JPH10256672A - 半導体レーザモジュール、光ファイバ増幅器及び光伝送システム - Google Patents

半導体レーザモジュール、光ファイバ増幅器及び光伝送システム

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JPH10256672A
JPH10256672A JP9062784A JP6278497A JPH10256672A JP H10256672 A JPH10256672 A JP H10256672A JP 9062784 A JP9062784 A JP 9062784A JP 6278497 A JP6278497 A JP 6278497A JP H10256672 A JPH10256672 A JP H10256672A
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semiconductor laser
optical fiber
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optical
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Masahiro Mitsuta
昌弘 光田
Soichi Kimura
壮一 木村
Tomoaki Uno
智昭 宇野
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体レーザモジュールにおいて、光ファイ
バからの反射戻り光が半導体レーザ素子に入射しないよ
うにすると共に、半導体レーザ素子の活性層で発生する
熱を速やかに放熱する。 【解決手段】 レーザマウント102の保持された半導
体レーザ素子103の活性層104は、該半導体レーザ
素子103の高さ方向の中央部よりも底面102a側に
形成されている。活性層104から出射されたレーザ光
は、集光レンズ105及び光アイソレータ106を通過
して光ファイバ107の入射部に入射する。光ファイバ
107の入射部で反射された戻り光は、光アイソレータ
106及び集光レンズ105を通過してレーザマウント
102の端面に集光する。光アイソレータ106は、常
光を屈折させながら通過させる一方、異常光を屈折させ
ることなく通過させる第1及び第2のルチル111、1
12と、光の偏光面を時計回り方向に45度回転させる
ファラデー素子113と、ファラデー素子113に磁場
を印加する永久磁石114とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複屈折結晶板とフ
ァラデー素子とからなる光アイソレータを有する半導体
レーザモジュール、該半導体レーザモジュールを用いた
光ファイバ増幅器及び光電送システムにおいて、半導体
レーザ素子から出射され光ファイバから戻ってくる反射
戻り光の影響を低減して出力を安定させる技術に関す
る。
【0002】
【従来の技術】光伝送システムにおいては、信号光の光
源となる半導体レーザ素子、光ファイバ増幅器における
励起用光源となる半導体レーザ素子等、多数の半導体レ
ーザ素子が使用される。これらの半導体レーザ素子は、
伝送用光ファイバや増幅用光ファイバと結合される半導
体レーザモジュールに組み込まれる。この場合、半導体
レーザモジュールに組み込まれた半導体レーザ素子から
出射されたレーザ光が光ファイバの入射部で反射されて
反射戻り光となって半導体レーザ素子に入射すると、励
起用光源の光出力が変動したり、光伝送システムの雑音
特性が劣化したりする。
【0003】また、光ファイバ増幅器に組み込まれた励
起用光源の半導体レーザ素子から出射されたレーザ光
が、他の半導体レーザ素子に入射すると、該他の半導体
レーザモジュールのモニタPD(Photo Ditecter)から
出力される電流が増加するため、他の半導体レーザ素子
からの出力を一定に制御することができない。
【0004】そこで、通常、光ファイバからの反射戻り
光や励起用光源の半導体レーザ素子からのレーザ光が半
導体レーザ素子に入射することを防止する光アイソレー
タが半導体レーザジュールに組み込まれる。
【0005】半導体レーザモジュールに組み込まれる光
アイソレータとしては、実開昭56−49517号公報
又は特開平1−99018号公報に示されるように、一
対の複屈折結晶板例えばルチル光学結晶板(以下、単に
ルチルと称する。)とファラデー素子とを組み合わせて
なるものが知られている。
【0006】図20は、複屈折結晶板とファラデー素子
とが組み合わされてなる光アイソレータを有する第1の
従来例としての半導体レーザモジュールの断面構造を示
している。図20に示すように、図示しないパッケージ
内に設けられたペルチェ素子1の上にはレーザマウント
2が配置されており、該レーザマウント2の上には半導
体レーザ素子3が保持されている。半導体レーザ素子3
の活性層4から一の方向(図20における左の方向)に
出射されたレーザ光(光路を実線で示す。)は集光レン
ズ5により集光されて光アイソレータ6に到達した後、
該光アイソレータ6を通過して光ファイバ7の入射部に
入射する。そして、光ファイバ7の入射部で反射された
戻り光(光路を破線で示す。)は、光アイソレータ6、
集光レンズ5を通過して半導体レーザ素子3に入射す
る。一方、半導体レーザ素子3から他の方向(図20に
おける右の方向)に出射されたレーザ光はモニタPD8
により光強度が検出され、検出された光強度は電流信号
に変換されて半導体レーザ素子3の出力を制御するのに
用いられる。
【0007】光アイソレータ6は、第1の複屈折結晶板
11、第2の複屈折結晶板12、第1の複屈折結晶板1
1と第2の複屈折結晶板12との間に設けられたファラ
デー素子13、及びファラデー素子13に磁場を印加す
る永久磁石14によって構成されている。第1の複屈折
結晶板11及び第2の複屈折結晶板12は、光学軸と平
行な偏光面を持つ光(異常光)を屈折させながら通過さ
せる一方、光学軸と垂直な偏光面を持つ光(常光)を屈
折させることなく通過させる。ファラデー素子13は入
射する光を、その偏光面を常に一の方向に所定角例えば
45度回転させながら通過させる。図21(a)は、第
1の複屈折結晶板11の光学軸の方向(Y軸正方向)を
示し、図21(b)はファラデー素子13が光の偏波面
を回転させる方向及び回転角度(時計回り方向に45
度)を示し、図21(c)は第2の複屈折結晶板12の
光学軸の方向(Y軸正方向とX軸正方向との間の方向)
を示している。ここで、座標系としては、半導体レーザ
素子3の活性層4の面と平行で且つ共振器方向と垂直な
方向をX軸とし、活性層4の面に対して垂直な方向をY
軸とする。
【0008】図22(a)において、太い実線の矢印
は、半導体レーザ素子3から一の方向に出射され光ファ
イバ7に向かう出射光の偏光方向を示しており、(i) は
半導体レーザ素子3の活性層4から出射された直後の偏
光方向、(ii)は集光レンズ5を通過したときの偏光方
向、(iii) は第1の複屈折結晶板11を通過したときの
偏光方向、(iv)はファラデー素子13を通過したときの
偏光方向、(v) は第2の複屈折結晶板12を通過したと
きの偏光方向、(vi)は光ファイバ7の入射部に到達した
ときの偏光方向をそれぞれ示している。図22(b)に
おいて、太い実線の矢印は、光ファイバ7で反射された
戻り光の偏光方向を示しており、(6) は光ファイバ7の
入射部で反射された直後の偏光方向を示し、(5) は第2
の複屈折結晶板12を通過したときの偏光方向、(4) は
ファラデー素子13を通過したときの偏光方向、(3) は
第1の複屈折結晶板11を通過したときの偏光方向、
(2) は集光レンズ5を通過したときの偏光方向、(1) は
半導体レーザ素子3に戻ってきたときの偏光方向をそれ
ぞれ示している。尚、図22(b)における太い波線の
矢印については後述する。
【0009】図22(a)において、(i) に示すよう
に、半導体レーザ素子3からの出射光は活性層4と平行
な偏光面成分のみを持つTEモードで出射された後、(i
i)に示すように、偏光方向が変えられることなく集光レ
ンズ5を通過して光アイソレータ6に至る。光アイソレ
ータ6に入射する出射光は、第1の複屈折結晶板11の
光軸と垂直な偏光方向を持つ常光であるため、(iii) に
示すように、屈折することなく第1の複屈折結晶板11
を通過し、(iv)に示すように、ファラデー素子13によ
り時計回り方向に45度回転される。このため、第2の
複屈折結晶板12の光軸と垂直な偏光方向を持つ常光と
なるので、(v) に示すように、屈折することなく第2の
複屈折結晶板12を通過した後、光ファイバ7の入射部
に至る。
【0010】図22(b)において、(6) に示すよう
に、光ファイバ7の入射部において偏光方向を変えられ
ずに反射されて戻り光になった後、第2の複屈折結晶板
12の光軸と垂直な偏光方向を持つ常光となるので、
(5) に示すように、屈折することなく第2の複屈折結晶
板12を通過した後、(4) に示すように、ファラデー素
子13により時計回り方向に45度回転される。このた
め、第1の複屈折結晶板11の光軸と平行な偏光方向を
持つ異常光となるので、(3) に示すように、第1の複屈
折結晶板11においてY軸正方向に屈折した後、(2) に
示すように、集光レンズ5において上下方向及び左右方
向に対称に投影されて集光レンズ5を通過し、(1) に示
すように、出射光の出射位置からY軸負方向へ移動した
位置において半導体レーザ素子3に集光する。
【0011】このように、第1の従来例の半導体レーザ
モジュールに組み込まれた光アイソレータを用いると、
半導体レーザ素子3の活性層4から出射された光は、活
性層4からY軸負方向へ移動した位置に集光し、活性層
4に入射しないので、アイソレータ機能を発揮すること
ができる。
【0012】次に、第2の従来例として、例えば、信学
技法(TECHNICAL REPORT OF IEICEEDM96-39,CPM96-62,O
PE96-61,LQE96-63 )に記載されている、出力が+24
dBmである高出力な光ファイバ増幅器について説明す
る。図23は、第2の従来例に係る光ファイバ増幅器の
構成を示しており、該光ファイバ増幅器は、希土類イオ
ン例えばエルビウムイオンが添加された増幅用光ファイ
バ20と、第1の従来例に係る半導体レーザモジュール
よりなる第1の励起用半導体レーザ光源21及び第2の
励起用半導体レーザ光源22とを備えている。第1の励
起用半導体レーザ光源21から出射された第1の励起光
は第1のカプラー23を介して増幅用光ファイバ20に
入射されると共に、第2の励起用半導体レーザ光源22
から出射された第2の励起光は第2のカプラー24を介
して増幅用光ファイバ20に入射され、増幅用光ファイ
バ20に添加されているエルビウムイオンを励起する。
これにより、増幅用光ファイバ20の入射部20aから
入射した光信号は、増幅用光ファイバ20を通過する際
に増幅されて、増幅用光ファイバ20の出射部20bか
ら出射される。
【0013】図23において、実線の矢印は第2の励起
用半導体レーザ光源22から出射された第2の励起光が
第1の励起用半導体レーザ光源21に入射する状態を示
し、波線の矢印は第1の励起用半導体レーザ光源21か
ら出射された第1の励起光が第2の励起用半導体レーザ
光源22に入射する状態を示している。
【0014】また、図22(b)において、太い実線の
矢印及び太い波線の矢印は、第1又は第2の励起用半導
体レーザ光源21又は22の半導体レーザ素子から出射
され、第2又は第1の励起用半導体レーザ光源22又は
21の半導体レーザ素子に入射する光の偏光方向を示し
ている。太い実線の矢印が示す偏光方向については前述
したので、ここでは、太い波線の矢印が示す偏光方向に
ついて説明する。図22(b)において、(6) に示す偏
光方向の光は、第2の複屈折結晶板12の光軸に平行な
偏光方向を持つ異常光となるので、(5) に示すように、
第2の複屈折結晶板12においてX軸正方向とY軸正方
向との間の方向に屈折した後、(4) に示すように、ファ
ラデー素子13により時計回り方向に45度回転され
る。このため、第1の複屈折結晶板11の光軸と垂直な
偏光方向を持つ常光となるので、(3) に示すように、第
1の複屈折結晶板11を屈折することなく通過した後、
(2)に示すように、集光レンズ5において上下方向及び
左右方向に対称に投影されて集光レンズ5を通過し、
(1) に示すように、活性層4の位置から、X軸負方向と
Y軸負方向との間の方向に移動した位置において半導体
レーザ素子3に入射する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】ところで、GaAs材
料系により形成された可視光から近赤外線光の領域のレ
ーザ光を出射する半導体レーザ素子においては、活性層
以外の領域における半導体レーザ光の損失が大きいの
で、半導体レーザ素子において反射戻り光を吸収するこ
とは可能である。
【0016】しかしながら、光信号伝送用の長波長帯の
レーザ光を出射するInGaAsP系材料により形成さ
れた半導体レーザ素子においては、活性層以外の領域に
おける半導体レーザ光の損失が小さいので、半導体レー
ザ素子の活性層以外の領域において、光ファイバからの
反射戻り光や励起用光源の半導体レーザ素子からの出射
光を吸収することができない。このため、モニタPDの
検出光量が増加してしまうので、半導体レーザ素子から
の出力を一定に制御することができない。
【0017】以上説明したように、ルチル結晶板等の複
屈折結晶板を用いる光アイソレータは、低コスト化を図
ることができる反面、半導体レーザモジュールに組み込
むと、反射戻り光によりモニタ光量が影響を受けるの
で、半導体レーザ素子の光出力を一定に制御することが
できないという第1の問題がある。
【0018】また、半導体レーザ素子の活性層において
発生した熱は、半導体レーザ素子における活性層よりも
サブマウント側の領域(図20における下側の領域)及
びサブマウントを通ってペルチェ素子により吸熱(冷
却)されるが、この場合、サブマウントの熱伝導性は高
いが半導体レーザ素子における活性層よりもサブマウン
ト側の領域の熱伝導性は低い。半導体レーザ素子の高出
力化に伴って活性層において発生する熱が多くなるの
で、半導体レーザ素子における活性層よりもサブマウン
ト側の領域ひいては活性層が高温化するので、半導体レ
ーザ素子の高出力化が妨げられるという第2の問題があ
る。
【0019】また、第2の従来例に係る双方向励起方式
の光ファイバ増幅器は増幅能力に優れているが、増幅能
力の一層の増大の要望から励起用光源の高出力が図られ
ている。このため、信号光の出力レベルが低い場合に
は、一方の励起用光源の半導体レーザ素子から出射され
た励起光が、他方の励起用光源の半導体レーザ素子に入
射する。このように、一方の励起用光源から出射された
励起光が他方の励起用光源の半導体レーザ素子に入射す
ると、前述した光ファイバからの反射戻り光と同様、モ
ニタPDが検出する光量が増加してしまうので、半導体
レーザ素子からの出力を一定に制御することが困難にな
る。
【0020】さらに、一方の励起用光源から出射された
励起光が、他方の励起用光源の半導体レーザ素子の出射
端面で反射すると、反射光がモジュールのパッケージ内
に散乱するため、モニタPDが検出する光量が増加して
しまうので、やはり半導体レーザ素子からの出力を一定
に制御することができないという問題もある。
【0021】本発明は、前記の問題を一挙に解決し、光
ファイバからの反射戻り光又は励起用光源から出射され
る励起光に起因してモニタPDの検出光量が増加し、こ
れにより、半導体レーザ素子からの出力を一定に制御で
きなくなる事態を防止すると共に、半導体レーザ素子の
活性層で発生する熱を速やかに放熱することにより半導
体レーザ素子の高出力化を図ることを目的とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体レー
ザモジュールは、活性層からレーザ光を出射する半導体
レーザ素子と、半導体レーザ素子をその底面において保
持するレーザ保持具と、光学軸と平行な偏光方向を持つ
光を屈折させながら通過させる一方、光学軸と垂直な偏
光方向を持つ光を屈折させることなく通過させる複屈折
結晶板と、通過する光を一の方向に所定角度回転させな
がら通過させるファラデー素子とからなる光アイソレー
タと、半導体レーザ素子の活性層の第1の出射面から出
射されるレーザ光を前記光アイソレータに集光する集光
レンズと、半導体レーザ素子の活性層の第2の出射面か
ら出射されるレーザ光の光量を検出する光検出器とを備
えており、活性層は、半導体レーザ素子における高さ方
向の中央部よりも底面側の位置に形成されており、光ア
イソレータ及び集光レンズは、半導体レーザ素子の活性
層の第1の出射面から出射されたレーザ光を光ファイバ
の入射部に集光すると共に、該光ファイバの入射部から
の反射戻り光を半導体レーザ素子の底面よりもレーザ保
持具側に集光するように設けられている。
【0023】本発明に係る半導体レーザモジュールによ
ると、光アイソレータ及び集光レンズは、光ファイバの
入射部からの反射戻り光を半導体レーザ素子の底面より
もレーザ保持具側に集光するように設けられているた
め、反射戻り光が半導体レーザ素子の出射端面に入射す
ることがない。この場合、活性層が半導体レーザ素子に
おける高さ方向の中央部よりも底面側の位置に形成され
ているため、光アイソレータ及び集光レンズに、光ファ
イバの入射部からの反射戻り光を半導体レーザ素子の底
面よりもレーザ保持具側に集光させることが容易にな
る。
【0024】また、活性層が半導体レーザ素子における
高さ方向の中央部よりも底面側の位置に形成されている
ため、活性層において発生し、半導体レーザ素子におけ
る活性層と底面との間の領域に蓄えられる熱の量が低減
する。
【0025】本発明に係る半導体レーザモジュールにお
いて、複屈折結晶板はルチル光学結晶板であることが好
ましい。
【0026】本発明に係る半導体レーザモジュールにお
いて、光アイソレータと光ファイバの入射部とは互いに
一体化されていることが好ましい。
【0027】本発明に係る半導体レーザモジュールにお
いて、光アイソレータ及び集光レンズは、反射戻り光を
レーザ保持具の端面に集光するように設けられており、
レーザ保持具の端面における反射戻り光が集光する集光
部には反射防止膜が設けられていることが好ましい。
【0028】本発明に係る半導体レーザモジュールにお
いて、光検出器は、その受光面が活性層が位置する平面
に対して垂直な面よりもレーザ保持具側を向くように設
けられていることが好ましい。
【0029】本発明に係る半導体レーザモジュールにお
いて、光検出器から出力される出力電流に基づいて、半
導体レーザ素子の活性層から出射されるレーザ光の出力
を一定に制御する出力安定化装置をさらに備えているこ
とが好ましい。
【0030】本発明に係る光ファイバ増幅器は、希土類
イオンが添加された増幅用光ファイバと、増幅用光ファ
イバに添加されている希土類イオンを励起する励起光を
増幅用光ファイバに出射する励起用光源とを備えた光フ
ァイバ増幅器を前提とし、励起用光源は、活性層からレ
ーザ光を出射する半導体レーザ素子と、半導体レーザ素
子をその底面において保持するレーザ保持具と、光学軸
と平行な偏光方向を持つ光を屈折させながら通過させる
一方、光学軸と垂直な偏光方向を持つ光を屈折させるこ
となく通過させる複屈折結晶板及び通過する光を一の方
向に所定角度回転させながら通過させるファラデー素子
とからなる光アイソレータと、半導体レーザ素子の活性
層の第1の出射面から出射されるレーザ光を光アイソレ
ータに集光する集光レンズと、半導体レーザ素子の活性
層の第1の出射面から出射され、集光レンズ及び光アイ
ソレータを通過したレーザ光を増幅用光ファイバに出射
する励起用光ファイバと、半導体レーザ素子の活性層の
第2の出射面から出射されるレーザ光の光量を検出する
光検出器とを有しており、活性層は、半導体レーザ素子
における高さ方向の中央部よりも底面側の位置に形成さ
れており、光アイソレータ及び集光レンズは、半導体レ
ーザ素子の活性層の第1の出射面から出射されたレーザ
光を励起用光ファイバの入射部に集光すると共に、励起
用光ファイバの入射部からの反射戻り光を半導体レーザ
素子の底面よりもレーザ保持具側に集光するように設け
られている。
【0031】本発明に係る光ファイバ増幅器によると、
励起用光源の半導体レーザ素子の活性層が半導体レーザ
素子における高さ方向の中央部よりも底面側の位置に形
成されていると共に、励起用光源の光アイソレータ及び
集光レンズが光ファイバの入射部からの反射戻り光を半
導体レーザ素子の底面よりもレーザ保持具側に集光する
ように設けられているため、励起用光ファイバからの反
射戻り光や他の励起用光源の半導体レーザ素子からの励
起光が半導体レーザ素子の出射端面に入射する事態を回
避することができる。
【0032】本発明に係る伝送システムは、信号光を出
力する信号光源と、信号光を受信する受光器と、信号光
源から出力された信号光を受光器に伝送する伝送用光フ
ァイバと、希土類イオンが添加された増幅用光ファイバ
及び該増幅用光ファイバに添加されている希土類イオン
を励起する励起光を増幅用光ファイバに出射する励起用
光源を有し、伝送用光ファイバを伝送される信号光を増
幅する光ファイバ増幅器とを備えた光伝送システムを前
提とし、光ファイバ増幅器の励起用光源は、活性層から
レーザ光を出射する半導体レーザ素子と、半導体レーザ
素子をその底面において保持するレーザ保持具と、光学
軸と平行な偏光方向を持つ光を屈折させながら通過させ
る一方、光学軸と垂直な偏光方向を持つ光を屈折させる
ことなく通過させる複屈折結晶板と、通過する光を一の
方向に所定角度回転させながら通過させるファラデー素
子とからなる光アイソレータと、半導体レーザ素子の活
性層の第1の出射面から出射されるレーザ光を光アイソ
レータに集光する集光レンズと、半導体レーザ素子の活
性層の第1の出射面から出射され、集光レンズ及び光ア
イソレータを通過したレーザ光を増幅用光ファイバに出
射する励起用光ファイバと、半導体レーザ素子の活性層
の第2の出射面から出射されるレーザ光の光量を検出す
る光検出器とを有しており、活性層は、半導体レーザ素
子における高さ方向の中央部よりも底面側の位置に形成
されており、光アイソレータ及び集光レンズは、半導体
レーザ素子の活性層の第1の出射面から出射されたレー
ザ光を励起用光ファイバの入射部に集光すると共に、励
起用光ファイバの入射部からの反射戻り光を半導体レー
ザ素子の底面よりもレーザ保持具側に集光するように設
けられている。
【0033】本発明に係る光伝送システムによると、光
ファイバ増幅器の励起用光源の半導体レーザ素子の活性
層が半導体レーザ素子における高さ方向の中央部よりも
底面側の位置に形成されていると共に、励起用光源の光
アイソレータ及び集光レンズが光ファイバの入射部から
の反射戻り光を半導体レーザ素子の底面よりもレーザ保
持具側に集光するように設けられているため、励起用光
ファイバからの反射戻り光や他の励起用光源の半導体レ
ーザ素子からの励起光が半導体レーザ素子の出射端面に
入射する事態を回避することができる。
【0034】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)図1は第1の実施形態に係る半導体
レーザモジュールの断面構造を示しており、図1に示す
ように、図示しないパッケージ内に設けられたペルチェ
素子101の上にはレーザ保持具としてのレーザマウン
ト102が配置されており、該レーザマウント102の
上に半導体レーザ素子103が厚さ1μm程度のはんだ
材により固定されている。
【0035】第1の実施形態の特徴として、半導体レー
ザ素子103の活性層104は、該半導体レーザ素子1
03の高さ方向の中央部よりも底面102a側つまりレ
ーザマウント102側に形成されている。具体的には、
半導体レーザ素子103における活性層104と底面1
02aとの距離は5〜6μmであって極めて小さい。従
って、半導体レーザ素子103の活性層104において
発生した熱は、半導体レーザ素子103における活性層
104と底面102aとの間の領域を良好な熱伝導性を
持ってレーザマウント102に伝導された後、ペルチェ
素子101によって吸熱されるので、半導体レーザ素子
103の高出力化に伴って活性層104において発生す
る熱が多くなっても、半導体レーザ素子103の高出力
化が妨げられることはない。
【0036】半導体レーザ素子103の活性層104か
ら一の方向(図1における左の方向)に出射されたレー
ザ光(光路を実線で示す。)は集光レンズ105により
集光されて光アイソレータ106に到達した後、該光ア
イソレータ106を通過して光ファイバ107の入射部
に入射する。そして、光ファイバ107の入射部で反射
された戻り光(光路を破線で示す。)は、光アイソレー
タ106及び集光レンズ105を通過して半導体レーザ
素子103側に向かう。半導体レーザ素子103の活性
層104から他の方向(図1における右の方向)に出射
されたレーザ光はモニタPD108により光強度が検出
され、検出された光強度は電流信号に変換されて半導体
レーザ素子103の出力を制御するのに用いられる。
【0037】光アイソレータ106は、第1の従来例と
同様、第1の複屈折結晶板としての第1のルチル11
1、第2の複屈折結晶板としての第2のルチル112、
第1のルチル111と第2のルチル112との間に設け
られたファラデー素子113、及びファラデー素子11
3に磁場を印加する永久磁石114によって構成されて
いる。第1のルチル111及び第2のルチル112は、
光学軸と平行な偏光面を持つ光(異常光)を屈折させな
がら通過させる一方、光学軸と垂直な偏光面を持つ光
(常光)を屈折させることなく通過させる。ファラデー
素子113は入射する光を、その偏光面を時計回り方向
に所定角度例えば45度回転させながら通過させる。図
2(a)は、第1のルチル111の光学軸の方向(Y軸
正方向)を示し、図2(b)はファラデー素子113が
光の偏波面を回転させる方向及び回転角度(時計回り方
向に45度)を示し、図2(c)は第2のルチル112
の光学軸の方向(Y軸正方向とX軸正方向とからそれぞ
れ45度回転した方向)を示している。ここで、座標系
としては、半導体レーザ素子103の活性層104の面
と平行で且つ共振器方向と垂直な方向をX軸とし、活性
層104の面に対して垂直な方向をY軸とする。
【0038】図3(a)において、太い実線の矢印は、
半導体レーザ素子103から一の方向に出射されて光フ
ァイバ107に向かう出射光の偏光方向を示しており、
(i)は半導体レーザ素子103の活性層104から出射
された直後の偏光方向、(ii)は集光レンズ105を通過
したときの偏光方向、(iii) は第1のルチル111を通
過したときの偏光方向、(iv)はファラデー素子113を
通過したときの偏光方向、(v) は第2のルチル112を
通過したときの偏光方向、(vi)は光ファイバ107の入
射部に到達したときの偏光方向をそれぞれ示している。
図3(b)において、太い実線の矢印は、光ファイバ1
07で反射された戻り光の偏光方向を示しており、(6)
は光ファイバ107の入射部で反射された直後の偏光方
向を示し、(5) は第2のルチル112を通過したときの
偏光方向、(4) はファラデー素子113を通過したとき
の偏光方向、(3) は第1のルチル111を通過したとき
の偏光方向、(2) は集光レンズ105を通過したときの
偏光方向、(1) は半導体レーザ素子103側に戻ってき
たときの偏光方向をそれぞれ示している。
【0039】図3(a)において、(i) に示すように、
半導体レーザ素子103からの出射光は活性層104と
平行な偏光面成分のみを持つTEモードで出射された
後、(ii)に示すように、偏光方向が変えられることなく
集光レンズ105を通過して光アイソレータ106に至
る。光アイソレータ106に入射する出射光は、第1の
ルチル111の光軸と垂直な偏光方向を持つ常光である
ため、(iii) に示すように、屈折することなく第1のル
チル111を通過し、(iv)に示すように、ファラデー素
子113により時計回り方向に45度回転される。この
ため、第2のルチル112の光軸と垂直な偏光方向を持
つ常光となるので、(v) に示すように、屈折することな
く第2のルチル112を通過した後、光ファイバ117
に至る。
【0040】図3(b)において、(6) に示すように、
光ファイバ107の入射部において偏光方向を変えられ
ずに反射されて戻り光になった後、第2のルチル112
の光軸と垂直な偏光方向を持つ常光となるので、(5) に
示すように、屈折することなく第2のルチル112を通
過した後、(4) に示すように、ファラデー素子113に
より45度回転される。このため、第1のルチル111
の光軸と平行な偏光方向を持つ異常光となるので、(3)
に示すように、第1のルチル111においてY軸正方向
に屈折した後、(2) に示すように、集光レンズ105に
おいて上下方向及び左右方向に対称に投影されて集光レ
ンズ105を通過し、(1) に示すように、出射光の出射
位置からY軸負方向へ移動した集光位置に集光される。
出射光の出射位置から集光位置までの移動量sは、s=
(d×k)/mで表わされる。
【0041】但し、dは第1のルチル111及び第2の
ルチル112のそれぞれの厚さ、kは光軸の移動係数、
mはレンズ倍率である。
【0042】第1の実施形態に係る光アイソレータ10
6においては、d=0.5mm、k=+0.1、m=
4.5に設定したので、出射光の出射位置から集光位置
までの移動量sは11μmになる。この移動量である1
1μmは、半導体レーザ素子103における活性層10
4から底面102aまでの距離である5〜6μmに、固
定用のはんだ材の厚さである1μmを加えた合計値より
も大きいので、図1に示すように、出射光の集光位置は
レーザマウント102の端面になる。従って、光ファイ
バ107からの反射戻り光が半導体レーザ素子103に
入射する事態を確実に回避することができる。
【0043】以下、第1の実施形態に係る半導体レーザ
モジュールの評価結果について説明する。評価試験は、
第1の実施形態におけるルチル型の光アイソレータを有
する半導体レーザモジュールに、第1の実施形態と同様
の構造を持つ波長が1.48μm帯の半導体レーザ素子
を搭載したものと、第1の従来例と同様の構造を持つ波
長が1.48μm帯の半導体レーザ素子を搭載したもの
とを準備し、これら2種類の半導体レーザ素子から出射
されるレーザ光を出射光とし、光ファイバ107の反対
側(出射部側)から出射される波長1.48帯の半導体
レーザ光を戻り光として用いた。また、半導体レーザ素
子のモニタPD側の端面のコートの透過率は数%であ
る。
【0044】図4は、戻り光としてのレーザ光のパワー
に対するモニタ電流の増加量(Im−Im0)/Im0(但
し、Im は戻り光があるときのモニタ電流であり、Im0
は出射光を出力90mWで出力したときの規格となるモ
ニタ電流である。)を示している。図4から明らかなよ
うに、第1の従来例においては、外部から戻り光として
50mW程度のレーザ光が入射するとモニタ電流は8割
も増加することが分かる。これに対して、第1の実施形
態においては、外部から戻り光として100mW以上の
レーザ光が入射してもモニタ電流は数%程度しか増加し
ない。第1の実施形態によると、戻り光があってもモニ
タ電流が殆ど変化しないので、モニタ電流に基づいて半
導体レーザ素子の出力を安定に制御することができる。
【0045】尚、第1の実施形態においては、半導体レ
ーザ素子103における活性層104よりも下側部分の
厚さが5〜6μmよりも大きい場合、又は、半導体レー
ザ素子103をレーザマウント102に固定するはんだ
材の厚さが大きい場合には、反射戻り光をはんだ材に集
光して吸収してもよい。また、半導体レーザ素子103
とレーザマウント102との間にヒートシンクを設ける
場合には、反射戻り光をヒートシンクに集光して吸収し
てもよい。
【0046】また、第1の実施形態に係る半導体レーザ
モジュールに組み込まれる半導体レーザ素子103から
出射されるレーザ光の波長については特に限定されず、
1.48μm、1.3μm又は1.55μmでも同様の
効果が得られる。
【0047】ところで、第1の実施形態は、半導体レー
ザ素子103の活性層104を、半導体レーザ素子10
3の高さ方向の中央部よりも底面102a側の位置に形
成したと共に、活性層104から出射される出射光を光
アイソレータ106及び集光レンズ105によって半導
体レーザ素子103よりもレーザマウント102側に集
光したので、活性層104において発生した熱の伝導性
が良好になると共に、反射戻り光に起因するモニタ電流
の増加を防止できる。例えば、図5に示すように、半導
体レーザ素子103の活性層104を、半導体レーザ素
子103の高さ方向の中央部よりも底面102a側の位
置に形成したとしても、活性層104から出射される出
射光を光アイソレータ106及び集光レンズ105によ
って、半導体レーザ素子103における活性層104に
対するレーザマウント102の反対側に集光すると、反
射戻り光は半導体レーザ素子103の出射端面で反射さ
れる成分と半導体レーザ素子103を通過する成分とに
分かれ、半導体レーザ素子103を通過する成分によっ
てモニタPD108に入射する光の光量が増加してしま
う。
【0048】(第2の実施形態)図6は第2の実施形態
に係る半導体レーザモジュールの断面構造を示してお
り、図6に示すように、図示しないパッケージ内に設け
られたペルチェ素子201の上にはレーザマウント20
2が配置されており、該レーザマウント202の上に半
導体レーザ素子203が厚さ1μm程度のはんだ材によ
り固定されている。第2の実施形態の特徴として、半導
体レーザ素子203の活性層204は、該半導体レーザ
素子203における高さ方向の中央部よりも底面202
a側に形成されている。具体的には、半導体レーザ素子
203における活性層204と底面202aとの距離は
5〜6μmであって極めて小さい。従って、第1の実施
形態と同様、半導体レーザ素子203の活性層204に
おいて発生した熱は、半導体レーザ素子203における
活性層204と底面202aとの間の領域において熱伝
導が良好に行なわれるので、半導体レーザ素子203の
高出力化に伴って活性層204において発生する熱が多
くなっても、半導体レーザ素子203の高出力化が妨げ
られることはない。
【0049】半導体レーザ素子203の活性層204か
ら一の方向(図2における左の方向)に出射されたレー
ザ光(光路を実線で示す。)は集光レンズ205により
集光されて光アイソレータ206に到達した後、該光ア
イソレータ206を通過して光ファイバ207の入射部
に入射する。そして、光ファイバ207の入射部で反射
された戻り光(光路を破線で示す。)は、光アイソレー
タ206及び集光レンズ205を通過して半導体レーザ
素子203側に向かう。半導体レーザ素子203の活性
層204から他の方向(図2における右の方向)に出射
されたレーザ光はモニタPD208により光強度が検出
され、検出された光強度は電流に変換されて半導体レー
ザ素子203の出力を制御するのに用いられる。
【0050】光アイソレータ206は、第1の複屈折結
晶板としての負結晶板である第1の方解石211、第2
の複屈折結晶板としての負結晶板である第2の方解石2
12、第1の方解石211と第2の方解石212との間
に設けられたファラデー素子213、及びファラデー素
子213に磁場を印加する永久磁石214によって構成
されている。第1の方解石211及び第2の方解石21
2は、光学軸と平行な偏光面を持つ光(異常光)を屈折
させながら通過させる一方、光学軸と垂直な偏光面を持
つ光(常光)を屈折させることなく通過させる。ファラ
デー素子213は入射する光を、その偏光面を常に時計
回り方向に所定角度例えば45度回転させながら通過さ
せる。図7(a)は、第1の方解石211の光学軸の方
向(Y軸負方向)を示し、図7(b)はファラデー素子
213が光の偏波面を回転させる方向及び回転角度(時
計回り方向に45度)を示し、図7(c)は第2の方解
石212の光学軸の方向(Y軸負方向とX軸負方向とか
らそれぞれ45度回転した方向)を示している。
【0051】図8(a)において、太い実線の矢印は、
半導体レーザ素子203から一の方向に出射されて光フ
ァイバ207に向かう出射光の偏光方向を示しており、
(i)は半導体レーザ素子203の活性層204から出射
された直後の偏光方向、(ii)は集光レンズ205を通過
したときの偏光方向、(iii) は第1の方解石211を通
過したときの偏光方向、(iv)はファラデー素子213を
通過したときの偏光方向、(v) は第2の方解石212を
通過したときの偏光方向、(vi)は光ファイバ207の入
射部に到達したときの偏光方向をそれぞれ示している。
図8(b)において、太い実線の矢印は、光ファイバ2
07で反射された戻り光の偏光方向を示しており、(6)
は光ファイバ207の入射部で反射された直後の偏光方
向を示し、(5) は第2の方解石212を通過したときの
偏光方向、(4) はファラデー素子213を通過したとき
の偏光方向、(3) は第1の方解石211を通過したとき
の偏光方向、(2) は集光レンズ205を通過したときの
偏光方向、(1) は半導体レーザ素子203側に戻ってき
たときの偏光方向をそれぞれ示している。
【0052】図8(a)において、(i) に示すように、
半導体レーザ素子203からの出射光は活性層204と
平行な偏光面成分のみを持つTEモードで出射された
後、(ii)に示すように、偏光方向が変えられることなく
集光レンズ205を通過して光アイソレータ206に至
る。光アイソレータ206に入射する出射光は、第1の
方解石211の光軸と垂直な偏光方向を持つ常光である
ため、(iii) に示すように、屈折することなく第1の方
解石211を通過し、(iv)に示すように、ファラデー素
子213により時計回り方向に45度回転される。この
ため、第2の方解石212の光軸と垂直な偏光方向を持
つ常光となるので、(v) に示すように、屈折することな
く第2の方解石212を通過した後、光ファイバ217
に至る。
【0053】図8(b)において、(6) に示すように、
光ファイバ207の入射部において偏光方向を変えられ
ずに反射されて戻り光になった後、第2の方解石212
の光軸と垂直な偏光方向を持つ常光となるので、(5) に
示すように、屈折することなく第2の方解石212を通
過した後、(4) に示すように、ファラデー素子213に
より時計回り方向に45度回転される。このため、第1
の方解石211の光軸と平行な偏光方向を持つ異常光と
なるので、(3) に示すように、第1の方解石211にお
いてY軸正方向に屈折した後、(2) に示すように、集光
レンズ205において上下方向及び左右方向に対称に投
影されて集光レンズ205を通過し、(1) に示すよう
に、出射光の出射位置からY軸負方向へ移動した集光位
置に戻ってくる。出射光の出射位置から集光位置までの
移動量sは、 s=(d×k)/m 但し、dは第1の方解石211及び第2の方解石212
のそれぞれの厚さ、kは光軸の移動係数、mはレンズ倍
率である。
【0054】第2の実施形態に係る光アイソレータ20
6においては、d=0.5mm、k=−0.1、m=
4.5に設定したので、出射光の出射位置から集光位置
までの移動量sは11μmになる。この移動量である1
1μmは、半導体レーザ素子203における活性層20
4から底面202aまでの距離である5〜6μmに、固
定用のはんだ材の厚さである1μmを加えた合計値より
も大きいので、図6に示すように、出射光の集光位置は
レーザマウント202の端面になる。従って、光ファイ
バ207からの反射戻り光が半導体レーザ素子203に
入射する事態を確実に回避することができる。
【0055】尚、第2の実施形態においては、半導体レ
ーザ素子203における活性層204と底面202aと
の距離が5〜6μmよりも大きい場合、又は、半導体レ
ーザ素子203をレーザマウント202に固定するはん
だ材の厚さが大きい場合には、反射戻り光をはんだ材に
集光して吸収してもよい。また、半導体レーザ素子20
3とレーザマウント202との間にヒートシンクを設け
る場合には、反射戻り光をヒートシンクに集光して吸収
してもよい。
【0056】また、第2の実施形態に係る半導体レーザ
モジュールに組み込まれる半導体レーザ素子203から
出射されるレーザ光の波長については特に限定されず、
1.48μm、1.3μm又は1.55μmでも同様の
効果が得られる。
【0057】(第3の実施形態)図9は第3の実施形態
に係る半導体レーザモジュールの断面構造を示してお
り、図9に示すように、第3の実施形態に係る半導体レ
ーザモジュールは、光アイソレータ106と光ファイバ
107とを固定して、両者を一体化した以外の構成につ
いては、第1の実施形態と同様であるので、第1の実施
形態と同一の符号を付すことにより、説明を省略する。
【0058】第3の実施形態の特徴として、光ファイバ
107の入射部はフランジ部120aを有するファイバ
保持具120に嵌合されていると共に、該ファイバ保持
部120のフランジ部120aは光アイソレータ106
の第2のルチル112に固定されている。
【0059】半導体レーザモジュールの小型化に伴って
光アイソレータ106の小型化が進んでいるので、光ア
イソレータ106の偏光方向と半導体レーザ素子103
から出射されるレーザ光の偏光面との調節作業が困難に
なっているが、第3の実施形態のように、光アイソレー
タ106と光ファイバ107とを一体化すると、光アイ
ソレータ106の偏光方向と半導体レーザ素子103か
ら出射されるレーザ光の偏光面との調節作業が容易にな
る。また、光ファイバ107の入射端面と光アイソレー
タ106との距離が一定になるため、光アイソレータ1
06の内部におけるレーザ光のビーム径が一定になると
共に、レーザ光を光アイソレータ106の中心を通過さ
せることができるので、光アイソレータ106の直径を
必要最小限度に縮小することができる。
【0060】(第4の実施形態)図10は第4の実施形
態に係る半導体レーザモジュールの断面構造を示してお
り、図10に示すように、第4の実施形態に係る半導体
レーザモジュールは、パッケージ100を有している構
成、及び光アイソレータ106と光ファイバ107とを
一体化した以外の構成については、第1の実施形態と同
様であるので、第1の実施形態と同一の符号を付すこと
により、説明を省略する。
【0061】図10に示すように、ペルチェ素子101
はパッケージ100の底部にはんだ材によって固定され
ており、レーザマウント102と、集光レンズ105を
保持するリング状のレンズ保持具109とはペルチェ素
子101の上面に固定されている。
【0062】第4の実施形態の特徴として、光ファイバ
107の入射部は、パッケージ100の出射側の側壁を
貫通して延びるフェルール121に嵌入されており、該
フェルール121はフランジ部を有するファイバ保持具
122に固定されている。また、ファイバ保持具122
のフランジ部はパッケージ100の出射側の側壁の外面
に固定されている。フェルール121の光アイソレータ
106側の端部には、フランジ部を有するアイソレータ
保持具123が嵌合されており、光アイソレータ106
はアイソレータ保持具123のフランジ部に固定されて
いる。これらによって、光アイソレータ106と光ファ
イバ107とは一体化されているので、第3の実施形態
と同様の効果が得られる。
【0063】(第5の実施形態)図11は第5の実施形
態に係る半導体レーザモジュールの断面構造を示してお
り、図11に示すように、第5の実施形態に係る半導体
レーザモジュールは、パッケージ100を有している構
成、及び光アイソレータ106と光ファイバ107とを
一体化した以外の構成については、第1の実施形態と同
様であるので、第1の実施形態と同一の符号を付すこと
により、説明を省略する。
【0064】図11に示すように、ペルチェ素子101
はパッケージ100の底部にはんだ材によって固定され
ており、レーザマウント102と、集光レンズ105を
保持するリング状のレンズ保持具109とはペルチェ素
子101の上面に固定されている。
【0065】第5の実施形態の特徴として、光アイソレ
ータ106は、ペルチェ素子101の上面に固定された
アイソレータ保持具115に保持されている。また、光
ファイバ107の入射部は、パッケージ100の出射側
の側壁を貫通して延びるフェルール121に嵌入されて
おり、該フェルール121はフランジ部を有するファイ
バ保持具122に固定されている。これらによって、光
アイソレータ106と光ファイバ107とはパッケージ
100を介して一体化されているので、第3の実施形態
と同様の効果が得られる。
【0066】(第6の実施形態)図12は第6の実施形
態に係る半導体レーザモジュールの断面構造を示してお
り、図12に示すように、第6の実施形態に係る半導体
レーザモジュールは、パッケージ100を有している構
成、及び光アイソレータ106と光ファイバ107とを
一体化した以外の構成については、第1の実施形態と同
様であるので、第1の実施形態と同一の符号を付すこと
により、説明を省略する。
【0067】図12に示すように、ペルチェ素子101
はパッケージ100の底部にはんだ材によって固定され
ており、レーザマウント102と、集光レンズ105を
保持するリング状のレンズ保持具109とはペルチェ素
子101の上面に固定されている。
【0068】第6の実施形態の特徴として、光アイソレ
ータ106は、ペルチェ素子101の上面に固定された
アイソレータ保持具115に保持されている。また、光
ファイバ107の入射部はレセブタクル型のファイバ保
持具124に嵌入されており、該ファイバ保持具124
はパッケージ100の出射側の側壁に嵌入された状態で
パッケージ100に固定されている。これらによって、
光アイソレータ106と光ファイバ107とはパッケー
ジ100を介して一体化されているので、第3の実施形
態と同様の効果が得られる。
【0069】(第7の実施形態)図13は第7の実施形
態に係る半導体レーザモジュールの断面構造を示してお
り、第7の実施形態の特徴として、レーザマウント10
2における光ファイバ107側の端面に反射防止膜12
5が設けられている。尚、第7の実施形態に係る半導体
レーザモジュールは、レーザマウント102に反射防止
膜125が設けられている以外の構成については、第1
の実施形態と同様であるので、第1の実施形態と同一の
符号を付すことにより、説明を省略する。
【0070】反射防止膜125としては、金属膜、誘電
体多層膜、樹脂膜又は塗料膜等のように、レーザ光の波
長帯で吸収特性を有する材質のものを適宜用いることが
できる。
【0071】第7の実施形態に係る半導体レーザモジュ
ールによると、レーザマウント102における光ファイ
バ107側の端面に反射防止膜125が設けられている
ため、レーザマウント102の端面に集光される戻り光
がレーザマウント102の端面で反射されないので、レ
ーザマウント102の端面で反射された反射光が図10
〜図12に示したパッケージ100内で迷光となって、
モニタPD108に検出される恐れが解消する。このよ
うな観点から、反射防止膜125をレーザマウント10
2の端面のほかに、図11及び図12に示したレンズ保
持具109における光ファイバ107側の端面及びパッ
ケージ100の内面に対向するレンズの保持枠やパッケ
ージ内部にも設けると、パッケージ100内の迷光を一
層確実に防止することができる。特に、半導体レーザモ
ジュールが通信用に用いられる場合には、反射光に起因
する雑音増加及び歪み特性劣化を抑制することができ
る。
【0072】(第8の実施形態)図14は第8の実施形
態に係る半導体レーザモジュールの断面構造を示してお
り、第8の実施形態の特徴として、モニタPD108
は、その検出面が図10〜図12に示したパッケージ1
00の底部を向くようにレーザモジュール102に固定
されている。尚、モニタPD108の検出面がパッケー
ジ100の底部を向いている以外の構成については、第
1の実施形態と同様であるので、第1の実施形態と同一
の符号を付すことにより、説明を省略する。
【0073】第8の実施形態に係る半導体レーザモジュ
ールによると、モニタPD108の検出面がパッケージ
100の底部を向いているので、パッケージ100内の
迷光がモニタPD108に検出される恐れが低減する。
【0074】(第9の実施形態)図15は第9の実施形
態に係る半導体レーザモジュールの断面構造を示してお
り、第9の実施形態の特徴として、モニタPD108か
らの出力信号に基づいて半導体レーザ素子103に注入
される電流を制御する出力安定化装置126を備えてい
る。尚、第9の実施形態においては、出力安定化装置1
26を備えている以外の構成については第1の実施形態
と同様であるので、第1の実施形態と同一の符号を付す
ことにより、説明を省略する。
【0075】出力安定化装置126は、半導体レーザ素
子103に所定の電流を印加する電流源127と、モニ
タPD108から出力されるモニタ電流を検出し、検出
したモニタ電流に基づいて電流源127が半導体レーザ
素子103に印加する電流の大きさを制御する制御信号
を電流源127に出力する制御部128とを有してい
る。このように、第9の実施形態に係る半導体レーザモ
ジュールは出力安定化装置126を備えているため、半
導体レーザ素子103から出射されるレーザ光の強度に
径時変化又は温度変化等が生じた場合にも、モニタPD
108から出力されるモニタ電流に基づいて、半導体レ
ーザ素子103から出射されるレーザ光の強度を一定に
制御することができるので、光ファイバ107から安定
した光出力を行なうことができる。
【0076】(第10の実施形態)図16は第10実施
形態に係る高出力な光ファイバ増幅器の全体構成を示し
ており、図16に示すように、希土類イオン例えばエル
ビウムイオンが添加された増幅用光ファイバ300と、
第1の励起用半導体レーザ光源301と、第2の励起用
半導体レーザ光源302とを備えている。第1の励起用
半導体レーザ光源301から出射された第1の励起光は
第1のカプラー303を介して増幅用光ファイバ300
に入射されると共に、第2の励起用半導体レーザ光源3
02から出射された第2の励起光は第2のカプラー30
4を介して増幅用光ファイバ300に入射され、該増幅
用光ファイバ300に添加されているエルビウムイオン
を励起する。また、増幅用光ファイバ300における第
1のカプラー303よりも入射部300a側には第1の
増幅器用光アイソレータ305が挿入されていると共
に、増幅用光ファイバ300における第2のカプラー3
03よりも出射部300b側には第2の増幅器用光アイ
ソレータ306が挿入されており、これら第1及び第2
の増幅器用光アイソレータ305、306は光ファイバ
増幅器における雑音特性や歪み特性の劣化を防止する。
以上の構成により、増幅用光ファイバ300の入射部3
00aから入射した光信号は、該増幅用光ファイバ30
0を通過する際に増幅されて、出射部300bから出射
される。
【0077】第1及び第2の励起用半導体レーザ光源3
01及び302としては、第1〜第9の実施形態に係る
半導体レーザモジュールを適宜用いることができるが、
以下においては、第1の実施形態に係る半導体レーザモ
ジュールを適用する場合について説明する。
【0078】図17(a)において、太い実線の矢印
は、第1又は第2の励起用半導体レーザ光源301、3
02を構成する半導体レーザモジュールの半導体レーザ
素子103から出射され、該半導体レーザモジュールの
光ファイバ107の入射部に向かう出射光の偏光方向を
示している。図17(a)における(i) 〜(vi)は、図3
(a)における(i) 〜(vi)と同様であるので、説明は省
略する。
【0079】図17(b)において、太い実線の矢印
は、半導体レーザ素子103から出射され、光ファイバ
107の入射部で反射された戻り光の偏光方向を示すと
共に、太い実線の矢印及び太い波線の矢印は、第1及び
第2の励起用半導体レーザ光源301、302の一方の
半導体レーザ光源を構成する第1の半導体レーザ素子か
ら出射され、第1及び第2の励起用半導体レーザ光源3
01、302の他方の半導体レーザ光源を構成する第2
の半導体レーザ素子に向かって進む励起光の偏光方向を
示している。
【0080】図17(b)における(6) 〜(1) において
太い実線の矢印で示す偏光方向は、図3(b)における
(6) 〜(1) と同様であるので説明は省略し、以下におい
ては、図17(b)における(6) 〜(1) において太い波
線の矢印で示す偏光成分を持つ光の偏光方向についての
み説明する。(6) に示す偏光方向の光は、第2のルチル
112の光軸に平行な偏光方向を持つ異常光となるの
で、(5) に示すように、第2のルチル112においてX
軸正方向とY軸正方向との間の方向に屈折した後、(4)
に示すように、ファラデー素子113により時計回り方
向に45度回転される。このため、第1のルチル111
の光軸と垂直な偏光方向を持つ常光となるので、(3) に
示すように、第1のルチル111を屈折することなく通
過した後、(2) に示すように、集光レンズ105におい
て上下方向及び左右方向に対称に投影されて集光レンズ
105を通過し、(1) に示すように、活性層104か
ら、X軸負方向とY軸負方向との間の方向に移動した集
光位置において集光する。
【0081】図18は、活性層の位置(A)と、太い実
線の矢印で偏光方向を示した戻り光及び励起光の集光位
置(B)と、太い波線の矢印で偏光方向を示した励起光
の集光位置(C)との間の位置関係を示している。この
ように、太い波線の矢印で偏光方向を示した励起光の集
光位置(C)は、Y軸に対して活性層の位置(A)より
もX軸負方向に偏っているので、モニタPD108をY
軸に対して活性層の位置(A)よりもX軸正方向に偏っ
た位置、つまりY軸に対して互いに反対側になるような
位置に設けると、励起光がモニタPD108に一層入射
し難くなる。
【0082】第10実施形態に係る双方向励起型の光フ
ァイバ増幅器においては、信号光のレベルが低い場合に
は、一方の励起光源から出射される励起光が他方の励起
光源に入射し、該他方の励起光源を構成する半導体レー
ザ素子の出力特性を劣化させたり、モニタ光量を増加さ
せて安定した光出力を阻害するが、第10の実施形態に
係る光ファイバ増幅器によると、一方の励起光源から出
射された励起光が他方の励起光源を構成する半導体レー
ザ素子に集光しないので、該半導体レーザ素子の出力特
性の劣化が防止されると共に、モニタ光量が増加しない
ため安定した光出力を実現することができる。
【0083】尚、第10の実施形態は、第1及び第2の
励起用半導体レーザ光源301、302よりなる2台の
励起用半導体レーザ光源を備えていたが、これに代え
て、1台の励起用半導体レーザ光源を備え、該1台の励
起用半導体レーザ光源から出射された励起光を分岐させ
て、増幅用光ファイバ300の入射部300a及び出射
部300bの双方向から入射させるようにしてもよい。
このように1台の励起用半導体レーザ光源から出射され
る励起光を分岐して双方向から励起する場合には、従来
においては、該励起用半導体レーザ光源を構成する半導
体レーザ素子から出射された励起光が自分自身に入射し
て発振状態を不安定にさせる等の問題があったが、第1
〜第9の実施形態に係る半導体レーザモジュールを用い
ると、出射光が半導体レーザ素子に集光しないので、発
振状態が不安定になる事態を防止することができる。
【0084】また、1.55μm帯用の光ファイバ増幅
器の励起光源の波長帯としては1.48μm、0.98
μm又は0.82μmが用いられ、1.3μm帯用の光
ファイバ増幅器の励起光源の波長としては1.062μ
m等が用いられるが、いずれの波長帯の励起光を用いる
場合でも、複屈折結晶板の適切な光学軸及び光路長を設
定することにより、本発明の効果を得ることができる。
【0085】また、0.98μm帯の励起光と1.48
μm帯の励起光というように双方向励起光源の波長帯が
異なる場合にも、本発明の効果を得ることができる。
【0086】さらに、第10の実施形態においては、増
幅用光ファイバ300の入射部300a側及び出射部3
00b側にそれぞれ第1及び第2の増幅器用光アイソレ
ータ305、306を挿入したが、これに代えて、増幅
用光ファイバ300の中央部に1台の増幅器用光アイソ
レータを挿入してもよい。
【0087】(第11の実施形態)図19は第11実施
形態に係る光電送システムの全体構成を示しており、図
19に示すように、送信光源401から出力された光信
号は長さ約50kmの第1の伝送用光ファイバ402に
より伝送された後、光ファイバ増幅器403により増幅
され、増幅された光信号は長さ約50kmの第2の伝送
用光ファイバ404により伝送されて受信器405に受
光される。光ファイバ増幅器403としては、第10の
実施形態に係る光ファイバ増幅器を用いることができ
る。
【0088】ところで、光信号を長距離の光ファイバを
経由して伝送する場合には、高出力な半導体レーザ素子
を有する送信光源が必要になる。ところが、高出力なレ
ーザ光を伝送用光ファイバに入射すると、レーリー散乱
等の非線形光学効果によりレーザ光が送信光源に戻って
くるという問題がある。
【0089】そこで、半導体レーザ素子から出射される
レーザ光を直接に変調して実効的な線幅を広げる等の対
策がとられる。
【0090】しかしながら、伝送用光ファイバからの戻
り光は、光ファイバの種類及び長さ、信号光の変調度及
び光量により多様に変動するため、モニタ光量を増加さ
せることにより安定した光出力を得ることが困難であ
る。このため、送信光源である半導体レーザ素子の内部
に光アイソレータを組み込み、レーザ光の外部からの入
射を防止する必要がある。複屈折結晶板を有する光アイ
ソレータは、ポーラコア型の光アイソレータに比べて比
較的安価であるため、本発明に係る半導体レーザモジュ
ールは普及し易い送信光源の実現にも寄与することがで
きる。
【0091】さらに、光信号の長距離の伝送には中継用
の光ファイバ増幅器が有効であるが、本発明に係る光フ
ァイバ増幅器を用いることにより、より普及し易い光伝
送システムを提供することが可能になる。
【0092】
【発明の効果】本発明に係る半導体レーザモジュールに
よると、活性層が半導体レーザ素子における高さ方向の
中央部よりも底面側の位置に形成されていると共に、光
アイソレータ及び集光レンズが光ファイバの入射部から
の反射戻り光を半導体レーザ素子の底面よりもレーザ保
持具側に集光するように設けられているため、反射戻り
光が半導体レーザ素子の出射端面に入射する事態を確実
に回避でき、反射戻り光によって光検出器の検出光量が
増加する事態を回避できるので、半導体レーザ素子から
の出力を一定に制御することが容易になる。
【0093】また、活性層が半導体レーザ素子における
高さ方向の中央部よりも底面側の位置に形成されている
ため、半導体レーザ素子の高出力化に伴って活性層にお
いて発生する熱が多くなっても、半導体レーザ素子にお
ける活性層と底面との間の領域に蓄えられる熱の量が増
加せず、半導体レーザ素子の高温化が防止されるので、
半導体レーザ素子の高出力化を実現することができる。
【0094】本発明に係る半導体レーザモジュールにお
いて、複屈折結晶板がルチル光学結晶板であると、ポー
ラコア型の光アイソレータよりも低コストな光アイソレ
ータを用いて、反射戻り光によって光検出器が検出する
レーザ光の光量が増加する事態を確実に回避することが
できる。
【0095】本発明に係る半導体レーザモジュールにお
いて、光アイソレータと光ファイバの入射部とが互いに
一体化されていると、光アイソレータの偏光方向と半導
体レーザ素子から出射されるレーザ光の偏光面との調節
作業が容易になる。また、光ファイバの入射面と光アイ
ソレータとの距離が一定になるため、光アイソレータの
内部におけるレーザ光のビーム径が一定になると共に、
レーザ光を光アイソレータの中心を通過させることがで
きるので、光アイソレータの外径寸法を必要最小限度ま
で小さくすることができる。
【0096】本発明に係る半導体レーザモジュールにお
いて、反射戻り光が集光されるレーザ保持具の端面に反
射防止膜が設けられていると、レーザ保持具の端面で反
射した光がパッケージ内で迷光となって、光検出器が検
出するレーザ光の光量が増加する事態を防止することが
できる。
【0097】本発明に係る半導体レーザモジュールにお
いて、光検出器の受光面が活性層の面に対して垂直な面
よりもレーザ保持具側を向いていると、反射戻り光や励
起用光源からの励起光がパッケージ内で迷光となって
も、光検出器が検出するレーザ光の光量が増加する事態
を防止することができる。
【0098】本発明に係る半導体レーザモジュールが出
力安定化装置を備えていると、光検出器から出力される
出力電流に基づいて、半導体レーザ素子の活性層から出
射されるレーザ光の出力を一定に制御することができ
る。この場合、本発明に係る半導体レーザモジュール
は、反射戻り光によって光検出器の検出光量が増加する
事態を回避できるので、半導体レーザ素子からの出力を
確実に一定に制御することができる。
【0099】本発明に係る光ファイバ増幅器によると、
励起用光ファイバからの反射戻り光や他の励起用光源の
半導体レーザ素子からの励起光が半導体レーザ素子の出
射端面に入射しないため、励起用光ファイバからの反射
戻り光や他の半導体レーザ素子からの励起光によって励
起用光源の光検出器の検出光量が増加する事態を回避で
きるので、励起用光源の半導体レーザ素子からの出力を
一定に制御することが容易になる。また、励起用光源の
半導体レーザ素子の高温化が防止されるので、該半導体
レーザ素子の高出力化が図れるので、光ファイバ増幅器
の増幅能力を増大することができる。
【0100】本発明に係る光伝送システムによると、光
ファイバ増幅器の励起用光ファイバからの反射戻り光や
他の励起用光源の半導体レーザ素子からの励起光が半導
体レーザ素子の出射端面に入射しないため、励起用光フ
ァイバからの反射戻り光や他の半導体レーザ素子からの
励起光によって励起用光源の光検出器の検出光量が増加
する事態を回避できるので、光ファイバ増幅器の励起用
光源の半導体レーザ素子からの出力を一定に制御するこ
とが容易になる。また、励起用光源の半導体レーザ素子
の高温化が防止されるので、該半導体レーザ素子の高出
力化が図れるので、光ファイバ増幅器の増幅能力を増大
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係る半導体レーザモジュール
の断面図である。
【図2】(a)は第1の実施形態に係る半導体レーザモ
ジュールの光アイソレータを構成する第1のルチルの光
学軸の方向を示し、(b)は前記光アイソレータを構成
するファラデー素子が光の偏波面を回転させる方向を示
し、(c)は前記光アイソレータを構成する第2のルチ
ルの光学軸の方向を示している。
【図3】(a)、(b)は第1の実施形態に係る半導体
レーザモジュールにおける光の偏光方向を示す図であっ
て、(a)は半導体レーザ素子からの出射光の偏光方向
を示し、(b)は光ファイバの入射部からの反射戻り光
の偏光方向を示している。
【図4】第1の実施形態に係る半導体レーザモジュール
を評価する評価試験の結果を示し、戻り光としてのレー
ザ光のパワーに対するモニタ電流の増加量を示す特性図
である。
【図5】本発明の前提となる半導体レーザモジュールの
断面図である。
【図6】第2の実施形態に係る半導体レーザモジュール
の断面図である。
【図7】(a)は第2の実施形態に係る半導体レーザモ
ジュールの光アイソレータを構成する第1の方解石の光
学軸の方向を示し、(b)は前記光アイソレータを構成
するファラデー素子が光の偏波面を回転させる方向を示
し、(c)は前記光アイソレータを構成する第2の方解
石の光学軸の方向を示している。
【図8】(a)、(b)は第2の実施形態に係る半導体
レーザモジュールにおける光の偏光方向を示す図であっ
て、(a)は半導体レーザ素子からの出射光の偏光方向
を示し、(b)は光ファイバの入射部からの反射戻り光
の偏光方向を示している。
【図9】第3の実施形態に係る半導体レーザモジュール
の断面図である。
【図10】第4の実施形態に係る半導体レーザモジュー
ルの断面図である。
【図11】第5の実施形態に係る半導体レーザモジュー
ルの断面図である。
【図12】第6の実施形態に係る半導体レーザモジュー
ルの断面図である。
【図13】第7の実施形態に係る半導体レーザモジュー
ルの断面図である。
【図14】第8の実施形態に係る半導体レーザモジュー
ルの断面図である。
【図15】第9の実施形態に係る半導体レーザモジュー
ルの断面図である。
【図16】第10の実施形態に係る光ファイバ増幅器の
全体構成図である。
【図17】(a)、(b)は第10の実施形態に係る光
ファイバ増幅器における光の偏光方向を示す図であっ
て、(a)は半導体レーザ素子からの出射光の偏光方向
を示し、(b)は光ファイバの入射部からの反射戻り光
及び他の半導体レーザ素子からの励起光の偏光方向を示
している。
【図18】第10の実施形態に係る光ファイバ増幅器の
半導体レーザ素子の光の出射位置、反射戻り光の集光位
置及び他の半導体レーザ素子からの励起光の集光位置を
示す図である。
【図19】第11の実施形態に係る光伝送システムの全
体構成図である。
【図20】第1の従来例に係る半導体レーザモジュール
の断面図である。
【図21】(a)は第1の従来例に係る半導体レーザモ
ジュールの光アイソレータを構成する第1の複屈折結晶
板の光学軸の方向を示し、(b)は前記光アイソレータ
を構成するファラデー素子が光の偏波面を回転させる方
向を示し、(c)は前記光アイソレータを構成する第2
の複屈折結晶板の光学軸の方向を示している。
【図22】(a)、(b)は第1の従来例に係る半導体
レーザモジュール及び第2の従来例に係る光ファイバ増
幅器における光の偏光方向を示す図であって、(a)は
半導体レーザ素子からの出射光の偏光方向を示し、
(b)は光ファイバの入射部からの反射戻り光及び他の
半導体レーザ素子からの励起光の偏光方向を示してい
る。
【図23】第2の従来例に係る光ファイバ増幅器の全体
構成を示す図である。
【符号の説明】
100 パッケージ 101 ペルチェ素子 102 レーザマウント 102a 半導体レーザ素子の底面 103 半導体レーザ素子 104 活性層 105 集光レンズ 106 光アイソレータ 107 光ファイバ 108 モニタPD 109 レンズ保持具 111 第1のルチル 112 第2のルチル 113 ファラデー素子 114 永久磁石 115 アイソレータ保持具 120 ファイバ保持具 120a フランジ部 121 フェルール 122 ファイバ保持具 123 アイソレータ保持具 124 ファイバ保持具 125 反射防止膜 126 出力安定化装置 127 電流源 128 制御部 201 ペルチェ素子 202 レーザマウント 202a 半導体レーザ素子の底面 203 半導体レーザ素子 204 活性層 205 集光レンズ 206 光アイソレータ 207 光ファイバ 208 モニタPD 211 第1のルチル 212 第2のルチル 213 ファラデー素子 214 永久磁石 300 増幅用光ファイバ 300a 入射部 300b 出射部 301 第1の励起用半導体レーザ光源 302 第2の励起用半導体レーザ光源 303 第1のカプラー 304 第2のカプラー 305 第1の増幅器用光アイソレータ 306 第2の増幅器用光アイソレータ 401 送信光源 402 第1の伝送用光ファイバ 403 光ファイバ増幅器 404 第2の伝送用光ファイバ 405 受信器

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 活性層からレーザ光を出射する半導体レ
    ーザ素子と、 前記半導体レーザ素子をその底面において保持するレー
    ザ保持具と、 光学軸と平行な偏光方向を持つ光を屈折させながら通過
    させる一方、光学軸と垂直な偏光方向を持つ光を屈折さ
    せることなく通過させる複屈折結晶板と、通過する光を
    一の方向に所定角度回転させながら通過させるファラデ
    ー素子とからなる光アイソレータと、 前記半導体レーザ素子の活性層の第1の出射面から出射
    されるレーザ光を前記光アイソレータに集光する集光レ
    ンズと、 前記半導体レーザ素子の活性層の第2の出射面から出射
    されるレーザ光の光量を検出する光検出器とを備えてお
    り、 前記活性層は、前記半導体レーザ素子における高さ方向
    の中央部よりも底面側の位置に形成されており、 前記光アイソレータ及び集光レンズは、前記半導体レー
    ザ素子の活性層の第1の出射面から出射されたレーザ光
    を光ファイバの入射部に集光すると共に、該光ファイバ
    の入射部からの反射戻り光を前記半導体レーザ素子の底
    面よりも前記レーザ保持具側に集光するように設けられ
    ていることを特徴とする半導体レーザモジュール。
  2. 【請求項2】 前記複屈折結晶板はルチル光学結晶板で
    あることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザモ
    ジュール。
  3. 【請求項3】 前記光アイソレータと前記光ファイバの
    入射部とは互いに一体化されていることを特徴とする請
    求項1に記載の半導体レーザモジュール。
  4. 【請求項4】 前記光アイソレータ及び集光レンズは、
    前記反射戻り光を前記レーザ保持具の端面に集光するよ
    うに設けられており、 前記レーザ保持具の端面における前記反射戻り光が集光
    する集光部には反射防止膜が設けられていることを特徴
    とする請求項1に記載の半導体レーザモジュール。
  5. 【請求項5】 前記光検出器は、その受光面が前記活性
    層が位置する平面に対して垂直な面よりも前記レーザ保
    持具側を向くように設けられていることを特徴とする請
    求項1に記載の半導体レーザモジュール。
  6. 【請求項6】 前記光検出器から出力される出力電流に
    基づいて、前記半導体レーザ素子の活性層から出射され
    るレーザ光の出力を一定に制御する出力安定化装置をさ
    らに備えていることを特徴とする請求項1に記載の半導
    体レーザモジュール。
  7. 【請求項7】 希土類イオンが添加された増幅用光ファ
    イバと、前記増幅用光ファイバに添加されている希土類
    イオンを励起する励起光を前記増幅用光ファイバに出射
    する励起用光源とを備えた光ファイバ増幅器において、 前記励起用光源は、 活性層からレーザ光を出射する半導体レーザ素子と、 前記半導体レーザ素子をその底面において保持するレー
    ザ保持具と、 光学軸と平行な偏光方向を持つ光を屈折させながら通過
    させる一方、光学軸と垂直な偏光方向を持つ光を屈折さ
    せることなく通過させる複屈折結晶板と、通過する光を
    一の方向に所定角度回転させながら通過させるファラデ
    ー素子とからなる光アイソレータと、 前記半導体レーザ素子の活性層の第1の出射面から出射
    されるレーザ光を前記光アイソレータに集光する集光レ
    ンズと、 前記半導体レーザ素子の活性層の第1の出射面から出射
    され、前記集光レンズ及び光アイソレータを通過したレ
    ーザ光を前記増幅用光ファイバに出射する励起用光ファ
    イバと、 前記半導体レーザ素子の活性層の第2の出射面から出射
    されるレーザ光の光量を検出する光検出器とを有してお
    り、 前記活性層は、前記半導体レーザ素子における高さ方向
    の中央部よりも底面側の位置に形成されており、 前記光アイソレータ及び集光レンズは、前記半導体レー
    ザ素子の活性層の第1の出射面から出射されたレーザ光
    を前記励起用光ファイバの入射部に集光すると共に、該
    励起用光ファイバの入射部からの反射戻り光を前記半導
    体レーザ素子の底面よりも前記レーザ保持具側に集光す
    るように設けられていることを特徴とする光ファイバ増
    幅器。
  8. 【請求項8】 信号光を出力する信号光源と、信号光を
    受信する受光器と、前記信号光源から出力された信号光
    を前記受光器に伝送する伝送用光ファイバと、希土類イ
    オンが添加された増幅用光ファイバ及び該増幅用光ファ
    イバに添加されている希土類イオンを励起する励起光を
    前記増幅用光ファイバに出射する励起用光源を有し、前
    記伝送用光ファイバを伝送される信号光を増幅する光フ
    ァイバ増幅器とを備えた光伝送システムにおいて、 前記光ファイバ増幅器の前記励起用光源は、 活性層からレーザ光を出射する半導体レーザ素子と、 前記半導体レーザ素子をその底面において保持するレー
    ザ保持具と、 光学軸と平行な偏光方向を持つ光を屈折させながら通過
    させる一方、光学軸と垂直な偏光方向を持つ光を屈折さ
    せることなく通過させる複屈折結晶板と、通過する光を
    一の方向に所定角度回転させながら通過させるファラデ
    ー素子とからなる光アイソレータと、 前記半導体レーザ素子の活性層の第1の出射面から出射
    されるレーザ光を前記光アイソレータに集光する集光レ
    ンズと、 前記半導体レーザ素子の活性層の第1の出射面から出射
    され、前記集光レンズ及び光アイソレータを通過したレ
    ーザ光を前記増幅用光ファイバに出射する励起用光ファ
    イバと、 前記半導体レーザ素子の活性層の第2の出射面から出射
    されるレーザ光の光量を検出する光検出器とを有してお
    り、 前記活性層は、前記半導体レーザ素子における高さ方向
    の中央部よりも底面側の位置に形成されており、 前記光アイソレータ及び集光レンズは、前記半導体レー
    ザ素子の活性層の第1の出射面から出射されたレーザ光
    を前記励起用光ファイバの入射部に集光すると共に、該
    励起用光ファイバの入射部からの反射戻り光を前記半導
    体レーザ素子の底面よりも前記レーザ保持具側に集光す
    るように設けられていることを特徴とする光伝送システ
    ム。
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