JPH11160347A - Sensor circuit - Google Patents

Sensor circuit

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JPH11160347A
JPH11160347A JP9328766A JP32876697A JPH11160347A JP H11160347 A JPH11160347 A JP H11160347A JP 9328766 A JP9328766 A JP 9328766A JP 32876697 A JP32876697 A JP 32876697A JP H11160347 A JPH11160347 A JP H11160347A
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output signal
operational amplifier
voltage
input terminal
resistor
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JP9328766A
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Inventor
Masami Hori
Shuichi Katayama
Naohiro Taniguchi
正美 堀
秀一 片山
直博 谷口
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
松下電工株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To compensate for drifting without increasing size, by changing resistance so that the absolute value becomes equal, even if the sign of the amount of fluctuation from a temperature characteristic compensation part corresponding to the amount of fluctuation of a partial voltage is opposite to that of the offset temperature drift of a sensor part.
SOLUTION: When pressure and acceleration to be measured change, the resistance of a sensor part 1 changes and the output signal between the other opposing contacts 1c and 1d also fluctuates. The output signal is inputted to each inverted input terminal of operational amplifiers Amp1 and Amp2 of an amplifier 2 and is amplified. By changing the resistance of resistors R5 and R6 for dividing voltage, an output signal inputted to the non-inverted input terminal of Amp2 becomes variable. An output signal amplified by the amplifier 2 is inputted to an operational amplifier Amp3 of an amplification part 3 via a resistor R13 for amplification and is amplified again. By changing the resistance so that an amount of fluctuation Vout has an opposite sign to the offset temperature drift of the sensor part 1 and has the same absolute value, an offset temperature drift can be compensated according to ambient temperature without increasing size.
COPYRIGHT: (C)1999,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力や加速度等のセンサに用いられるセンサ回路に関するものである。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a sensor circuit used in the sensor, such as pressure or acceleration.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、この種のセンサ回路として、図3 Conventionally, as this type of sensor circuit, Figure 3
に示すものが存在する。 There are those shown in. このものは、両出力端子A 1 ,A 2 This compound, both output terminals A 1, A 2
を有し測定対象の物理量変化に対応して変動する出力信号が両出力端子A 1 ,A 2間から出力されるセンサ部A と、 A sensor portion A of the output signal that varies in response to a physical quantity change of the measurement target has is output from between the two output terminals A 1, A 2,
センサ部A の両出力端子A 1 ,A 2にそれぞれ接続された非反転入力端子を有する第1及び第2のオペアンプB 1 ,B 2 First and second operational amplifier having a non-inverting input terminals respectively connected to the two output terminals A 1, A 2 of the sensor unit A B 1, B 2
が設けられて出力信号を増幅する第1段増幅部B と、増幅された出力信号が反転入力端子に入力されるとともに感温抵抗C 1により負帰還された第3のオペアンプC 2が設けられた第2段増幅部C と、第3のアンプC 2から出力された出力信号が反転入力端子に入力されるとともに可変抵抗D 1により負帰還された第4のオペアンプD 2が設けられた第3段増幅部D と、を備え、第1のオペアンプB 1の反転入力端子には、第1の分圧用抵抗E 1 ,E 2により基準電圧Vccの分圧された分圧電圧が入力され、第3のオペアンプC 2の非反転入力端子には、第2の分圧用抵抗F 1 ,F A first-stage amplification unit B for amplifying the amplified output signal is the third operational amplifier C 2 which is negatively fed back by the thermal sensitive resistor C 1 is input to the inverting input terminal provided with the output signal provided with and a second stage amplifier station C, a first fourth operational amplifier D 2 which is negatively fed back by the variable resistor D 1 with the output signal output from the third amplifier C 2 is input to the inverting input terminal is provided includes 3-stage amplification unit D, and, in the first inverting input terminal of the operational amplifier B 1, divided by the divided voltage of the reference voltage Vcc by the first voltage dividing resistors E 1, E 2 is input, the third non-inverting input terminal of the operational amplifier C 2, the second dividing resistors F 1, F
2により基準電圧Vccの分圧された分圧電圧が入力される。 Divided by the divided voltage of the reference voltage Vcc is inputted by 2.

【0003】詳しくは、センサ部A の一方出力端子とグラウンドGNDとの間には、感温素子G 1及び抵抗G 2からなる直列回路G が接続されている。 [0003] Specifically, between the one output terminal and the ground GND of the sensor unit A, the series circuit G consisting of temperature-sensitive elements G 1 and resistor G 2 is connected.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のセンサ回路にあっては、センサ部A の一方出力端子とグラウンドGNDとの間には、感温素子G 1及び抵抗G 2からなる直列回路G が接続されているから、周囲温度に応じてオフセットを補償する、いわゆるオフセット温度ドリフト補償が可能となっている。 In the conventional sensor circuit described above which [0005] is between the one output terminal and the ground GND of the sensor unit A, the series circuit composed of a temperature sensitive element G 1 and resistor G 2 G There because they are connected, has become possible to compensate for offsets, called offset temperature drift compensation according to the ambient temperature.

【0005】しかしながら、感温素子G 1及び抵抗G 2からなる直列回路G を別に設けなくてはならないために、部品点数が多くなってしまい、大型化してしまうという問題点があった。 However, in order not a series circuit G consisting of temperature-sensitive elements G 1 and resistor G 2 is not provided separately, becomes the number of parts, there is a problem that increases in size.

【0006】本発明は、上記の点に着目してなされたもので、その目的とするところは、大型化することなく、 [0006] The present invention has been made in view of the above problems, it is an object without increasing the size of,
オフセット温度ドリフト補償をすることができるセンサ回路を提供することにある。 And to provide a sensor circuit capable of an offset temperature drift compensation.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】上記した課題を解決するために、請求項1記載の発明は、両出力端子を有し測定対象の物理量変化に対応して変動する出力信号が両出力端子間から出力されるセンサ部と、センサ部の両出力端子にそれぞれ接続された非反転入力端子を有する第1及び第2のオペアンプが設けられて出力信号を増幅する差動増幅部と、増幅された出力信号が反転入力端子に入力された第3のオペアンプが設けられて周囲温度に基づいて出力値を変動させて感度温度特性補償する感度温度特性補償部と、を備え、第1又は第2のオペアンプの反転入力端子のいずれかは、分圧用抵抗により基準電圧の分圧された分圧電圧が入力されるセンサ回路において、前記分圧用抵抗は、可変抵抗からなる構成にしてある。 In order to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The invention of Claim 1 wherein the inter-output signal both output terminals that varies in response to a physical quantity change of the measurement target has both output terminals a sensor unit which is outputted from a differential amplifier for amplifying the first and second operational amplifier is provided an output signal having a non-inverting input terminals respectively connected to the two output terminals of the sensor unit, which is amplified and a sensitivity temperature compensation unit which causes sensitivity temperature characteristic compensation varies the output value on the basis of the third operational amplifier is provided ambient temperature the output signal is input to the inverting input terminal, the first or second either an inverting input terminal of the operational amplifier, in sensor circuit divided by the divided voltage of the reference voltage by dividing resistors is inputted, the voltage-dividing resistors, are a configuration consisting of a variable resistor.

【0008】請求項2記載の発明は、両出力端子を有し測定対象の物理量変化に対応して変動する出力信号が両出力端子間から出力されるセンサ部と、センサ部の両出力端子にそれぞれ接続された非反転入力端子を有する第1及び第2のオペアンプが設けられて出力信号を増幅する差動増幅部と、増幅された出力信号が反転入力端子に入力された第3のオペアンプが設けられて周囲温度に基づいて出力値を変動させて感度温度特性補償する感度温度特性補償部と、を備え、第3のオペアンプの非反転入力端子は、第2の分圧用抵抗により基準電圧の分圧された分圧電圧が入力されるセンサ回路において、前記第2 [0008] According to a second aspect of the invention, a sensor unit output signal that varies in response to a physical quantity change of the measurement target has both output terminals is outputted from between the output terminals, the two output terminals of the sensor unit a differential amplifier unit in which the first and second operational amplifiers for amplifying the output signal provided with a non-inverting input terminals respectively connected, a third operational amplifier the amplified output signal is input to the inverted input terminal and sensitivity temperature characteristic compensation section provided in that by varying the sensitivity temperature compensation output value based on the ambient temperature, comprising a non-inverting input terminal of the third operational amplifier, the second voltage dividing resistor by the reference voltage in the sensor circuit divided by the divided voltage is inputted, the second
の分圧用抵抗は、可変抵抗からなる構成にしてある。 Dividing resistors of, it is a configuration consisting of a variable resistor.

【0009】 [0009]

【発明の実施の形態】本発明の第1実施形態を図1に基づいて以下に説明する。 The first embodiment of the embodiment of the present invention with reference to FIG. 1 will be described below. このセンサ回路は、半導体歪みゲージ式センサであって、センサ部1 、第1段増幅部(差動増幅部)2 、第2段増幅部3 、第3段増幅部4 を備えて構成される。 The sensor circuit is a semiconductor strain gauge type sensor, the sensor unit 1, the first stage amplifier unit (differential amplifier) ​​2, the second stage amplification unit 3, and a third stage amplifier section 4 .

【0010】センサ部1 は、センサ用抵抗R1,R2,R3,R4 [0010] Sensor unit 1 includes sensor resistors R1, R2, R3, R4
がブリッジ接続されてなり、例えば、圧力や加速度といった、測定対象の物理量の変化を検出する。 There will be a bridge connected, for example, such as pressure or acceleration, to detect a change in physical quantity to be measured. このセンサ部1の一方対向接続点1a,1b の間には基準電圧Vccが印加され、他方対向接続点1c,1d が両出力端子となって、 While opposing connection point 1a of the sensor 1, the reference voltage Vcc is applied between 1b, the other opposing connection points 1c, 1d becomes the two output terminals,
他方対向接続点1c,1d 間の電圧値を出力信号として出力する。 The other opposite the connection point 1c, and outputs a voltage value between 1d as an output signal.

【0011】第1段増幅部(差動増幅部)2 は、第1の分圧用抵抗R5,R6 、第1段増幅用抵抗R7,R8,R9,R10、第1及び第2のAmp1,Amp2 からなる。 A first stage amplifying portion (differential amplifier) ​​2, first voltage dividing resistors R5, R6, for the first stage amplification resistors R7, R8, R9, R10, first and second Amp1, Amp2 consisting of. 第1の分圧用抵抗R The first of the dividing resistors R
5,R6は、いずれも可変抵抗であって、接続点でもって基準電圧Vccを分圧するよう直列接続されている。 5, R6 is a both variable resistors are connected in series so as to divide the reference voltage Vcc with the connection point.

【0012】第1のオペアンプAmp1は、その非反転入力端子がセンサ部1 の他方対向接続点1dに接続されるとともに、反転入力端子が第1段増幅用抵抗R7を介して出力端子に接続されて、負帰還されている。 [0012] The first operational amplifier Amp1, the together with the non-inverting input terminal connected to the other opposite the connection point 1d of the sensor unit 1 is connected an inverting input terminal via a first stage amplifying resistor R7 to the output terminal Te is a negative feedback.

【0013】第2のオペアンプAmp2は、その非反転入力端子がセンサ部1 の他方対向接続点1cに接続されるとともに、反転入力端子が第1段増幅用抵抗R8を介して第1 A second operational amplifier Amp2, the together with the non-inverting input terminal connected to the other opposite connecting point 1c of the sensor unit 1, a first inverting input terminal via a first stage amplifying resistor R8
の分圧用抵抗R5,R6 の接続点に接続されている。 It is connected to a connection point of the voltage dividing resistors R5, R6. この第2のオペアンプAmp2は、反転入力端子が第1段増幅用抵抗R9を介して出力端子に接続されて、負帰還されている。 The second operational amplifier Amp2 is connected the inverting input terminal via a first stage amplifying resistor R9 to the output terminal and is negatively fed back. この第2のオペアンプAmp2は、第1段増幅用抵抗R1 The second operational amplifier Amp2, the first stage amplifying resistor R1
0 を介して、第1のオペアンプAmp1の反転入力端子に接続されている。 Through 0, it is connected to the inverting input terminal of the first operational amplifier Amp1.

【0014】第2段増幅部3 は、第2の分圧用抵抗R11, A second-stage amplification unit 3, a second voltage dividing resistors R11,
R12 、第2段増幅用抵抗R13,R14 、第3のオペアンプAm R12, for the second-stage amplifying resistors R13, R14, the third operational amplifier Am
p3からなる。 Consisting of p3. 第2の分圧用抵抗R11,R12 は、接続点でもって基準電圧Vccを分圧するよう直列接続されている。 Second voltage dividing resistors R11, R12 are connected in series so as to divide the reference voltage Vcc with the connection point.
第3のオペアンプAmp3は、その非反転入力端子が第2の分圧用抵抗R11,R12 の接続点に接続され、この第2の分圧用抵抗R11,R12 により基準電圧Vccが分圧された分圧電圧が入力されている。 The third operational amplifier Amp3, the non-inverting input terminal connected to the second voltage dividing resistors R11, R12 of the connection point, the partial pressure of the reference voltage Vcc is divided by the voltage dividing resistors R11, R12 of the second voltage is input. この第3のオペアンプAmp3は、 The third operational amplifier Amp3 is,
その反転入力端子が、第2段増幅用抵抗R13 を介して第1のオペアンプAmp1の出力端子に接続されるとともに、 With its inverting input terminal is connected to the output terminal of the first operational amplifier Amp1 through the second-stage amplifying resistors R13,
感温抵抗の第2段増幅用抵抗R14 を介して出力端子に接続されて、負帰還されている。 It is connected to the output terminal through the second-stage amplifier resistor R14 of the temperature-sensitive resistor, which is negatively fed back.

【0015】第3段増幅部4 は、第3の分圧用抵抗R15, A third stage amplification unit 4, the third voltage dividing resistors R15,
R16 、第2段増幅用抵抗R17,R18 、第4のオペアンプAm R16, second-stage amplifying resistors R17, R18, fourth operational amplifier Am
p4からなる。 Consisting of p4. 第3の分圧用抵抗R15,R16 は、可変抵抗であって、接続点でもって基準電圧Vccを分圧するよう直列接続されている。 Third voltage dividing resistors R15, R16 is a variable resistor are connected in series so as to divide the reference voltage Vcc with the connection point. 第4のオペアンプAmp4は、その非反転入力端子が第3の分圧用抵抗R15,R16 の接続点に接続され、この第3の分圧用抵抗R15,R16 により基準電圧V The fourth operational amplifier Amp4, the non-inverting input terminal connected to a connection point of the third voltage dividing resistors R15, R16, the reference voltage V by the third voltage dividing resistors R15, R16
ccが分圧された分圧電圧が入力されている。 cc is divided voltage divided is input. この第4のオペアンプAmp4は、反転入力端子が、第3段増幅用抵抗 The fourth operational amplifier Amp4 the inverting input terminal, a third-stage amplifying resistor
R17 を介して第3のオペアンプAmp3の出力端子に接続されるとともに、可変抵抗の第3段増幅用抵抗R18 を介して、出力電圧Vout を出力する出力端子に接続されて、 Through R17 is connected to the output terminal of the third operational amplifier Amp3, through the third stage amplifier resistor R18 of the variable resistor is connected to an output terminal for outputting the output voltage Vout,
負帰還されている。 It is negative feedback.

【0016】次に、動作について説明する。 [0016] Next, a description will be given of the operation. 測定対象の物理量、例えば、圧力や加速度が変化すると、センサ部 Physical quantity to be measured, for example, when the pressure or acceleration changes, the sensor unit
1 の抵抗値が変化して、その他方対向接続点1c,1d の間の電圧値である出力信号も変動する。 And 1 of the resistance value is changed, and the other opposite the connection point 1c, even if the output signal is a voltage value between 1d fluctuates.

【0017】この出力信号は、第1段増幅部2 の第1及び第2のオペアンプAmp1,Amp2 のそれぞれの非反転入力端子に入力されて増幅される。 [0017] The output signal is amplified is input to each of the non-inverting input terminal of the first and second operational amplifiers Amp1, Amp2 of the first stage amplifying portion 2. なお、第2のオペアンプ In addition, the second operational amplifier
Amp2の反転入力端子には、可変抵抗である第1の分圧用抵抗R5,R6 により基準電圧Vccの分圧された分圧電圧が、第1段増幅用抵抗R8を介して入力されるので、第1 The inverting input terminal of amp2, divided by the divided voltage of the first voltage dividing resistors R5, R6 by the reference voltage Vcc is variable resistor, since the input via a first stage amplifying resistor R8, first
の分圧用抵抗R5,R6 の抵抗値を変えることによって、第2のオペアンプAmp2の非反転入力端子に入力される出力信号が可変となっている。 By changing the resistance value of voltage dividing resistors R5, R6, the output signal is input to the non-inverting input terminal of the second operational amplifier Amp2 is variable.

【0018】第1段増幅部2 により増幅された出力信号が、第2段増幅用抵抗R13 を介して第2段増幅部3 の第3のオペアンプAmp3に入力されて、再度増幅される。 The output signal amplified by the first-stage amplification unit 2, via the second-stage amplifying resistor R13 is input to the third operational amplifier Amp3 in the second stage amplifier 3 and amplified again. なお、第3のオペアンプAmp3の帰還抵抗となっている第2 Note that the has a feedback resistor of the third operational amplifier Amp3 2
段増幅用抵抗R14 は、感温抵抗であるから、第3のオペアンプAmp3と共に、周囲温度に基づいて出力値を変動させて感度温度特性補償する感度温度特性補償部10を構成する。 Stage amplifying resistor R14, since a temperature-sensitive resistor, with a third operational amplifier Amp3, constituting the sensitivity temperature characteristic compensation unit 10 for sensitivity temperature characteristic compensation by varying the output value based on the ambient temperature.

【0019】詳しくは、感度の温度係数がαであって、 [0019] Specifically, the temperature coefficient of sensitivity is an α,
25℃を基準とした周囲温度がTであるとき、センサ部 When the ambient temperature relative to the 25 ° C. is T, the sensor unit
1 の感度温度特性S 1が、例えば、(1) 式で表現されるとすると、 S 1 =1/(1+αT) (1) このとき、感温抵抗の温度特性S 2が(2) 式で表現されるようにする。 1 sensitivity temperature characteristic S 1 is, for example, (1) When expressed in formula, S 1 = 1 / (1 + .alpha.T) (1) The temperature characteristics S 2 of the temperature-sensitive resistor (2) in to be expressed.

【0020】S 2 =(1+αT) (2) そうすると、感度温度特性補償部10から出力される出力値の温度特性Sは、(3) 式で表現されるようになる。 [0020] S 2 = (1 + αT) (2) Then, the temperature characteristic S of the output value output from the sensitivity temperature characteristic compensation section 10 is as expressed in equation (3).

【0021】 S=S 1 ×S 2 =(1/(1+αT))×(1+αT)=1 (3) この(3) 式に示すように、感度温度特性補償部10から出力される出力値の温度特性Sは、温度係数を有さないことになって、感度温度特性補償がなされることになる。 [0021] S = S 1 × S 2 = (1 / (1 + αT)) × (1 + αT) = 1 (3) as shown in equation (3), the output value output from the sensitivity temperature characteristic compensation section 10 temperature characteristic S are taken to have no temperature coefficient, so that the sensitivity-temperature characteristic compensation is performed.

【0022】第2段増幅部3 により増幅された出力信号は、第3段増幅用抵抗R17 を介して第3段増幅部4 の第4のオペアンプAmp4に入力されて、再度増幅される。 The output signal amplified by the second-stage amplification unit 3 is input to the fourth operational amplifier Amp4 of the third stage amplifying portion 4 through the third stage amplifier resistor R17, is amplified again. なお、第4のオペアンプAmp4の非反転入力端子に接続される接続点でもって互いに直列接続された第3の分圧用抵抗R15,R16 は、可変抵抗であるから、抵抗値を変動させることにより、オフセット調整をすることができる。 The third voltage dividing resistors R15, R16 connected in series to each other with a connecting point which is connected to the non-inverting input terminal of the fourth operational amplifier Amp4, since a variable resistor, by varying the resistance, it is possible to offset adjustment. また、第4のオペアンプAmp4の帰還抵抗となっている第3 The third which is the feedback resistor of the fourth operational amplifier Amp4
段増幅用抵抗R18 は、可変抵抗であるから、抵抗値を変動させることにより、感度調整をすることができる。 Stage amplifier resistor R18, because it is a variable resistor, by varying the resistance value, it is possible to sensitivity adjustment.

【0023】かかるセンサ回路にあっては、第1の分圧用抵抗R5,R6 により基準電圧Vccの分圧された分圧電圧が変動すると、第1段増幅部2 により増幅された出力信号は、その分圧電圧の変動分ΔVだけ変動するとともに、感度温度特性補償部10により、周囲温度に基づいて感度温度特性補償されて出力される。 [0023] In the such sensor circuit, when divided by the divided voltage of the reference voltage Vcc by the first voltage dividing resistors R5, R6 varies, the output signal amplified by the first-stage amplification unit 2, with varied by fluctuation ΔV of the divided voltage, the sensitivity temperature characteristic compensation section 10, and output is the sensitivity temperature compensation based on the ambient temperature.

【0024】詳しくは、第3のオペアンプAmp3そのものの増幅ゲインをG 1とすると、第2段増幅用抵抗R14 の温度特性S 2 =1+αTであるから、感度温度特性補償部10全体としての増幅ゲインG 2は、(4) 式で表現される。 [0024] Specifically, when the amplification gain of the third operational amplifier Amp3 itself and G 1, since the temperature characteristic S 2 = 1 + αT of the second stage amplifier resistor R14, the amplification gain of the overall sensitivity temperature characteristic compensation section 10 G 2 is is expressed by equation (4).

【0025】G 2 =G 1 (1+αT) (4) よって、第4のオペアンプAmp4の増幅ゲインをG 3とし、温度がΔTだけ変動したとすると、本センサ回路から出力されるVout は、分圧電圧の変動分ΔVに対応して、(5) 式で表現される変動量ΔVout だけ変動する。 [0025] G 2 = G 1 (1 + αT) (4) Thus, if the amplification gain of the fourth operational amplifier Amp4 and G 3, the temperature changes by [Delta] T, Vout output from the sensor circuit, the partial pressure in response to variation ΔV of the voltage varies by variation ΔVout represented by equation (5).

【0026】ΔVout =ΔVG 23 αΔT (5) 従って、変動量ΔVout が、センサ部1 のオフセット温度ドリフトと正負の符号が逆であって絶対値が同一となるよう、第1の分圧用抵抗R5,R6 である可変抵抗の抵抗値を変化させることにより、従来例のように、感温素子及び抵抗からなる直列回路を別に設けて大型化しなくても、周囲温度に応じてオフセットを補償する、いわゆるオフセット温度ドリフト補償をすることができる。 [0026] ΔVout = ΔVG 2 G 3 αΔT ( 5) Therefore, variation .DELTA.Vout is, as the absolute value sign of the offset temperature drift and sign of the sensor unit 1 is a reversed are the same, the first voltage dividing resistors by changing the resistance value of the variable resistor is a R5, R6, unlike the conventional examples, even without upsizing provided a series circuit composed of the temperature sensitive element and a resistor separately, to compensate for the offset according to the ambient temperature , it can be a so-called offset temperature drift compensation.

【0027】次に、本発明の第2実施形態を図2に基づいて以下に説明する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. なお、第1実施形態と実質的に同一の素子には同一の符号を付し、第1実施形態と異なるところのみ記す。 Note that the first embodiment is substantially the same elements are denoted by the same reference numerals, it referred only differs from the first embodiment. 第1実施形態では、第1の分圧用抵抗 In the first embodiment, the first voltage dividing resistors
R5,R6 が可変抵抗であるのに対し、本実施形態では、第2の分圧用抵抗R11,R12 が可変抵抗となっている。 R5, to R6 of is variable resistor, in the present embodiment, the second voltage dividing resistors R11, R12 is a variable resistor.

【0028】かかるセンサ回路にあっては、第2の分圧用抵抗R11,R12 により基準電圧Vccの分圧された分圧電圧が変動すると、その分圧電圧の変動分も、感度温度特性補償部10により、周囲温度に基づいて感度温度特性補償されて出力される。 [0028] In the such sensor circuit, when divided by the divided voltage of the second voltage dividing resistors R11, the reference voltage Vcc by R12 varies, even variation of the divided voltage, the sensitivity temperature characteristic compensation section by 10, the output is the sensitivity temperature characteristic compensation on the basis of the ambient temperature. 従って、温度がΔTだけ変動したとすると、本センサ回路から出力されるVout は、第1 Therefore, if the temperature changes by [Delta] T, Vout output from the sensor circuit, first
実施形態と同様に、分圧電圧の変動分ΔVに対応して変動量ΔVout だけ変動するので、その変動量ΔVout Similar to the embodiment, since the fluctuation by variation ΔVout in response to variation ΔV of the divided voltage, the variation amount ΔVout
が、センサ部1 のオフセット温度ドリフトと正負の符号が逆であって絶対値が同一となるよう、第2の分圧用抵抗R11,R12 である可変抵抗の抵抗値を変化させることにより、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。 But so that the absolute value sign of the offset temperature drift and sign of the sensor unit 1 is a reversed are the same, by varying the resistance value of the variable resistor which is a second voltage dividing resistors R11, R12, first it is possible to achieve the same effect as the embodiment.

【0029】なお、第1及び第2実施形態では、第3段増幅部4 が設けられているが、例えば、オフセット調整及び感度調整をしないために、第3段増幅部4 が設けられない場合でも同様の効果を奏することができる。 [0029] In the first and second embodiments, the case has a third stage amplifier section 4 is provided, for example, in order not to offset adjustment and sensitivity adjustment, the third-stage amplifying section 4 is not provided But it is possible to achieve the same effect. 詳しくは、第2段増幅部3 からの出力された直後の出力値は、第1分圧用抵抗R5,R6 又は第2の分圧用抵抗R11,R1 Specifically, the output value immediately after outputted from the second-stage amplifying section 3, first minute pressure resistors R5, R6 or the second voltage dividing resistors R11, R1
2 により基準電圧Vccの分圧された分圧電圧が変動するとともに変動するので、その変動量が、センサ部1 のオフセット温度ドリフトと正負の符号が逆であって絶対値が同一となるよう、第1分圧用抵抗R5,R6 又は第2の分圧用抵抗R11,R12である可変抵抗の抵抗値を変化させることにより、同様の効果を奏することができる。 Since the divided voltage divided reference voltage Vcc by 2 varies with varying, so that the variation amount, the absolute value becomes the same sign of the offset temperature drift and sign of the sensor unit 1 is a reversed, by changing the resistance value of the variable resistor is a voltage-dividing resistors R11, R12 of the first minute pressure resistors R5, R6 or the second, it is possible to achieve the same effect.

【0030】 [0030]

【発明の効果】請求項1記載の発明は、分圧用抵抗により基準電圧の分圧された分圧電圧が変動すると、差動増幅部により増幅された出力信号は、その分圧電圧の変動分だけ変動するとともに、感度温度特性補償部により、 The invention of claim 1, wherein according to the present invention, when the divided voltage divided reference voltage by dividing resistors varies, the output signals amplified by the differential amplifying section, variation of the divided voltage with varying only by the sensitivity temperature compensation unit,
周囲温度に基づいて感度温度特性補償されて出力されるので、分圧電圧の変動分に対応する温度特性補償部からの変動量が、センサ部のオフセット温度ドリフトと正負の符号が逆であって絶対値が同一となるよう、分圧用抵抗である可変抵抗の抵抗値を変化させることにより、従来例のように、感温素子及び抵抗からなる直列回路を別に設けて大型化しなくても、周囲温度に応じてオフセットを補償する、いわゆるオフセット温度ドリフト補償をすることができる。 Since the output is the sensitivity temperature compensation based on the ambient temperature, the amount of variation of the temperature characteristic compensation unit corresponding to the variation of the divided voltage, the sign of the offset temperature drift and sign of the sensor portion is a reversed as the absolute value is the same, by varying the resistance value of the variable resistor is a voltage-dividing resistors, as in the prior art, without large by providing a series circuit comprising a temperature sensitive element and a resistor separately, ambient to compensate for the offset in accordance with the temperature, it can be a so-called offset temperature drift compensation.

【0031】請求項2記載の発明は、第2の分圧用抵抗により基準電圧の分圧された分圧電圧が変動すると、その分圧電圧の変動分も、感度温度特性補償部により、周囲温度に基づいて感度温度特性補償されて出力されるので、分圧電圧の変動分に対応する温度特性補償部からの変動量が、センサ部のオフセット温度ドリフトと正負の符号が逆であって、絶対値が同一となるよう、第2の分圧用抵抗である可変抵抗の抵抗値を変化させることにより、従来例のように、感温素子及び抵抗からなる直列回路を別に設けて大型化しなくても、周囲温度に応じてオフセットを補償する、いわゆるオフセット温度ドリフト補償をすることができる。 [0031] According to a second aspect of the invention, when divided by the divided voltage of the second voltage dividing a reference voltage by the resistance varies, even variation of the divided voltage, the sensitivity temperature compensation unit, ambient temperature based on because the output is the sensitivity temperature compensation, the amount of variation of the temperature characteristic compensation unit corresponding to the variation of the divided voltage, the sign of the offset temperature drift and sign of the sensor portion is a reversed, absolute as the values ​​are the same, by varying the resistance value of the variable resistor is a second voltage dividing resistors, as in the prior art, without large by providing a series circuit comprising a temperature sensitive element and a resistor separately , can be a by compensating the offset, called offset temperature drift compensation according to the ambient temperature.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の第1実施形態の回路図である。 1 is a circuit diagram of a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2実施形態の回路図である。 2 is a circuit diagram of a second embodiment of the present invention.

【図3】従来例の回路図である。 3 is a circuit diagram of a conventional example.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 センサ部 1c,1d 出力端子 2 第1段(差動増幅部) 10 感度温度特性補償部 Amp1 第1のオペアンプ Amp2 第2のオペアンプ Amp3 第3のオペアンプ R5,R6 第1の分圧用抵抗 R11,R12 第2の分圧用抵抗 Vcc 基準電圧 1 sensor unit 1c, 1d output terminal 2 first stage (differential amplifier) ​​10 sensitivity temperature characteristic compensation unit Amp1 first operational amplifier Amp2 second operational amplifier Amp3 third operational amplifier R5, R6 first voltage dividing resistors R11, R12 second dividing resistor Vcc reference voltage

フロントページの続き (51)Int.Cl. 6識別記号 FI G01D 3/04 Q Of the front page Continued (51) Int.Cl. 6 identification symbol FI G01D 3/04 Q

Claims (2)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 両出力端子を有し測定対象の物理量変化に対応して変動する出力信号が両出力端子間から出力されるセンサ部と、センサ部の両出力端子にそれぞれ接続された非反転入力端子を有する第1及び第2のオペアンプが設けられて出力信号を増幅する差動増幅部と、増幅された出力信号が反転入力端子に入力された第3のオペアンプが設けられて周囲温度に基づいて出力値を変動させて感度温度特性補償する感度温度特性補償部と、を備え、第1又は第2のオペアンプの反転入力端子のいずれかは、分圧用抵抗により基準電圧の分圧された分圧電圧が入力されるセンサ回路において、 前記分圧用抵抗は、可変抵抗からなることを特徴とするセンサ回路。 1. A sensor unit output signal that varies in response to a physical quantity change of the measurement target has both output terminals is outputted from between the output terminals, the non-inverting respectively connected to two output terminals of the sensor unit a differential amplifier unit in which the first and second operational amplifier having an input terminal for amplifying an output signal provided to the third operational amplifier is provided by the ambient temperature the amplified output signal is input to the inverted input terminal with a sensitivity temperature compensation unit for sensitivity temperature characteristic compensation by varying the output value based, and either the inverting input terminal of the first or second operational amplifier, it was divided reference voltage by dividing resistors in the sensor circuit the divided voltage is input, the voltage-dividing resistor, a sensor circuit, comprising the variable resistor.
  2. 【請求項2】 両出力端子を有し測定対象の物理量変化に対応して変動する出力信号が両出力端子間から出力されるセンサ部と、センサ部の両出力端子にそれぞれ接続された非反転入力端子を有する第1及び第2のオペアンプが設けられて出力信号を増幅する差動増幅部と、増幅された出力信号が反転入力端子に入力された第3のオペアンプが設けられて周囲温度に基づいて出力値を変動させて感度温度特性補償する感度温度特性補償部と、を備え、第3のオペアンプの非反転入力端子は、第2の分圧用抵抗により基準電圧の分圧された分圧電圧が入力されるセンサ回路において、 前記第2の分圧用抵抗は、可変抵抗からなることを特徴とするセンサ回路。 Wherein a sensor unit output signal that varies in response to a physical quantity change of the measurement target has both output terminals is outputted from between the output terminals, the non-inverting respectively connected to two output terminals of the sensor unit a differential amplifier unit in which the first and second operational amplifier having an input terminal for amplifying an output signal provided to the third operational amplifier is provided by the ambient temperature the amplified output signal is input to the inverted input terminal with a sensitivity temperature compensation unit for sensitivity temperature characteristic compensation by varying the output value based on the non-inverting input terminal of the third operational amplifier is divided by the partial pressure of the second voltage dividing a reference voltage by a resistor in the sensor circuit to which the voltage is input, said second voltage dividing resistor, a sensor circuit, comprising the variable resistor.
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