JPH11133210A - Variable focus lens - Google Patents

Variable focus lens

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JPH11133210A
JPH11133210A JP29898297A JP29898297A JPH11133210A JP H11133210 A JPH11133210 A JP H11133210A JP 29898297 A JP29898297 A JP 29898297A JP 29898297 A JP29898297 A JP 29898297A JP H11133210 A JPH11133210 A JP H11133210A
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JP
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Patent type
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elastic plate
transparent
plate
electrode
spacer
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Application number
JP29898297A
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Japanese (ja)
Inventor
Taku Kaneko
金子  卓
Original Assignee
Denso Corp
株式会社デンソー
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a variable focus lens of which body is miniaturized and whose price is reduced. SOLUTION: The variable focus lens has a transparent elastic plate 1, an electrically conductive elastic plate 3 for joining a transparent plate 2 to a through hole formed on the center part and 1st and 2nd electrodes 51, 52 arranged on both the sides of the plate 3. Closed space between the plates 2, 3 and the plate 1 is filled with a transparent liquid 6 and a lens is formed by the plate 1, the liquid 6 and the plate 2. When a potential difference is applied between the electrode 51 and the plate 3, the plate 1 is electrostatically attracted to the electrode 51, the plate 2 is dropped, the plate 1 is projected to form a convex lens. Since an electrostatic actuator is formed in the body by the plate 3 and the electrodes 51, 52, the variable focus lens is compact and inexpensive.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、広くはマイクロマシンの技術分野に属し、狭くは顕微鏡等に使用されるレンズのパワー(度または度数)が連続的に可変である可変焦点レンズの技術分野に属する。 The present invention relates broadly to a technical field of micromachine, narrow the field of variable focus lens power of the lens used in the microscope (degrees or power) is continuously variable It belongs.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来技術としては、特開昭60−573 As a conventional technique, JP-A-60-573
08号公報に開示されているように、透明弾性膜をもつ容器に透明液体を封入し、その透明液体の圧力を圧電素子等のアクチュエータを用いて変化させることにより、 08 No. As disclosed in Japanese, a transparent liquid sealed in a container having a transparent elastic membrane, by varying the pressure of the clear liquid by using an actuator such as a piezoelectric element,
レンズの形状を変えて焦点を可変とする可変焦点レンズが公知である。 Variable focus lens for focus variable by changing the shape of the lens is known. また、特開平6−308303号公報には、前述の従来技術の可変焦点レンズに適正な膜厚分布をもって形成されている透明弾性板を用い、より大きな有効口径が得られる可変焦点レンズが開示されている。 JP-A-6-308303, a transparent elastic plate which is formed with a proper film thickness distribution in the variable focus lens of the prior art described above, the variable focus lens of larger effective diameter is obtained is disclosed ing.

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従来技術の可変焦点レンズでは、透明液体の圧力を変えて可変焦点レンズを駆動するためのアクチュエータが可変焦点レンズの本体に付設されている。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, in the variable focus lens of the prior art, an actuator for driving the variable focus lens by changing the pressure of the clear liquid is attached to the body of the variable focus lens. それゆえ、可変焦点レンズの本体の体格が大きくなるとともに、アクチュエータおよびアクチュエータからの油路などを要するので、可変焦点レンズの価格も高くなりがちである。 Therefore, along with size of the body increases the variable focus lens, it takes and the oil passage from the actuator and the actuator, the price of the variable focus lens is also high tends.

【0004】そればかりではなく、上記アクチュエータがピエゾ圧電素子を利用するピエゾアクチュエータである可変焦点レンズにあっては、同圧電素子がもつヒステリシスやクリーピングなどの現象により、印加電圧と発生圧力との関係が必ずしも一意ではなくなるという問題を生じた。 [0004] Not only it, in the variable focus lens is a piezoelectric actuator in which the actuator utilizing piezoelectric element, by phenomena such as hysteresis and creeping of the piezoelectric element has, applied voltage and the generated pressure resulting in a problem that the relationship is not necessarily unique. また、ピエゾアクチュエータの超小型化が困難であり、かつ超小型化されたピエゾアクチュエータには十分に透明液体の圧力を変えるだけの能力が望めないという二律背反の不都合をも、上記従来技術は抱えていた。 Further, it is difficult to miniaturization of the piezoelectric actuator, and also the inconvenience of antinomy that can not be expected only in the capacity varying the pressure of the fully transparent liquid ultra miniaturized piezoelectric actuator, the above prior art not have It was.

【0005】そこで本発明は、本体の体格が小型化されているとともに価格が低廉化されている可変焦点レンズを提供することを、解決すべき課題とする。 [0005] The present invention, that the size of the body to provide a variable focus lens price is inexpensive together with being compact, and problems to be solved.

【0006】 [0006]

【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上記課題を解決するために、発明者は以下の手段を発明した。 To solve SUMMARY, operation, and effects thereof for solving the above problems, the inventors invented the following means. (第1手段)本発明の第1手段は、請求項1記載の可変焦点レンズである。 (First means) first means of the present invention is a variable focus lens according to claim 1, wherein. 本手段では、第1電極と導電性弾性板との間に電位差を与えることにより、クーロン力による吸引力を発生させて両者の間隔を狭めることができる。 In this means, by applying a potential difference between the first electrode and the conductive elastic plate, it is possible to reduce the distance therebetween to generate a suction force due to the Coulomb force. その結果、両者の間隔から排斥された透明液体の体積をもって、透明弾性板の中央部分を透明液体に背向して凸に突出して変形させることが可能である。 As a result, with the volume of clear liquid which is expelled from both the interval, it is possible to deform a projecting and facing away the central portion of the transparent elastic plate to a transparent liquid. すると、 Then,
凸状に変形した透明弾性板と透明板と両者の間を満たしている透明液体とで凸レンズが形成される。 Convex lens is formed by the transparent liquid meets between the transparent elastic plate and a transparent plate with both deformed convexly. この凸レンズのパワーは、上記電位差を調整することにより、所定の範囲で調節が可能である。 Power of the convex lens, by adjusting the voltage difference, and can be adjusted in a predetermined range.

【0007】本手段では逆に、第1電極と導電性弾性板とに同電位で高電圧を印加することにより、クーロン力による排斥力を発生させて、両者の間隔を拡げることができる。 [0007] Contrary to the present means, by applying a high voltage at the same potential to the first electrode and the conductive elastic plate, by generating repulsive force due to the Coulomb force, it is possible to expand the distance between them. その結果、両者の間隔に吸い込まれた透明液体の陰圧作用により、透明弾性板の中央部分を透明液体に背向して凹状にへこませて変形させることが可能である。 As a result, a negative pressure effect of the transparent liquid sucked into both intervals, it is possible to deform dented concavely and facing away the central portion of the transparent elastic plate to a transparent liquid. すると、凹状に変形した透明弾性板と透明板と両者の間を満たしている透明液体とで凹レンズが形成される。 Then, the concave lens is formed by the transparent liquid meets between deformed transparent elastic plate and a transparent plate with both concave. この凹レンズのパワーは、上記電圧を調整することにより、所定の範囲で調節が可能である。 Power of the concave lens by adjusting the voltage, it is possible to adjust a predetermined range.

【0008】ここで、第1電極および導電性弾性板は静電アクチュエータを構成しており、前述の凸レンズおよび凹レンズのパワーは、同静電アクチュエータに印加する電圧の大小によって決まる。 [0008] Here, the first electrode and the conductive elastic plate constitutes an electrostatic actuator, the power of the aforementioned convex lens and concave lens is determined by the magnitude of the voltage applied to the electrostatic actuator. すなわち、本手段の可変焦点レンズでは、本体に静電アクチュエータが組み込まれている構成を取っており、本体に別途付設されたピエゾアクチュエータ等のアクチュエータを必要としない。 That is, in the variable focus lens of this unit is taken a construction that the electrostatic actuator is incorporated in the body, it does not require an actuator of the piezo actuator or the like which is separately attached to the body.
それゆえ、可変焦点レンズの小型化が可能であるばかりではなく、構成の簡素化による可変焦点レンズの価格の低廉化が可能である。 Therefore, not only it is possible to miniaturize the variable focus lens, it is possible to cost reduction in the price of the variable focus lens according to simplification of the configuration.

【0009】したがって本手段によれば、本体の体格が小型化されているとともに価格が低廉化されている可変焦点レンズを提供することができるという効果がある。 [0009] Therefore, according to this means, there is an effect that size of the body can provide a variable focus lens price is inexpensive together with being compact.
また、本手段の可変焦点レンズに組み込まれている静電アクチュエータは、ピエゾアクチュエータと異なり、ヒステリシスやクリーピング等の不都合な現象が生じないので、印加電圧とレンズのパワーとは一意に対応するという効果もある。 Further, an electrostatic actuator embedded in the variable focus lens of this means, that unlike the piezoelectric actuator, since undesirable phenomena such as hysteresis and creeping does not occur, uniquely corresponding to the power of the applied voltage and the lens effect also. 同様に、ピエゾアクチュエータを使用せず、本体と一体型の静電アクチュエータを使用しているので、小型化に伴う制約が少なく、小型化が従来技術よりもずっと容易であるという効果がある。 Similarly, without the use of piezoelectric actuators, the use of the electrostatic actuator body integral, less limitations associated with miniaturization, there is an effect that downsizing is much easier than the prior art.

【0010】(第2手段)本発明の第2手段は、請求項2記載の可変焦点レンズである。 [0010] (second means) a second means of the present invention is a variable focus lens according to claim 2, wherein. 本手段では、第1電極と第2電極との間に、両者とそれぞれ所定の間隔を空けて導電性弾性板が介在している。 In this means, between the first electrode and the second electrode, the conductive elastic plate respectively both at predetermined intervals is interposed. それゆえ、導電性弾性板と第2電極との間にも、前述の導電性弾性板と第1電極との間に形成されている静電アクチュエータと同様の静電アクチュエータが構成される。 Hence, even between the conductive elastic plate and the second electrode, and a similar electrostatic actuator and the electrostatic actuator are formed between the above-mentioned conductive elastic plate and the first electrode. したがって、本手段の可変焦点レンズにおいては、二重に静電アクチュエータが形成されているので、導電性弾性板を駆動して透明弾性板を変形させる駆動力が、前述の第1手段に比べて倍加している。 Therefore, in the variable focus lens of this unit, the electrostatic actuator is a double-driving force for deforming the transparent elastic plate by driving the conductive elastic plate, as compared with the above-described first means It is doubling.

【0011】したがって本手段によれば、前述の第1手段の効果に加えて、透明弾性板の変形が大きくなるので前述の凸レンズおよび凹レンズのパワーの調整可能な範囲が拡大するという効果がある。 [0011] Therefore, according to this means, in addition to the effects of the above-described first means, there is an effect that the deformation of the transparent elastic plate becomes large adjustable range of power of the above convex and concave expanding. (第3手段)本発明の第3手段は、請求項3記載の可変焦点レンズである。 (Third means) third means of the present invention is a variable focus lens according to claim 3, wherein.

【0012】本手段では、導電性弾性板は、中間貫通孔を有する絶縁性の変形可能な薄板である絶縁性弾性板と、この絶縁性弾性板の表面に形成された導電性の膜であって周方向に少なくとも二つに分割されている分割導電膜とから形成されている。 [0012] In this way, the conductive elastic plate, an insulating elastic plate is deformable sheet of insulating having an intermediate through-hole, there in the insulating elastic plate conductive film formed on the surface of is formed from the divided conductive film is divided at least into two Te in the circumferential direction. それゆえ、各分割導電膜にそれぞれ異なる電圧を印加することにより、導電性弾性板の中間貫通孔の周囲に接合している円盤状の透明板は、同透明板と透明弾性板と両者の間の透明液体とからなるレンズの中心軸に対して傾く。 Therefore, by applying different voltages to the divided conductive film, a disk-shaped transparent plate which is joined to the periphery of the intermediate through-hole of the conductive elastic plate, between them and the transparent plate and the transparent elastic plate inclined with respect to the central axis of consisting of a transparent liquid lens.

【0013】その結果、レンズの中心軸に(普通は)平行な光軸に対して透明板の法線が傾き、レンズの中央部を通る光線も屈折して偏向する(向きが変わる)。 [0013] As a result, the central axis of the lens (usually) slope normal of the transparent plate with respect to parallel optical axes, rays passing through the central portion of the lens is also deflected by refraction (orientation change). 透明板の傾く方向と傾く角度の大きさとは、各導電性弾性板と第1電極およびまたは第2電極とに印加される各電圧を加減することにより、調整が可能である。 The magnitude of the angle of tilt and direction of inclination of the transparent plate, by adjusting the respective voltages applied to the respective conductive elastic plate and the first electrode and or second electrode, can be adjusted. したがって本手段によれば、前述の各手段の効果に加えて、所定の範囲で所望の角度だけ光線を偏向させる機能をも発揮できるという効果がある。 Therefore, according to the present device, in addition to the effects of the means described above, there is an effect that can be exhibited also the function of deflecting the desired angle by light in a predetermined range.

【0014】ここで、分割導電膜が周方向に等角度で三つに分割されていれば、透明板を傾ける方向は全方位から任意に選ぶことができるようになる。 [0014] Here, if it is divided into three equiangularly divided conductive film in the circumferential direction, the direction of tilting the transparent plate will be able to be arbitrarily selected from all directions. また、第1電極や第2電極も、分割導電膜と対応する位置で周方向に分割されており、それぞれに独立して電圧を印加することができるようになっていれば、透明板を傾けることができる角度はより深くなる。 Also, the first electrode and the second electrode is divided in a position corresponding to the divided conductive film in the circumferential direction, if it become possible to apply a voltage independently of each tilt the transparent plate angle that can become deeper.

【0015】(第4手段)本発明の第4手段は、請求項4記載の可変焦点レンズである。 [0015] (Fourth means) fourth means of the present invention is a variable focus lens according to claim 4, wherein. 本手段では、透明液体を挟持している一方が透明弾性板であるばかりではなく、他方も光学的に透明であり弾性をもって変形可能な第2の透明弾性板である。 In this means, a is not only one transparent elastic plate sandwiching a transparent liquid, the other is also a second transparent elastic plate deformable with and elastic optically clear. それゆえ、双方の透明弾性板が互いに背向して凸に変形すればよりパワーの高い凸レンズが形成されるし、双方の透明弾性板が互いに背向して凹に変形すればよりパワーの高い凹レンズが形成される。 Therefore, to the convex lens higher power if deformed convexly both transparent elastic plate is turned away from one another are formed, having higher power if deformed concave both transparent elastic plate is turned away from each other concave lens is formed.

【0016】したがって本手段によれば、前述の各手段の効果に加えて、可変焦点レンズのパワーを偏向できる範囲が拡大するという効果がある。 [0016] Therefore, according to this means, in addition to the effects of the means described above, the range that can deflect the power of the variable focus lens has the effect of expanding. なお、前述の第3手段のように分割導電膜を有する場合には、分割導電膜の内周縁に沿ってリング状の補強部材が導電性弾性板に接合されていれば、レンズのゆがみが抑制されて光学特性の劣化が防止される。 In the case where a split conductive film as in the third means described above, if the reinforcing member of the inner peripheral edge along the ring-shaped divided conductive film is bonded to the conductive elastic plate, distortion of the lens is suppressed by deterioration of the optical characteristic is prevented.

【0017】(第5手段)本発明の第5手段は、請求項5記載の可変焦点レンズである。 [0017] (Fifth means) fifth means of the present invention is a variable focus lens according to claim 5, wherein. 本手段では、互いに接合されている導電性弾性板および第2の透明弾性板は、 In the conductive elastic plate and the second transparent elastic plate are joined together the means,
第2スペーサの第1スペーサに背向する面に接合されている絶縁性の透明弾性板と、この透明弾性板の表面にリング状に形成された導電性の電極膜とから、一体に形成されている。 And facing away to the insulating which is joined to the surface transparent elastic plate to the first spacer of the second spacer, and a ring shape formed conductive electrode film on the surface of the transparent elastic plate formed integrally ing. それゆえ、導電性弾性板と第2の透明弾性板との接合は、上記透明弾性板の表面にPVD法などでリング状に導電性の電極膜を形成する過程で自然になされ、導電性弾性板と第2の透明弾性板とを別途製作して接合する工数がかからない。 Therefore, the bonding between the conductive elastic plate and the second transparent elastic plate is made naturally in the process of forming a conductive electrode film in a ring shape in such a PVD method on a surface of the transparent elastic plate, the conductive elastic not take steps for joining the plate and a second transparent elastic plate manufactured separately to.

【0018】したがって本手段によれば、前述の第4手段の効果に加えて、製造コストが安価になるうえに、導電性弾性板と第2の透明弾性板との接合が剥がれにくいという効果がある。 [0018] Therefore, according to this means, in addition to the effects of the fourth means described above, the terms of manufacturing cost decreases, the effect of joint is difficult to peel off the conductive elastic plate and the second transparent elastic plate is there. (第6手段)本発明の第6手段は、請求項6記載の可変焦点レンズである。 Sixth means (6 means) The present invention is a variable focus lens according to claim 6, wherein.

【0019】本手段では、第1スペーサは導電性であり、第1電極はこの第1スペーサにより兼用されているので、別途製作した第1電極を第1スペーサに接合したり、第1スペーサの表面に第1電極を形成したりする必要がない。 [0019] In this section, the first spacer is electrically conductive, since the first electrode is shared by the first spacer, or joining a first electrode which is separately fabricated first spacer, the first spacer there is no need or forming a first electrode on the surface. それゆえ、コストダウンが可能になる。 Therefore, it is possible to cost down. したがって本手段によれば、前述の各手段の効果に加えて、 Therefore, according to the present device, in addition to the effects of the means described above,
さらなるコストダウンが可能であるという効果がある。 There is an effect that it is possible to further cost reduction.

【0020】(第7手段)本発明の第7手段は、請求項7記載の可変焦点レンズである。 [0020] (Seventh means) seventh means of the present invention is a variable focus lens according to claim 7 wherein. 本手段では、第1スペーサの第1貫通孔の周縁部は、前記透明弾性板と所定の間隔を空けて形成されている。 In this section, the peripheral edge portion of the first through-hole of the first spacer is formed at a predetermined interval and the transparent elastic plate. そして本手段の可変焦点レンズは、この周縁部の透明弾性板と対向する表面に形成されている第1容量検出電極と、この第1容量検出電極と対向または背向してこの透明弾性板に形成されている第2容量検出電極とを有する。 The variable focus lens of this unit has a first capacitance detection electrodes formed on a surface facing the transparent elastic plate of the peripheral portion, the first capacitance detection electrode and the counter or back to back to the transparent elastic plate and a second capacitance detection electrodes formed.

【0021】第1容量検出電極と第2容量検出電極との間隔は、透明弾性板の変形の度合いすなわちレンズのパワーによって変動し、両電極の間の静電容量は、両電極の間隔に反比例して変化する。 The distance between the first capacitance detection electrode and the second capacitance detection electrode is varied by the degree i.e. the lens power of the deformation of the transparent elastic plate, the capacitance between the two electrodes, inversely proportional to the distance between the electrodes changes in. それゆえ本手段では、第1容量検出電極と第2容量検出電極との間の静電容量を検出することにより、可変焦点レンズのパワーを計測することが可能になる。 In Therefore, the present device, by detecting the electrostatic capacitance between the first capacitance detection electrode and the second capacitance detection electrodes, it is possible to measure the power of the variable focus lens.

【0022】したがって本手段によれば、前述の各手段の効果に加えて、可変焦点レンズのパワーを計測することが可能になるという効果がある。 [0022] Therefore, according to this means, in addition to the effects of the means described above, there is an effect that it becomes possible to measure the power of the variable focus lens. なお、本手段においてさらに、このようにして計測されたレンズのパワーをフィードバックして印加電圧を制御する手段を有すれば、可変焦点レンズを所望のパワーに精密に調整することが可能になる。 Still further in this section, if it has a means for controlling the thus applied voltage by feeding back the power of the measured lens, a variable focus lens it is possible to precisely adjust the desired power.

【0023】(第8手段)本発明の第8手段は、請求項8記載の可変焦点レンズである。 [0023] (Eighth means) eighth means of the present invention is a variable focus lens according to claim 8. 本手段では、第1電極と導電性弾性板との間、導電性弾性板と第2電極との間、および第1容量検出電極と第2容量検出電極との間のうちいずれかの静電容量を検出する静電容量検出手段が備わっている。 In this unit, one of the electrostatic out between the first electrode and between the conductive elastic plate, the conductive elastic plate and between the second electrode and the first capacitance detection electrode and the second capacitance detection electrodes It is equipped with electrostatic capacitance detecting means for detecting the capacitance. それゆえ、上記いずれかの静電容量を検出することにより、可変焦点レンズの凸レンズないし凹レンズのパワーを検出することが可能である。 Therefore, by detecting the one of the electrostatic capacitance, it is possible to detect the power of the convex lens or concave lens of variable focus lens.

【0024】本手段にはさらに、この静電容量検出手段により計測されたこの静電容量に基づいて、可変焦点レンズを駆動する印加電圧を調整する制御手段も備わっている。 [0024] This means further on the basis of the electrostatic capacitance measured by the capacitance detection unit, control means for adjusting the voltage applied to drive the variable focus lens is also provided. それゆえ、前述のようにして計測されたレンズのパワーをフィードバックして印加電圧を制御することができるので、可変焦点レンズを所望のパワーに精密に調整することが可能になる。 Therefore, it is possible to control the application voltage by feeding back the power of the measured lens in the manner described above, the variable focus lens it is possible to precisely adjust the desired power.

【0025】したがって本手段によれば、前述の各手段の効果に加えて、可変焦点レンズを所望のパワーに精密に調整することが可能になるという効果がある。 [0025] Therefore, according to this means, in addition to the effects of the means described above, there is an effect that a variable focus lens it is possible to precisely adjust the desired power. わけても、静電容量検出手段が、第1電極と導電性弾性板との間、または導電性弾性板と第2電極との間の静電容量を検出する場合には、コスト面で有利である。 Waketemo, capacitance detection means, when detecting the electrostatic capacitance between the between the first electrode and the conductive elastic plate or a conductive elastic plate and the second electrode, is a cost advantage . なぜならば、前述の第7手段のように第1容量検出電極および第2容量検出電極を別途設けることは、必要なくなるからである。 Since it is because required unnecessary to separately provide a first capacitance detection electrode and the second capacitance detection electrodes as the seventh means described above.

【0026】 [0026]

【発明の実施の形態および実施例】本発明の可変焦点レンズの実施の形態については、当業者に実施可能な理解が得られるよう、以下の実施例で明確かつ十分に説明する。 For [Embodiment and Examples of the Invention Embodiment of the variable focus lens of the present invention, so that understandable embodiments to those skilled in the art is obtained, will be described clearly and fully in the following examples. [実施例1] (実施例1の構成)本発明の実施例1としての可変焦点レンズは、図1および図2に示すように、図中下方から順に、透明弾性板1と、第1スペーサ41および第1電極51と、第2スペーサ42と、導電性弾性板3および透明板2と、第3スペーサ43と、第2電極52とを有する。 [Example 1] variable focus lens as Example 1 (Configuration Example 1) The present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, in order from the lower side in the figure, a transparent elastic plate 1, a first spacer with a 41 and the first electrode 51, a second spacer 42, the conductive elastic plate 3 and the transparent plate 2, a third spacer 43, and a second electrode 52. 透明弾性板1、第1スペーサ41、第1電極5 Transparent elastic plate 1, a first spacer 41, the first electrode 5
1、第2スペーサ42、導電性弾性板3および透明板2 1, the second spacer 42, the conductive elastic plate 3 and the transparent plate 2
により液密に封止されている内部空間には、光学的に透明なシリコーン油である透明液体6が充填されて封入されている。 The inside space being fluid-tightly sealed, transparent liquid 6 is sealed is filled is an optically clear silicone oils. 以上の構成の可変焦点レンズの本体は、回転対称形状をしており、各部品も、円盤状であったりリング状であったりして回転対称形状をもっており、互いに同軸に配設されている。 Body of the variable focus lens having the above structure has a rotationally symmetrical shape, also the parts, and or a ring or a disc-like has a rotationally symmetrical shape and are disposed coaxially with each other.

【0027】また、導電性弾性板3、第1電極51および第2電極52には、二つの可変直流電圧源71,72 Further, the conductive elastic plate 3, the first electrode 51 and the second electrode 52, two variable DC voltage source 71
およびスイッチを含む電圧制御装置7が、電気的に接続されている。 And the voltage control unit 7 including a switch, are electrically connected. 透明弾性板1は、光学的に透明であり弾性をもって変形可能なホウケイ酸ガラス製の薄板からなる円盤であり、その厚みは一様であってμmオーダーである。 Transparent elastic plate 1 is a disk made of optically transparent and elastically with deformation a borosilicate glass sheet and has a thickness of μm order be uniform.

【0028】第1スペーサ41は、透明弾性板1の図中上側の表面に図中下方の面で接合され、光路として円形の第1貫通孔を有し、所定の一様な厚さをもった絶縁性の合成樹脂(ガラス等でも良い)からなるリング状部材である。 The first spacer 41 is bonded with the surface of the downward in the figure in the drawing the upper surface of the transparent elastic plate 1 has a first through-hole of the circular as an optical path, with a predetermined uniform thickness and a ring-shaped member made of insulating synthetic resin (which may be a glass or the like). 透明弾性板1と第1スペーサ41とは、紫外線硬化樹脂によってリング状の接触面全体で液密に接合されている。 Transparent elastic plate 1 and the first spacer 41 is bonded to the liquid-tight throughout the ring-shaped contact surface with ultraviolet-curing resin.

【0029】第1電極51は、第1スペーサ41の図中上側の面に、真空蒸着などのPVD法(物理的蒸気凝縮法)によって形成されているアルミニウム製(金やニッケル等でも良い)の膜状電極である。 [0029] The first electrode 51, the upper side in the drawing surface of the first spacer 41, PVD method such as vacuum evaporation (physical vapor condensation method) aluminum which is formed by (or gold or nickel) a film electrode. 第2スペーサ42 The second spacer 42
は、第1スペーサ41の図中上側の面に接合され、第1 It is bonded to the upper side in the drawing surface of the first spacer 41, the first
スペーサ41の第1貫通孔と同軸でより直径が大きい第2貫通孔を有しており、所定の一様な厚さをもった絶縁性の合成樹脂(ガラスでも良い)製のリング状スペーサである。 It has a more larger diameter second through holes in the first through hole coaxial with the spacer 41, a ring-shaped spacer made of insulating synthetic resin having a predetermined uniform thickness (or glass) is there. 第1電極51が形成されている第1スペーサ4 The first electrode 51 is formed first spacer 4
1の図中上面と、第2スペーサ42の図中下面とは、エポキシ系接着剤によってリング状の接触面全体で液密に接合されている。 And in 1 of FIG upper surface, and the drawing the lower surface of the second spacer 42 is joined in a liquid-tight in the entire ring-shaped contact surface by epoxy adhesive.

【0030】導電性弾性板3は、第2スペーサ42の図中上面に接合され、光路として円形の中間貫通孔を有する導電性の変形可能なステンレス鋼(ベリリウム銅でも良い)製の薄板である。 The conductive elastic plate 3 is joined to the upper surface in the figure of the second spacer 42, are (which may be a beryllium copper) thin plate made of conductive deformable stainless steel with a circular intermediate through-hole as an optical path . 導電性弾性板3と第2スペーサ42とは、エポキシ系接着剤によってリング状の接触面全体で液密に接合されている。 Conductive elastic plate 3 and the second spacer 42 is joined in a liquid-tight in the entire ring-shaped contact surface by epoxy adhesive. 透明板2は、光学的に透明な円盤状のホウケイ酸ガラス板であって、導電性弾性板3の中央に開口している中間貫通孔の周囲の内周縁付近に外周部で接合されている。 Transparent plate 2 is an optically transparent disc-like borosilicate glass plate, are joined at the outer peripheral portion to the inner peripheral edge around the periphery of the intermediate through-hole which opens at the center of the conductive elastic plate 3 . 透明板2の外周部と導電性弾性板3の内周部とは、エポキシ系接着剤によってリング状の接触面全体で液密に接合されている。 The inner periphery of the outer peripheral portion of the transparent plate 2 and the conductive elastic plate 3 is joined in a liquid-tight in the entire ring-shaped contact surface by epoxy adhesive.

【0031】第3スペーサ43は、第1スペーサ41の第1貫通孔より直径が大きい第3貫通孔を有し、所定の一様な厚さをもった絶縁性の樹脂からなるリング状の部材である。 The third spacer 43 has a third through-hole is larger in diameter than the first through-hole of the first spacer 41, a ring-shaped member made of an insulating resin having a predetermined uniform thickness it is. 第3スペーサ43の図中下面と導電性弾性板3の図中上面とは、エポキシ系接着剤によってリング状の接触面全体で接合されている。 The figure in the drawing the upper surface of the lower surface and the conductive elastic plate 3 of the third spacer 43, are joined across the ring-shaped contact surface by epoxy adhesive. 第2電極52は、光路として透明板2よりも直径が少し大きい第3貫通孔を有するステンレス鋼製のリング状部材である。 The second electrode 52 has a diameter than that of the transparent plate 2 as the optical path is a ring-shaped member made of stainless steel having a slightly larger third through-hole. 第2電極5 The second electrode 5
2の図中下面と第3スペーサ43の図中上面とは、エポキシ系接着剤によってリング状の接触面全体で接合されている。 2 of FIG lower face and the upper surface in the figure of the third spacer 43, are joined across the ring-shaped contact surface by epoxy adhesive.

【0032】(実施例1の作用効果)本実施例の可変焦点レンズは、以上のように構成されているので、以下のような作用効果を発揮する。 The variable focus lens of the present example (Operation and Effect of Embodiment 1), which is configured as described above, exhibits the following effects. 先ず、印加電圧が全く与えられていない状態では、再び図2に示すように、透明板2は上下方向に変位しないので透明液体6に圧力の変化は生ぜず、透明弾性板1は変形せずその表面(図中下面)は、平面状に保たれている。 First, in the state in which the applied voltage is not given at all, again as shown in FIG. 2, the transparent plate 2 is the change in pressure is not generated in the transparent liquid 6 does not vertically displaced, the transparent elastic plate 1 is not deformed the surface (in the drawing the underside) is kept in a flat shape. この状態では、透明弾性板1の表面と透明板2の表面(図中上面)とが平行に保たれているので、透明弾性板1と透明板2と両者の間に介在する透明液体6とから形成されるレンズはパワーをもたない。 In this state, since the transparent elastic plate 1 surface and the transparent plate 2 surface and (upper surface in the figure) is kept parallel, the transparent liquid 6 interposed between the transparent elastic plate 1 and the transparent plate 2 and both lens formed from no power. その結果、図中上方から回転対称軸に平行に入射した平行光線は、上記レンズを透過した後も平行なままに保たれる。 As a result, the parallel rays incident parallel to the rotationally symmetrical axis from the top in the figure, after passing through the lens are kept remain parallel.

【0033】次に、図3に示すように、第1電極51と導電性弾性板3とに所定の電位差が印加されている状態では、第1電極51と導電性弾性板3との間にクーロン力(静電気力)が生じ、第1電極51と導電性弾性板3 Next, as shown in FIG. 3, in a state in which a predetermined potential difference and the first electrode 51 and the conductive elastic plate 3 is applied, between the first electrode 51 and the conductive elastic plate 3 resulting Coulomb force (electrostatic force) is, first electrode 51 and the conductive elastic plate 3
との間には吸引力が作用する。 Suction force acts between the. この際、透明弾性板1の剛性は、第1スペーサ41に裏打ちされている第1電極51の剛性に比べて極めて低いから、透明弾性板1は変形して透明板2と一緒に図中下方へ吸引され、透明液体6に圧縮力を及ぼす。 In this case, the rigidity of the transparent elastic plate 1, in the drawing from very low compared to the stiffness of the first electrode 51 which is lined to the first spacer 41, together with the transparent plate 2 transparent elastic plate 1 is deformed downward is sucked into exerts a compressive force on the transparent liquid 6. その結果、透明液体6の圧力が上昇して、導電性弾性板3は図中下方へ凸に突出し、透明弾性板1と透明板2と両者の間に介在する透明液体6とから形成されるレンズは凸レンズとなる。 As a result, the upward pressure of the transparent liquid 6, the conductive elastic plate 3 is formed projecting in a convex downward in the figure, a transparent elastic plate 1 and the transparent plate 2 and both transparent liquid 6 that is interposed between the lens is a convex lens. この凸レンズのパワーは、透明弾性板1の変形の度合いで異なるので、可変直流電圧源71の印加電圧を調整することにより、調整可能である。 Power of the convex lens is different in the degree of deformation of the transparent elastic plate 1, by adjusting the applied voltage of the variable DC voltage source 71 is adjustable.

【0034】逆に、図4に示すように、第2電極52と導電性弾性板3とに所定の電位差が印加されている状態では、第2電極52と導電性弾性板3との間にクーロン力が生じ、第1電極51と導電性弾性板3との間には静電的な吸引力が作用する。 [0034] Conversely, as shown in FIG. 4, in a state in which a predetermined potential difference and the second electrode 52 and the conductive elastic plate 3 is applied, between the second electrode 52 and the conductive elastic plate 3 resulting Coulomb force, an electrostatic attraction force acts between the first electrode 51 and the conductive elastic plate 3. この際、導電性弾性板3の剛性は、所定の厚さの部材である第2電極52の剛性に比べて極めて低いから、導電性弾性板3は変形して透明板2と一緒に図中上方へ吸引され、透明液体6に負圧力を及ぼす。 In this case, the rigidity of the conductive elastic plate 3, in the figure from very low compared to the rigidity of the second electrode 52 is a member having a predetermined thickness, the conductive elastic plate 3 together with the transparent plate 2 is deformed is sucked upward, it exerts a negative pressure in the transparent liquid 6. その結果、透明液体6の圧力が低下して、透明弾性板1は大気圧に押されて図中下方から凹状にへこみ、透明弾性板1と透明板2と両者の間に介在する透明液体6とから形成されるレンズは凹レンズとなる。 As a result, the pressure drop of the transparent liquid 6, a transparent elastic plate 1 is pushed by the atmospheric pressure dents concavely from below in the figure, a transparent liquid interposed between the transparent elastic plate 1 and the transparent plate 2 and both 6 lens formed from a becomes concave. この凹レンズのパワーは、透明弾性板1の変形の度合いで異なるので、可変直流電圧源72の印加電圧を調整することにより、調整可能である。 Power of the concave lens is different in the degree of deformation of the transparent elastic plate 1, by adjusting the applied voltage of the variable DC voltage source 72 is adjustable.

【0035】ここで、導電性弾性板3と第1電極51および第2電極52とは静電アクチュエータを構成しており、前述の凸レンズおよび凹レンズのパワーは、同静電アクチュエータに印加する電圧の大小によって決まる。 [0035] Here, the conductive elastic plate 3 and the first electrode 51 and the second electrode 52 constitute an electrostatic actuator, the power of the aforementioned lens and a concave lens, the voltage applied to the electrostatic actuator determined by the large and small.
すなわち、本実施例の可変焦点レンズでは、可変焦点レンズ本体に静電アクチュエータが組み込まれている構成を取っており、ピエゾアクチュエータ等の別途付設されたアクチュエータを必要としない。 That is, in the variable focus lens of this embodiment, has taken a structure that incorporates the electrostatic actuator to the variable focus lens body, does not require an actuator which is separately attached such as a piezoelectric actuator. それゆえ、可変焦点レンズの小型化が可能であるばかりではなく、構成の簡素化による可変焦点レンズの価格の低廉化が可能である。 Therefore, not only it is possible to miniaturize the variable focus lens, it is possible to cost reduction in the price of the variable focus lens according to simplification of the configuration.

【0036】したがって、本実施例の可変焦点レンズによれば、可変焦点レンズ本体の体格が小型化されているとともに、価格が低廉化されているという効果がある。 [0036] Thus, according to the variable focus lens of this embodiment, along with size of the variable focus lens body is downsized, there is an effect that the price is cost reduction.
また、本実施例の可変焦点レンズに組み込まれている静電アクチュエータは、ピエゾアクチュエータと異なり、 Further, an electrostatic actuator embedded in the variable focus lens of this embodiment, unlike the piezoelectric actuator,
ヒステリシスやクリーピング等の不都合な現象が生じないので、印加電圧とレンズのパワーとは一意に対応するという効果もある。 Since adverse phenomena such as hysteresis and creeping does not occur, the power of the applied voltage and the lens there is also an effect that corresponds uniquely. 同様に、ピエゾアクチュエータを使用せず、本体と一体型の静電アクチュエータを使用しているので、小型化に伴う制約が少なく、小型化が従来技術よりもずっと容易であるという効果がある。 Similarly, without the use of piezoelectric actuators, the use of the electrostatic actuator body integral, less limitations associated with miniaturization, there is an effect that downsizing is much easier than the prior art.

【0037】なお、第1電極51と導電性弾性板3とが接触して短絡する恐れがある場合には、第1電極51の表面に絶縁塗料を塗っておくなどの対策が有効である。 [0037] In the case where the first electrode 51 and the conductive elastic plate 3 there is a possibility that a short circuit in contact, measures such as greased an insulating coating on the surface of the first electrode 51 is effective.
同様に、第2電極52と導電性弾性板3とが接触ないし近接して短絡する恐れがある場合には、第2電極52の表面に絶縁塗料を塗っておくなどの対策が有効である。 Similarly, when the second electrode 52 and the conductive elastic plate 3 there is a possibility that a short circuit in contact with or close to, the measures such as greased an insulating coating on the surface of the second electrode 52 is effective.
また、透明板2および導電性弾性板3と第2電極52との間の空間にシリコーン油等の絶縁性が高い透明液体を充填しておくと、第2電極52と導電性弾性板3とが近接しても、アーク等が飛んで短絡する恐れがなくなるので、好都合である。 Further, when the keep space filled with a transparent liquid high insulating property such as silicone oil to between the transparent plate 2 and the conductive elastic plate 3 and the second electrode 52, and the second electrode 52 and the conductive elastic plate 3 There is also in close proximity, since a possibility that a short circuit is eliminated flying arc like, is advantageous.

【0038】(実施例1の変形態様1)本実施例の変形態様1として、図5(a)に示すように、第1電極51 [0038] As a variant 1 of the present embodiment (variation 1 of the first embodiment), as shown in FIG. 5 (a), first electrode 51
が表面に形成されている第1スペーサ41の上面と、第2電極52の導電性弾性板3に対向する下面とが、半頂角の大きい円錐面で形成されている可変焦点レンズの実施が可能である。 There the upper surface of the first spacer 41 which is formed on the surface, a bottom surface opposed to the conductive elastic plate 3 of the second electrode 52, the implementation of variable focus lens are formed in a large conical surface of the semi-vertex angle possible it is. ただし、第1スペーサ41および第2 However, the first spacer 41 and the second
電極52の導電性弾性板3に対向する面のうち、第2スペーサ42や第3スペーサ43と接合する外縁部は、平面を保って第2スペーサ42や第3スペーサ43と接合されている。 Of the surface facing the conductive elastic plate 3 of the electrode 52, the outer edge portion to be bonded to the second spacer 42 and the third spacer 43 is joined to the second spacer 42 and the third spacer 43 keeping the plane.

【0039】本変形態様では、第2スペーサ42および第3スペーサ43には、実施例1のものよりも薄いものが使用されているので、第1電極51および第2電極5 [0039] In this modified embodiment, the second spacer 42 and the third spacer 43, because thinner than that of Example 1 is used, the first electrode 51 and the second electrode 5
2と導電性弾性板3とは、特に外周部の方で、実施例1 The 2 and the conductive elastic plate 3, in particular towards the outer peripheral portion, Example 1
よりも接近している。 It is closer than. それでいながら、実施例1と同程度に導電性弾性板3が変形して透明板2が変位するまで、第1電極51および第2電極52と導電性弾性板3 Without leaving in it, Example 1 until transparent plate 2 conductive elastic plate 3 to the same extent is deformed is displaced, the first electrode 51 and the second electrode 52 and the conductive elastic plate 3
とは、互いに所定間隔以下に近接することがない。 And it is not to be mutually adjacent to or less than a predetermined distance.

【0040】したがって、本変形態様の可変焦点レンズによれば、図5(b)に示すように、可変直流電圧源7 [0040] Thus, according to the variable focus lens of this variant, as shown in FIG. 5 (b), the variable DC voltage source 7
1,72の印加電圧が実施例1よりも小さくても、実施例1と同様のレンズパワーの調整作用が得られるという効果がある。 Also applied voltage 1,72 is smaller than in Example 1, there is an effect that modulating effects similar lens power as in Example 1 is obtained. なお、本変形態様によっても、実施例1と同様の小型軽量化および低廉化の効果が得られることは言うまでもない。 Incidentally, also in this modified embodiment, the effect similar size and weight and cost reduction as in Example 1 to obtain course.

【0041】(実施例1の変形態様2)本実施例の変形態様2として、前述の本実施例またはその変形態様1において、第3スペーサ43と第2電極52と第2可変直流電圧源72とが省略されている可変焦点レンズ(図略)の実施が可能である。 [0041] As a variant 2 of the present embodiment (variation 2 of Example 1), in the present embodiment or a variant 1 of the foregoing, the third spacer 43 and the second electrode 52 and the second variable DC voltage source 72 bets are possible embodiment of a variable focus lens is omitted (not shown). 本変形態様では、第1電極5 In this modified embodiment, the first electrode 5
1と導電性弾性板3との間に実施例1と同様の電位差で電圧が印加されれば、実施例1と同程度のパワーの凸レンズを形成する作用がある。 If in Example 1 and the voltage applied by the same potential difference between the 1 and the conductive elastic plate 3 has an effect of forming a convex lens comparable power as in Example 1. 逆に、第1電極51および導電性弾性板3に同符号の高電圧が電位差なしに印加されれば、第1電極51と導電性弾性板3との間には静電的な反発力が生じ、導電性弾性板3は透明板2と一緒に第1電極51から遠ざかる。 Conversely, if the high voltage of the same sign to the first electrode 51 and the conductive elastic plate 3 is applied without potential, electrostatic repulsive force is generated between the first electrode 51 and the conductive elastic plate 3 occurs, the conductive elastic plate 3 is away from the first electrode 51 together with the transparent plate 2. その結果、透明弾性板1と透明板2と透明液体6とにより、凹レンズが形成される。 The result, a transparent elastic plate 1 and the transparent plate 2 and the transparent liquid 6, a concave lens is formed.

【0042】したがって、本変形態様の可変焦点レンズによっても、実施例1と同様の小型軽量化および低廉化の効果が得られるうえ、実施例1に準ずるレンズパワーの調整作用が得られる。 [0042] Thus, by the variable focus lens of this variant, upon the resulting effect of the same size and weight and cost reduction as in Example 1, the adjustment action of the lens power equivalent to the first embodiment can be obtained. (実施例1の変形態様2)本実施例の変形態様2として、前述の本実施例、その変形態様1または2において、第1電極51がない替わりに、第1スペーサ41が導電性であって第1電極の役割を兼ねる可変焦点レンズ(図略)の実施が可能である。 As variant 2 of the present embodiment (variation 2 of Example 1), the embodiment described above, in the modified embodiment 1 or 2, if not the first electrode 51 instead, the first spacer 41 is a a conductive variable focus lens also serves as a role of first electrode Te are possible embodiment (not shown).

【0043】本変形態様の可変焦点レンズでは、実施例1のように第1スペーサの表面に第1電極を形成する必要性がないので、コストダウンが可能になる。 [0043] In the variable focus lens of this modified embodiment, since there is no need to form a first electrode on the surface of the first spacer as in Example 1, it is possible to reduce costs. すなわち、本変形態様の可変焦点レンズによれば、前述の本実施例、その変形態様1または2と同様の効果が得られるばかりではなく、さらなるコストダウンが可能であるという効果がある。 That is, according to the variable focus lens of this variation, the embodiments described above, not only the same effect as the variant 1 or 2 can be obtained, there is an effect that a cost can be further reduced.

【0044】[実施例2] (実施例2の構成)本発明の実施例2としての可変焦点レンズは、図6に要部の構成を示すように、導電性弾性板3'、第1電極51'および第2電極52'が、互いに対応する位置で周方向に等間隔に三分割されている。 [0044] [Example 2] variable focus lens as a second embodiment of a (Configuration Example 2) The present invention, as shown the arrangement of a main portion in FIG. 6, the conductive elastic plate 3 ', the first electrode 51 'and the second electrode 52' has been divided into three parts at equal intervals in the circumferential direction at positions corresponding to each other.
すなわち、第1電極51'は、三分割された第1電極5 That is, 'the first electrode 51, first electrode 5 trisected
1a〜51cから構成されており、同様に第2電極5 It is composed of 1A~51c, second electrode as well 5
2'も、三分割された第2電極52a〜52cから構成されている。 2 'is also composed of a second electrode 52a~52c which is divided into three parts. さらに特徴的であるのは、三分割されている導電性弾性板3'の構成である。 More of a characteristic is the construction of a three-divided by conductive elastic plate 3 '.

【0045】すなわち、導電性弾性板3'は、中間貫通孔を有する絶縁性の変形可能な薄板である絶縁性弾性板30と、絶縁性弾性板30の一方の表面に形成された導電性の膜であって周方向に三分割されている分割導電膜3a〜3cとから構成されている。 [0045] That is, the conductive elastic plate 3 'has an insulating elastic plate 30 is deformable sheet of insulating having an intermediate through-hole, an insulating elastic plate one surface of the formed conductive of 30 It is composed of a divided conductive film 3a~3c being tripartite a film in the circumferential direction. それゆえ、導電性弾性板3の三分割されている分割導電膜3a〜3cは、それぞれ第1電極51a〜51cと第2電極52a〜52 Therefore, the three divided by that split conductive film 3a~3c of the conductive elastic plate 3, first electrode 51a~51c respectively second electrode 52a~52
cとに対し、静電気力により吸引力を受けることができる。 To the c, you can receive a suction force by electrostatic force. 各吸引力は、図6に示すように接続されている可変直流電圧源71a〜71c,72a〜72cにより、所定の範囲で任意に調整ができるようになっている。 Each suction force, a variable DC voltage source 71a~71c which are connected as shown in FIG. 6, by 72 a to 72 c, so that the can arbitrarily adjusted in a predetermined range.

【0046】(実施例2の作用効果)本実施例の可変焦点レンズでは、可変直流電圧源71a〜71c,72a [0046] In the variable focus lens of the present example (Operation and Effect of Embodiment 2), the variable DC voltage source 71 a to 71 c, 72a
〜72cとの印加電圧が周方向に等しくかけられれば、 As long the voltage applied between ~72c is applied equally in the circumferential direction,
前述の実施例1と同様にパワーの調整が可能な凸レンズ作用と凹レンズ作用とを発揮しうる。 Adjustment of power as in the above first embodiment can exert a convex lens action and a concave lens action and possible. そればかりではなく、本実施例の可変焦点レンズでは、分割導電膜3a〜 Not only that, the variable focus lens of this embodiment, the divided conductive film 3a~
3cと第1電極51a〜51cと第2電極52a〜52 3c the first electrode 51a~51c and the second electrode 52a~52
cとが周方向に三分割されているので、次に説明する偏向作用を発揮して光軸を屈折させることができる。 Since the c are three circumferentially divided, it is possible to refract optical axis exert deflection action described below.

【0047】先ず、図7に示すように、導電性弾性板3'の分割導電膜3aと第2電極52aとに所定の電位差を与え、分割導電膜3bと第1電極51bとに同程度の電位差を与える場合を想定する。 [0047] First, as shown in FIG. 7, giving a predetermined potential difference to the divided conductive film 3a of the conductive elastic plate 3 'and the second electrode 52a, the divided conductive film 3b and the same degree to the first electrode 51b it is assumed that a potential difference. この場合には、図中左方の分割導電膜3aは第2電極52aに吸引されて持ち上がり、逆に図中右方の分割導電膜3bは第1電極5 In this case, the divided conductive film 3a in the drawing the left lifts are attracted to the second electrode 52a, the divided conductive film 3b in the figure right contrary to the first electrode 5
1に吸引されて引き下げられる。 Is sucked into 1 is pulled down. その結果、各分割導電膜3a〜3cをもつ導電性弾性板3'の内縁部に接合されている透明板2は図中時計方向に傾き、透明板2と透明弾性板1と透明液体6とから形成されているレンズは、パワーをもたず単に入射光を屈折させるだけの作用をもつ。 As a result, the transparent plate 2 are joined to the inner edge of the divided conductive film 3a~3c conductive elastic plate 3 having a 'is inclined in the clockwise direction in the drawing, a transparent plate 2 and the transparent elastic plate 1 and the transparent liquid 6 lens which is formed from has the effect of simply to refract incident light without power.

【0048】次に、図8に示すように、導電性弾性板3'の分割導電膜3bと第1電極51bとにだけ所定の電位差を与える場合には、図中右方の分割導電膜3bは第1電極51bに吸引されて引き下げられる。 Next, as shown in FIG. 8, when only provide a predetermined potential difference to the divided conductive film 3b of the conductive elastic plate 3 'and the first electrode 51b is divided conductive film 3b in the figure right It is pulled down is attracted to the first electrode 51b. その結果、各分割導電膜3a〜3cをもつ導電性弾性板3'の内縁部に接合されている透明板2は、図中時計方向に傾くとともに図中下方へ吸引され、透明液体6の圧力を高める。 As a result, the transparent plate 2 are joined to the inner edge of the divided conductive conductive elastic plate 3 having a film 3 a to 3 c 'is sucked downward in the figure with inclined in the clockwise direction, the pressure of the transparent liquid 6 increased. その結果、透明板2と透明弾性板1と透明液体6 As a result, a transparent and transparent plate 2 and the transparent elastic plate 1 liquid 6
とから形成されているレンズは、凸レンズとしてパワーをもつとともに、入射光を屈折させる作用をももつ。 Lens which is formed from, as well as with power as a convex lens, also has the effect for refracting the incident light.

【0049】次に、図9に示すように、導電性弾性板3'の分割導電膜3aと第2電極52aとにだけ所定の電位差を与える場合には、図中左方の分割導電膜3aは第2電極52aに吸引されて引き下げられる。 Next, as shown in FIG. 9, when only provide a predetermined potential difference to the divided conductive film 3a of the conductive elastic plate 3 'and the second electrode 52a is divided conductive film 3a in FIG left It is pulled down is attracted to the second electrode 52a. その結果、各分割導電膜3a〜3cをもつ導電性弾性板3'の内縁部に接合されている透明板2は、図中時計方向に傾くとともに図中上方へ吸引され、透明液体6の圧力を低める。 As a result, the transparent plate 2 are joined to the inner edge of the divided conductive conductive elastic plate 3 having a film 3 a to 3 c 'is sucked into upward in the drawing with tilts in the clockwise direction, the pressure of the transparent liquid 6 the lower. その結果、透明板2と透明弾性板1と透明液体6 As a result, a transparent and transparent plate 2 and the transparent elastic plate 1 liquid 6
とから形成されているレンズは、凹レンズとしてパワーをもつとともに、入射光を屈折させる作用をももつ。 Lens which is formed from, as well as with power as a concave lens, having also the function of refracting the incident light.

【0050】以上のように、本実施例の可変焦点レンズは、実施例1と同様の作用効果をもつばかりではなく、 [0050] As described above, the variable focus lens of this embodiment, not only has the same effects as in Example 1,
任意の方向へ所定の範囲で光軸を偏向させる作用を発揮することができるという効果がある。 There is an effect that can be exhibited an effect of deflecting the optical axis in a predetermined range in any direction. [実施例3] (実施例3の構成)本発明の実施例3としての可変焦点レンズにおいては、図10に一部の構成を示すように、 In the variable focus lens as Example 3 Example 3 of the present invention (structure of Example 3), to indicate the part of the configuration in FIG. 10,
透明弾性板1'の中央部に、回転対称形に適正な厚さの分布が形成されている。 The central portion of the transparent elastic plate 1 ', the distribution of proper thickness to the rotation symmetrical shape is formed. すなわち透明弾性板1'は、光学レンズとしての特性に優れた直径6mmの有効部を中央部に有している。 That transparent elastic plate 1 'has an effective part of the superior 6mm diameter to the characteristics of an optical lens in a central portion.

【0051】また、本実施例の導電性弾性板は、図1 [0051] The conductive elastic plate of this example, FIG. 1
(a)に示すように、実施例1の導電性弾性板3に替わって、第2透明弾性板2'と、第2透明弾性板2'の一方の表面に形成された導電性の膜である導電膜3”とから構成されている。第2透明弾性板2'も、光学的に透明であり弾性をもって変形可能な透明弾性板であって、 (A), the instead of the conductive elastic plate 3 of Example 1, 'and, second transparent elastic plate 2' second transparent elastic plate 2 at one surface to the formed conductive film of is constructed from a certain conductive film 3 ". the second transparent elastic plate 2 'is also a deformable transparent elastic plate with is elastic optically clear,
前述の透明弾性板1'と同様に、光学レンズとしての特性に優れた直径6mmの有効部を有している。 Similar to the above-mentioned transparent elastic plate 1 ', and has an effective part of the superior diameter 6mm properties as an optical lens. すなわち、第2透明弾性板2'は、第2スペーサ42上面に接合されている絶縁性の透明弾性板であり、透明弾性板2'の表面にリング状に形成された導電性の電極膜3” That is, the second transparent elastic plate 2 ', a second spacer 42 is an insulating transparent elastic plate which is joined to the upper surface, the transparent elastic plate 2' conductive electrode film 3 formed in a ring shape on the surface of "
と一体に形成されている。 It is formed integrally with.

【0052】本実施例のその他の部分(第1スペーサ4 [0052] Other portions of this embodiment (first spacers 4
1、第1電極51、第2スペーサ42、第3スペーサ4 1, the first electrode 51, second spacer 42, the third spacer 4
3および第2電極52)は、実施例1と同様であるので説明を省略する。 3 and the second electrode 52) is omitted because it is similar to that of Example 1. また、電極膜3”、第1電極51および第2電極52が実施例2と異なって周方向に分割されていないので、可変直流電圧源71,72を含む電圧制御装置7とその接続も、実施例1と同様である。 The electrode film 3 ", since the first electrode 51 and the second electrode 52 is not divided differently in the circumferential direction in Example 2, a voltage control unit 7 which includes a variable DC voltage source 71, 72 is also the connection, is the same as the first embodiment.

【0053】(実施例3の作用効果)本実施例の可変焦点レンズでは、図11(b)に示すように、第1電極5 [0053] In the variable focus lens of the present example (Operation and Effect of Embodiment 3), as shown in FIG. 11 (b), the first electrode 5
1と電極膜3”とに所定の電位差が印加されている状態では、第1電極51と電極膜3”との間に静電気による吸引力が生じる。 "In the state in which a predetermined potential difference between is applied, a first electrode 51 electrode film 3" 1 and the electrode film 3 attraction due to static electricity between the results. すなわち、第2透明板2'の電極膜3”が形成されている部分は、図中下方へ吸引され、透明液体6に圧縮力を及ぼす。その結果、透明液体6の圧力が上昇して、透明弾性板1'は図中下方へ凸に突出するとともに、第2透明弾性板2'の中央部も図中上方へ凸に突出する。すると、透明弾性板1'と第2透明弾性板2'と両者の間に介在する透明液体6とから形成されるレンズは、パワーの強い凸レンズとなる。この凸レンズのパワーは、透明弾性板1'および第2透明弾性板2'の変形の度合いで異なるので、可変直流電圧源71 That is, the electrode portions film 3 'is formed of the second transparent plate 2' is sucked downward in the figure, exerts a compressive force on the transparent liquid 6. As a result, the pressure of the transparent liquid 6 is increased, transparent elastic plate 1 'with protruding convex downward in the drawing, the second transparent elastic plate 2' protruding central portion protruding even to upward in the drawing of. Then, the transparent elastic plate 1 'second transparent elastic plate 2 'a lens formed from a transparent liquid 6 interposed therebetween becomes a strong convex lens of power. the lens power is a transparent elastic plate 1' at a degree of deformation of and the second transparent elastic plate 2 ' different since, variable DC voltage source 71
の印加電圧を調整することにより、調整可能である。 By adjusting the applied voltage, it is adjustable.

【0054】逆に、第2電極52と電極膜3”とに所定の電位差が印加されている状態(図略)では、第2電極52と電極膜3”との間に静電的な吸引力が作用する。 [0054] Conversely, the electrostatic attraction between the second electrode 52 and the electrode film 3 "state in which a predetermined potential is applied to the In (not shown), the second electrode 52 and the electrode film 3 ' force is applied.
すると、第2透明弾性板2'の電極膜3”が形成されている部分は、図中上方へ吸引され、透明液体6に負圧力を及ぼす。その結果、透明液体6の圧力が低下して、透明弾性板1'は大気圧に押されて図中下方から凹状にへこみ、同様に第2透明弾性板2'も大気圧に押されて図中上方から凹状にへこむ。すなわち、透明弾性板1'と第2透明弾性板2'と両者の間に介在する透明液体6とから形成されるレンズは、パワーの強い凹レンズとなる。この凹レンズのパワーは、透明弾性板1'および第2透明弾性板2'の変形の度合いで異なるので、可変直流電圧源72の印加電圧を調整することにより、調整可能である。 Then, the portion where the electrode film 3 'of the second transparent elastic plate 2' is formed is sucked upwardly in the drawing, it exerts a negative pressure on the transparent liquid 6. As a result, the pressure of the transparent liquid 6 is lowered , transparent elastic plate 1 'is pressed by the atmospheric pressure dents concavely from below in the figure, similarly the second transparent elastic plate 2' is also pressed by the atmospheric pressure dented concavely from above in the drawing. namely, the transparent elastic plate 1 'and the second transparent elastic plate 2' lens formed of a transparent liquid 6 interposed therebetween and has a strong concave of power. power of the concave lens, a transparent elastic plate 1 'and the second transparent since different degrees of deformation of the elastic plate 2 ', by adjusting the applied voltage of the variable DC voltage source 72 is adjustable.

【0055】以上の凸レンズ作用および凹レンズ作用においては、透明弾性板1'ばかりではなく第2透明弾性板2'も曲面を形成して光線の屈折に寄与するので、実施例1のそれよりもレンズのパワーが強くなる。 [0055] In the above convex lens action and a concave lens action, since the transparent elastic plate 1 'only the second transparent elastic plate instead of two' also form a curved surface to contribute to refraction of light, the lens than that of Example 1 power becomes stronger. したがって、本実施例の可変焦点レンズによれば、実施例1と同様の効果が得られるばかりではなく、実施例1よりもいっそうレンズパワーの調整範囲が広いという効果がある。 Therefore, according to the variable focus lens of this embodiment, not only are obtained the same effects as in Example 1, there is an effect that a wide adjustment range of more lens power than Example 1. さらに、透明弾性板1'および第2透明弾性板2' Moreover, the transparent elastic plate 1 'and the second transparent elastic plate 2'
の中央部に光学的に優れた形状が形成されているので、 Since optically excellent shape at the center portion of is formed,
本実施例によればより大きな口径の光学的に優れた可変焦点レンズを提供することができるという効果もある。 Effect that it is possible to provide an optically superior variable focus lens of a larger diameter, according to the present embodiment also.

【0056】[実施例4] (実施例4の第1構成および作用効果)本発明の実施例4の第1構成としての可変焦点レンズにおいては、図1 [0056] In the variable focus lens as a first configuration of Example 4 Example 4 of (first configuration and effects of the fourth embodiment) the present invention, FIG. 1
2に示すように、第1スペーサ41'の第1貫通孔の周縁部の下面は、透明弾性板1と所定の間隔を空けて形成されている。 As shown in 2, the lower surface of the periphery of the first through-hole of the first spacer 41 'is formed at the transparent elastic plate 1 with a predetermined interval. そして、この周縁部の下面に形成されている第1容量検出電極81と、第1容量検出電極81と背向して透明弾性板1に形成されている第2容量検出電極82とを、本実施例の可変焦点レンズは有する。 Then, the first capacitance detection electrodes 81 are formed on the lower surface of the peripheral portion, and a second capacitance detection electrodes 82 formed in back to back with the first capacitance detection electrode 81 on the transparent elastic plate 1, the with the variable focus lens of example. その他の部分は、実施例1の可変焦点レンズの構成と同様である。 Other portions are the same as the configuration of the variable focus lens of Example 1.

【0057】ここで、第2容量検出電極82には、外付けの低電圧電源9により、一定の電圧が印加されている。 [0057] Here, in the second capacitance detection electrodes 82, the low voltage power supply 9 of the external constant voltage is applied. さらに本実施例の可変焦点レンズは、第1容量検出電極81と第2容量検出電極82との間の静電容量を検出する静電容量検出手段としての容量検出回路10を、 Further variable focus lens of this embodiment, the capacitance detection circuit 10 as an electrostatic capacitance detection means for detecting an electrostatic capacitance between the first capacitance detection electrode 81 and the second capacitance detection electrodes 82,
外付けで備えている。 It is equipped with an external. 容量検出回路10(図12参照) Capacitance detection circuit 10 (see FIG. 12)
は、オペアンプAと抵抗器Rとを回路要素として構成されており、オペアンプAの出力端において出力電圧が得られる。 It is composed of an operational amplifier A and a resistor R as circuit elements, output voltage is obtained at the output terminal of the operational amplifier A. 図12に示すように、可変焦点レンズがパワーをもたない場合の出力電圧をE1とすると、図13に示すように、可変焦点レンズが凸レンズとしてパワーをもつ場合の出力電圧はE2である。 As shown in FIG. 12, when the output voltage when the variable focus lens does not have the power and E1, as shown in FIG. 13, the output voltage when the variable focus lens has a power as a convex lens is E2.

【0058】第1容量検出電極81と第2容量検出電極82との間の静電容量が図12の場合と図13の場合とで変わっているので、出力電圧E1とE2とは異なる電位にある。 [0058] Since the electrostatic capacitance between the first capacitance detection electrode 81 and the second capacitance detection electrodes 82 is changed between the case where the 13 in FIG. 12, a different potential than the output voltage E1 and E2 is there. すなわち、同出力電圧を検出することにより、可変焦点レンズのパワーを計測することが可能である。 That is, by detecting the same output voltage, it is possible to measure the power of the variable focus lens. したがって、本実施例の可変焦点レンズでは、レンズのパワーを計測することができるという効果がある。 Therefore, the variable focus lens of this embodiment, there is an effect that it is possible to measure the power of the lens.

【0059】(実施例4の第2構成および作用効果)本実施例の第2構成としての可変焦点レンズは、図14に示すように、前述の容量検出回路10と、制御回路11 [0059] Variable focus lenses as a second structure (second structures, operations and effects of the fourth embodiment) In this embodiment, as shown in FIG. 14, a capacitance detection circuit 10 described above, the control circuit 11
と、可変焦点レンズの本体に駆動電圧を与える電圧制御装置7とからなる制御装置12を、外付けでさらに装備している。 When the control unit 12 composed of a voltage control apparatus 7 for giving a body to a driving voltage of the variable focus lens, is further equipped with an external. すなわち、本構成の可変焦点レンズは、静電容量検出手段としての容量検出回路10により計測された静電容量に基づいて、可変焦点レンズを駆動する印加電圧を調整する制御手段としての制御回路11および電圧制御装置7を外付けで備えている。 That is, the variable focus lens of this construction, on the basis of the electrostatic capacitance measured by the capacitance detection circuit 10 as an electrostatic capacitance detection unit, the control circuit 11 as a control means for adjusting the voltage applied to drive the variable focus lens and a voltage control unit 7 with an external.

【0060】本構成では、容量検出回路10で計測されたレンズパワーを制御回路11によりフィードバックして、電圧制御装置7により適正に調整された駆動電圧が可変焦点レンズに印加される。 [0060] In this configuration, the feedback by the control circuit 11 of the lens power measured by the capacitance detection circuit 10, properly adjusted driving voltage is applied to the variable focus lens by the voltage control unit 7. それゆえ、本構成の可変焦点レンズによれば、レンズのパワーを精密に制御することが可能になるという効果がある。 Therefore, according to the variable focus lens of this configuration, there is an effect that it becomes possible to precisely control the power of the lens. (実施例4の各種変形態様)前述の制御装置12を有すれば、特別に両容量検出電極81,82を設けることなく、たとえば実施例1のままの可変焦点レンズ本体の構成で、フィードバック制御回路を構成することが可能である。 If you have the aforementioned control device 12 (various variant of Example 4), in particular without providing both capacitance detecting electrodes 81 and 82, for example of the variable focus lens body remain in Example 1 configuration, feedback control it is possible to configure the circuit. すなわち、本実施例の各種変形態様として、たとえば導電性弾性板3と第1電極51との間の静電容量を検出するようにしても良いし、同様に導電性弾性板3と第2電極52との間の静電容量を検出するようにしても良い。 That is, various variations of the present embodiment, for example, to the conductive elastic plate 3 and may be detected electrostatic capacitance between the first electrode 51, similarly conductive elastic plate 3 and the second electrode capacitance between the 52 may be detected. このような制御装置12を有する構成は、実施例1の変形態様や、前述の実施例2および実施例3に対しても適用可能である。 Structure having such a control device 12, variant or embodiment 1, is also applicable to Examples 2 and 3 above.

【0061】これらの変形態様によっても、前述の実施例4と同様の作用効果が得られる。 [0061] Also by these variations are obtained the same effects as in Example 4 above.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】 実施例1としての可変焦点レンズの構成を示す斜視断面図 Perspective cross-sectional view showing the structure of a varifocal lens as Figure 1 EXAMPLE 1

【図2】 実施例1としての可変焦点レンズの構成を示す断面図 2 is a cross-sectional view showing a configuration of a variable focus lens as Example 1

【図3】 実施例1としての可変焦点レンズの凸レンズ作用を示す断面図 Sectional view showing a convex lens action of the variable focus lens as [3] Example 1

【図4】 実施例1としての可変焦点レンズの凹レンズ作用を示す断面図 Sectional view showing a concave lens action of the variable focus lens as [4] Example 1

【図5】 実施例1の変形態様1としての可変焦点レンズを示す組図 (a)変形態様1の可変焦点レンズの構成を示す断面図 (b)変形態様1の可変焦点レンズの凸レンズ作用を示す断面図 A convex lens action of the cross-sectional view (b) the variable focus lens of variant 1 shows a configuration of a variable focus lens assembly drawing showing a variable focus lens (a) variant 1 as variation 1 of Figure 5 Example 1 sectional view showing

【図6】 実施例2としての可変焦点レンズの要部構成を示す分解斜視図 Figure 6 is an exploded perspective view showing a main configuration of a variable focus lens as Example 2

【図7】 実施例2の可変焦点レンズの光軸偏向作用を示す断面図 7 is a cross-sectional view showing an optical axis deflection effect of the variable focus lens of Example 2

【図8】 実施例2の可変焦点レンズの偏向凸レンズ作用を示す断面図 8 is a cross-sectional view showing a deflection convex lens action of the variable focus lens of Example 2

【図9】 実施例2の可変焦点レンズの偏向凹レンズ作用を示す断面図 Figure 9 is a sectional view showing a deflection concave lens action of the variable focus lens of Example 2

【図10】実施例3の可変焦点レンズの透明弾性板の形状を示す断面図 Figure 10 is a cross-sectional view showing a shape of the transparent elastic plate of the variable focus lens of Example 3

【図11】実施例3の可変焦点レンズの構成および作用を示す組図 (a)電圧を印加していない状態での作用を示す断面図 (b)凸レンズ作用を示す断面図 Figure 11 is a sectional view showing a cross-sectional view (b) a convex lens action showing the action of the assembly drawing of (a) voltage in a state not applied showing the structure and operation of the variable focus lens of Example 3

【図12】実施例4としての可変焦点レンズの構成を示す断面図 Figure 12 is a cross-sectional view showing a configuration of a variable focus lens as Example 4

【図13】実施例4としての可変焦点レンズの作用を示す断面図 Figure 13 is a cross-sectional view showing the manner of operation of the variable focus lens as Example 4

【図14】実施例4の可変焦点レンズの制御装置の構成を示す模式図 Figure 14 is a schematic diagram showing a configuration of a control device for a variable focus lens according to Example 4

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1,1':透明弾性板(ホウケイ酸ガラス等の光学ガラスからなる薄板) 2:透明板(円盤状の光学ガラス板) 2':第2透明弾性板(ホウケイ酸ガラス等の光学ガラスからなる薄板) 3:導電性弾性板(ステンレス鋼からなる薄板) 3':導電性弾性板 30:絶縁性弾性板 3a〜3c:分割導電膜 3”:導電膜 41,41':第1スペーサ 42:第2スペーサ 1,1 and a second transparent elastic plate (optical glass such as borosilicate glass: ': transparent elastic plate (thin plate made of optical glass such as borosilicate glass) 2: a transparent plate (disc-shaped optical glass plates) 2' sheet) 3: conductive elastic plate (thin plate made of stainless steel) 3 ': conductive elastic plate 30: insulating elastic plate 3 a to 3 c: divided conductive film 3': conductive film 41, 41 ': first spacer 42: the second spacer
43:第3スペーサ 51,51',51a〜51c:第1電極(アルミニウムの蒸着膜) 52,52',52a〜52c:第2電極(ステンレス鋼板) 6:透明液体(シリコーン油) 7:電圧制御装置 71,72,71a〜71c,72a〜72c:可変直流電圧源 81:第1容量検出電極 82:第2容量検出電極 9:定電圧電源 10:容量検出回路 11:制御回路 12:制御装置 43: third spacers 51, 51 ', 51 a - 51 c: first electrode (evaporated film of aluminum) 52, 52', 52 a - 52 c: second electrode (stainless steel) 6: transparent liquid (silicone oil) 7: Voltage controller 71,72,71a~71c, 72a~72c: variable DC voltage source 81: first capacitance detection electrode 82: second capacitance detection electrodes 9: constant voltage power source 10: the capacitance detection circuit 11: control circuit 12: control device

Claims (8)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】光学的に透明であり弾性をもって変形可能な透明弾性板と、 この透明弾性板の表面に一方の面で接合され、光路として円形の第1貫通孔を有し所定の厚さをもった第1スペーサと、 この第1スペーサの少なくとも他方の面に形成されている第1電極と、 この第1スペーサの他方の面に接合され、この第1貫通孔と同軸でより直径が大きい第2貫通孔を有し所定の厚さをもった絶縁性の第2スペーサと、 この第2スペーサのこの第1スペーサに背向する面に接合され、光路として円形の中間貫通孔を有する導電性の変形可能な薄板である導電性弾性板と、 この導電性弾性板のこの中間貫通孔の周囲の内周縁に接合され、光学的に透明な円盤状の透明板と、 この透明弾性板、この第1スペーサ、この第1電極、この第2スペーサ And 1. A optically transparent and deformable transparent elastic with elastic plate, this is transparent joined at one surface to the surface of the elastic plate, a predetermined thickness has a first through-hole of the circular as an optical path a first spacer having a first electrode which is formed on at least the other surface of the first spacer, is bonded to the other surface of the first spacer, and more in diameter by the first through hole coaxial big and second has a through hole second spacer insulating having a predetermined thickness, is joined to the surface to be facing away from the first spacer of the second spacer has a circular intermediate through-hole as an optical path a conductive elastic plate is deformable sheet of conductive, are bonded to an inner periphery of the periphery of the intermediate through-hole of the conductive elastic plate, and an optically transparent disc-shaped transparent plate, the transparent elastic plate the first spacer, the first electrode, the second spacer この導電性弾性板およびこの透明板により液密に封止されている内部空間に充填された光学的に透明な透明液体と、を有することを特徴とする、可変焦点レンズ。 And having an a optically clear transparent liquid filled in the internal space being fluid-tightly sealed the conductive elastic plate and the transparent plate, the variable focus lens.
  2. 【請求項2】前記導電性弾性板の前記第2スペーサに背向する面に接合され、前記第1貫通孔より直径が大きい第3貫通孔を有し所定の厚さをもった絶縁性の第3スペーサと、 この第3スペーサのこの導電性弾性板と背向する面に接合され、光路として第3貫通孔を有する第2電極と、をさらに有する、請求項1記載の可変焦点レンズ。 2. A bonded on a surface facing away from said second spacers of the conductive elastic plate, wherein the predetermined first and a third through-hole is larger in diameter than the through-hole with a thickness of the insulating a third spacer, the third bonded to the surface facing away from the conductive elastic plate spacer, further comprising a variable focus lens according to claim 1, wherein the second electrode having a third through hole as an optical path, the.
  3. 【請求項3】前記導電性弾性板は、 前記中間貫通孔を有する絶縁性の変形可能な薄板である絶縁性弾性板と、 この絶縁性弾性板の表面に形成された導電性の膜であり、周方向に少なくとも二つに分割されている分割導電膜とからなる、 請求項1〜2のうちいずれかに記載の可変焦点レンズ。 Wherein the conductive elastic plate, an insulating elastic plate wherein an insulating deformable thin plate having a middle through-holes, be the insulating elastic plate conductive film formed on the surface of , consisting of a divided conductive film is divided at least into two in the circumferential direction, variable focus lens according to any one of claims 1-2.
  4. 【請求項4】前記透明板は、光学的に透明であり弾性をもって変形可能な第2の透明弾性板である、 請求項1〜3のうちいずれかに記載の可変焦点レンズ。 The method according to claim 4, wherein the transparent plate is optically transparent elastic is a second transparent elastic plate deformable with variable focus lens according to any one of claims 1 to 3.
  5. 【請求項5】前記導電性弾性板および前記第2の透明弾性板は、前記第2スペーサの前記第1スペーサに背向する面に接合されている絶縁性の透明弾性板と、この透明弾性板の表面にリング状に形成された導電性の電極膜とから、一体に形成されている、 請求項4記載の可変焦点レンズ。 Wherein said conductive elastic plate and the second transparent elastic plate, the second spacer first spacer facing away to the insulating which is joined to the surface transparent elastic plate, the transparent elastic and a surface in a ring formed conductive electrode film plate are integrally formed, variable focus lens according to claim 4, wherein.
  6. 【請求項6】前記第1スペーサは導電性であり、前記第1電極はこの第1スペーサにより兼用されている、 請求項1〜5のうちいずれかに記載の可変焦点レンズ。 Wherein said first spacer is electrically conductive, the first electrode is also used by the first spacer, the variable focus lens according to any one of claims 1 to 5.
  7. 【請求項7】前記第1スペーサの前記第1貫通孔の周縁部は、前記透明弾性板と所定の間隔を空けて形成されており、 この周縁部の前記透明弾性板と対向する表面に形成されている第1容量検出電極と、この第1容量検出電極と対向または背向してこの透明弾性板に形成されている第2 7. A peripheral edge portion of the first through hole of the first spacer is formed at a predetermined interval and the transparent elastic plate, formed on the transparent elastic plate facing the surface of the peripheral portion a first capacitance detection electrode that is, the first capacitance detection electrode and the counter or back to back to a second formed on the transparent elastic plate
    容量検出電極とを有する、 請求項1〜6のうちいずれかに記載の可変焦点レンズ。 And a capacitance detecting electrode, a variable focus lens according to any one of claims 1 to 6.
  8. 【請求項8】前記第1電極と前記導電性弾性板との間、 8. between the conductive elastic plate and the first electrode,
    この導電性弾性板と前記第2電極との間、および前記第1容量検出電極と前記第2容量検出電極との間のうちいずれかの静電容量を検出する静電容量検出手段と、 この静電容量検出手段により計測されたこの静電容量に基づいて可変焦点レンズを駆動する印加電圧を調整する制御手段とを備えている、 請求項1〜7のうちいずれかに記載の可変焦点レンズ。 And capacitance detection means for detecting either of the electrostatic capacitance of between between the between the conductive elastic plate second electrode, and the first capacitance detection electrode and the second capacitance detection electrode, the based on the capacitance measured by the capacitance detection unit and a control means for adjusting the voltage applied to drive the variable focus lens, a variable focus lens according to any of claims 1 to 7 .
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