JPH10335954A - Wide-band feedback amplifier - Google Patents

Wide-band feedback amplifier

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JPH10335954A
JPH10335954A JP15764797A JP15764797A JPH10335954A JP H10335954 A JPH10335954 A JP H10335954A JP 15764797 A JP15764797 A JP 15764797A JP 15764797 A JP15764797 A JP 15764797A JP H10335954 A JPH10335954 A JP H10335954A
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JP
Japan
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feedback
line
slot line
phase
band
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Application number
JP15764797A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoichi Ara
洋一 荒
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Publication of JPH10335954A publication Critical patent/JPH10335954A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To correct phase deviations, even in a millimeter wave band and to form a feedback configuration in a wide band by providing a phase shifter of 180 deg. wide-band, which unites micro-strip lines and a slot line. SOLUTION: A micro-strip slot line converting part is formed by combining a slot line 8 which has a slot line release plane 5 and micro-strip lines 6 and 7 and is operated as a phase shifter that has 180 deg. phase characteristic of a wide band. A signal is inputted from a signal input end 2 of a micro-strip line 2' to an amplifier, amplified by an amplification element 1 and after that, is outputted to an output terminal. Although passing phase of the element 1 is close to 180 deg. in a millimeter wave band, the feedback amount of a part of it is adjusted with a resistance 11 for feedback amount decision, the phase is further shifted by 180 deg. by the phase shifter and it is feedbacked to the end 2. Then, it is possible to perform negative fedback amplification of a wide band even in a millimeter wave band, and a distortion characteristic and the stability of an operation in the millimeter wave band are improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、帰還型増幅器に関
し、特に、ミリ波帯など、増幅素子の内部の信号の通過
位相が90〜0°近傍の値を有するような高周波帯の帰
還型増幅器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a feedback amplifier, and more particularly to a feedback amplifier in a high frequency band such as a millimeter wave band in which a signal passing through an amplification element has a value in the vicinity of 90 to 0 °. About.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ミリ波などの高周波帯では、負帰
還増幅器を構成しようとすると、例えばソース接地型増
幅器の場合、オープンループ利得が大きくとれないこと
から、満足な利得が得られず、実現されていなかった。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a high-frequency band such as a millimeter wave, when an attempt is made to construct a negative feedback amplifier, for example, in the case of a common source type amplifier, a satisfactory open loop gain cannot be obtained. Had not been realized.

【0003】しかしながら、近年、マルチメディア等情
報量の大きい通信が求められ、帯域幅が広くとれるミリ
波帯の通信が必要とされるに至っている。
However, in recent years, communication with a large amount of information such as multimedia has been demanded, and communication in the millimeter wave band, which can provide a wide bandwidth, has been required.

【0004】これに伴い、デバイス特性も改善が進み、
最大発振周波数200GHzに及ぶものや、HEMT
(High Electron Mobolity Transistor)、HBT
(Heterojunction Bipolar Transistor)などの高い
S21(散乱パラメータ)を有するデバイスが使用でき
るようになってきた。
Accordingly, device characteristics have been improved,
Ones with a maximum oscillation frequency of 200 GHz, HEMT
(High Electron Mobolity Transistor), HBT
Devices having high S21 (scattering parameter) such as (Heterojunction Bipolar Transistor) have become available.

【0005】このようなデバイスが実現されると、広帯
域な回路も要求されるようになってきた。
[0005] When such a device is realized, a broadband circuit has been required.

【0006】そして、低周波数での回路の応用として考
えられるのが負帰還増幅器である。
A negative feedback amplifier is considered as an application of a circuit at a low frequency.

【0007】しかし、図2の特性を見て分かるように、
ミリ波帯では通過位相は低周波での180°に比べ大き
くずれること、帰還回路を構成する回路は接続する線路
の電気長が長くなってしまうことなどの理由から、広帯
域な帰還増幅器は実用化されていない。なお、図2は、
HEMTのS21(散乱パラメータ)の大きさ(絶対
値)(通過利得)と位相の周波数特性の一例を示す図で
ある。
However, as can be seen from the characteristics shown in FIG.
Broadband feedback amplifiers have been put into practical use in the millimeter wave band due to the fact that the passing phase shifts greatly compared to 180 ° at low frequencies, and the circuit that constitutes the feedback circuit has a longer electrical length of the connecting line. It has not been. In addition, FIG.
It is a figure which shows the magnitude | size (absolute value) (passing gain) of S21 (scattering parameter) of HEMT, and an example of the frequency characteristic of a phase.

【0008】図3は、比較的低い周波数でデバイスの通
過位相がほぼ180度のときに構成される最も簡単な負
帰還増幅器の概念図を示したものである。増幅素子(F
ET)1のドレイン電極からゲート電極に抵抗素子11
を接続することにより負帰還ループを構成し、ドレイン
から出力される信号の一部をゲート電極に逆相で戻すこ
とにより構成している。なお、図3では、直流電力供給
手段などは省略している。
FIG. 3 shows a conceptual diagram of the simplest negative feedback amplifier constructed when the passing phase of the device is approximately 180 degrees at a relatively low frequency. Amplifying element (F
ET) The resistance element 11 is connected from the drain electrode of 1 to the gate electrode.
Are connected to form a negative feedback loop, and a part of the signal output from the drain is returned to the gate electrode in the opposite phase. Note that, in FIG. 3, a DC power supply unit and the like are omitted.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】もし、この従来の回路
形式で、ミリ波帯帰還増幅器を構成すると、正帰還がか
かり回路が発振するか不安定になってしまう。
If a millimeter-wave band feedback amplifier is formed with this conventional circuit, positive feedback is applied and the circuit oscillates or becomes unstable.

【0010】また、マイクロ波帯での帰還増幅器の別の
従来技術として、例えば特開平6−216670号公報
に提案されるような構成方法もある。上記公報に提案さ
れる構成では、2倍波の周波数で動作する方向性結合器
を帰還路に設け、2倍高調波のみを帰還させて、発生し
た高調波をキャンセルしている。
As another conventional technique of a feedback amplifier in a microwave band, there is a configuration method proposed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-216670. In the configuration proposed in the above publication, a directional coupler operating at the frequency of the second harmonic is provided in the feedback path, and only the second harmonic is fed back to cancel the generated harmonic.

【0011】図4は、上記特開平6−216670号公
報に提案される高出力増幅器の原理を説明する回路図を
示したものである。図4を参照すると、信号線路用スト
リップ線路21に、信号増幅用トランジスタ22を備え
てなる高出力増幅器において、トランジスタ22の出力
側にストリップ線路21に接続されると共に、トランジ
スタ22の入力側のストリップ線路21に方向性結合器
23を介して接続され高調波を抑止し得る長さの線路長
を有する帰還用ストリップ線路24を備えて構成されて
いる。なお、図4において、25はスタブ、26a、2
6bは帰還量変更用抵抗を、29はレベル検出回路、3
1はゲートバイアス回路、32は終端抵抗を示してい
る。
FIG. 4 is a circuit diagram for explaining the principle of the high-output amplifier proposed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-216670. Referring to FIG. 4, in a high power amplifier including a signal amplification transistor 22 in a signal line strip line 21, an output side of the transistor 22 is connected to the strip line 21 and a strip on an input side of the transistor 22. A feedback strip line 24 is connected to the line 21 via a directional coupler 23 and has a line length long enough to suppress harmonics. In FIG. 4, 25 is a stub, 26a, 2
6b is a feedback amount changing resistor; 29 is a level detection circuit;
1 denotes a gate bias circuit, and 32 denotes a terminating resistor.

【0012】しかしながら、この構成では、基本波の効
率は下がらないという利点はあるが、帰還回路に周波数
特性を有するスタブ、フィルタなどを用いるため、使用
可能周波数はそれらの特性で決まり、狭帯域になってし
まうという問題点がある。
However, this configuration has an advantage that the efficiency of the fundamental wave does not decrease. However, since a stub, a filter, or the like having frequency characteristics is used in the feedback circuit, the usable frequency is determined by those characteristics. There is a problem that it becomes.

【0013】したがって、本発明は、上記問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的は、ミリ波帯におい
て増幅素子の通過位相が180°から大きくずれ、例え
ば90〜0度程度の位相であっても、広帯域な負帰還増
幅器を構成することを可能にする増幅器を提供すること
にある。
Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a device in which a passing phase of an amplifying element greatly deviates from 180 ° in a millimeter wave band, for example, a phase of about 90 to 0 °. However, an object of the present invention is to provide an amplifier capable of forming a wideband negative feedback amplifier.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、電解効果トランジスタのソース電極を接
地、ゲート電極から信号を入力、ドレイン電極から出力
する増幅器において、前記ドレイン電極から出力信号の
一部を取り出してゲート電極へ戻す帰還回路を備えてな
る、ことを特徴とする。
According to the present invention, there is provided an amplifier for grounding a source electrode of a field effect transistor, inputting a signal from a gate electrode, and outputting a signal from a drain electrode. And a feedback circuit for extracting a part of the data and returning it to the gate electrode.

【0015】また本発明においては、好ましくは、前記
帰還回路が、二組のマイクロストリップ線路、スロット
線路変換器、及び、この変換器をスロットラインで接続
して構成されてなることを特徴とする。
In the present invention, it is preferable that the feedback circuit is constituted by two sets of microstrip lines, a slot line converter, and the converters connected by a slot line. .

【0016】さらに、本発明においては、好ましくは、
前記マイクロストリップ線路、スロット線路変換器及び
この2つの変換器を接続するスロットラインを、半導体
基板上に設けたことを特徴とする。
Further, in the present invention, preferably,
The microstrip line, the slot line converter, and the slot line connecting the two converters are provided on a semiconductor substrate.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について以下
に説明する。本発明の増幅器は、その好ましい実施の形
態において、半導体基板上に構成された、増幅素子、及
び、帰還路として多層配線により構成された、マイクロ
ストリップラインとスロットラインを組み合わせた、広
帯域180度移相器を含むものである。
Embodiments of the present invention will be described below. The amplifier of the present invention, in a preferred embodiment thereof, has an amplifying element formed on a semiconductor substrate and a microstrip line and a slot line formed by multilayer wiring as a feedback path, and has a wide band of 180 degrees. It includes a phaser.

【0018】[0018]

【実施例】本発明の実施例について図面を参照して以下
に説明する。図1は、本発明の一実施例をなす増幅器の
構成を示す図であり、図1(a)は平面図、図1(b)
は図1(a)のA−A′線断面図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an amplifier according to an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view, and FIG.
FIG. 2 is a sectional view taken along line AA ′ of FIG.

【0019】図1を参照すると、1は、ソース電極が接
地された電界効果トランジスタ(「FET」という)で
ありHEMTなどの増幅素子、2はゲート電極などFE
T1の信号入力端、2′は信号入力端2に接続されたマ
イクロストリップライン、3はドレイン電極などFET
1の信号出力端、3′は信号出力端3に接続されたマイ
クロストリップラインである。また、4は接地面、5は
スロットライン解放面、6、7はマイクロストリップ−
スロットライン変換部分を構成するマイクロストリップ
ライン、8はスロットライン、9はバイアホール、10
はスルーホール、11は帰還量決定用抵抗である。これ
らはGaAs基板など同一の半導体基板14上に形成さ
れている。なお、実際には直流給電のための線路などが
必要であるが、図では省略してある。
Referring to FIG. 1, reference numeral 1 denotes a field effect transistor (hereinafter referred to as "FET") having a source electrode grounded, and an amplifying element such as a HEMT.
T1 is a signal input terminal, 2 'is a microstrip line connected to the signal input terminal 2, and 3 is an FET such as a drain electrode.
A signal output terminal 3 'is a microstrip line connected to the signal output terminal 3. 4 is a ground plane, 5 is a slot line release plane, and 6 and 7 are microstrips.
Microstrip line constituting a slot line conversion part, 8 is a slot line, 9 is a via hole, 10
Is a through hole and 11 is a feedback amount determining resistor. These are formed on the same semiconductor substrate 14 such as a GaAs substrate. Although a line for DC power supply is actually required, it is omitted in the figure.

【0020】また半導体基板14は裏面がメタライズさ
れており、マイクロストリップライン2′、3′は、こ
の半導体基板14を誘電体とし、裏面金属13を接地面
とするマイクロストリップラインとして形成されてい
る。
The back surface of the semiconductor substrate 14 is metallized, and the microstrip lines 2 'and 3' are formed as microstrip lines using the semiconductor substrate 14 as a dielectric and the back metal 13 as a ground plane. .

【0021】また、接地面4は、半導体基板14表面に
設けられた導体面で、バイアホール9にて裏面金属13
と接続されている。
The ground plane 4 is a conductor plane provided on the surface of the semiconductor substrate 14, and the back plane metal 13 is formed in the via hole 9.
Is connected to

【0022】マイクロストリップ−スロットライン変換
部分を構成するマイクロストリップライン6及び7は、
それぞれ接地面4の下に、絶縁層を挟んで構成されてい
る。
The microstrip lines 6 and 7 constituting the microstrip-slotline conversion portion are:
Each is configured below the ground plane 4 with an insulating layer interposed therebetween.

【0023】このマイクロストリップライン6、7は、
裏面金属13とも挟まれてトリプレート構造のようにな
るが、導体面4との距離の方が近く、この導体面4を接
地面と見たマイクロストリップラインとして動作する。
The microstrip lines 6, 7 are:
Although it has a triplate structure sandwiched between the back metal 13 as well, the distance from the conductor surface 4 is shorter, and the conductor surface 4 operates as a microstrip line viewed as a ground plane.

【0024】マイクロストリップライン2と6、3と7
は、それぞれ互いにスルーホール10で接続されてい
る。
Microstrip lines 2 and 6, 3 and 7
Are connected to each other by a through hole 10.

【0025】帰還量決定用抵抗11は、半導体基板14
上に、モノリシック集積プロセスで形成されている。
The feedback amount determining resistor 11 is connected to the semiconductor substrate 14
Above is formed by a monolithic integration process.

【0026】ところで、マイクロストリップラインとス
ロットラインを組み合わせて良好な180°移相器が構
成できることは、例えば文献(K.C.GUPUTA
著、“MICROSTRIP LINES AND S
LOTLINES”、ARTECH社、1979年発
行、P.250)に記載されている。
Incidentally, the fact that a favorable 180 ° phase shifter can be constructed by combining a microstrip line and a slot line is described in, for example, a document (KC GUPATA).
Author, "MICROSTRIP LINES AND S
LOTLINES ", ARTECH, 1979, p. 250).

【0027】この移相器は、その構造上から直流領域か
ら動作するものではなく、動作下限周波数が存在する。
This phase shifter does not operate from the DC region due to its structure, but has an operation lower limit frequency.

【0028】従って、図1において、5、6、7、8で
構成されるマイクロストリップ、スロットライン変換
で、位相が180度変換される。この特性は、広帯域な
180度の位相特性を有する。
Therefore, in FIG. 1, the phase is converted by 180 degrees by the microstrip composed of 5, 6, 7 and 8 and the slot line conversion. This characteristic has a broad-band 180 degree phase characteristic.

【0029】実際の信号は、マイクロストリップライン
2′、信号入力端2から増幅素子1に入力されて増幅さ
れた後、信号出力端3に出力される。
An actual signal is input from the microstrip line 2 ′ and the signal input terminal 2 to the amplifying element 1, amplified, and then output to the signal output terminal 3.

【0030】ミリ波帯などでは増幅素子1の通過位相
は、図2に示すとおり、180度に近い。その1部が帰
還量決定用抵抗11を通り、マイクロストリップライン
7、スロットライン8、マイクロストリップライン6
で、さらに180度位相がずれて2にフィードバックさ
れる。
In a millimeter wave band or the like, the passing phase of the amplifying element 1 is close to 180 degrees as shown in FIG. One part of the microstrip line 7 passes through the feedback amount determining resistor 11, and the microstrip line 7, the slot line 8, and the microstrip line 6
Then, the phase is further shifted by 180 degrees and fed back to 2.

【0031】スロットライン8のライン長による位相ず
れ分もあるので、スロットライン8は無視できる長さに
選択する必要がある。ただしスロットライン8の波長短
縮率はマイクロストリップに較べて大きい(同じ周波数
では等価波長は長い)のでミリ波帯でもマイクロストリ
ップラインによる引き回しよりは自由度がある(位相は
ずれは少ない)。
Since there is a phase shift due to the line length of the slot line 8, it is necessary to select the slot line 8 to have a negligible length. However, since the wavelength shortening rate of the slot line 8 is larger than that of the microstrip (the equivalent wavelength is longer at the same frequency), even in the millimeter wave band, the degree of freedom is smaller than that of the microstrip line (the phase shift is small).

【0032】従って、ミリ波帯でも、広帯域な負帰還増
幅器が構成でき、混変調特性の軽減など歪み特性が改善
されると共にミリ波帯における動作安定度が改善でき
る。
Therefore, even in the millimeter wave band, a wideband negative feedback amplifier can be formed, the distortion characteristics such as the reduction of the cross modulation characteristics can be improved, and the operation stability in the millimeter wave band can be improved.

【0033】低域では、増幅素子1の内部通過位相18
0度に加えてマイクロストリップ−スロット変換部分の
180度で正帰還になるおそれがあるが、マイクロスト
リップ−スロット変換には、低域遮断周波数が存在する
ので、この周波数を正帰還が無視できる周波数以上に設
定すれば低域での正帰還は防ぐことができる。この低域
遮断周波数は一般的に、スロットライン解放面5の大き
さで決まる。
In the low band, the internal passing phase 18 of the amplifying element 1
Positive feedback may occur at 180 degrees of the microstrip-slot conversion portion in addition to 0 degrees. However, since the microstrip-slot conversion has a low cutoff frequency, this frequency is reduced to a frequency at which positive feedback can be ignored. With the above setting, positive feedback in a low frequency range can be prevented. This low cutoff frequency is generally determined by the size of the slot line release surface 5.

【0034】また、負帰還量は、マイクロストリップラ
イン6、7と、スロットライン8の結合量または、半導
体基板上に構成された抵抗で決定する。
The amount of negative feedback is determined by the amount of coupling between the microstrip lines 6 and 7 and the slot line 8 or the resistance formed on the semiconductor substrate.

【0035】また、図1に示すように、スロットライン
−マイクロストリップライン変換部分のマイクロストリ
ップラインのオープンスタブを使用した場合には、信号
入力端2と信号出力端3とが直流的に分離されるため帰
還回路には、MIM(金属−絶縁膜−金属)構成などの
直流分離用のキャパシタ16(図3参照)が不要とな
り、構成が簡単になるという利点もある。
As shown in FIG. 1, when an open stub of a microstrip line in a slot line-microstrip line conversion portion is used, the signal input terminal 2 and the signal output terminal 3 are separated from each other in a DC manner. Therefore, the feedback circuit does not require a capacitor 16 (see FIG. 3) for DC separation, such as an MIM (metal-insulating film-metal) configuration, and has an advantage that the configuration is simplified.

【0036】負帰還される信号の位相を微調整するため
には、負帰還路に移相回路を挿入しても良い。使用する
増幅素子としては電界効果トランジスタ、HEMT以外
に、HBT(ヘテロバイポーラトランジスタ)などでも
同等以上の効果があることは明らかである。
In order to finely adjust the phase of the signal that is negatively fed back, a phase shift circuit may be inserted in the negative feedback path. It is clear that an HBT (hetero bipolar transistor) or the like can provide the same or better effect as an amplifying element to be used in addition to the field effect transistor and the HEMT.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
広帯域な180度移相器が構成できるため、ミリ波帯に
おいて広帯域な負帰還増幅器が実現できるという効果を
奏する。特に、HBTなどでは、S21がHEMTなど
より大きくその効果は特に顕著になる。
As described above, according to the present invention,
Since a wide-band 180-degree phase shifter can be configured, there is an effect that a wide-band negative feedback amplifier can be realized in a millimeter wave band. In particular, in an HBT or the like, S21 is larger than a HEMT or the like, and the effect is particularly remarkable.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の構成を示す図であり、
(a)は平面図、(b)は(a)のA−A′線の断面図
である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an embodiment of the present invention;
(A) is a plan view, and (b) is a cross-sectional view taken along line AA 'of (a).

【図2】HEMTのS21(散乱パラメータ)の大きさ
(絶対値)と位相特性の例を示す図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of the magnitude (absolute value) of S21 (scattering parameter) and phase characteristics of the HEMT.

【図3】低周波数帯で使用される負帰還増幅器の概念図
である。
FIG. 3 is a conceptual diagram of a negative feedback amplifier used in a low frequency band.

【図4】特開平6−216670号公報に記載の高出力
増幅器の回路を説明するための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining a circuit of a high-power amplifier described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-216670.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 増幅素子 2 信号入力 3 信号出力 4 スロットラインの接地面 5 スロットライン解放面 6、7 ストリップライン、スロットライン変換部のマ
イクロストリップライン 8 スロットライン 9 バイアホール 10 スルーホール 11 帰還量決定用抵抗 12 層間絶縁膜 13 裏面導体 14 半導体基板 16 直流阻止コンデンサ 17 接地 21 信号線路用ストリップ線路 22 信号増幅用トランジスタ(FET) 23 方向性結合器 24 帰還用ストリップ線路 25 スタブ 26a、26b 帰還量変更用抵抗 29 レベル検出回路 31 高調波抑制制御回路(高調波抑制制御手段) 32 終端抵抗
REFERENCE SIGNS LIST 1 amplifying element 2 signal input 3 signal output 4 slot line ground plane 5 slot line release plane 6, 7 strip line, microstrip line of slot line conversion unit 8 slot line 9 via hole 10 through hole 11 feedback amount determining resistor 12 Interlayer insulating film 13 Back conductor 14 Semiconductor substrate 16 DC blocking capacitor 17 Ground 21 Signal line strip line 22 Signal amplification transistor (FET) 23 Directional coupler 24 Feedback strip line 25 Stub 26a, 26b Feedback amount changing resistor 29 Level detection circuit 31 Harmonic suppression control circuit (Harmonic suppression control means) 32 Termination resistor

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】電解効果トランジスタのソース電極を接地
し、ゲート電極から信号を入力、ドレイン電極から出力
する増幅器において、 前記ドレイン電極から出力信号の一部を取り出してゲー
ト電極へ戻す帰還回路を備えてなる、ことを特徴とする
帰還型増幅器。
An amplifier for grounding a source electrode of a field effect transistor, inputting a signal from a gate electrode, and outputting a signal from a drain electrode, comprising: a feedback circuit for extracting a part of an output signal from the drain electrode and returning it to the gate electrode. A feedback amplifier characterized in that:
【請求項2】前記帰還回路が、二組のマイクロストリッ
プ線路−スロット線路変換器、及び、これらの2つの変
換器をスロットラインで接続して構成されてなる、こと
を特徴とする請求項1記載の帰還型増幅器。
2. The feedback circuit according to claim 1, wherein said feedback circuit comprises two sets of microstrip line-slot line converters and these two converters are connected by a slot line. A feedback amplifier as described.
【請求項3】前記マイクロストリップ線路−スロット線
路変換器、及びこれら2つの変換器を接続するスロット
ラインを、半導体基板上に設けたことを特徴とする請求
項2記載の帰還型増幅器。
3. The feedback amplifier according to claim 2, wherein said microstrip line-slot line converter and a slot line connecting said two converters are provided on a semiconductor substrate.
【請求項4】ミリ波帯などのMMICにおいて、増幅素
子の帰還回路に、マイクロストリップ線路−スロット線
路変換器を用いた180°位相器を半導体基板上に構成
したことを特徴とする帰還型増幅器。
4. A feedback amplifier comprising a 180.degree. Phase shifter using a microstrip line-slot line converter on a semiconductor substrate in a feedback circuit of an amplifying element in an MMIC in a millimeter wave band or the like. .
【請求項5】前記増幅素子の入力側、出力側のマイクロ
ストリップ線路と、前記マイクロストリップ線路−スロ
ット線路変換器を構成する各マイクロストリップ線路と
は、スルーホールにより接続され、 前記マイクロストリップ線路−スロット線路変換器を構
成する各マイクロストリップ線路は前記半導体基板表面
上に形成され、その上に絶縁膜を介して、前記半導体基
板裏面の金属とバイアホールにより接続され、スロット
ラインを備えた導体面を備え、 必要に応じて帰還量調整用抵抗、位相調整回路を帰還路
に備えたことを特徴とする請求項4記載の帰還型増幅
器。
5. The microstrip line on the input side and the output side of the amplifying element and each microstrip line forming the microstrip line-slot line converter are connected by a through hole. Each microstrip line constituting the slot line converter is formed on the front surface of the semiconductor substrate, and is connected to a metal on the back surface of the semiconductor substrate via a via hole via an insulating film thereon, and a conductor surface having a slot line. 5. The feedback amplifier according to claim 4, further comprising a resistor for adjusting a feedback amount and a phase adjusting circuit in a feedback path as required.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7123073B2 (en) 2002-03-28 2006-10-17 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Amplifier and frequency converter
US7298205B2 (en) 2003-09-24 2007-11-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Amplifier and frequency converter

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US7123073B2 (en) 2002-03-28 2006-10-17 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Amplifier and frequency converter
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