JPH10261019A - 複数製造工程による製品の品質管理装置及びその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の製造工程における各々の品質データか
ら製品全体の品質を表す指標を求め、前記指標の評価に
より、製品の品質向上と不良対策の早期実現を図るこ
と。 【解決手段】 複数の製造工程によって製造される製品
の品質管理装置において、各製造工程における品質デー
タを入力するデータ入力部１０９と、品質データを正規
化する正規化演算部１１６と、製造工程毎に、品質評価
情報１０６を基に正規化演算部からの品質情報の補正を
行う補正演算部１１５と、任意の製造工程における製品
の品質を評価する評価演算部１２１と、を備え、データ
入力部によって入力された品質データを前記正規化演算
部にて正規化し、前記正規化した品質情報を前記補正演
算部にて補正し、前記補正した品質情報を基に任意の製
造工程完了時の製品の品質を前記評価演算部にて評価す
る品質管理装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、技術分野の異なる
複数の製造プロセスを組み合わせて製造される製品（例
えば、薄膜形成プロセスと機械加工技術を組み合わせて
製造される薄膜ヘッド製品）の品質管理装置及びそのた
めの方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、工業製品において行われる品質管
理は、統計的管理手法を用いた任意の単一項目の管理
（主に推移管理）や異なる複数項目の相関解析が主であ
った。しかし、薄膜形成プロセスと機械加工技術の組み
合わせで製造される薄膜ヘッド製品のような全く異なる
技術分野に属する製造プロセスを組み合わせて製造され
る製品の生産ラインは、各々の工程が常に一定の品質を
作り込む能力を保持する必要があるために検査工程が増
加することから、多量の品質管理項目をモニタリングす
る必要があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】多量の品質管理項目
（例えば数百〜数千項目程度）を統計的管理手法を用い
て管理しようとすると、項目数と同数又はそれ以上のグ
ラフ等を観察する必要があり管理工数は膨大なものとな
ってしまう。

【０００４】また、特定の品質管理項目間の結びつきが
強いことが確認できても、それらが必ずしも１対１の関
係になっておらず複雑な組み合わせを伴うため、単一品
質管理項目を対象にした対策を行っても効果を確認する
ことが困難である。

【０００５】本発明の目的は、品質管理値各々から製品
全体の品質を表す指標を求め、その指標を評価すること
により、製品の品質向上と不良対策効果の早期かつ的確
な評価を実現することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明は次のような構成を採用する。

【０００７】複数の製造工程によって製造され、且つ各
々の製造工程毎に管理すべき品質基準が把握されている
製品の品質管理装置において、各製造工程における品質
データを入力するデータ入力部と、前記品質データを品
質管理基準値を基に正規化する正規化演算部と、前記製
造工程毎に、予め定められた品質評価情報を基に前記正
規化演算部からの品質情報の補正を行う補正演算部と、
前記補正演算部からの出力を基に任意の製造工程におけ
る製品の品質を評価する評価演算部と、を備え、前記デ
ータ入力部によって入力された品質データを前記正規化
演算部にて正規化し、前記正規化した品質情報を前記補
正演算部にて補正し、前記補正した品質情報を基に任意
の製造工程完了時の製品の品質を前記評価演算部にて評
価する品質管理装置。

【０００８】また、前記評価演算部は、各製造工程にお
ける製品の品質を評価する品質情報を累積して累積情報
を得、当該製造工程までの段階における管理品質基準を
示す管理情報と前記累積情報とを比較して評価すること
を特徴とする品質管理装置。

【０００９】更に、前記品質管理装置において奏する機
能を達成するための品質管理方法。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を図を用
いて説明する。

【００１１】図２は本発明に係る薄膜ヘッド製品の生産
工程を示したものである。薄膜ヘッド製品の生産工程
は、薄膜形成プロセス工程２０１、機械加工工程２０
２、組立工程２０３、完成品評価工程２０４で構成され
ている。

【００１２】薄膜形成プロセス工程２０１は、ウェハ上
に薄膜ヘッド素子を形成するために、各種金属薄膜を形
成する各種スパッタ工程や絶縁膜等を形成するＣＶＤ成
膜工程や各種金属薄膜に対してパターンを形成するホト
リソ工程やレジスト除去工程や中間電気特性測定工程等
で構成されている。

【００１３】機械加工工程２０２は、薄膜ヘッド製品に
おけるヘッド部分を製造するために、薄膜形成プロセス
工程２０１において薄膜ヘッド素子を形成したウェハを
切断する工程や前記切断品を研磨する工程やミリング処
理により研削する工程やスパッタ処理により保護膜を形
成する工程等で構成されている。

【００１４】組立工程２０３は、機械加工工程２０２で
製造されたヘッド部分に信号線を接着する工程や金属バ
ネに組み付ける工程等で構成されている。

【００１５】完成品評価工程２０４は組立工程２０３に
おいて完成した薄膜ヘッド製品の最終特性を評価し、製
品の良否を決定する工程である。例えば、ヘッドからの
出力電流の大きさ、出力波形の形状、ヘッドの浮上量等
の製品の最終的な評価を得るための工程である。

【００１６】図１は、本発明に係る薄膜ヘッド製品の品
質管理方法を実現するための一実施形態である品質管理
システム構成を示す。サーバ１０１は薄膜ヘッド製品の
生産ライン全体に対しての品質情報を管理するためのも
のとする。サーバ１０１は、品質管理ＤＢ（データベー
ス）１０２及び品質評価情報ＤＢ１０３で構成されてい
る。

【００１７】品質管理ＤＢ１０２は、主に生産ライン全
体の品質情報の管理や、活用系クライアント１１３への
必要な情報の供給を行う。品質評価情報ＤＢ１０３は、
各品質管理項目に対応する品質評価情報を管理する。入
力系１０９はサーバ１０１に対し、必要な品質管理情報
を供給するためのものであり、入力用クライアント１１
０及び自動入力に対応した製造設備１１１及び自動入力
に対応した検査設備１１４で構成されている。

【００１８】入力用クライアント１１０は作業者または
プロセス改善担当者が各種品質情報を入力するための入
力手段（キーボード・バーコードリーダ等）を有し、ま
た各種情報を出力するための出力手段（ＣＲＴ・プリン
タ等）を有すものとする。これは、例えば、図２に示す
各工程で得られた各種の検出データを手入力でインプッ
トするようなことを含む。

【００１９】製造設備１１１は各工程において薄膜ヘッ
ド製品を製造するための設備であり、通信手段１０５を
有し品質管理に必要な情報（例えば、図２の各工程での
各種製造条件に関する情報）を自動または手動でサーバ
１０１に送信することが可能なものとする。検査設備１
１４は各工程において製造された薄膜ヘッド製品を検査
するための設備であり、通信手段１０５を有し品質管理
に必要な情報をサーバ１０１に自動送信することが可能
なものとする。この検査設備１１４は図２に示す各工程
で種々検査された結果得られたデータを転送するための
ものを含む。

【００２０】活用系クライアント１１３は、サーバ１０
１の品質管理ＤＢ１０２より必要な品質管理情報１１２
を取得するためのものであり、作業者またはプロセス改
善担当者が操作するための操作手段（キーボード・マウ
ス等）及び出力手段（ＣＲＴ・プリンタ等）を有すもの
とする。

【００２１】図３を用い、本発明の品質管理方式の詳細
を説明する。

【００２２】薄膜形成プロセス工程２０１・機械加工工
程２０２・組立工程２０３・完成品評価工程２０４の各
工程において、それぞれの工程における作業単位（各工
程には複数の作業単位が存在し得る）が完了すると、ス
テップ３０１において、入力用クライアント１１０を用
いた作業者またはプロセス改善担当者による手動入力作
業の伴う通信手段１０５を用いた入力、及び製造設備１
１１より通信手段１０５を用いた自動入力、及び検査設
備１１４より通信手段１０５を用いた自動入力により、
サーバ１０１に各工程毎の品質データ１０８を送信する
（後述するが、図５の項目５０１参照）。

【００２３】サーバ１０１においては、受信した品質デ
ータ１０８は一旦品質データバッファ１０４に格納す
る。ステップ３０２においては、品質データバッファ１
０４より品質データ１１８を取り出し、前記品質データ
１１８を管理基準を基に正規化演算部１１６にて正規化
を行う。ステップ３０３においては、ステップ３０２に
基づく結果として単純品質指数１０７を生成する。これ
により、異なる品質データ間における単位や絶対値の大
きさの差異を省くことができ、品質データの一元化を図
ることができる。以上説明したことの具体的数値につい
ては、詳しく後述するが、図５に示す５０２〜５０４の
数値を参照のこと。

【００２４】また、ステップ３０４においては、ステッ
プ３０１において入力された品質データに対応する、複
数の種類の情報で構成されている品質評価情報１０６を
品質評価情報ＤＢ１０３より取得する。ステップ３０５
においては、評価情報展開部１１９にて品質評価情報１
０６を構成する各々の情報を展開し再度組み合わせるこ
とを行い、ステップ３０６において品質補正情報１２０
を生成する。以上説明したことの具体的数値について
は、詳しく後述するが、図５に示す５０５〜５１５の数
値を参照のこと。

【００２５】ステップ３０７においては、補正演算部１
１５にて、ステップ３０３において生成された単純品質
指数１０７をステップ３０６において生成された品質補
正情報１２０を用いて補正し、ステップ３０８において
補正品質指数１１７を生成し、最終評価を行う。ステッ
プ３０９において、ステップ３０８で生成され最終的な
評価を終えた補正品質指数１１７を登録する。以上説明
したことの具体的数値については、詳しく後述するが、
図５に示す５１６〜５１９の数値を参照のこと。

【００２６】このようにサーバ１０１内の品質管理ＤＢ
１０２に蓄積されたデータは、関連部署の作業者及びプ
ロセス改善担当者が必要なときに活用系クライアント１
１３を用いて、品質管理情報１１２として取り出すこと
により各種品質管理を行うことができる。

【００２７】次に、本発明を適用した結果の一例を示
す。

【００２８】図４に薄膜ヘッド製品に本発明を適用した
ときのアルゴリズムを示す。

【００２９】薄膜ヘッド製品の品質データ４０１は、薄
膜形成プロセスデータ４０２、機械加工データ４０３、
組立データ４０４、完成品評価データ４０５で構成され
る。これらのデータは、各工程における入力系により作
成される。

【００３０】品質データ４０１はステップ４０６におい
て、各データを構成している品質管理項目の管理領域の
中心値を基に各品質管理項目における管理領域中心値か
らの差の割合を下記の（数１）を用いて算出し、単純品
質指数４０７を生成する。

【００３１】 単純品質指数＝（測定値−管理領域中心値） ÷管理領域中心値×１００ （数１） 上記の（数１）から分かるように、前記指数は、測定値
が管理領域中心値に近似すればするほど零に近付く数値
となる。

【００３２】また、品質評価情報４０８は、工程能力情
報４０９、工程距離情報４１０、プロセス優先度情報４
１１で構成される。工程能力情報４０９は、各品質管理
項目毎に工程能力指数を算出したものである。

【００３３】一般的に、異なる品質管理項目の間におい
て全く同一の測定値・管理領域中心値が存在したとして
も、各々の母集団の分布まで同一ということは考えにく
い。すると、それぞれの測定値のそれぞれの母集団内に
おける位置づけも異なってくることになる。すなわち、
同一の測定値だとしても、一方は平均値近傍の値であり
もう一方は分布の外側に位置する、というような局面も
十分考えることができ、母集団の持つばらつきの範囲の
中で当該データが母集団に対しどのような関係性を持っ
ているのかを示さなければならず、その情報を各々の品
質管理項目に付加しなければならない。

【００３４】そのために前記工程能力情報４０９を用
い、各々の品質管理項目の管理領域とそれに対応する母
集団の標準偏差の比率を品質評価情報に与え、項目毎の
測定値の分布を考慮できるようにする。

【００３５】工程距離情報４１０は、あらかじめ登録し
ておいた全工程内における各工程の位置情報を基に、任
意の原点工程からの距離（原点工程と当該工程の間の工
程数）を算出したものである。前記工程距離情報を用い
るのは、製品としての仕様及び歩留まりを決定する完成
品評価工程に近い工程ほど、製品としての仕様及び歩留
まりに対する関与が深くなるためである。

【００３６】プロセス優先度情報４１１は、設計者及び
プロセス改善担当者が製品の特性の決定に大きな影響を
与えると思われるプロセス（工程）を５段階にランク付
けを行ったものである。前記プロセス優先度情報を用い
る理由は、最終特性を決定する工程及び項目をプロセス
改善担当者の観点からランク付けを行うことにより、品
質管理の手順に単純な統計解析以外の視点を含ませるた
めである。

【００３７】ステップ４１２において、品質補正情報４
１３を下記の（数２）を用いて展開する。

【００３８】 品質補正情報＝｛工程能力×ａ｝＋｛工程距離×ｂ｝ ＋｛プロセス優先度×ｃ｝ （数２） （ａ,ｂ,ｃ：展開定数） 上記（数２）において、工程能力・工程距離・プロセス
優先度は実際の値をそのまま適用し、各値に異なる展開
定数を乗ずる。展開定数は、品質補正情報を構成する各
々に対する重み付けを行うもので、１機種毎に固有の値
を持つ。展開定数を設ける理由として、各機種によっ
て、工程能力情報４０９／工程距離情報４１０／プロセ
ス優先度情報４１１のどれを重視して品質評価情報４０
８を展開し、補正係数４１４を算出するか異なるために
よる。

【００３９】ステップ４１５においては、単純品質指数
４０７と品質補正情報４１３（補正係数４１４）を乗算
して補正品質指数４１６を生成する。なお、展開定数は
新機種の生産初期段階においては算出するための定量的
なデータが不足するため、従来機種において設定した値
を用いる。本定数は、各品質管理項目毎の基準を満たし
たときに保証される最終歩留と、実際の最終歩留との検
証が可能になった段階で更新する。

【００４０】以上説明したように、概略的にいえば、図
４の左側のラインは、各工程で得られたデータの管理領
域中心値からのズレの程度を表わすものであり、右側の
ラインは各工程でのデータが完成品の最終特性に及ぼす
影響力の程度を表わすものである。

【００４１】図５に図４に示したアルゴリズムに基づく
結果の一例を示す。

【００４２】表中の５０１列は各種品質項目を示す。こ
こでは薄膜ヘッド製品の代表的な品質管理項目であるΔ
Ｖ−ＨやＭＲ膜厚等を列記している。５０２列は前記５
０１列に記載している項目各々の測定値を列記してい
る。５０３列は前記５０１列に記載している項目各々の
管理域中心値を列記している。５０４列は５０２列に記
載している各測定値に対応する、ステップ４０６に示し
た手順によって導き出した単純品質指数４０７の結果を
列記している。前記５０４列の指数は、測定値のズレの
少なさによっては零に近付くものである。

【００４３】５０５列は各項目の工程能力指数を列記し
ている。５０６列は、５０５列に記載している工程能力
指数の各々の逆数を列記している。逆数を取るのは、工
程能力情報４０９に値の大きいほど製品の品質を悪くす
る傾向が増すという性質を持たせるために行う。５０７
列は５０６列に記載している工程能力指数の逆数値の中
の最大値を１としたときの各値の比率を列記している。

【００４４】５０８列は任意の原点工程からの距離を列
記している。この例では、各工程が投入から何工程目に
位置するのかを示す数値を列記している。５０９列は５
０８列に記載している工程距離の中の最大値を１とした
ときの各値の比率を列記している。上流工程の工程距離
の値を小さくしたのは、製品の最終品質を評価する完成
品評価工程に近い工程ほど、最終品質への関与が深くな
るためである。

【００４５】５１０列はプロセス改善担当者の見解に基
づいた製品の最終特性の決定に関する影響力のランクを
最小０．２／最大１．０の０．２おきに５段階に分けた
値を列記している。数値が大きいほど最終品質への関与
が深いものとする。５１１項は品質評価情報を構成する
工程能力情報４０９、工程距離情報４１０、プロセス優
先度情報４１１のそれぞれを重み付けした値を記述して
いる。５１２列は５０７列に記載した工程能力指数の逆
数の比率に乗ずる値である。５１３列は５０９列に記載
した工程距離の比率に乗ずる値である。５１４列は５１
０列に記載したプロセス優先度に乗ずる値である。５１
１項に記載する値は、５１２列に記載した値と５１３列
に記載した値と５１４列に記載した値の総和が、必ず１
となるようにする。

【００４６】５１５列はステップ４１２に示した手順に
よって導き出した補正係数４１４の結果を列記してい
る。この例では、５０７列に記載した値と５１２列に記
載した値の積と、５０９列に記載した値と５１３列に記
載した値の積と、５１０列に記載した値と５１４列に記
載した値の積の総和を列記している。

【００４７】５１６列はステップ４１５に示した手順に
よって導き出した補正品質指数４１６の結果を列記して
おり、測定値が管理域の中の管理域中心値より大きい領
域の時は「＋」を示し、測定値が管理域の中の管理域中
心値より小さい領域の時は「−」を示す。この例では、
５０４列に記載している単純品質指数と５１５列に記載
している補正係数を乗算した値を列記している。５１７
列は、５１６列に記載している補正品質指数の各値の絶
対値を列記している。

【００４８】５１８列は５１７列に記載した値の各品質
管理項目における累計（各品質管理項目を図５で上から
順にその品質指数を加算した値）を列記している。５１
９列は補正品質指数の累計値の基準を列記している。

【００４９】前記５１８列の累計品質指数の意味につい
て記すと、例えば、図５で管理項目の第３番目のΔＶー
Ｈにおける指数０．４２９は、それ以前の工程での管理
項目の指数を加算的に組み込んだ数値である。そして、
その直前での第２番目の工程の指数０．１５７が基準値
（５１９列）０．２００よりも低い値を示していてこれ
までの第１と第２番目を合わせた工程では品質に総体と
して問題がなかったことを示している。ところが、第３
番目の工程の５１８列と５１９列の数値をみると、５１
８列の数値が基準値５１９列のそれを越えており、第３
番目の工程で品質管理上問題が生じていることが分かる
のである。累計品質指数５１８の数値が５６９列の数値
以内に収まるならば品質管理上問題はないが、この５６
９列の数値を越える場合は問題がある、ということを示
す数値が５１９列の数値である。

【００５０】５１８列の累計品質指数は、５０４列の単
純品質指数の数値を基礎としたものであり、且つ前記単
純品質指数の数値は各工程での測定値が管理領域中心値
に近付けば零に近似するから、品質上その測定値が予期
される数値であれば、累計品質指数５１８は零に近付く
数値となるものである。

【００５１】関連部署の作業者及びプロセス改善担当者
は、５１８列に記載している各値を５１９列に記載した
各値と比較し、容易に判定を行い意思決定が可能になる
表現形式にて提示された活用系クライアント１１３を用
いて、不良解析を行っても良い。また、作業者及びプロ
セス改善担当者は前記提示を基に設備改善を行っても良
い。また、作業者及びプロセス改善担当者は前記提示を
基に関連部署に問い合わせを行ったり指示を行っても良
い。

【００５２】図６に活用系クライアント１１３の画面例
を示す。

【００５３】この例では、５０１列に記載している品質
管理項目６０３をＸ軸に取り、５１８列に記載した補正
品質指数（絶対値累計）６０１と５１９列に記載した補
正品質指数（基準累計）６０２をＹ軸に取った折れ線グ
ラフを示している。このグラフは品質管理値が入力系１
０９より入力され品質管理ＤＢ１０２によって管理する
品質管理情報が増加する毎に、Ｘ軸の品質管理項目６０
３も増加していく。

【００５４】作業者及びプロセス改善担当者はこれを見
ることにより、製品の製造途中において各品質管理値の
管理領域内の位置づけを把握することができることか
ら、製造途中に最終的な品質の予測を行うことが可能と
なり、迅速な対策指示がかけられると共に、無駄な不良
品の作り込みもせずにすむようになる。

【００５５】具体的に云えば、図６に示すような各工程
での品質管理項目で品質管理を行うことは詳記してない
が前提となっており、この段階で、例えば、単純品質指
数が所定値を越える場合には品質管理上問題があるとし
て、その段階での製品をそれ以降の工程に搬送しないよ
うにする。

【００５６】そして、製造工程における各工程での品質
管理にはそれぞれ問題がなくとも、各工程までの（それ
以前の全ての工程を含めて）累積した品質管理上の数値
には問題が生じるということがある。本発明における累
計品質指数５１８，５１９は、以上説明したような、そ
れ以前の全ての工程を含めた工程での品質管理を行おう
とするものであり、図６の累計値６０１が図６の基準値
６０２を越えた段階で品質管理問題ありと判断するもの
である。更に、図６で分かるように、品質管理項目毎に
品質指数が表示されるので、どの工程での品質管理で課
題が発生しているか、または発生しつつあるかが明確に
表示されるのである。

【００５７】このように多数の品質管理項目各々の状況
を容易かつ速やかな把握が可能となることから、作業者
及びプロセス改善担当者における状況把握から対策まで
の時間の短縮が図られ、製品の品質向上に大きく寄与す
ることができる。

【００５８】

【発明の効果】本発明によれば、複数の製造工程によっ
て構成され、かつ各々の製造工程毎に管理すべき品質基
準が明確になっている製品の品質管理方法において、品
質管理値各々から製品全体の品質を表す指標を求め、そ
の指標を評価することにより、製品の品質向上と不良対
策効果の早期かつ的確な評価を実現することができる効
果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る品質管理システムの一実施形態を
示す機能構成図である。

【図２】本発明に係る薄膜ヘッド等の薄膜形成プロセス
及び機械加工技術を用いた製品の製造工程の一例を示す
図である。

【図３】本発明に係る品質管理システムが行う品質デー
タの入力から品質管理ＤＢ登録までの処理手順を示す図
である。

【図４】本発明に係る品質管理システムが行う品質デー
タの入力から補正品質指数算出までのアルゴリズムを示
す図である。

【図５】本発明に係る品質管理システムが行う品質デー
タの補正に必要な情報と補正結果の一実施形態を示す図
である。

【図６】本発明に係る品質管理システムの活用系クライ
アントの一画面例を示す図である。

【符号の説明】

１０１ サーバ １０２ 品質管理ＤＢ １０３ 品質評価情報ＤＢ １０４ 品質データバッファ １０５ 通信手段 １０６ 品質評価情報 １０７ 単純品質指数 １０８，１１８ 品質データ １０９ 入力系 １１０ 入力用クライアント １１１ 製造設備 １１２ 品質管理情報 １１３ 活用系クライアント １１４ 検査設備 １１５ 補正演算部 １１６ 正規化演算部 １１７ 補正品質指数 １１９ 評価情報展開部 １２０ 品質補正情報 １２１ 評価演算部 ４０１ 品質データ ４０２ 薄膜形成プロセスデータ ４０３ 機械加工データ ４０４ 組立データ ４０５ 完成品評価データ ４０６ 測定値と管理領域中心値の差と管理領域中心値
の比 ４０７ 単純品質指数 ４０８ 品質評価情報 ４０９ 工程能力情報 ４１０ 工程距離情報 ４１１ プロセス優先度情報 ４１２ 工程能力指数と展開指数ａの積と工程距離と展
開指数ｂの積とプロセス優先度と展開指数ｃの積の和 ４１３ 品質補正情報 ４１４ 補正係数 ４１５ 単純品質係数と補正係数を乗算 ４１６ 補正品質指数 ５０１ 項目 ５０２ 測定値 ５０３ 管理域中心値 ５０４ 単純品質指数 ５０５ 工程能力指数 ５０６ 工程能力指数（逆数） ５０７ 工程能力指数（比率） ５０８ 工程距離 ５０９ 工程距離（比率） ５１０ プロセス優先度 ５１１ 重み付け項 ５１２ 重み付け（工程能力指数） ５１３ 重み付け（工程距離） ５１４ 重み付け（プロセス優先度） ５１５ 補正係数 ５１６ 補正品質指数 ５１７ 補正品質指数（絶対値） ５１８，６０１ 補正品質指数（絶対値累計） ５１９，６０２ 補正品質指数（基準累計） ６０３ 品質管理項目

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の製造工程によって製造され、且つ
   各々の製造工程毎に管理すべき品質基準が把握されてい
   る製品の品質管理装置において、 各製造工程における品質データを入力するデータ入力部
   と、 前記品質データを品質管理基準値を基に正規化する正規
   化演算部と、 前記製造工程毎に、予め定められた品質評価情報を基に
   前記正規化演算部からの品質情報の補正を行う補正演算
   部と、 前記補正演算部からの出力を基に任意の製造工程におけ
   る製品の品質を評価する評価演算部と、を備え、 前記データ入力部によって入力された品質データを前記
   正規化演算部にて正規化し、前記正規化した品質情報を
   前記補正演算部にて補正し、前記補正した品質情報を基
   に任意の製造工程完了時の製品の品質を前記評価演算部
   にて評価することを特徴とする品質管理装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の品質管理装置におい
   て、 前記評価演算部は、各製造工程における製品の品質を評
   価する品質情報を累積して累積情報を得、当該製造工程
   までの段階における管理品質基準を示す管理情報と前記
   累積情報とを比較して評価することを特徴とする品質管
   理装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の品質管理装置
   において、 前記評価演算部において比較した結果に基づいて、当該
   製造工程の製造条件の改善を指示することを特徴とする
   品質管理装置。
4. 【請求項４】 請求項１または２に記載の品質管理装置
   において、 前記補正演算部は、当該製造工程の工程能力情報、最終
   製造工程から当該製造工程までの工程数、当該製造工程
   が製造する品質の最終的な製品品質に対する重みを示し
   た情報を用いて、前記正規化した品質情報を補正するこ
   とを特徴とする品質管理装置。
5. 【請求項５】 請求項１または２に記載の品質管理装置
   において、 前記複数の製造工程によって製造される製品が薄膜ヘッ
   ド製品であることを特徴とする品質管理装置。
6. 【請求項６】 複数の製造工程によって製造され、且つ
   各々の製造工程毎に管理すべき品質基準が把握されてい
   る製品の品質管理方法において、 各製造工程における品質データを入力し、 前記品質データを品質管理基準値を基に正規化し、 前記製造工程毎に、予め定められた品質評価情報を基に
   前記正規化した品質情報の補正を行い、 前記補正された品質情報を基に任意の製造工程における
   製品の品質を評価演算することを特徴とする品質管理方
   法。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の品質管理方法におい
   て、 前記評価演算は、各製造工程における製品の品質を評価
   する品質情報を累積して累積情報を得、当該製造工程ま
   での段階における管理品質基準を示す管理情報と前記累
   積情報とを比較して評価することを特徴とする品質管理
   方法。