JPH1078314A - 変位量検出装置 - Google Patents

変位量検出装置

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JPH1078314A
JPH1078314A JP8233458A JP23345896A JPH1078314A JP H1078314 A JPH1078314 A JP H1078314A JP 8233458 A JP8233458 A JP 8233458A JP 23345896 A JP23345896 A JP 23345896A JP H1078314 A JPH1078314 A JP H1078314A
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counter
displacement
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phase
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Shigeru Ishimoto
茂 石本
Toyohiko Matsuda
豊彦 松田
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    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24404Interpolation using high frequency signals

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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 変位量検出装置において、原点信号を得るこ
と。 【解決手段】 位相変調信号周期と基準信号周期の位相
差から内挿クロックのパルス数に換算した累積変位量を
求めてアップ/ダウンカウンタにプリセットするととも
に、夫々内挿クロックパルスの数に換算した位相変調信
号周期と基準信号周期との差をとって変位量を求め、こ
の変位量で与えられるパルス数と同数のクロックをアッ
プ/ダウンカウンタに供給し、変位の方向に従って、ア
ップ計数又はダウン計数し、計数結果と設定された定点
情報とを比較して一致したときの出力を定点出力とし、
更に、アップ/ダウンカウンタの出力からA/B相信号
を得て、上記定点出力とA/B相信号の論理積をとって
原点信号を得るようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は変位量検出装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、磁気変調型の変位量検出装置にお
いては、検出結果を表す2つの平行変調信号を位相変調
信号に変換して、この位相変調信号の周期を基準信号の
周期と比較することによって変位量を求めていた。
【0003】この変位量の検出精度を上げるために、内
挿処理が行われるが、この様子を、図6及び図7を参照
して簡単に説明する。図6において、入力端子T51に
位相変調信号が入力し、その位相変調信号は微分回路5
01において微分されて、その立ち下がり端でパルスを
出力して、アップ・カウンタ502のクリア端子に印加
すると共に、反転回路RV3で反転されてレジスタ50
3及びダウン・カウンタ506のプリセット指令入力に
印加される。
【0004】カウンタ502は、微分回路501からの
パルスによってクリアされた後、端子T52から供給さ
れる内挿クロックを計算し、再びクリアされるまで増分
計数する。レジスタ503は微分回路501からのパル
スを反転回路RV3で反転した信号を受けて、その時点
のカウンタ502の計数値をラッチする。
【0005】従って、この計数値は、位相変調信号周期
を内挿クロック周期で割った値となっている。換言する
と、位相変調信号周期の長さを内挿クロックのパルス数
に換算したものとなっている。
【0006】内挿数を幾つにするかは内挿数設定器50
4に設定する。この場合内挿数として、基準信号周期
(例えば、20μsec)を内挿クロック周期(例え
ば、0.1μsec)で割った値(この例では、20
0)を用いる。
【0007】符号付き減算器505は、上記レジスタ5
03から供給される信号A(位相変調信号周期÷内挿ク
ロック周期、例えば、22μsec÷0.1μsec=
220)と、上記内挿数設定器から供給される信号B
(基準信号周期÷内挿クロック周期、この例では20
0)を受信して信号Aから信号Bを減算して、変位の方
向を与える方向信号Sと変位量信号(|A−B|、この
例では220−200=20)を出力する。
【0008】この変位量信号は、変位量を内挿クロック
のパルス数として表しており、このパルス数がダウンカ
ウンタ506のプリセットデータとして用いられる。ダ
ウンカウンタ506は、プリセット指令を受ける入力端
子、プリセットデータを受ける入力端子、クロック信号
を受ける入力端子、及びボロー信号を出力する出力端子
を備えている。
【0009】ダウンカウンタ506は、上記反転回路R
V3からの信号がプリセット指令端子に印加されたと
き、上記符号付き減算器505からのパルス数として与
えられる変位量信号(|A−B|、この例では、20)
をカウンタ値としてセットし、ボロー信号出力をオンに
する。このボロー信号はゲート回路NAND3の1入力
に印加され、同NAND3の他の入力に印加されるクロ
ック信号の通過を制御する。
【0010】ここで、ダウンカウンタ506の動作につ
いて図7を参照して簡単に説明する。同図においては、
プリセットデータの値は順次4,3,3であると仮定し
ている。図6の端子T51に入力する位相変調信号が微
分回路501で微分され反転回路RV3で反転された信
号は位相変調信号の立ち下がり点を示しており、従って
この点は位相変調信号の或周期の終わりと次の周期の始
めを示しているので、ダウンカウンタ506へのプリセ
ット指令は毎周期始めを示している。
【0011】ダウンカウンタ506は、プリセット指令
を受けると、上記プリセットデータを内部にプリセット
し、ボロー信号をオンにする。この様子を図7の2段目
及び3段目に図示している。ボロー信号がオンになる
と、NAND3を開きクロック発生器507から供給さ
れる基本クロックを後段のA/B相変換器に送るととも
に、カウンタ506に送って、セットされたカウント値
(この例では、4)をカウントダウン(減計数)する。
【0012】この様子は図7の4段目及び5段目に図示
する。同図に示すとおり、プリセットデータが4の時は
ゲート回路NAND3を通過する基本クロックのパルス
数は4個であり、ダウンカウンタは4個のパルスを計数
し、カウンタの内容は4,3,2,1,0に変化する。
カウンタ506の計数値がゼロに達したときボロー信号
はオフとなって、ゲート回路NAND3を閉じて以後パ
ルス出力を停止する。そうして、次の変位量信号(プリ
セットデータ、3)がセットされると再び同様の動作が
繰り返される。
【0013】以上の動作において、変位量は変位の大き
さを内挿クロックのパルスの数で表しているが、ダウン
カウンタ506は基本クロックに同期して動作するの
で、ゲートNAND3を通過してA/B相変換器に送ら
れるクロックは基本クロックの周期を有し、かつ、変位
量に相当する内挿クロックのパルス数と同数のクロック
パルスである。
【0014】後段のA/B相変換器は、フリップフロッ
プFF1,FF2,ゲートNAND1,NAND2,オ
ア回路OR1,OR2,反転回路RV1によって構成さ
れている。オア回路OR1の一入力に前述の方向信号S
が接続されており、同オア回路の出力は直接ゲート回路
NAND1の一入力に接続されているとともに、反転回
路RV1を介してゲート回路NAND2の一入力も接続
されている。
【0015】NAND1,NAND2の他の入力には、
上述のNAND3を通過したクロックパルスが入力し、
上記方向信号Sの極性に応じて開かれているゲートを通
って対応するフリップフロップFF1又はFF2に入力
して、その状態反転を行う。
【0016】フリップフロップFF1,FF2の出力は
夫々A相信号、B相信号として端子T53,T54に出
力される。また、これらのフリップフロップの出力はオ
ア回路OR2の入力に印加され、同OR2の出力は前述
のOR1の他の入力に印加されている。
【0017】かくして、NAND3からRV2を通って
A/B相変換器に供給されるクロックパルスは、NAN
D1とNAND2を交互に通過して、フリップフロップ
FF1とFF2を交互に反転させ、出力端子T53,T
54に交互に反転されたA相信号、B相信号を出力す
る。
【0018】この様子は、図8の3〜5段目に示してあ
る。同図の左端に示す、変位量が4の場合、上記RV2
を通してA/B相変換器に供給されるクロックパルスの
数は4個であり、最初のパルスでFF1が反転してA相
信号がL(ローレベル)となり、次のパルスでFF2が
反転してB相信号がLになり、更にその次のパルスでF
F1が再び反転してA相信号がH(ハイレベル)にな
り、最後の第4番目のパルスでFF2が反転してB相信
号がHになり、以後は次の周期が到来するまで変化しな
い。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の方法は、高
分割の内挿が可能であり回路が簡単なため、長年使用さ
れてきた。
【0020】しかし、この方法には、原点とA/B相と
の位置関係を明確にする部分が無く、又、変位センサか
ら得られる周期性変位情報の1周期分内のABS値を持
たないため、電源立ち上げ時に、A/B相(2ビット・
グレイコード)信号の状態が一定にならず、「原点信号
をA/B相信号に同期させたい」といった今日の市場要
求に対して応じられなかった。
【0021】本発明は、上記の従来装置の欠点を克服す
ることを課題とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明によれば、基準信号との位相差によって変
位量が表される位相変調信号に内挿処理を施して出力す
る変位量検出装置であって、位相変調信号の周期と、変
位が無い時の位相変調信号と周期が同じ基準信号の周期
とを比較し、その差を内挿クロックのパルス数として得
るとともに、位相変調信号の周期が基準信号の周期に対
して長いか短いかを示す方向信号を得る手段と、上記パ
ルス数と同数のパルスで成るパルス列を発生する手段
と、上記パルス列と方向信号を受け、内挿数までカウン
トできるアップ/ダウンカウンタと、基準信号と位相変
調信号との位相を比較し、その位相差を内挿クロックの
パルス数として得る手段と、上記パルス数を上記アップ
/ダウンカウンタにプリセットする手段と、上記アップ
/ダウンカウンタのカウント値の連続する2ビットをグ
レイコードに変換して変位情報として出力する手段とを
備えた変位量検出装置を提供する。
【0023】また、上記アップ/ダウンカウンタのカウ
ント値を、設定した定点と比較して定点情報を得、該定
点情報と前記変位情報の論理積を作って原点情報とする
手段を備えた変位量検出装置を提供する。
【0024】更にまた、前記カウンタの全ビットを設定
値と比較して一致した信号と定点信号とのANDを定点
情報として出力する変位量検出装置も提供する。
【0025】
【発明の実施の形態】本発明の変位量検出装置の基本的
構成を図1に示す。ここでは、基準信号を50kHz、
分割数を200として構成されている。また、内挿クロ
ックは、50kHz×200=10MHzに選ばれてい
る。また、2つの信号の位相が360°ずれることは、
変位センサから得られる変位情報の1周期分(λ)の変
化に相当する。
【0026】図1のシステム構成において、微分回路1
07、アップカウンタ108、レジスタ109は基準信
号と位相変調信号の位相を比較し、その差を内挿クロッ
ク周期の乗数として得るための回路である。
【0027】微分回路107は、基準信号の立ち下がり
を検出し、アップカウンタ108のクリアCLRに入力
する。このアップカウンタ108へ供給するクロック
は、後述するアップカウンタ102へ供給するクロック
と同じ内挿クロックである。
【0028】アップカウンタ108は、基準信号の立ち
下がりでクリアされて、新たにカウントを開始し、次の
立ち下がりで再びクリアされて、新たにカウントを開始
するという動作を繰り返す。従って、アップカウンタ1
08内のカウント値は0〜199を繰り返す。
【0029】この途中で位相変調信号の立ち下がりがあ
ると、その時のカウンタ108内にある値をレジスタ1
09にラッチする。図2の(a),(b),(e)に示
すように、基準信号が立ち下がってから位相変調信号が
立ち下がるまでの期間は、位相変調信号の位相の遅れが
累積されると増加し、位相が進んでくると少なくなる値
である。従って、この値は、位相変調周期毎の変位セン
サの周期性変位情報1周期内のABS値である。
【0030】レジスタ109の内容はアップ/ダウンカ
ウンタ110に送られ、同カウンタにプリセットされ
る。この値は、位相変調信号1周期を考えた時の変位量
であり、図2の(e)に示すとおりである。
【0031】同図(e)は、基準信号と位相変調信号の
位相差を示し、矢印で示されているとおり、初めに15
の位相差があったとするとその値が次の周期において後
述するアップ/ダウンカウンタ110にプリセットされ
る。次の周期もまた15の位相差ができ、位相差が30
となったとするとアップ/ダウンカウンタ110に30
がプリセットされる。4周期目のように位相変調信号の
立ち下がりが基準信号の立ち下がりよりも先になった時
は、アップカウンタ108が基準信号の内挿数まで計数
した後、ゼロに戻って次に位相変調信号の立ち下がりが
来るまで計数する。従って、1つ前の基準信号の立ち下
がり点から数える。
【0032】また、端子T11には位相変調信号が入力
し、微分回路101は該位相変調信号の立ち下がりを微
分して、アップカウンタ102のクリア端子CLRに印
加して、立ち下がり毎にアップカウンタ102を0にセ
ットする。
【0033】それと同時に、アップカウンタ102が0
にセットされる前のカウント値をレジスタ103にラッ
チする。そのため、上記微分された位相変調信号の反転
信号がラッチクロックとして同レジスタ103に入力さ
れている。
【0034】カウンタ102は、位相変調信号の1周期
にわたり内挿クロックを計数するので、レジスタ103
には、位相変調信号の一周期の時間が内挿クロック周期
の乗数として保持される。換言すると、レジスタ103
には位相変調信号の一周期の長さを内挿クロックのパル
ス数に換算した値が保持される。
【0035】他方、設定器104には、基準信号の周期
を内挿クロック周期の乗数として設定してある。換言す
ると、基準信号の周期を内挿クロックのパルス数に換算
した値が設定されている。なお、ここでの値は内挿数の
200が設定されている。
【0036】上記、内挿クロックのパルス数に換算した
位相変調信号周期と、内挿クロックのパルス数に換算し
た基準信号周期の2つの値は、符号付き減算器105に
入力し、該減算器の出力に、それらの差の絶対値と、減
算できた方向を示す符号が出力される。この符号は、設
定器104に設定した設定値よりレジスタ103に保持
されたカウント値が大きい時、つまり、基準信号の周期
より位相変調信号の周期の方が長い場合、論理“1”と
なる。
【0037】差の絶対値は、それに対応したパルス列に
変換する為にそのデータをダウンカウンタ106にプリ
セットする。このプリセットは上記位相変調信号の立ち
下がりで行われる。
【0038】この部分はほんの一例に過ぎず、位相変調
信号の周期を基準信号の周期と比較してパルス列に変換
する方法は、既に色々な形で商品化されている。又、内
挿クロックは、分割数に合わせて切り換えられる。
【0039】ここで、図2を参照して上記回路部分の動
作を説明すると、同図の(a)は、基準信号の周期を表
し、(b)は位相変調信号の周期を表している。同図の
左からみて3周期までは基準信号に対して位相変調信号
の立ち下がり点が遅れており、右側の1周期は、基準信
号に対して、位相変調信号の立ち下がりが早くなってい
る。
【0040】同図の(c)は、基準信号周期の長さと位
相変調信号周期の長さの差を示す値であり、基準信号1
周期に対して位相変調信号がどのくらい遅れるかを示す
ものである。図示の場合は、この値が15であることを
示している。
【0041】同図(d)は、方向性を示す方向信号で、
左から3周期までは、基準信号に対して位相変調信号が
遅れているのでH(ハイレベル)、4周期目は基準信号
に対して位相変調信号の方が進んでいるのでL(ローレ
ベル)の信号となっている。
【0042】再び図1に戻ると、ダウンカウンタ106
に供給されるクロック入力は、NAND5において、こ
のカウンタのボロー出力とのNANDがとられており、
8ビットのカウンタであれば通常カウント値が00の状
態で止まっている。
【0043】しかし、ここで、上述の動作によりプリセ
ットデータがセットされると、ボローがH(ハイレベ
ル)になり、ダウンカウンタにクロックが入力され、カ
ウントを開始する。セットされたデータが15だとする
とカウント値は15,14,13,12,11‥‥‥と
カウントし最後に0になると、ボローがL(ローレベ
ル)になり、クロックが入力されなくなる。これによ
り、クロック1の周期でプリセットされた値分のパルス
列がNAND5出力より得られる。
【0044】ここで得られたパルス列の数は、位相変調
信号周期毎の内挿された変位センサの変位量に相当す
る。NAND5からのパルス列は、アップ/ダウンカウ
ンタ110に送られる。この様子は図2の(f)に示
す。
【0045】アップ/ダウンカウンタ110の入力とし
て、上記パルス列の他に、符号付き減算器105から方
向信号が入力し、微分回路101から位相変調信号の立
ち下がり点によるプリセット指令信号が入力する。
【0046】アップ/ダウンカウンタ110は、上記プ
リセット指令信号を受けると、前述のレジスタ109か
ら送られて来る前の周期の位相差をプリセットデータと
してカウンタ内にセットする。従って、電源投入時、少
なくとも、2周期目には正しい位相差がセットされる。
このアップ/ダウンカウンタは、方向信号が図2の
(d)に示すようにHの時はアップカウントし、Lの時
はダウンカウントする。
【0047】ダウンカウンタ106の出力は、図2の
(f)に示すように、変位量に応じて同カウンタにプリ
セットされた数に等しい数のパルス列である。そうし
て、アップ/ダウンカウンタ110は、同図の(g)に
示すとおり、初めに0がセットされていたとすると、ダ
ウンカウンタ106から送られてくる15個のパルスを
数えて、そのカウント値が1,2,3,4‥‥‥15に
変わる。
【0048】次の周期にダウンカウンタ106から15
個のパルスが送られてくると、前回のカウント値に加算
して、カウント値が16,17,18‥‥‥30に変わ
る。更にその次の周期においては、ダウンカウンタ10
6から送られてくるパルスの数は15個であるが方向信
号がLになっているので、カウント値は、29,28,
27‥‥‥15と変化する。
【0049】アップ/ダウンカウンタ110の出力は8
ビット並列であり、図2の(h)に示すとおりである。
このうち、上位6ビットD2〜D7はコンパレータ(比
較器)112の一方の入力に印加され、他方の入力に印
加される設定値と比較される。
【0050】設定器111に設定する値は、基準信号の
1周期内のどの位置を定点情報として設定するかを指定
する値である。例えば、図3の位置pを設定する場合
は、D2,D3,D4,D5,D6,D7の値が、1,
0,1,0,0,0であるから設定器111には10進
数の5(2進数の000101)を設定する。
【0051】設定器111に設定された値とアップ/ダ
ウンカウンタ110の出力の値が一致する期間は図3の
p,qに示すような期間である。コンパレータにおい
て、カウント値と設定値の一致が検出されると、コンパ
レータ112から出力を出し、その出力はAND1に送
られ、同AND1の他の入力に送られてくる原点ゲート
入力がオンの時、同AND1を通過して出力される。こ
の出力は、図3の(k)に示すような信号であり、これ
を原点信号として使用してもよい。
【0052】カウンタ110の出力のうちの下位2ビッ
トD0,D1は排他的論理和回路XORの2つの入力に
夫々印加され、D0とD1の一致/不一致出力を作る。
即ち、XORは入力が00又は11の時出力が0、入力
が01又は10の時出力が1である。カウンタ110の
出力D1はそのままA相信号として端子T18に出力さ
れ、XORの出力はB相信号として端子T19に出力さ
れる。
【0053】上記A相信号、B相信号、及びコンパレー
タの一致出力はAND2に入力され、これらの信号が一
致すると端子T17に出力を出す。この出力は、図3の
(l)に示すような信号で、原点位置を表している。
【0054】上記の説明において、アップ/ダウンカウ
ンタ110は内挿数までカウントできるカウンタであ
る。このカウンタは、基本的に内挿数進のカウンタであ
り、上記の例では200進のアップ/ダウンカウンタで
ある。
【0055】このカウンタは、内挿数に因って進数を変
える必要があるために、プログラマブルN進アップ/ダ
ウンカウンタで構成することが望ましい。
【0056】この要求を満たすカウンタの一例を図4に
示す。10ビットの2進カウンタを使って最大1024
まで計数できるようにすれば、最大1024進のカウン
タが可能であるから、400進のカウンタとして動作さ
せるには補正値として最大カウントできる進数1024
から必要とする進数400を減じた値624をセットす
ればよい。
【0057】図4に示すとおり、アップ/ダウンカウン
タ402の入力には加算器401の出力が供給され、こ
の加算器401は、後述するカウンタ404の出力に補
正値を加算できるようにするためのものである。
【0058】アップ/ダウンカウンタ402の出力は減
算器403に送られ、そこで、該減算器の他の入力に印
加された補正値が減算できるようになっている。減算器
403の出力はカウンタ404に送られてそのカウント
値を出力として取り出すとともに、加算器401に帰還
する。
【0059】アップ/ダウンカウンタ402にはアップ
/ダウン指令信号が印加され、同じ信号がAND1の各
一方の入力に印加される。また、AND2の各一方の入
力にはアップ/ダウンカウンタ402のキャリーボロー
出力信号が印加されている。
【0060】なお、カウンタ404には、プリセット・
イネーブル信号とプリセットデータ、及びクロックが供
給されるようになっている。
【0061】次に、図5を参照して、このカウンタの動
作を説明する。ここでは、400進のアップ/ダウンカ
ウンタを考え、補正値は624に選定するものとする。
今、図5の(c)に示すようにカウンタ404の出力が
397であるとし、(a)に示すようにアップ/ダウン
指令信号がH(ハイレベル)であるとすると、加算器4
01の入力AにはAND1を通過して送られて来た補正
値が入力しているので、加算器401は、(d)に示す
ように補正値が加算された値1021を出力する。
【0062】カウンタ402は1だけインクリメントし
て1022となる。図5の(f)に示すように、カウン
タ402はキャリーボロー信号がHであるから、AND
2を介して減算器403に補正値が入力され、先ほど加
算器401で加算したのと同じ値が減算され398を出
力する。
【0063】カウンタ404の出力は398となり、こ
の値が加算器401の一方の入力Bに印加される。その
後、同様な動作が繰り返され、カウンタ402のカウン
ト値が1023の次に0に戻るとき、カウンタ404の
カウント値が399から0になるので、次の加算器40
1の出力は624となり、カウンタ402のカウント値
は、その後、625,626‥‥‥と変わり、カウンタ
404のカウント値は1,2,‥‥‥と変わる。
【0064】アップ/ダウン指令信号がL(ローレベ
ル)に変わると、加算器401の入力Aに補正値が入力
しなくなり、加算器401の出力にはカウンタ404の
出力と同じ値が現れ、これがカウンタ402に入力す
る。同カウンタ402は入力値から1だけデクレメント
した値を出力し、減算器403は補正値の減算を行わな
いので、カウンタ404にはカウンタ402と同じカウ
ント値が入力する。
【0065】カウンタ402は、カウント値が0から1
だけデクレメントすると1023に変わるので、この
時、キャリーボローが出力されて、減算器403におい
て、1023から624が減算されて399がカウンタ
404に入力し、以後アップ/ダウン指令信号がLの間
は補正値の加算、減算は行われず、従って、カウンタ4
02と404は同じカウント値で398,397,39
6‥‥‥と変化する。
【0066】以上のとおり、nビットの2進カウンタを
使って、その最大数M=(2のn乗)からN進カウンタ
とするための数Nを減算した値(M−N)を補正値とし
て用いることにより、Nを決定するだけで任意の進数の
カウンタを得ることができる。
【0067】上記の説明から明らかなとおり、アップ/
ダウンカウンタ110のカウント値は、位相変調信号の
周期毎に変位量をカウントアップ又はカウントダウンさ
せ、次の周期の時に、前回の周期で得られている一周期
(λ)内のABSがプリセットできる。
【0068】これにより、変位センサが停止していて
も、又、更に電源立ち上げ時においても、λ内ABSが
常に得られることになる。
【0069】このカウンタの出力は、バイナリー形式で
あり連続する2ビットはインクリメンタルの変位情報と
して扱われ、残りの上位ビット、又は、全ビットを設定
値2と比較し、一周期(λ)内の定点(原点)情報とし
て扱うことができる。
【0070】特に連続する2ビットの上位1ビットと2
ビットとの排他的論理和をとることで、2ビットグレイ
コード(A/B相)変換ができ、残りの上位ビットを比
較することによってA/B相に同期した原点が得られ
る。
【0071】これにより、このA/B相と原点の位置関
係は、λ内において唯一絶対の位置関係にあるため、A
相とB相の位相に対して原点位置がずれず、高精度が期
待できる。
【0072】
【発明の効果】
(i)定点(原点)位置が定点精度に関係無く、スケー
ルλ内の任意の1個所を原点にできるため、高精度にな
る。 (ii)電源立ち上げ時にスケールのλ内のABSとが判
り、同期原点が可能になる。 (iii) 全ての回路がロジック回路であるため、IC化が
容易で小型化に適している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に従う変位量検出装
置の要部を示すブロック図である。
【図2】図1の装置の動作を説明するためのタイムチャ
ートである。
【図3】図1の装置の動作を説明するためのタイムチャ
ートである。
【図4】N(任意の正の整数)進カウンタの構成例の回
路ブロック図である。
【図5】図4の装置の動作を説明するためのタイムチャ
ートである。
【図6】従来の位相量検出装置のシステムブロック図で
ある。
【図7】図6の装置の動作を説明するためのタイムチャ
ートである。
【図8】図6の装置の動作を説明するためのタイムチャ
ートである。
【符号の説明】
101,107 微分回路、102,108 アップカ
ウンタ、103,109 レジスタ、104,111
設定器、105 減算器、106 ダウンカウンタ、1
10 アップ/ダウンカウンタ、112 コンパレータ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基準信号との位相差によって変位量が表
    される位相変調信号に内挿処理を施して出力する変位量
    検出装置において、 位相変調信号の周期と、変位が無い時の位相変調信号と
    周期が同じ基準信号の周期とを比較し、その差を内挿ク
    ロックのパルス数として得るとともに、位相変調信号の
    周期が基準信号の周期に対して長いか短いかを示す方向
    信号を得る手段と、 上記パルス数と同数のパルスで成るパルス列を発生する
    手段と、 上記パルス列と方向信号を受け、内挿数までカウントで
    きるアップ/ダウンカウンタと、 基準信号と位相変調信号との位相を比較して、その位相
    差を内挿クロックのパルス数として得る手段と、 上記パルス数を上記アップ/ダウンカウンタにプリセッ
    トする手段と、 上記アップ/ダウンカウンタのカウント値の連続する2
    ビットをグレイコードに変換して変位情報として出力す
    る手段と、 を備えた変位量検出装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の装置に於いて、 上記アップ/ダウンカウンタのカウント値を、設定した
    定点と比較して定点情報を得、該定点情報と前記変位情
    報の論理積を作って原点情報とする手段を備えた変位量
    検出装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の装置において、前記カ
    ウンタの全ビットを設定値と比較して一致した信号と定
    点信号とのANDを定点情報として出力する変位量検出
    装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009116241A1 (ja) * 2008-03-18 2009-09-24 三菱電機株式会社 回転角度検出装置

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2927278B2 (ja) * 1997-08-06 1999-07-28 日本電気株式会社 不連続信号内挿回路
JP4239042B2 (ja) * 1998-06-19 2009-03-18 株式会社安川電機 2次元アブソリュート位置センサおよびロボット
JP4154091B2 (ja) * 1999-08-31 2008-09-24 ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 位置検出装置
US9285206B1 (en) 2012-02-07 2016-03-15 Pile Dynamics, Inc. Measurement device for pile displacement and method for use of the same

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0408799B1 (de) * 1989-07-21 1993-04-14 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Verfahren zum Interpolieren von Positionsmesssignalen
JP3029657B2 (ja) * 1990-09-28 2000-04-04 カヤバ工業株式会社 位置検出装置
JPH0552589A (ja) * 1991-08-23 1993-03-02 Mitsubishi Electric Corp 絶対値エンコーダ装置
JP2911664B2 (ja) * 1991-09-25 1999-06-23 オークマ株式会社 多変位検出装置
US5365468A (en) * 1992-02-17 1994-11-15 Yamaha Corporation Sampling frequency converter
US5309484A (en) * 1992-09-01 1994-05-03 Motorola, Inc. Method and apparatus for asynchronous timing recovery using interpolation filter
JPH06273194A (ja) * 1993-03-23 1994-09-30 Ntn Corp 測定装置の出力補間回路
JPH06284159A (ja) * 1993-03-29 1994-10-07 Toshiba Corp ディジタル復調器
JPH06350654A (ja) * 1993-06-14 1994-12-22 Toshiba Corp クロック同期制御検証装置
JP2638456B2 (ja) * 1993-11-29 1997-08-06 双葉電子工業株式会社 光学式アブソリュートスケール
JPH07333004A (ja) * 1994-06-03 1995-12-22 Sony Magnescale Inc 原点検出回路
US5515403A (en) * 1994-06-21 1996-05-07 Dsc Communications Corporation Apparatus and method for clock alignment and switching
DE4443898C2 (de) * 1994-12-09 1996-09-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßverfahren und Positionsmeßeinrichtung
EP0724137B1 (en) * 1995-01-30 2001-07-18 Sony Precision Technology Inc. Interpolation device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009116241A1 (ja) * 2008-03-18 2009-09-24 三菱電機株式会社 回転角度検出装置

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