JPH1028369A - 超電導回転電機の真空排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】低速回転状態下で断熱真空層の真空圧力測定・
真空排気を行うこと。 【解決手段】真空封じ切り型超電導回転電機回転子１に
隣接して設置され、低速回転中の回転子１に適正な位置
で結合がなされるクラッチ機構11と、シールオフバルブ
７のキャップ33を分解組立するシールオフバルブキャッ
プ分解組立機構29と、シールオフバルブ７に取付けられ
て真空チャンバ38を形成し、シールオフバルブ７のプラ
グ31を分解組立するシールオフバルブプラグ分解組立機
構30と、真空チャンバ38内を真空排気する真空排気経路
13を有する回転部８と、真空排気ポンプ17に接続された
真空排気経路14を有し、回転部８を支持する軸受10と、
各真空排気経路13，14を連通させ、かつ回転部８との隙
間を大気よりシールするシール機構15を有する静止部９
と、各真空排気経路13，14の少なくとも一方に設け真空
圧力計19と、真空排気ポンプ17側の排気経路に設けた仕
切り弁18とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空封じ切り型超
電導回転電機の回転子における断熱真空層の真空を維持
する真空排気装置に係り、特に回転子を完全停止状態で
はなく、タ−ニング等の低速回転状態下で断熱真空層の
真空圧力の測定ならびに真空排気を行なえるようにした
超電導回転電機の真空排気装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は、この種の従来の超電導回転電機
の回転子の概略構成例を示す縦断面図である。図５にお
いて、超電導回転電機の回転子１の内部に設けられた超
電導界磁巻線２は、超電導状態を維持するために、例え
ば液体へリウムのような冷媒３によって冷却されてい
る。

【０００３】また、超電導回転電機回転子１外周の常温
部から低温回転子４への熱侵入を低減するために、低温
回転子４を取囲むように断熱真空層５が設けられてい
る。この断熱真空層５は、残留気体があると対流によっ
て常温部から低温部に大きな熱侵入が生じるため、でき
るだけ真空圧力は低く維持することが要求される。

【０００４】ところで、このような断熱真空層５を形成
するための従来の構造のーつとして、真空封じ切り構造
がある。すなわち、この真空封じ切り構造とは、断熱真
空層５から超電導回転電機回転子１表面まで連通する真
空排気経路６を設け、かつこの真空排気経路６の終端部
にシールオフバルブ７を設ける方法であり、超電導回転
電機回転子１が静止状態にある時にシールオフバルブ７
を開け、真空排気ポンプで十分排気した後に、シールオ
フバルブ７を閉じ、断熱真空層５を封じ切った状態で運
転を行なう構造である。

【０００５】しかしながら、上記のような真空排気構造
では、以下のような問題点がある。すなわち、一般に、
断熱真空層５は、超電導回転電機の運転中に、超電導回
転電機回転子１内の構造物からのアウトガスによって真
空圧力の上昇が生ずるが、前述した真空封じ切り構造に
おいては、超電導回転電機回転子１の完全停止を行なわ
ないと、断熱真空層５の真空圧力の測定、ならびに真空
排気を行なうことができない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
超電導回転電機の真空排気構造においては、超電導回転
電機回転子の完全停止を行なわないと、断熱真空層の真
空圧力の測定、ならびに真空排気を行なうことができな
いという問題があった。

【０００７】本発明の目的は、真空封じ切り型の超電導
回転電機において、回転子を完全停止状態ではなく、タ
−ニング等の低速回転状態下で断熱真空層の真空圧力の
測定ならびに真空排気を行なうことが可能な超電導回転
電機の真空排気装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、まず、請求項１に対応する発明では、回転子の内
部に、当該回転子外周の常温部からの熱侵入を低減する
断熱真空層と、当該断熱真空層から回転子表面まで連通
する真空排気経路と、当該真空排気経路の回転子表面側
端部にシールオフバルブとを設けて成る真空封じ切り型
超電導回転電機における、断熱真空層の真空を維持する
真空排気装置において、超電導回転電機の回転子に隣接
して設置され、低速回転中の当該超電導回転電機の回転
子に適正な位置で結合がなされるクラッチ機構と、超電
導回転電機の回転子表面に設けられたシールオフバルブ
のキャップを自動で分解組立するシールオフバルブキャ
ップ分解組立機構と、シールオフバルブに取り付けられ
て真空チャンバを形成しつつ、当該シールオフバルブの
プラグを自動で分解組立するシールオフバルブプラグ分
解組立機構と、シールオフバルブプラグ分解組立機構の
真空チャンバ内を真空排気するための第１の真空排気経
路を有する回転部と、真空排気ポンプに接続された第２
の真空排気経路を有し、回転部を支持する軸受と、第１
および第２の各々の真空排気経路を連通させ、かつ回転
部との隙間を大気よりシールするシール機構を有する静
止部と、第１の真空排気経路または第２の真空排気経路
のうち、少なくとも一方の真空排気経路に設けられた真
空圧力計と、真空圧力計より真空排気ポンプ側の排気経
路に設けられた仕切り弁とを備えて成る。

【０００９】また、請求項２に対応する発明では、上記
請求項１に対応する発明の超電導回転電機の真空排気装
置において、真空圧力計より真空排気ポンプ側の排気経
路に、微少リークを可能とするリークバルブを設けるよ
うにしている。

【００１０】さらに、請求項３に対応する発明では、上
記請求項１に対応する発明の超電導回転電機の真空排気
装置において、上記クラッチ機構としては、超電導回転
電機の回転子の外表面に凸部または凹部を設けると共
に、回転部に凹部または凸部を設け、超電導回転電機の
回転子が低速回転時に、回転部の凹部または凸部を移動
させて互いの凹部、凸部を嵌め合わせて互いの位置決め
と同期回転をなさせるものとしている。

【００１１】一方、請求項４に対応する発明では、上記
請求項１に対応する発明の超電導回転電機の真空排気装
置において、超電導回転電機の回転子と真空排気装置本
体の軸方向相対位置を検出し、当該真空排気装置本体を
軸方向に移動調整する手段を備えている。

【００１２】また、請求項５に対応する発明では、上記
請求項１に対応する発明の超電導回転電機の真空排気装
置において、超電導回転電機の回転子と回転部との間の
周方向の位置検出と回転同期検出を行なう手段、および
同期回転を行なう回転駆動手段を備えている。

【００１３】さらに、請求項６に対応する発明では、上
記請求項１に対応する発明の超電導回転電機の真空排気
装置において、超電導回転電機の回転子に取付けられた
シールオフバルブのプラグの予備プラグを収納し、これ
らを交換する機構を、シールオフバルブプラグ分解組立
機構の回転部に設けるようにしている。

【００１４】従って、請求項１乃至請求項３に対応する
発明の超電導回転電機の真空排気装置においては、回転
部と静止部とから構成し、超電導回転電機の回転子に隣
接して設け、超電導回転電機の回転子が高速回転中に
は、超電導回転電機の回転子から分離しているが、タ−
ニング等の低速回転時には、回転部に設けられたクラッ
チ機構によって、超電導回転電機の回転子と結合し、さ
らに回転部に設けられたシールオフバルブ開閉機構によ
って、超電導回転電機の回転子に設けられたシールオフ
バルブの開閉を行なうことにより、超電導回転電機の回
転子の低速回転状態下において、超電導回転電機回転子
の真空断熱層の真空圧力の測定ならびに真空排気を行な
うことができる。

【００１５】一方、請求項４に対応する発明の超電導回
転電機の真空排気装置においては、超電導回転電機の回
転子と真空排気装置本体の軸方向相対位置を検出し、真
空排気装置本体を軸方向に移動調整することにより、ク
ラッチの噛み合いにおいて、超電導回転電機の回転子の
熱延び等による軸方向位置の変動に対応することがで
き、シールオフバルブの開閉や真空引きにおける位置精
度が向上し、より一層信頼性を向上することができる。

【００１６】さらに、シールオフバルブキャップ分解組
立機構とシールオフバルブプラグ分解組立機構を、軸方
向に配置することもできる。また、請求項５に対応する
発明の超電導回転電機の真空排気装置においては、超電
導回転電機の回転子と回転部との間の周方向の位置検出
と回転同期検出を行ない、同期回転を行なうことによ
り、クラッチ機構による位置出しを容易に行なうことが
できる。

【００１７】さらに、請求項６に対応する発明の超電導
回転電機の真空排気装置においては、シールオフバルブ
のプラグの予備プラグを収納し、これらを交換する機構
を、シールオフバルブプラグ分解組立機構の回転部に設
けることにより、プラグに取り付けられているオーリン
グが、経年的、あるいは複数回のプラグ分解再組立によ
って劣化した場合にも、安全に真空排気を実現すること
ができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施形態
による超電導回転電機の真空排気装置の概要構成例を示
す縦断面図であり、図５と同一要素には同一符号を付し
て示している。

【００１９】図１において、１は超電導回転電機回転
子、６は超電導回転電機の断熱真空層５に連通する真空
排気経路、７は真空を封じ切るシールオフバルブであ
る。本実施形態の真空排気装置は、超電導回転電機回転
子１に近接して設置されており、回転部８と静止部９と
から構成されている。

【００２０】回転部８は、静止部９に軸受１０を介して
支持されている。また、回転部８には、超電導回転電機
回転子１との位置決め、ならびに同期回転を行なうため
のクラッチ機構１１と、シールオフバルブ７を自動で開
閉するシールオフバルブ開閉機構１２と、シールオフパ
ルブ７が開の時に超電導回転電機の真空排気を行なう第
１の真空排気経路１３が設けられている。

【００２１】一方、静止部９には、回転部８の第１の真
空排気経路１３と連通する第２の真空排気経路１４が設
けられ、回転部８と静止部９との間の真空維持のための
シール装置１５が、これらの間に設けられている。

【００２２】また、第２の真空排気経路１４は、電磁仕
切り弁１６を介して真空排気ポンプ１７に接続されてお
り、その間には仕切り弁１８を介して、真空圧力計１９
およびリークバルブ２０が設けられ、その後段にはガス
ボンベ２１が接続されている。

【００２３】さらに、回転部８中に組込まれたクラッチ
機構１１、シールオフバルブ開閉機構１２の作動電源供
給および制御を行なうために、回転部８にはスリップリ
ング２２が設けられており、静止部９から電力および信
号が送られるようになっている。

【００２４】なお、２３は本真空排気装置の各部の作動
を制御するための制御盤である。次に、上記クラッチ機
構１１、およびシールオフバルブ自動開閉機構１２のよ
り詳細な構造について説明する。

【００２５】図２は、クラッチ機構１１の構成例を示す
断面図である。図２において、２４は超電導回転電機回
転子１の外表面に設けられた凹部で、回転部８と組み合
わせたい位置に複数設けることができる。

【００２６】また、２５はこの凹部２４に噛み合う回転
部８側のピン（凸部）である。このピン２５は、回転部
８内に設けられたシリンダ駆動機構２６によって半径方
向に可動なシリンダ２７内に、バネ２８と共に組込まれ
ている。

【００２７】回転部８は、超電導回転電機回転子１が高
速回転時には、分離されて静止状態にあるが、タ−ニン
グ等の低速回転時には、シリンダ駆動機構２６が作動し
てシリンダ２７を内径側に押し出し、バネ２８を介して
ピン２５を回転子１の外周面に押し当てる。そして、適
正な位置に設けられた凹部２４が回ってきてピン２５と
噛み合うことにより、回転部８は回転子１と一体となっ
て同期回転する。

【００２８】なお、本クラッチ機構１１は、回転部８内
に角度や軸方向位置を変えて複数設けてもよい。一方、
シールオフバルブ開閉機構１２は、シールオフバルブキ
ャップ分解組立機構２９と、シールオフバルブプラグ分
解組立機構３０とから構成されている。このシールオフ
バルブキャップ分解組立機構２９、およびシールオフバ
ルブプラグ分解組立機構３０は、回転部８内に周方向に
ずれた位置に配置されている。

【００２９】図３は、シールオフバルブキャップ分解組
立機構２９の構成例を示す断面図である。図３におい
て、３１は超電導回転電機のシールオフバルブ７のプラ
グで、外周に嵌めたオーリング３２により真空シールを
行なっている。

【００３０】また、回転遠心力に対してプラグ３１を保
持するために、キャップ３３が組み立てられている。シ
ールオフバルブキャップ分解組立機構２９は、回転部８
に組み込まれたキャップ用レンチ３４とキャップ用レン
チ駆動機構３５、およびキャップ保持具３６ならびにキ
ャップ保持具駆動機構３７から構成されている。

【００３１】本シールオフバルブキャップ分解組立機構
２９により、キャップ３３をキャップ用レンチ３４を駆
動することによって緩め、次にキャップ保持具３６を駆
動することによってキャップ３３を保持し、シールオフ
バルブ７より外してシールオフバルブキャップ分解組立
機構２９に取り込む。また、取り外したキャップ３３
を、逆の手順で再びシールオフバルブ７に組み立てるこ
ともできる。

【００３２】図４は、シールオフバルブプラグ分解組立
機構３０の構成例を示す断面図である。図４において、
シールオフバルブプラグ分解組立機構３０は、シールオ
フバルブ７と相対向する位置に設定されており、真空チ
ャンバ３８はチャンバ締め付け機構３９と共にチャンバ
駆動機構４０によって内径方向に移動すると共に、超電
導回転電機のシールオフバルブ７部にパッキン４１を介
して取り付けられ、チャンバ締め付け機構３９により固
定されている。

【００３３】また、真空チャンバ３８内には、プラグ保
持具４２およびプラグ保持具駆動機構４３がある。さら
に、チャンバ３８には、第１の真空排気経路１３の一端
が設けられている。

【００３４】本シールオフバルブプラグ分解組立機構３
０により、真空チャンバ３８内を真空にした後、プラグ
３１をプラグ保持具４２によってシールオフバルブ７よ
り除去し、超電導回転電機の断熱真空層５内の真空引き
を行なうことができる。

【００３５】また、逆の操作により、シールオフバルブ
７にプラグ３１を再組み立てすることができる。次に、
以上のように構成した超電導回転電機の真空排気装置の
作用について説明する。

【００３６】以下に示すような手順を行なうことによ
り、タ一ニング等の低速回転状態下における超電導回転
電機回転子１の断熱真空層５の真空圧力測定ならびに真
空引きを行なうことができる。

【００３７】すなわち、まず、超電導回転電機回転子１
が低速回転状態にある時、クラッチ機構１１を作動させ
て、超電導回転電機回転子１のシールオフバルブ７と回
転部８のシールオフバルブキャップ分解組立機構２９が
相対向する位置で、超電導回転電機回転子１と回転部８
を固定し、同期回転させる。そして、シールオフバルブ
キャップ分解組立機構２９を作動させて、シールオフバ
ルブ７のキャップ３３を除去する。

【００３８】次に、いったんクラッチ機構１１を解放
し、その後超電導回転電機回転子１のシールオフバルブ
７と回転部８のシールオフバルブプラグ分解組立機構３
０が相対向する位置で、超電導回転電機回転子１と回転
部８を固定し、同期回転させる。そして、シールオフバ
ルブプラグ分解組立機構３０を作動させて、真空チャン
バ３８をシールオフバルブ７部に取り付け、真空チャン
バ３８内を真空排気ポンプ１７で真空引きする。

【００３９】次に、真空チャンバ３８内の真空圧力を真
空圧力計１９で測定し、十分な真空圧力であることを確
認した後に、真空排気ポンプ１７手前の電磁仕切り弁１
６を閉じ、真空圧力が維持できることを確認した後に、
真空チャンバ３８内のプラグ保持具駆動機構４３を作動
させて、プラグ保持具４２によりプラグ３１をシールオ
フバルブ７から除去する。

【００４０】その後、超電導回転電機回転子１の真空排
気経路６と、本真空排気装置の各真空排気経路１３，１
４とを連通させることにより、超電導回転電機回転子１
の断熱真空層５の真空圧力の測定を行なうことができ
る。

【００４１】また、電磁仕切り弁１６を開とすることに
より、超電導回転電機回転子１の断熱真空層５の真空排
気を行なうことができる。そして、十分な真空排気が完
了したら、プラグ保持具４２およびプラグ保持具駆動機
構４３を作動させて、シールオフバルブ７のプラグ３１
を再組み立てする。

【００４２】次に、真空排気ポンプ１７手前の電磁仕切
り弁１６を閉じ、リークバルブ２０を開として、例えば
窒素等の不活性ガスを一定の微小量だけ、真空排気装置
の各真空排気経路１３，１４内にリークさせる。

【００４３】その後、一定時間放置して真空圧力計１９
の変化を監視し、時間変化が無ければ、シールオフバル
ブ７のプラグ３１の再組み立てが良好であると判断し、
真空チャンバ３８およびプラグ保持具４２をシールオフ
バルブ７部から分離し、クラッチ機構１１を解放して、
再度超電導回転電機回転子１のシールオフバルブ７と回
転部８のシールオフバルブキャップ分解組立機構２９が
相対向する位置で、超電導回転電機回転子１と回転部８
を再組み立てした後に、クラッチ磯構１１を解除して、
一連の全ての作業を終了する。

【００４４】上述したように、本実施形態による超電導
回転電機の真空排気装置は、回転部８と静止部９とから
構成されて、超電導回転電機回転子１に隣接して設け、
超電導回転電機の回転子が高速回転中には、超電導回転
電機の回転子から分離されているが、タ−ニング等の低
速回転時には、回転部８に設けられたクラッチ機構１１
によって、超電導回転電機回転子１と結合し、さらに回
転部８に設けられたシールオフバルブ開閉機構１２によ
って、超電導回転電機回転子１に設けられたシールオフ
バルブ７の開閉を行なようにしたものである。

【００４５】従って、真空封じ切り構造の超電導回転電
機回転子１の断熱真空層５の真空圧力の監視と維持を、
超電導回転電機回転子１を完全停止せずに行なうことが
できる。

【００４６】これにより、ＤＳＳ（夜間停止運転）やＷ
ＳＳ（週末停止運転）のタ−ニング中においても、真空
圧力の確認や真空引きを行なうことができ、超電導回転
電機の運用形態を拡大することができると共に、低真空
圧力の保持が可能となり、低温回転子４部への侵入熱を
小さくできるため、超電導回転電機の信頼性を著しく向
上することができる。

【００４７】（他の実施形態） （ａ）上記図１の実施形態において、超電導回転電機回
転子１と真空排気装置本体の軸方向相対位置を検出する
位置検出装置と、真空排気装置本体を軸方向に移動調整
する軸方向位置移動装置とを、静止部９に設けることも
可能である。

【００４８】これにより、クラッチの噛み合いにおい
て、超電導回転電機回転子１の熱延び等による軸方向位
置の変動に対応することができ、シールオフバルブ７の
開閉や真空引きにおける位置精度が向上し、より一層信
頼性を向上することが可能となる。

【００４９】また、シールオフバルブキャップ分解組立
機構２９とシールオフバルブプラグ分解組立機構３０
を、軸方向に配置することも可能となる。なお、位置検
出装置としては、光学的、機械的、電気的等、種々の装
置を用いることができる。

【００５０】（ｂ）上記図１の実施形態において、真空
排気装置本体に回転部８の回転駆動機構を設けると共
に、シールオフバルブ７の角度位置検出装置を設けるこ
とも可能である。

【００５１】これにより、クラッチ機構１１による位置
出しを容易に行なうことも可能となる。 （ｃ）シールオフバルブプラグ分解組立機構３０内に、
予備プラグを装備しておき、超電導回転電機回転子１か
ら取り外しプラグ保持機によって保持されたプラグ３１
を予備プラグに交換し、再組み立てする構成とすること
も可能である。

【００５２】これにより、プラグ３１に取り付けられて
いるオーリング３２が、経年的、あるいは複数回のプラ
グ分解再組立によって劣化した場合にも、安全に真空排
気を実現することが可能となる。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１乃至請求
項３に対応する発明によれば、回転子の内部に、当該回
転子外周の常温部からの熱侵入を低減する断熱真空層
と、当該断熱真空層から回転子表面まで連通する真空排
気経路と、当該真空排気経路の回転子表面側端部にシー
ルオフバルブとを設けて成る真空封じ切り型超電導回転
電機における、断熱真空層の真空を維持する真空排気装
置において、超電導回転電機の回転子に隣接して設置さ
れ、低速回転中の当該超電導回転電機の回転子に適正な
位置で結合がなされるクラッチ機構と、超電導回転電機
の回転子表面に設けられたシールオフバルブのキャップ
を自動で分解組立するシールオフバルブキャップ分解組
立機構と、シールオフバルブに取り付けられて真空チャ
ンバを形成しつつ、当該シールオフバルブのプラグを自
動で分解組立するシールオフバルブプラグ分解組立機構
と、シールオフバルブプラグ分解組立機構の真空チャン
バ内を真空排気するための第１の真空排気経路を有する
回転部と、真空排気ポンプに接続された第２の真空排気
経路を有し、回転部を支持する軸受と、第１および第２
の各々の真空排気経路を連通させ、かつ回転部との隙間
を大気よりシールするシール機構を有する静止部と、第
１の真空排気経路または第２の真空排気経路のうち、少
なくとも一方の真空排気経路に設けられた真空圧力計
と、真空圧力計より真空排気ポンプ側の排気経路に設け
られた仕切り弁とを備えるようにしたので、回転子を完
全停止状態ではなく、タ−ニング等の低速回転状態下で
断熱真空層の真空圧力の測定ならびに真空排気を行なう
ことが可能な超電導回転電機の真空排気装置が提供でき
る。

【００５４】一方、請求項４に対応する発明によれば、
上記請求項１に対応する発明の超電導回転電機の真空排
気装置において、超電導回転電機の回転子と真空排気装
置本体の軸方向相対位置を検出し、当該真空排気装置本
体を軸方向に移動調整する手段を備えるようにしたの
で、クラッチの噛み合いにおいて、超電導回転電機の回
転子の熱延び等による軸方向位置の変動に対応すること
ができ、シールオフバルブの開閉や真空引きにおける位
置精度が向上し、より一層信頼性を向上することがで
き、さらにシ一ルオフバルブキャップ分解組立機構とシ
ールオフバルブプラグ分解組立機構を軸方向に配置する
ことも可能な超電導回転電機の真空排気装置が提供でき
る。

【００５５】また、請求項５に対応する発明によれば、
上記請求項１に対応する発明の超電導回転電機の真空排
気装置において、超電導回転電機の回転子と回転部との
間の周方向の位置検出と回転同期検出を行なう手段、お
よび同期回転を行なう回転駆動手段を備えるようにした
ので、クラッチ機構による位置出しを容易に行なうこと
が可能な超電導回転電機の真空排気装置が提供できる。

【００５６】さらに、請求項６に対応する発明によれ
ば、上記請求項１に対応する発明の超電導回転電機の真
空排気装置において、超電導回転電機の回転子に取付け
られたシールオフバルブのプラグの予備プラグを収納
し、これらを交換する機構を、シールオフバルブプラグ
分解組立機構の回転部に設けるようにしたので、プラグ
に取り付けられているオーリングが、経年的、あるいは
複数回のプラグ分解再組立によって劣化した場合にも、
安全に真空排気を実現することが可能な超電導回転電機
の真空排気装置が提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による超電導回転電機の真空排気装置の
一実施形態を示す縦断面図。

【図２】同実施形態の超電導回転電機の真空排気装置に
おけるクラッチ機構の一構成例を示す断面図。

【図３】同実施形態の超電導回転電機の真空排気装置に
おけるシールオフバルブキャップ分解組立機構の一構成
例を示す断面図。

【図４】同実施形態の超電導回転電機の真空排気装置に
おけるシールオフバルブプラグ分解組立機構の一構成例
を示す断面図。

【図５】従来の超電導回転電機の回転子の構成例を示す
縦断面図。

【符号の説明】

１…超電導回転電機回転子、 ２…超電導界磁巻線、 ３…冷媒、 ４…低温回転子、 ５…断熱真空層、 ６…真空排気経路、 ７…シールオフバルブ、 ８…真空排気装置の回転部、 ９…真空排気装置の静止部、 １０…軸受、 １１…クラッチ機構、 １２…シールオフバルブ開閉機構、 １３…第１の真空排気経路、 １４…第２の真空排気経路、 １５…シール装置、 １６…電磁仕切り弁、 １７…真空排気ポンプ、 １８…仕切り弁、 １９…真空圧力計、 ２０…リークバルブ、 ２１…ガスボンベ、 ２２…スリップリング、 ２３…制御盤、 ２４…凹部、 ２５…ピン、 ２６…シリンダ駆動機構、 ２７…シリンダ、 ２８…バネ、 ２９…シールオフバルブキャップ分解組立機構、 ３０…シールオフバルブプラグ分解組立機構、 ３１…プラグ、 ３２…オーリング、 ３３…キャップ、 ３４…キャップ用レンチ、 ３５…キャップ用レンチ駆動機構、 ３６…キャップ保持具、 ３７…キャップ保持具駆動機構、 ３８…真空チャンバ、 ３９…チャンバ締め付け機構、 ４０…チャンバ駆動機構、 ４１…パッキン、 ４２…プラグ保持具、 ４３…プラグ保持具駆動機構。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転子の内部に、当該回転子外周の常温
   部からの熱侵入を低減する断熱真空層と、当該断熱真空
   層から前記回転子表面まで連通する真空排気経路と、当
   該真空排気経路の回転子表面側端部にシールオフバルブ
   とを設けて成る真空封じ切り型超電導回転電機におけ
   る、前記断熱真空層の真空を維持する真空排気装置にお
   いて、 前記超電導回転電機の回転子に隣接して設置され、低速
   回転中の当該超電導回転電機の回転子に適正な位置で結
   合がなされるクラッチ機構と、 前記超電導回転電機の回転子表面に設けられたシールオ
   フバルブのキャップを自動で分解組立するシールオフバ
   ルブキャップ分解組立機構と、 前記シールオフバルブに取り付けられて真空チャンバを
   形成しつつ、当該シールオフバルブのプラグを自動で分
   解組立するシールオフバルブプラグ分解組立機構と、 前記シールオフバルブプラグ分解組立機構の真空チャン
   バ内を真空排気するための第１の真空排気経路を有する
   回転部と、 真空排気ポンプに接続された第２の真空排気経路を有
   し、前記回転部を支持する軸受と、 前記第１および第２の各々の真空排気経路を連通させ、
   かつ前記回転部との隙間を大気よりシールするシール機
   構を有する静止部と、 前記第１の真空排気経路または第２の真空排気経路のう
   ち、少なくとも一方の真空排気経路に設けられた真空圧
   力計と、 前記真空圧力計より真空排気ポンプ側の排気経路に設け
   られた仕切り弁と、 を備えて成ることを特徴とする超電導回転電機の真空排
   気装置。
2. 【請求項２】 前記請求項１に記載の超電導回転電機の
   真空排気装置において、 前記真空圧力計より真空排気ポンプ側の排気経路に、微
   少リークを可能とするリークバルブを設けるようにした
   ことを特徴とする超電導回転電機の真空排気装置。
3. 【請求項３】 前記請求項１に記載の超電導回転電機の
   真空排気装置において、 前記クラッチ機構としては、前記超電導回転電機の回転
   子の外表面に凸部または凹部を設けると共に、前記回転
   部に凹部または凸部を設け、前記超電導回転電機の回転
   子が低速回転時に、前記回転部の凹部または凸部を移動
   させて互いの凹部、凸部を嵌め合わせて互いの位置決め
   と同期回転をなさせるものであることを特徴とする超電
   導回転電機の真空排気装置。
4. 【請求項４】 前記請求項１に記載の超電導回転電機の
   真空排気装置において、 前記超電導回転電機の回転子と真空排気装置本体の軸方
   向相対位置を検出し、当該真空排気装置本体を軸方向に
   移動調整する手段を備えたことを特徴とする超電導回転
   電機の真空排気装置。
5. 【請求項５】 前記請求項１に記載の超電導回転電機の
   真空排気装置において、 前記超電導回転電機の回転子と前記回転部との間の周方
   向の位置検出と回転同期検出を行なう手段、および同期
   回転を行なう回転駆動手段を備えたことを特徴とする超
   電導回転電機の真空排気装置。
6. 【請求項６】 前記請求項１に記載の超電導回転電機の
   真空排気装置において、 前記超電導回転電機の回転子に取付けられたシールオフ
   バルブのプラグの予備プラグを装備し、これらを交換す
   る機構を、前記シールオフバルブプラグ分解組立機構の
   回転部に設けるようにしたことを特徴とする超電導回転
   電機の真空排気装置。