JPH10253934A

JPH10253934A - 光波長フィルタの最適相互作用長比の決定方法

Info

Publication number: JPH10253934A
Application number: JP9059493A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Okayama; 秀彰岡山
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1997-03-13
Filing date: 1997-03-13
Publication date: 1998-09-25

Abstract

(57)【要約】【課題】直列に接続された２つのＡＯフィルタの最適
相互作用長比の決定方法の提供。【解決手段】光波長フィルタ１０を構成する２段の音
響光学効果型光波長フィルタ１２および１４のうちの２
段目の音響光学効果型光波長フィルタ１４の相互作用長
Ｌ₂ を、吸収帯としての樹脂を塗布形成する位置を光導
波路２４に沿って移動させることにより変化させ、相互
作用長Ｌ₂ を変化させる度に、光波長フィルタ１０のサ
イドローブの透過率を測定する。そして、この透過率が
−２０ｄＢ以下となったときの２段目の音響光学効果型
光波長フィルタ１４の相互作用長Ｌ₂ と１段目の音響光
学効果型光波長フィルタ１２の相互作用長Ｌ₁ との比で
ある相互作用長比ｒＬ（＝Ｌ₂ ／Ｌ₁ ）を最適相互作用
長比とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は音響光学効果型光
波長フィルタに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、２つの音響光学効果型光波長フィ
ルタ（以下、「ＡＯフィルタ」とも称する。）を直列に
接続して用いると、１つのＡＯフィルタの場合に比べて
クロストークを抑制できることが知られている。さら
に、２つのＡＯフィルタそれぞれにおいて表面弾性波と
光とが相互作用する距離（相互作用長）どうしの比であ
る相互作用長比を特定の値にすれば、理論的には、クロ
ストークを一層抑制できることが、文献：「IEEE TRANS
ACTIONS ON ULTRASONICS,FERROELECTRICS,AND FRQUENCY
CONTROL,VOL.40,NO.6,NOVEMBER 1993」に記載されてい
る。この理論によると、ＡＯフィルタの透過波長特性に
おける選択波長とサイドローブの波長との波長間隔は、
相互作用長に比例する。従って、１段目のＡＯフィルタ
の相互作用長と２段目のＡＯフィルタの相互作用長との
比である相互作用長比を変えれば、１段目のＡＯフィル
タの透過波長特性における選択波長とサイドローブとの
波長間隔と、２段目のＡＯフィルタの透過波長特性にお
ける選択波長とサイドローブとの波長間隔との比（波長
間隔比）を変えることができる。そして、相互作用長比
を特定の値にすることによって波長間隔比を特定の比と
すれば、１段目のＡＯフィルタの透過波長特性における
サイドローブの波長を、２段目のＡＯフィルタの透過波
長特性におけるゼロ点付近の波長と重ねることができ
る。ここで、サイドローブとは、クロストークのうちの
ＡＯフィルタの透過波長特性のグラフ（横軸に波長、縦
軸に透過率をとったグラフ）において選択波長のピーク
の両脇に現れる一対のピークをそれぞれ指す。また、ゼ
ロ点とは、このグラフにおいてクロストークの透過率が
極小となる波長を指す。そして、ある波長の光の光波長
フィルタ全体での透過率は、１段目のＡＯフィルタでの
その波長の光の透過率と２段目のＡＯフィルタでのその
波長の光の透過率との積で与えられるので、理論的に
は、１段目でのサイドローブの透過率を、２段目でのゼ
ロ点付近の低い透過率とかけ合わせることにより、サイ
ドローブの波長の透過率を低くして、クロストークを抑
制することができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記文
献に記載の理論では、実際のＡＯフィルタの最適な相互
作用長比を計算することは困難であった。また、計算で
求めた相互作用長比は、実際の最適値になるとは限らな
い。

【０００４】このため、実際の直列に接続された２つの
ＡＯフィルタの最適相互作用長比を決定するための技術
の実現が望まれていた。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明の光波長フィル
タの最適相互作用長比の決定方法によれば、１段目の音
響光学効果型光波長フィルタとこの１段目の音響光学効
果型光波長フィルタを透過した光が入力する２段目の音
響光学効果型光波長フィルタとを以って構成された光波
長フィルタにおいて、１段目の音響光学効果型光波長フ
ィルタの光導波路に沿った相互作用長と２段目の音響光
学効果型光波長フィルタの光導波路に沿った相互作用長
との比である相互作用長比を決定するにあたり、１段目
および２段目の音響光学効果型光波長フィルタのうちの
少なくとも一方の音響光学効果型光波長フィルタにおい
て、表面弾性波吸収帯の位置を光導波路に沿って移動さ
せることによって、当該音響光学効果型光波長フィルタ
の相互作用長を変化させ、この相互作用長を変化させる
度に、この光波長フィルタのサイドローブの透過率を測
定し、このサイドローブの透過率が基準値以下若しくは
極小となったときの相互作用長比を最適相互作用長比と
することを特徴とする。

【０００６】このように、この発明の光波長フィルタの
最適相互作用長比の決定方法によれば、相互作用長を決
める表面弾性波吸収帯の位置を移動させる（すなわち、
異なる位置に設定する）ことにより、相互作用長を変え
て相互作用長比を変える。そして、相互作用長比を変え
る度に、サイドローブの透過率を測定する。このため、
サイドローブの透過率が基準値以下若しくは極小となっ
たときの相互作用長比を、最適相互作用長比として容易
に決定することができる。その結果、サイドローブを抑
制することによりクロストークを抑制した光波長フィル
タを容易に得ることができる。

【０００７】尚、最適サイドローブの透過率が極小でな
い場合も最適相互作用長比としたのは、サイドローブの
透過率が実際の光波長フィルタに設計上要求されるサイ
ドローブの透過率の値、すなわち基準値（例えば−２０
ｄＢ）以下ならば、透過率が極小でなくともサイドロー
ブを実用上十分に抑制できるためである。

【０００８】また、この発明の光波長フィルタの最適相
互作用長比の決定方法において、好ましくは、表面弾性
波吸収帯の位置を光導波路に沿って移動させるにあた
り、表面弾性波吸収帯を樹脂を以って形成し、この樹脂
を光導波路上に、相互作用長が短くなる方向に順次に位
置を変えて塗布形成すると良い。

【０００９】このように、表面弾性波吸収帯を樹脂を以
って形成すれば、樹脂を位置を変えて塗布形成すること
により、相互作用長を容易に変えることができる。

【００１０】また、この発明の光波長フィルタの最適相
互作用長比の決定方法において、表面弾性波吸収帯の位
置を光導波路に沿って移動させるにあたり、表面弾性波
吸収帯を樹脂を以って形成し、光導波路上に塗布形成さ
れた樹脂を除去した後に、この樹脂が除去された位置と
異なる位置に樹脂を塗布形成すると良い。

【００１１】このように、透過率の測定時に、表面弾性
波吸収帯以外の樹脂を除去しておけば、この樹脂による
光導波路を伝送する光の損失を抑制することができる。

【００１２】また、樹脂を除去しておけば、相互作用長
が短くなる方向だけでなく、相互作用長が長くなる方向
へも樹脂の位置を移動することができる。

【００１３】また、この発明の光波長フィルタの最適相
互作用長比の決定方法において、表面弾性波吸収帯の位
置を光導波路に沿って移動させるにあたり、表面弾性波
吸収帯をゴム片を以って形成し、このゴム片を光導波路
上に位置を変えて押し付けると良い。

【００１４】このように、表面弾性波吸収帯をゴム片を
以って形成すれば、光導波路上にゴム片を押しつけるだ
けなので、光導波路が形成された基板の表面が実質的に
汚れない。このため、汚れによる表面弾性波（ＳＡＷ）
の減衰が実質的に生じない。

【００１５】また、この発明の光波長フィルタの最適相
互作用長比の決定方法において、表面弾性波吸収帯の位
置を光導波路に沿って移動させるにあたり、表面弾性波
吸収帯をポジ型のフォトレジストのパタンを以って形成
し、このパタンの一部分を、相互作用長が長くなるよう
に順次に除去すると良い。

【００１６】このように、表面弾性波吸収帯をフォトレ
ジストのパタンを以って形成すれば、従来周知のフォト
リソグラフィ技術を用いて、パタンの一部分を順次に除
去することにより、表面弾性波吸収帯の位置を精度良く
移動させることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して、この発明の
光波長フィルタの相互作用長の決定方法の例について説
明する。尚、参照する図は、この発明が理解できる程度
に各構成成分の大きさ、形状および配置関係を概略的に
示してあるに過ぎない。従って、この発明は、図示例に
限定されるものではない。

【００１８】ここで、この発明の実施の形態の説明に先
立ち、この発明の理解を容易にするため、理論的に最適
相互作用長比となっている場合の１段目および２段目の
ＡＯフィルタの透過波長特性の例について、図２を参照
して、説明する。

【００１９】図２は、理論的に最適相互作用長比となっ
ている場合の１段目および２段目のＡＯフィルタの透過
波長特性の例を模式的に示すグラフである。図２のグラ
フの横軸は波長（任意単位）を表し、縦軸は透過率（任
意単位）を表す。また、図２のグラフ中に、１段目のＡ
Ｏフィルタの透過特性を実線の曲線Ｉで示す。また、２
段目のＡＯフィルタの透過特性を破線の曲線IIで示す。
曲線Ｉおよび曲線IIのいずれにおいても、選択波長λ₀
のピークの両側には、複数のピークを有するクロストー
クがそれぞれ現れている。

【００２０】この例では、２段目の相互作用長を１段目
の相互作用長よりも短くしてある。このため、図２にお
いては、１段目よりも２段目のＡＯフィルタの透過特性
の方が、選択波長λ₀ とサイドローブの波長との波長間
隔が小さくなっている。

【００２１】そして、理論的に最適相互作用長比の場合
には、図２のグラフの曲線Ｉおよび曲線IIで示すよう
に、１段目のＡＯフィルタのサイドローブＳ１の波長λ
ｓと、２段目のＡＯフィルタのゼロ点Ｚ１付近の波長と
がほぼ重なっている。その結果、１段目のＡＯフィルタ
のサイドローブＳ１の透過率を例えば１０％（−１０ｄ
Ｂ）、２段目のＡＯフィルタのゼロ点Ｚ１での透過率を
例えば１％（−２０ｄＢ）とすれば、１段目および２段
目のＡＯフィルタを透過したサイドローブの波長λｓの
光の透過率は、１０％×１％＝０．１％（−３０ｄＢ）
となる。従って、サイドローブは理論的には十分に抑制
されることになる。そして、クロストークのうちの最も
透過率の高い波長ピークであるサイドローブが十分に抑
制できれば、結果的にクロストーク全体を抑制すること
ができる。

【００２２】しかしながら、前述したように、最適相互
作用長比を実際に計算することは容易ではない。そこ
で、実測に基づいて最適相互作用長比を決定する方法に
ついて、以下の第１〜第４の実施の形態において説明す
る。

【００２３】１．第１の実施の形態この発明の光波長フィルタの最適相互作用長比の決定方
法の第１の実施の形態について説明する。

【００２４】先ず、図１を参照して、この実施の形態に
おいて最適相互作用長比を決定する対象の光波長フィル
タ１０の構成について説明する。この光波長フィルタ１
０は、１段目の音響光学効果型光波長フィルタ（１段目
のＡＯフィルタ）１２とこの１段目のＡＯフィルタ１２
を透過した光が入力する２段目の音響光学効果型光波長
フィルタ（２段目のＡＯフィルタ）１４とを以って構成
されている。

【００２５】そして、この実施の形態では、１段目のＡ
Ｏフィルタ１２および２段目のＡＯフィルタ１４を同一
の基板１６に形成してある。この基板１６は、音響光学
効果を示すＸカットＬｉＮｂＯ₃ からなる。

【００２６】また、この基板１６上には、２本の平行な
表面弾性波導波路壁部（以下、「ＳＡＷ導波路壁部」と
も表記する。）１８ａおよび１８ｂを互いに１００μｍ
離して設けてある。これらのＳＡＷ導波路壁部１８ａお
よび１８ｂは、基板１６表面にＴｉを選択的に拡散して
形成してある。そして、これらのＳＡＷ導波路壁部１８
ａおよび１８ｂに挟まれた部分は、表面弾性波導波路
（以下、「ＳＡＷ導波路」とも表記する。）２０を構成
する。

【００２７】また、このＳＡＷ導波路２０の一方の端の
基板１６上に、表面弾性波を励起するための櫛形電極２
２が設けてある。そして、この櫛形電極２２で励起され
た表面弾性波（以下、「ＳＡＷ」とも表記する。）はＳ
ＡＷ導波路２０を導波する。この櫛形電極２２は、互い
違いに対向した１０本ずつの歯を有する一組の櫛状の電
極からなる。この櫛形電極は、励起されたＳＡＷの進行
方向と直交する方向に沿った幅は約１００μｍである。
また、隣り合った櫛の歯を２０μｍずつ離して２０ピッ
チで設けてある。また、この櫛形電極２２によって励起
されたＳＡＷは、１段目のＡＯフィルタ１２においてだ
けではなく、２段目のＡＯフィルタ１４においても用い
られる。

【００２８】また、この基板１６には、ＳＡＷ導波路２
０に沿って、ＳＡＷ導波路２０の幅方向（ＳＡＷの進行
方向に垂直な方向）の中央部に、幅７μｍの光導波路２
４を設けてある。この光導波路２４の一端は、櫛形電極
２２の下を通って光波長フィルタ１０の入力ポート２６
に接続してあり、他端は、光波長フィルタ１０の出力ポ
ート２８に接続してある。また、櫛形電極２２は、ＳＡ
Ｗ導波路２０のうちの入力ポート２６寄りの端に設けて
ある。

【００２９】また、光導波路２４上の、入力ポート２６
と櫛形電極２２との間には、入射側偏光子３０を設けて
ある。この入射側偏光子３０は、特定方向の偏波（ここ
ではＴＥ波）のみを透過させる。

【００３０】また、光導波路２４上の、ＳＡＷ導波路２
０の長手方向（ＳＡＷの進行方向に沿った方向）の中央
付近に、中央偏光子３２を設けてある。この中央偏光子
３２は、ＴＥ波と偏波方向が直交する偏波方向のＴＭ波
のみを透過させる。そして、この入射側偏光子３０から
中央偏光子３２までが、１段目のＡＯフィルタ１２に相
当する。

【００３１】また、光導波路２４上の、ＳＡＷ導波路２
０の出力ポート２８側の端と出力ポート２８との間に
は、出射側偏光子３４を設けてある。この出射側偏光子
３４は、ＴＭ波と偏波方向が直交するＴＥ波のみを透過
させる。そして、中央偏光子３２から出射偏光子３４ま
でが、２段目のＡＯフィルタ１４に相当する。

【００３２】また、光導波路２４上の、入射側偏光子３
０と櫛形電極２２との間には、入力側の表面弾性波吸収
帯３６が設けてある。入射側偏光子３０を透過したＴＥ
波の光のうち、櫛形電極２２で励起されたＳＡＷの波長
と等しい選択波長の光のみが、入力側の表面弾性波吸収
帯３６と中央偏光子３２との間において、ＳＡＷと光と
の相互作用により選択的にＴＭ波にＴＥ−ＴＭモード変
換される。そして、選択波長の光のみが、ＴＭ波となっ
て中央偏光子３２を透過する。また、この入力側の表面
弾性波吸収帯３６と中央偏光子３２との間の光導波路２
４に沿った距離が、１段目のＡＯフィルタ１２の相互作
用長Ｌ₁ となる。

【００３３】また、光導波路２４上の、中央偏光子３２
と出射側偏光子３４との間に、出力側の表面弾性波吸収
帯（以下、「吸収帯」とも表記する）３８が設けてあ
る。この出力側の吸収帯３８と中央偏光子３２との間に
おいて、中央偏光子３２を透過したＴＭ波の光のうち、
櫛形電極２２で励起されたＳＡＷの波長と等しい選択波
長の光のみが、ＳＡＷと光との相互作用により、選択的
にＴＥ波にＴＭ−ＴＥモード変換される。そして、選択
波長の光のみが、ＴＥ波となって出力側の吸収帯３８を
透過する。また、この出力側の吸収帯３８と中央偏光子
３２との間の光導波路２４に沿った距離が、２段目のＯ
Ａフィルタ１４の相互作用長Ｌ₂ となる。

【００３４】次に、この実施の形態において、相互作用
長比ｒＬ（＝Ｌ₂ ／Ｌ₁ ）の最適値を決定する方法につ
いて説明する。

【００３５】この発明の光波長フィルタの最適相互作用
長比の決定方法においては、１段目および２段目の音響
光学効果型光波長フィルタのうちの少なくとも一方の音
響光学効果型光波長フィルタにおいて、吸収帯の位置を
光導波路に沿って移動させることによって、当該音響光
学効果型光波長フィルタの相互作用長を変化させる。

【００３６】そのために、第１の実施の形態において
は、吸収帯の位置を光導波路に沿って移動させるにあた
り、吸収帯を樹脂を以って形成し、この樹脂を光導波路
上に、相互作用長が短くなる方向に順次に例えば１ｍｍ
ずつ位置を変えて塗布形成する。こうすれば、この吸収
帯は、樹脂の塗布形成毎に、直前に形成された吸収帯の
位置から１ｍｍずつずれた位置に設定できる。

【００３７】また、樹脂として例えばエポキシ樹脂を用
いると良い。また、樹脂の塗布形成にあたっては、従来
周知のプリント技術やインクジェット技術の好適なもの
を用いると良い。

【００３８】図１においては、吸収帯３８としての樹脂
３８を実線で示して、この樹脂３８の場合の相互作用長
Ｌ₂ を示してあるが、点線で示された新たな樹脂３８ａ
および３８ｂを順次に設けることによって、相互作用長
をＬ₂ よりも短くすることができる。樹脂３８ａを設け
た場合には、この樹脂３８ａと中央偏光子３２との間の
距離が新たな相互作用長Ｌ₂となる。さらに、樹脂３８
ｂを設けた場合には、この樹脂３８ｂと中央偏光子３２
との間の距離が新たな相互作用長Ｌ₂ となる。さらに、
新たな樹脂を順次に設けることにより、相互作用長をさ
らに短くすることができる。

【００３９】そして、この相互作用長を変化させる度
に、この光波長フィルタ１０のサイドローブの透過率を
測定する。そして、このサイドローブの透過率が基準値
以下若しくは極小となったときの相互作用長比を最適相
互作用長比とする。ここでは、光波長フィルタ１０に入
射する光の強度で規格化されたサイドローブの透過率が
−２０ｄＢ以下となったときの相互作用長比を最適相互
作用長比とする。

【００４０】また、この実施の形態における最適相互作
用長比の決定方法においては、図３の流れ図に示す手順
に従って最適相互作用長比を決定すると良い。この手順
によれば、先ず、図１に示す光波長フィルタ１０を形成
する。但し、出力側の吸収帯３８は、まだ形成されてい
ない状態とする（図３のステップ（ａ））。

【００４１】次に、樹脂の吸収帯３８を設ける（図３の
ステップ（ｂ））。

【００４２】次に、サイドローブの透過率を測定する
（図３のステップ（ｃ））。

【００４３】次に、サイドローブの透過率の測定結果
が、基準値（例えば−２０ｄＢ）以下か否かを判断する
（図３のステップ（ｄ））。

【００４４】そして、サイドローブの透過率が−２０ｄ
Ｂ以下である場合には、そのときの吸収帯の位置で決ま
る２段目のＡＯフィルタの相互作用長Ｌ₂ と１段目のＡ
Ｏフィルタの相互作用長Ｌ₁ との比ｒＬ（＝Ｌ₂ ／Ｌ
₁ ）を最適相互作用長比とする（図３のステップ
（ｆ））。そして終了する。

【００４５】一方、サイドローブの透過率が−２０ｄＢ
以下でない場合には、新たに樹脂（例えば３８ａ）を設
けて表面弾性波吸収帯の位置を移動させて、相互作用長
を変える（図３のステップ（ｅ））。

【００４６】次に、新しい相互作用長の場合のサイドロ
ーブの透過率を測定する（図３のステップ（ｃ））。

【００４７】次に、サイドローブの透過率の測定結果
が、−２０ｄＢ以下か否かを判断する（図３のステップ
（ｄ））。

【００４８】そして、判断の結果によって、上述のステ
ップ（ｆ）またはステップ（ｅ）へ進む。

【００４９】尚、図３の流れ図においては、ステップ
（ｄ）においては、サイドローブの透過率が一定の基準
値（例えば−２０ｄＢ）以下であるか否かを判断基準と
したが、例えば、サイドローブの透過率が、前回の測定
時の透過率よりも大きいか否かを判断基準とすることに
より、サイドローブの透過率が極小となるときの相互作
用長比を最適相互作用長比と決定しても良い。また、一
定の基準値を判断基準とする場合は、基準値として設計
に応じた所望の値を設定すれば良い。

【００５０】ここで、図４のグラフに、この実施の形態
において測定した相互作用長比とサイドローブの透過率
との関係の測定結果を示す。図４のグラフの横軸は相互
作用長比ｒＬ（＝Ｌ₂ ／Ｌ₁ ）を表し、縦軸はサイドロ
ーブの透過率（ｄＢ）を表す。図４中の折れ線III は、
測定プロットを結んだものである。測定結果がｒＬ＝
１．２、１．０および０．８のときのサイドローブの透
過率は、それぞれ−７ｄＢ、−１７ｄＢおよび−２０ｄ
Ｂであった。また、１段目のＡＯフィルタだけの場合
（ｒＬ＝０の場合に相当）のサイドローブの透過率は、
−７ｄＢであった。従って、相互作用長比ｒＬ＝０．７
の場合にサイドローブの透過率が基準値の−２０ｄＢ以
下となったので、最適相互作用長はｒＬ＝０．７に決定
される。

【００５１】次に、図５の（Ａ）のグラフに、最適相互
作用長（ｒＬ＝０．７）のときの１段目および２段目の
ＡＯフィルタ１２および１４の個々の透過波長特性を示
す。また、図５の（Ｂ）のグラフに、この最適相互作用
長のときの光波長フィルタ１０の透過波長特性を示す。
図５の（Ａ）および（Ｂ）のいずれのグラフも、横軸は
波長（ｎｍ）を表し、縦軸は透過率（ｄＢ）を表す。

【００５２】図５の（Ａ）のグラフ中に、１段目および
２段目のＡＯフィルタ１２および１４の透過波長特性
を、それぞれ曲線IVおよび曲線Ｖで示す。曲線IVおよび
曲線Ｖで示すように、選択波長１５５３ｎｍのピークの
両側に、それぞれクロストークの複数のピークが現れて
いる。そして、曲線IVのうちの、選択波長のピークの両
脇のピークであるサイドローブは、それぞれ、曲線Ｖの
ゼロ点（極小点）とは必ずしも一致していないが、少な
くとも１段目と２段目のＡＯフィルタのサイドローブの
波長どうしが一致していないことが分かる。

【００５３】また、図５の（Ｂ）のグラフ中に、光波長
フィルタ１０の透過波長特性を曲線VIで示す。光波長フ
ィルタ１０の透過波長特性は、１段目のＡＯフィルタ１
２の透過波長特性と、２段目のＡＯフィルタ１４の透過
波長特性との積で表される。そして、曲線VIに示す様
に、選択波長１５５３ｎｍのピーク以外には、−２０ｄ
Ｂ以上の透過率のクロストークはほとんど現れていな
い。従って、実測に基づいて決定された最適相互作用長
において、クロストークが十分に抑制できていることが
分かった。

【００５４】２．第２の実施の形態第２の実施の形態の光波長フィルタの最適相互作用長比
の決定方法においては、吸収帯の位置を光導波路に沿っ
て移動させるにあたり、吸収帯を樹脂を以って形成し、
光導波路上に先に塗布形成された樹脂を除去した後に、
この樹脂が除去された位置と異なる位置に別の新たな樹
脂を塗布形成する点を除いては、上述した第１の実施の
形態の場合と同様である。従って、第１の実施の形態と
同様な点については詳細な説明を省略する。

【００５５】第２の実施の形態においては、図１におい
て、例えば樹脂３８を除去した後に、樹脂３８ａを塗布
形成して、サイドローブの透過率を測定する。さらに、
樹脂３８ａを除去した後に、樹脂３８ｂを塗布形成す
る。樹脂の除去にあたっては、アセトンをはじめとする
有機溶剤を用いると良い。

【００５６】また、第２の実施の形態においては、相互
作用長が短くなる方向だけでなく、相互作用長が長くな
る方向へも樹脂の位置を移動することができる。従っ
て、例えば、図１において、先ず、樹脂３８ｂを塗布形
成しておいてサイドローブの透過率を測定し、次に、樹
脂３８ｂを除去した後に、樹脂３８ａを塗布形成しても
良い。

【００５７】また、第２の実施の形態においては、透過
率の測定時に、吸収帯以外の樹脂を除去しておけば、こ
の樹脂による光導波路を伝送する光の損失を抑制するこ
とができる。

【００５８】３．第３の実施の形態第３の実施の形態の光波長フィルタの最適相互作用長比
の決定方法においては、吸収帯の位置を光導波路に沿っ
て移動させるにあたり、吸収帯をゴム片４０を以って形
成し、このゴム片４０を光導波路２４上に、位置を変え
て押しつける。尚、実施の形態において最適相互作用長
比を決定する対象の光波長フィルタの構成は、上述の第
１の実施の形態において説明した光波長フィルタの構成
と吸収帯３８を除いて同一であるので、その詳細な説明
を省略する。

【００５９】次に、図６に、ゴム片４０を示す。図６
は、光導波路２４に沿った切り口での縦断面図である。
図６においては、基板１６の光導波路２４上に、ゴム片
４０の先端部分を押しつけた状態を示す。また、ゴム片
４０は、可動支持部４２に固定されている。そして、こ
の可動支持部４２を基板１６の表面に対して垂直方向ま
たは水平方向に移動させることによって、ゴム片４０は
位置を変えてその先端部分を基板１６の表面に押しつけ
ることができる。このゴム片４０の先端部分の、基板１
６の表面との接触部分の形状は長方形であって、例え
ば、図１に示した吸収帯３８の形状に相当する。尚、ゴ
ム片４０の基板１６との接触部分の形状は、長方形に限
定する必要はない。また、ゴム片４０の材料は、任意好
適なゴム状弾性体の材料を用いると良い。

【００６０】このように、吸収帯をゴム片４０を以って
形成すれば、光導波路上にゴム片を押しつけるだけなの
で、光導波路が形成された基板の表面が実質的に汚れな
い。このため、汚れによる表面弾性波の減衰が実質的に
生じない。

【００６１】また、ゴム片４０を用いて最適相互作用長
比を決定した後は、この最適相互作用長比となる位置に
ゴム片４０を固定しても良いし、あるいは、その位置に
任意好適な材料で吸収帯を形成しても良い。

【００６２】４．第４の実施の形態第４の実施の形態の光波長フィルタの最適相互作用長比
の決定方法においては、吸収帯の位置を光導波路に沿っ
て移動させるにあたり、吸収帯をポジ型のフォトレジス
トのパタンを以って形成し、このパタンの一部分を、相
互作用長が長くなるように順次に除去する。尚、実施の
形態において最適相互作用長比を決定する対象の光波長
フィルタの構成は、上述の第１の実施の形態において説
明した光波長フィルタの構成と、吸収帯３８を除いて、
同一であるので、その詳細な説明を省略する。

【００６３】ここで、図７の（Ａ）〜（Ｃ）を参照し
て、第４の実施の形態におけるパタンの形成および除去
について説明する。図７の（Ａ）〜（Ｃ）は、フォトレ
ジストのパタンの形状の説明に供する要部平面図であ
る。尚、図７においては、レジストパタンに、断面部分
ではないが、ハッチングを付して示す。

【００６４】先ず、図１に示した光波長フィルタ１０の
基板１６上のＳＡＷ導波路２０上のうちの、２段目のＡ
Ｏフィルタ１４を構成する部分の一部分に、長方形の平
面パタンの第１レジストパタン４４を形成する（図７の
（Ａ））。また、第１レジストパタン４４の厚さは数百
μｍ程度である。また、第１レジストパタン４４の光導
波路２４に沿った側面は、ＳＡＷ導波路壁部１８ａおよ
び１８ｂに接している。

【００６５】そして、このときの２段目のＡＯフィルタ
１４の相互作用長Ｌ₂ は、第１レジストパタン４４の中
央偏光子３２寄りの縁４４ａと中央偏光子３２との間の
距離となる。

【００６６】次に、このときの相互作用長Ｌ₂ で与えら
れる相互作用長比ｒＬ（＝Ｌ₂ ／Ｌ ₁ ）のときの、光波
長フィルタ１０のサイドローブの透過率を測定する。

【００６７】次に、第１レジストパタン４４の中央偏光
子３２寄りの一部分に、紫外線を照射する（図７の
（Ｂ））。図７の（Ｂ）では、このときの紫外線照射領
域４６を破線で囲んで示す。

【００６８】次に、紫外線照射領域４６の第１レジスト
パタン４４の一部分を、現像により除去して、第２レジ
ストパタン４８を画成する（図７の（Ｃ））。このとき
の２段目のＡＯフィルタ１４の相互作用長Ｌ₂ は、第２
レジストパタン４８の中央偏光子３２寄りの縁４８ａと
中央偏光子３２との間の距離となる。

【００６９】次に、このときの相互作用長Ｌ₂ で与えら
れる相互作用長比ｒＬ（＝Ｌ₂ ／Ｌ₁ ）のときの、光波
長フィルタ１０のサイドローブの透過率を測定する。

【００７０】以下同様にして、レジストパタンの一部分
を相互作用長が長くなるように順次に除去し、その都度
サイドローブの透過率を測定すると良い。そして、サイ
ドローブの透過率が所定の値以下若しくは極小となった
ときの相互作用長比を最適相互作用長比に決定する。

【００７１】このように、吸収帯をフォトレジストのパ
タンを以って形成すれば、従来周知のフォトリソグラフ
ィ技術を用いて、パタンの一部分を順次に除去すること
により、吸収帯の位置を精度良く移動させることができ
る。

【００７２】上述した各実施の形態では、これらの発明
を特定の材料を用い、特定の条件で構成した例について
のみ説明したが、これらの発明は多くの変更および変形
を行うことができる。例えば、上述した実施の形態で
は、２段目のＡＯフィルタの作用長を決定する吸収帯３
８の位置のみを移動したが、この発明では、例えば、１
段目のＯＡフィルタの作用長を決定する吸収帯３６の位
置のみを移動しても良い。さらに、この発明では、１段
目および２段目の両方の吸収帯の位置を移動させても良
い。

【００７３】

【発明の効果】上述した実施の形態の説明からも明らか
なように、この発明の光波長フィルタの最適相互作用長
比の決定方法によれば、相互作用長を決める吸収帯の位
置を移動させることにより、相互作用長を変えて相互作
用長比を変える。そして、相互作用長比を変える度に、
サイドローブの透過率を測定する。このため、サイドロ
ーブの透過率が基準値以下若しくは極小となったときの
相互作用長比を、最適相互作用長比として容易に決定す
ることができる。その結果、サイドローブを抑制するこ
とによりクロストークを抑制した光波長フィルタを容易
に得ることができる。

【００７４】また、吸収帯を樹脂を以って形成すれば、
樹脂を位置を変えて塗布形成することにより、相互作用
長を容易に変えることができる。

【００７５】また、透過率の測定時に、吸収帯以外の樹
脂を除去しておけば、この樹脂による光導波路を伝送す
る光の損失を抑制することができる。また、樹脂を除去
しておけば、相互作用長が短くなる方向だけでなく、相
互作用長が長くなる方向へも樹脂の位置を移動すること
ができる。

【００７６】また、吸収帯をゴム片を以って形成すれ
ば、光導波路上にゴム片を押しつけるだけなので、光導
波路が形成された基板の表面が実質的に汚れない。この
ため、汚れによる表面弾性波の減衰が実質的に生じな
い。

【００７７】また、吸収帯をフォトレジストのパタンを
以って形成すれば、従来周知のフォトリソグラフィ技術
を用いて、パタンの一部分を順次に除去することによ
り、吸収帯の位置を精度良く移動させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態における最適相互作用長比を
決定する対象の光波長フィルタの構成の説明に供する図
である。

【図２】理論的に最適相互作用長比となっている場合の
１段目および２段目のＡＯフィルタの透過波長特性を示
すグラフである。

【図３】最適相互作用長比の決定方法の手順を示す流れ
図である。

【図４】相互作用長比とサイドローブの透過率との関係
の測定結果を示すグラフである。

【図５】（Ａ）は、最適相互作用長のときの１段目およ
び２段目のＡＯフィルタの透過波長特性を示すグラフで
あり、（Ｂ）は、最適相互作用長のときの光波長フィル
タの透過波長特性を示すグラフである。

【図６】第３の実施の形態の説明に供する要部縦断面図
である。

【図７】（Ａ）〜（Ｃ）は、第４の実施の形態における
フォトレジストのパタンの形状の説明に供する要部平面
図である。

【符号の説明】

１０：光波長フィルタ１２：１段目のＡＯフィルタ１４：２段目のＡＯフィルタ１６：基板１８ａ、１８ｂ：ＳＡＷ導波路壁部２０：ＳＡＷ導波路２２：櫛形電極２４：光導波路２６：入力ポート２８：出力ポート３０：入射側偏光子３２：中央偏光子３４：出射側偏光子３６：表面弾性波吸収帯３８：表面弾性波吸収帯（吸収帯）４０：ゴム片４２：可動支持体４４：第１レジストパタン４４ａ：縁４６：紫外線照射領域４８：第２レジストパタン４８ａ：縁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】１段目の音響光学効果型光波長フィルタ
と該１段目の音響光学効果型光波長フィルタを透過した
光が入力する２段目の音響光学効果型光波長フィルタと
を以って構成された光波長フィルタにおいて、前記１段
目の音響光学効果型光波長フィルタの光導波路に沿った
相互作用長と前記２段目の音響光学効果型光波長フィル
タの光導波路に沿った相互作用長との比である相互作用
長比の最適値を決定するにあたり、前記１段目および２段目の音響光学効果型光波長フィル
タのうちの少なくとも一方の音響光学効果型光波長フィ
ルタにおいて、相互作用長を決める表面弾性波吸収帯の
位置を前記光導波路に沿って移動させることによって、
当該音響光学効果型光波長フィルタの相互作用長を変化
させ、該相互作用長を変化させる度に、サイドローブの
透過率を測定し、該サイドローブの透過率が基準値以下
若しくは極小となったときの相互作用長比を最適値とす
ることを特徴とする光波長フィルタの最適相互作用長比
の決定方法。
【請求項２】請求項１に記載の光波長フィルタの最適
相互作用長比の決定方法において、表面弾性波吸収帯の
位置を前記光導波路に沿って移動させるにあたり、前記表面弾性波吸収帯を樹脂を以って形成し、該樹脂を
前記光導波路上に、前記相互作用長が短くなる方向に順
次に位置を変えて塗布形成することを特徴とする光波長
フィルタの最適相互作用長比の決定方法。
【請求項３】請求項１に記載の光波長フィルタの最適
相互作用長比の決定方法において、表面弾性波吸収帯の
位置を前記光導波路に沿って移動させるにあたり、前記表面弾性波吸収帯を樹脂を以って形成し、前記光導
波路上に塗布形成された樹脂を除去した後に、該樹脂が
除去された位置と異なる位置に樹脂を塗布形成すること
を特徴とする光波長フィルタの最適相互作用長比の決定
方法。
【請求項４】請求項１に記載の光波長フィルタの最適
相互作用長比の決定方法において、表面弾性波吸収帯の
位置を前記光導波路に沿って移動させるにあたり、前記表面弾性波吸収帯をゴム片を以って形成し、該ゴム
片を前記光導波路上に位置を変えて押しつけることを特
徴とする光波長フィルタの最適相互作用長比の決定方
法。
【請求項５】請求項１に記載の光波長フィルタの最適
相互作用長比の決定方法において、表面弾性波吸収帯の
位置を前記光導波路に沿って移動させるにあたり、前記表面弾性波吸収帯をポジ型のフォトレジストのパタ
ンを以って形成し、該パタンの一部分を、前記相互作用
長が長くなるように順次に除去することを特徴とする光
波長フィルタの最適相互作用長比の決定方法。