JPH10277916A - Rubbing roller and rubbing device of liquid crystal substrate - Google Patents

Rubbing roller and rubbing device of liquid crystal substrate

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JPH10277916A
JPH10277916A JP10258497A JP10258497A JPH10277916A JP H10277916 A JPH10277916 A JP H10277916A JP 10258497 A JP10258497 A JP 10258497A JP 10258497 A JP10258497 A JP 10258497A JP H10277916 A JPH10277916 A JP H10277916A
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bearing
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a device which can set parallelism of the outer surface of textile roller with the table surface on the rubbing device of liquid crystal substrate correctly and easily. SOLUTION: This device is provided with a cylinder 53 of which outer surface is pasted with textile, an end member 56 with a cone receiver 57, facing to the outside, which is attached on a bore side in both ends of the cylinder through a bearing 55 so that it can rotate freely and fixing at least an axial direction position to the inside, and a rotation receiver 64 installed in an end of the cylinder. Preferably, a narrow air passage 62 connected to the inside of the cylinder 53 through inside of the bearing 55 is formed, and at least either one side of the end member 56 is constructed to provide with an air absorbing port penetrating to an axial direction. Even when the eccentricity and the tilt of a roller 52 are caused by catching dust between the cone receiver 57 and the tip of the cone 66, as the eccentricity and the tilt are static, they can be corrected easily by the adjustment of elevating amounts of a table and the adjustment of tilt amounts adjusting means.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、液晶基板のラビ
ング装置、すなわちガラス基板表面の配向膜を周面に布
を貼り付けた回転ローラで擦る装置に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rubbing device for a liquid crystal substrate, that is, a device for rubbing an alignment film on the surface of a glass substrate with a rotating roller having a cloth adhered to the peripheral surface.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶パネルを製造する工程中の一工程で
あるラビング工程は、ガラス基板表面の配向膜を布で擦
って液晶分子を配列させる微細な溝を加工する工程であ
る。この工程で用いられる装置は、ガラス基板を真空吸
着するテーブル、周面に布を貼ったローラとその支持及
び回転駆動機構、テーブルとローラとを相対移動させる
送り機構などを備えている。
2. Description of the Related Art A rubbing step, which is one of the steps of manufacturing a liquid crystal panel, is a step of rubbing an alignment film on the surface of a glass substrate with a cloth to form fine grooves for aligning liquid crystal molecules. The apparatus used in this step includes a table for vacuum-sucking the glass substrate, a roller with a cloth stuck on its peripheral surface, its support and rotation drive mechanism, and a feed mechanism for relatively moving the table and the roller.

【0003】加工するガラス基板はテーブルに固定さ
れ、テーブルに付設したテーブル旋回装置によってガラ
ス基板の向きが決められるとともに、昇降装置によって
ローラとのギャップ(ラビング圧力)が設定される。ロ
ーラは両端を挟持された状態で回転軸に固定され、チル
ト装置によってガラス基板表面との平行度が設定される
とともに、ローラ旋回装置により摺擦方向が設定され
る。この状態でテーブル又はローラを送り装置で移動さ
せることにより、ガラス基板の表面全体がラビング加工
されるのである。
A glass substrate to be processed is fixed to a table, the direction of the glass substrate is determined by a table turning device attached to the table, and a gap (rubbing pressure) with a roller is set by an elevating device. The roller is fixed to a rotating shaft with both ends sandwiched, and the degree of parallelism with the glass substrate surface is set by a tilt device, and the sliding direction is set by a roller turning device. By moving the table or the roller by the feeder in this state, the entire surface of the glass substrate is rubbed.

【0004】ラビングに用いる布は短時間で摩耗し、布
が摩耗すると加工精度が維持できない。そこでローラを
頻繁に交換しなければならない。この交換を容易にする
ため、従来のラビング装置は、図5で示すように、両端
軸心に円錐凹所71を設けたローラ72を、定位置に設
けた駆動側スピンドル73の円錐状の先端74と、これ
に対向して軸方向に進退可能に設けた自由回転スピンド
ル75の円錐状の先端76とで挟持して支持する構造が
採用されている。
[0004] The cloth used for rubbing wears in a short time, and if the cloth is worn, the processing accuracy cannot be maintained. Therefore, the rollers must be replaced frequently. In order to facilitate this replacement, the conventional rubbing device is, as shown in FIG. 5, a roller 72 provided with conical recesses 71 at both end axes, and a conical tip of a driving spindle 73 provided at a fixed position. A structure is employed in which the supporting member 74 is sandwiched and supported by a conical tip 76 of a free-rotating spindle 75 which is provided so as to be capable of moving forward and backward in the axial direction.

【0005】駆動側スピンドル73及び自由回転スピン
ドル75は、当然のことながら軸受77で回転可能に軸
支されており、駆動側スピンドル73を回転駆動するモ
ータ78が設けられている。
The driving spindle 73 and the free rotation spindle 75 are rotatably supported by bearings 77, and a motor 78 for rotating the driving spindle 73 is provided.

【0006】ローラ72を交換するときは、ローラ72
の下に受台27を進出させ、自由回転スピンドル75を
後退させてローラ72を受台27上に落とし、受台27
を移動して搬出する。新しいローラは受台27に載せら
れて両スピンドル73、75の間に搬入され、自由回転
スピンドル75を進出させることにより、円錐凹所71
と円錐先端74、76の嵌合による自動調心作用によ
り、両スピンドル73、75の間に固定される。
When replacing the roller 72, the roller 72
, The free rotation spindle 75 is retracted, and the roller 72 is dropped on the pedestal 27.
Move and unload. The new roller is placed on the pedestal 27 and carried between the spindles 73 and 75, and the free-rotation spindle 75 is advanced to thereby form the conical recess 71.
The spindles 73 and 75 are fixed between the spindles 73 and 75 by the self-centering action by the fitting of the conical tips 74 and 76.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ラビングは所定幅のガ
ラス基板に、ローラの周面に貼った布をある幅で線接触
させて加工するものであり、かつ微細加工であるから、
布の周面とガラス基板表面との間の平行度がラビングの
精度ひいては液晶パネルの表示品質に重大な影響を及ぼ
す。
Rubbing is a process in which a cloth adhered to a peripheral surface of a roller is brought into line contact with a glass substrate having a predetermined width in a certain width, and is a fine processing.
The degree of parallelism between the peripheral surface of the cloth and the surface of the glass substrate has a significant effect on the rubbing accuracy and thus on the display quality of the liquid crystal panel.

【0008】一方、ローラ表面に貼着した布は、厚さに
うねりが生ずるのを避け難い。そのためローラを交換す
る毎に、テーブルとローラ周面との平行度の調整を行っ
ているのが実情であり、しかもこの調整作業には熟練し
た技能を必要とする。
On the other hand, it is difficult to avoid undulation in the thickness of the cloth stuck on the roller surface. Therefore, every time the roller is replaced, the parallelism between the table and the peripheral surface of the roller is adjusted, and this adjustment operation requires skilled skills.

【0009】液晶パネルのガラス基板としては、従来4
00×500mm程度のものが用いられていたが、パネ
ル面自体の大型化と1枚の基板に多くのパネルを配置し
て同時加工を行うことによる生産性向上の要請から、よ
り大型の基板が用いられるようになってきた。ところが
基板が大型になると、基板表面と布表面の平行度を維持
することの困難さが加速度的に増大し、製造された液晶
パネルの表示品質の低下や、調整作業負担の増加による
生産性の低下という問題が生ずる。
As a glass substrate of a liquid crystal panel, a conventional 4
Although a size of about 00 × 500 mm was used, a larger substrate was required due to an increase in the size of the panel surface itself and a demand for improved productivity by arranging many panels on one substrate and performing simultaneous processing. It is being used. However, as the size of the substrate increases, the difficulty of maintaining the parallelism between the substrate surface and the cloth surface increases at an accelerated pace, resulting in a decrease in the display quality of the manufactured liquid crystal panel and an increase in productivity due to an increase in adjustment work load. The problem of reduction occurs.

【0010】この発明は、ローラに貼付した布の周面と
テーブル表面との平行度を維持することが容易で、従っ
て大面積のガラス基板をより正確にかつ少ない作業負担
で効率良くラビング加工することができる装置を得るこ
とを課題としている。
According to the present invention, it is easy to maintain the parallelism between the peripheral surface of the cloth affixed to the roller and the table surface, so that a large-sized glass substrate can be rubbed more accurately and efficiently with less work load. It is an object of the present invention to obtain a device capable of performing such operations.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】この発明のラビングロー
ラは、外周面に布を貼着した円筒体53と、この円筒体
の両端内径側にベアリング55を介して回転自在かつ少
なくとも内側への軸方向位置を規定して装着された外側
に向いた円錐受57を有する端部材56と、前記円筒体
の一端に設けられた回転受64とを備えたものである。
A rubbing roller according to the present invention comprises a cylindrical member 53 having a cloth adhered to an outer peripheral surface thereof, and a rotatable and at least inwardly rotating shaft on both inner diameter sides of the cylindrical member via bearings 55. It comprises an end member 56 having an outwardly facing cone receiver 57 mounted in a defined direction and a rotation receiver 64 provided at one end of the cylindrical body.

【0012】請求項2の発明のラビングローラは、上記
構成を備えたラビングローラにおいて、円筒体53の端
部に設けたベアリング55の外側の当該ベアリングと端
部材56との間にベアリング55内を経て円筒体53の
内部に連通する狭い空気流路62が形成され、端部材5
6の少なくとも一方は軸方向に貫通する空気吸引口58
を備えているものである。
A rubbing roller according to a second aspect of the present invention is the rubbing roller having the above structure, wherein the bearing 55 is provided between the bearing 55 and the end member 56 outside the bearing 55 provided at the end of the cylindrical body 53. A narrow air passage 62 communicating with the inside of the cylindrical body 53 is formed through the end member 5.
6 has an air suction port 58 penetrating in the axial direction.
It is provided with.

【0013】この発明のラビング装置は、ラビングロー
ラを支持するローラ支持機構Aと、ラビングローラを回
転させるローラ駆動機構Bと、テーブル22と、テーブ
ルまたはローラ支持機構Aの送り移動機構Cとを備え、
ローラ支持機構Aは対向する先端相互に円錐端66を備
えて移動側が固定側に対して軸方向に進退可能な固定側
及び移動側支持軸41、49を備えているラビング装置
において、固定側支持軸41はローラ支持フレーム38
に回転不能に固定され、移動側支持軸49は前記ローラ
支持フレーム38に回転不能かつ軸方向移動自在に装着
され、前記ローラ支持フレーム38は支持軸41、49
と交叉しかつテーブル22の面と平行な枢支軸37まわ
りに揺動可能であり、ローラ支持フレーム38の前記枢
支軸37まわりの揺動角を調整するチルト量調整手段5
1を備えており、ローラ駆動機構Bは固定側支持軸41
の外周に回転可能に装着された当該支持軸の先端側を向
く回転伝達端63を備えた駆動リング43を備えている
ことを特徴とするものである。
The rubbing device according to the present invention includes a roller support mechanism A for supporting the rubbing roller, a roller drive mechanism B for rotating the rubbing roller, a table 22, and a feed moving mechanism C for the table or roller support mechanism A. ,
The roller support mechanism A is a rubbing device having a fixed side and a movable side support shaft 41, 49 in which the movable side is provided with a conical end 66 at the opposing ends and the movable side is able to advance and retreat in the axial direction with respect to the fixed side. The shaft 41 is a roller support frame 38
The movable side support shaft 49 is fixed to the roller support frame 38 so as to be non-rotatable and axially movable, and the roller support frame 38 is supported by the support shafts 41 and 49.
Tilt amount adjusting means 5 which can swing about a pivot shaft 37 that intersects with the table 22 and is parallel to the surface of the table 22, and adjusts the swing angle of the roller support frame 38 around the pivot shaft 37.
1 and the roller driving mechanism B includes a fixed-side support shaft 41
And a drive ring 43 having a rotation transmitting end 63 that is rotatably mounted on the outer periphery of the support shaft and faces the distal end side of the support shaft.

【0014】請求項4の発明のラビング装置は、上記構
成のラビング装置において、支持軸41、49の少なく
とも一方がその先端に開口しかつ空気吸引源に連通され
た空気吸引孔68を備えているものであり、また請求項
5記載のラビング装置は、固定側支持軸41が前記駆動
リング43の回転伝達端63の内径側に開口しかつ空気
吸引源に連通された空気吸引孔67、68を備えている
ものである。
A rubbing device according to a fourth aspect of the present invention is the rubbing device having the above-described structure, wherein at least one of the support shafts 41 and 49 has an air suction hole 68 opened at the tip thereof and communicated with an air suction source. In the rubbing device according to the fifth aspect, the fixed-side support shaft 41 is opened on the inner diameter side of the rotation transmitting end 63 of the drive ring 43 and has the air suction holes 67 and 68 communicated with the air suction source. It is equipped.

【0015】[0015]

【作用】ラビング加工は、請求項3、4または5記載の
ラビング装置に、この発明の請求項1または2記載のラ
ビングローラを装着して、従来と同様な手順で行われ
る。
The rubbing process is carried out in the same manner as in the prior art by mounting the rubbing roller according to the first or second aspect of the present invention on the rubbing device according to the third, fourth or fifth aspect of the present invention.

【0016】この発明の装置では、ラビングローラ52
は回転しない支持軸41、49で両端を保持され、円筒
体53のみが回転受64及び回転伝達端63を介して駆
動リング43から回転力を受けて回転する。ラビングロ
ーラの端部材56、56も回転しない。
In the apparatus of the present invention, the rubbing roller 52
Are held at both ends by non-rotating support shafts 41 and 49, and only the cylindrical body 53 is rotated by receiving a rotational force from the drive ring 43 via the rotation receiver 64 and the rotation transmitting end 63. The end members 56 of the rubbing roller also do not rotate.

【0017】ラビング加工は、布でガラス基板を摺擦し
て微細な溝を加工するので、細かい塵埃が発生する。ロ
ーラの交換時にこの塵埃がローラの円錐受57と支持軸
の円錐端66との間に挟まった場合、ローラ52はわず
かであるが偏心することになる。両スピンドル73、7
5が回転する従来手段では、この偏心に起因する布周面
と基板ガラス表面との平行度の変動及びギャップの変動
は、ローラ52の回転に伴って周期的に起こるので、い
かに調整しても誤差をキャンセルすることができない。
In the rubbing processing, fine grooves are formed by rubbing a glass substrate with a cloth, so that fine dust is generated. If this dust gets caught between the roller cone receiver 57 and the conical end 66 of the support shaft when replacing the roller, the roller 52 will be slightly eccentric. Both spindles 73, 7
In the conventional means in which the roller 5 rotates, the fluctuation of the parallelism between the cloth peripheral surface and the surface of the substrate glass and the fluctuation of the gap caused by this eccentricity occur periodically with the rotation of the roller 52. The error cannot be canceled.

【0018】一方この発明の手段によれば、円錐受57
と円錐先端66との間に塵埃等がかみこんでローラ52
の偏心ないし傾きが生じたとしても、その偏心ないし傾
きは静的なものであるから、テーブルの昇降量の調整及
びローラ支持機構に設けたチルト量調整手段51の調整
によりキャンセルすることができる。従って、精度調整
の許容幅が広くなり調整作業が容易になるとともに、調
整により得られる精度も高くなる。さらに回転に伴って
生ずる位置変動がないから、加工もより正確にできる。
On the other hand, according to the means of the present invention, the cone receiver 57 is provided.
The dust or the like is trapped between the
Even if the eccentricity or inclination occurs, since the eccentricity or inclination is static, the eccentricity or inclination can be canceled by adjusting the elevation amount of the table and adjusting the tilt amount adjusting means 51 provided in the roller support mechanism. Accordingly, the allowable range of the accuracy adjustment is widened and the adjustment operation is facilitated, and the accuracy obtained by the adjustment is also increased. Further, since there is no positional change caused by rotation, machining can be performed more accurately.

【0019】請求項4記載のラビング装置に請求項2記
載のラビングローラを装着した場合は、ローラに介装し
たベアリングに封入された潤滑油が飛散したとき、それ
をベアリング内を通過する空気流によりローラの内側を
経て排出することができるから、ベアリング55、55
の潤滑油が加工領域に飛散するおそれがなく、より品質
の良い液晶パネルを得ることができる。
In a case where the rubbing roller according to the second aspect is mounted on the rubbing device according to the fourth aspect, when the lubricating oil sealed in the bearing interposed between the rollers is scattered, the lubricating oil flows through the bearing. Can be discharged through the inside of the roller, so that the bearings 55, 55
There is no risk that the lubricating oil will scatter in the processing area, and a higher quality liquid crystal panel can be obtained.

【0020】また、請求項5のラビング装置に請求項1
または2記載のラビングローラを装着してラビング加工
するときは、回転受64と回転伝達端63との当接離隔
による塵埃の発生が生じても、この塵埃が空気流により
排出されるので、塵埃の発生をより低減でき、より品質
の良い液晶パネルを得ることができる。
Further, the rubbing device according to the fifth aspect has a first aspect.
Also, when rubbing is performed by mounting the rubbing roller described in 2 above, even if dust is generated due to contact and separation between the rotation receiver 64 and the rotation transmitting end 63, the dust is discharged by the air flow, so that the dust is discharged. Can be further reduced, and a higher quality liquid crystal panel can be obtained.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】図2ないし図4は本発明の一実施
例を示したものである。実施例のラビング装置は矩形の
ベース1とベースの上面中央の右側に立設された門形の
支持枠2とを有している。ベース1の中央には左右方向
に延びる2本の固定レール3が設けられている。固定レ
ール3には往復台4が移動自在に設けられており、往復
台4の下面に設けたナット部材5は固定レール3の間に
装架されたネジ杆6に螺合している。ネジ杆はベース1
に内蔵された送りモータ7によって正逆転駆動される。
FIG. 2 to FIG. 4 show an embodiment of the present invention. The rubbing device of this embodiment has a rectangular base 1 and a gate-shaped support frame 2 erected on the right side of the center of the upper surface of the base. Two fixed rails 3 extending in the left-right direction are provided at the center of the base 1. A carriage 4 is movably provided on the fixed rail 3, and a nut member 5 provided on the lower surface of the carriage 4 is screwed into a screw rod 6 mounted between the fixed rails 3. Screw rod is base 1
The motor is driven forward and reverse by a feed motor 7 built therein.

【0022】往復台4の上面は、支持枠2側が高い傾斜
角θの上り面8となっており、この上り面8に支持枠側
に延びる2本の移動レール9が固設されている。移動レ
ール9には反支持枠側が低い傾斜角θの下り面11を有
する昇降台12が摺動可能に設けられており、昇降台1
2の下面に設けたナット部材13は移動レール9の間に
装架されたネジ杆14に螺合している。ネジ杆14の支
持枠側端部には従動歯車15が固着されており、この歯
車15は往復台4に内蔵された昇降モータ16の駆動歯
車17に中間歯車18によって連結されている。
On the upper surface of the carriage 4, the support frame 2 side is an upward surface 8 having a high inclination angle θ, and two moving rails 9 extending toward the support frame side are fixed to the upward surface 8. On the moving rail 9, an elevator 12 having a downward surface 11 having a low inclination angle θ on the side opposite to the support frame is slidably provided.
The nut member 13 provided on the lower surface of the screw 2 is screwed to a screw rod 14 mounted between the moving rails 9. A driven gear 15 is fixed to an end of the screw rod 14 on the support frame side, and the driven gear 15 is connected to a driving gear 17 of an elevating motor 16 built in the carriage 4 by an intermediate gear 18.

【0023】昇降台12の上面中央には鉛直方向の回転
軸19が設けられており、この回転軸19の下端には図
示しない傘歯車が固着されている。この傘歯車は昇降台
の側面に設けられた旋回モータ21の駆動軸に固設され
た傘歯車に噛合している。回転軸19の上端には長方形
の旋回テーブル22が固着されている。旋回テーブルの
上面には厚さ方向の透孔23が多数開口しており、また
ノックピン24の没入孔が4つ開口している。透孔23
はその下端で相互に連通しており、連通後に図示しない
真空ポンプに繋がっており、ラビング加工するガラス基
板をテーブルに吸着する。
A vertical rotary shaft 19 is provided at the center of the upper surface of the lift 12, and a bevel gear (not shown) is fixed to a lower end of the rotary shaft 19. The bevel gear meshes with a bevel gear fixed to a drive shaft of a turning motor 21 provided on a side surface of the lift. A rectangular turning table 22 is fixed to the upper end of the rotating shaft 19. A number of through holes 23 in the thickness direction are opened on the upper surface of the turntable, and four immersion holes of the knock pin 24 are opened. Through hole 23
Are connected to each other at their lower ends, and are connected to a vacuum pump (not shown) after the communication, so that a glass substrate to be rubbed is sucked to a table.

【0024】運搬レール25にスライダ26を介して受
台27が設けられており、その受台の上面中央に凹部を
有する受具28が固定されている。受台27は、後述す
るラビングローラ52を交換するときに運搬レール上を
支持枠側に進出して、落下するラビングローラを受け取
り支持枠外に搬出する。
A receiving table 27 is provided on the transport rail 25 via a slider 26, and a receiving tool 28 having a recess at the center of the upper surface of the receiving table is fixed. When the rubbing roller 52 to be described later is replaced, the receiving table 27 advances on the transport rail toward the support frame, receives the rubbing roller that falls, and carries it out of the support frame.

【0025】支持枠2の天板31の中心から旋回軸受3
2の外輪33が垂下しており、旋回軸受の内輪34の下
面に水平板36が固定されている。支持枠にはこの内輪
を固定するためのクランプ装置35が設けられている。
水平板36の中心に水平方向の枢支ピン37を介してロ
ーラ支持フレーム38が揺動可能に保持されている。ロ
ーラ支持フレーム38の一端に中心側に向いた固定支持
台39が設けられており、この固定支持台39に支持軸
41と駆動モータ42とが設けられている。駆動モータ
42は支持軸41の外周にベアリング40を介して回転
自在に設けられた駆動リング43にベルト44によって
連結されている。
From the center of the top plate 31 of the support frame 2, the swing bearing 3
The second outer ring 33 is suspended, and a horizontal plate 36 is fixed to the lower surface of the inner ring 34 of the slewing bearing. The support frame is provided with a clamp device 35 for fixing the inner ring.
A roller support frame 38 is swingably held at the center of the horizontal plate 36 via a horizontal pivot pin 37. At one end of the roller support frame 38, a fixed support table 39 facing the center side is provided. The fixed support table 39 is provided with a support shaft 41 and a drive motor 42. The drive motor 42 is connected to a drive ring 43 rotatably provided on the outer periphery of a support shaft 41 via a bearing 40 by a belt 44.

【0026】ローラ支持フレームの他端には水平方向ガ
イド47が設けられており、この水平方向ガイド47に
移動支持台48が固定支持台39に向かって進退可能に
設けられている。移動支持台48には支持軸49が設け
られており、両支持軸41、49は同一の水平線上にあ
る。またローラ支持フレームの他端にはボールスクリュ
45に螺合する昇降ブロック46が設けられており、ボ
ールスクリュ45は水平板36に装着されたサーボモー
タ51によって回転駆動され、ローラ支持フレーム38
を枢支ピン37回りに微回動する。
A horizontal guide 47 is provided at the other end of the roller support frame, and a movable support 48 is provided on the horizontal guide 47 so as to be able to move toward and away from the fixed support 39. The movable support base 48 is provided with a support shaft 49, and both support shafts 41 and 49 are on the same horizontal line. The other end of the roller support frame is provided with an elevating block 46 screwed to the ball screw 45. The ball screw 45 is driven to rotate by a servo motor 51 mounted on the horizontal plate 36, and the roller support frame 38
Is slightly rotated around the pivot pin 37.

【0027】図1はラビング装置に装着するラビングロ
ーラの断面図である。ラビングローラ52は外周面に布
を貼付する円筒体53を有しており、この円筒体53の
両端内側に突出したフランジ54にベアリング55が設
けられている。ベアリング55の内周面にはリング状の
端部材56が設けられており、この端部材の内周面は、
外側に開いた円錐受57となっている。円錐受57の内
側には開口58が形成されている。円筒体53の両端に
はリング状の凹溝を有するベアリング用止め環59が固
着され、端部材56の外側端面には凸条を有するベアリ
ング用止め環59が固着されている。両止め具の凹溝と
凸条とは相互に遊嵌してジグザグ状のラビリンス62を
形成している。図上右側の止め環59には軸方向に延び
る爪63が設けられており、この爪63は駆動リング4
3のラビングローラ側端面に設けられた爪64に噛合し
ている。なお、駆動リング43の反ラビングローラ側に
もラビリンス65が設けられている。
FIG. 1 is a sectional view of a rubbing roller mounted on a rubbing device. The rubbing roller 52 has a cylindrical body 53 to which a cloth is stuck on the outer peripheral surface, and a bearing 55 is provided on a flange 54 protruding inside both ends of the cylindrical body 53. A ring-shaped end member 56 is provided on the inner peripheral surface of the bearing 55, and the inner peripheral surface of this end member is
The cone receiver 57 is opened outward. An opening 58 is formed inside the cone receiver 57. A bearing retaining ring 59 having a ring-shaped concave groove is fixed to both ends of the cylindrical body 53, and a bearing retaining ring 59 having a ridge is fixed to the outer end surface of the end member 56. The groove and the ridge of both stoppers are loosely fitted with each other to form a zigzag labyrinth 62. The retaining ring 59 on the right side in the figure is provided with a claw 63 extending in the axial direction.
3 is engaged with a claw 64 provided on an end face on the rubbing roller side. A labyrinth 65 is also provided on the drive ring 43 on the side opposite to the rubbing roller.

【0028】固定側支持軸41の先端は円錐受57に嵌
合する形の円錐端66を有しており、円錐端66から若
干後退した位置に半径方向の貫通孔67が設けられてい
る。この貫通孔67は支持軸41の軸心を通る軸孔68
の一端に連通しており、軸孔68の他端は支持軸41の
基端面に開口し、図示しない吸引パイプを介して真空ポ
ンプに接続されている。
The distal end of the fixed-side support shaft 41 has a conical end 66 that fits into the conical receiver 57, and a radial through hole 67 is provided at a position slightly retreated from the conical end 66. The through hole 67 is formed in an axial hole 68 passing through the axis of the support shaft 41.
The other end of the shaft hole 68 opens at the base end surface of the support shaft 41, and is connected to a vacuum pump via a suction pipe (not shown).

【0029】以下ラビング装置の動作について説明す
る。受台27でラビングローラ52を支持して支持枠の
直下に搬送する。移動支持台48を固定支持台39側に
移動して、両支持台に設けた支持軸41、49の円錐端
66をラビングローラの円錐受57に嵌挿する。これに
よりラビングローラ52はローラ支持フレーム38にベ
アリング55を介して挟持されて受台27から浮き上が
る。受台27を後退させて準備が完了する。ガラス基板
69を旋回テーブル22の上面に真空吸着し、昇降モー
タ16及び旋回モータ21を駆動して旋回テーブルの高
さ及び方向を決める。送りモータ7を駆動してガラス基
板を支持枠2側に移動する。旋回軸受を回転して水平板
36を所望の角度に旋回し、駆動モータ42でラビング
ローラ52を回転させる。ガラス基板はラビングローラ
に摺擦され、その上面に一走方向の微細な溝が形成され
る。ラビングローラの回転に伴ってベアリング55、5
5より潤滑油が飛散し、ゴミが発生する。この油やゴミ
は、支持軸の通孔68を介して機外に排出されるので、
ガラス基板の上に油やゴミが飛散することがない。
The operation of the rubbing device will be described below. The rubbing roller 52 is supported by the receiving stand 27 and is conveyed immediately below the support frame. The movable support 48 is moved to the fixed support 39, and the conical ends 66 of the support shafts 41 and 49 provided on both supports are fitted into the conical receiver 57 of the rubbing roller. As a result, the rubbing roller 52 is nipped by the roller support frame 38 via the bearing 55 and floats from the receiving table 27. The cradle 27 is moved backward to complete the preparation. The glass substrate 69 is vacuum-sucked on the upper surface of the swivel table 22, and the elevation motor 16 and the swivel motor 21 are driven to determine the height and direction of the swivel table. The glass substrate is moved toward the support frame 2 by driving the feed motor 7. The slewing bearing is rotated to rotate the horizontal plate 36 to a desired angle, and the driving motor 42 rotates the rubbing roller 52. The glass substrate is rubbed by a rubbing roller, and a fine groove in one running direction is formed on the upper surface thereof. With the rotation of the rubbing roller, the bearings 55, 5
5 scatters lubricating oil and generates dust. Since this oil and dust are discharged outside the machine through the through hole 68 of the support shaft,
Oil and dust do not scatter on the glass substrate.

【0030】ラビングローラの布が摩耗したら、ラビン
グローラを交換する。往復台4がホームポジションに復
帰していることを確認したあと、旋回軸受を回動してラ
ビングローラ52を運搬レール25と直交させる。次い
でラビングローラの直下に受台27を進出させ、ローラ
支持フレームの移動側支持軸49を後退させる。これに
よりラビングローラが両支持軸49から外れ、これに追
随して反対側の端部材も支持軸から外れる。ラビングロ
ーラを保持した受台をホームポジションに戻し、新たな
ラビングローラに交換する。
When the cloth of the rubbing roller is worn, the rubbing roller is replaced. After confirming that the carriage 4 has returned to the home position, the slewing bearing is rotated to make the rubbing roller 52 orthogonal to the transport rail 25. Next, the receiving table 27 is advanced directly below the rubbing roller, and the moving-side support shaft 49 of the roller support frame is retracted. As a result, the rubbing roller is disengaged from both support shafts 49, and the end member on the opposite side is also disengaged from the support shaft. Return the cradle holding the rubbing roller to the home position and replace it with a new rubbing roller.

【0031】受台27を進出させて新たなラビングロー
ラをローラ支持フレームの直下におき、移動側支持軸を
進出させる。支持軸の円錐先端66は端部材の円錐凹所
71に嵌装し、ラビングローラは若干右方向に移動しな
がら、両側の支持軸41、49によって挟持される。こ
のとき嵌合部に塵埃が入って両支持軸とラビングローラ
との軸心がずれることがある。この場合には、サーボモ
ータ51を駆動して昇降ブロック46を上下動してラビ
ングローラの軸心とガラス基板の上面とを平行にして、
再びラビング加工を開始する。
The receiving table 27 is advanced, a new rubbing roller is placed immediately below the roller support frame, and the movable support shaft is advanced. The conical tip 66 of the support shaft is fitted into the conical recess 71 of the end member, and the rubbing roller is nipped by the support shafts 41 and 49 on both sides while slightly moving to the right. At this time, dust may enter the fitting portion and the axes of the two support shafts and the rubbing roller may be shifted. In this case, the servo motor 51 is driven to move the elevating block 46 up and down so that the axis of the rubbing roller is parallel to the upper surface of the glass substrate.
The rubbing process is started again.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】ラビングローラ及びその支持機構の断面図FIG. 1 is a cross-sectional view of a rubbing roller and a supporting mechanism thereof.

【図2】ラビング装置の側面図FIG. 2 is a side view of a rubbing device.

【図3】ラビング装置の平面図FIG. 3 is a plan view of a rubbing device.

【図4】ラビング装置の正面図FIG. 4 is a front view of a rubbing device.

【図5】従来のラビングローラ及びその支持機構の断面
FIG. 5 is a cross-sectional view of a conventional rubbing roller and its supporting mechanism.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

22 旋回テーブル 37 枢支ピン 38 ローラ支持フレーム 41 支持軸 43 駆動リング 49 支持軸 51 サーボモータ 52 ラビングローラ 53 円筒体 55 ベアリング 56 端部材 57 円錐受 58 開口 62 ラビリンス 63 爪 64 爪 66 円錐端 67 貫通孔 68 軸孔 A ローラ支持機構 B ローラ駆動機構 C 送り機構 22 Swivel table 37 Pivot pin 38 Roller support frame 41 Support shaft 43 Drive ring 49 Support shaft 51 Servo motor 52 Rubbing roller 53 Cylindrical body 55 Bearing 56 End member 57 Cone receiver 58 Opening 62 Labyrinth 63 Claw 64 Claw 66 Cone end 67 Penetration Hole 68 Shaft hole A Roller support mechanism B Roller drive mechanism C Feed mechanism

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 外周面に布を貼着した円筒体(53)と、こ
の円筒体の両端内径側にベアリング(55)を介して回転自
在かつ少なくとも内側への軸方向位置を規定して装着さ
れた外側に向いた円錐受(57)を有する端部材(56)と、前
記円筒体の一端に設けられた回転受(64)とを備えた、ラ
ビングローラ。
1. A cylindrical body (53) having a cloth adhered to the outer peripheral surface thereof, and the cylindrical body is mounted on bearings (55) on both inner diameter sides of both ends by defining a rotatable and at least inward axial position through bearings (55). A rubbing roller comprising: an end member (56) having a conical receiver (57) directed outward; and a rotation receiver (64) provided at one end of the cylindrical body.
【請求項2】 円筒体(53)の端部に設けたベアリング(5
5)の外側の当該ベアリングと端部材(56)との間にベアリ
ング(55)内を経て円筒体(53)の内部に連通する狭い空気
流路(62)が形成され、端部材(56)の少なくとも一方は軸
方向に貫通する空気吸引口(58)を備えている、請求項1
記載のラビングローラ。
2. A bearing (5) provided at an end of a cylindrical body (53).
A narrow air flow path (62) communicating with the inside of the cylindrical body (53) via the inside of the bearing (55) is formed between the bearing and the end member (56) outside the end member (56), and the end member (56) At least one of the air suction ports is provided with an air suction port (58) penetrating in the axial direction.
The rubbing roller as described.
【請求項3】 ラビングローラを支持するローラ支持機
構(A) と、ラビングローラを回転させるローラ駆動機構
(B) と、テーブル(22)と、テーブルまたはローラ支持機
構(A) の送り移動機構(C) とを備え、ローラ支持機構
(A) は対向する先端相互に円錐端(66)を備えて移動側が
固定側に対して軸方向に進退可能な固定側及び移動側支
持軸(41,49) を備えているラビング装置において、 固定側支持軸(41)はローラ支持フレーム(38)に回転不能
に固定され、移動側支持軸(49)は前記ローラ支持フレー
ム(38)に回転不能かつ軸方向移動自在に装着され、前記
ローラ支持フレーム(38)は支持軸(41,49) と交叉しかつ
テーブル(22)の面と平行な枢支軸(37)まわりに揺動可能
であり、ローラ支持フレーム(38)の前記枢支軸(37)まわ
りの揺動角を調整するチルト量調整手段(51)を備えてお
り、ローラ駆動機構(B) は固定側支持軸(41)の外周に回
転可能に装着された当該支持軸の先端側を向く回転伝達
端(63)を備えた駆動リング(43)を備えていることを特徴
とする、ラビング装置。
3. A roller support mechanism for supporting a rubbing roller, and a roller drive mechanism for rotating the rubbing roller.
(B), a table (22), and a feed moving mechanism (C) for the table or roller supporting mechanism (A), and the roller supporting mechanism is provided.
(A) is a rubbing device having a fixed side and a movable side support shaft (41, 49) which are provided with conical ends (66) at opposite ends thereof and which are movable on the movable side in the axial direction with respect to the fixed side. The fixed-side support shaft (41) is non-rotatably fixed to the roller support frame (38), and the movable-side support shaft (49) is non-rotatably and axially movable mounted on the roller support frame (38). The support frame (38) intersects with the support shafts (41, 49) and is swingable about a pivot shaft (37) parallel to the surface of the table (22). A tilt amount adjusting means (51) for adjusting a swing angle about the shaft (37) is provided, and the roller drive mechanism (B) is rotatably mounted on the outer periphery of the fixed-side support shaft (41). A rubbing device comprising a drive ring (43) having a rotation transmitting end (63) facing the front end of the rubbing device.
【請求項4】 支持軸(41,49) の少なくとも一方がその
先端に開口しかつ空気吸引源に連通された空気吸引孔(6
8)を備えている、請求項3記載のラビング装置。
4. An air suction hole (6) having at least one of the support shafts (41, 49) opened at the tip thereof and communicated with an air suction source.
The rubbing device according to claim 3, further comprising (8).
【請求項5】 固定側支持軸(41)が前記駆動リング(43)
の回転伝達端(63)の内径側に開口しかつ空気吸引源に連
通された空気吸引孔(67,68) を備えている、請求項3ま
たは4記載のラビング装置。
5. A fixed support shaft (41) is connected to said drive ring (43).
The rubbing device according to claim 3 or 4, further comprising an air suction hole (67, 68) opened on the inner diameter side of the rotation transmitting end (63) of the first air passage and connected to an air suction source.
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