIG.

【0132】サブ画素書込制御回路8−2は、輝点面積
率制御部1−2からの輝点面識率(実施形態では3段
階)に従い、注目入力画素に対する3×3の発光体の幾
つの発光体を駆動するかを決定する。
The sub-pixel writing control circuit 8-2 determines the number of 3 × 3 luminous bodies for the target input pixel according to the luminous point area recognition rate (three levels in the embodiment) from the luminous point area ratio control section 1-2. Is determined.

【0133】また、サブ画素書込制御回路8−2は、画
像信号と輝度補正部1−3より計算された画像信号と輝
度補正量を乗算する乗算回路8−1からのデータを受
け、それを、発光させる発光体の数で除算し、それを各
駆動対象位置に配分する。
The sub-pixel writing control circuit 8-2 receives data from the multiplication circuit 8-1 for multiplying the image signal by the image signal calculated by the luminance correction section 1-3 and the luminance correction amount. Is divided by the number of illuminants to emit light, and it is distributed to each drive target position.

【0134】こうして、例えば入力した注目画像データ
の輝度が例えば“90”であって、その注目画素位置が
精細度を高くし表示させることが好ましい場合には、3
×3の発光体の1つを駆動する。また、精細度が低い場
合(滑らかな領域である場合)には、3×3の発光体全
部を発光させるようにし、その中間である場合には3×
3のうちの4つの発光体を発光させるよう、該当する位
置に配分する。
Thus, for example, if the luminance of the input image data of interest is, for example, "90" and it is preferable to display the image at the position of the pixel of interest with a high definition,
Drive one of the x3 light emitters. When the definition is low (in the case of a smooth area), all of the 3 × 3 luminous bodies are made to emit light, and when the definition is in the middle, 3 × 3 luminous bodies are emitted.
The light is distributed to the corresponding positions so that four of the three light emitters emit light.

【0135】この配分結果は画素メモリ8−3に格納さ
れ、ラインバッファ8−4(3ライン分のメモリを有す
る)に格納され、1ライン分の画像データを入力しては
3ライン分の表示駆動を行なうことになる。
The distribution result is stored in the pixel memory 8-3, and is stored in the line buffer 8-4 (having three lines of memory). Driving is performed.

【0136】図9は、このようにして輝点面積率変換、
輝度補正を施された画像の例を示した図である。図示の
黒部分が非発光部分を示している。同図(a)は、高精
細度領域での画像再現の例で、同図(b)は、中精細度
領域での画像再現、同図(c)は低精細度すなわち滑ら
かな領域での画像再現である。尚、図示では、6×6の
表示領域、すなわち、入力画像の2×2の領域に対応す
る出力結果を示している。
FIG. 9 shows the conversion of the luminescent spot area ratio in this manner.
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of an image that has been subjected to luminance correction. The black part shown in the figure indicates a non-light emitting part. FIG. 3A shows an example of image reproduction in a high-definition area, FIG. 3B shows image reproduction in a medium-definition area, and FIG. Image reproduction. In the drawing, an output result corresponding to a 6 × 6 display area, that is, a 2 × 2 area of the input image is shown.

【0137】以上のように駆動することで、高い精細度
が要求される画像については発光面積を少なくし、逆に
濃度や輝度分布が滑らかな画像については発光面積を大
きくすることで、表示対象の画像の性質に依存した良好
な画像を表示させることが可能になる。
By driving as described above, the emission area is reduced for an image requiring high definition, and the emission area is increased for an image having a smooth density and luminance distribution. It is possible to display a good image depending on the nature of the image.

【0138】尚、上記第1の実施形態では、表面伝導型
電子放出素子をマトリックス配列させた表示装置に適用
させる例を説明したが、上記の思想に従えば一般的な表
示装置に適用しても良いし、表面伝導型電子放出素子に
限定されるものではない。但し、1入力画素につき多数
の表示要素で像を再現する場合、当然その表示要素が小
さくできないと、逆に表示要素が目障りになるので、表
面伝導型電子放出素子を用いた装置に適用することが望
まれる。
In the first embodiment, an example in which the surface conduction electron-emitting device is applied to a display device having a matrix arrangement has been described. However, according to the above idea, the invention is applied to a general display device. However, the present invention is not limited to the surface conduction electron-emitting device. However, when an image is reproduced with a large number of display elements per input pixel, if the display elements cannot be reduced in size, the display elements may become obstructive. Therefore, the present invention is to be applied to an apparatus using a surface conduction electron-emitting device. Is desired.

【0139】[第2の実施形態]次に、表面伝導型電子
放出素子に好適な例を第2の実施形態として説明する。
[Second Embodiment] Next, an example suitable for a surface conduction electron-emitting device will be described as a second embodiment.

【0140】すなわち、複数の表面伝導型電子放出素子
を基板上に配列形成した電子ビーム源を、赤,緑,青の
3原色それぞれに対応するように配設しかつ、該電子ビ
ーム源と対応する位置にそれぞれ電子ビームの照射によ
り可視光を発する各色毎の蛍光体を配設することで1つ
の画素を形成し、該画素を2次元平面上に複数個配設し
た発光パネルに適用した例を説明する。
That is, an electron beam source in which a plurality of surface conduction electron-emitting devices are arranged on a substrate is disposed so as to correspond to each of the three primary colors of red, green, and blue. Example in which one pixel is formed by arranging phosphors for each color that emits visible light by irradiating an electron beam at each of the positions to be applied, and the present invention is applied to a light emitting panel in which a plurality of the pixels are arranged on a two-dimensional plane. Will be described.

【0141】まず、上記表面伝導型電子放出素子により
放出される電子ビーム特性について説明する。
First, the characteristics of the electron beam emitted from the surface conduction electron-emitting device will be described.

【0142】図10は、表示パネル1000の電子放出
素子1002から放出された電子がフェースプレート1
007の蛍光体に衝突する状態を説明する断面図であ
る。
FIG. 10 shows that the electrons emitted from the electron-emitting devices 1002 of the display panel 1000 are applied to the face plate 1.
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a state of 007 colliding with a phosphor.

【0143】フェースプレート1007の内側には蛍光
体(膜)1008が塗布されている。また電極110
2,1103はそれぞれ列方向配線1004、行方向配
線1003とに接続されており、ある値以上の素子電圧
(例えばVf[V])が印加されると、電子放出素子1
002の電子放出部1105から電子が放出される。こ
うして放出された電子は、フェースプレート1007と
電子放出部1105との間に印加されたアノード電圧
(加速電圧)Va[V]によりフェースプレート100
7方向に加速されてフェースプレート1007に照射さ
れる。この時、放出された電子は中心軸100に沿って
電子放出部1105の真上に進むのではなく電子軌道1
01に沿って進む。この電子軌道101は電極1102
が正極性、電極1103が負極牲となるよう素子電圧V
fを印加したときの状態を示すものである。この場合、
中心軸100と電子のランディング位置との距離Lefは
次式により算出できる。
A phosphor (film) 1008 is applied inside the face plate 1007. The electrode 110
2 and 1103 are connected to a column direction wiring 1004 and a row direction wiring 1003, respectively, and when an element voltage (for example, Vf [V]) of a certain value or more is applied, the electron emitting element 1
Electrons are emitted from the electron-emitting portion 1105 of 002. The electrons emitted in this way are applied to the face plate 100 by the anode voltage (acceleration voltage) Va [V] applied between the face plate 1007 and the electron emission section 1105.
The laser beam is accelerated in seven directions and irradiated on the face plate 1007. At this time, the emitted electrons do not proceed to the position directly above the electron emitting portion 1105 along the central axis 100, but to the electron orbit 1
Go along 01. This electron orbit 101 is
Is a positive polarity, and the element voltage V is such that the electrode 1103 has a negative polarity.
This shows the state when f is applied. in this case,
The distance Lef between the central axis 100 and the landing position of the electrons can be calculated by the following equation.

【0144】[0144]

【数1】 Lef=2×K×Lh×SQRT(Vf/Va) …(1) 但し、Lh[m]は、放出素子1002と蛍光体100
8との問の距離 K は、放出素子1002の種類や形状により決ま
る定数 また「SQRT(A)」は、Aの平方根を示す。
Lf = 2 × K × Lh × SQRT (Vf / Va) (1) where Lh [m] is the emission element 1002 and the phosphor 100
8 is a constant determined by the type and shape of the emission element 1002. “SQRT (A)” indicates the square root of A.

【0145】また図11は、図10で示したフェースプ
レートの平面図である。本電子放出素子1002から放
出された電子ビームは図に示すような拡がりを持ってい
る。ここでは、輝度分布の幅をピーク輝度のP%で定義
すれば、水平方向には、図示のようにXs〔m]の幅を
定義できる。この幅は次式により算出できる。
FIG. 11 is a plan view of the face plate shown in FIG. The electron beam emitted from the electron-emitting device 1002 has a spread as shown in FIG. Here, if the width of the luminance distribution is defined by P% of the peak luminance, the width of Xs [m] can be defined in the horizontal direction as shown in the figure. This width can be calculated by the following equation.

【0146】[0146]

【数2】 Xs=Lh×Kxs×SQRT(Vf/Va)+Xoff (2) 但し、Lh〔m]は、放出素子1002と蛍光体100
8との間の距離Kxs、Xoffは、放出素子1002の
種類や形状により決まる定数である。
Xs = Lh × Kxs × SQRT (Vf / Va) + Xoff (2) where Lh [m] is the emission element 1002 and the phosphor 100
8 are constants determined by the type and shape of the emission element 1002.

【0147】(2)式により、アノード電圧(加速電
圧)Vaが同じであれば、素子電圧Vfが高いほど電子
ビーム幅Xsは広がることがわかる。
From the equation (2), it can be seen that if the anode voltage (acceleration voltage) Va is the same, the electron beam width Xs increases as the element voltage Vf increases.

【0148】一方、本電子放出素子は、素子電圧Vfが
変化すれば、放出電流Ieも変化することは既に図24
で述べた。
On the other hand, in the present electron-emitting device, if the device voltage Vf changes, the emission current Ie also changes.
Said.

【0149】すなわち素子電圧Vfを変化させれば、輝
点サイズを変更でき、それに伴う放出電流変化は、例え
ば画像信号値を変化させることにより補正すればよいこ
とがわかる。
That is, if the element voltage Vf is changed, the size of the luminescent spot can be changed, and the change in emission current accompanying the change can be corrected by, for example, changing the image signal value.

【0150】さて、このような放出特性を有する表面伝
導型電子放出素子に適用する場合、基本構成は図1で示
したものと同じであるので、ここでは、輝点面積率制御
部、輝度補正部、駆動回路の構成を説明する。
When the present invention is applied to a surface conduction electron-emitting device having such emission characteristics, the basic structure is the same as that shown in FIG. The configuration of the unit and the drive circuit will be described.

【0151】以下、理解を容易にするために、モノクロ
表示パネルとして説明する。
Hereinafter, for ease of understanding, a description will be given of a monochrome display panel.

【0152】第1の実施形態で示した図4の輝点面積率
制御部も本実施形態に適応できるが、その入出力関係
は、上述した電子放出特性を考慮して設定する。図12
は第2の実施形態における輝点面積制御部の入出力特性
を示したものであり、同図(a)は輝点面積率を無段階
に制御する場合の例、同図(b)は輝点面積率を3段階
に限定し回路の簡略化を図った場合の例である。Vf−
max,Vf−minは適正に電子が放出される素子電
圧の最高、最低を示し、Vf−midは、3段階に限定
した場合の中間電圧の例である。
Although the bright spot area ratio control unit shown in FIG. 4 in the first embodiment can be applied to this embodiment, the input / output relationship is set in consideration of the above-described electron emission characteristics. FIG.
9A and 9B show the input / output characteristics of the luminescent spot area control unit in the second embodiment. FIG. 10A shows an example in which the luminescent spot area ratio is steplessly controlled, and FIG. This is an example of a case where the point area ratio is limited to three stages to simplify the circuit. Vf-
max and Vf-min indicate the highest and lowest device voltages at which electrons are properly emitted, and Vf-mid is an example of an intermediate voltage when the voltage is limited to three stages.

【0153】本第2の実施形態の輝度補正部も第1の実
施形態で示した図6の輝度補正部を適応できるが、その
入出力関係は、上述した電子放出特性を考慮して設定す
る。図13は、表面伝導型電子放出素子に適用したあ場
合の輝度補正部の入出力特性を示したものであり、同図
(a)は輝点面積率を無段階に制御する場合の例、同図
(b)は輝点面積率を3段階に限定し回路の簡略化を図
った場合の例である。Vf−max,Vf−mid,V
f−minは図12で示した素子電圧であり、それらに
対応する補正量がAdj−max,Adj−mid,A
dj−minである。
Although the brightness correction unit of the second embodiment can also apply the brightness correction unit of FIG. 6 shown in the first embodiment, the input / output relationship is set in consideration of the above-described electron emission characteristics. . FIG. 13 shows the input / output characteristics of the luminance correction unit when applied to a surface conduction electron-emitting device. FIG. 13A shows an example in which the bright spot area ratio is steplessly controlled. FIG. 6B shows an example in which the luminous point area ratio is limited to three stages to simplify the circuit. Vf-max, Vf-mid, V
f-min is the element voltage shown in FIG. 12, and the corresponding correction amounts are Adj-max, Adj-mid, A
dj-min.

【0154】図14は、本第2の実施形態の駆動回路を
詳細化した一例である。図1中の輝度補正部1−3より
得られた輝度補正量は画像信号と乗算回路14−1によ
って乗算され、画素書込制御回路14−2に送られる。
画素書込制御回路14−2は、乗算回路14−1の出力
と図1中の輝点面積率制御部1−2より得られる輝点面
積率(素子駆動電圧)をラインバッファ14−3の対応
する位置に書き込む。この動作を反復し、1走査線分の
処理が終われば、ラインバッファ14−3のこのように
して1走査線分の処理が終われば、ラインバッファ14
−3のデータをディスプレイパネル1−5に送る。
FIG. 14 is a detailed example of the drive circuit according to the second embodiment. The luminance correction amount obtained from the luminance correction unit 1-3 in FIG. 1 is multiplied by the image signal by the multiplication circuit 14-1 and sent to the pixel writing control circuit 14-2.
The pixel write control circuit 14-2 uses the output of the multiplication circuit 14-1 and the bright spot area ratio (element drive voltage) obtained from the bright spot area ratio control unit 1-2 in FIG. Write to the corresponding location. This operation is repeated, and when the processing for one scanning line is completed, the line buffer 14-3 completes the processing for one scanning line in this manner.
-3 is sent to the display panel 1-5.

【0155】実際には、各画素毎の素子電圧と発光時間
に対するデータをラインバッファ14−3に格納する。
これら素子電圧は発光面積に依存するものであり、発光
時間は入力された画像データ、発光面積率、輝度補正量
の3つを引数として算出する関数に相当するルックアッ
プテーブルで生成する。そして、駆動の際には、発光時
間に相当する時間だけON信号を生成するため、例えば
パルス幅変調信号を生成し、その生成されたパルス幅信
号のON時間にその画素に割り当てられた素子電圧で駆
動する。
Actually, data on the element voltage and the light emission time for each pixel is stored in the line buffer 14-3.
These element voltages depend on the light emitting area, and the light emitting time is generated by a look-up table corresponding to a function that calculates the input image data, the light emitting area ratio, and the luminance correction amount as arguments. At the time of driving, in order to generate an ON signal for a time corresponding to the light emission time, for example, a pulse width modulation signal is generated, and the element voltage assigned to the pixel is set to the ON time of the generated pulse width signal. Drive with

【0156】図15は、このようにして輝点面積率変
換、輝度補正を施された画像の例を示した図である。同
図(a)は、高精細度領域での画像再現、同図(b)
は、中精細度領域での画像再現、同図(c)は低精細度
すなわち滑らかな領域での画像再現例を示している。
尚、図示では入力画素が2×2である例を示しているの
であって、1入力画像に対して2×2の蛍光体を発光さ
せているわけではない。
FIG. 15 is a diagram showing an example of an image which has been subjected to the luminous point area ratio conversion and the luminance correction in this manner. FIG. 3A shows an image reproduction in a high-definition area, and FIG.
Shows an example of image reproduction in a medium definition area, and FIG. 10C shows an example of image reproduction in a low definition, that is, a smooth area.
Note that the drawing shows an example in which the number of input pixels is 2 × 2, and does not mean that 2 × 2 phosphors emit light for one input image.

【0157】以上、本第2の実施形態によれば、表面伝
導型電子放出素子の特定を利用することで、第1の実施
形態の如く1入力画素に対して複数表示要素の関係では
なく、1入力画素に対し1表示要素の関係で画像を表示
することができ(表面伝導型電子放出素子の数も入力画
像の画素数と同じにでき)、しかも、原画像の状態(好
ましい精細度)に応じて発光面積を変化させ、良好な画
質を得ることができるようになる。
As described above, according to the second embodiment, by utilizing the specification of the surface conduction electron-emitting device, it is not necessary to relate a plurality of display elements to one input pixel as in the first embodiment. An image can be displayed with one display element for one input pixel (the number of surface conduction electron-emitting devices can be the same as the number of pixels of the input image), and the state of the original image (preferable definition) , The light emitting area can be changed according to the image quality, and good image quality can be obtained.

【0158】尚、第1、第2の実施形態とも、精細度を
3段階で扱ったが、勿論これに限る訳ではない。また、
精細度計算部、輝点面積制御部、輝度補正部についても
例示したが、これに限る訳ではない。
In the first and second embodiments, the definition is treated in three stages, but is not limited to this. Also,
Although the definition calculation unit, the bright spot area control unit, and the brightness correction unit have been illustrated, the invention is not limited thereto.

【0159】また、上記実施形態では表示パネルについ
て説明したが、電子ビームを照射して静電潜像を形成
し、画像を形成する装置に適用しても良いので、上記実
施形態によって本願発明が限定されるものではない。
Although the display panel has been described in the above embodiment, the present invention may be applied to an apparatus for forming an electrostatic latent image by irradiating an electron beam to form an image. It is not limited.

【0160】また、上記実施形態では説明を簡単にする
ために、モノクロ表示について説明したのであって、カ
ラー表示に対しても勿論適用できる。
In the above embodiment, the monochrome display has been described for the sake of simplicity. The present invention can be applied to a color display.

【0161】以上説明したように本実施形態に従えば、
精細部さを要求される画像や滑らかさを要求される画像
等、それぞれの画像の特性に応じて発光面積を変えるこ
とにより、それぞれに適した良好な画像を表示すること
が可能になる。
According to the present embodiment as described above,
By changing the light emitting area in accordance with the characteristics of each image such as an image requiring fine detail and an image requiring smoothness, it becomes possible to display a good image suitable for each image.

【0162】[0162]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、表
示対象の画像の特性内容に応じて1画素当たりの単位面
積に対する発光もしくは形成面積率を制御することで夫
々の画像の特性に最適な状態で表示あるいは形成するこ
とが可能となる。
As described above, according to the present invention, the light emission or the formation area ratio per unit area per pixel is controlled in accordance with the characteristics of the image to be displayed, so that the characteristics of each image are optimized. It can be displayed or formed in a proper state.

【0163】[0163]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施形態における表示装置のブロック構成図で
ある。
FIG. 1 is a block diagram of a display device according to an embodiment.

【図2】主観評価に用いた輝点面積率を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a bright spot area ratio used for subjective evaluation.

【図3】図1における精細度計算部のブロック構成図で
ある。
FIG. 3 is a block diagram of a definition calculating unit in FIG. 1;

【図4】図1における輝点面積率制御部のブロック構成
図である。
FIG. 4 is a block diagram of a bright spot area ratio control unit in FIG. 1;

【図5】精細度計算部の入出力関係を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an input / output relationship of a definition calculation unit.

【図6】図1における輝点補正部のブロック構成図であ
る。
FIG. 6 is a block diagram of a bright spot correction unit in FIG. 1;

【図7】輝点補正部の入出力関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating an input / output relationship of a bright spot correction unit.

【図8】図1における駆動回路を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a drive circuit in FIG. 1;

【図9】第1の実施形態における再現画像の一例を示す
図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a reproduced image according to the first embodiment.

【図10】電子放出素子から放出される電子軌道を示す
図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating an electron trajectory emitted from an electron-emitting device.

【図11】電子放出素子から放出される電子の輝度分布
を示す図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating a luminance distribution of electrons emitted from the electron-emitting device.

【図12】第2の実施形態における精細度計算部の入出
力関係を示す図である。
FIG. 12 is a diagram illustrating an input / output relationship of a definition calculator in the second embodiment.

【図13】第2の実施形態における輝点補正部の入出力
関係を示す図である。
FIG. 13 is a diagram illustrating an input / output relationship of a bright spot correction unit according to the second embodiment.

【図14】第2の実施形態における駆動回路のブロック
構成図である。
FIG. 14 is a block diagram of a drive circuit according to a second embodiment.

【図15】第2の実施形態における再現画像の一例を示
す図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating an example of a reproduced image according to the second embodiment.

【図16】実施形態における画像表示装置の、表示パネ
ルの一部を切り欠いて示した斜視図である。
FIG. 16 is a perspective view of the image display device according to the embodiment, in which a part of the display panel is cut away.

【図17】実施形態における表示パネルのフェースプレ
ートの蛍光体配列を例示した平面図である。
FIG. 17 is a plan view illustrating a phosphor array of a face plate of a display panel in the embodiment.

【図18】実施形態で用いた平面型の表面伝導型放出素
子の平面及び断面図である。
FIG. 18 is a plan view and a cross-sectional view of a planar surface conduction electron-emitting device used in the embodiment.

【図19】実施形態における平面型の表面伝導型放出素
子の製造工程を示す図である。
FIG. 19 is a diagram illustrating a manufacturing process of the flat surface conduction electron-emitting device according to the embodiment.

【図20】実施例における通電フォーミング処理の際の
印加電圧波形を示す図である。
FIG. 20 is a diagram showing an applied voltage waveform during energization forming processing in the example.

【図21】実施形態における通電活性化処理の際の印加
電圧波形及び放電電流Ieの変化を示す図である。
FIG. 21 is a diagram showing changes in an applied voltage waveform and a discharge current Ie during the activation process in the embodiment.

【図22】実施形態における垂直型の表面伝導型放出素
子の断面図である。
FIG. 22 is a sectional view of a vertical surface conduction electron-emitting device according to an embodiment.

【図23】実施形態における垂直型の表面伝導型放出素
子の製造工程を示す図である。
FIG. 23 is a diagram illustrating a manufacturing process of the vertical surface conduction electron-emitting device according to the embodiment.

【図24】実施形態で用いた表面伝導型放出素子の典型
的な特性を示す図である。
FIG. 24 is a view showing typical characteristics of the surface conduction electron-emitting device used in the embodiment.

【図25】実施形態で用いたマルチ電子ビーム源の基板
の平面図である。
FIG. 25 is a plan view of a substrate of the multi-electron beam source used in the embodiment.

【図26】実施形態で用いたマルチ電子ビーム源の基板
の一部断面図である。
FIG. 26 is a partial cross-sectional view of the substrate of the multi-electron beam source used in the embodiment.

【図27】実施形態である画像表示装置を用いた多機能
画像表示装置のブロック図である。
FIG. 27 is a block diagram of a multi-function image display device using the image display device according to the embodiment.

【図28】表面伝導型放出素子の一例を示す図である。FIG. 28 is a diagram showing an example of a surface conduction electron-emitting device.

【図29】FE型素子の一例を示す図である。FIG. 29 is a diagram illustrating an example of an FE-type element.

【図30】MIM型素子の一例を示す図である。FIG. 30 is a diagram illustrating an example of an MIM element.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 画像データを入力し、発光体を発光させ
て表示する画像表示装置であって、 表示対象の画像の精細度を検出する精細度検出手段と、 該精細度検出手段で検出された精細度に応じて発光面積
を制御する輝点面積率制御手段と、 前記輝点面積制御手段によって制御され発光面積に応じ
て、表示対象の画像データの輝度を補正する輝度補正手
段とを備えることを特徴とする画像表示装置。
1. An image display device for inputting image data and causing a luminous body to emit light for display, comprising: a fineness detection means for detecting the fineness of an image to be displayed; and a fineness detection means for detecting the fineness of the image to be displayed. A bright spot area ratio control means for controlling a light emitting area in accordance with the definition; and a brightness correction means for controlling the brightness of image data to be displayed, which is controlled by the bright spot area control means and in accordance with the light emitting area. An image display device characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 前記精細度検出手段は、注目画素位置近
傍の輝度変化が大きさを示す情報を精細度として検出す
ることを特徴とする請求項第1項に記載の画像表示装
置。
2. The image display apparatus according to claim 1, wherein the definition detection unit detects information indicating a magnitude of a change in luminance near the position of the pixel of interest as the definition.
【請求項3】 前記輝点面積率制御手段は、1入力画素
に対して複数の発光体が割り当てられている場合に、幾
つの発光体を発光させるかを制御する手段であることを
特徴とする請求項第1項に記載の画像表示装置。
3. A method according to claim 1, wherein said bright spot area ratio control means is a means for controlling how many light emitters emit light when a plurality of light emitters are assigned to one input pixel. The image display device according to claim 1.
【請求項4】 電子放出素子を有する電子ビーム源と、
当該電子ビーム源から飛翔してきた電子を受けて発光す
る発光体で構成される表示パネルを有する画像表示装置
であって、 表示対象の画像の精細度を検出する精細度検出手段と、 該精細度検出手段で検出された精細度に応じて前記発光
体に照射されるビーム径を制御することにより発光面積
を制御する輝点面積率制御手段と、 前記輝点面積制御手段によって制御され発光面積に応じ
て、表示対象の画像データの輝度を補正する輝度補正手
段とを備えることを特徴とする画像表示装置。
4. An electron beam source having an electron-emitting device;
What is claimed is: 1. An image display apparatus comprising: a display panel including a luminous body which emits light by receiving electrons flying from said electron beam source, wherein said definition means detects a definition of an image to be displayed; A bright spot area ratio controlling means for controlling a light emitting area by controlling a beam diameter applied to the luminous body in accordance with the definition detected by the detecting means; and a light emitting area controlled by the bright spot area controlling means. An image display device comprising: a luminance correction unit configured to correct luminance of image data to be displayed in accordance with the luminance.
【請求項5】 前記電子放出素子は表面伝導型電子放出
素子であることを特徴とする請求項第4項に記載の画像
表示装置。
5. The image display device according to claim 4, wherein said electron-emitting device is a surface conduction electron-emitting device.
【請求項6】 前記精細度検出手段は、注目画素位置近
傍の輝度変化が大きさを示す情報を精細度として検出す
ることを特徴とする請求項第4項に記載の画像表示装
置。
6. The image display apparatus according to claim 4, wherein the definition detection unit detects information indicating a magnitude of a change in luminance near the position of the target pixel as the definition.
【請求項7】 前記電子ビーム源は複数の電子放出素子
を有し、前記表示パネルは複数の発光体を有することを
特徴とする請求項第4項に記載の画像表示装置。
7. The image display device according to claim 4, wherein said electron beam source has a plurality of electron-emitting devices, and said display panel has a plurality of luminous bodies.
【請求項8】 前記電子放出素子及び前記発光体はマト
リックス配列されていることを特徴とする請求項第7項
に記載の画像表示装置。
8. The image display device according to claim 7, wherein said electron-emitting devices and said luminous bodies are arranged in a matrix.
【請求項9】 電子放出素子を有する電子ビーム源と、
当該電子ビーム源から飛翔してきた電子を受けて画像を
形成する画像形成部を有する画像形成装置であって、 形成対象の画像の精細度を検出する精細度検出手段と、 該精細度検出手段で検出された精細度に応じて前記画像
形成部に照射されるビームの照射面積を制御する面積率
制御手段と、 前記面積率制御手段によって制御された照射面積に応じ
て形成対象の画像データを補正する補正手段とを備える
ことを特徴とする画像形成装置。
9. An electron beam source having an electron-emitting device;
An image forming apparatus having an image forming unit configured to form an image by receiving electrons flying from the electron beam source, comprising: a fineness detecting unit configured to detect a fineness of an image to be formed; Area ratio control means for controlling an irradiation area of a beam applied to the image forming unit in accordance with the detected definition; and correcting image data to be formed in accordance with the irradiation area controlled by the area ratio control means. An image forming apparatus comprising:
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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