JPH10255313A - Optical pickup and its manufacture - Google Patents

Optical pickup and its manufacture

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JPH10255313A
JPH10255313A JP5455697A JP5455697A JPH10255313A JP H10255313 A JPH10255313 A JP H10255313A JP 5455697 A JP5455697 A JP 5455697A JP 5455697 A JP5455697 A JP 5455697A JP H10255313 A JPH10255313 A JP H10255313A
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JP
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film
optical pickup
surface
obliquely deposited
transparent substrate
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Pending
Application number
JP5455697A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshio Fukazawa
Yasuhiro Iwano
Shogo Nasu
Kidai Nochi
Hiroyasu Tsuji
康弘 岩野
利雄 深澤
紀台 能智
弘恭 辻
昌吾 那須
Original Assignee
Matsushita Electric Ind Co Ltd
松下電器産業株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical pickup and its manufacture, in which reliability is improved for a wavelength plate that is formed by an oblique vapor deposition method and that is provided with a double refractive action.
SOLUTION: The optical pickup contains a double refraction plate 8, which is obliquely vapor-deposited ion the surface of a transparent substrate and which is provided with a double refractive action, and parallel prisms 1, 11 equipped with a resin layer 10 covering the part which is the side of the transparent substrate and which is also a part with a cross section exposed of the double refraction plate 8. In addition, the optical pickup is such that the surface condition of the double refraction plate 8 is prescribed and that the average projection height h is h≥12nm in the surface projection distribution by AFM (atomic force microscope).
COPYRIGHT: (C)1998,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、斜め蒸着法で成膜した膜の複屈折作用を活用した光ピックアップ及びその製造法に関するものである。 The present invention relates to relates to an optical pickup and a manufacturing method utilizing the birefringence effect of the film formed by oblique deposition.

【0002】 [0002]

【従来の技術】複屈折作用は、直線偏光・円偏光間の変換や直線偏光方位角の変換を行う光学素子として種々の光学系に広く適用されていて、光ピックアップも例外ではない。 BACKGROUND ART birefringence effect, have been widely applied to various optical system as an optical element for converting conversion and linear polarization azimuth between linearly polarized light and the circularly polarized light, the optical pickup is no exception. 複屈折作用を利用した光学部材即ち複屈折板は、天然の水晶や方解石のもつ結晶構造の異方性を応用してこれらを薄く研磨したものが知られている。 The optical member or the birefringent plate using a birefringent effect, by applying the anisotropic crystal structure with the natural lens or calcite that polishing them thin is known. しかし、これらは、高価であるとともに、レーザー光の照射により情報の記録・再生を行う光ディスクの分野で、これらディスクへの記録・再生の役を担い時代の趨勢として集積化・小型化が予想される光ピックアップには適していない。 However, they, along with an expensive, in the field of optical disk for recording and reproducing information by laser light irradiation, integration and miniaturization is expected as a trend of the times play a role in the recording and reproducing for these disks not suitable for the optical pick-up that.

【0003】最近その改善策として、基板表面にTiO [0003] As a recent improvement measures, TiO on the surface of the substrate
2 、Ta 25等の誘電体薄膜を斜め蒸着法で積層した複屈折板が提供されている。 2, Ta 2 O 5 or the like birefringent plate a dielectric thin film was laminated with a oblique deposition method is provided. これは、柱状構造に伴う形態の異方性を応用した複屈折板である。 This is birefringent plate that applies anisotropic form with a columnar structure. このような複屈折板を用いたデジタルビデオディスクDVDを対象とした光ピックアップの一例として、図6(a)、(b)及び(c)で示すような特願平7ー188898号公報がある。 As an example of an optical pickup for its digital video disc DVD using such birefringent plate, FIG. 6 (a), the there is Japanese Patent Application No. Hei 7-2 188898 JP, as shown by (b) and (c) . 図6(a)は従来の光学系の概略断面図であり、 6 (a) is a schematic sectional view of a conventional optical system,
(b)は光ピックアップを構成し後述されるビームスプリッタ121の側面図であり、(c)は受光素子部分の拡大上面図である。 (B) is a side view of the beam splitter 121 to be described later constitute an optical pickup, (c) is an enlarged top view of the light receiving element portion.

【0004】図6において、103は光学モジュールであり、その内部には基板104が設けられている。 [0004] In FIG. 6, 103 is an optical module, a substrate 104 is provided therein. 基板104には、レーザーダイオード105と光検出素子1 The substrate 104, the laser diode 105 and the light detecting element 1
06、107、108が設けられている。 06,107,108 is provided. レーザーダイオード105は、例えば基板104の一部に45°の斜面を有する凹部を設け、その中に発光チップを搭載して、発光チップからの放射光が45°の斜面にあたり、 Laser diode 105, for example provided with a recess having a slope portion at 45 ° of the substrate 104, equipped with a light emitting chip therein, the emitted light from the light emitting chip Upon slope 45 °,
反射して上方に放射させるようにしたものであり、P偏光の直線偏光の光を放射する。 Reflected and is obtained by so as to emit upward, it emits linearly polarized light of P-polarized light.

【0005】光検出素子106、108はそれぞれ4個ずつの分割された106a、106b、106c、10 [0005] divided 106a of the light-detecting element 106 and 108 by each of four, 106b, 106c, 10
6d及び108a、108b、108c、108dから成っており、領域106bと領域106dを分割する分割線及び領域108bと領域108dを分割する分割線の方向が情報記録媒体124の情報トラック列の方向と略平行になるように構成されている。 6d and 108a, 108b, 108c, and consist 108d, region 106b and the region 106d substantially the direction of the information track row direction information recording medium 124 of the dividing line and the dividing line which divides the region 108b and the region 108d to divide the and it is configured to be parallel. 109はガラスまたは樹脂で構成された透明基板であり、基板104に対向する面のうち光検出素子106、107、108に対向する領域には、略5°〜20°の回折角で回折される±1次回折光の焦点位置が光検出素子106、107、 109 is a transparent substrate made of glass or resin, in the region facing the inner photodetector 106, 107, 108 of the surface facing the substrate 104, is diffracted by the diffraction angle of approximately 5 ° to 20 ° ± 1 st focal point of the diffracted light photodetector element 106, 107,
108の面を中心に、それぞれ透明基板109に近い側と遠い側に来るようなレンズ効果を有するホログラム回折格子120が設けられており、透明基板109は、光学モジュール103の内部を密閉する形で設けられている。 The center plane 108, and hologram diffraction grating 120 having a lens effect as respectively come to the side and far side close to the transparent substrate 109 is provided, the transparent substrate 109 in the form to seal the interior of the optical module 103 It is provided.

【0006】121は、断面が略直角三角形のプリズムと断面が略45°である略平行四辺形のプリズムを接合した偏光ビームスプリッタであり、その接合面では、P [0006] 121 in cross section a polarizing beam splitter formed by bonding a substantially parallelogram prism is a prism and cross section substantially 45 ° of a substantially right-angled triangle, with its bonding surface, P
偏光の光は透過しS偏光の光は反射する光学膜121a The optical film 121a polarization of the light is the light of the transmitted S-polarized light reflected
である。 It is. 光学膜121aは、誘電体膜を多層化して構成されている。 The optical film 121a is constituted by multi-layered dielectric film. 偏光ビームスプリッタ121は透明基板1 Polarizing beam splitter 121 is a transparent substrate 1
09上に一体に構成されており、斜面121bは、光学モジュール103の内部に向かって傾斜している。 09 on which is integrally formed on the inclined surface 121b is inclined toward the interior of the optical module 103.

【0007】122は偏光ビームスプリッタ121の上面に一体に設けられた1/4波長板であり、直線偏光の光を円偏光に変えるものであり、TiO 2 、Ta 25等の誘電体薄膜を斜め蒸着法で積層され複屈折作用を有した複屈折板である。 [0007] 122 is a quarter-wave plate provided integrally on the upper surface of the polarization beam splitter 121, which alter the linearly polarized light into circularly polarized light, the dielectric thin film such as TiO 2, Ta 2 O 5 the stacked in an oblique deposition method which is a birefringent plate having a birefringent action.

【0008】上記のように構成された光ピックアップでは、レーザーダイオード105より放射されたP偏光の光は、透明基板109を通過して偏光ビームスプリッタ121に入射し、光学膜121aを透過して、1/4波長板122に入射する。 [0008] In the configuration optical pickup as described above, the P-polarized light emitted from the laser diode 105 is incident on the polarization beam splitter 121 passes through the transparent substrate 109 is transmitted through the optical film 121a, It enters the quarter-wave plate 122. ここでP偏光の光は円偏光に変わって出射され、対物レンズ123により情報記録媒体124上に集光される。 Here the light of P-polarized light is emitted changed into circularly polarized light, is focused on the information recording medium 124 by the objective lens 123. 情報記録媒体124上で情報信号を得て反射した円偏光の光は、再び対物レンズ123 Information optical recording medium 124 to obtain the information signal on the reflected circularly polarized light passes again through objective lens 123
を透過して1/4波長板122に入射する。 It passes through the incident on the quarter-wave plate 122. ここで、再び1/4波長板122を透過することにより、円偏光の光はレーザーダイオードより放射されたP偏光と直交する直線偏光、すなわちS偏光に変わって出射され、偏光ビームスプリッタ121に入射し、光学膜121aで反射され、斜面121bで反射された後に透明基板109 Here, by passing through the quarter-wave plate 122 again, circularly polarized light is linearly polarized light perpendicular to the P polarized light emitted from the laser diode, that is, emitted changed into S-polarized light, incident on the polarization beam splitter 121 and it is reflected by the optical film 121a, the transparent substrate after being reflected by the inclined surface 121b 109
のホログラム回折格子120に入射する。 To the incident on hologram diffraction grating 120.

【0009】ここで、光は略5°〜20°の回折角で回折され、例えば+1次回折光は光検出素子106に入射し、0次光は光検出素子107に入射し−1次回折光は光検出素子108に入射する。 [0009] Here, the light is diffracted by the diffraction angle of approximately 5 ° to 20 °, for example + 1st-order diffracted light is incident on the light detecting element 106, zero-order light is incident -1-order diffracted light to the light detecting element 107 It enters the light detection element 108.

【0010】上記のような構成によるDVDを対象とした光ピックアップでは光学モジュール103と偏光ビームスプリッタ121を一体に設け、偏光ビームスプリッタ121と1/4波長板122を一体に設けたことにより、光ピックアップの大幅な小型化が可能となった。 [0010] provided an optical module 103 and the polarization beam splitter 121 together in the configuration optical pickup intended for DVD by the above, by providing integrally the polarizing beam splitter 121 and the quarter-wave plate 122, the light a large reduction in the size of the pick-up has become possible. また、光学モジュール内103に一体にレーザーダイオード105と光検出素子106、107、108が構成されているので、部品点数が少なく、また光検出素子10 Further, since the laser diode 105 and the light detecting elements 106, 107, 108 integrally in the optical module 103 is configured, the number of parts is small, also the light detecting element 10
6、107、108の高精度な位置決めが不用となって光ピックアップの低コスト化が可能となった。 Accurate positioning of 6,107,108 has become possible to reduce the cost of the optical pickup becomes unnecessary.

【0011】 [0011]

【発明が解決しようとする課題】斜め蒸着法で形成され複屈折作用を有した上記波長板は、微視的に観れば透明の基板表面に傾斜した柱状構造を呈しているとともに、 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the wave plate having a birefringence effect is formed by oblique deposition, together and has a inclined columnar structure on the transparent substrate surface when viewed microscopically,
よく知られているように、波長板全体のパッキング密度はきわめて小さく柱状間に空隙部を有している。 As is well known, the packing density of the whole wave plate has a gap portion between very small columnar.

【0012】このために、高温環境及び高温高湿環境等に曝露すると、この空隙部内に水分や他液体が侵入し、 [0012] For this, upon exposure to a high temperature environment and high-temperature and high-humidity environment, moisture or other liquid penetrates into the gap portion,
内部に残留もしくは痕跡を残して複屈折としての性能が劣化する場合がある。 Sometimes deteriorate the performance of the birefringence, leaving the residual or trace therein. 又、前記波長板はパッキング密度は極めて小さく前記基板と前記傾斜した柱状構造で接し、前記波長板と透明基板間の付着力は小さいために、 In order the wave plate packing density is in contact with the columnar structure in which the inclined extremely small the substrate, adhesion between the wavelength plate and the transparent substrate is small,
力学的な力が加わると前記波長板が破壊する場合がある。 Mechanical force is applied to the wave plate is sometimes destroyed.

【0013】この斜め蒸着膜内への水分や他液体の侵入による複屈折としての性能劣化を防ぐために柱状組織間に透明樹脂を含浸させた構造を特開平1ー312507 [0013] moisture and Hei a structure impregnated with a transparent resin between columnar structure according to the other liquid penetration to prevent performance degradation as the birefringent 1 over to the obliquely deposited film 312507
号公報は開示している。 JP discloses. しかし、含浸した該透明樹脂を含んだ複屈折板は、柱状間の空隙部への水分や他液体の侵入を平均的には防止できるが、透明樹脂そのものの欠陥部を通して侵入した水分や他液体は、逆に内部に残留したり痕跡を残して複屈折としての性能が必ずしも改善するものではなかった。 However, the birefringence plates containing impregnated transparent resin is water or other liquids from entering the air gap between the columnar On average prevents moisture or other liquid which enters through the defect portion of the transparent resin itself is the performance of the birefringence was not necessarily improved leaving traces or remaining inside the contrary.

【0014】また、前記付着力を改善するためにプラズマ蒸着法による斜め蒸着膜を適用した構造を特開平5ー132768号公報は開示している。 Further, JP-A-5 over 132,768 discloses applying a structure of oblique evaporated film by plasma deposition method in order to improve the adhesion discloses. しかしプラズマを発生させるための装置を要するため、コスト高を導いていた。 However it takes a device for generating plasma, have led to high cost.

【0015】本発明は、前記従来の問題、即ち斜め蒸着法で形成され複屈折作用を有した波長板の信頼性を改善した光ピック及びその製造を提供することを目的とする。 [0015] The present invention, the conventional problems, and an object thereof is to provide an namely optical pickup and the manufacturing and improve the reliability of the oblique deposition method is formed in a wave plate having a birefringent action.

【0016】 [0016]

【課題を解決するための手段】前記目的、とりわけ高温環境及び高温高湿環境における信頼性を改善するために、本発明の光ピックアップは、透明基板表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含み、前記透明基板の側面でしかも前記斜め蒸着膜の断面が露呈した部分を少なくとも被覆した樹脂層を備えたものである。 SUMMARY OF THE INVENTION The above objects, among other things to improve the reliability in a high temperature environment and high-temperature and high-humidity environment, the optical pickup of the present invention, diagonal having a birefringence effect is obliquely deposited on the surface of a transparent substrate includes a deposited film, only on the side of the transparent substrate is also one with a resin layer in which at least covers the cross-section is exposed portion of the obliquely deposited film.

【0017】また、前記本発明の光ピックアップにおける前記斜め蒸着膜は、少なくとも2層からなり、各層の透明基板に対する蒸着方向が、異なることが好ましい。 Further, the oblique deposition film in the optical pickup of the present invention comprises at least two layers, deposition direction with respect to the transparent substrate of each layer, is preferably different.

【0018】さらに本発明の光ピックアップは、透明基板表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含み、該斜め蒸着膜はAFM(原子間力顕微鏡)観察で平均突起高さhがh≧12nmである表面を備えたものである。 Furthermore the optical pickup of the present invention includes an oblique vapor deposition film having a is obliquely deposited on the surface of a transparent substrate a birefringent effect, the oblique deposition film has an average projection height h in AFM (atomic force microscope) observation are those with a surface that is h ≧ 12nm. そして、前記斜め蒸着膜表面の平均突起粗さh Then, average protrusion roughness h of the obliquely deposited film surface
は、前記透明基板の表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を形成した後、真空中で前記斜め蒸着膜の表面をイオンミリングを行って形成される。 , After forming the obliquely deposited film having a birefringence effect is obliquely deposited on the surface of the transparent substrate is formed a surface of the obliquely deposited film in vacuum by ion milling. また、前記本発明の光ピックアップにおける前記斜め蒸着膜は、 Further, the oblique deposition film in the optical pickup of the present invention,
少なくとも2層からなり、各層の透明基板に対する蒸着方向が、異なることが好ましい。 Consists of at least two layers, deposition direction with respect to the transparent substrate of each layer, is preferably different.

【0019】さらに、前記目的とりわけ前記付着力に関わる信頼性を改善するために、前記透明基板の表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含み、該斜め蒸着膜の下部の表面及び上部の表面に接して形成した下部層膜及び上部層膜を前記斜め蒸着膜と同一材料としている。 Furthermore, in order to improve the reliability related to the purpose, inter alia the adhesion comprises obliquely deposited film having a is obliquely deposited birefringence effect on the surface of the transparent substrate, the surface of the lower portion of the oblique evaporated film and an upper lower layer film and an upper layer film was formed on the surfaces of which the said obliquely deposited film of the same material. また、前記本発明の光ピックアップにおける前記斜め蒸着膜は、少なくとも2層からなり、各層の透明基板に対する蒸着方向が、異なることが好ましい。 Further, the oblique deposition film in the optical pickup of the present invention comprises at least two layers, deposition direction with respect to the transparent substrate of each layer, is preferably different. そして、前記斜め蒸着膜はTa 25膜で、下部層膜及び上部層膜は透明基板の法線に対して略平行に形成したTa 2 Then, the oblique deposition film Ta 2 O 5 film, Ta 2 was formed substantially parallel to the lower layer film and an upper layer film to the normal of the transparent substrate
5膜であることが好ましい。 O is preferably 5 film.

【0020】さらに、前記目的とりわけ高温高湿環境における信頼性を改善するために、本発明の光ピックアップは、透明基板表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含み、前記斜め蒸着膜の表面もしくは前記斜め蒸着膜の上部に接して形成した上部層膜の表面に、 Furthermore, to improve reliability in the object especially high temperature and high humidity environment, the optical pickup of the present invention includes an oblique vapor deposition film having a is obliquely deposited on the surface of a transparent substrate a birefringent effect, the oblique deposition the surface or the surface of the upper layer film formed in contact with the upper portion of the oblique evaporated film layer,
はっ水作用を有したはっ水層を備えたものである。 Repellent having a water-repellent effect is obtained with the aqueous layer. また、前記本発明の光ピックアップにおける前記斜め蒸着膜は、少なくとも2層からなり、各層の透明基板に対する蒸着方向が、異なることが好ましい。 Further, the oblique deposition film in the optical pickup of the present invention comprises at least two layers, deposition direction with respect to the transparent substrate of each layer, is preferably different.

【0021】 [0021]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明は、透明基板の表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含み、前記透明基板の側面でしかも前記斜め蒸着膜の断面が露呈した部分を少なくとも樹脂層で被覆したことを特徴としたものである。 The invention according to claim 1 of the embodiment of the present invention includes an obliquely deposited film having a is obliquely deposited on the surface of the transparent substrate birefringence effect, said obliquely deposited film even only on the side of the transparent substrate a portion of the cross section is exposed is obtained is characterized in that coated with at least a resin layer. これは、本発明者の長年にわたる鋭意研究の末判明した実験事実即ち前記斜め蒸着膜の断面が露呈している部分は光ピックアップが曝される高温環境及び高温高湿環境に最も影響を受けやすいことに基づいている。 Easy This longstanding partial cross section is exposed turned out experiments fact that is, the obliquely deposited film end of intensive studies of the present inventors have most affected to a high-temperature environment and high-temperature and high-humidity environment optical pickup is exposed It is especially based. 従って前記斜め蒸着膜の断面が露呈している部分を少なくとも樹脂層で被覆しているために、これら環境因子の影響による性能劣化を大幅に改善できるという作用を有する。 Thus an effect that a portion cross section of the obliquely deposited film is exposed to being coated with at least the resin layer, the performance degradation due to the influence of these environmental factors can be greatly improved.

【0022】本発明の請求項2に記載の発明は、透明基板の表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含み、前記斜め蒸着膜表面へのAFM(原子間力顕微鏡)による観察で、表面突起分布の平均突起高さhがh [0022] The invention according to claim 2 of the present invention includes an oblique vapor deposition film having a birefringence effect is obliquely deposited on the surface of the transparent substrate, by AFM (atomic force microscope) to the obliquely deposited film surface in observation, the average projection height h of the surface projection distribution h
≧12nmであることを特徴としたものである。 It is obtained by being a ≧ 12 nm. これは、本発明者の長年にわたる鋭意研究の末に得た結果に基づいたものである。 This is based on the results obtained at the end of the years of intensive studies of the present inventors. 即ち、微視的に観れば基板表面に傾斜した柱状構造を呈しパッキング密度がきわめて小さく柱状間に空隙部を有しさらに前記表面性状を有した前記斜め蒸着膜は、高温環境及び高温高湿環境に曝されても、これら環境因子と可逆的に対応し前記斜め蒸着膜内への残留及び痕跡を軽減するために、これら環境因子による光学性能の劣化を大幅に改善できるという作用を有する。 That is, the obliquely evaporated film having a further said surface texture has a gap portion between microscopically very small packing density exhibit a columnar structure inclined to the substrate surface when viewed columnar, high-temperature environment and high-temperature and high-humidity environment exposed to be, in order to reduce these environmental factors and reversibly corresponding residual and traces to the obliquely evaporated film, an effect that deterioration in optical performance caused by these environmental factors can be greatly improved.

【0023】本発明の請求項3に記載の発明は、透明基板の表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含み、前記斜め蒸着膜の下部の表面及び上部の表面に接して形成した下部層膜及び上部層膜を前記斜め蒸着膜と同一材料で構成したことを特徴としたものである。 The invention described in claim 3 of the present invention includes an oblique vapor deposition film having a birefringence effect is obliquely deposited on the surface of the transparent substrate, in contact with the lower surface and the upper surface of the oblique evaporated film forming the lower layer film and an upper layer film is obtained by characterized by being configured by the same material as obliquely deposited film. これにより、たとえパッキング密度が極めて小さく前記透明基板と前記傾斜した柱状構造で接していても、個々の前記柱状物と前記基板間の実質的な付着力を増加させることができるという作用を有する。 Accordingly, even if the packing density is in contact with the columnar structure in which the inclined with extremely small the transparent substrate, an effect that can increase a substantial adhesion between the individual of the pillars substrate.

【0024】本発明の請求項4に記載の発明は、斜め蒸着膜をTa 25膜で、下部層膜及び上部層膜を透明基板の法線に対して略平行に形成したTa 25膜であることを特徴とした請求項3記載のピックアップであり、斜め蒸着膜、下部層膜及び上部層膜を上記のように限定することにより、より付着力が増加するという作用を有する。 The invention described in claim 4 of the present invention, the obliquely deposited film with the Ta 2 O 5 film, Ta 2 O was formed substantially parallel to a lower layer film and an upper layer film to the normal of the transparent substrate 5 is a pick-up according to claim 3, wherein it is a film, the oblique deposition film, by a lower layer film and an upper layer film to limit as described above, has the effect of more adhesion force increases.

【0025】本発明の請求項5に記載の発明は、透明基板の表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め、前記斜め蒸着膜の表面もしくは前記斜め蒸着膜の上部に接して形成した上部層膜の表面に、はっ水作用を有したはっ水層を設けたことを特徴としている。 The invention described in claim 5 of the present invention, diagonal having a birefringence effect is obliquely deposited on the surface of the transparent substrate, an upper formed in contact with the upper surface or the obliquely deposited film of the oblique evaporated film the surface of the layer film, crawling is characterized in that a water-repellent layer having a water activity. これにより、高温高湿環境とりわけ水分による前記斜め蒸着膜への影響を軽減できるという作用を有する。 Thus, an effect that can reduce the impact on the obliquely deposited film due to high temperature and high humidity environment especially water.

【0026】本発明の請求項6に記載の発明は、斜め蒸着膜は少なくとも2層からなり各層の透明基板に対する蒸着方向が異なることを特徴とした請求項1、2、3及び5記載の光ピックアップである。 The invention described in claim 6 of the present invention, the light obliquely deposited film according to claim 1, 2, 3 and 5 according to said deposition direction are different with respect to the transparent substrate of each layer consists of at least two layers it is a pick-up. これは、高温高湿環境における本発明者の長年にわたる鋭意研究の末判明した実験事実即ち、斜め蒸着膜の表面から該斜め蒸着膜の厚みの深さ方向内部に向かって侵入し影響を与える水分は、斜め蒸着膜を多層に構成し各層の蒸着方向を異なるように構成すると、実質的な侵入深さが減少することに基づいている。 Moisture which is giving the inventor's words found experiments fact the end of intensive research over the years, penetrated toward the surface of the obliquely deposited film inside the depth direction of the thickness of the oblique evaporated film effect in a high-temperature and high-humidity environment , configuring obliquely deposited film constituted a multilayer differently deposition direction of the layers are based on substantial penetration depth is reduced. このため、前記斜め蒸着膜全体で見ると上記環境因子による影響を受ける割合が軽減できるという作用を有する。 Therefore, an effect that the proportion affected by the environmental factors when viewed across the obliquely deposited film can be reduced.

【0027】本発明の請求項7に記載の発明は、光ピックアップの製造法に関するものであって、透明基板の表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を形成する工程と、真空中で前記斜め蒸着膜の表面をイオンでミリングする工程を少なくとも備えたことを特徴としている。 The invention described in claim 7 of the present invention relates to a optical pickup manufacturing method, a step of forming a obliquely deposited film having a is obliquely deposited on the surface of the transparent substrate birefringence effect, vacuum is characterized in that the surface of the obliquely deposited film comprising at least a step of milling ions at medium. これは、請求項3記載の光ピックアップの製造法であり、前記斜め蒸着膜を形成した後、真空中で適正な条件を用いてイオンによるミリングを前記斜め蒸着膜の表面に行うと、所望の表面性状に形成出来る作用を有する。 This is a manufacturing method of an optical pickup according to claim 3, wherein, after forming the obliquely evaporated film is subjected to milling by ion on the surface of the obliquely deposited film using appropriate conditions in a vacuum, the desired It has an action that can form on the surface texture.

【0028】以下、本発明の実施の形態について、図1 [0028] Hereinafter, embodiments of the present invention, FIG. 1
〜図4を用いて説明する。 It will be described with reference to to 4. (実施の形態1)図1(a)び(b)は、本発明の第1 (Embodiment 1) FIGS. 1 (a) Beauty (b), the first of the present invention
の実施の形態における本発明の光ピックアップを構成する複屈折板及びその周辺部材を含んだプリズムの断面図及び側面図をそれぞれ示している。 It shows a cross-sectional view of the birefringent plate and a prism including a peripheral member constituting the optical pickup of the present invention in the embodiment of and side views, respectively. 同図に示すように、 As shown in the figure,
プリズム1は光学的に透明であって断面が略45°の略平行四辺形である硝材2を有し、該硝材2の斜面3上にはAl 23 、SiO 2 、Y 23及びTiO 2膜のような複数の誘電体膜を積層した偏光ビームスプリッタ膜4を設け、同一の硝材2内であって斜面3と略平行の関係にある斜面5上には、SiO 2 、Al 23及びTiO 2膜のような複数の誘電体膜を積層した反射膜6を設け、プリズム上部表面7には斜め蒸着法でSiO 2 、Al 23、 Ti Prism 1 has a glass material 2 is substantially parallelogram an optically clear cross-section substantially 45 °, Al 2 O 3 is formed on the inclined surface 3 of the nitric member 2, SiO 2, Y 2 O 3 and the polarizing beam splitter film 4 formed by laminating a plurality of dielectric films such as TiO 2 film is provided, on the inclined surface 5 in a substantially parallel relationship with the slope 3 of the same glass material within 2, SiO 2, Al 2 O 3 and reflective film 6 a plurality of dielectric films stacked as TiO 2 film is provided, SiO 2, Al 2 O 3 by oblique deposition in the prism top surface 7, Ti
2及びTa 25等の酸化物であって複屈折作用を有した複屈折板8を設け、硝材側面9でしかも複屈折板8の断面が露呈した部分を少なくとも被覆した樹脂層10を設け、偏光ビームスプリッタ膜4を介して断面が略直角三角形のプリズム11を接合している。 An oxide such as O 2 and Ta 2 O 5 provided through the birefringent plate 8 having a birefringence effect, the resin layer 10 in which at least covers the cross-section is exposed portion of the glass material side 9, yet birefringent plate 8 provided, it is joined to the prism 11 having a substantially right-angled triangular cross-section through the polarizing beam splitter film 4.

【0029】このプリズム1を対象として、温度が60 [0029] As the subject of this prism 1, the temperature is 60
℃、湿度が90%R.Hである高温高湿環境に500時間放置したときの複屈折板8に見られる挙動を、 ° C., the behavior found in the birefringent plate 8 when the humidity for 500 hours in a high-temperature high-humidity environment is 90% R.H.,

【0030】 [0030]

【表1】 [Table 1]

【0031】に示す。 It is shown in [0031]. (表1)における痕跡の有無とは、複屈折板8の表面8aを倍率100の光学顕微鏡で観察したときに見られる痕跡の存在に関する観察結果を示すものであり、位相差の変化とは、p波とs波間の位相差の変化を示すものであって、上記複屈折板8は環境試験前には概ね90度になるように構成している。 The presence of traces in (Table 1), which shows the observation results for the presence of traces seen when observing the surface 8a of the birefringent plate 8 with an optical microscope magnification 100, the change in the phase difference, there is shown a variation of the phase difference between the p-wave and s waves, the birefringent plate 8 are configured to be approximately 90 degrees before the environmental test. なお、(表1)の比較例1として、上述した実施の形態1 As a comparative example 1 (Table 1), the embodiments described above form 1
とは本質的には同じ構成であるが、上述した樹脂層のみを具備していないプリズムを用いた。 The same configuration is essentially the but using a prism that is not provided with only the resin layer described above.

【0032】(表1)から明らかなように、従来のプリズムと比べ、上記環境の履歴に伴う痕跡の存在が無いために、光学性能の劣化を大幅に改善していることが判る。 [0032] As is clear from (Table 1), compared with the conventional prism, for the presence of traces associated with the history of the environment is not, it can be seen that significantly improved the deterioration of optical performance. このように良好な信頼性が得られるのは、前記透明の基板である硝材側面9でしかも前記斜め蒸着膜の断面が露呈した部分を少なくとも樹脂層10で被覆しているために、高温高湿環境に放置されても、これら環境因子に最も影響を受けやすい部分からの劣化を抑制していることによる。 The reason why the good reliability is obtained, in order to cross-section of the a substrate of transparent glass material side 9, yet the obliquely deposited film is coated with at least the resin layer 10 a portion of exposed, high temperature and high humidity It is left in the environment, due to the fact that suppresses the deterioration of the sensitive part of the greatest effect on these environmental factors.

【0033】(実施の形態2)図2は、本発明の第2の実施の形態における光ピックアップを構成した複屈折板の表面即ちプリズム上部表面7に斜め蒸着法で構成したTa 25の複屈折板8の表面8aに対するAFMによる表面性状に関する観察結果をヒストグラムによる突起分布で示している。 [0033] Figure 2 (Embodiment 2), the Ta 2 O 5 to the surface or the prism top surface 7 of the birefringent plate having the optical pickup is constituted by an oblique vapor deposition method in the second embodiment of the present invention It shows the observations regarding surface properties by AFM in projection distribution by histogram for the surface 8a of the birefringent plate 8. 同図における横軸は突起高さ、縦軸は、個々の突起高さの占める割合を表している。 The horizontal axis projection height in the figure, the vertical axis represents the proportion of each projection height.

【0034】本発明では同ヒストグラムから算出した突起高さの平均値を平均突起高さhとして定義し、該平均突起高さhの数値を用いて表面性状を記述している。 [0034] The present invention defines the average value of the projection height calculated from the histogram as the average protrusion height h, describes the surface texture using the numerical value of the average protrusion height h. なお被観察の領域としては一辺を17μmとした正方形の領域を選んでいる。 Incidentally are choosing square region was 17μm one side as the area of ​​the observed.

【0035】前記表面8aは、プリズム上部表面7にT [0035] The surface 8a has, T prism top surface 7
25の複屈折板8を入射角が72度に設定した斜め蒸着法を適用して形成した後、イオンミリング装置内でA After the incident angle of the birefringent plate 8 of a 2 O 5 is formed by applying the oblique deposition was set to 72 degrees, A in the ion milling device
rガスを用いて前記表面8aをミリングして形成される。 It is formed by milling the surface 8a with r gas. なお、斜め蒸着における入射角とは、プリズムの上部の表面7における法線と蒸着粒子が飛来してくる方向とのなす角度として定義する。 Note that the incident angle in the oblique deposition is defined as the angle between the direction normal to the vapor deposition particles on the surface 7 of the upper part of the prism come flying.

【0036】ミリングの条件を変数即ち前記表面8aにおける平均突起高さhを変数とし該表面8aで構成したTa 25の複屈折板8を複屈折作用を有した波長板とし、既に実施の形態1で記述した偏光ビームスプリッタ膜4及び反射膜6を設け、前記偏光ビームスプリッタ膜4を介して断面が略直角三角形のプリズム11を接合したプリズム1を対象として、温度が60℃、湿度が90 [0036] The birefringent plate 8 of Ta 2 O 5 which is constituted by a surface 8a average protrusion height h of milling conditions in a variable that is, the surface 8a as a variable the wavelength plate having a birefringent action already performed the polarizing beam splitter film 4 and the reflection film 6 described in embodiment 1 is provided, as the target prism 1 joined prism 11 having a substantially right-angled triangular cross-section through the polarizing beam splitter film 4, the temperature is 60 ° C., humidity 90
%R.Hである高温高湿環境に500時間放置する試験を行った。 Were left to test 500 hours% high-temperature and high-humidity environment is R.H..

【0037】既に実施の形態1で記述した比較例1は、 [0037] Comparative Example 1 already described in Embodiment 1,

【0038】 [0038]

【表2】 [Table 2]

【0039】では平均突起高さhが5nm相当である。 [0039] In the average projection height h is equivalent to 5nm.
平均突起高さh、倍率100の光学顕微鏡で観察したときに見られる痕跡の存在に関する観察及び既に記述した位相差の変化に関する結果を表した(表2)から、前記表面8aのもつ平均突起高さhの増加に伴い、上記環境の履歴に伴う痕跡の存在が減少し、12nm以上の平均突起高さhで光学性能の劣化が改善していることが判る。 The average projection height h, showing the results of changes in the phase difference observation and already described for the presence of traces seen when observed with an optical microscope magnification 100 (Table 2), the average projection height with the said surface 8a is with increasing h, the presence of traces associated with the history of the environment is reduced, it can be seen that the deterioration of the optical performance 12nm or more average protrusion height h is improved.

【0040】このように信頼性が改善されるのは、前記斜め蒸着膜の表面8aの平均突起高さhが大きくなると、高温環境及び高温高湿環境に曝されても、これら環境因子と可逆的に対応し前記斜め蒸着膜内への前記環境履歴に伴って発生した痕跡を軽減していることによる。 [0040] This way the reliability can be improved, the average projection height h of the surface 8a of the oblique deposition film increases, even when exposed to high temperature environment and high-temperature and high-humidity environment, these environmental factors and reversible to due to that reduce a corresponding traces that occurred with the environmental history for the obliquely evaporated film.

【0041】(実施の形態3)図3は、本発明の第3の実施の形態における光ピックアップを構成し複屈折作用を有した波長板即ち透明の硝材上部表面7に斜め蒸着法で形成したTa 25の複屈折板8及びその周辺部材を含んだプリズムを拡大した側面図である。 [0041] (Embodiment 3) FIG. 3 was formed by oblique deposition to a third glass material the upper surface 7 of the wave plate or transparent having a birefringence effect to the optical pickup in the embodiment of the present invention including a birefringent plate 8 and its peripheral members of ta 2 O 5 is an enlarged side view of the prism.

【0042】81は斜め蒸着膜Ta 25膜の下部の表面に接して形成した下部層であり、82は前記斜め蒸着膜Ta 25の上部の表面に接して形成した上部層であって、前記下部層81及び前記上部層82の透過率及び反射率等光学的特性を有させるために一例として各々3層及び2層構造で提示されている。 [0042] 81 is a lower layer formed in contact with the bottom surface of the obliquely deposited film the Ta 2 O 5 film, 82 is a an upper layer formed in contact with the upper surface of the obliquely deposited film Ta 2 O 5 Te, it is presented in each three-layer and two-layer structure as an example in order to have the transmittance and reflectance, such as optical properties of the lower layer 81 and the upper layer 82.

【0043】前記下部層81は、前記硝材2の表面7の法線に対し略平行にTa 25膜81aを形成し続いて該Ta 25膜81aの表面にSiO 2膜81bを形成しさらに該SiO 2膜の表面に前記斜め蒸着膜Ta 25膜8 [0043] The lower layer 81 forming the SiO 2 film 81b and subsequently to form substantially parallel to the Ta 2 O 5 film 81a to the normal line of the surface 7 of the glass material 2 on the surface of the the Ta 2 O 5 film 81a the further surface of the SiO 2 film was obliquely deposited film the Ta 2 O 5 film 8
と同一の材料であるTa 25膜81cを形成している。 Forming a the Ta 2 O 5 film 81c of the same material as the.

【0044】前記上部層82は、前記斜め蒸着法で形成したTa 25膜8の上部表面に前記硝材2の表面7の法線に対し略平行に複屈折板8と同一の材料であるTa 2 [0044] The upper layer 82 is the same material as the birefringent plate 8 substantially parallel to the normal of the surface 7 of the glass material 2 on the top surface of the Ta 2 O 5 film 8 formed by the oblique deposition Ta 2
5膜82bを形成し続いて該Ta 25膜82bの表面にSiO 2膜で形成した82cを設けている。 O 5 film 82b and subsequently to form are provided 82c formed in the SiO 2 film on the surface of the the Ta 2 O 5 film 82b.

【0045】このプリズム1を含んだ光ピックアップを対象として、温度が60℃、湿度が90%R.Hである高温高湿環境に500時間放置した後、該光ピックアップを試作の光ディスクに搭載し該光ディスクに対して試作の落下衝撃試験機を用いて、落下による衝撃試験を行った。 [0045] As the object an optical pickup including this prism 1, temperature of 60 ° C., after humidity for 500 hours in a high-temperature high-humidity environment is 90% R.H., mounted optical pickup prototype of the optical disk using a drop impact tester prototype against the optical disc were impact test by dropping. その試験結果を、 The test results,

【0046】 [0046]

【表3】 [Table 3]

【0047】に表している。 [0047] to represent. (表3)に表した試験結果とは、落下による衝撃試験を終えた後前記プリズムに対する観察結果とりわけ複屈折作用の機能を有した複屈折板8に対する観察結果を示すものであり、該複屈折板8 (Table 3) Test Results The expressed in, which shows the observation result of the birefringent plate 8 having the observation especially functions of the birefringence effect on the prism after finishing an impact test by dropping, the birefringent plate 8
が剥離していない場合を「○」、部分的にも剥離している場合を「△」、剥離領域が極めて多い場合を「×」で表している。 There the case where no peeling "○", the case that peeling partially "△" represents the case where the separation area is very large by "×".

【0048】そして(表3)に表している比較例2とは、上部層82の構成のみ異なる、即ち複屈折板8の表面と接する薄膜82bが複屈折板8と異なった材料であるTiO 2膜で構成していることのみ実施例3と異なった例であり、比較例3とは下部層81の構成のみ異なる、即ち複屈折板8の表面と接する薄膜81cが複屈折板8と異なった材料であるTiO 2膜で構成していることのみ実施例3と異なった例を表している。 [0048] Then (Table 3) and in which in Comparative Example 2 shown in, different only in the structure of the upper layer 82, i.e., TiO 2 thin film 82b are at different material as the birefringent plate 8 in contact with the surface of the birefringent plate 8 an example that is different from the third embodiment only in that constituting the membrane, the Comparative example 3 differs only in the configuration of the lower layer 81, i.e., a thin film 81c in contact with the surface of the birefringent plate 8 is different from the birefringent plate 8 shows an example that is different from the third embodiment only that they are composed of TiO 2 film is a material.

【0049】(表3)から明らかなように、前記複屈折板の下部の表面及び上部の表面に接して形成した下部層膜及び上部層膜を前記斜め蒸着膜と同一材料で構成すると、下部層膜と斜め蒸着膜間及び斜め蒸着膜と上層膜間の結晶学的な歪みを少なくすることができるために、複屈折板8の剥離が改善即ち付着力が改善していることが判る。 [0049] (Table 3) As is clear from, configuring a lower layer film and an upper layer film is formed in contact with the lower surface and the upper surface of the birefringent plate of the same material as the oblique evaporated film, the lower in order to be able to reduce the crystallographic distortions between layers film and obliquely deposited film and between the obliquely deposited film and an upper film, it can be seen that the separation improving i.e. adhesion of the birefringent plate 8 is improved.

【0050】 [0050]

【表4】 [Table 4]

【0051】(表4)は、先に記載した実施例3と併せて実施した実施例4に関する試験結果を表すものである。 [0051] (Table 4) illustrate the test results for Example 4 was conducted in conjunction with Example 3 described above. 実施例4は、本質的には実施例3と同じ光ピックアップ即ち前記斜め蒸着膜の下部の表面及び上部の表面に接して形成した下部層及び上部層膜を前記斜め蒸着膜と同一材料で構成した光ピックアップであり、複屈折板8 Example 4 essentially constituting the lower layer and the upper layer film was formed in contact with the lower surface and upper surface of the same optical pickup that is, the obliquely evaporated film of Example 3 by the same material as obliquely deposited film in an optical pickup that is, the birefringent plate 8
をTiO 2膜で形成し、前記下部層81において81 It was formed in the TiO 2 film in the lower layer 81 81
a、81b及び81cを各々TiO 2 、SiO 2膜及びT a, respectively TiO 2 and 81b and 81c, SiO 2 film and T
iO 2膜で構成し、前記上部層82において82b、8 constituted by iO 2 film in the upper layer 82 82b, 8
2cを各々TiO 2及びSiO 2膜で構成した光ピックアップである。 2c are each an optical pickup constructed by TiO 2 and SiO 2 film.

【0052】比較例4、5は複屈折板8をTiO 2膜で構成するが、下部層81及び上部層82を構成し前記斜め蒸着膜TiO 2と接する薄膜81c及び82bのうちいずれかの膜が斜め蒸着膜TiO 2とは異なった材料であるTa 25膜で構成した光ピックアップである。 [0052] Comparative Examples 4 and 5 and constitute the birefringent plate 8 in the TiO 2 film, as a lower layer 81 and upper layer 82 or the membrane of the obliquely deposited film TiO 2 in contact with the thin film 81c and 82b There is an optical pickup constructed in the Ta 2 O 5 film is different materials from the obliquely deposited film TiO 2. (表4)から、比較例4及び5と比較して、実施例4は実施例3と同じように、改善が見られることが判る。 From (Table 4), compared to Comparative Examples 4 and 5, Example 4 were identical to Example 3, it can be seen that the improvement is seen. そして(表3)及び(表4)に表した結果から、斜め蒸着膜をTa 25で構成し、下部層及び上部層膜を透明基盤の法線に対して略平衡に形成したTa 25膜で構成すると、 Then (Table 3) and from the results shown in (Table 4), an oblique vapor deposition film composed of Ta 2 O 5, Ta 2 formed in a substantially balance the lower layer and the upper layer film to the normal of the transparent substrate When configured with O 5 film,
先に記載した改善が顕著に表れることが判る。 Improvements previously described it is found that conspicuous.

【0053】(実施の形態4)図4は、本発明の第4の実施の形態における本発明の光ピックアップを構成し複屈折作用を有した波長板即ち透明の硝材2の上部の表面7に斜め蒸着法で形成した複屈折板8及びその周辺部材を含んだプリズム1を拡大した側面図であり、実施の形態3で既に記載した下部層81及び上部層膜82を含み、該上部層膜82の上部に、はっ水層83を設けている。 [0053] FIG. 4 (Embodiment 4), the fourth upper surface 7 of the wave plate or transparent glass material 2 having a birefringence effect to the optical pickup of the present invention in the embodiment of the present invention It is an enlarged side view of a prism 1 which includes a birefringent plate 8 and the peripheral member was formed by oblique deposition, includes a lower layer 81 and upper layer film 82 already described in the third embodiment, the upper layer film 82 on top of, is provided with a water repellent layer 83.

【0054】該はっ水層83の厚みは、プリズムの透過率及び反射率等光学的特性への影響を無視できる程小さくなるように形成される。 [0054] The repellent thickness of the aqueous layer 83 is formed so as to be negligibly small influence on the optical properties such as transmittance and reflectance of the prism. 該はっ水層83は乾式法及び湿式法で形成される。 The water-repellent layer 83 is formed by a dry method and a wet method. 乾式法では、真空下でのプラズマ処理で形成されるDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜、フッ化カーボン膜、真空下での蒸着法で形成されパーフルオロアルキル基を含んだフッ素系薄膜、脂肪酸および脂肪酸エステル系の薄膜等が形成される。 In the dry method, DLC (diamond-like carbon) film formed by plasma treatment under vacuum, carbon fluoride film, a fluorine-based thin film containing a perfluoroalkyl group formed by vapor deposition under vacuum, fatty acids and fatty acid thin film and the like of the ester is formed.

【0055】湿式法では、パーフルオロアルキル基を含んだ化合物、脂肪酸及び脂肪酸エステルの化合物等が分散されたイソプロピルアルコール、アセトン等の有機溶媒内に前記プリズムを浸漬して形成される。 [0055] In the wet method, a compound containing a perfluoroalkyl group, a fatty acid and isopropyl alcohol compounds of fatty acid ester is dispersed, it is formed by dipping the prism into an organic solvent such as acetone. このプリズム1を対象として、温度が60℃、湿度が90%R.H Targeting the prism 1, the temperature is 60 ° C., humidity of 90% R.H.
である高温高湿環境に500時間放置したときの複屈折板8に見られる挙動を、 The behavior seen in the birefringent plate 8 when left for 500 hours in a high-temperature high-humidity environment is,

【0056】 [0056]

【表5】 [Table 5]

【0057】に示す。 It is shown in [0057]. (表5)における痕跡の有無とは、複屈折板8の表面8aを倍率100の光学顕微鏡で観察したときに見られる痕跡の存在に関する観察結果を示すものであり、位相差の変化とは、p波とs波間の位相差の変化を示すものであって、上記複屈折板8は環境試験前には概ね90度になるように構成している。 The presence of traces in (Table 5), which shows the observation results for the presence of traces seen when observing the surface 8a of the birefringent plate 8 with an optical microscope magnification 100, the change in the phase difference, there is shown a variation of the phase difference between the p-wave and s waves, the birefringent plate 8 are configured to be approximately 90 degrees before the environmental test.

【0058】なお、(表5)の比較例1は、実施の形態1で引用したプリズムである。 [0058] In Comparative Example 1 (Table 5) is a prism cited in the first embodiment. (表5)から明らかなように、従来のプリズムと比べ、上記環境の履歴に伴う痕跡の存在が無いために、光学性能の劣化を大幅に改善していることが判る。 As is clear from (Table 5), compared with the conventional prism, for the presence of traces associated with the history of the environment is not, it can be seen that significantly improved the deterioration of optical performance. このように良好な信頼性が得られるのは、透明基板の表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した複屈折板8の上部に接して形成した上部層82の表面に、はっ水作用を有したはっ水層83を設けたために、 The reason why the good reliability is obtained, the obliquely evaporated surface of the upper layer 82 which is formed in contact with the top of the birefringent plate 8 having a birefringence effect to the surface of the transparent substrate, crawling water action for having a water-repellent layer 83 having,
高温高湿環境とりわけ水分による前記複屈折板8への影響を軽減できたたことによる。 High-temperature and high-humidity environment especially due to fact that could reduce the impact on the due to moisture birefringent plate 8. 前記はっ水層83を複屈折板8の上部に先ず設け、続いて該はっ水層83の表面に前記上部層82を設けたプリズムにおいても、同様な効果を有することを確認している。 Provided first the water-repellent layer 83 on top of the birefringent plate 8, also in the subsequently prism provided with the upper layer 82 on the surface of the water repellent layer 83, it has been confirmed to have the same effect .

【0059】斜め蒸着膜を少なくとも2層からなり各層の透明基板に対する蒸着方向が異なるように構成した光ピックアップでは、実施の形態1、2、3及び5で述べたそれぞれの試験で、実質的な水分の斜め蒸着膜への侵入深さが実質的に減少することにより、さらに改善されることを確認している。 [0059] In the optical pickup deposition direction is configured differently the obliquely deposited film to the transparent substrate of each layer consists of at least two layers, in each of the tests described in Embodiment 1, 2, 3 and 5 of the embodiment, substantially by penetration depth into obliquely deposited film of water is substantially reduced, it has been confirmed that it is further improved.

【0060】既述した請求項1及び実施の形態1では、 [0060] In Embodiment 1 according to claim 1 and embodiments already described,
斜め蒸着膜の断面が露呈した部分を樹脂層で被覆した光ピックアップを対象としたが、ビームスプリッタ膜の断面が露呈した部分を対象として同様な検討を加えている。 While the cross-section is exposed portion of the obliquely deposited film intended for optical pickup coated with a resin layer, and to make similar studies as a target of partial cross-section of the beam splitter film is exposed. 図5は、基本的には図1と同じ構成のプリズムに、 5, the prism of basically the same configuration as Figure 1,
断面が露呈したビームスプリッタ膜の部分を少なくとも樹脂層で被覆したプリズムを示すものであって、(a) The portion of the beam splitter film section is exposed there is shown a prism which is coated with at least a resin layer, (a)
は断面図、(b)は側面図を示している。 Is a sectional view, shows a (b) is a side view. このように、 in this way,
ビームスプリッタ膜4の露呈した部分を少なくとも樹脂層10で被覆した光ピックアップも、ビームアプリッタ膜そのものの高温高湿環境に伴う光学性能劣化を改善できることを確認している。 An optical pickup which is coated with at least the resin layer 10 and the exposed portion of the beam splitter film 4 is also sure that can improve the optical performance deterioration due to high temperature and high humidity environment of the beam Apu liter film itself.

【0061】 [0061]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ピックアップ及びその製造法によれば、斜め蒸着され複屈折作用を有した複屈折板に関わる信頼性とりわけ高温高湿環境の影響に伴う光学性能の劣化及び複屈折板の実質的な付着力を大幅に改善出来るという効果を有する。 As described in the foregoing, according to the optical pickup and their preparation of the present invention, an optical accompanying impact reliability especially high-temperature and high-humidity environment related to the birefringent plate having a is obliquely deposited birefringence effect It has the effect that a substantial adhesion of degradation and a birefringent plate of performance can be significantly improved.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】実施の形態1における光ピックアップを構成するプリズムの断面図及び側面図 Sectional view and a side view of the prism which constitutes the optical pickup in FIG. 1 a first embodiment

【図2】実施の形態2における光ピックアップを構成する複屈折板の表面の性状をAFMで観察した一例を示す図 Figure 2 is a diagram showing an example of observation of the properties of the surface of the birefringent plate constituting the optical pickup according to the second embodiment in AFM

【図3】実施の形態3における光ピックアップを構成するプリズムの側面図 Side view of the prism which constitutes the optical pickup in FIG. 3 Embodiment 3

【図4】実施の形態4における光ピックアップを構成するプリズムの側面図 Figure 4 is a side view of a prism constituting an optical pickup according to a fourth embodiment

【図5】本発明の光ピックアップを構成するプリズムの断面図及び側面図 FIG. 5 is a cross-sectional view and a side view of the prism which constitutes the optical pickup of the present invention

【図6】従来の光学系の概略断面図 Figure 6 is a schematic cross-sectional view of a conventional optical system

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1,11 プリズム 2 硝材 3,5 斜面 4 偏光ビームスプリッタ膜 6 反射膜 7 プリズム上部表面 8 複屈折板 9 硝材側面 10 樹脂層 81 下部層 82 上部層 83 はっ水層 1,11 prism 2 glass material 3,5 slopes 4 polarizing beam splitter film 6 reflective film 7 prism top surface 8 birefringent plate 9 glass material side 10 resin layer 81 lower layer 82 upper layer 83 water-repellent layer

フロントページの続き (72)発明者 那須 昌吾 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 岩野 康弘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Of the front page Continued (72) inventor Nasu Akiraware Osaka Prefecture Kadoma Oaza Kadoma 1006 address Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. in the (72) inventor Yasuhiro Iwano Osaka Prefecture Kadoma Oaza Kadoma 1006 address Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. in

Claims (8)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】透明基板と、該基板表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含んだ光ピックアップであって、前記透明基板の側面でしかも前記斜め蒸着膜の断面が露呈した部分を少なくとも樹脂層で被覆したことを特徴とした光ピックアップ。 And 1. A transparent substrate, an optical pickup including a obliquely deposited film having a birefringence effect is obliquely deposited on the substrate surface, were also exposed cross section of the obliquely deposited film only on the side of the transparent substrate optical pickup is characterized in that a portion coated with at least a resin layer.
  2. 【請求項2】透明基板と、該基板表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含んだ光ピックアップであって、前記斜め蒸着膜の表面突起分布の平均突起高さが12nm以上であることを特徴とした光ピックアップ。 2. A transparent substrate, an optical pickup including a obliquely deposited film having a birefringence effect is obliquely deposited on the substrate surface, the average projection height of the surface projection distribution of the obliquely deposited film is more than 12nm optical pickup is characterized in that it.
  3. 【請求項3】透明基板と、該基板表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含んだ光ピックアップであって、前記斜め蒸着膜の下部の表面及び上部の表面に接して形成した下部層膜及び上部層膜を前記斜め蒸着膜と同一材料で構成したことを特徴とした光ピックアップ。 3. A transparent substrate, an optical pickup including a obliquely deposited film having a birefringence effect is obliquely deposited on the substrate surface, formed in contact with the lower surface and the upper surface of the oblique evaporated film the optical pickup is characterized in that the lower layer film and an upper layer film was made of the same material as the obliquely deposited film.
  4. 【請求項4】斜め蒸着膜をTa 25膜で、下部層膜及び上部層膜を透明基板の法線に対して略平行に形成したT The 4. obliquely deposited film with the Ta 2 O 5 film was formed substantially parallel to a lower layer film and an upper layer film to the normal of the transparent substrate T
    25膜であることを特徴とした請求項3記載の光ピックアップ。 3. The optical pickup according to the characterized by a a 2 O 5 film.
  5. 【請求項5】透明基板と、該基板表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を含んだ光ピックアップであって、前記斜め蒸着膜の表面もしくは前記斜め蒸着膜の上部に接して形成した上部層膜の表面に、はっ水作用を有したはっ水層を設けたことを特徴とした光ピックアップ。 5. A transparent substrate, an optical pickup including a obliquely deposited film having a birefringence effect is obliquely deposited on the substrate surface, in contact with the upper surface or the obliquely deposited film of the oblique evaporated film the formed on the surface of the upper layer film, repellent optical pickup characterized in that a water-repellent layer having a water activity.
  6. 【請求項6】斜め蒸着膜は少なくとも2層からなり、各層の透明基板に対する蒸着方向が、異なることを特徴とした請求項1、2、3及び5記載の光ピックアップ。 6. obliquely deposited film consists of at least two layers, deposition direction with respect to the transparent substrate of each layer, different claims 1, 2, 3 and 5 the optical pickup according to it said.
  7. 【請求項7】透明基板の表面に斜め蒸着され複屈折作用を有した斜め蒸着膜を形成する工程と、真空中で前記斜め蒸着膜の表面をイオンでミリングする工程を少なくとも備えたことを特徴とした光ピックアップの製造法。 7. A feature forming a obliquely deposited film having a birefringence effect is obliquely deposited on the surface of the transparent substrate, that the surface of the obliquely deposited film comprising at least a step of milling ions in vacuo manufacturing method of the optical pick-up that was.
  8. 【請求項8】断面が略平行四辺形である透明基板の斜面上に複数の誘電体膜を積層したビームスプリッタ膜及び該ビームスプリッタ膜を介して接合し断面が略直角三角形であるプリズムを含んだ光ピックアップであって、前記ビームスプリッタ膜の断面が露呈した部分を少なくとも樹脂層で被覆したことを特徴とした光ピックアップ。 Include 8. prism cross-section joined section through a beam splitter film and the beam splitter film by laminating a plurality of dielectric film on the inclined surface of the transparent substrate is a substantially parallelogram is substantially right-angled triangle it an optical pickup, the optical pickup is characterized in that a partial cross-section is exposed in the beam splitter film is coated with at least a resin layer.
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