JPH10186041A - Ｘ線分析装置のパルスプロセッサ - Google Patents
Ｘ線分析装置のパルスプロセッサInfo
- Publication number
- JPH10186041A JPH10186041A JP8354794A JP35479496A JPH10186041A JP H10186041 A JPH10186041 A JP H10186041A JP 8354794 A JP8354794 A JP 8354794A JP 35479496 A JP35479496 A JP 35479496A JP H10186041 A JPH10186041 A JP H10186041A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amplifier
- slow
- output
- pulse processor
- time constant
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/17—Circuit arrangements not adapted to a particular type of detector
- G01T1/171—Compensation of dead-time counting losses
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高計数率と高分解能という相反する二つの要
求をきわめて合理的な手法で同時に満足させることがで
きるようにしたＸ線分析装置のパルスプロセッサを提供
すること。 【解決手段】 ファスト系アンプ８とスロー系アンプ９
とを並列接続したパルスプロセッサ６において、前記ス
ロー系アンプ９を、時定数の異なる複数のスローアンプ
１０，１１で構成し、入力される信号にパイルアップが
生じている場合は、時定数の小さいスローアンプ１０の
出力を用い、前記信号にパイルアップが生じてない場合
は時定数の大きいスローアンプ１１の出力を用いるよう
にした。
求をきわめて合理的な手法で同時に満足させることがで
きるようにしたＸ線分析装置のパルスプロセッサを提供
すること。 【解決手段】 ファスト系アンプ８とスロー系アンプ９
とを並列接続したパルスプロセッサ６において、前記ス
ロー系アンプ９を、時定数の異なる複数のスローアンプ
１０，１１で構成し、入力される信号にパイルアップが
生じている場合は、時定数の小さいスローアンプ１０の
出力を用い、前記信号にパイルアップが生じてない場合
は時定数の大きいスローアンプ１１の出力を用いるよう
にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、Ｘ線分析装置の
パルスプロセッサに関する。
パルスプロセッサに関する。
【０００２】
【従来の技術】前記パルスプロセッサは、例えば走査型
電子顕微鏡に設けられたＳｉ（シリコン）半導体Ｘ線検
出器（以下、単にＸ線検出器という）の出力がプリアン
プを経て入力されると、この入力信号をリニアアンプで
処理した後、ＡＤ変換し、これをマルチチャンネルアナ
ライザ（以下、ＭＣＡという）に出力するものである。
電子顕微鏡に設けられたＳｉ（シリコン）半導体Ｘ線検
出器（以下、単にＸ線検出器という）の出力がプリアン
プを経て入力されると、この入力信号をリニアアンプで
処理した後、ＡＤ変換し、これをマルチチャンネルアナ
ライザ（以下、ＭＣＡという）に出力するものである。
【０００３】そして、前記パルスプロセッサにおいて
は、前記プリアンプの出力信号には、図７（Ａ）に示す
ように、多くのノイズ成分が含まれている。そこで、ノ
イズを除去するために、図６に示すようなリニアアンプ
６１でフィルタをかけ、このリニアアンプ６１を通過し
た信号をＡ／Ｄ変換器６２においてＡ／Ｄ変換するよう
にしていた。なお、前記図７（Ａ）において、符号ａ，
ｂは信号発生の時点を示している。
は、前記プリアンプの出力信号には、図７（Ａ）に示す
ように、多くのノイズ成分が含まれている。そこで、ノ
イズを除去するために、図６に示すようなリニアアンプ
６１でフィルタをかけ、このリニアアンプ６１を通過し
た信号をＡ／Ｄ変換器６２においてＡ／Ｄ変換するよう
にしていた。なお、前記図７（Ａ）において、符号ａ，
ｂは信号発生の時点を示している。
【０００４】すなわち、前記リニアアンプ６１は、プリ
アンプ６３の出力を整形するとともに増幅するスロー
（ｓｌｏｗ）系アンプ６４と、このスロー系アンプ６４
と並列に接続され、信号の重なり（パイルアップ）を認
識するために信号の発生を検出する機能を有するファス
ト（ｆａｓｔ）系アンプ６５と、スロー系アンプ６４の
後段に設けられ、制御回路６６によって制御される出力
ゲート６７とからなる。
アンプ６３の出力を整形するとともに増幅するスロー
（ｓｌｏｗ）系アンプ６４と、このスロー系アンプ６４
と並列に接続され、信号の重なり（パイルアップ）を認
識するために信号の発生を検出する機能を有するファス
ト（ｆａｓｔ）系アンプ６５と、スロー系アンプ６４の
後段に設けられ、制御回路６６によって制御される出力
ゲート６７とからなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記リニア
アンプ６１によって、プリアンプ６３の出力信号に含ま
れるノイズを除去する場合、フィルタの時定数を短くす
ると、図７（Ｂ）に示すように、ノイズを完全に除去で
きない。そして、前記時定数を長くすると、ノイズ除去
は完全に行うことができるが、一つの信号の処理に時間
がかかり過ぎ、入力信号の計数率が高くなると、同図
（Ｃ）に示すように、パイルアップが生じ、測定できな
い信号の割合が増大する。
アンプ６１によって、プリアンプ６３の出力信号に含ま
れるノイズを除去する場合、フィルタの時定数を短くす
ると、図７（Ｂ）に示すように、ノイズを完全に除去で
きない。そして、前記時定数を長くすると、ノイズ除去
は完全に行うことができるが、一つの信号の処理に時間
がかかり過ぎ、入力信号の計数率が高くなると、同図
（Ｃ）に示すように、パイルアップが生じ、測定できな
い信号の割合が増大する。
【０００６】つまり、従来のパルスプロセッサにおいて
は、高計数率と高分解能という相反する要求を同時に満
たすことが困難であった。なお、測定者が目的に応じて
フィルタの時定数を切り換え操作することが考えられる
が、このような操作は非常に煩わしく、測定効率に悪影
響が及ぼされるおそれがある。
は、高計数率と高分解能という相反する要求を同時に満
たすことが困難であった。なお、測定者が目的に応じて
フィルタの時定数を切り換え操作することが考えられる
が、このような操作は非常に煩わしく、測定効率に悪影
響が及ぼされるおそれがある。
【０００７】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、高計数率と高分解能という相反
する二つの要求をきわめて合理的な手法で同時に満足さ
せることができるようにしたＸ線分析装置のパルスプロ
セッサ（以下、単にパルスプロセッサという）を提供す
ることである。
たもので、その目的は、高計数率と高分解能という相反
する二つの要求をきわめて合理的な手法で同時に満足さ
せることができるようにしたＸ線分析装置のパルスプロ
セッサ（以下、単にパルスプロセッサという）を提供す
ることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、ファスト系アンプとスロー系アンプ
とを並列接続したパルスプロセッサにおいて、前記スロ
ー系アンプを、時定数の異なる複数のスローアンプで構
成し、入力される信号にパイルアップが生じている場合
は、時定数の小さいスローアンプの出力を用い、前記信
号にパイルアップが生じてない場合は時定数の大きいス
ローアンプの出力を用いるようにしている。
め、この発明では、ファスト系アンプとスロー系アンプ
とを並列接続したパルスプロセッサにおいて、前記スロ
ー系アンプを、時定数の異なる複数のスローアンプで構
成し、入力される信号にパイルアップが生じている場合
は、時定数の小さいスローアンプの出力を用い、前記信
号にパイルアップが生じてない場合は時定数の大きいス
ローアンプの出力を用いるようにしている。
【０００９】上記パルスプロセッサにおいては、パイル
アップの確率が少ない低計数率の場合には、時定数の大
きいスローアンプが用いられるため、分解能が良好とな
る。また、高計数率になると、時定数の小さいスローア
ンプが用いられるため、パイルアップによる数え落とし
（数え漏れ）が低減される。
アップの確率が少ない低計数率の場合には、時定数の大
きいスローアンプが用いられるため、分解能が良好とな
る。また、高計数率になると、時定数の小さいスローア
ンプが用いられるため、パイルアップによる数え落とし
（数え漏れ）が低減される。
【００１０】そして、前記パルスプロセッサの具体的な
構成として、スローアンプの出力を切り換えてＡ／Ｄ変
換器に入力するようにしたり、あるいは、スローアンプ
の出力側にそれぞれサンプルホールド回路を設けたり、
また、スローアンプの出力側にそれぞれＡ／Ｄ変換器を
設けるようにしてもよい。
構成として、スローアンプの出力を切り換えてＡ／Ｄ変
換器に入力するようにしたり、あるいは、スローアンプ
の出力側にそれぞれサンプルホールド回路を設けたり、
また、スローアンプの出力側にそれぞれＡ／Ｄ変換器を
設けるようにしてもよい。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細について図
を参照しながら説明する。図１は、この発明のパルスプ
ロセッサの一例を示すもので、この図において、１は例
えば走査型電子顕微鏡の試料室に設けられたＸ線検出器
で、電子銃２から試料３に対して電子線４を照射したと
きに試料３から発せられるＸ線を検出し、検出信号を出
力するものである。５はＸ線検出器１の出力信号を適宜
増幅するプリアンプである。
を参照しながら説明する。図１は、この発明のパルスプ
ロセッサの一例を示すもので、この図において、１は例
えば走査型電子顕微鏡の試料室に設けられたＸ線検出器
で、電子銃２から試料３に対して電子線４を照射したと
きに試料３から発せられるＸ線を検出し、検出信号を出
力するものである。５はＸ線検出器１の出力信号を適宜
増幅するプリアンプである。
【００１２】６はパルスプロセッサで、これにはプリア
ンプ５から出力される信号（図２（Ａ）参照）が入力さ
れる。このパルスプロセッサ６は、次のように構成され
ている。すなわち、７はバッファアンプで、その出力側
には、ファスト系アンプ８とスロー系アンプ９とが互い
に並列になるように設けられている。ファスト系アンプ
８は、パイルアップを認識するために信号が発生したこ
とを検出する機能を有している。
ンプ５から出力される信号（図２（Ａ）参照）が入力さ
れる。このパルスプロセッサ６は、次のように構成され
ている。すなわち、７はバッファアンプで、その出力側
には、ファスト系アンプ８とスロー系アンプ９とが互い
に並列になるように設けられている。ファスト系アンプ
８は、パイルアップを認識するために信号が発生したこ
とを検出する機能を有している。
【００１３】そして、スロー系アンプ９は、二つの時定
数の異なるスローアンプ１０，１１を互いに並列に接続
してなるものである。この場合、時定数のより小さいア
ンプ１０の出力パルスａ（図２（Ｃ）参照）のパルス幅
が、時定数のより大きいアンプ１１の出力パルスｂ（図
２（Ｄ）参照）のピークまでの時間になるように、アン
プ１０，１１の時定数がそれぞれ設定されている。
数の異なるスローアンプ１０，１１を互いに並列に接続
してなるものである。この場合、時定数のより小さいア
ンプ１０の出力パルスａ（図２（Ｃ）参照）のパルス幅
が、時定数のより大きいアンプ１１の出力パルスｂ（図
２（Ｄ）参照）のピークまでの時間になるように、アン
プ１０，１１の時定数がそれぞれ設定されている。
【００１４】１２はファスト系アンプ８の後段に設けら
れる制御回路で、後述する切り換えスイッチ１３やＡ／
Ｄ変換器１４に制御信号を出力するものである。
れる制御回路で、後述する切り換えスイッチ１３やＡ／
Ｄ変換器１４に制御信号を出力するものである。
【００１５】１３は互いに並列接続されたスローアンプ
１０，１１の後段側に設けられる切り換えスイッチで、
制御回路１２からの制御信号に基づいて接続を切り換え
て、スローアンプ１０，１１の出力をＡ／Ｄ変換器１４
に入力するものである。
１０，１１の後段側に設けられる切り換えスイッチで、
制御回路１２からの制御信号に基づいて接続を切り換え
て、スローアンプ１０，１１の出力をＡ／Ｄ変換器１４
に入力するものである。
【００１６】１４はＡ／Ｄ変換器で、切り換えスイッチ
１３を経て入力されたスローアンプ１０，１１の出力
を、制御回路１２からの制御信号に基づいてＡ／Ｄ変換
し、データラッチを行う機能を有している。
１３を経て入力されたスローアンプ１０，１１の出力
を、制御回路１２からの制御信号に基づいてＡ／Ｄ変換
し、データラッチを行う機能を有している。
【００１７】１５が上述のように構成されたパルスプロ
セッサ６の後段に設けられるＭＣＡで、測定したデータ
をヒストグラムにして分析を行うものである。
セッサ６の後段に設けられるＭＣＡで、測定したデータ
をヒストグラムにして分析を行うものである。
【００１８】次に、上述のように構成されたパルスプロ
セッサ６の動作について、図２および図３をも参照しな
がら説明する。
セッサ６の動作について、図２および図３をも参照しな
がら説明する。
【００１９】今、ｔ＝０で発生した信号（図２（Ｂ）参
照）は、時定数の小さいスローアンプ１０を経て、その
出力ａがＡ／Ｄ変換器１０に送られ、ここでＡ／Ｄ変換
され、ラッチされる（図２（Ｅ）参照）。また、前記ｔ
＝０で発生した信号は、時定数の大きいスローアンプ１
１を経て、その出力ｂがＡ／Ｄ変換器１０に送られ、こ
こでＡ／Ｄ変換され、ラッチされる（図２（Ｆ）参
照）。
照）は、時定数の小さいスローアンプ１０を経て、その
出力ａがＡ／Ｄ変換器１０に送られ、ここでＡ／Ｄ変換
され、ラッチされる（図２（Ｅ）参照）。また、前記ｔ
＝０で発生した信号は、時定数の大きいスローアンプ１
１を経て、その出力ｂがＡ／Ｄ変換器１０に送られ、こ
こでＡ／Ｄ変換され、ラッチされる（図２（Ｆ）参
照）。
【００２０】この場合、時定数の大きいスローアンプ１
１からの出力ｂがＡ／Ｄ変換器１０においてＡ／Ｄ変換
できた場合は、この出力ｂをＭＣＡ１５に出力し、出力
ａのラッチ後、出力ｂのピークまでにパイルアップが生
じた場合は、出力ａをＭＣＡ１５に出力するのである。
１からの出力ｂがＡ／Ｄ変換器１０においてＡ／Ｄ変換
できた場合は、この出力ｂをＭＣＡ１５に出力し、出力
ａのラッチ後、出力ｂのピークまでにパイルアップが生
じた場合は、出力ａをＭＣＡ１５に出力するのである。
【００２１】図３は、パイルアップによる測定の可否を
図解的に示したもので、上段はプリアンプ５の出力ａ〜
ｋを示し、中段、下段は前記出力ａ〜ｋにそれぞれ対応
する時定数の小さいスローアンプ１０の出力、時定数の
大きいスローアンプ１１の出力を示している。また、こ
の図において、○印は測定可能を、×印は測定不可をそ
れぞれ示している。なお、横軸は時間を表している。
図解的に示したもので、上段はプリアンプ５の出力ａ〜
ｋを示し、中段、下段は前記出力ａ〜ｋにそれぞれ対応
する時定数の小さいスローアンプ１０の出力、時定数の
大きいスローアンプ１１の出力を示している。また、こ
の図において、○印は測定可能を、×印は測定不可をそ
れぞれ示している。なお、横軸は時間を表している。
【００２２】以上説明したように、この発明のパルスプ
ロセッサ６においては、入力される信号にパイルアップ
が生じている場合は、時定数の小さいスローアンプ１０
の出力を用い、前記信号にパイルアップが生じてない場
合は時定数の大きいスローアンプ１１の出力を用いるよ
うにしているので、パイルアップの確率が少ない低計数
率の場合における分解能が良好となる一方、高計数率の
場合においては、パイルアップによる数え落としが低減
され、高計数率と高分解能という相反する二つの要求を
きわめて合理的な手法で同時に満足させることができ
る。
ロセッサ６においては、入力される信号にパイルアップ
が生じている場合は、時定数の小さいスローアンプ１０
の出力を用い、前記信号にパイルアップが生じてない場
合は時定数の大きいスローアンプ１１の出力を用いるよ
うにしているので、パイルアップの確率が少ない低計数
率の場合における分解能が良好となる一方、高計数率の
場合においては、パイルアップによる数え落としが低減
され、高計数率と高分解能という相反する二つの要求を
きわめて合理的な手法で同時に満足させることができ
る。
【００２３】この発明は、上述の実施例に限られるもの
ではなく、種々に変形して実施することができる。例え
ば、図４に示すように、スローアンプ１０，１１のそれ
ぞれ出力側にサンプルホールド回路１６，１７を設け、
必要な信号のみをＡ／Ｄ変換器１８においてＡ／Ｄ変換
し、このＡ／Ｄ変換された出力をＭＣＡ１５に入力する
ようにしてもよい。
ではなく、種々に変形して実施することができる。例え
ば、図４に示すように、スローアンプ１０，１１のそれ
ぞれ出力側にサンプルホールド回路１６，１７を設け、
必要な信号のみをＡ／Ｄ変換器１８においてＡ／Ｄ変換
し、このＡ／Ｄ変換された出力をＭＣＡ１５に入力する
ようにしてもよい。
【００２４】また、図５に示すように、スローアンプ１
０，１１のそれぞれ出力側にＡ／Ｄ変換器１９，２０を
設け、これらの後段に切り換えスイッチ２１を設け、デ
ィジタル化してから必要な信号をＭＣＡ１５に入力する
ようにしてもよい。
０，１１のそれぞれ出力側にＡ／Ｄ変換器１９，２０を
設け、これらの後段に切り換えスイッチ２１を設け、デ
ィジタル化してから必要な信号をＭＣＡ１５に入力する
ようにしてもよい。
【００２５】図４および図５にそれぞれ示される構成を
採用した場合にも、上記図１に示した実施例と同様の作
用効果を奏することはいうまでもない。なお、上記Ａ／
Ｄ変換器１８〜２０には、ラッチ機能を備えさせる必要
はない。
採用した場合にも、上記図１に示した実施例と同様の作
用効果を奏することはいうまでもない。なお、上記Ａ／
Ｄ変換器１８〜２０には、ラッチ機能を備えさせる必要
はない。
【００２６】なお、パイルアップによる数え落としが多
くても、エネルギー分解能の高い方がよい場合には、上
記切り換えを行わず、時定数の大きいスローアンプ１１
の出力のみを使用するようにしてもよい。
くても、エネルギー分解能の高い方がよい場合には、上
記切り換えを行わず、時定数の大きいスローアンプ１１
の出力のみを使用するようにしてもよい。
【００２７】そして、上述の実施例においては、いずれ
もスロー系アンプ９を２つのスローアンプ１０，１１で
構成していたが、３以上のスローアンプを互いに並列に
接続してもよく、このようにした場合、パイルアップに
より細かく対応することができる。
もスロー系アンプ９を２つのスローアンプ１０，１１で
構成していたが、３以上のスローアンプを互いに並列に
接続してもよく、このようにした場合、パイルアップに
より細かく対応することができる。
【００２８】
【発明の効果】この発明は、以上のような形態で実施さ
れ、以下のような効果を奏する。
れ、以下のような効果を奏する。
【００２９】パイルアップの確率が少ない低計数率の場
合においては、時定数の大きいスローアンプが多く使用
されるので、分解能が向上する。また、高計数率の場合
には、時定数の小さいスローアンプが使用されるので、
パイルアップによる数え落としを低減することができ
る。したがって、この発明によれば、高計数率と高分解
能という相反する二つの要求を同時に満足させることが
できるパルスプロセッサが得られる。
合においては、時定数の大きいスローアンプが多く使用
されるので、分解能が向上する。また、高計数率の場合
には、時定数の小さいスローアンプが使用されるので、
パイルアップによる数え落としを低減することができ
る。したがって、この発明によれば、高計数率と高分解
能という相反する二つの要求を同時に満足させることが
できるパルスプロセッサが得られる。
【図１】この発明のパルスプロセッサの一例を概略的に
示す図である。
示す図である。
【図２】前記パルスプロセッサの動作説明図である。
【図３】測定の可否を説明するための図である。
【図４】この発明のパルスプロセッサの他の構成例を概
略的に示す図である。
略的に示す図である。
【図５】この発明のパルスプロセッサのさらに他の構成
例を概略的に示す図である。
例を概略的に示す図である。
【図６】従来のパルスプロセッサの構成を概略的に示す
図である。
図である。
【図７】従来技術の問題点を説明するための図である。
６…パルスプロセッサ、８…ファスト系アンプ、９…ス
ロー系アンプ、１０…時定数の小さいスローアンプ、１
１…時定数の大きいスローアンプ、１４…Ａ／Ｄ変換
器、１６…サンプルホールド回路、１８，１９，２０…
Ａ／Ｄ変換器。
ロー系アンプ、１０…時定数の小さいスローアンプ、１
１…時定数の大きいスローアンプ、１４…Ａ／Ｄ変換
器、１６…サンプルホールド回路、１８，１９，２０…
Ａ／Ｄ変換器。
Claims (4)
- 【請求項１】 ファスト系アンプとスロー系アンプとを
並列接続したＸ線分析装置のパルスプロセッサにおい
て、前記スロー系アンプを、時定数の異なる複数のスロ
ーアンプで構成し、入力される信号にパイルアップが生
じている場合は、時定数の小さいスローアンプの出力を
用い、前記信号にパイルアップが生じてない場合は時定
数の大きいスローアンプの出力を用いるようにしたこと
を特徴とするＸ線分析装置のパルスプロセッサ。 - 【請求項２】 スローアンプの出力を切り換えてＡ／Ｄ
変換器に入力するようにしてなる請求項１に記載のＸ線
分析装置のパルスプロセッサ。 - 【請求項３】 スローアンプの出力側にそれぞれサンプ
ルホールド回路を設けてなる請求項１に記載のＸ線分析
装置のパルスプロセッサ。 - 【請求項４】 スローアンプの出力側にそれぞれＡ／Ｄ
変換器を設けてなる請求項１に記載のＸ線分析装置のパ
ルスプロセッサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8354794A JPH10186041A (ja) | 1996-12-21 | 1996-12-21 | Ｘ線分析装置のパルスプロセッサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8354794A JPH10186041A (ja) | 1996-12-21 | 1996-12-21 | Ｘ線分析装置のパルスプロセッサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10186041A true JPH10186041A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18439955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8354794A Pending JPH10186041A (ja) | 1996-12-21 | 1996-12-21 | Ｘ線分析装置のパルスプロセッサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10186041A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009229127A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Jeol Ltd | 放射線計測用パルスプロセッサ |
| JP2012251999A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Toshiba Corp | 放射線検出装置、放射線検出システム及び放射線検出方法 |
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| US9310513B2 (en) | 2008-03-31 | 2016-04-12 | Southern Innovation International Pty Ltd. | Method and apparatus for borehole logging |
| JP2016075676A (ja) * | 2014-10-06 | 2016-05-12 | 株式会社東芝 | 光子計数装置及びｘ線ｃｔ装置 |
| JP2016526160A (ja) * | 2013-05-24 | 2016-09-01 | オックスフォード インストルメンツ ナノテクノロジー ツールス リミテッド | 粒子スペクトルを処理する方法 |
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| JP2020511641A (ja) * | 2017-03-06 | 2020-04-16 | プリズマティック、センサーズ、アクチボラグＰｒｉｓｍａｔｉｃ Ｓｅｎｓｏｒｓ Ａｂ | 光子計数に基づくｘ線検出システム |
-
1996
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