JPH1089589A - 断熱パネル - Google Patents
断熱パネルInfo
- Publication number
- JPH1089589A JPH1089589A JP8240766A JP24076696A JPH1089589A JP H1089589 A JPH1089589 A JP H1089589A JP 8240766 A JP8240766 A JP 8240766A JP 24076696 A JP24076696 A JP 24076696A JP H1089589 A JPH1089589 A JP H1089589A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat insulating
- heat insulation
- shell
- shells
- insulating panel
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- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
- B32B37/146—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers whereby one or more of the layers is a honeycomb structure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L59/00—Thermal insulation in general
- F16L59/08—Means for preventing radiation, e.g. with metal foil
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Insulation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 水の浸潤等による断熱効果の低下や部材の腐
食の発生がなく冷凍輸送車等に好適に利用できる断熱パ
ネルを提供すること。 【解決手段】 非吸水性の素材によって形成された断熱
パネル１であって、相互に独立した密閉空間を形成した
シェル４ｃを内部に一様に分布させ、これらのシェル４
ｃの内壁に光反射層２ａ，４ｄを形成すると共にその内
部を真空とし、シェル４ｃによって対流，輻射による伝
熱を抑えて断熱効果を向上させる。また、シェル４ｃを
ハニーカム状に形成して一様に分布させることにより、
その一部が破損したりしても残りのシェル４ｃの群によ
って断熱を維持可能とする。
食の発生がなく冷凍輸送車等に好適に利用できる断熱パ
ネルを提供すること。 【解決手段】 非吸水性の素材によって形成された断熱
パネル１であって、相互に独立した密閉空間を形成した
シェル４ｃを内部に一様に分布させ、これらのシェル４
ｃの内壁に光反射層２ａ，４ｄを形成すると共にその内
部を真空とし、シェル４ｃによって対流，輻射による伝
熱を抑えて断熱効果を向上させる。また、シェル４ｃを
ハニーカム状に形成して一様に分布させることにより、
その一部が破損したりしても残りのシェル４ｃの群によ
って断熱を維持可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば建築用の
建材や冷凍輸送車等の内装及び外装用のパネルに利用で
きる断熱パネルに関する。
建材や冷凍輸送車等の内装及び外装用のパネルに利用で
きる断熱パネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】食材等の冷凍に利用される冷凍輸送車や
車輌は、その内部温度を０℃以下に設定するための冷凍
機を備えると共に冷凍空間を外部に対して断熱するため
の断熱構造を持たせたものである。そして、この断熱構
造としては、冷凍空間の全体を仕切る壁の中に断熱材を
含ませたものが一般的であり、寸法仕様がある程度限ら
れていて標準化が進んでいる冷凍輸送車の分野では、モ
ジュール化した断熱パネルが広く用いられている。
車輌は、その内部温度を０℃以下に設定するための冷凍
機を備えると共に冷凍空間を外部に対して断熱するため
の断熱構造を持たせたものである。そして、この断熱構
造としては、冷凍空間の全体を仕切る壁の中に断熱材を
含ませたものが一般的であり、寸法仕様がある程度限ら
れていて標準化が進んでいる冷凍輸送車の分野では、モ
ジュール化した断熱パネルが広く用いられている。
【０００３】この断熱パネルは、たとえば建築資材用の
断熱構造と同様に、壁の内外を形成する一対の板材の間
にガラスウールまたは発泡スチロール等を断熱材として
挟み込んだものである。板材としては木または合成樹脂
が利用されるが、ガラスウールにしろ発泡スチロールに
しろ空気層を持たせることによって断熱効果を持たせる
ことに変わりはない。
断熱構造と同様に、壁の内外を形成する一対の板材の間
にガラスウールまたは発泡スチロール等を断熱材として
挟み込んだものである。板材としては木または合成樹脂
が利用されるが、ガラスウールにしろ発泡スチロールに
しろ空気層を持たせることによって断熱効果を持たせる
ことに変わりはない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】冷凍輸送車の場合で
は、その内部の湿度を一定以上に保つため内壁が凍結状
態になることが多く、収納した冷凍製品の表面も付着し
た水分が凍結する。このため、荷積みまたは荷下ろしの
作業の間にこれらの内壁及び冷凍製品の凍結分が解凍し
てしまい、断熱パネルの表面の全体が水で浸潤してしま
う。
は、その内部の湿度を一定以上に保つため内壁が凍結状
態になることが多く、収納した冷凍製品の表面も付着し
た水分が凍結する。このため、荷積みまたは荷下ろしの
作業の間にこれらの内壁及び冷凍製品の凍結分が解凍し
てしまい、断熱パネルの表面の全体が水で浸潤してしま
う。
【０００５】このような水の浸潤を生じると、たとえば
断熱パネルの表皮や外郭材が破損しているような場合で
は、その内部の断熱材の中に浸透することになる。そし
て、この断熱材はガラスウールや発泡スチロール等によ
うに水を吸収しやすい性質を持つので、この吸収した水
の量に相当して断熱材の重量が増加すると共に膨潤によ
ってその容積も大きくなる。
断熱パネルの表皮や外郭材が破損しているような場合で
は、その内部の断熱材の中に浸透することになる。そし
て、この断熱材はガラスウールや発泡スチロール等によ
うに水を吸収しやすい性質を持つので、この吸収した水
の量に相当して断熱材の重量が増加すると共に膨潤によ
ってその容積も大きくなる。
【０００６】このように断熱材の重量が大きくなると、
大型の冷凍輸送車であれば全体の重量の増加分も大きく
なって車重の増加は無視できず、したがって走行時の燃
料消費量も多くなってしまい、輸送効率に影響を与え
る。また、膨潤による容積の増加によって断熱パネルの
表皮に対する疲労や破壊を引き起こすことになり、耐久
性の面での問題もある。
大型の冷凍輸送車であれば全体の重量の増加分も大きく
なって車重の増加は無視できず、したがって走行時の燃
料消費量も多くなってしまい、輸送効率に影響を与え
る。また、膨潤による容積の増加によって断熱パネルの
表皮に対する疲労や破壊を引き起こすことになり、耐久
性の面での問題もある。
【０００７】そして、断熱材への水分の累積吸収量が多
くなっていくと、断熱効果が低下していくだけでなく、
断熱パネル自体を交換する必要がある。この場合、ガラ
スウールや発泡スチロールから完全に水を抜き取るには
専用の処理プラント等が必要となり、再利用は実質的に
難しい。
くなっていくと、断熱効果が低下していくだけでなく、
断熱パネル自体を交換する必要がある。この場合、ガラ
スウールや発泡スチロールから完全に水を抜き取るには
専用の処理プラント等が必要となり、再利用は実質的に
難しい。
【０００８】更に、断熱パネル内の断熱材に水が浸潤し
てしまうと、断熱パネルを車体等に固定するためのボル
トやナット等に腐食を発生しやすく、車体に与える影響
も大きい。
てしまうと、断熱パネルを車体等に固定するためのボル
トやナット等に腐食を発生しやすく、車体に与える影響
も大きい。
【０００９】本発明において解決すべき課題は、水の浸
潤等による断熱効果の低下や部材の腐食の発生がなく冷
凍輸送車等に好適に利用できる断熱パネルを提供するこ
とにある。
潤等による断熱効果の低下や部材の腐食の発生がなく冷
凍輸送車等に好適に利用できる断熱パネルを提供するこ
とにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、非吸水性の素
材によって形成された断熱パネルであって、相互に独立
した密閉空間を形成したシェルを内部に一様に分布さ
せ、これらのシェルの内壁に光反射層を形成すると共に
その内部を真空としてなることを特徴とする。
材によって形成された断熱パネルであって、相互に独立
した密閉空間を形成したシェルを内部に一様に分布さ
せ、これらのシェルの内壁に光反射層を形成すると共に
その内部を真空としてなることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】非吸水性の素材としては、その成
形が簡単で多仕様にも対応できる合成樹脂を用いること
ができ、その肉厚も外力負荷に応じて適宜設定すればよ
い。
形が簡単で多仕様にも対応できる合成樹脂を用いること
ができ、その肉厚も外力負荷に応じて適宜設定すればよ
い。
【００１２】また、断熱パネルの内部に多数のシェルを
形成するためには、たとえば断熱すべき空間に対して外
装材及び内装材として組立てる一対の平板状の被覆材の
間に、多数の開口を開けたブロックを差し込んで一体化
し、この開口をシェルとして機能させることができる。
そして、シェルをハニーカム構造とすれば、蜂の巣状に
六角形の開口断面を持つ一様な大きさのシェルを全体に
均等に分布させることができ、断熱パネル全体での断熱
分布も一様化できる構造が得られる。また、ハニーカム
状のシェルでは、それぞれのシェルどうしの間の隔壁が
分布するのみで、シェル内の空間以外には隙間ができな
いので、断熱パネルの全体をシェルで満たすことがで
き、その断熱効果が高く維持される。
形成するためには、たとえば断熱すべき空間に対して外
装材及び内装材として組立てる一対の平板状の被覆材の
間に、多数の開口を開けたブロックを差し込んで一体化
し、この開口をシェルとして機能させることができる。
そして、シェルをハニーカム構造とすれば、蜂の巣状に
六角形の開口断面を持つ一様な大きさのシェルを全体に
均等に分布させることができ、断熱パネル全体での断熱
分布も一様化できる構造が得られる。また、ハニーカム
状のシェルでは、それぞれのシェルどうしの間の隔壁が
分布するのみで、シェル内の空間以外には隙間ができな
いので、断熱パネルの全体をシェルで満たすことがで
き、その断熱効果が高く維持される。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の断熱パネルの外観を示す斜視
図、図２は部材を分解して示す斜視図である。
図、図２は部材を分解して示す斜視図である。
【００１４】図において、断熱パネル１は一対の平板状
の被覆材２，３とこれらの間に挟んで一体化したハニー
カムブロック４とから構成され、これらの被覆材２，３
及びハニーカムブロック４はいずれも適度な剛性を保持
可能な肉厚とした合成樹脂を素材としたものである。ハ
ニーカムブロック４はその外周縁に一様な高さのリム４
ａを形成すると共に、このリム４ａに囲まれた部分の全
体にハニーカム状に隔壁４ｂを形成して多数のシェル４
ｃを一様に配列して設けたものである。
の被覆材２，３とこれらの間に挟んで一体化したハニー
カムブロック４とから構成され、これらの被覆材２，３
及びハニーカムブロック４はいずれも適度な剛性を保持
可能な肉厚とした合成樹脂を素材としたものである。ハ
ニーカムブロック４はその外周縁に一様な高さのリム４
ａを形成すると共に、このリム４ａに囲まれた部分の全
体にハニーカム状に隔壁４ｂを形成して多数のシェル４
ｃを一様に配列して設けたものである。
【００１５】図３は隔壁４ｂによって形成されたシェル
４ｃの詳細であって、同図の（ａ）は要部の縦断面図、
同図の（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線矢視による横断面
図である。
４ｃの詳細であって、同図の（ａ）は要部の縦断面図、
同図の（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線矢視による横断面
図である。
【００１６】隔壁４ｂはリム１ａに一体に接合された多
数の六角形状の開口を持つように形成され、これらの開
口の内部をシェル４ｃとしたものである。そして、被覆
材２，３及びハニーカムブロック４の重合方向の負荷に
耐え得るように、隔壁４ｂの肉厚を２〜１０ｍｍ程度と
したものであり、その表面の全体は光反射層として形成
した反射めっき層４ｃによって被覆されている。
数の六角形状の開口を持つように形成され、これらの開
口の内部をシェル４ｃとしたものである。そして、被覆
材２，３及びハニーカムブロック４の重合方向の負荷に
耐え得るように、隔壁４ｂの肉厚を２〜１０ｍｍ程度と
したものであり、その表面の全体は光反射層として形成
した反射めっき層４ｃによって被覆されている。
【００１７】反射めっき層４ｃは、たとえば銀めっき又
はクロムめっきによってめっき法により形成したもので
あり、たとえばガラスの表面に銀の薄い層を形成するこ
とで得られる反射鏡と同様の機能を持つ。
はクロムめっきによってめっき法により形成したもので
あり、たとえばガラスの表面に銀の薄い層を形成するこ
とで得られる反射鏡と同様の機能を持つ。
【００１８】また、ハニーカムブロック４に反射めっき
層４ｄを形成するのに加えて、図３の（ａ）に示すよう
に被覆材２，３のそれぞれの内壁にも同様に銀またはク
ロムめっきによる反射めっき層２ａ，３ａを設ける。こ
れによって、シェル４ｃを実質的に密閉空間として形成
する全体の内壁が光反射層を持つことになる。
層４ｄを形成するのに加えて、図３の（ａ）に示すよう
に被覆材２，３のそれぞれの内壁にも同様に銀またはク
ロムめっきによる反射めっき層２ａ，３ａを設ける。こ
れによって、シェル４ｃを実質的に密閉空間として形成
する全体の内壁が光反射層を持つことになる。
【００１９】ハニーカムブロック４の両端面に被覆材
２，３を一体に接合することによって、図３の（ａ）の
ように各シェル４ｃは外部と遮断された密閉された空間
を形成る。そして、これらの被覆材２，３の一体接合の
工程において、適切な手段で全てのシェル４ｃの内部が
真空状態となるように断熱パネル１を組み立てるものと
する。このような組立ては、たとえば被覆材２，３及び
ハニーカムブロック４を真空のチャンバの中に装入し、
治具によってこれらの各被覆材２，３及びハニーカムブ
ロック４の位置合わせをした後に接着剤を利用して接合
するようにすれば、組立て後には各シェル４ｃの中を真
空状態にすることができる。
２，３を一体に接合することによって、図３の（ａ）の
ように各シェル４ｃは外部と遮断された密閉された空間
を形成る。そして、これらの被覆材２，３の一体接合の
工程において、適切な手段で全てのシェル４ｃの内部が
真空状態となるように断熱パネル１を組み立てるものと
する。このような組立ては、たとえば被覆材２，３及び
ハニーカムブロック４を真空のチャンバの中に装入し、
治具によってこれらの各被覆材２，３及びハニーカムブ
ロック４の位置合わせをした後に接着剤を利用して接合
するようにすれば、組立て後には各シェル４ｃの中を真
空状態にすることができる。
【００２０】以上の構成において、断熱パネル１はその
全体にシェル４ｃが一様に分布していてこれらのシェル
４ｃの内部は全て真空であってしかも被覆材２，３も含
めて全て反射めっき層２ａ，３ａ，４ｄが形成されてい
る。このため、各シェル４ｃの内部では熱の伝導，対流
及び輻射の程度が小さく抑えられ、被覆材２，３の間の
熱伝達をこれらのシェル４ｃが阻害する。したがって、
たとえば従来から知られている魔法瓶と同様の原理によ
って、被覆材２，３の間での断熱が高く維持されること
になる。
全体にシェル４ｃが一様に分布していてこれらのシェル
４ｃの内部は全て真空であってしかも被覆材２，３も含
めて全て反射めっき層２ａ，３ａ，４ｄが形成されてい
る。このため、各シェル４ｃの内部では熱の伝導，対流
及び輻射の程度が小さく抑えられ、被覆材２，３の間の
熱伝達をこれらのシェル４ｃが阻害する。したがって、
たとえば従来から知られている魔法瓶と同様の原理によ
って、被覆材２，３の間での断熱が高く維持されること
になる。
【００２１】このように内部が真空であってしかも反射
めっき層２ａ，３ａ，４ｄを形成したシェル４ｃを断熱
パネル１の全体に一様に分布させたことによって、被覆
材２，３の間の断熱が可能となる。このため、たとえば
被覆材２を外装板とし他方の被覆材３を内装材とするよ
うな冷凍庫または冷凍輸送車の収納構造とすれば、これ
らの収納空間を外部に対して断熱することができる。
めっき層２ａ，３ａ，４ｄを形成したシェル４ｃを断熱
パネル１の全体に一様に分布させたことによって、被覆
材２，３の間の断熱が可能となる。このため、たとえば
被覆材２を外装板とし他方の被覆材３を内装材とするよ
うな冷凍庫または冷凍輸送車の収納構造とすれば、これ
らの収納空間を外部に対して断熱することができる。
【００２２】ここで、断熱パネル１には従来のような吸
水性のガラスウールや発泡スチロールを含まないので、
断熱パネル１に水が浸潤されることがない。このため、
断熱パネル１の重量が大きくなることはないほか膨潤に
よる嵩の変形もなく、車重の増加を招いたり被覆材２，
３が破壊したりすることがなく、金属部材の腐食の発生
もない。
水性のガラスウールや発泡スチロールを含まないので、
断熱パネル１に水が浸潤されることがない。このため、
断熱パネル１の重量が大きくなることはないほか膨潤に
よる嵩の変形もなく、車重の増加を招いたり被覆材２，
３が破壊したりすることがなく、金属部材の腐食の発生
もない。
【００２３】また、断熱パネル１の一部が破壊したとし
てもその部分のシェル４ｃの機能が損なわれるだけで残
ったシェル４ｃによる断熱効果が維持され、たとえば冷
凍輸送車での輸送時に事故を起こして断熱パネル１が部
分的に破壊されても、収納した冷凍製品がすぐに解凍さ
れてしまうことが防止される。
てもその部分のシェル４ｃの機能が損なわれるだけで残
ったシェル４ｃによる断熱効果が維持され、たとえば冷
凍輸送車での輸送時に事故を起こして断熱パネル１が部
分的に破壊されても、収納した冷凍製品がすぐに解凍さ
れてしまうことが防止される。
【００２４】更に、断熱パネル１の内部は六角形のシェ
ル４ｃを形成している隔壁４ｂがリブ状に走る構造なの
で、被覆材２，３及びハニーカムブロック４の重合方向
及びこれと直交する方向の負荷に対する強度が大きくな
る。このため、全体が合成樹脂製の断熱パネル１であっ
ても補強材等を当てることなく組み立てることができる
ほか、シェル４ｃへの水の浸潤がなくその表面にだけ結
露等を生じるだけなので、耐久性が高く再利用も可能と
なる。
ル４ｃを形成している隔壁４ｂがリブ状に走る構造なの
で、被覆材２，３及びハニーカムブロック４の重合方向
及びこれと直交する方向の負荷に対する強度が大きくな
る。このため、全体が合成樹脂製の断熱パネル１であっ
ても補強材等を当てることなく組み立てることができる
ほか、シェル４ｃへの水の浸潤がなくその表面にだけ結
露等を生じるだけなので、耐久性が高く再利用も可能と
なる。
【００２５】なお、実施例ではシェル４ｃを六角形のハ
ニーカム構造としているが、これに代えて四角形や円形
の開口断面を持つ空間を均等に配列してそれぞれに光反
射層を設け更にその内部を真空にする構成としてもよ
い。
ニーカム構造としているが、これに代えて四角形や円形
の開口断面を持つ空間を均等に配列してそれぞれに光反
射層を設け更にその内部を真空にする構成としてもよ
い。
【００２６】
【発明の効果】本発明では、従来のように吸水性の素材
を一切使用しない断熱パネルとしているので、解凍時等
での水分の断熱パネルへの浸潤がなく、その重量の増加
が抑えられる。このため、多数の断熱パネルを必要とす
る大型の冷凍輸送車であっても車重の増加がなく、輸送
効率の低下を招くことがない。
を一切使用しない断熱パネルとしているので、解凍時等
での水分の断熱パネルへの浸潤がなく、その重量の増加
が抑えられる。このため、多数の断熱パネルを必要とす
る大型の冷凍輸送車であっても車重の増加がなく、輸送
効率の低下を招くことがない。
【００２７】また、シェルをハニーカム構造としたもの
では、このハニーカム構造のための隔壁の肉厚を適度に
しておけば断熱パネルの面圧方向への負荷に対する強度
も向上し、その一部が破損したりしても断熱パネル全体
の断熱性が一気に損なわれることがなく、輸送中に事故
があっても収納した製品の断熱保護が維持される。
では、このハニーカム構造のための隔壁の肉厚を適度に
しておけば断熱パネルの面圧方向への負荷に対する強度
も向上し、その一部が破損したりしても断熱パネル全体
の断熱性が一気に損なわれることがなく、輸送中に事故
があっても収納した製品の断熱保護が維持される。
【図１】 本発明の断熱パネルの概略斜視図である。
【図２】 断熱パネルを部材ごとに示す分解斜視図であ
る。
る。
【図３】 シェル部分の詳細であって、同図の（ａ）は
要部の縦断面図、同図の（ｂ）は一部を拡大して示す同
図（ａ）のＡ−Ａ線矢視による横断面図である。
要部の縦断面図、同図の（ｂ）は一部を拡大して示す同
図（ａ）のＡ−Ａ線矢視による横断面図である。
１ ：断熱パネル ２ ：被覆材 ２ａ：反射めっき層 ３ ：被覆材 ３ａ：反射めっき層 ４ ：ハニーカムブロック ４ａ：リム ４ｂ：隔壁 ４ｃ：シェル ４ｄ：反射めっき層
Claims (2)
- 【請求項１】 非吸水性の素材によって形成された断熱
パネルであって、相互に独立した密閉空間を形成したシ
ェルを内部に一様に分布させ、これらのシェルの内壁に
光反射層を形成すると共にその内部を真空としてなる断
熱パネル。 - 【請求項２】 シェルをハニーカム構造としてなる請求
項１記載の断熱パネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8240766A JPH1089589A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 断熱パネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8240766A JPH1089589A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 断熱パネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1089589A true JPH1089589A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17064400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8240766A Pending JPH1089589A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 断熱パネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1089589A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003058113A1 (en) * | 2002-01-07 | 2003-07-17 | Sis Technology Co.,Ltd | Vacuum thermal insulation system including inorganic material therein and manufacturing method thereof |
| US6828001B2 (en) | 2001-05-18 | 2004-12-07 | Jamco Corporation | Vacuum heat-insulating panel and method of manufacturing the same |
| DE102005054805A1 (de) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | Pfeifer, Henry, Dipl.-Wirtsch. Ing. | Vakuumdämmplatte aus evakuierten, voneinander wasserdampf- und gasdicht getrennten Kammern, und Verfahren zur Herstellung derselben |
| JP2016084879A (ja) * | 2014-10-27 | 2016-05-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 断熱部材及びこれを用いた熱処理装置 |
-
1996
- 1996-09-11 JP JP8240766A patent/JPH1089589A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6828001B2 (en) | 2001-05-18 | 2004-12-07 | Jamco Corporation | Vacuum heat-insulating panel and method of manufacturing the same |
| WO2003058113A1 (en) * | 2002-01-07 | 2003-07-17 | Sis Technology Co.,Ltd | Vacuum thermal insulation system including inorganic material therein and manufacturing method thereof |
| DE102005054805A1 (de) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | Pfeifer, Henry, Dipl.-Wirtsch. Ing. | Vakuumdämmplatte aus evakuierten, voneinander wasserdampf- und gasdicht getrennten Kammern, und Verfahren zur Herstellung derselben |
| JP2016084879A (ja) * | 2014-10-27 | 2016-05-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 断熱部材及びこれを用いた熱処理装置 |
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