JPH1114956A - Inspection stage for liquid crystal panel - Google Patents

Inspection stage for liquid crystal panel

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Publication number
JPH1114956A
JPH1114956A JP9180275A JP18027597A JPH1114956A JP H1114956 A JPH1114956 A JP H1114956A JP 9180275 A JP9180275 A JP 9180275A JP 18027597 A JP18027597 A JP 18027597A JP H1114956 A JPH1114956 A JP H1114956A
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JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal panel
inspection
work
panel
Prior art date
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Pending
Application number
JP9180275A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyuki Ando
Shinji Fujiwara
由行 安東
慎治 藤原
Original Assignee
Micronics Japan Co Ltd
株式会社日本マイクロニクス
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Filing date
Publication date
Application filed by Micronics Japan Co Ltd, 株式会社日本マイクロニクス filed Critical Micronics Japan Co Ltd
Priority to JP9180275A priority Critical patent/JPH1114956A/en
Publication of JPH1114956A publication Critical patent/JPH1114956A/en
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/01Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform precise alignment in an inspecting position even when a liquid crystal panel is slightly distorted with respect to a carrying means by pressing the liquid crystal panel to bring the adjacent two ends of the same into contact with both stopper means. SOLUTION: A work table 72 includes a pair of stoppers 82 for positioning a liquid crystal panel with respect to the work table 72, the pair of stoppers 82 being provided in one end part of an X direction and in the end part of the upper side. The work table 72 also includes pusher mechanisms 84 for pressing the liquid panel to the stoppers 82, the pusher mechanisms 84 being respectively provided in the other end part of the X direction and in the end part of the lower side of a Y direction. For each pusher mechanism 84, a rotating mechanism 86 is rotated in one direction by a specified angle, a swinging body 88 is thereby rotated in one direction by a specified angle, the liquid crystal panel is pressed to the corresponding stopper 82 and, by reversibly rotating the rotating mechanism 86 by a specified angle, the swinging body 88 is reversibly rotated by a specified angle and then the pressing of the liquid crystal panel to the corresponding stopper 82 is released.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルを駆動
させて、その良否を検査する装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for driving a liquid crystal panel and inspecting its quality.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルすなわち液晶パネルを人
手により検査する装置は、一般に、検査用プローブの破
損を防止する目的から、検査装置に対する液晶パネルの
受け渡しをする受け渡し位置と、測定ステージすなわち
検査ステージを用いて液晶パネルの点灯試験をする検査
位置とを別々に設け、液晶パネルを受け渡し位置から検
査位置におよびその逆に搬送している。
2. Description of the Related Art In general, a liquid crystal display panel, that is, a device for inspecting a liquid crystal panel by hand, generally includes a transfer position for transferring a liquid crystal panel to an inspection device, a measuring stage, or an inspection stage for the purpose of preventing damage to an inspection probe. And an inspection position for performing a lighting test of the liquid crystal panel is separately provided, and the liquid crystal panel is transported from the transfer position to the inspection position and vice versa.
【0003】この種の検査装置として、液晶パネルを搬
送機構により受け渡し位置と検査位置とに搬送するもの
(特開平5−334227号公報)と、点灯試験時に液
晶パネルを受ける検査ステージ自体に搬送手段の機能を
付加し、検査ステージ自体を受け渡し位置と検査位置と
に移動させるもの特開平9−138256号公報)とが
ある。
[0003] As this kind of inspection apparatus, there is one that transports a liquid crystal panel to a delivery position and an inspection position by a transport mechanism (Japanese Patent Laid-Open No. 5-334227), and another transportation device is an inspection stage that receives the liquid crystal panel during a lighting test. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 9-138256) which adds the function described above and moves the inspection stage itself to a transfer position and an inspection position.
【0004】いずれの装置においても、液晶パネルは、
受け渡し位置に置いて粗アライメントをされ、検査位置
において精密アライメントをされる。精密アライメント
は、一般に、液晶パネルに設けられた複数の位置合わせ
マーク部のそれぞれをテレビカメラで撮影し、撮影した
マーク位置が所定の座標値となるようにワークテーブル
を変位させることにより、実行される。
In each device, the liquid crystal panel is
Rough alignment is performed at the delivery position, and fine alignment is performed at the inspection position. In general, precision alignment is performed by photographing each of a plurality of alignment mark portions provided on a liquid crystal panel with a television camera and displacing a work table so that the photographed mark positions have predetermined coordinate values. You.
【0005】しかし、従来の検査装置では、搬送時にお
ける滑りおよび振動等に起因して、液晶パネルが検査位
置において搬送手段に対し精密アライメントにおける許
容誤差以上に変位していると、検査ステージにおける精
密アライメントをすることができず、したがって検査不
能になる。
However, in the conventional inspection apparatus, if the liquid crystal panel is displaced with respect to the transportation means at the inspection position by more than a permissible error in the precision alignment due to slippage and vibration during transportation, the precision of the inspection stage is reduced. Alignment cannot be performed, and therefore inspection becomes impossible.
【0006】[0006]
【解決しようとする課題】本発明の目的は、液晶パネル
が搬送手段に対し多少変位しても、検査位置における精
密アライメントを可能にすることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to enable precise alignment at an inspection position even when a liquid crystal panel is slightly displaced with respect to a transport means.
【0007】[0007]
【解決手段、作用および効果】本発明の検査ステージ
は、多角形の液晶パネルを受ける受け面を備えるワーク
テーブルと、液晶パネルの隣り合う2つの端縁を受ける
べく受け面から突出する第1および第2のストッパ手段
と、液晶パネルの隣り合う2つの端縁を両ストッパ手段
に当接させるべく液晶パネルを押圧する押圧手段とを含
む。
An inspection stage according to the present invention comprises a worktable having a receiving surface for receiving a polygonal liquid crystal panel, and a first and a second projection protruding from the receiving surface for receiving two adjacent edges of the liquid crystal panel. Second stopper means and pressing means for pressing the liquid crystal panel so that two adjacent edges of the liquid crystal panel abut against both stopper means are included.
【0008】ワークテーブル上の液晶パネルは、少なく
とも検査位置において、隣り合う2つの端縁を押圧手段
により両ストッパ手段に押圧される。このため、本発明
によれば、液晶パネルが検査ステージに配置されたとき
に多少の位置ずれを生じていても、その液晶パネルは精
密アライメントにおいて許される許容値以内に修正され
る。
In the liquid crystal panel on the work table, at least at the inspection position, two adjacent edges are pressed by the stopper means by the pressing means. For this reason, according to the present invention, even if the liquid crystal panel is slightly displaced when it is placed on the inspection stage, the liquid crystal panel is corrected within an allowable value in precision alignment.
【0009】押圧手段は、検査の間、液晶パネルをスト
ッパ手段に押圧する。これにより、液晶パネルを真空吸
着する検査ステージの場合、液晶パネルの大きさに対す
る真空吸着溝による吸着面の面積の割合が小さくても、
液晶パネルが安定に維持され、大きな液晶パネルをあっ
ても、その液晶パネルを安定した状態で正確に検査する
ことができる。
The pressing means presses the liquid crystal panel against the stopper means during the inspection. Thereby, in the case of the inspection stage in which the liquid crystal panel is vacuum-sucked, even if the ratio of the area of the suction surface by the vacuum suction groove to the size of the liquid crystal panel is small,
The liquid crystal panel is stably maintained, and even if there is a large liquid crystal panel, the liquid crystal panel can be inspected accurately in a stable state.
【0010】本発明によれば、液晶パネルを押圧手段に
よりストッパ手段に押圧するようにしたから、液晶パネ
ルが検査ステージに配置されたときに多少の位置ずれを
生じていても、その液晶パネルは精密アライメントにお
いて許される許容値以内に修正され、また大きな液晶パ
ネルを安定した状態で正確に検査することができる。
According to the present invention, the liquid crystal panel is pressed against the stopper means by the pressing means. Therefore, even if the liquid crystal panel is slightly displaced when it is arranged on the inspection stage, the liquid crystal panel can be pressed. The liquid crystal panel is corrected within the allowable value in the precision alignment, and a large liquid crystal panel can be accurately inspected in a stable state.
【0011】押圧手段は、液晶パネルを第1のストッパ
手段に押圧する少なくとも1つの第1のプッシャー機構
と、液晶パネルを第2のストッパに押圧する少なくとも
1つの第2のプッシャーとを備えることができる。この
ようにすれば、液晶表示パネルをこれと平行の面内で交
差する2方向に確実に変位させることができる。
The pressing means may include at least one first pusher mechanism for pressing the liquid crystal panel against the first stopper means, and at least one second pusher for pressing the liquid crystal panel against the second stopper. it can. With this configuration, the liquid crystal display panel can be reliably displaced in two directions intersecting in a plane parallel to the liquid crystal display panel.
【0012】第1のプッシャー機構は第1のストッパ手
段から第1の方向へ間隔をおき、第2のプッシャー機構
は第2のストッパ手段から第1の方向と交差する第2の
方向へ間隔をおくことができる。
The first pusher mechanism is spaced from the first stopper means in a first direction, and the second pusher mechanism is spaced from the second stopper means in a second direction intersecting the first direction. I can put it.
【0013】各プッシャー機構は、逆転可能の回転機構
と、該回転機構により液晶パネルにほぼ垂直のZ軸線の
周りに回転される揺動体であって一方向へ回転されたと
きに液晶パネルを押す揺動体とを有することができる。
Each pusher mechanism is a reversible rotating mechanism, and an oscillating body rotated about a Z-axis substantially perpendicular to the liquid crystal panel by the rotating mechanism, and pushes the liquid crystal panel when rotated in one direction. A rocking body.
【0014】さらに、液晶パネルの端縁を受けるべく第
1のプッシャー機構の側にあって受け面から突出する複
数の端縁受けを含み、受け面を、第1のプッシャー機構
の側が下方となりかつ第1のストッパの側が上方となる
ように、傾斜させることができる。このようにすれば、
受け面上の液晶パネルがプッシャー機構から開放されて
いても、液晶パネルが受け面から滑落することを防止す
ることができる。
[0014] Further, the first pusher mechanism includes a plurality of edge receivers protruding from the receiving surface for receiving the edge of the liquid crystal panel, the receiving surface being downward on the side of the first pusher mechanism; The first stopper can be inclined such that the side of the first stopper is upward. If you do this,
Even if the liquid crystal panel on the receiving surface is opened from the pusher mechanism, it is possible to prevent the liquid crystal panel from slipping off the receiving surface.
【0015】好ましい実施例においては、各ストッパ手
段は、一方向に間隔をおいた複数のストッパを備える。
In a preferred embodiment, each stopper means comprises a plurality of stops spaced in one direction.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】図1〜図6を参照するに、検査装
置10は、長方形の液晶表示体すなわち液晶パネル12
の人手による点灯検査に用いられる。液晶パネル12
は、図示の例では、長方形の辺のうち、3つの辺に対応
する端縁部のそれぞれに、複数の電極部からなる電極群
を有する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIG. 1 to FIG. 6, an inspection apparatus 10 has a rectangular liquid crystal display, that is, a liquid crystal panel 12.
It is used for lighting inspection by hand. LCD panel 12
Has an electrode group including a plurality of electrode portions at each of the edges corresponding to three sides of the rectangular side in the illustrated example.
【0017】以下、理解を容易にするために、検査装置
10および液晶パネル12のいずれにおいても、液晶表
示パネルすなわち液晶パネル12の長い端縁の方向(左
右方向)をX方向といい、液晶パネル12の短い端縁の
方向をY方向(前後方向)といい、液晶パネル12に垂
直の方向をZ方向という。また、X,YおよびZ方向へ
伸びる軸線を、それぞれ、X,YおよびZ軸線という。
Hereinafter, in order to facilitate understanding, in both the inspection apparatus 10 and the liquid crystal panel 12, the direction of the long edge (left-right direction) of the liquid crystal display panel, ie, the liquid crystal panel 12, is referred to as the X direction, The direction of the short edge of the liquid crystal panel 12 is called the Y direction (front-back direction), and the direction perpendicular to the liquid crystal panel 12 is called the Z direction. In addition, axes extending in the X, Y, and Z directions are referred to as X, Y, and Z axes, respectively.
【0018】検査装置10は、フレームすなわち筐体2
0を含む。筐体20の前面上部は、傾斜面部22とされ
ている。傾斜面部22は、液晶パネル12の受渡しに用
いる開口24と、液晶パネル12の検査に用いる開口2
6とを有する。開口24,26は、液晶パネル12より
大きくかつ隅角部を丸くされた矩形の形を有しており、
またX方向に間隔をおいている。
The inspection apparatus 10 includes a frame, that is, a housing 2.
Contains 0. The upper part of the front surface of the housing 20 is an inclined surface portion 22. The inclined surface portion 22 has an opening 24 used for delivery of the liquid crystal panel 12 and an opening 2 used for inspection of the liquid crystal panel 12.
6. The openings 24 and 26 have a rectangular shape that is larger than the liquid crystal panel 12 and has rounded corners.
Also, there is an interval in the X direction.
【0019】筐体20内のうち、開口24に対応する部
位は検査装置10に対する液晶パネル12の受け渡しを
する受け渡し位置とされており、開口26に対応する部
位は液晶パネル12の点灯検査をする検査位置とされて
いる。傾斜面部22には、スイッチパネル28が設けら
れている。スイッチパネル28は、当該検査装置10の
各機器のオン/オフをするための複数のスイッチを有す
る。
In the housing 20, a portion corresponding to the opening 24 is a transfer position at which the liquid crystal panel 12 is transferred to the inspection device 10, and a portion corresponding to the opening 26 performs a lighting inspection of the liquid crystal panel 12. Inspection position. A switch panel 28 is provided on the inclined surface portion 22. The switch panel 28 has a plurality of switches for turning on / off each device of the inspection apparatus 10.
【0020】筐体20には、各種の機器を支持する支持
台30が配置されている。支持台30は、ベースプレー
ト32と、長方形の基台34と、両者を連結する複数の
支柱36とにより形成されている。基台34は、ベース
プレート32よりやや短い長さ寸法および幅寸法を有す
る板材により形成されており、またベースプレート32
と平行に筐体20内をX方向へ伸びている。
In the housing 20, a support 30 for supporting various devices is arranged. The support 30 is formed by a base plate 32, a rectangular base 34, and a plurality of columns 36 connecting the both. The base 34 is formed of a plate having a length and a width slightly shorter than the base plate 32.
And extends in the X direction in the housing 20 in parallel with.
【0021】図示の例では、ベースプレート32は筐体
20の傾斜面部22を形成する部材であり、したがって
開口24,26はベースプレート32に形成されてい
る。しかし、ベースプレート32を傾斜面部22を形成
する部材と別の部材で形成し、ベースプレート32を傾
斜面部22を形成する部材に組み付けてもよい。
In the illustrated example, the base plate 32 is a member forming the inclined surface portion 22 of the housing 20, and therefore the openings 24 and 26 are formed in the base plate 32. However, the base plate 32 may be formed of a member different from the member forming the inclined surface portion 22, and the base plate 32 may be assembled to the member forming the inclined surface portion 22.
【0022】ベースプレート32には、プローブユニッ
ト40が配置されている。プローブユニット40は、長
方形の板の形をしたプローブベース42と、1以上のね
じ部材によりプローブベース42に組み付けられたL字
型の複数のプローブブロック44とを備える。
The probe unit 40 is arranged on the base plate 32. The probe unit 40 includes a probe base 42 having a rectangular plate shape, and a plurality of L-shaped probe blocks 44 assembled to the probe base 42 by one or more screw members.
【0023】プローブベース42は、開口26と相似の
開口46を有しており、また複数のねじ部材によりベー
スプレート32の外側に同軸的に取り付けられている。
プローブブロック44は、それぞれが複数のプローブブ
ロック44を含む3つのブロック群に分けられており、
また液晶パネル12の電極群が形成された端縁部に対応
する辺部に配置されている。
The probe base 42 has an opening 46 similar to the opening 26, and is coaxially attached to the outside of the base plate 32 by a plurality of screw members.
The probe blocks 44 are divided into three groups each including a plurality of probe blocks 44,
In addition, the liquid crystal panel 12 is disposed on a side corresponding to the edge where the electrode group is formed.
【0024】各プローブブロック44は、一端部が開口
46を介して開口46内に達するように、他端部におい
てプローブベース42の外側に取り付けられている。各
プローブブロック44は、その一端部に複数のプローブ
48を支持している。各プローブ48は、液晶パネル1
2に対し角度を有する状態に伸びている。
Each probe block 44 is attached to the outside of the probe base 42 at the other end so that one end reaches the inside of the opening 46 through the opening 46. Each probe block 44 supports a plurality of probes 48 at one end. Each probe 48 is connected to the liquid crystal panel 1
It extends to an angle with respect to 2.
【0025】プローブベース42には、また、位置合わ
せ用の一対のテレビカメラ50が組み付けられている。
テレビカメラ50は、液晶パネル12に形成されている
位置合わせマークを撮影するように、プローブベース4
2に配置されている。テレビカメラ50の出力信号は、
プローブユニット40に対する液晶パネル12の精密ア
ライメントのために用いられる。
A pair of television cameras 50 for positioning are mounted on the probe base 42.
The television camera 50 moves the probe base 4 so as to photograph the alignment mark formed on the liquid crystal panel 12.
2 are arranged. The output signal of the TV camera 50 is
It is used for precise alignment of the liquid crystal panel 12 with respect to the probe unit 40.
【0026】基台34は、液晶パネル12の受け渡しの
ための受け渡しステージ52と、点灯検査のための検査
ステージ54と、液晶パネル12を傾斜した状態で搬送
する第1および第2の搬送装置56とを支持する。受け
渡しステージ52は開口24に対応する受け渡し位置に
配置されており、検査ステージ54は開口26に対応す
る検査位置に配置されている。
The base 34 includes a delivery stage 52 for delivering the liquid crystal panel 12, an inspection stage 54 for lighting inspection, and first and second transport devices 56 for transporting the liquid crystal panel 12 in an inclined state. And support. The delivery stage 52 is arranged at a delivery position corresponding to the opening 24, and the inspection stage 54 is arranged at an inspection position corresponding to the opening 26.
【0027】受け渡しステージ52は、液晶パネルを傾
斜した状態に受ける平板状のパネル受け58と、パネル
受け58をZ方向へ変位させる2つのシリンダ機構6
0,62と、液晶パネル12をパネル受け58に対して
位置決める複数の位置決め部64とを備える。
The transfer stage 52 includes a flat panel receiver 58 for receiving the liquid crystal panel in an inclined state, and two cylinder mechanisms 6 for displacing the panel receiver 58 in the Z direction.
0, 62, and a plurality of positioning portions 64 for positioning the liquid crystal panel 12 with respect to the panel receiver 58.
【0028】パネル受け58は、斜め上向きの面がパネ
ルを載置するパネル受け面とされており、1以上の切欠
部66をY方向の各端縁の側に有する。図示の例では、
Y方向の一端縁の側にはこの端縁に沿って伸びる1つの
細長い切欠部66が形成されており、Y方向の他端縁の
側には2つの切欠部66が四角形の隅角部を切除するこ
とにより形成されている。パネル受け58は、そのパネ
ル受け面が傾斜した状態に、シリンダ機構62のロッド
部に取り付けられている。
The panel receiver 58 has an obliquely upward surface serving as a panel receiving surface on which the panel is mounted, and has one or more cutouts 66 on each edge side in the Y direction. In the example shown,
One elongated notch 66 extending along this edge is formed on one end side in the Y direction, and two notches 66 are formed on the other end side in the Y direction to form square corners. It is formed by excision. The panel receiver 58 is attached to the rod portion of the cylinder mechanism 62 with the panel receiving surface inclined.
【0029】シリンダ機構60,62は、エアーシリン
ダのような流体圧シリンダ機構であり、また伸縮方向が
同じになるように直列に連結されている。一方のシリン
ダ機構60は、その伸縮方向がZ方向となるようにシリ
ンダ部において組付具68により基台34に取り付けら
れている。他方のシリンダ機構62は、その伸縮方向が
Z方向となるようにシリンダ部において組付具70によ
りシリンダ機構60のロッド部に連結されている。
The cylinder mechanisms 60 and 62 are fluid pressure cylinder mechanisms such as air cylinders, and are connected in series so that the directions of expansion and contraction are the same. The one cylinder mechanism 60 is attached to the base 34 by an assembling tool 68 in the cylinder portion so that the direction of expansion and contraction is in the Z direction. The other cylinder mechanism 62 is connected to the rod part of the cylinder mechanism 60 by an assembling tool 70 in the cylinder part so that the direction of expansion and contraction is in the Z direction.
【0030】位置決め部64は、パネル受け58の受け
面に形成されている。図示の例では、Y方向の一端縁部
に2つの位置決め部64が形成されているとともに、Y
方向の他端縁部に1つの位置決め部64が形成されてい
る。各位置決め部64は、その内側をクランク状に形成
されており、したがって液晶パネル12を受ける段部を
内側に有する。
The positioning part 64 is formed on the receiving surface of the panel receiver 58. In the illustrated example, two positioning portions 64 are formed at one end edge in the Y direction.
One positioning portion 64 is formed at the other end in the direction. Each positioning portion 64 is formed in a crank shape on the inside, and therefore has a step portion for receiving the liquid crystal panel 12 on the inside.
【0031】Y方向の一端縁部の2つの位置決め部64
は、対応する 一端縁部の切欠部66を間にしてX方向
に間隔をおいており、また液晶パネル12の隣り合う2
つの端縁部が当接するようにL字状に曲げられている。
Y方向の他端縁部の位置決め部64は、他端縁部の切欠
部66の間にあって他端縁部の中央に形成されている。
Two positioning portions 64 at one edge in the Y direction
Are spaced apart in the X direction with a corresponding notch 66 at one end edge therebetween.
It is bent in an L-shape so that the two edges contact.
The positioning portion 64 at the other end in the Y direction is located between the cutouts 66 at the other end and formed at the center of the other end.
【0032】検査ステージ54は、液晶パネル12を左
右方向(X方向)に移動させるXステージと、液晶パネ
ル12を斜め上下方向(Y方向)へ移動させるYステー
ジと、液晶パネル12を該パネルに直角の方向(Z方
向)へ移動させるZステージと、液晶パネル12を該パ
ネルに直角のZ軸線の周りに角度的に回転させるθステ
ージと、液晶パネル12を受けるワークテーブル72と
を備える。
The inspection stage 54 includes an X stage for moving the liquid crystal panel 12 in the horizontal direction (X direction), a Y stage for moving the liquid crystal panel 12 in the vertical direction (Y direction), and the liquid crystal panel 12 on the panel. The liquid crystal panel 12 includes a Z stage that moves in a right angle direction (Z direction), a θ stage that rotates the liquid crystal panel 12 around a Z axis perpendicular to the panel, and a work table 72 that receives the liquid crystal panel 12.
【0033】Yステージ、Zステージ、θステージおよ
びワークテーブル72は、それぞれ、Xステージ、Yス
テージ、Zステージおよびθステージに移動可能に支持
されており、また対応するステージの移動にともなって
同じように移動される。
The Y stage, the Z stage, the θ stage, and the work table 72 are movably supported by the X stage, the Y stage, the Z stage, and the θ stage, respectively. Moved to
【0034】検査ステージ54は、基台34に、ワーク
テーブル72が開口24の側となりかつXステージが基
台34側となるように、および、液晶パネル12をワー
クテーブル72に傾斜した状態に受けるように、Xステ
ージ30において基台34に移動可能に組み付けられて
いる。
The inspection stage 54 receives the liquid crystal panel 12 on the base 34 such that the work table 72 is on the side of the opening 24 and the X stage is on the base 34 side, and the liquid crystal panel 12 is inclined to the work table 72. As described above, the X stage 30 is movably mounted on the base 34.
【0035】ワークテーブル72は、液晶パネル12を
受けかつ支持するように、ベースプレート32の側に開
口する直方体状の浅い箱の形をしている。ワークテーブ
ル72の内部空間を形成する4つの端縁部の斜め上向き
の面は、液晶パネル12を傾斜した状態に受ける長方形
の傾斜したパネル受け面とされている。
The work table 72 is in the form of a rectangular parallelepiped shallow box that opens toward the base plate 32 to receive and support the liquid crystal panel 12. The four obliquely upward surfaces of the four edges forming the internal space of the work table 72 are rectangular inclined panel receiving surfaces that receive the liquid crystal panel 12 in an inclined state.
【0036】ワークテーブル72は、パネル受け面に開
放する溝74を3つの端縁部に有するとともに、一対の
切欠部76をY方向の各端縁部に有しており、さらに液
晶パネル12がワークテーブル72から滑落することを
防止する一対の端縁受け78をY方向の一方の端縁部に
有する。ワークテーブル72内には、バックライトユニ
ット80が液晶パネル12を背面から照明するように収
容されている(図4および図6並びに図14〜図17参
照)。
The work table 72 has grooves 74 at three edges opened to the panel receiving surface, and a pair of cutouts 76 at each edge in the Y direction. A pair of edge receivers 78 for preventing slipping from the worktable 72 is provided at one edge in the Y direction. A back light unit 80 is accommodated in the work table 72 so as to illuminate the liquid crystal panel 12 from the back (see FIGS. 4 and 6 and FIGS. 14 to 17).
【0037】溝74は、液晶パネル12の電極群が形成
された端縁部に対応する部位に形成されており、またワ
ークテーブル72が液晶パネル12の裏面を真空吸着す
る真空チャックとして作用するように図示しない真空源
に連通されている。対をなす両切欠部76は、Y方向に
間隔をおいており、またワークテーブル72の表裏の側
におよび側方に開放している。ワークテーブル72の切
欠部76は、パネル受け58の切欠部66に対応する位
置に形成されている。
The groove 74 is formed at a portion corresponding to the edge of the liquid crystal panel 12 where the electrode group is formed, and the work table 72 functions as a vacuum chuck that vacuum-adsorbs the back surface of the liquid crystal panel 12. Are connected to a vacuum source (not shown). The pair of cutouts 76 are spaced from each other in the Y direction, and open to the front and back sides of the work table 72 and to the side. The notch 76 of the work table 72 is formed at a position corresponding to the notch 66 of the panel receiver 58.
【0038】端縁受け78は、パネル受け面の下方側の
端縁部に複数のねじ部材により取り付けられており、ま
たX方向へ間隔をおいている。このため、ワークテーブ
ル72に載置された液晶パネル12は、ワークテーブル
72のパネル受け面が傾斜していても、下端縁が端縁受
け78に当接し、それによりワークテーブル72から落
下することを防止される。
The edge receiver 78 is attached to the lower edge of the panel receiving surface by a plurality of screw members, and is spaced apart in the X direction. For this reason, even when the panel receiving surface of the work table 72 is inclined, the lower edge of the liquid crystal panel 12 placed on the work table 72 abuts on the edge receiver 78, thereby dropping from the work table 72. Is prevented.
【0039】ワークテーブル72は、また、液晶パネル
12をワークテーブル72に対して位置決める一対のス
トッパ82をX方向の一方の端縁部と上側の端縁部との
それぞれに有する。対をなすストッパ82は、パネル受
け面の対応する端縁部にねじ部材により取り付けられて
おり、また対応する端縁部の方向に間隔をおいている。
The work table 72 also has a pair of stoppers 82 for positioning the liquid crystal panel 12 with respect to the work table 72, at one edge in the X direction and at the upper edge. A pair of stoppers 82 are attached to corresponding edges of the panel receiving surface by screw members and are spaced in the direction of the corresponding edges.
【0040】ワークテーブル72は、さらに、液晶パネ
ル12をストッパ82に押圧するプッシャー機構84を
X方向の他方の端縁部とY方向の下側の端縁部とのそれ
ぞれに有する。図示の例では、2つのプッシャー機構8
4が下側の端縁部の中央にX方向に間隔をおいて配置さ
れており、また1つのプッシャー機構84がX方向の他
端縁部の中央に配置されている。
The work table 72 further has a pusher mechanism 84 for pressing the liquid crystal panel 12 against the stopper 82 at each of the other edge in the X direction and the lower edge in the Y direction. In the illustrated example, two pusher mechanisms 8 are provided.
4 are arranged in the center of the lower edge at intervals in the X direction, and one pusher mechanism 84 is arranged at the center of the other edge in the X direction.
【0041】各プッシャー機構84は、検査ステージ5
4に支持。された逆転可能の回転機構86と、該回転機
構により液晶パネル12に垂直の方向(Z方向)へ伸び
る軸線の周りに角度的に回転されて液晶パネル12を押
す揺動体88とを備える。
Each pusher mechanism 84 is connected to the inspection stage 5
Supported by 4. And a rocking body 88 that is angularly rotated about an axis extending in a direction perpendicular to the liquid crystal panel 12 (Z direction) by the rotating mechanism and pushes the liquid crystal panel 12.
【0042】各回転機構86は、その出力回転軸がZ方
向へ伸びるように、ワークテーブル72に支持されてい
る。各回転機構86として、回転式のシリンダ機構、回
転式のソレノイド機構、電動機等を用いることができ
る。
Each rotating mechanism 86 is supported by the work table 72 so that its output rotating shaft extends in the Z direction. As each rotation mechanism 86, a rotary cylinder mechanism, a rotary solenoid mechanism, an electric motor, or the like can be used.
【0043】各揺動体88は、一端部において回転機構
86の出力回転軸に取り付けられたアーム88aと、該
アームの他端部にワークテーブル72のパネル受け面か
らZ方向へわずかに突出する状態に取り付けられたピン
88bとで構成することができる。
Each of the rocking members 88 has an arm 88a attached at one end to the output rotation shaft of the rotation mechanism 86, and a state in which the other end of the arm projects slightly from the panel receiving surface of the work table 72 in the Z direction. And a pin 88b attached to the main body.
【0044】各プッシャー機構84は、回転機構86が
一方向へ所定の角度回転することにより、揺動体88が
一方向に所定角度回転されて、液晶パネル12を対応す
るストッパ82に押し、回転機構86が所定の角度逆転
することにより、揺動体88が所定角度逆回転されて、
対応するストッパ82への液晶パネル12の押圧を解除
する。
Each pusher mechanism 84 rotates the rocking body 88 by a predetermined angle in one direction when the rotation mechanism 86 rotates by a predetermined angle in one direction, and pushes the liquid crystal panel 12 against the corresponding stopper 82, thereby causing the rotation mechanism 86 to rotate. 86 is rotated by a predetermined angle, whereby the rocking body 88 is rotated by a predetermined angle,
The pressing of the liquid crystal panel 12 on the corresponding stopper 82 is released.
【0045】基台34は、両搬送装置56のための細長
い一対の支持板90を支持している。両支持板90は、
両ステージ52,54を間にしてY方向へ間隔をおいて
おり、また幅方向がZ方向となりかつ受け渡し位置から
検査位置にX方向へ平行に伸びるように基台34に組み
付けられている。
The base 34 supports a pair of slender support plates 90 for both transfer devices 56. Both support plates 90 are
The two stages 52 and 54 are spaced from each other in the Y direction, and are attached to the base 34 so that the width direction is the Z direction and extends from the delivery position to the inspection position in the X direction in parallel.
【0046】各支持板90の上部には、細長い一対のレ
ールベース92がZ方向へ間隔をおいて取り付けられて
いる。全てのレールベース92は、X方向へ平行に伸び
ている。各レールベース92には、X方向へ伸びるレー
ル94が取り付けられている。基台34から遠い一対の
レール94は基台34から遠い第1の搬送装置56を受
けるために用いられ、基台34に近い一対のレール94
は基台34に近い第2の搬送装置56を受けるために用
いられる。
A pair of elongated rail bases 92 are attached to the upper part of each support plate 90 at intervals in the Z direction. All the rail bases 92 extend parallel to the X direction. Each rail base 92 is provided with a rail 94 extending in the X direction. A pair of rails 94 far from the base 34 are used to receive the first transport device 56 far from the base 34, and a pair of rails 94 near the base 34.
Is used to receive the second transfer device 56 near the base 34.
【0047】各搬送装置56は、図8〜図16に示すよ
うに、パネル受け58およびワークテーブル72を受け
入れることができる開口を有するコ字状の第1のスライ
ダ96と、第1のスライダ96にY方向へ間隔をおいて
支持された細長い一対の第2のスライダ98と、第1の
スライダ96を往復移動させる第1の駆動機構100
と、各第2のスライダ98にX方向へ間隔をおいて配置
された複数のホルダ102と、ホルダ102を液晶パネ
ル12と平行の面内でY方向へ変位させる複数の第2の
駆動機構104とを備える。
As shown in FIGS. 8 to 16, each transfer device 56 has a U-shaped first slider 96 having an opening capable of receiving the panel receiver 58 and the work table 72, and a first slider 96. , A pair of elongated second sliders 98 supported at intervals in the Y direction, and a first drive mechanism 100 for reciprocating the first slider 96.
A plurality of holders 102 arranged at intervals in the X direction on each second slider 98; and a plurality of second drive mechanisms 104 for displacing the holders 102 in the Y direction within a plane parallel to the liquid crystal panel 12. And
【0048】第1のスライダ96は、複数のガイド10
6によりレール94にX方向へ移動可能に支持されてお
り、また第1の駆動機構100により両ステージ52,
54間を往復移動される。第2のスライダ98は、受け
渡しステージ52および検査ステージ54を間にしてX
方向へ平行に伸びている。両スライダ96,98は、ガ
イド106とともに、移動台として作用する。しかし、
第2のスライダ98を省略して、ホルダ102を第1の
スライダ96に配置してもよい。
The first slider 96 includes a plurality of guides 10.
6 is supported by a rail 94 so as to be movable in the X direction, and both stages 52,
It is reciprocated between 54. The second slider 98 moves the transfer stage 52 and the inspection stage 54 between
Extending parallel to the direction. The sliders 96 and 98 work together with the guide 106 as a moving table. But,
The second slider 98 may be omitted, and the holder 102 may be disposed on the first slider 96.
【0049】各第1の駆動機構100は、一方のレール
ベース92の両端部にZ軸線の周りに回転可能に配置さ
れた一対のプーリ110と、両プーリ110に巻き掛け
られた無端ベルト112と、一方のプーリ110を回転
させる駆動原114とを備え、無端ベルト112を第1
のスライダ96に連結している。
Each first drive mechanism 100 includes a pair of pulleys 110 disposed at both ends of one rail base 92 so as to be rotatable around the Z axis, and an endless belt 112 wound around both pulleys 110. , A driving source 114 for rotating one of the pulleys 110, and the endless belt 112
Of the slider 96.
【0050】各駆動機構100は、駆動源114が正転
されることにより、第1のスライダ96を受け渡し位置
から検査位置へ移動させ、駆動源114が逆転されるこ
とにより、第1のスライダ96を検査位置から受け渡し
位置へ移動させる。タイミングベルトを無端ベルト11
2として用いることができ、この場合プーリ110とし
てタイミングプーリが用いられる。
Each drive mechanism 100 moves the first slider 96 from the transfer position to the inspection position when the drive source 114 is rotated forward, and rotates the first slider 96 when the drive source 114 is rotated reversely. Is moved from the inspection position to the delivery position. Endless belt 11 for timing belt
The timing pulley 110 is used as the pulley 110 in this case.
【0051】各ホルダ102は、図6に示すように、液
晶パネルの端縁を受け入れる凹所を有しており、また対
応する第2の駆動機構104により凹所を内側の向けた
状態に第2のスライダ98に支持されている。各ホルダ
102は、パネル受け58およびワークテーブル72の
切欠部66および76に対応する位置に維持されてい
る。一方の第2のスライダ98に配置されたホルダ10
2と他方の第2のスライダ98に配置されたホルダ10
2とは、凹所を対向させている。
As shown in FIG. 6, each holder 102 has a recess for receiving the edge of the liquid crystal panel, and the second drive mechanism 104 moves the recess so that the recess faces inward. 2 is supported by the second slider 98. Each holder 102 is maintained at a position corresponding to the notches 66 and 76 of the panel receiver 58 and the work table 72. Holder 10 arranged on one second slider 98
2 and the holder 10 arranged on the other second slider 98
2, the recesses are opposed to each other.
【0052】各第2の駆動機構104は、図示の例で
は、エアーシリンダのような流体圧シリンダ機構を駆動
源として備えており、またシリンダ部において第2のス
ライダ98に取り付けられており、さらにホルダ102
を組付具によりロッド部104bに取り付けている。
In the illustrated example, each second drive mechanism 104 includes a fluid pressure cylinder mechanism such as an air cylinder as a drive source, and is attached to a second slider 98 in a cylinder portion. Holder 102
Is attached to the rod portion 104b by an assembling tool.
【0053】組付具は、図6に示すように、第2の駆動
機構104のロッド部104bに取り付けられた組付ブ
ロック116と、ブロック116からZ方向へ伸びてホ
ルダ102をZ方向へ変位可能に受ける軸118と、ブ
ロック116とホルダ102との間に配置されてホルダ
102をロッド部104bから離れる方向へ付勢する弾
性体120とを備える。
As shown in FIG. 6, the assembling tool includes an assembling block 116 attached to the rod portion 104b of the second drive mechanism 104, and a holder 102 extending in the Z direction from the block 116 to displace the holder 102 in the Z direction. It includes a shaft 118 that can be received as possible, and an elastic body 120 that is arranged between the block 116 and the holder 102 and urges the holder 102 in a direction away from the rod portion 104b.
【0054】軸118は、ホルダ102の脱落を防止す
るフランジ部をブロック116と反対の側の端部に有す
る。弾性体120は、図示の例では、軸118に配置さ
れた圧縮コイルばねであるが、ゴムのような他の弾性体
であってもよい。各ホルダ102は、液晶パネル12を
損傷することを防止するための緩衝材122をコ字状の
内側面に設けている。
The shaft 118 has a flange at the end opposite to the block 116 for preventing the holder 102 from falling off. The elastic body 120 is a compression coil spring disposed on the shaft 118 in the illustrated example, but may be another elastic body such as rubber. Each holder 102 is provided with a cushioning member 122 for preventing the liquid crystal panel 12 from being damaged on the U-shaped inner surface.
【0055】次に、図8〜図15参照して、受け渡しス
テージ52および搬送装置56の動作を説明する。
Next, the operation of the transfer stage 52 and the transfer device 56 will be described with reference to FIGS.
【0056】待機時、たとえば図8に示すように、各搬
送装置56は、受け渡し位置に移動されており、またホ
ルダ102をパネル受け58に対する液晶パネル12の
受け渡しを妨げない位置に後退させている。受け渡しス
テージ52は、両シリンダ機構60を伸長させてパネル
受け58を基台34から遠い(高い側の)第1の搬送装
置56のホルダ102のZ方向における位置(高さ位
置)と一致する位置に変位させている。
At the time of standby, for example, as shown in FIG. 8, each transfer device 56 has been moved to the transfer position, and the holder 102 has been retracted to a position where the transfer of the liquid crystal panel 12 to the panel receiver 58 is not hindered. . The transfer stage 52 extends the both cylinder mechanisms 60 to move the panel receiver 58 to a position (height position) in the Z direction of the holder 102 of the first transfer device 56 far from the base 34 (on the higher side) in the Z direction. Is displaced.
【0057】検査すべき液晶パネル12は、受け渡しス
テージ52および搬送装置56が上記の状態において、
人手により受け渡しステージ52のパネル受け58に配
置される。このとき、液晶パネル12は、位置決め部6
4により形成される空間に嵌合されることにより、パネ
ル受け58に対して位置決められる。
The liquid crystal panel 12 to be inspected is placed in a state where the transfer stage 52 and the transfer device 56 are in the above-described state.
It is arranged on the panel receiver 58 of the transfer stage 52 by hand. At this time, the liquid crystal panel 12 is
4 is positioned with respect to the panel receiver 58 by being fitted into the space formed by the panel receiver 58.
【0058】次いで、第1の搬送装置56が作動してホ
ルダ102が第2の駆動機構104により内側に向けて
(相寄る方向へ)移動される。これにより、液晶パネル
12は、図9に示すように、Y方向の端縁部を第1の搬
送装置56のホルダ102の凹所に受け入れられる。こ
のとき、各ホルダ102は、その一部をパネル受け58
の切欠部66に受け入れられるから、液晶パネル12の
端縁部を安全かつ確実に受け入れる。
Next, the first transfer device 56 is operated, and the holder 102 is moved inward (toward each other) by the second drive mechanism 104. As a result, the liquid crystal panel 12 receives the edge in the Y direction in the recess of the holder 102 of the first transfer device 56 as shown in FIG. At this time, each holder 102 has a part thereof
Of the liquid crystal panel 12 can be safely and reliably received.
【0059】次いで、図10に示すように、シリンダ機
構62が収縮されて、パネル受け58が基台34に近い
(低い側の)第2の搬送装置56のホルダ102の位置
へZ軸線に沿って下降される。これにより、液晶パネル
12は、第1の搬送装置56に渡され、搬送装置56に
傾斜した状態に維持される。
Next, as shown in FIG. 10, the cylinder mechanism 62 is contracted, and the panel receiver 58 is moved along the Z-axis to the position of the holder 102 of the second transfer device 56 close to the base 34 (lower side). And descend. As a result, the liquid crystal panel 12 is transferred to the first transfer device 56 and is maintained in a state of being inclined by the transfer device 56.
【0060】次いで、第1の搬送装置56が対応する駆
動機構100により検査位置に向けて移動される。これ
により、図11に示すように、第2の搬送装置56が受
け渡し位置に残る。また、液晶パネル12は、その下側
の端縁を下側のホルダ102の凹所の奥面に当接させた
状態で搬送される。これにより、液晶パネル12は、粗
アライメントをされた状態に維持される。
Next, the first transport device 56 is moved toward the inspection position by the corresponding drive mechanism 100. As a result, as shown in FIG. 11, the second transfer device 56 remains at the transfer position. Further, the liquid crystal panel 12 is conveyed in a state where its lower edge is in contact with the inner surface of the recess of the lower holder 102. As a result, the liquid crystal panel 12 is maintained in a state of being roughly aligned.
【0061】第1の搬送装置56により検査位置に搬送
された未検査の液晶パネルは、後に説明するように、検
査ステージ54のワークテーブル72がZ軸線に沿って
上昇され、次いで第1の搬送装置56のホルダ102が
液晶パネルの点灯検査を妨げない位置に後退されること
により、第1の搬送装置56から検査ステージ54に渡
されて、点灯検査をされる。検査の終了した液晶パネル
は、第1の搬送装置56のホルダ12に受けられる。
As will be described later, the work table 72 of the inspection stage 54 is moved up along the Z axis of the untested liquid crystal panel transferred to the inspection position by the first transfer device 56, and then the first transfer is performed. When the holder 102 of the device 56 is retracted to a position that does not hinder the lighting inspection of the liquid crystal panel, the holder 102 is transferred from the first transfer device 56 to the inspection stage 54 and subjected to the lighting inspection. The liquid crystal panel after the inspection is received by the holder 12 of the first transfer device 56.
【0062】未検査の液晶パネルが第1の搬送装置56
により検査位置に搬送され、その液晶パネルが点灯検査
を受けている間、未検査の新たな液晶パネル12が図1
1に示すように受け渡しステージ52のパネル受け58
に配置され、第2の搬送装置56のホルダ102が図1
2に示すように前進され、その後シリンダ機構60が図
13に示すように収縮される。これにより、新たな液晶
パネル12が図13に示すように第2の搬送装置56に
受けられる。
The liquid crystal panel which has not been inspected is transferred to the first transfer device 56.
While the liquid crystal panel is conveyed to the inspection position and the liquid crystal panel is subjected to the lighting inspection, a new uninspected liquid crystal panel 12 is
As shown in FIG. 1, the panel receiver 58 of the transfer stage 52
And the holder 102 of the second transfer device 56
2 and then the cylinder mechanism 60 is contracted as shown in FIG. Thus, the new liquid crystal panel 12 is received by the second transfer device 56 as shown in FIG.
【0063】次いで、検査済みの液晶パネルが第1の搬
送装置56により受け渡し位置に戻されるとともに、新
たな液晶パネルが第2の搬送装置56により検査位置に
搬送される。
Next, the inspected liquid crystal panel is returned to the delivery position by the first transport device 56, and a new liquid crystal panel is transported to the inspection position by the second transport device 56.
【0064】検査済みの液晶パネルが受け渡し位置に搬
送されると、先ずパネル受け58が両シリンダ機構6
0,62により第1の搬送装置56のホルダ102の高
さ位置にZ軸線に沿って上昇され、次いで第1の搬送装
置56のホルダ102がパネル受け58に対する液晶パ
ネルの受け渡しを妨げない位置に後退される。これによ
り、検査済みの液晶パネルがパネル受け58に渡され
る。
When the inspected liquid crystal panel is transported to the transfer position, first, the panel receiver 58 is moved to both cylinder mechanisms 6.
0, 62, the position is raised along the Z-axis to the height position of the holder 102 of the first transfer device 56, and then the holder 102 of the first transfer device 56 is moved to a position where the transfer of the liquid crystal panel to the panel receiver 58 is not hindered. Be retreated. Thus, the inspected liquid crystal panel is delivered to the panel receiver 58.
【0065】次いで、パネル受け58上の検査済みの液
晶パネルがパネル受け58から取り除かれ、未検査の新
たな液晶パネルがパネル受け58に配置される。このと
きの液晶パネルの受け渡しも、人手により行われる。
Next, the inspected liquid crystal panel on the panel receiver 58 is removed from the panel receiver 58, and a new untested liquid crystal panel is placed in the panel receiver 58. The delivery of the liquid crystal panel at this time is also performed manually.
【0066】第2の搬送装置56により検査位置に搬送
された液晶パネルは、上記と同様にして検査ステージ5
4に渡され、点灯検査を受け、その後第2の搬送装置5
6に戻される。
The liquid crystal panel transferred to the inspection position by the second transfer device 56 is moved to the inspection stage 5 in the same manner as described above.
4 and subjected to the lighting inspection, and then the second transport device 5
Returned to 6.
【0067】その後は、一方の搬送装置による検査済み
の液晶パネルの搬送と、他方の搬送装置による未検査の
液晶パネルの搬送とが同期して繰り返され、その間に液
晶パネルの点灯検査が行われる。
Thereafter, the transport of the inspected liquid crystal panel by one transport device and the transport of the untested liquid crystal panel by the other transport device are repeated in synchronization, and during that time, the lighting inspection of the liquid crystal panel is performed. .
【0068】上記のように、一方の搬送装置による受け
渡しステージへの液晶パネルの搬送と、他方の搬送装置
による検査ステージへの未検査液晶パネルの搬送とを並
行して行うことにより、搬送装置の移動による時間的な
無駄が著しく少なくなる。なお、パネル受け58への未
検査の液晶パネルの配置、および、パネル受け58から
の検査済みの液晶パネルの除去は、機械的に行ってもよ
い。
As described above, the transfer of the liquid crystal panel to the transfer stage by one of the transfer devices and the transfer of the untested liquid crystal panel to the inspection stage by the other transfer device are performed in parallel. The time waste due to the movement is significantly reduced. The placement of the untested liquid crystal panel in the panel receiver 58 and the removal of the tested liquid crystal panel from the panel receiver 58 may be performed mechanically.
【0069】次に、図14〜図17を参照して、検査ス
テージ54と搬送装置56との間の液晶パネルの受け渡
しを説明する。
Next, with reference to FIGS. 14 to 17, the delivery of the liquid crystal panel between the inspection stage 54 and the transport device 56 will be described.
【0070】搬送装置56が検査位置に移動された状態
において、未検査の液晶パネル12は、図14に示すよ
うに、搬送装置56によりZ方向におけるワークテーブ
ル72の高さ位置より上方に維持されている。
In the state where the transfer device 56 is moved to the inspection position, the untested liquid crystal panel 12 is maintained by the transfer device 56 above the height position of the work table 72 in the Z direction, as shown in FIG. ing.
【0071】上記状態において、先ず、図15に示すよ
うに、ワークテーブル72のパネル受け面がZ方向にお
けるホルダ102の高さ位置になるまで、ワークテーブ
ル72が検査ステージ54のZステージによりZ軸線に
沿って上昇され、液晶パネル12を真空吸着する。
In the above state, first, as shown in FIG. 15, the work table 72 is moved by the Z stage of the inspection stage 54 until the panel receiving surface of the work table 72 reaches the height position of the holder 102 in the Z direction. And the liquid crystal panel 12 is vacuum-sucked.
【0072】次いで、搬送装置56のホルダ102が、
図16に示すように、点灯検査を妨げない位置に後退さ
れる。これにより、液晶パネル12は、ワークテーブル
72に完全に渡される。
Next, the holder 102 of the transfer device 56
As shown in FIG. 16, it is retracted to a position where the lighting inspection is not hindered. Thus, the liquid crystal panel 12 is completely transferred to the work table 72.
【0073】次いで、液晶パネル12に形成された位置
合わせマークが位置合わせ用テレビカメラ50により撮
影され、その出力信号を基に位置合わせマークが所定の
座標位置となるようにワークテーブル72が検査ステー
ジ54の各ステージにより変位される。これにより、プ
ローブユニット40に対する液晶パネル12の精密アラ
イメントが行われる。
Next, the alignment mark formed on the liquid crystal panel 12 is photographed by the alignment television camera 50, and the work table 72 is moved to the inspection stage based on the output signal so that the alignment mark is at a predetermined coordinate position. It is displaced by each of the 54 stages. Thus, precise alignment of the liquid crystal panel 12 with respect to the probe unit 40 is performed.
【0074】次いで、図17に示すように、ワークテー
ブル72が検査ステージ54のZステージによりさらに
Z軸に沿って上昇され、それにより液晶パネル12の電
極部がプローブユニット40のプローブ48に押圧され
る。
Next, as shown in FIG. 17, the work table 72 is further raised along the Z axis by the Z stage of the inspection stage 54, whereby the electrode section of the liquid crystal panel 12 is pressed by the probe 48 of the probe unit 40. You.
【0075】次いで、バックライトユニット80が点灯
された状態で、液晶パネルに通電される。これにより、
液晶パネル12が所定のパターンに点灯されるから、液
晶パネル12の良否が点灯状態の正否を確認することに
より判定される。点灯状態の正否は、作業者の目視によ
り確認される。
Next, the liquid crystal panel is energized with the backlight unit 80 turned on. This allows
Since the liquid crystal panel 12 is lit in a predetermined pattern, the quality of the liquid crystal panel 12 is determined by checking whether the lit state is correct. Whether the lighting state is correct or not is visually confirmed by an operator.
【0076】点灯検査が終了すると、ワークテーブル7
2のパネル受け面がZ方向におけるホルダ102の高さ
位置になるまでワークテーブル72がZ軸線に沿って下
げられ、ホルダ102が前進され、液晶パネルがワーク
テーブルの真空吸着から開放され、その後ワークテーブ
ルがさらにZ軸線に沿って下降される。これにより、液
晶パネル12は、ホルダ102に受けられる。
When the lighting inspection is completed, the work table 7
The work table 72 is lowered along the Z axis until the panel receiving surface 2 is at the height of the holder 102 in the Z direction, the holder 102 is advanced, and the liquid crystal panel is released from the vacuum suction of the work table. The table is lowered further along the Z axis. Thus, the liquid crystal panel 12 is received by the holder 102.
【0077】上記のように、ワークテーブル72とホル
ダ102とが相対的に移動されるとき、各ホルダ102
の一部がワークテーブル72に形成された切欠部76に
受け入れられるから、ワークテーブル72とホルダ10
2との相対的移動が妨げられず、両者の間の液晶パネル
の受け渡しが確実に行われる。
As described above, when the work table 72 and the holder 102 are relatively moved, each holder 102
Of the work table 72 and the holder 10 are received in the cutouts 76 formed in the work table 72.
The relative movement with the liquid crystal panel 2 is not hindered, and the transfer of the liquid crystal panel between the two is reliably performed.
【0078】次に、図7および図18を参照して、プッ
シャー機構84によるワークテーブル72上における液
晶パネル12のアライメントと、ホルダ102からワー
クテーブル72への液晶パネル12の受け渡しの詳細に
ついて説明する。
Next, the alignment of the liquid crystal panel 12 on the work table 72 by the pusher mechanism 84 and the transfer of the liquid crystal panel 12 from the holder 102 to the work table 72 will be described in detail with reference to FIGS. .
【0079】先ず、図18(A)に示すように、液晶パ
ネル12がホルダ102によりZ方向におけるワークテ
ーブル72の高さ位置より上方に維持されている状態
で、ワークテーブル72が液晶パネル12と接触するま
で上昇される。
First, as shown in FIG. 18A, with the liquid crystal panel 12 being maintained above the height of the work table 72 in the Z direction by the holder 102, the work table 72 is Raised until touched.
【0080】次いで、図18(A)に示すように、各プ
ッシャー機構84が動作して液晶パネル12をストッパ
82に向けて変位させる。すなわち、液晶パネル12が
図7に実線で示す位置から同図に2点鎖線で示す位置へ
移動され、その液晶パネル12の隣り合う2つの端縁が
ストッパ82に当接される。
Next, as shown in FIG. 18A, each pusher mechanism 84 operates to displace the liquid crystal panel 12 toward the stopper 82. That is, the liquid crystal panel 12 is moved from the position indicated by the solid line in FIG. 7 to the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 7, and two adjacent edges of the liquid crystal panel 12 abut on the stopper 82.
【0081】上記の結果、受け渡しステージ54のパネ
ル受け58からホルダ102への液晶パネルの受け渡し
時、搬送装置56による液晶パネルの搬送時、および、
ホルダ102からワークテーブル72への液晶パネルの
受け渡し時に、液晶パネルの位置が多少変位しても、液
晶パネル12は、その位置合わせマークが位置合わせ用
テレビカメラ50の視野内に入るようにアライメントを
される。
As a result, when the liquid crystal panel is transferred from the panel receiver 58 of the transfer stage 54 to the holder 102, when the liquid crystal panel is transferred by the transfer device 56, and
When transferring the liquid crystal panel from the holder 102 to the work table 72, even if the position of the liquid crystal panel is slightly displaced, the liquid crystal panel 12 is aligned so that the alignment mark falls within the field of view of the alignment television camera 50. Is done.
【0082】次いで、ワークテーブル72が図18
(C)に示すようにさらにZ軸線に沿って上昇される。
これにより、液晶パネル12は、ワークテーブル72に
受けられる。
Next, the work table 72 corresponds to FIG.
As shown in (C), it is further raised along the Z-axis.
Thus, the liquid crystal panel 12 is received on the work table 72.
【0083】次いで、ワークテーブル72が、図18
(D)に示すよう、ホルダ102を弾性体120の力に
抗して上昇させる位置に上昇され、その状態で液晶パネ
ル12がワークテーブル72に真空吸着される。これに
より、液晶パネル12は、ワークテーブル72に押圧さ
れた状態で、ワークテーブル72に真空吸着されるか
ら、ワークテーブル72に確実に保持される。
Next, the work table 72 is displayed as shown in FIG.
As shown in (D), the holder 102 is raised to a position where the holder 102 is raised against the force of the elastic body 120, and in this state, the liquid crystal panel 12 is vacuum-sucked to the work table 72. As a result, the liquid crystal panel 12 is vacuum-sucked to the work table 72 in a state where the liquid crystal panel 12 is pressed against the work table 72, so that the liquid crystal panel 12 is securely held on the work table 72.
【0084】次いで、図18(E)に示すようにワーク
テーブル72がZ軸線に沿ってわずかに下げられ、次い
で図18(F)に示すようにホルダ102が点灯検査の
妨げにならない位置へ後退される。
Next, as shown in FIG. 18 (E), the work table 72 is slightly lowered along the Z axis, and then, as shown in FIG. 18 (F), the holder 102 is retracted to a position where it does not hinder the lighting inspection. Is done.
【0085】検査済みの液晶パネルをワークテーブル7
2からホルダ102に渡すときは、上記と逆の動作が図
18(F),(C),(B)および(A)の順に行われ
る。この場合、プッシャー機構84が元の状態に戻ると
き、ワークテーブル72の上面が傾斜していることに起
因して、液晶パネルがワークテーブル72およびホルダ
102に対し変位し、液晶パネルはその下側の端縁を下
側のホルダ102の凹所の奥面に当接する。
The inspected liquid crystal panel is placed on the work table 7
When the transfer is made from No. 2 to the holder 102, the reverse operation is performed in the order of FIGS. 18 (F), (C), (B) and (A). In this case, when the pusher mechanism 84 returns to the original state, the liquid crystal panel is displaced with respect to the work table 72 and the holder 102 due to the upper surface of the work table 72 being inclined, and the liquid crystal panel is moved downward. Is in contact with the inner surface of the recess of the lower holder 102.
【0086】ホルダ102は、液晶パネル12と接触し
た状態で前進または後退される。しかし、このとき、各
ホルダ102の凹所に配置された緩衝材122は、擦り
傷が液晶パネル12に形成されることを防止する。
The holder 102 is moved forward or backward in contact with the liquid crystal panel 12. However, at this time, the cushioning members 122 arranged in the recesses of the holders 102 prevent scratches from being formed on the liquid crystal panel 12.
【0087】なお、両第2のスライダ98を相寄り相離
れる方向(Y方向)へ移動可能に第1のスライダ96に
支持させ、ホルダ102を第2のスライダ98に取り付
け、両第2のスライダ98を駆動機構により相寄り相離
れる方向へ同期して移動させることにより、ホルダによ
る液晶パネルの把持およびその解除をするようにしても
よく、また両第2のホルダ98の最大間隔を検査すべき
液晶パネルの大きさに応じて調整するようにしてもよ
い。
The two second sliders 98 are supported by the first slider 96 so as to be movable in the directions (Y direction) that are close to and away from each other, and the holder 102 is attached to the second slider 98. The liquid crystal panel may be gripped and released by the holders by synchronizing the movement of the liquid crystal panel 98 in directions that are closer to and away from each other by a driving mechanism, and the maximum distance between the second holders 98 should be inspected. The adjustment may be made according to the size of the liquid crystal panel.
【0088】プッシャー機構84は早くとも液晶パネル
の点灯検査が終了するまでは動作を継続しており、した
がって液晶パネル12はストッパ82に押圧されてい
る。このため、液晶パネルの大きさに対する溝74によ
る吸着面の面積の割合が小さくても、液晶パネルが安定
に維持され、大きな液晶パネルであっても、正確に検査
することができる。また、液晶パネルをプローブユニッ
トに押圧したときに、液晶パネルに作用する押圧力、不
平衡力等に起因する液晶パネルの変位が防止される。
The pusher mechanism 84 continues to operate until the lighting inspection of the liquid crystal panel is completed at the earliest, so that the liquid crystal panel 12 is pressed by the stopper 82. For this reason, even if the ratio of the area of the suction surface by the groove 74 to the size of the liquid crystal panel is small, the liquid crystal panel is stably maintained, and even a large liquid crystal panel can be accurately inspected. Further, when the liquid crystal panel is pressed against the probe unit, displacement of the liquid crystal panel due to a pressing force acting on the liquid crystal panel, unbalance force, or the like is prevented.
【0089】図19〜図21に示す搬送装置130にお
いては、第2のスライダ98が第1のスライダ96に相
寄り相離れる方向へ移動可能に配置されている。第1の
スライダ96の上面にはY方向へ伸びるレール132が
設けられており、第2のスライダ98にはレール132
にその長手方向へ滑動可能に受けられた複数のガイド1
34が設けられている。
In the transfer device 130 shown in FIGS. 19 to 21, the second slider 98 is arranged so as to be movable toward and away from the first slider 96. A rail 132 extending in the Y direction is provided on the upper surface of the first slider 96, and a rail 132 is provided on the second slider 98.
Guides 1 slidably received in its longitudinal direction
34 are provided.
【0090】第2のスライダ98は、レール132とガ
イド134とにより第1のスライダ96に片持ち梁状に
支持されている。このため、各第2のスライダ98は、
X方向に間隔をおいた2箇所のそれぞれにおいてリンク
136により第1のスライダ96にさらに連結されてい
る。
The second slider 98 is supported in a cantilever manner on the first slider 96 by a rail 132 and a guide 134. For this reason, each second slider 98
The link 136 is further connected to the first slider 96 at each of two locations spaced in the X direction.
【0091】各リンク136は、当該リンクの長手方向
へ伸びる長穴138を有する。各リンク136は、第1
の軸140により第2のスライダ98に結合されている
とともに、長穴138にその長手方向へ移動可能に受け
入れられた第2の軸142により第1のスライダ96に
結合されている。
Each link 136 has an elongated hole 138 extending in the longitudinal direction of the link. Each link 136 is the first
Shaft 140 is coupled to the second slider 98 and is coupled to the first slider 96 by a second shaft 142 which is movably received in the elongated hole 138 in its longitudinal direction.
【0092】両第2のスライダ98が最も離されている
とき、図19に示すように、各リンク136はX方向へ
伸びており、また第2の軸142は第1の軸140に最
も接近している。
When the second sliders 98 are farthest apart, the links 136 extend in the X direction, and the second shaft 142 is closest to the first shaft 140, as shown in FIG. doing.
【0093】しかし、第2のスライダ98を漸次接近さ
せると、リンク136は、第2の軸142が第1の軸1
40から漸次離れるように長穴138に対する位置を漸
次変化させることにより、図21に示すようにX方向に
対して角度を有するようになる。
However, when the second slider 98 is gradually approached, the link 136 is moved from the second shaft 142 to the first shaft 1.
By gradually changing the position with respect to the long hole 138 so as to gradually move away from 40, an angle is formed with respect to the X direction as shown in FIG.
【0094】このため、搬送装置130は、検査すべき
液晶パネル12の大きさに応じて、第2のスライダ98
の間隔を調整することができる。第1のスライダ96に
対する第2のスライダ98の位置は、複数のねじ部材1
44により解除可能に維持することができる。各ねじ部
材144は、第2のスライダ98と螺合しており、また
先端をレール132に当接させている。
For this reason, the transfer device 130 moves the second slider 98 according to the size of the liquid crystal panel 12 to be inspected.
Can be adjusted. The position of the second slider 98 with respect to the first slider 96 depends on a plurality of screw members 1.
44 allows it to be kept releasable. Each screw member 144 is screwed with the second slider 98, and has a tip abutting on the rail 132.
【0095】各リンク136を、第1の軸140により
第2のスライダ98に結合させかつ第2の軸142によ
り第1のスライダ96に結合させる代わりに、第1の軸
140により第1のスライダ96に結合させかつ第2の
軸142により第2のスライダ98に結合さてもよい。
Instead of connecting each link 136 to the second slider 98 by the first shaft 140 and to the first slider 96 by the second shaft 142, the first slider 140 96 and to a second slider 98 by a second shaft 142.
【0096】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、本発明は、液晶パネルを作業者の目視により検
査する目視検査装置用の検査ステージのみならず、テレ
ビカメラのような適宜な撮像手段を用いてその出力信号
を基にコンピュータにより検査する自動検査装置用の検
査ステージにも適用することができる。また駆動機構と
してのシリンダ機構の代わりに、ソレノイドを用いたプ
ランジャー機構を用いてもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the present invention is not limited to an inspection stage for a visual inspection device for visually inspecting a liquid crystal panel by an operator, but also to an automatic inspection for inspecting a liquid crystal panel by a computer based on an output signal of an appropriate imaging unit such as a television camera. The present invention is also applicable to an inspection stage for an inspection device. Further, a plunger mechanism using a solenoid may be used instead of the cylinder mechanism as a driving mechanism.
【0097】本発明は、また、液晶パネルを傾斜した状
態に支持する検査ステージのみならず、液晶パネルを水
平または垂直の状態に支持する用の検査ステージにも適
用することができるし、四角形の液晶パネルのみなら
ず、六角形、八角形等の他の多角形の液晶パネルのため
の検査ステージにも適用することができ、さらには、多
角形の1つの辺に設けられた電極を利用して液晶パネル
を検査するための検査ステージにも適用することができ
る。
The present invention can be applied not only to an inspection stage for supporting a liquid crystal panel in an inclined state but also to an inspection stage for supporting a liquid crystal panel in a horizontal or vertical state. The present invention can be applied not only to the liquid crystal panel but also to an inspection stage for other polygonal liquid crystal panels such as a hexagon and an octagon, and furthermore, by utilizing an electrode provided on one side of the polygon. It can also be applied to an inspection stage for inspecting a liquid crystal panel.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明に係る検査ステージを備えた検査装置の
一実施例を示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing an embodiment of an inspection apparatus having an inspection stage according to the present invention.
【図2】図1の検査装置における搬送機構の部分の一実
施例を示す右側面図であってプローブユニットの部分を
断面で示す図である。
FIG. 2 is a right side view showing an embodiment of a portion of a transport mechanism in the inspection apparatus of FIG. 1 and is a diagram showing a cross section of a portion of a probe unit.
【図3】図1の検査装置における搬送装置を図2におけ
る3−3線の方向から見た視図である。
FIG. 3 is a view of the transport device in the inspection device of FIG. 1 as viewed from the direction of line 3-3 in FIG.
【図4】ワークテーブルの一実施例を示す平面図であ
る。
FIG. 4 is a plan view showing one embodiment of a work table.
【図5】図4に示すワークテーブルの正面図である。FIG. 5 is a front view of the work table shown in FIG. 4;
【図6】ホルダの近傍の一実施例を示す図である。FIG. 6 is a view showing an embodiment in the vicinity of a holder.
【図7】ワークテーブル上における液晶パネルのアライ
メントを説明するための図である。
FIG. 7 is a diagram for explaining alignment of a liquid crystal panel on a work table.
【図8】搬送装置の最初のステップを示す搬送装置の側
面図である。
FIG. 8 is a side view of the transfer device showing a first step of the transfer device.
【図9】搬送装置の図8に続くステップを示す側面図で
ある。
FIG. 9 is a side view showing a step following the step shown in FIG. 8 of the transfer device.
【図10】搬送装置の図9に続くステップを示す図であ
る。
FIG. 10 is a view showing a step subsequent to FIG. 9 of the transport apparatus.
【図11】搬送装置の図10に続くステップを示す図で
ある。
FIG. 11 is a view showing a step subsequent to FIG. 10 of the transport apparatus.
【図12】搬送装置の図11に続くステップを示す図で
ある。
FIG. 12 is a view showing a step subsequent to FIG. 11 of the transport apparatus.
【図13】搬送装置の図12に続くステップを示す図で
ある。
FIG. 13 is a view showing a step subsequent to FIG. 12 of the transport apparatus.
【図14】搬送装置と検査ステージとの間における液晶
パネルの受け渡しを説明するための図であって最初の受
け渡しステップを示す図である。
FIG. 14 is a view for explaining the transfer of the liquid crystal panel between the transfer device and the inspection stage, and is a view showing an initial transfer step.
【図15】図14に続く受け渡しステップを示す図であ
る。
FIG. 15 is a diagram showing a delivery step following FIG. 14;
【図16】図15に続く受け渡しステップを示す図であ
る。
FIG. 16 is a diagram showing a delivery step following FIG. 15;
【図17】図16に続く受け渡しステップを示す図であ
る。
FIG. 17 is a diagram showing a delivery step following FIG. 16;
【図18】液晶パネルを搬送装置から検査ステージに渡
すときの搬送装置と検査ステージとの関係を説明するた
めの図である。
FIG. 18 is a diagram for explaining the relationship between the transport device and the inspection stage when transferring the liquid crystal panel from the transport device to the inspection stage.
【図19】搬送装置の他の実施例を示す図である。FIG. 19 is a view showing another embodiment of the transport device.
【図20】図19に示す搬送装置に右側面図である。20 is a right side view of the transport device shown in FIG. 19;
【図21】図9に示す搬送装置における第2のスライダ
を接近させた状態を示す平面図である。
21 is a plan view showing a state in which a second slider in the transfer device shown in FIG. 9 is approached.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
10 検査装置 12 液晶パネル。 30 支持台 40 プローブユニット 52 受け渡しステージ 54 検査ステージ 56 搬送装置 78 端縁受け 80 バックライトユニット 82 ストッパ 84 プッシャー機構 86 回転機構 88 揺動体 10 Inspection device 12 Liquid crystal panel. Reference Signs List 30 Support 40 Probe unit 52 Delivery stage 54 Inspection stage 56 Transfer device 78 Edge receiver 80 Backlight unit 82 Stopper 84 Pusher mechanism 86 Rotation mechanism 88 Oscillator

Claims (6)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 多角形の液晶パネルを受ける受け面を備
    えるワークテーブルと、液晶パネルの隣り合う2つの端
    縁を受けるべく前記受け面から突出する第1および第2
    のストッパ手段と、液晶パネルの隣り合う2つの端縁を
    両ストッパ手段に当接させるべく液晶パネルを押圧する
    押圧手段とを含む、液晶パネル用検査ステージ。
    1. A work table having a receiving surface for receiving a polygonal liquid crystal panel, and first and second projections protruding from the receiving surface for receiving two adjacent edges of the liquid crystal panel.
    And a pressing means for pressing the liquid crystal panel to bring two adjacent edges of the liquid crystal panel into contact with the stopper means.
  2. 【請求項2】 前記押圧手段は、液晶パネルを前記第1
    のストッパ手段に押圧する少なくとも1つの第1のプッ
    シャー機構と、液晶パネルを前記第2のストッパに押圧
    する少なくとも1つの第2のプッシャーとを備える、請
    求項1に記載の検査ステージ。
    2. The liquid crystal panel according to claim 1, wherein the pressing unit is configured to move the liquid crystal panel to the first position.
    2. The inspection stage according to claim 1, further comprising at least one first pusher mechanism that presses the liquid crystal panel against the second stopper, and at least one second pusher that presses the liquid crystal panel against the second stopper. 3.
  3. 【請求項3】 前記第1のプッシャー機構は前記第1の
    ストッパ手段から第1の方向へ間隔をおいており、前記
    第2のプッシャー機構は前記第2のストッパ手段から前
    記第1の方向と交差する第2の方向へ間隔をおいてい
    る、請求項3に記載の検査ステージ。
    3. The first pusher mechanism is spaced apart from the first stopper means in a first direction, and the second pusher mechanism is spaced apart from the second stopper means in the first direction. The inspection stage of claim 3, wherein the inspection stage is spaced in a second intersecting direction.
  4. 【請求項4】 各プッシャー機構は、逆転可能の回転機
    構と、該回転機構により液晶パネルにほぼ垂直の軸線の
    周りに回転される揺動体であって正転されたときに液晶
    パネルを押す揺動体とを有する、請求項2または3に記
    載の検査ステージ。
    4. A pusher mechanism comprising: a reversible rotating mechanism; and an oscillating body that is rotated by the rotating mechanism about an axis substantially perpendicular to the liquid crystal panel, and that pushes the liquid crystal panel when rotated forward. The inspection stage according to claim 2, further comprising a moving body.
  5. 【請求項5】 さらに、前記液晶パネルの端縁を受ける
    べく前記第1のプッシャー機構の側にあって前記受け面
    から突出する複数の端縁受けを含み、前記受け面は、前
    記第1のプッシャー機構の側が下方となりかつ前記第1
    のストッパの側が上方となるように、傾斜されている、
    請求項2〜4のいずれか1項に記載の検査ステージ。
    5. The liquid crystal panel further includes a plurality of edge receivers protruding from the receiving surface on a side of the first pusher mechanism for receiving an edge of the liquid crystal panel, wherein the receiving surface is provided with the first surface. The side of the pusher mechanism is downward and the first
    Is inclined so that the side of the stopper is upward,
    The inspection stage according to claim 2.
  6. 【請求項6】 各ストッパ手段は、一方向に間隔をおい
    た複数のストッパを備える、請求項1〜5のいずれか1
    項に記載の検査ステージ。
    6. A method according to claim 1, wherein each stopper means includes a plurality of stoppers spaced in one direction.
    Inspection stage described in section.
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