JPH0999432A - Sample cutter and sample cutting method therefor - Google Patents
Sample cutter and sample cutting method thereforInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、試料の切断を行う
試料切断装置および試料切断方法に係わり、たとえば、
酸化物結晶やシリコンウェハなどを、砥粒液を用いて切
断する試料切断装置および試料切断方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample cutting device and a sample cutting method for cutting a sample.
The present invention relates to a sample cutting device and a sample cutting method for cutting an oxide crystal, a silicon wafer, or the like with an abrasive liquid.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４に、従来の、砥粒液を用いるワイヤ
切断装置の構成を示す。図示したように、このワイヤ切
断装置は、砥粒液供給機構２０とワイヤ駆動機構３０と
から構成されている。2. Description of the Related Art FIG. 4 shows the configuration of a conventional wire cutting device using an abrasive liquid. As shown in the figure, the wire cutting device includes an abrasive liquid supply mechanism 20 and a wire drive mechanism 30.
【０００３】砥粒液供給機構２０は、切断を行うべき試
料１０に対して砥粒液を供給するための機構であり、砥
粒液貯留タンク２１と砥粒液撹拌モータ２２と砥粒液供
給パイプ２３とから構成されている。砥粒液貯留タンク
２１には、砥粒とオイルとの混合物である砥粒液が貯留
され、砥粒液撹拌モータ２２は、砥粒の沈殿が起こらな
いように、砥粒液貯留タンク２１内の砥粒液を撹拌す
る。この砥粒液供給機構２０では、砥粒液貯留タンク２
１内の砥粒液は、砥粒液供給パイプ２３を通って、試料
１０上に滴下される。The abrasive liquid supply mechanism 20 is a mechanism for supplying the abrasive liquid to the sample 10 to be cut, and the abrasive liquid storage tank 21, the abrasive liquid stirring motor 22, and the abrasive liquid supply. It is composed of a pipe 23. The abrasive grain liquid storage tank 21 stores the abrasive grain liquid which is a mixture of the abrasive grains and oil, and the abrasive grain liquid agitation motor 22 stores the abrasive grain liquid storage tank 21 in order to prevent the precipitation of the abrasive grains. Stir the abrasive liquid. In this abrasive liquid supply mechanism 20, the abrasive liquid storage tank 2
The abrasive liquid in 1 passes through the abrasive liquid supply pipe 23 and is dropped on the sample 10.
【０００４】ワイヤ駆動機構３０は、試料１０に対し
て、ワイヤ３１を相対的に運動させるための機構であ
り、このワイヤ駆動機構３０では、３０ｍのワイヤ３１
が、５個のローラ３２を介してキャプスタン３３に巻か
れている。キャプスタン３３は、正逆回転しながらワイ
ヤ３１の巻き取りと送り出しを交互に行う。試料１０の
前後に位置している２つのローラ３２1、３２2は、ヨー
ク３４に固定されており、ヨーク下降用モータ３５は、
ヨーク３４を一定速度で降下させる。また、ローラ３２
3の回転軸には、ワイヤ３１に所定の張力を加えるため
にのウェイト３６が図示したように接続されている。The wire drive mechanism 30 is a mechanism for moving the wire 31 relative to the sample 10. In the wire drive mechanism 30, the wire 31 of 30 m is used.
Is wound around the capstan 33 via the five rollers 32. The capstan 33 alternately winds and feeds the wire 31 while rotating in the forward and reverse directions. The two rollers 32 1 and 32 2 located in front of and behind the sample 10 are fixed to the yoke 34, and the yoke lowering motor 35 is
The yoke 34 is lowered at a constant speed. Also, the roller 32
A weight 36 for applying a predetermined tension to the wire 31 is connected to the rotating shaft of 3 as shown.
【０００５】すなわち、このワイヤ切断装置では、砥粒
液供給機構２０によって砥粒液が供給されている試料１
０に対して、ワイヤ３１が左右往復動しつつ降下するこ
とによって、試料１０の切断が行われる。That is, in this wire cutting device, the sample 1 to which the abrasive liquid is supplied by the abrasive liquid supply mechanism 20.
With respect to 0, the wire 31 descends while reciprocating left and right, whereby the sample 10 is cut.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述のような切断装置
は、硬く脆い材質のもの、軟らかいもの、へきかい性を
有しているものなど、さまざまな物性の試料の切断に用
いられており、所望の切断面の仕上がり精度や切断速度
を得るためには、切断すべき試料の物性に応じた砥粒を
用いることが必要とされる。The cutting device as described above is used for cutting samples having various physical properties such as those made of hard and brittle materials, soft ones, and ones having eccentricity. In order to obtain the finishing accuracy and the cutting speed of the cut surface, it is necessary to use the abrasive grains according to the physical properties of the sample to be cut.
【０００７】このため、異なった物性の試料を切断する
ためには砥粒の交換を行わなければならないが、従来の
切断装置では、砥粒供給機構が上述のように複雑な構成
を有しているので、不必要となった砥粒を砥粒供給機構
から除去するためのクリーニング作業に多くの時間が必
要であった。また、砥粒液を試料面に滴下する構成とな
っていたため、試料面での砥粒液分布が時間的にも場所
的にも均一になっておらず、その結果として、試料の切
断部分に欠陥が生じてしまうこともあった。さらに、試
料によっては切断に長時間（たとえば、８時間）の連続
運転が必要なこともあるが、従来の切断装置では、無駄
に消費されてしまう砥粒液が多かったため、十分な容量
のタンクを備えていない切断装置では、連続運転の途中
に砥粒液の補充作業が必要となることもあった。そし
て、砥粒液や、試料の切断ミストの飛散によって、周囲
を汚染してしまうという問題もあった。Therefore, in order to cut a sample having different physical properties, it is necessary to exchange the abrasive grains, but in the conventional cutting device, the abrasive grain supply mechanism has the complicated structure as described above. Therefore, a lot of time is required for the cleaning operation for removing the unnecessary abrasive grains from the abrasive grain supply mechanism. Further, since the abrasive liquid was dropped onto the sample surface, the distribution of the abrasive liquid on the sample surface was not uniform in terms of time and place, and as a result, the cut portion of the sample was In some cases, there were defects. Further, depending on the sample, it may be necessary to continuously operate for a long time (for example, 8 hours) for cutting, but in the conventional cutting device, a large amount of abrasive liquid wasted unnecessarily, so a tank of sufficient capacity was used. In a cutting device not equipped with the above, it may be necessary to replenish the abrasive liquid during the continuous operation. There is also a problem that the surroundings are contaminated by the abrasive grain liquid and the cutting mist of the sample being scattered.
【０００８】また、マルチワイヤを用いて切断を行う切
断装置では、多数（１００本以上）のワイヤーソーで同
時に試料を切断するので多量の砥粒液が必要とされる。
このため、図５に示したように、試料固定台１１の下に
砥粒液を回収するための受け皿２４を設け、受け皿２４
によって回収された砥粒液を、ポンプ２５を用いて循環
させるといったことが行われている。なお、このマルチ
ワイヤ切断装置では、試料固定台１１が上昇することに
よって、試料１０の切断が行われる。Further, in a cutting device for cutting with a multi-wire, a large amount (100 or more) of wire saws simultaneously cut a sample, and therefore a large amount of abrasive liquid is required.
Therefore, as shown in FIG. 5, a saucer 24 for collecting the abrasive liquid is provided under the sample fixing base 11, and the saucer 24 is provided.
The abrasive grain liquid recovered by is circulated using a pump 25. In this multi-wire cutting device, the sample 10 is cut by raising the sample fixing base 11.
【０００９】このような切断装置では、砥粒液供給パイ
プ２３内の圧損に起因して、砥粒液の供給量に場所によ
るバラツキが生ずるため、試料の切断状態に場所による
バラツキが生ずる。このため、たとえば、切断によって
得られた各ウェハの厚みが異なるといった問題が生じて
いた。In such a cutting device, the supply amount of the abrasive grain liquid varies depending on the location due to the pressure loss in the abrasive grain liquid supply pipe 23, so that the cutting state of the sample also varies depending on the location. Therefore, for example, there is a problem that the thickness of each wafer obtained by cutting is different.
【００１０】そこで、本発明の課題は、砥粒液の交換が
容易で、かつ、良好に試料が切断できる試料切断装置お
よび試料切断方法を提供することにある。Therefore, an object of the present invention is to provide a sample cutting device and a sample cutting method which allow easy exchange of an abrasive liquid and can cut a sample satisfactorily.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明の試料切断装置
は、砥粒と液体からなる砥粒液を含浸させた２個の砥粒
液含浸部材と、これら２個の砥粒液含浸部材と切断すべ
き試料とを、試料が２個の砥粒液含浸部材に挟まれた形
態で固定する試料固定台と、この試料固定台に固定され
た試料を砥粒液含浸部材とともに切断する切断機とを具
備する。A sample cutting device of the present invention comprises two abrasive grain liquid impregnated members impregnated with an abrasive grain liquid composed of abrasive grains and a liquid, and two abrasive grain liquid impregnated members. A sample fixing base for fixing the sample to be cut in a form sandwiched between two abrasive liquid impregnating members, and a cutting machine for cutting the sample fixed on the sample fixing base together with the abrasive liquid impregnating member. And.
【００１２】すなわち、本発明の試料切断装置では、切
断すべき試料が固定される試料固定台の上に、砥粒とオ
イルなどの液体からなる砥粒液を含浸した砥粒液含浸部
材が、試料を挟み込むような形態で固定され、試料は、
砥粒液含浸部材からの砥粒液の供給を受けつつ、切断機
によって砥粒液含浸部材と共に切断される。That is, in the sample cutting apparatus of the present invention, an abrasive liquid impregnating member impregnated with an abrasive liquid made of a liquid such as abrasive grains and oil is placed on a sample holder on which a sample to be cut is fixed. It is fixed so that the sample is sandwiched, and the sample is
While being supplied with the abrasive grain liquid from the abrasive grain liquid impregnated member, it is cut together with the abrasive grain liquid impregnated member by the cutting machine.
【００１３】本発明によれば、砥粒液含浸部材によって
試料の切断部分に均一に砥粒液が供給されるので、良好
な切断が可能となる。また、砥粒液の滴下を行わない構
成となっているので、砥粒液の飛散による汚染が生ずる
こともない。さらに、試料の前後に設けられた砥粒液含
浸部材は、切断ミストをトラップする部材としても機能
することになるため、切断ミストによる汚染をも防止で
きることになる。According to the present invention, since the abrasive grain liquid is uniformly supplied to the cut portion of the sample by the abrasive grain liquid impregnated member, excellent cutting can be performed. Further, since the abrasive grain liquid is not dropped, contamination due to scattering of the abrasive grain liquid does not occur. Further, since the abrasive liquid impregnated members provided before and after the sample also function as a member for trapping the cutting mist, it is possible to prevent contamination by the cutting mist.
【００１４】本発明の試料切断装置に用いる砥粒液含浸
部材としては、砥粒液を含浸（保持）できるものであれ
ば、どのような材料からなるものでも使用することがで
き、たとえば、発泡ポリウレタンを用いることができ
る。As the abrasive liquid impregnating member used in the sample cutting device of the present invention, any material can be used as long as it can impregnate (hold) the abrasive liquid, for example, foaming. Polyurethane can be used.
【００１５】また、切断機としては、ワイヤによって試
料を切断するものを用いることができるし、これ以外に
も砥粒液を用いて試料を切断する切断機、たとえば、バ
ンドソーや多刃機も用いることができる。As the cutting machine, one that cuts the sample with a wire can be used, and in addition to this, a cutting machine that cuts the sample using an abrasive liquid, for example, a band saw or a multi-blade machine is also used. be able to.
【００１６】さらに、本発明の試料切断装置を、同時に
試料を複数の部分に切断する切断機を用いて構成しても
良い。本発明では、砥粒液含浸部材によって試料各部に
均一に砥粒液が供給されるので、このように構成した場
合には、試料の切断状態の場所によるバラツキが極めて
少ない試料切断装置が得られることになる。Further, the sample cutting apparatus of the present invention may be constructed by using a cutting machine for cutting the sample into a plurality of parts at the same time. In the present invention, since the abrasive liquid is uniformly supplied to each part of the sample by the abrasive liquid impregnating member, in the case of such a configuration, a sample cutting device having extremely little variation depending on the position of the cut state of the sample can be obtained. It will be.
【００１７】本発明の試料切断方法は、切断すべき試料
を、砥粒と液体からなる砥粒液を含浸させた砥粒液含浸
部材で挟み、その砥粒液含浸部材とともに切断すること
を特徴とする。The sample cutting method of the present invention is characterized in that a sample to be cut is sandwiched by an abrasive liquid impregnating member impregnated with an abrasive liquid containing abrasive particles and a liquid, and the sample is cut together with the abrasive liquid impregnating member. And
【００１８】すなわち、本発明の試料切断方法では、切
断すべき試料を挟むような形態で配置した砥粒液含浸部
材から、切断に必要な砥粒液を試料に供給させることに
よって試料の切断を行う。なお、本発明の試料切断方法
に用いる砥粒液含浸部材としては、砥粒液を含浸（保
持）できるものであれば、どのような材料からなるもの
でも使用することができ、たとえば、発泡ポリウレタン
を用いることができる。That is, in the sample cutting method of the present invention, the sample is cut by supplying the abrasive liquid required for cutting to the sample from the abrasive liquid impregnated member arranged so as to sandwich the sample to be cut. To do. The abrasive liquid impregnating member used in the sample cutting method of the present invention may be made of any material as long as it can impregnate (hold) the abrasive liquid. Can be used.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明の試料切断装置およ
び試料切断方法を詳細に説明する。 ＜第１の実施形態＞図１を用いて本発明の第１の実施形
態による試料切断装置を詳細に説明する。なお、この図
は、本実施形態による試料切断装置において用いた試料
ステージの構成を示した図であり、本試料切断装置は、
この試料ステージと、図４に示したワイヤ駆動機構３０
によって構成されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The sample cutting device and sample cutting method of the present invention will be described in detail below. <First Embodiment> A sample cutting apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. It should be noted that this figure is a diagram showing the configuration of the sample stage used in the sample cutting apparatus according to the present embodiment, and the sample cutting apparatus is
This sample stage and the wire drive mechanism 30 shown in FIG.
It is constituted by.
【００２０】図１に示してあるように、試料ステージ
は、試料固定台１１1、１１2と、砥粒液含浸発泡ポリウ
レタン１２1、１２2と、固定枠１３とから構成されてい
る。酸化物結晶などの切断を行うべき試料１０は、試料
固定台１１2上に、２つの砥粒液含浸発泡ポリウレタン
１２に挟まれるように配置され、試料１０は、図示して
いない機構によって駆動されるワイヤ３１によって、砥
粒液含浸発泡ポリウレタン１２、固定枠１３と共に切断
される。As shown in FIG. 1, the sample stage is composed of sample fixing bases 11 1 and 11 2 , abrasive liquid-impregnated foamed polyurethane 12 1 and 12 2 and a fixing frame 13. Samples 10 to perform cutting such as oxides crystals on the sample fixing base 11 2 are arranged to be sandwiched between two abrasive impregnation polyurethane foam 12, the sample 10 is driven by a mechanism (not shown) The wire 31 is cut together with the abrasive liquid-impregnated polyurethane foam 12 and the fixed frame 13.
【００２１】砥粒液含浸発泡ポリウレタン１２は、発泡
ポリウレタンに、試料１０の切断に用いる砥粒液（砥粒
＋オイル）を含浸させた部材であり、図示してあるよう
に、各砥粒液含浸発泡ポリウレタン１２は、ワイヤ３１
の運動に伴って移動しないように、固定枠１３により試
料１０の前後に保持されている。なお、本実施形態で
は、固定枠１３として厚紙を用いており、砥粒液含浸ポ
リウレタン１２と固定枠１３は、１回の切断ごとに新た
なものに交換される。また、必要がある場合には、試料
固定台１１2の交換も行われる。The abrasive grain liquid impregnated polyurethane foam 12 is a member obtained by impregnating the polyurethane foam with an abrasive grain liquid (abrasive grains + oil) used for cutting the sample 10. As shown in the drawing, each abrasive grain liquid is used. The impregnated polyurethane foam 12 has a wire 31
The sample is held by the fixed frame 13 in front of and behind the sample 10 so as not to move with the movement of the. In the present embodiment, cardboard is used as the fixed frame 13, and the abrasive liquid-impregnated polyurethane 12 and the fixed frame 13 are replaced with new ones each time the cutting is performed. If necessary, the sample fixing base 11 2 is also replaced.
【００２２】このように構成された本試料切断装置で
は、砥粒液含浸発泡ポリウレタン１２に含浸させた砥粒
液が、ワイヤ３１の運動に伴って試料１０上に供給され
ることになるので、時間的に均一な状態で砥粒液の供給
が行われる。特に砥粒液含浸発泡ポリウレタン１２内で
砥粒の沈降が生じないため、砥粒液を撹拌しなくとも、
時間的に均一な切断が行われることになる。In the sample cutting device thus constructed, the abrasive liquid impregnated in the abrasive liquid-impregnated polyurethane foam 12 is supplied onto the sample 10 as the wire 31 moves. The abrasive grain liquid is supplied in a temporally uniform state. In particular, since the settling of the abrasive grains does not occur in the foamed polyurethane 12 impregnated with the abrasive grain liquid,
A uniform cutting will be performed in time.
【００２３】このため、本試料切断装置では、砥粒液が
無駄に消費されることもなく、試料の良好な切断が可能
となっている。また、砥粒液の滴下を行わない構成とな
っているので、砥粒液の飛散による汚染が生ずることも
ない。さらに、試料の前後に設けられた砥粒液含浸発泡
ポリウレタン１２は、切断ミストをトラップする部材と
しても機能することになるため、切断ミストによる汚染
をも防止できることになる。Therefore, in the present sample cutting device, the abrasive grain liquid is not wastefully consumed, and the sample can be cut satisfactorily. Further, since the abrasive grain liquid is not dropped, contamination due to scattering of the abrasive grain liquid does not occur. Further, since the abrasive grain liquid-impregnated polyurethane foam 12 provided before and after the sample also functions as a member for trapping the cutting mist, it is possible to prevent contamination by the cutting mist.
【００２４】本実施形態では、砥粒液を含浸させておく
砥粒液含浸部材として、発泡ポリウレタンを用いたが、
砥粒液を含浸（保持）できるものであれば、どのような
材料からなる砥粒液含浸部材をも使用することができ
る。また、切断を実際に行う部位が、砥粒液含浸部材と
試料とに接するようにできる切断方法であれば、他の切
断方法を採用した切断機、たとえば、バンドソーや多刃
機を用いても、本実施形態による試料切断装置と同様の
効果を有する試料切断装置を得ることができる。In the present embodiment, foamed polyurethane is used as the abrasive liquid impregnating member which is impregnated with the abrasive liquid.
An abrasive-particle-impregnated member made of any material can be used as long as it can impregnate (hold) the abrasive-particle liquid. Further, as long as the actual cutting portion is a cutting method capable of contacting the abrasive grain liquid impregnated member and the sample, a cutting machine adopting another cutting method, for example, a band saw or a multi-blade machine may be used. A sample cutting device having the same effect as the sample cutting device according to the present embodiment can be obtained.
【００２５】＜第２の実施形態＞図２および図３に、本
発明の第２の実施形態による試料切断装置の構成を示
す。第２の実施形態による試料切断装置は、いわゆるマ
ルチワイヤ切断装置であり、図２から明らかなように、
図５に示した従来のマルチワイヤ切断装置の、試料台１
１近傍の構成を変えた装置となっている。<Second Embodiment> FIGS. 2 and 3 show the structure of a sample cutting apparatus according to a second embodiment of the present invention. The sample cutting device according to the second embodiment is a so-called multi-wire cutting device, and as is clear from FIG.
Sample stand 1 of the conventional multi-wire cutting device shown in FIG.
It is a device with the configuration near 1 changed.
【００２６】本試料切断装置では、ローラ３２として、
ワイヤ３１をガイトするための０．８ｍｍピッチのガイ
ト溝が設けられたローラが用いられており、０．１５ｍ
ｍ径のワイヤ３１が、３つのローラ３２の周囲に、各ガ
イド溝に沿って巻回されており、１００箇所の同時切断
が行えるようになっている。In this sample cutting device, as the roller 32,
A roller provided with a guide groove of 0.8 mm pitch for guiding the wire 31 is used, and is 0.15 m.
An m-diameter wire 31 is wound around each of the three rollers 32 along each guide groove so that 100 simultaneous cuttings can be performed.
【００２７】試料ステージは、第１の実施形態と同様に
試料固定台１１と砥粒液含浸発泡ポリウレタン１２と固
定枠１３から構成されており、試料１０は、２つの砥粒
液発泡ポリウレタン１２に挟まれた形で、試料固定台１
１上に設置される。また、砥粒液供給パイプ２３から
は、砥粒液が、試料１０に対して強制滴下されている。As in the first embodiment, the sample stage is composed of a sample fixing base 11, an abrasive liquid-impregnated foamed polyurethane 12 and a fixing frame 13, and the sample 10 has two abrasive liquid foamed polyurethanes 12. Sample holder 1 in the sandwiched form
It is installed on 1. Further, the abrasive grain liquid is forcibly dropped onto the sample 10 from the abrasive grain liquid supply pipe 23.
【００２８】すなわち、第２の実施形態による試料切断
装置では、図３に模式的に示したように、砥粒液含浸発
泡ポリウレタン１２からの砥粒液の供給と、砥粒液供給
パイプ２３からの砥粒液の供給を受けつつ、往復動する
ワイヤ３１によって試料１０の同時切断が行われる。That is, in the sample cutting device according to the second embodiment, as schematically shown in FIG. 3, the abrasive grain liquid is supplied from the abrasive grain solution-impregnated foamed polyurethane 12, and the abrasive grain liquid supply pipe 23 is used. The sample 10 is simultaneously cut by the reciprocating wire 31 while being supplied with the abrasive liquid.
【００２９】この試料切断装置を用いて、Ｌi2Ｂ4Ｏ7の
単結晶ロッドの切断を行ったところ、切り出された各ウ
ェハの厚さは、全て０．６ｍｍとなり、各切断箇所にお
ける切断が均一な状態で行われていることが確認され
た。When a single crystal rod of Li 2 B 4 O 7 was cut using this sample cutting device, the thickness of each cut wafer was 0.6 mm, and the cutting at each cut point was It was confirmed that the operation was performed in a uniform state.
【００３０】本試料切断装置におけるポンプによる砥粒
液の供給は、マルチワイヤでＬi2Ｂ 4Ｏ7の単結晶ロッド
のような試料を切断する場合、切断に必要とされる砥粒
液の絶対量が多く、砥粒液含浸発泡ポリウレタン１２に
含浸させた砥粒液だけでは、切断を完了させることが困
難であったため行ったものである。すなわち、ポンプに
よる砥粒液の供給は、切断箇所に砥粒液を供給している
というよりも、砥粒液含浸発泡ポリウレタン１２に砥粒
液を補充しているといった意味合いが強く、本試料切断
装置内で循環させる砥粒液量は、ポンプだけで砥粒液を
供給する場合よりも、少なくて良い。なお、マルチワイ
ヤ切断を行う場合でも、少量の砥粒液で切断が可能なと
きには、当然、ポンプによる砥粒液の供給を行わずに、
砥粒液含浸発泡ポリウレタン１２だけから砥粒液が供給
されて切断が行われる構成とすることができる。Abrasive grains by pump in this sample cutting device
Liquid is supplied by a multi-wire Li2B FourO7Single crystal rod
Abrasive grains required for cutting when cutting samples such as
Absolute amount of liquid is large and it can be used for foamed polyurethane 12 impregnated with abrasive grain liquid.
It is difficult to complete cutting with only the impregnated abrasive liquid.
It was difficult, so I went there. I.e. to the pump
The abrasive grain liquid is supplied to the cutting location by
Rather, abrasive particles impregnated with foamed polyurethane 12
There is a strong implication that the liquid is being replenished, and this sample cutting
The amount of the abrasive liquid to be circulated in the device can be adjusted only by the pump.
It may be less than when it is supplied. In addition, multi-wai
Even if cutting with a saw, it is possible to cut with a small amount of abrasive liquid.
Of course, without supplying the abrasive liquid by a pump,
Abrasive liquid is supplied only from the polyurethane foam impregnated with abrasive liquid
It can be configured to be cut and cut.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明の試料
切断装置および試料切断方法によれば、砥粒液含浸部材
を交換するだけで、使用する砥粒液が変更できるので、
切断を行う試料に応じて砥粒液を交換する作業が極めて
簡単に行えることになる。また、時間的および場所的に
均一な状態で試料へ砥粒液が供給されるので、試料の切
断が良好に行えることになる。As described above in detail, according to the sample cutting apparatus and the sample cutting method of the present invention, the abrasive liquid to be used can be changed only by replacing the abrasive liquid impregnated member.
The work of exchanging the abrasive grain liquid according to the sample to be cut can be performed extremely easily. Further, since the abrasive grain liquid is supplied to the sample in a uniform state in terms of time and place, the sample can be cut well.
【図１】本発明の第１の実施形態による試料切断装置で
用いた試料ステージの概要を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an outline of a sample stage used in a sample cutting apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２の実施形態による試料切断装置の
概要を示す構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing an outline of a sample cutting device according to a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第２の実施形態による試料切断装置に
おいて、試料が切断される様子を模式的に示した斜視図
である。FIG. 3 is a perspective view schematically showing how a sample is cut in a sample cutting device according to a second embodiment of the present invention.
【図４】従来のワイヤ切断装置の概要を示す構成図であ
る。FIG. 4 is a configuration diagram showing an outline of a conventional wire cutting device.
【図５】従来のマルチワイヤ切断装置の概要を示す構成
図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing an outline of a conventional multi-wire cutting device.
１０ 試料 １１ 試料固定台 １２ 砥粒液含浸発泡ポリウレタン １３ 固定枠 ２０ 砥粒液供給機構 ２１ 砥粒液貯留タンク ２２ 砥粒液撹拌モータ ２３ 砥粒液供給パイプ ２４ 受け皿 ２５ ポンプ ３０ ワイヤ駆動機構 ３１ ワイヤ ３２ ローラ ３３ キャプスタン ３４ ヨーク ３５ ヨーク下降用モータ ３６ ウエイト 10 Specimen 11 Specimen Fixing Stand 12 Abrasive Grain Liquid Impregnated Polyurethane 13 Fixing Frame 20 Abrasive Grain Liquid Supply Mechanism 21 Abrasive Grain Liquid Storage Tank 22 Abrasive Grain Mixing Motor 23 Abrasive Grain Liquid Supply Pipe 24 Receptacle 25 Pump 30 Wire Drive Mechanism 31 Wire 32 roller 33 capstan 34 yoke 35 yoke lowering motor 36 weight
Claims (6)
２個の砥粒液含浸部材と、 これら２個の砥粒液含浸部材と切断すべき試料とを、前
記試料が前記２個の砥粒液含浸部材に挟まれた形態で固
定する試料固定台と、 この試料固定台に固定された前記試料を前記砥粒液含浸
部材とともに切断する切断機とを具備することを特徴と
する試料切断装置。1. An abrasive grain liquid impregnated member which is impregnated with an abrasive grain liquid composed of abrasive grains and a liquid, and these two abrasive grain liquid impregnated members and a sample to be cut, wherein the sample is the A sample fixing base fixed in a form sandwiched between individual abrasive liquid impregnating members, and a cutting machine for cutting the sample fixed on the sample fixing base together with the abrasive liquid impregnating member. Sample cutting device.
であることを特徴とする請求項１記載の試料切断装置。2. The sample cutting device according to claim 1, wherein the abrasive liquid impregnated member is polyurethane foam.
切断するものであることを特徴とする請求項１または請
求項２記載の試料切断装置。3. The sample cutting device according to claim 1, wherein the cutting machine cuts the sample with a wire.
分に切断するものであることを特徴とする請求項１ない
し請求項３のいずれかに記載の試料切断装置。4. The sample cutting device according to claim 1, wherein the cutting machine cuts the sample into a plurality of parts at the same time.
砥粒液を含浸させた砥粒液含浸部材で挟み、その砥粒液
含浸部材とともに切断することを特徴とする試料切断方
法。5. A sample cutting method, which comprises sandwiching a sample to be cut with an abrasive liquid impregnating member impregnated with an abrasive liquid containing abrasive particles and a liquid, and cutting the sample together with the abrasive liquid impregnating member.
であることを特徴とする請求項５記載の試料切断方法。6. The sample cutting method according to claim 5, wherein the abrasive liquid impregnated member is polyurethane foam.
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|---|---|---|---|
| JP25861095A JP3594375B2 (en) | 1995-10-05 | 1995-10-05 | Sample cutting device and sample cutting method |
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| JP25861095A JP3594375B2 (en) | 1995-10-05 | 1995-10-05 | Sample cutting device and sample cutting method |
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| WO2005039824A1 (en) * | 2003-10-27 | 2005-05-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Multi-wire saw |
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1995
- 1995-10-05 JP JP25861095A patent/JP3594375B2/en not_active Expired - Fee Related
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