JPH10268201A - 走査型レーザ顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、レーザの強度の変動により発生す
る画像のラインノイズを確実に検出可能とする。 【解決手段】 標本に対してスポット光をライン状に走
査し、そのスポット光に基づく標本からの光を検出し得
られた複数のライン状の画像データを用い、標本画像を
作成する走査型レーザ顕微鏡において、あるライン状の
画像データの一部若しくは全部と、これと隣接する二以
上のライン状の画像データの一部若しくは全部とを比較
し、あるライン状の画像データの少なくとも一部が、隣
接する二以上のライン状の画像データ全ての対応部分に
対して所定値以上の輝度差を有するときに、ラインノイ
ズ発生と判定するラインノイズ検出手段２００を備えた
走査型レーザ顕微鏡。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は走査型レーザ顕微
鏡、更に詳しくはレーザの強度の変動により発生する画
像のノイズを除去する部分に特徴のある走査型レーザ顕
微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】光学顕微鏡は、ステージ上に搭載したプ
レパラート上の試料（標本）を、対物レンズで拡大し観
察する装置であり、一般には、試料の照明としてランプ
等の光源からの照明光をコンデンサレンズにより試料の
観察領域全体に均等になるように照明する構造を採用し
ている。

【０００３】しかしながら、照明系としてこのような構
造を採用した場合、フレア等の問題があり、また、低コ
ントラストの試料の観察するにあたっては大変見ずらい
という問題がある。そこで、これを改善するものとして
点状光投射型（スポット光投射型）の光学顕微鏡である
走査型光学顕微鏡が提案されている。

【０００４】この光学顕微鏡では点光源を対物レンズを
介して観察試料に点状に照射するところにその特徴があ
る。この点状照明により観察試料を透過した透過光又は
反射光、あるいは照明光により試料から発生する蛍光
は、再び対物レンズ、光学系を介して点状に結像され、
これがピンホール開口を有する検出器にて検出されて像
の濃度情報が得られるようになっている。

【０００５】但し、これだけでは点状光源が照射された
点の濃度しか得られないので、試料自体をＸ軸、Ｙ軸の
方向に移動して二次元平面内で機械的に移動させたり
（Ｘ−Ｙ走査方式）、逆に光路をＸ軸、Ｙ軸の方向に振
ることでスキャン走査させ二次元平面をカバ−できるよ
うに照明している。そして、これらのＸ−Ｙ走査により
得られた濃度情報に対応した輝度信号を、ＣＲＴディス
プレイ等の画像表示装置に同期して表示することで画像
として観察できるようにしている。

【０００６】以上が走査型光学顕微鏡の原理である。一
方、走査型光学顕微鏡において、光源としてレーザ光を
使うと画像の解像が向上することが広く知られており、
特に走査型レーザ顕微鏡と呼ばれている。かかる走査型
レーザ顕微鏡では、レーザ走査されている標本の透過光
又は反射光を電気信号に変換する光電子増倍管やフォト
ダイオード等の光電変換検出器と、得られた電気信号を
画像データとして保存、加工、表示をするための構成と
が設けられている。

【０００７】図１１は一般的な走査型レーザ顕微鏡の構
成を示す図である。

【０００８】この走査型レーザ顕微鏡は、光学顕微鏡本
体１１０と、レーザ光源１２０と、２次元走査機構部１
３０と、ピンホール板１４０と、光検出部１５０と、信
号処理部１６０と、表示部１８０とから構成されてい
る。

【０００９】この走査型レーザ顕微鏡においては、ま
ず、レーザ光源１２０から射出されたスポット光が、光
学顕微鏡本体１１０の顕微鏡ステージ上の試料表面上に
照射される。

【００１０】実際には、試料面上をＸＹ走査するため、
導かれたレーザ光は２次元走査機構部１３０にて、対物
レンズに対するスポット光の光路がＸＹ軸方向に振られ
ることになる。

【００１１】図１２はガルバノミラ−ＸＹそれそれ２枚
をつかったときの２次元走査機構の概略構成例を示す図
である。

【００１２】同図に示すように、光源から入射されたレ
ーザ光は、Ｘガルバノミラー及びＹガルバノミラーによ
りＸＹ方向に振られ、ＸＹ走査が行われる。

【００１３】スポット光を照射した結果、試料からの反
射光、又は蛍光の情報は、対物レンズ、２次元走査機構
部１３０を介してピンホール板１４０を通過した後、光
検出部１５０で受光され電気信号に光電変換される。

【００１４】ピンホール板１４０は、所定径のピンホー
ルが開けられたものであり、光検出部１５０の前面の結
像位置に配置される。ピンホール板１４０を通過する光
は試料面上の観察点で焦点にあった情報のみが検出され
ることとなるので、共焦点効果が得られる。２次元走査
機構部１３０の駆動は、信号処理部１６０に設けられた
２次元走査駆動部１６９が走査制御信号を発生すること
で行われる。なお、この２次元走査駆動部１６９の制御
は、信号処理部１６０内のＣＰＵ１６６が行う。また信
号処理部１６０においては、この走査制御信号を基準と
して各種データ処理が行われている。

【００１５】一方、光検出部１５０にて検出された電気
信号は、信号処理部１６０にて処理され表示される。

【００１６】まず、利得可変部１６１にて所定の信号増
幅が行われ、次にオフセット調整部１６２にて所定の信
号の増減が行われる。これらにおける設定量はＣＰＵ１
６６により、Ｄ／Ａ変換部１６８，１６７を介して所望
の値に設定される。

【００１７】次に、オフセット調整部１６２から出力さ
れた信号はＡ／Ｄ変換部１６３にてアナログ／デジタル
変換された後、記録部１６４にて画像データとして一時
記憶される。記憶された画像データは、その後、必要に
応じて加工、表示、保存される。

【００１８】画像データの加工は、ＣＰＵ１６６にて画
像処理されることで行われる。また、表示は、記録部１
６４から画像データが出力され、Ｄ／Ａ変換部１６５を
通して表示部１８０で表示されることで行われる。これ
により得られた画像を観察をすることができる。

【００１９】また、深さ方向つまり３次元情報が必要な
場合は、Ｚ走査駆動部１７０により、所望のＺ位置ヘ移
動させ、画像データを順次記憶部１６４に記憶させ必要
な画像（３次元画像）を構築させる。これにより、３次
元画像の表示、観察も可能となる。

【００２０】これらの観察対象となる標本の例として、
まず、生物標本では、細胞、染色体等がある。これらの
生物標本を観察する場合には、試料に蛍光色素を混合
し、レーザを励起光源として照射し、その発光（蛍光）
を捉えて画像化する。また、工業用標本では、ＩＣ、金
属表面等がある。この場合はレーザの反射光を捉えて画
像化する。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術において、標本からの発光量、もしくは反射光量
は、励起用のレーザ光の強度、レーザの照射対象である
標本の種類や位置、受光系の感度、電気処理系の性能，
また全体を構成する光学系の性能等により決定される。
したがって、最終の画像の信号として常に同じ輝度信号
にするのは困難である。このため、撮像の度に前回撮像
時との画像間での輝度ムラが発生したり、さらには画像
ノイズが混在した画像が表示されることも度々ある。こ
のような、輝度ムラやノイズを削除する方法はいくつか
考案されている。

【００２２】一般的に、画像間の画像のムラをなくすに
は、得られた画像情報を表示しながら、観察者自身が可
変利得増幅回路の利得設定及びオフセット回路のオフセ
ット量の設定を行えばよい。このため多くの装置では所
望の画像状態が得られるように、表示画面の状態を見な
がら画像状態を手動調整することができるようになって
いる。例えば標本の光の信号を画像データに変換する，
光電信号処理回路において画像状態の調整を実現する方
法や、または表示直前の処理においてＬＵＴ（ルックア
ップテーブル）等を用いて最適な表示に調整する方法が
ある。

【００２３】これをさらに拡張した先行例として、特開
平８−１６０３０４号公報に開示された技術がある。

【００２４】図１３は特開平８−１６０３０４号の構成
を示すブロック図である。

【００２５】同図に示す光電変換処理回路においては、
１枚の画面内の特定部分についての利得やオフセット量
の調整することや、各画像別の設定機能、つまり連続し
て取り込む複数画像の１枚毎の利得やオフセット量を個
別に設定するといったことが実現され、適応範囲に幅を
持たせている。具体的には、画像データを１画素として
得られるサンプリングのタイミング信号（サンプリング
パルス）に同期して、１画素毎に増幅率やオフセット量
を可変できリアルタイムに画像補正が可能である。これ
を画素位置に対応して、あるいは領域に対応して行うこ
とができ、所望の状態の画像を得ることができる。ま
た、記憶手段に各画素位置毎に利得データやオフセット
量を記憶させておき、各画素位置での光検出信号に対す
る増幅度や付与するオフセット量を個別に変えることが
できる。これにより、得られる画像は画像の各位置で所
望の状態に調整することができるようになる。従って、
画像の特定部位をリアルタイムに強調または補正して表
示することができる。

【００２６】この特開平８−１６０３０４号公報に開示
された技術を用いれば、各画像毎の画像輝度むらはおさ
えられ、また周期的なノイズはこれによっても除去も可
能となる。

【００２７】ところで、ノイズの発生について他の原因
を考えてみると、システムの構成上重要な部分を占める
励起用光源であるレーザにも、画像にノイズを発生させ
る原因がある。例えばよく使われる光源用レーザとし
て、へリウムネオンレーザ、アルゴンイオンレーザ、ク
リプトンレーザ、クリプトンとアルゴンの混合気体のレ
ーザ等があるが、これらのレーザにおける発振光強度
は、必ずしも時間に対して常に一定ではない。

【００２８】その理由は、気体レーザ管内のプラズマ平
衡状態がごくまれに乱れ、不安定な状態が生じてドロッ
プアウトという現象が発生することがある。ドロップア
ウト現象が発生すると、発振状態が乱され発振波長の光
強度の変動が一瞬生ずる。この励起光の強度変動によ
り、観察光となるべき発光量または反射光の強度が低下
し、画像輝度信号としても低下することとなる。

【００２９】図１２に示したように、試料に対する照射
光はＸ方向のラインを順次ずらすように走査され、この
ラインの集合として画像が取得されるため、上記ドロッ
プアウトによる変動が画像にラインノイズとして混ざ
り、画像の見えを悪くすることになる。

【００３０】図１４は蛍光標本におけるラインノイズの
発生を示す図である。

【００３１】同図（ａ）に示すように、ラインノイズが
発生していないときには、画像状態は良好であるが、同
図（ｂ）に示すように、観察標本にＸ方向の輝度が低下
したラインノイズがのると、画像は見づらいものとな
る。また、これらのノイズは、突然にしかもランダムに
起き、規則性もなく予測ができない現象である。気体レ
ーザの種類によって発生率に差はあるが、それぞれ固有
の確率で発生し、レーザ側の改良でその変動を完全に止
めることは極めて困難である。

【００３２】したがって、従来からレーザの安定性確保
の面でなく、取得した画像データを処理することでライ
ンノイズを少なくする方法が求められている。

【００３３】これらのノイズを除去する方法としては、
例えば平均化やメディアンフィルタ等による画像処理方
法が考えられる。しかし、これらの方法はノイズを単に
目立たなくするだけで、ラインノイズを本質的に除去で
きる方法であるとは言い難い。また、取り込んだ後に平
均化等の画像の処理を行う場合には、ラインノイズの領
域のみを処理するわけでなく、ノイズの発生しない領域
にも不要なフィルタ処理を行ってしまうため、逆に画像
の劣化を招くことにもなる。

【００３４】本発明は、このような実情を考慮してなさ
れたもので、その第１の目的は、レーザの強度の変動に
より発生する画像のラインノイズを確実に検出可能とし
た走査型レーザ顕微鏡を提供することにある。

【００３５】また、第２の目的は、レーザの強度の変動
により発生する画像のラインノイズを確実に検出すると
ともに、検出されたラインノイズを画像劣化を招くこと
なく除去可能とした走査型レーザ顕微鏡を提供すること
にある。

【００３６】

【課題を解決するための手段】本発明の骨子は、ランダ
ムなノイズ発生現象により生じる取得画像のラインノイ
ズを除去するあたり、ライン間で隣り合う画像データは
大きく変わらず相関がある，という画像のラインの相関
性を利用し、レーザ顕微鏡画像のラインノイズを検出す
る手段を講じ、さらに、これを除去する手段を講じた点
にある。

【００３７】また、上記課題の解決は、より具体的に
は、以下のような解決手段により実現される。

【００３８】まず、請求項１に対応する発明は、標本に
対してスポット光をライン状に走査し、そのスポット光
に基づく標本からの光を検出し得られた複数のライン状
の画像データを用い、標本画像を作成する走査型レーザ
顕微鏡において、あるライン状の画像データの一部若し
くは全部と、これと隣接する二以上のライン状の画像デ
ータの一部若しくは全部とを比較し、あるライン状の画
像データの少なくとも一部が、隣接する二以上のライン
状の画像データ全ての対応部分に対して所定値以上の輝
度差を有するときに、ラインノイズ発生と判定するライ
ンノイズ検出手段を備えた走査型レーザ顕微鏡である。

【００３９】次に、請求項２に対応する発明は、請求項
１に対応する発明において、ラインノイズ検出手段によ
り、あるライン状の画像データについてラインノイズ発
生と判定されたときに、これと隣接する二以上のライン
状の画像データを用いてあるライン状の画像データ位置
の補間画像を作成し、あるライン状の画像データの少な
くともラインノイズ発生部分を補間画像で置き換える画
像復元手段を備えた走査型レーザ顕微鏡である。

【００４０】また、請求項３に対応する発明は、請求項
１又は２に対応する発明において、スポット光のライン
状走査を標本の深さ方向にも行う走査型レーザ顕微鏡で
ある。

【００４１】（作用）したがって、請求項１に対応する
発明の走査型レーザ顕微鏡においては、ラインノイズ検
出手段によって、まず、あるライン状の画像データの一
部若しくは全部と、これと隣接する二以上のライン状の
画像データの一部若しくは全部とが比較される。

【００４２】ついで、ラインノイズ検出手段により、あ
るライン状の画像データの少なくとも一部が、隣接する
二以上のライン状の画像データ全ての対応部分に対して
所定値以上の輝度差を有するか否かが判断され、所定値
以上の輝度差ありの場合には、ラインノイズ発生と判定
される。

【００４３】すなわち上述したように、ライン間で隣り
合う画像データは大きく変わらず相関性を有するため、
あるラインのみがその周囲のラインと輝度差を有する場
合には、光源の変動等によるノイズである可能性が高
い。本発明は、この性質を利用してラインノイズを検出
するものである。また、この方法によれば、画像の輝度
が大きく変化するエッジ部をラインノイズと誤検出する
ことがない。

【００４４】したがって、例えば本発明をＸＹ平面上を
Ｘ方向にライン走査する形式の装置に適用した場合に
は、走査して得られたＸＹ平面での各Ｘラインに対し、
その前後ラインとの輝度差によりラインノイズ発生箇所
が判定されることとなる。

【００４５】次に、請求項２に対応する発明の走査型レ
ーザ顕微鏡においては、請求項１に対応する発明と同様
に作用する他、あるライン状の画像データについてライ
ンノイズ発生と判定されたときに、画像復元手段によ
り、隣接する二以上のライン状の画像データを用いてあ
るライン状の画像データ位置の補間画像が作成され、あ
るライン状の画像データの少なくともラインノイズ発生
部分が補間画像で置き換えられる。

【００４６】これにより、ラインノイズを有する画像デ
ータが確実に復元され、かつ、画像の輝度が大きく変化
するエッジ部分の画像を劣化させることもない。

【００４７】このように、周囲の画像データを利用し、
かつノイズ除去の処理の影響を周囲の画像に影響を与え
ないので、自然な階調で良好なレーザ顕微鏡画像を得る
ことができる。

【００４８】したがって、例えば本発明をＸＹ平面上を
Ｘ方向にライン走査する形式の装置に適用した場合に
は、ノイズを検出されたＸラインの前後ライン間の平均
値等を代用することで、当該Ｘライン上のラインノイズ
が除去され、自然な階調の最終画像を得ることが可能と
なる。

【００４９】また、請求項３に対応する発明の走査型レ
ーザ顕微鏡においては、請求項１又は２に対応する発明
と同様に作用する他、スポット光のライン状走査が標本
の深さ方向にも行われる。

【００５０】このため本発明によれば、ＸＹ平面上を走
査する装置のみならず、深さ方向の断面画像を得ようと
する装置や、ＸＹＺ軸の立体画像を得ようとする装置に
対しても、上記請求項１又は２に対応する発明と同様な
効果が奏される。

【００５１】したがって、例えば本発明を深さ方向に走
査する，例えばＸＺ平面についてＸ方向にライン走査す
る形式の装置に適用した場合には、深さのＺ方向の画像
に対してＸＺ平面でのＸラインに対して、ラインノイズ
が発生している箇所が判断される。さらに、Ｚ方向のノ
イズのラインに対して上下ライン間の平均値を代用する
こと等で、ラインノイズを除去した自然な階調の深さ方
向の断面画像が得られる。

【００５２】また例えば、本発明を平面及び深さ方向に
走査する，例えばＸＹＺ空間についてＸ方向にライン走
査する形式の装置に適用した場合には、深さのＺ方向に
何枚も３次元構築した画像において、ＸＹ平面上のＸラ
インに対して、ラインノイズが発生している箇所が判断
される。さらに、Ｘ方向のノイズのラインに対してＸＹ
Ｚ空間内の隣接する複数ラインの画像データを用いて画
素及びライン補間が行われ、ラインノイズが除去され
る。したがって、より自然な階調の画像が得られる。

【００５３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。

【００５４】（発明の第１の実施の形態）図１は本発明
の第１の実施の形態に係る走査型レーザ顕微鏡の一例を
示す構成図であり、図１１に示す従来装置と同一部分に
は同一符号を付して詳細説明を省略する。

【００５５】本実施形態の走査型レーザ顕微鏡は、Ａ／
Ｄ変換部１６３と記憶部１６４と間に、レーザ光源１２
０におけるドロップアウト等に起因するラインノイズを
検出するラインノイズ検出部２００と、この検出された
ラインノイズを除去して画像を復元する画像復元部３０
０とを設けた他、図１１に説明した従来の走査型レーザ
顕微鏡と同様に構成されている。

【００５６】図２は本実施形態におけるラインノイズ検
出部の構成例を示すブロック図である。

【００５７】ラインノイズ検出部２００は、Ａ／Ｄ変換
部１６３よりライン画像が入力され、ｎ＋１ライン目、
ｎライン目及びｎ−１ライン目の画像と、ノイズ判定信
号を画像復元部３００に出力するようになっている。

【００５８】このラインノイズ検出部２００は、ライン
メモリ（＃１）２６１と、ラインメモリ（＃２）２６２
と、比較値設定部（＃１）２６７と、比較値設定部（＃
２）２６８と、比較器（＃１）２６３と、比較器（＃
２）２６４と、判定部２６５とによって構成されてい
る。

【００５９】ラインメモリ（＃１）２６１及び（＃２）
２６２は、輝度データ１ラインを記録することができる
メモリ手段である。これらに記憶されるデータは、いず
れもＡ／Ｄ変換部１６３にてサンプリングしたクロック
信号に同期したデータであり、かつ、Ａ／Ｄ変換部１６
３からラインメモリ（＃１）２６１へ、ラインメモリ
（＃１）２６１からラインメモリ（＃２）２６２へと順
次入力される。このため、同図に示すように、ラインメ
モリ（＃１）２６１は、ｎライン目の輝度データ１ライ
ンを記録し出力し、ラインメモリ（＃２）２６２は、ｎ
−１ライン目の輝度データ１ラインを記録し出力するこ
ととなる。

【００６０】比較値設定部（＃１）２６７，（＃２）２
６８は、書き換え可能なメモリ手段を備えてそれぞれ上
記判断の基準値を保存している。各々は、ラインメモリ
（＃１）２６１，（＃２）２６２からのデータ出力タイ
ミングに合わせて、各基準値を比較器（＃１）２６３，
（＃２）２６４に入力する。比較値設定部（＃１）２６
７，（＃２）２６８では、入力されたデータに対して設
定された基準値との演算を行い、例えば、データ×０．
９等，比較基準値として出力する。

【００６１】比較器（＃１）２６３は、比較値設定部
（＃１）２６７からの出力データ（ｎライン目）と、Ａ
／Ｄ変換部１６３から入力されるデータ（ｎ＋１ライン
目）とを比較し、ｎライン目のデータがｎ＋１ライン目
のデータよりｎライン目のデータの所定の基準値，例え
ば輝度が１０％以上低下した値ならラインノイズと判断
し、それ以外の場合はノイズはないと判断してその結果
を判定部２６５に入力する。同様に、比較器（＃２）２
６４も、比較値設定部（＃２）２６８からの出力データ
（ｎ−１ライン目）と、ラインメモリ（＃１）２６１か
らの出力データ（ｎライン目）とを比較し、ｎライン目
のデータがｎ−１ラインのデータより基準値以上に低下
しているか否かについてその判断結果を判定部２６５に
入力するようになっている。

【００６２】判定部２６５は、比較器（＃１）と比較器
（＃２）の結果が両方共ノイズと判断したとき、すなわ
ち、ｎライン目の輝度が、ｎ＋１ライン目及びｎ−１ラ
イン目の何れと比較しても所定値以上輝度が低下してい
ると判断されるとラインノイズありと判定し、それ以外
のときはラインノイズなしと判定する。そして、この判
定結果に対応したノイズ判定信号を画像復元部３００に
出力する。

【００６３】図３は本実施形態における画像復元部の構
成例を示すブロック図である。

【００６４】画像復元部は、加算器３８１と、割算器３
８２と、画像選択部３８３とによって構成されている。

【００６５】加算器３８１は、入力されたｎ＋１ライン
目及びｎ−１ライン目の画像データを加算し、割算器３
８２はこの加算値を２で割って画像選択部３８３に入力
する。

【００６６】画像選択部３８３には、ラインノイズ検出
部２００からのｎライン目画像データ及びノイズ判定信
号と、割算器３８２からの出力が入力されている。この
画像選択部３８３は、ノイズ判定信号がノイズ有りの場
合には割算器３８２からの出力を選択し、ノイズなしの
場合にはｎライン目画像データを選択してｎライン目の
データとして記憶部１６４に入力する。

【００６７】次に、以上のように構成された本発明の実
施の形態に係る走査型レーザ顕微鏡の動作について説明
する。

【００６８】まず、試料観察に当たり、レーザ光源１２
０から射出されたレーザ光は、２次元走査機構部１３０
にファイバーあるいはファイバーを使うことなく直接に
導かれたのち、対物レンズを通り光学顕微鏡本体１１０
の顕微鏡ステージ上の試料表面上にスポット光として照
射される。

【００６９】なお、試料は、２次元走査駆動部１６９か
らの走査制御信号に基づく２次元走査機構部１３０の動
作によって、レーザ光によるＸＹ走査がなされる。すな
わち、例えば２枚のガルバノミラーを用いてＸ方向とＹ
方向とに走査させ、試料面上でレーザスポット光による
ラスタスキャンがなされる。このＸＹの走査に必要な信
号は、Ｘ、Ｙまたは水平（Ｈ）、垂直（Ｖ）の同期信号
である。このときＸ方向の一走査による画像をライン画
像あるいはラインの画像という。ラスタスキャンによっ
て得られる試料画像はこのラインの画像を順に並べたも
のとなる。

【００７０】スポット光を照射した結果、試料から反射
光、又は蛍光が生じ、これらの観察光が対物レンズ、２
次元走査機構部１３０を介してピンホール板１４０を通
過した後、光検出部１５０にて電気信号に光電変換され
る。

【００７１】本実施形態では、光検出部１５０には光電
子増倍管（ＰＭＴ）が用いられている。ピンホール板１
４０は、所定径のピンホールが開けられたものであり、
光検出部１５０の前面の結像位置に配置され、そこを通
過した光は試料面上の観察点で焦点にあった情報のみ検
出でき、共焦点効果が得られる。

【００７２】検出された電気信号は、信号処理部１６０
にて処理され表示される。まず、利得可変部１６１にて
所定の信号増幅が行われ、次にオフセット調整部１６２
にて所定の信号増減が行われる。次に、オフセット調整
部１６２から出力した信号はのＡ／Ｄ変換部１６３にて
アナログ／デジタル変換された後、ラインノイズ検出部
２００にてレーザの強度変動による画像のラインノイズ
が検出される。

【００７３】図４はＡ／Ｄ変換された画像にラインノイ
ズが生じている場合を示す図である。

【００７４】同図に示すように、ｎ−１ライン目，ｎラ
イン目，ｎ＋１ライン目の画像データのうち、ｎライン
目にラインノイズが生じている。ここでは、判定の基準
値として−１０％が比較値設定部２６７，２６８に設定
されている。したがって、ｎライン目と、ｎ−１ライン
目及びｎ＋１ライン目とにおける輝度データのそれそれ
の輝度差が−１０％以上の低下であれば、ラインノイズ
検出部２００によりラインノイズと判定される。なお、
基準値は状況に応じて設定変更可能である。

【００７５】この場合のラインノイズ検出部２００によ
る具体的な処理は以下の通りである。

【００７６】まず、Ａ／Ｄ変換部１６３よりの入力画像
データであるラインの画像は、ｎ＋１ライン目の画像と
して画像復元部３００に出力されるとともに、ラインメ
モリ（＃１）２６１及び比較器（＃１）２６３に入力さ
れる。このラインメモリ（＃１）２６１は、次のライン
の画像がラインノイズ検出部２００に入力されるタイミ
ングでその記憶したライン画像を画像復元部３００、比
較器（＃２）２６４、比較値設定部（＃１）２６７、ラ
インメモリ（＃２）２６２に出力する。この出力ライン
画像はこの時点ではｎライン目となっている。同様に、
ラインメモリ（＃２）２６２も、記憶したライン画像を
画像復元部３００、比較器（＃２）２６４、比較値設定
部（＃２）２６８に出力する。この出力ライン画像はｎ
−１ライン目となっている。

【００７７】これにより、ラインノイズ検出部２００か
ら画像復元部３００へはｎ＋１，ｎ，ｎ−１ライン目の
画像が入力されるとともに、ｎライン目においてノイズ
が発生したか否かの判定結果を示すノイズ判定信号が画
像復元部３００に対して出力される。

【００７８】このとき、比較器（＃１）２６３において
は、Ａ／Ｄ変換部１６３から入力されるｎ＋１ライン目
と、比較値設定部（＃１）２６７からのｎライン目の輝
度が比較され、ｎライン目の輝度が基準値以上下がって
いるか否かの判断結果が判定部２６５に出力される。同
様に、比較器（＃２）２６４においては、ラインメモリ
（＃１）２６１からのｎライン目と、比較値設定部（＃
２）２６８からのｎ−１ライン目の輝度が比較され、ｎ
ライン目の輝度が基準値以上下がっているか否かの判断
結果が判定部２６５に出力される。

【００７９】判定部２６５においては、比較器（＃１）
２６３及び（＃２）２６４での比較判断結果がｎライン
目の輝度のｎ＋１ライン目との比較でも、ｎ−１ライン
目との比較でも両者とも基準値（ここでは−１０％）以
上下がっている場合に、ラインノイズ有りと判定され
る。このような条件を満すことが、単なるエッジ部でな
く図４に示すようにその１ラインだけでノイズが生じて
いること（輝度低下）を示すものだからである。

【００８０】なお、ラインメモリ（＃１）２６１及び
（＃２）２６２から出力されるデータは、Ａ／Ｄ変換部
１６３でのサンプリングクロック信号に同期したデータ
であるので、画像復元部３００に出力されるｎ＋１，
ｎ，ｎ−１ライン目の画像データは、Ｘ方向の位置が一
致しており、これらの処理に時間的に同期している。こ
の様子が図５に示される。

【００８１】図５は本実施形態における各信号のタイム
チャート図である。

【００８２】同図では、ｎライン目に図４に示すような
ラインノイズが含まれる場合におけるラインノイズ検出
部２００からの各ライン画像出力、比較器出力、判定部
出力及び画像復元部３００の出力が示されている。

【００８３】次に、画像復元部３００の動作について説
明する。

【００８４】図３に示すように画像復元部３００では、
ラインノイズ検出部２００からのノイズ判定信号をもと
に処理を行う。ノイズがない場合には、画像選択部３８
３によりそのままｎラインのデータが記憶部１６４に出
力され、記憶部１６４にてｎラインのデータとして記憶
される。

【００８５】一方、ノイズありの場合には、ｎ−１，ｎ
＋１ラインのデータから復元した値がｎラインデータと
して記憶部１６４に出力される。

【００８６】この補間は、観察する画像は隣り合うライ
ン間のデータは、大きく変わらないという画像のライン
相関性に基づくものである。すなわち失われたｎライン
のデータは上下ライン上の画素データを用いて、ここで
はライン補間により上下ラインの平均値で補間され、自
然な画像に復元される。

【００８７】具体的には、まず、ラインノイズ検出部２
００からのｎ−１，ｎ＋１ライン目のデータが加算器３
８１に入力され、加算される。次に、割算器３８２にて
２で割られ平均値が計算されて、画像選択部３８３に入
力される。そしてノイズ判定信号に基づき、ノイズの場
合は上下ラインの平均値が選択され、ノイズでない場合
はラインノイズ検出部２００からのｎラインのデータそ
のままが選択される。

【００８８】以上の各動作を図５の信号タイムチャート
を使って説明する。

【００８９】まず、ｎラインの６〜９個目のデータに輝
度が低下したラインノイズが発生している場合、ｎ−
１，ｎ＋１ラインのデータの比較後、比較器＃１、＃２
はラインノイズ有りと判断し、それそれＨレベルの信号
を判定部２６５に送る。そして、判定部に両比較器の判
断がノイズ有りなので、最終判断として、ラインノイズ
ありの結果判定をする（Ｈレベル出力）。

【００９０】次に、ラインノイズの発生している期間の
データは、ｎ−１，ｎ＋１ラインのデータから得られた
平均値で補間され、補間後のデータとして置き換えられ
る。これにより、ラインノイズは除去される。

【００９１】また、この処理を使うことで、ラインノイ
ズのみならず孤立点ノイズの除去も可能となる。さら
に、上記処理ではレーザ等に起因するラインノイズのみ
が除去される。すなわち、急に画像の階調が変化するな
どの境界やエッジ部分等はこの処理では無効となり、処
理画像に影響を与えない。

【００９２】次に、補間された画像データでは、記録部
１６４にて画像データとして一時記憶される。記憶され
た画像データは、その後加工、表示、保存される。加工
としてはＣＰＵ１６６により所望の画像処理が行われ
る。また、表示は記録部１６４から画像データが出力さ
れ、Ｄ／Ａ変換部１６５を通して、表示部１８０にて表
示されることで行われる。これにより、画像を観察をす
ることが可能となる。

【００９３】上述したように、本発明の実施の形態に係
る走査型レーザ顕微鏡は、ラインノイズ検出部２００を
設けて前後ライン画像との輝度差からラインノイズを検
出するようにしたので、レーザの強度の変動により発生
する画像のラインノイズを、画像領域エッジ部と混同す
ることなく確実に検出することができる。

【００９４】また、検出されたラインノイズを前後ライ
ン画像により補間する画像復元部３００を設けたので、
画像劣化を招くことなくラインノイズを除去することが
できる。

【００９５】したがって、このように、励起光源である
レーザ光強度の不規則で突然の強度変動の影響による画
像ノイズに対し、画像のラインの相関性を利用しライン
ノイズが除去されるので、ノイズ除去の処理の影響を周
囲の画像に影響を与えず、自然な階調で良好なレーザ顕
微鏡画像を得ることができる。

【００９６】また、この処理を使うことで、ラインノイ
ズのみならず孤立点ノイズの除去も可能となる。さら
に、上記したようにレーザ等に起因するラインノイズの
みが除去され、急に画像の階調が変化するなどのエッジ
部分等はこの処理では除外され、処理画像に影響を与え
ない。

【００９７】（発明の第２の実施の形態）本実施形態の
走査型レーザ顕微鏡は、図１の画像復元部３００内にＸ
Ｚ画像復元部が設けられる他、第１の実施形態と同様に
構成される。本実施形態では、Ｚ走査駆動部１７０を使
い、Ｚ軸を移動しながらＸＺ画像の観測、つまり選択し
たＸラインでの断面図観察を行う場合のラインノイズ除
去について説明する。

【００９８】図６は本発明の第２の実施の形態に係る走
査型レーザ顕微鏡のＸＺ画像復元部の構成例を示すブロ
ック図である。

【００９９】このＸＺ画像復元部は、乗算器３２１，３
２２，加算器３２３，３２４と、割算器３２５と、画像
選択部３２６とによって構成される。

【０１００】画像選択部３２６は、第１実施形態の画像
選択部３８３と同様に構成されており、ラインノイズ検
出部２００からのノイズ判定信号がノイズありの場合に
は割算器３２５の出力を選択し、ノイズありの場合には
ラインノイズ検出部２００からのＺ枚目のラインデータ
を選択し、記憶部１６４に入力する。

【０１０１】また、画像選択部３２６には、Ｚ方向の移
動距離ステップである距離Ａ，ＢがＣＵＰ１６６を介し
て入力されるようになっている。Ｚ方向への移動距離は
必ずしも一定間隔とはかぎらないので、その点も考慮す
る必要がある。

【０１０２】乗算器３２１，３２２は、それぞれＺ−１
枚目のラインデータと距離Ｂとの積、Ｚ＋１枚目のライ
ンデータと距離Ａとの積を加算器３２３に入力する。

【０１０３】加算器３２３は、乗算器３２１及び３２２
からの入力値を加算し、割算器３２５に入力する。

【０１０４】加算器３２４は、距離Ａ及びＢの和を割算
器３２５に入力する。

【０１０５】割算器３２５は、加算器３２３からの入力
を加算器３２４からの入力で割り、その結果を画像選択
部３２６に入力する。この結果、画像選択部３２６に
は、Ｚ−１枚目とＺ＋１枚目との各ラインデータを距離
Ａ，Ｂを考慮した線形補間値が入力される。

【０１０６】次に、以上のように構成された本発明の実
施の形態に係る走査型レーザ顕微鏡の動作について説明
する。

【０１０７】第１の実施形態ではＸＹ平面上の画像のＹ
方向のラインに対してライン補間が行われたが、本実施
形態ではＸＺ平面の画像のＺ方向のラインに対してライ
ン補間が行われ、復元処理が行われる。

【０１０８】図７は本実施形態の走査型レーザ顕微鏡に
より処理するＸＺ平面の画像面を示す図である。

【０１０９】この場合、ＸＹ平面画像がＸＺ断面平面画
像となっただけであるので、ラインノイズ検出部２００
における動作は、第１実施形態の場合と同様である。具
体的には、ｎ−１ライン目，ｎライン目，ｎ＋１ライン
目のデータが、Ｚ−１，Ｚ，Ｚ＋１枚目に対応し、Ｚ枚
目のラインノイズについてのノイズ判定信号が画像選択
部２２６に入力される。

【０１１０】乗算器３２１，３２２，加算器３２３，３
２４と、割算器３２５とは、Ｚ−１，Ｚ＋１枚目のデー
タにて補間を行う。ここで、一定間隔のＺの移動距離の
ステップなら、図３の画像復元部３００でもデータ補間
が可能である。しかし、図８に示すように、移動ステッ
プがそれそれ異なる場合、平均値の補間データでは線形
性を欠き、自然な階調の補正にはならない。

【０１１１】図８はＺ軸移動するときのＺ−１，Ｚ，Ｚ
＋１枚目のラインデータについて示した図である。

【０１１２】同図に示すように、本実施形態の例ではＺ
枚目のラインデータにラインノイズがのっている。ま
た、Ｚ−１〜Ｚ間の移動ステップの距離はＡであり、Ｚ
〜Ｚ＋１間の移動ステップの距離はＢである。すなわち
移動ステップの距離比はＡ：Ｂである。また、このとき
のそれそれの輝度データをＤ（ｘ，ｚ−１）、Ｄ（ｘ，
ｚ）、Ｄ（ｘ，ｚ＋１）、とすると、距離比を考慮して
算出される新たな補間データは、 Ｄ（ｘ，ｚ）＝（Ｂ・Ｄ（ｘ，ｚ−１）＋Ａ・Ｄ（ｘ，ｚ＋１）） ／（Ａ＋Ｂ） …（１） となる。この線形補間により自然な階調の補間ができ
る。

【０１１３】上記した図６のＸＺ画像復元部は、この処
理を行うものである。

【０１１４】すなわちＺ−１，Ｚ＋１ライン目のデータ
に、それそれ移動距離比のデータＡ，Ｂが乗算器３２
１，３２２にて積算され、その値が加算器３２３にて加
算される。一方、加算器３２４にて距離比Ａ，Ｂが加算
され、これらの各加算値をもって割算器３２５にて補間
データが算出算出される。なお、距離Ａ，Ｂは、Ｚ走査
駆動部１７０から顕微鏡本体１１０出力されるものであ
り、ここではＺ走査駆動部１７０を制御するＣＰＵ１６
６によりＸＺ画像復元部に与えられる。

【０１１５】そしてラインノイズ検出部２００の判定部
２６５からの信号をもとに、最終的には選択部３２６に
て、そのままのデータか，補間したデータかの選択が行
われる。これにより、一定ステップだけでなく、任意の
Ｚ方向の移動ステップに対してＸＺ画像を取り込んで
も、ラインノイズの除去が可能となる。

【０１１６】上述したように、本発明の実施の形態に係
る走査型レーザ顕微鏡は、画像復元部３００にＸＺ画像
復元部を設け、任意のＺ方向の移動ステップに対しても
前後ラインに対する相関値を演算できるようにしたの
で、Ｚ方向に一定ステップだけでなく、任意の移動ステ
ップに対してＸＺ画像を取り込んでも、ラインノイズの
除去を行うことができる。

【０１１７】また、本実施形態の走査型レーザ顕微鏡に
よれば、ＸＹ平面画像のみならず、ＸＺ断面画像につい
てもラインノイズの除去されたより自然な高品質な画像
を得ることができる。

【０１１８】（発明の第３の実施の形態）本実施形態の
走査型レーザ顕微鏡は、図１の画像復元部３００の構成
が異なる他、第１の実施形態と同様に構成される。本実
施形態では、Ｚ走査駆動部１７０によりＺ軸を移動しな
がらＸＹＺの３次元画像の構築する場合のラインノイズ
除去について説明する。

【０１１９】本実施形態において、第１、第２の実施形
態と異なる部分は、画像復元部３００の処理である。第
１の実施形態では、ＸＹ平面の前後ラインでラインノイ
ズのデータを復元し、また第２の実施形態では、ＸＺ平
面の前後ラインでラインノイズのデータを復元したが、
本実施形態では隣接画像のデータをもとにＸＹＺ方向の
各画像をつかって補間する場合を説明する。

【０１２０】すなわちＸＹＺの３次元画像の構築する場
合、あるライン画像に対して隣接するライン画像はＹＺ
平面上（ＸＹＺ空間内）に複数存在する。本実施形態で
はこれらの隣接ライン画像のうち複数の隣接画素を用い
て補間を行おうとするものである。したがって、第１、
第２の実施形態の場合では、ラインノイズ検出がされる
と、そのまま連続してノイズ発生のライン画像が補間さ
れたが、本実施形態では、一旦すべての又は補間に必要
なライン画像が記憶部１６４に格納された後に、ノイズ
検出されたライン画像について補間されるようになって
いる。

【０１２１】まず、具体的なライン画像の補間について
説明する前に、本実施形態における画素補間の考え方に
ついて説明する。

【０１２２】例えば画素補間する際に隣接画素の相関性
を用いて補間する場合、それそれの画素間距離から相関
率を求め、すなわち補間する際の画像データの寄与率を
算出し、演算時にこれを考慮して画素補間を行う必要が
ある。

【０１２３】図９はこのような画素補間モデルを示す図
である。

【０１２４】同図において、注目画素Ｄに対する周辺画
素ｎの距離をＬｎ（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，．．．）とし、
その画像データをＤｎ（Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３．．．）とす
ると、 Ｄ＝（Σ（Ｄｎ／Ｌｎ））／（Σ（１／Ｌｎ）） …（２） で注目画素の画像データＤを求めることができる。

【０１２５】この考え方を走査型レーザ顕微鏡における
ライン画像の集合からなる３次元画像の場合に適用す
る。

【０１２６】図１０はＸＹＺ画素補間モデルを示す図で
あり、破線ｌはライン画像を示している。したがって、
点Ｄ（ｘ，ｙ，ｚ），Ｄ（ｘ，ｙ，ｚ−１），Ｄ（ｘ，
ｙ，ｚ＋１），Ｄ（ｘ，ｙ−１，ｚ），Ｄ（ｘ，ｙ−
１，ｚ−１），Ｄ（ｘ，ｙ−１，ｚ＋１），Ｄ（ｘ，ｙ
＋１，ｚ），Ｄ（ｘ，ｙ＋１，ｚ−１），Ｄ（ｘ，ｙ＋
１，ｚ＋１）はＹＺ断面上に示された各ライン画像の点
である。

【０１２７】ここで、Ｄ（ｘ，ｙ，ｚ）のデータに対し
て、ＸＹ画像平面のＸライン間の間隔がＣとし、これは
常に一定間隔であるとする。一方、ＸＹ画像平面間のＺ
方向の移動ステップをそれぞれＡ，Ｂとする。また、補
間対象となるデータをＤ（ｘ，ｙ，ｚ）とすると、図１
０に示すように４方向の隣接画素は、Ｄ（ｘ，ｙ，ｚ−
１），Ｄ（ｘ，ｙ，ｚ＋１），Ｄ（ｘ，ｙ−１，ｚ），
Ｄ（ｘ，ｙ＋１，ｚ）となる。これをもとに、Ｄ（ｘ，
ｙ，ｚ）についての補間演算を以下のように行うことが
できる。

【０１２８】 Ｄ（ｘ，ｙ，ｚ）＝（Ｄ（ｘ，ｙ，ｚ−１）／Ａ ＋Ｄ（ｘ，ｙ，ｚ＋１）／Ｂ＋Ｄ（ｘ，ｙ−１，ｚ）／Ｃ ＋Ｄ（ｘ，ｙ＋１，ｚ）／Ｃ）／（１／Ａ＋１／Ｂ＋２／Ｃ）…（３） これにより、任意の深さ方向の３次元画像に対しても、
最適な補間が可能となり、ラインノイズに対してもライ
ン補間が行われる。

【０１２９】同様な考え方でさらに周囲画素を含んだ８
方向のデータの補間も可能である。また、それ以上の多
数要素を用いた補間であっても（２）式を用いれば可能
である。すなわち、（２）式は補間に関する一般式であ
ってこれによりすべての場合に対応できる。

【０１３０】このように構成された走査型レーザ顕微鏡
では、第１，第２の実施形態の場合と同様に動作し、各
ラインの画像について、ラインノイズの有無が検査され
る他、一旦保存した各ライン画像を用い、（３）式に示
す演算を実現する画像復元部３００によって、ラインノ
イズを有するライン画像について周囲のライン画像を用
いた精度の高い補間演算が行われる。

【０１３１】上述したように、本発明の実施の形態に係
る走査型レーザ顕微鏡は、（３）式に示す相関演算を実
現する画像復元部３００を設けたので、より周辺ノイズ
に影響されない最適な補間演算を行うことができる。

【０１３２】また、本実施形態の走査型レーザ顕微鏡に
よれば、ＸＹ平面画像及びＸＺ断面画像のみならず３次
元画像についても、ラインノイズの除去されたより自然
で高品質な画像を得ることができる。

【０１３３】なお、本発明は、上記各実施の形態に限定
されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に
変形することが可能である。

【０１３４】まず、上記各実施形態で説明した処理は、
ラスタスキャンの画像全てに対しても適用でき、とくに
走査速度、走査サイズ等には制限はない。さらに、入力
の信号は、１系統だけでなく複数入力にて並列処理を行
う場合にも適用可能である。

【０１３５】また、光検出部１５０は、ＰＭＴに限られ
るものでなく、フォトダイオード（ＰＤ）、ＣＣＤ、Ｃ
ＭＤ等の光電変換を効率よく行える他の手段を適用して
もよい。

【０１３６】さらに、２次元走査機構部１３０は、ガル
バノミラーに限られるものでなく、ＸＹの走査が制御で
きる手段であれば、共振ガルバノミラー、ポリゴンミラ
ー、ＡＯＤ等の他の手段でもよい。

【０１３７】また、実施形態に記載した手法は、計算機
に実行させることができるプログラムとして、例えば磁
気ディスク（フロッピーディスク、ハードディスク
等）、光ディスク（ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ等）、半導体
メモリ等の記憶媒体に格納し、また通信媒体により伝送
して頒布することもできる。本装置を実現する計算機
は、記憶媒体に記録されたプログラムを読み込み、この
プログラムによって動作が制御されることにより上述し
た処理を実行する。

【０１３８】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、ラ
イン間の相関性を用いることにより、レーザの強度の変
動により発生する画像のラインノイズを確実に検出でき
る走査型レーザ顕微鏡を提供することができる。

【０１３９】また、本発明によれば、レーザの強度の変
動により発生する画像のラインノイズを確実に検出する
とともに、検出されたラインノイズを画像劣化を招くこ
となく除去できる走査型レーザ顕微鏡を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る走査型レーザ
顕微鏡の一例を示す構成図。

【図２】同実施形態におけるラインノイズ検出部の構成
例を示すブロック図。

【図３】同実施形態における画像復元部の構成例を示す
ブロック図。

【図４】Ａ／Ｄ変換された画像にラインノイズが生じて
いる場合を示す図。

【図５】同実施形態における各信号のタイムチャート
図。

【図６】本発明の第２の実施の形態に係る走査型レーザ
顕微鏡のＸＺ画像復元部の構成例を示すブロック図。

【図７】同実施形態の走査型レーザ顕微鏡により処理す
るＸＺ平面の画像面を示す図。

【図８】Ｚ軸移動するときのＺ−１，Ｚ，Ｚ＋１枚目の
ラインデータについて示した図。

【図９】このような画素補間モデルを示す図。

【図１０】ＸＹＺ画素補間モデルを示す図。

【図１１】一般的な走査型レーザ顕微鏡の構成を示す
図。

【図１２】ガルバノミラ−ＸＹそれそれ２枚をつかった
ときの２次元走査機構の概略構成例を示す図。

【図１３】特開平８−１６０３０４号の構成を示すブロ
ック図。

【図１４】蛍光標本におけるラインノイズの発生を示す
図。

【符号の説明】

１１０…光学顕微鏡本体 １２０…レーザ光源 １３０…２次元走査機構部 １４０…ピンホール板 １５０…光検出部 １６０…信号処理部 １６１…利得可変部 １６２…オフセット調整部 １６３…Ａ／Ｄ変換部 １６４…記録部 １６５，１６７，１６８…Ｄ／Ａ変換部 １６６…ＣＰＵ １６９…２次元走査駆動部 １７０…Ｚ走査駆動部 １８０…表示部 ２００…ラインノイズ検出部 ２６１…ラインメモリ（＃１） ２６２…ラインメモリ（＃２） ２６３…比較器（＃１） ２６４…比較器（＃２） ２６５…判定部 ２６７…比較値設定部（＃１） ２６８…比較値設定部（＃２） ３００…画像復元部 ３２１，３２２…乗算器 ３２３，３２４…加算器 ３２５…割算器 ３２６…画像選択部 ３８１…加算器 ３８２…割算器 ３８３…画像選択部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 標本に対してスポット光をライン状に走
   査し、そのスポット光に基づく前記標本からの光を検出
   し得られた複数のライン状の画像データを用い、前記標
   本画像を作成する走査型レーザ顕微鏡において、 あるライン状の画像データの一部若しくは全部と、これ
   と隣接する二以上のライン状の画像データの一部若しく
   は全部とを比較し、前記あるライン状の画像データの少
   なくとも一部が、前記隣接する二以上のライン状の画像
   データ全ての対応部分に対して所定値以上の輝度差を有
   するときに、ラインノイズ発生と判定するラインノイズ
   検出手段を備えたことを特徴とする走査型レーザ顕微
   鏡。
2. 【請求項２】 前記ラインノイズ検出手段により、ある
   ライン状の画像データについてラインノイズ発生と判定
   されたときに、これと隣接する二以上のライン状の画像
   データを用いて前記あるライン状の画像データ位置の補
   間画像を作成し、前記あるライン状の画像データの少な
   くともラインノイズ発生部分を前記補間画像で置き換え
   る画像復元手段を備えたことを特徴とする請求項１記載
   の走査型レーザ顕微鏡。
3. 【請求項３】 前記スポット光のライン状走査を前記標
   本の深さ方向にも行うことを特徴とした請求項１又は２
   記載の走査型レーザ顕微鏡。