JPH0982476A - Organic electroluminescent element - Google Patents

Organic electroluminescent element

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JPH0982476A
JPH0982476A JP26099695A JP26099695A JPH0982476A JP H0982476 A JPH0982476 A JP H0982476A JP 26099695 A JP26099695 A JP 26099695A JP 26099695 A JP26099695 A JP 26099695A JP H0982476 A JPH0982476 A JP H0982476A
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JP
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Patent type
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electrode
wiring
organic electroluminescent
formed
electroluminescent device
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Application number
JP26099695A
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Japanese (ja)
Inventor
Norihiko Kaneko
Tomoyuki Shirasaki
Hiroyasu Yamada
裕康 山田
友之 白嵜
紀彦 金子
Original Assignee
Casio Comput Co Ltd
カシオ計算機株式会社
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    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/28Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including components using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part
    • H01L27/32Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including components using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part with components specially adapted for light emission, e.g. flat-panel displays using organic light-emitting diodes [OLED]
    • H01L27/3241Matrix-type displays
    • H01L27/3297Wiring lines, e.g. power supply lines

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL element which does not produce light emission of the shape of wiring. SOLUTION: An anode electrode 12 and an input terminal 12B are simultaneously formed on a transparent base board 11, and on the anode electrode 12 a cathode electrode 14 is formed with an organic light emission layer 13 interposed, and an insulative layer 15 is formed on this cathode electrode 12. A wiring 16 is formed on the insulative layer 15, wherein the wiring 16 and cathode electrode 14 are connected through an opening for connection 15A. Accordingly the wiring 16 does not contact with the organic light emission layer 13, light emission of the shape of the wiring 16 is precluded.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、有機電界発光素子に関し、さらに詳しくは、表示素子、表示用照明などに利用できるEL(エレクトロルミネッセンス)素子に係る。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, according to the display device, EL (electroluminescence) available such as display lighting element.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、この種の有機電界発光素子としては、図9(A)および(B)に示すようなものがある。 Conventionally, the organic electroluminescent device of this kind, there is something like shown in FIG. 9 (A) and (B).
その断面構造は、同図(B)に示すように、ガラス基板1の上に遮光性を有するブラックマスク2がマトリクス状に配置され、ブラックマスク2どうしの間に透明部材3が配置されている。 Its cross-sectional structure, as shown in FIG. (B), the black mask 2 having a light shielding property on a glass substrate 1 are arranged in a matrix, a transparent member 3 is disposed between the and if black mask 2 . そして、ブラックマスク2および透明部材3上の全面に、ITO(Indium Tin Oxide)でなるアノード電極としての透明電極4が形成され、この透明電極4上に発光材料を含む有機発光層5が配置されている。 Then, on the entire surface of the black mask 2 and the transparent member 3, ITO (Indium Tin Oxide) transparent electrode 4 as an anode electrode made of is formed, the organic light-emitting layer 5 containing a light-emitting material is disposed on the transparent electrode 4 ing. さらに、有機発光層5の上に、例えばアルミニウムからなるカソード電極としての背面電極6が各画素に対応してパターニングされている。 Furthermore, on the organic light-emitting layer 5, for example, the back electrode 6 serving as a cathode electrode made of aluminum is patterned to correspond to each pixel. この背面電極6 The back electrode 6
は、上記した透明部材3と対向するように形成されている。 It is formed so as to face the transparent member 3 as described above. また、各背面電極6には、引き回し配線6Aが接続するように、背面電極6と同時にパターニングされている。 In each back electrode 6, as lead wiring 6A are connected, it is patterned at the same time as the back electrode 6. 引き回し配線6Aは、背面電極6の列どうしの間を引き出されるように形成され、これら引き回し配線6A Lead wiring 6A is formed so as to be drawn between the columns to each other of the back electrode 6, these lead wirings 6A
の束は、図9(B)に示すように、ブラックマスク2と対向するように形成されている。 The bundle, as shown in FIG. 9 (B), are formed so as to face the black mask 2. なお、このように引き回し配線6Aの束とブラックマスク2とを対向させる理由は、引き回し配線6Aが有機発光層5に接触しており、透明電極4と背面電極6との間に所定電界が形成されると引き回し配線6A及び、背面電極6と等電位のため、引き回し配線6Aに対応する有機発光層5に不要な発光が生じてしまい、この不要な発光をブラックマスク2で遮光するためである。 The reason why in this manner are opposed to the flux and the black mask 2 lead interconnection 6A is lead wiring 6A is in contact with the organic light-emitting layer 5, a predetermined electric field between the transparent electrode 4 and the back electrode 6 is formed is the the lead wirings 6A and, for equipotential and the back electrode 6, would be unnecessary light emission occurs in the organic light-emitting layer 5 corresponding to the lead wirings 6A, it is for shielding the unwanted light emission by the black mask 2 .

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このような従来の有機電界発光素子においては、各列の背面電極6の数が増加するに従い、引き回し配線6Aの数も増加して、背面電極6の列どうしの間隔が長くなり、その結果、配線面積が増大するという問題がある。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, in the conventional organic light emitting device in accordance with the number of the back electrode 6 of each column is increased, the number of lead wires 6A be increased, the back electrode 6 spacing of columns each other is increased, resulting in a problem that the wiring area is increased. このため、引き回し配線6に対向するブラックマスク2の幅も大きくなり、表示面積全体に対する画素面積(背面電極6の面積)の割合、すなわち開口率が減少するといる問題点があった。 Therefore, the width of the black mask 2 facing the lead-out line 6 is also increased, the proportion of the pixel area to the entire display area (an area of ​​the back electrode 6) i.e. there is a problem am with aperture ratio is reduced. また、特に単純マトリクス型構造では配線間でクロストークが増大し、不点灯領域まで発光してしまうため、発光効率が低くなってしまっていた。 In particular crosstalk is increased between wire in a simple matrix structure, since results in emission to non-lighting region, light emission efficiency has fallen low.

【0004】この発明の目的は、開口率が高く、発光効率が良好な有機電界発光素子を提供することにある。 An object of the present invention has a high aperture ratio, in that the luminous efficiency to provide good organic electroluminescent element.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、 Means for Solving the Problems The invention according to claim 1,
相対向する第1の電極と第2の電極との間に有機発光層が介在された有機電界発光素子において、第2の電極は、その対向外側に当該第2の電極上方に開口された接続用開口部を有する絶縁層の接続用開口部を介して入力端子と接続されることを特徴としている。 In the organic electroluminescent device wherein an organic light-emitting layer is interposed between the first electrode and the second electrode facing each other, the second electrode, which is open to the second electrode upwards to the opposite outer connecting via the connecting opening of the insulating layer having a use opening is characterized by being connected to the input terminal. ここで有機発光層とは、第1の電極及び第2の電極間に形成される所定の電界を受けることにより発光する有機化合物をいう。 Here, the organic light emitting layer refers to an organic compound that emits light by receiving a predetermined electric field formed between the first electrode and the second electrode. この所定の電界は、第1の電極及び第2の電極それぞれに印加される電圧により形成することができる。 The predetermined electric field may be formed by a voltage applied to each of the first electrode and the second electrode. ここで、入力端子は、外部からの印加電圧を入力する端子をいう。 Here, the input terminal refers to a terminal for inputting a voltage applied from the outside.

【0006】請求項2記載の発明は、第2の電極は反射性を有する部材でなり、第1の電極及び入力端子は第2 [0006] According to a second aspect of the invention, the second electrode made of a member having a reflective, the first electrode and the input terminal and the second
の電極より剛性度が高く、光透過性を有する部材でなり、第1の電極及び入力端子は、それぞれ基板上に設けられ、第2の電極は、配線を介して入力端子と接続されることを特徴としている。 Higher stiffness than the electrode, made of a member having optical transparency, the first electrode and the input terminals are provided on the substrate, respectively, the second electrode, it is connected to the input terminal through a wire It is characterized in.

【0007】請求項3記載の発明は、前記第2の電極が複数の画素電極でなり、前記第1の電極がこれら画素電極に対向する一枚の共通電極であることを特徴としている。 [0007] The invention of claim 3, wherein, the second electrode is a plurality of pixel electrodes, and wherein the first electrode is a common electrode of one facing the pixel electrodes.

【0008】請求項4記載の発明は、前記絶縁層が複数の絶縁膜が積層されてなり、それぞれの絶縁膜上に、前記画素電極に接続された配線群が分割されて介在されていることを特徴としている。 [0008] The invention of claim 4, wherein, the insulating layer is a plurality of insulating films are stacked, on each of the insulating film, the wiring connected group to the pixel electrode is interposed divided It is characterized in.

【0009】請求項5記載の発明は、配線が第2の電極と一体的に形成されることを特徴としている。 [0009] The invention of claim 5, wherein, the wiring is characterized in that it is integrally formed with the second electrode.

【0010】請求項6記載の発明は、第2の電極及び配線はMgAgでなり、第1の電極はITOでなることを特徴としている。 [0010] According to a sixth aspect of the invention, the second electrode and the wiring are made in MgAg, the first electrode is characterized by comprising at ITO.

【0011】 [0011]

【発明の実施の形態】以下、この発明に係る有機電界発光素子およびその製造方法の詳細を図面に示す実施例に基づいて説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, will be explained with reference to examples showing the details of the organic electroluminescent device and a manufacturing method thereof according to the invention with reference to the drawings. (実施形態1)図1(A)はこの発明の実施形態1の有機電界発光素子を示す平面図であり、図1(B)は同図(A)のX−X断面図である。 (Embodiment 1) FIG 1 (A) is a plan view showing an organic light emitting element of Embodiment 1 of the present invention, FIG. 1 (B) is a sectional view taken along line X-X in FIG. (A). 図中符号10は有機電界発光素子を示している。 Reference numeral 10 denotes an organic electroluminescent device. この有機電界発光素子10においては、図1(B)に示すように、例えばガラスでなる透明基板11上に、第1の電極としての、ITOでなるアノード電極12Aと入力端子12Bとが形成されている。 In the organic electroluminescent device 10, as shown in FIG. 1 (B), for example, on a transparent substrate 11 made of glass, as the first electrode, the anode electrode 12A made of ITO and an input terminal 12B is formed ing. なお、アノード電極12Aは、表示領域全面にわたって形成される共通電極である。 Incidentally, the anode electrode 12A is a common electrode formed over the entire display region. また、入力端子12B In addition, the input terminal 12B
は、透明基板11の周縁に、後記するカソード電極に対応した数だけ形成されている。 Is the periphery of the transparent substrate 11, are formed by the number corresponding to the cathode electrode to be described later. そして、アノード電極1 The anode electrode 1
2Aの上には、ポリNビニルカルバゾール(PVC On top of 2A, poly N-vinylcarbazole (PVC
z)、8−ヒドロキシキノリンアルミニウム錯体(Al z), 8- hydroxyquinoline aluminum complex (Al
q)、その他色素、電荷輸送材料などを含む任意の膜厚の有機薄膜でなる有機発光層13が形成されている。 q), and other dyes, organic light-emitting layer 13 made of any thickness organic thin, including a charge transporting material is formed. なお、この有機発光層13は、電子被注入層と正孔被注入層等の複数層からなる構成のものでもよい。 Incidentally, the organic light-emitting layer 13 may be of a configuration comprising a plurality of layers such as an electron subjected to implantation layer and the hole to be injection layer.

【0012】有機発光層13の上には、図1(A)に示すように、第2の電極としての、複数のカソード電極1 [0012] On the organic light-emitting layer 13, as shown in FIG. 1 (A), as a second electrode, a plurality of cathode electrodes 1
4が所定の発光領域上に形成されている。 4 is formed in a predetermined light emitting region. このカソード電極14は、例えばマグネシウム銀(MgAg)膜またはMgIn膜が矩形状に形成されたものでなり、表示領域全面にわたって、同図に示すようにマトリクス状に配置されている。 The cathode electrode 14 is made of, for example, in those magnesium silver (MgAg) layer or MgIn film is formed in a rectangular shape, over the entire display area, they are arranged in a matrix as shown in FIG.

【0013】このように表示領域に形成されたアノード電極12A、有機発光層13およびカソード電極14 [0013] The anode electrode 12A formed on such display area, the organic light emitting layer 13 and the cathode electrode 14
は、例えばSiO 2でなる絶縁層15で全面的に覆われている。 It is, for example, entirely covered with an insulating layer 15 made of SiO 2. ただし、絶縁層15は、上記した入力端子12 However, the insulating layer 15 has an input terminal and the 12
Bを覆わないように設定されている。 It is set so as not to cover the B. そして、各カソード電極14上の絶縁層15には、各カソード電極14を露出させる接続用開口部15Aが開設されている。 Then, the insulating layer 15 on the cathode electrodes 14, the connection opening 15A for exposing the respective cathode electrodes 14 are opened. さらに、カソード電極14とこのカソード電極14に対応する入力端子12Bとは、図に示すように、絶縁層15と透明基板11との上に形成した配線16で接続されている。 Further, the input terminal 12B and the corresponding cathode electrode 14 on the cathode electrode 14, as shown in FIG, are connected by a wiring 16 formed on the transparent substrate 11 and the insulating layer 15. なお、この配線16は、マグネシウム銀からなり、 It should be noted that the wiring 16 is made of magnesium silver,
絶縁層15に開設した接続用開口部15Aを介してカソード電極14に接続され、また、入力端子12Bに対しては配線端部が重なり合うことで接続されている。 Is connected to the cathode electrode 14 through the connection opening 15A which is opened in the insulating layer 15, also connected by wire ends overlap each other with respect to an input terminal 12B. カソード電極は絶縁層15に発光領域に合わせた開口部を設けた後、配線16を開口部を埋設することにより、一体的に形成してもよい。 Cathode electrode after an opening matching the light-emitting region in the insulating layer 15, by the wiring 16 to bury the opening portion, may be integrally formed.

【0014】このとき、配線16の部材であるMgAg [0014] MgAg this time, a member of the wiring 16
は電子ポテンシャルが小さいため有機発光層13に効率よく電子を注入することができるが、外部からの信号電圧を入力する入力端子としては柔軟すぎるため、外部端子と熱圧着等により電気的に接続する場合に潰され隣接する端子同士が短絡してしまい、駆動できなくなってしまうという問題が生じるが、透明基板11上にアノード電極12Aと一括してITOからなる入力端子12Bを設けているので、この入力端子12Bと接続するように配線16を堆積させれば、短絡することなく入力端子1 Although it is possible to inject efficiently electrons into the organic luminescent layer 13 for electron potential is small, too soft as an input terminal for inputting a signal voltage from the outside, are electrically connected by the external terminal and the thermocompression bonding or the like will collapsed terminals between adjacent is shorted to case, a problem that can not be driven occurs, since collectively the anode electrode 12A on the transparent substrate 11 is provided with input terminals 12B made of ITO, the if it caused to deposit the wires 16 so as to be connected to the input terminal 12B, the input without short-circuit terminal 1
2Bを外部端子と接続することができる。 2B and can be connected to an external terminal.

【0015】本実施形態では、有機発光層13の第2の電極であるカソード電極14が接合する発光領域以外の領域では絶縁層15で覆われているため、配線16が有機発光層13に接触することがなく、また発光領域の不要な発光が生じるのを防止することができるので、発光効率を良好にすることができ、特に携帯用の有機電界発光素子では表示寿命を長くすることができる。 [0015] In this embodiment, since the area other than the light emitting region to be joined the cathode electrode 14 is a second electrode of the organic light emitting layer 13 is covered with an insulating layer 15, the wiring 16 is brought into contact with the organic light-emitting layer 13 without having to also it is possible to prevent the unwanted light emission of the light emitting region is generated, it is possible to improve the luminous efficiency, it is possible to increase the display life, especially in the organic electroluminescent device of the portable . また、本実施形態のように、複数のカソード電極14がマトリクス状に配置されている場合に、各カソード電極14に接続された配線16をカソード電極14の上方に形成することができるため、従来の構造に比較して配線16どうしの間隔を長く設定することが可能となり、配線16どうしのクロストークを防止することができ、また、カソード電極14どうしを近接させて配置することができ、 Also, as in the present embodiment, it is possible plurality of cathode electrodes 14 when arranged in a matrix to form a wiring 16 connected to the cathode electrodes 14 above the cathode electrodes 14, conventional interval compared to copper wiring 16 becomes possible to set longer the structure, it is possible to prevent crosstalk and the copper wiring 16, also can be disposed close to and if the cathode electrode 14,
画素の開口率を大きくすることが可能となる。 It is possible to increase the aperture ratio of the pixel. また、例えばカソード電極14をキャラクタ表示に用いる構成とした場合、キャラクタ形状に配線16の形状が付加して表示されることが防止できる。 Also, for example, the case of the configuration using the cathode electrode 14 to the character display, it is possible to prevent display by adding the shape of the wiring 16 to the character shape. このため、ブラックマスクを形成する必要がなくなり、ブラックマスクの位置合わせズレによる開口率の低下を防止できる。 This eliminates the need to form a black mask, can prevent a decrease in aperture ratio due to misalignment of the black mask. また、本実施形態においては、キャラクタ形状の自由度を大きくする利点がある。 In the present embodiment, it has the advantage of increasing the flexibility of the character shape.

【0016】次に、本実施形態の有機電界発光素子の製造方法を、図2および図3に示す工程断面図を用いて説明する。 Next, a method of manufacturing an organic electroluminescent device of the present embodiment will be described with reference to sectional views shown in FIGS. まず、図2(A)に示すように、ガラスでなる透明基板11の表面にITO膜12を所定の膜厚に堆積させる。 First, as shown in FIG. 2 (A), it is deposited an ITO film 12 to a predetermined thickness on the surface of the transparent substrate 11 made of glass. 次に、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いてITO膜12を加工して、アノード電極12Aと入力端子12Bとを一括して形成する。 Next, by processing the ITO film 12 using photolithography and etching to form collectively an anode electrode 12A and an input terminal 12B. なお、アノード電極12Aは、上記したように表示領域全面にわたって形成し、入力端子12Bは透明基板11の周縁部に形成する。 Incidentally, the anode electrode 12A is formed over the entire display area as described above, the input terminal 12B is formed on the peripheral portion of the transparent substrate 11. その後、図2(B)に示すように、 Thereafter, as shown in FIG. 2 (B),
有機発光層13をアノード電極12A上に形成する。 Forming an organic light-emitting layer 13 on the anode electrode 12A. なお、有機発光層13の形成方法は、周知のパターニング方法などを用いて行う。 In addition, the method of forming the organic light-emitting layer 13 is performed by using a known patterning method.

【0017】続いて、図2(C)に示すように、MgA [0017] Subsequently, as shown in FIG. 2 (C), MgA
g膜14を基板全面に蒸着させる。 The g film 14 is deposited on the entire surface of the substrate. その後、図2(D) Then, FIG. 2 (D)
に示すように、MgAg膜をフォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて島状のカソード電極14 As shown in the island-shaped cathode electrode 14 using photolithography and etching the MgAg film
に加工する。 Processed into.

【0018】その後、図3(A)に示すように、基板全面に、CVD法によりSiO 2を堆積させて絶縁層15 [0018] Thereafter, as shown in FIG. 3 (A), the entire surface of the substrate, insulating by depositing SiO 2 by CVD layer 15
を形成する。 To form. 次に、図3(B)に示すように絶縁層15 Next, the insulating layer 15 as shown in FIG. 3 (B)
上にレジストパターン17を形成し、このレジストパターン17をマスクとして下地の絶縁層15を異方性エッチングする。 The resist pattern 17 is formed on the above anisotropic etching of the underlying insulating layer 15 using the resist pattern 17 as a mask. この異方性エッチングとしては、例えば反応性イオンエッチング(RIE)を行い、カソード電極14が露出するまでエッチングする。 As the anisotropic etching, for example, performs a reactive ion etching (RIE), a cathode electrode 14 is etched to expose. なお、このエッチングは、ITOやガラスに対して選択比の大きい条件で行う。 Note that this etching is performed in a large condition selectivity to ITO and glass. このようにして、アノード電極12A、有機発光層13およびカソード電極14を覆う絶縁層15が形成され、各カソード電極14上の絶縁層15には接続用開口部15Aが形成される。 In this way, the anode electrodes 12A, the organic light emitting layer 13 and the cathode electrode 14 insulating layer 15 covering the is formed, the insulating layer 15 on the cathode electrodes 14 connecting opening 15A is formed. 次に、図3(C)に示すように、全面に例えばアルミニウム(Al)膜(16)を堆積させ、続いて図3(D)に示すようにパターニングを行うことにより、カソード電極14と入力端子12Bとを接続する配線16をパターン形成することができる。 Next, as shown in FIG. 3 (C), the entire surface, for example, by depositing aluminum (Al) film (16), followed by patterning, as shown in FIG. 3 (D), the cathode electrode 14 Input the wiring 16 which connects the terminal 12B can be patterned.
本実施形態の製造方法によれば、アノード電極12Aと入力端子12Bとを、一括してパターン形成できるため、工程数を削減することが可能となる。 According to the manufacturing method of this embodiment, the input terminal 12B and the anode electrode 12A, since it patterning collectively, it is possible to reduce the number of steps.

【0019】(実施形態2)図4は、本発明の有機電界発光素子の実施形態2を示す要部断面図である。 [0019] (Embodiment 2) FIG. 4 is a fragmentary cross-sectional view showing a second embodiment of the organic electroluminescent device of the present invention. 本実施形態を説明するにあたり、上記実施形態1と同一部材には同一の符号を付してその説明を省略する。 In describing the present embodiment, the same members as the first embodiment and their description is omitted with the same reference numerals. 本実施形態の有機電界発光素子は、透明基板11の周縁部表面にアノード電極12Aと同一材料でなる入力端子を有しない構造である。 The organic electroluminescent device of the present embodiment is a structure that has no input terminal made of the same material as the anode electrode 12A to the peripheral edge surface of the transparent substrate 11. この入力端子の代わりに配線の端部が透明基板11の周縁部に露出する構成とした。 End portion of the wiring in place of the input terminal is configured to be exposed on the periphery of the transparent substrate 11. なお、カソード電極14に接続される配線には、図に示すように、絶縁膜15Aに形成した接続用開口部を介して形成された1層目の配線16Aと、絶縁膜15Aと絶縁膜15Bとの接続用開口部を介して形成された2層目の配線16B Incidentally, the wiring connected to the cathode electrode 14, as shown in FIG, and a first wiring layer 16A which is formed through a connecting opening formed in the insulating film 15A, and the insulating film 15A insulating film 15B second wiring layer 16B which is formed through the connection opening between the
と、の2種類がある。 If, there are two types of. なお、配線16Bは、配線16A It should be noted that the wiring 16B, the wiring 16A
のパターン形成の際に同時に形成されたコンタクト部1 Contact portion 1 which is formed at the same time of pattern formation
6aを介在させることにより、カソード電極に14に接続されている。 By interposing 6a, and is connected to the 14 to the cathode electrode. 1層目の配線16Aは、図4に示すように、透明基板11の周縁部にまで延在されている。 First wiring layer 16A, as shown in FIG. 4, which extends to the periphery of the transparent substrate 11. また、2層目の配線16Bは、透明基板11の周縁部より少し内側の位置まで延在され、1層目の配線16Aと別々に、例えばTAB実装し得るようになっている。 Moreover, second-layer wiring 16B is extended to a position slightly inward from the periphery of the transparent substrate 11, separately from the first wiring 16A, for example, as may be TAB mounting. 本実施形態によれば、多数のカソード電極14が配置されている場合に、絶縁膜15A上に形成する配線16Aの群と、絶縁膜15B上に形成する配線16Bの群とに分割することができるため、配線密度を小さくすることができ、クロストークの発生を防止することができる。 According to this embodiment, it is divided when many cathode electrode 14 is disposed, and a group of wirings 16A formed on the insulating film 15A, on the group of wiring 16B formed on the insulating film 15B since it can reduce the wiring density, it is possible to prevent the occurrence of crosstalk. なお、本実施形態では、配線を2層構造としたが、それ以上の多層配線構造としてもよい。 In the present embodiment, although the wire has a two-layer structure or a more multi-layer wiring structure.

【0020】(実施形態3)図5は、本発明の実施形態3を示す要部断面図である。 [0020] (Embodiment 3) FIG. 5 is a fragmentary cross-sectional view showing a third embodiment of the present invention. 本実施形態は、同図に示すように、絶縁層15に形成した接続用開口部15A内に例えば導電性ペースト16Cを充填し、この導電性ペースト16Cにより配線16Dを接続した構成である。 This embodiment, as shown in the figure, the connection opening 15A in the example, a conductive paste 16C which is formed on the insulating layer 15 filling a configuration of connecting the wiring 16D by conductive paste 16C. 本実施形態によれば、有機電界発光素子側に配線をパターン形成する必要がないため、クロストークを低減でき、 According to this embodiment, since it is not necessary to pattern the wirings in the organic light emitting element side, it is possible to reduce the crosstalk,
しかも製造工程を大幅に削減することができる。 Moreover it is possible to greatly reduce the manufacturing steps.

【0021】(実施形態4)図6(A)および(B)は本発明の実施形態4を示す工程断面図である。 [0021] (Embodiment 4) FIG. 6 (A) and (B) are sectional views showing a fourth embodiment of the present invention. 本実施形態は、絶縁層15の膜厚を厚くして、絶縁層15上に形成する配線とアノード電極との間に生じる容量の低減を図っている。 This embodiment, by increasing the thickness of the insulating layer 15, thereby reducing the capacitance generated between the wiring and the anode electrode is formed on the insulating layer 15. なお、本実施形態では、絶縁層15の膜厚が厚いため、図6(A)に示すように、カソード電極1 In the present embodiment, since a thick film thickness of the insulating layer 15, as shown in FIG. 6 (A), a cathode electrode 1
4上に形成する接続用開口部15Aのアスペクト比が高くなるため、例えば選択タングステン−CVD法にて接続用開口部15Aの埋め込みを行う。 Since the aspect ratio of the connection opening 15A which is formed on the 4 becomes high, to embed the connection opening 15A, for example, by selective tungsten -CVD method. 図6(B)における符号18は接続用開口部15A内に選択的に埋め込まれたタングステンプラグを示している。 FIG 6 (B) reference numeral 18 in denotes a tungsten plug buried selectively in the connection opening 15A. 本実施形態においては、選択タングステン−CVD法を用いることにより、開口径寸法が小さく、しかもアスペクト比の高い接続用開口部15Aの埋め込みが可能となる。 In the present embodiment, by using a selective tungsten -CVD method, the opening diameter size is small, yet it is possible to embedding of high connection opening 15A aspect ratio. このため、 For this reason,
本実施形態は、画素電極としてのカソード電極14が微細で画素密度の高い有機電界発光素子の製造に適したものといえる。 This embodiment, it can be said that the cathode electrode 14 as a pixel electrode is suitable for the manufacture of high organic electroluminescence device having fine and pixel density.

【0022】(実施形態5)図7は、本発明の有機電界発光素子の実施形態5を示す要部断面図である。 [0022] (Embodiment 5) FIG. 7 is a fragmentary cross-sectional view showing a fifth embodiment of the organic electroluminescent device of the present invention. 本実施形態においては、同図に示すように、カソード電極14 In the present embodiment, as shown in the figure, the cathode electrode 14
の数に応じた数の配線を、別途、例えばガラスエポキシ、ポリイミド、その他のプラスチック材料、またはセラミックス材料などでなる、絶縁基板19側に備えた構成となっている。 The number of lines corresponding to the number of, and is separately, for example, glass epoxy, polyimide, other plastic materials or made of such a ceramic material, a structure which includes the insulating substrate 19 side. また、配線は、カソード電極14に当接するための突起状の端部21を有している。 The wiring has a projecting end portion 21 for abutting the cathode electrode 14. 図7は、 Figure 7,
配線20A、20Bが設けられた部分を示している。 Wires 20A, 20B indicates the portion that is provided. 配線は、例えば、絶縁基板19に対して印刷、接着、蒸着などの方法を用いて設けられている。 Wiring, for example, printing on an insulating substrate 19, the adhesive, is provided using a method such as vapor deposition. また、配線は、絶縁基板19の上表面および下表面に形成され、相隣接するカソード電極14に接続される配線どうしは、例えば配線20Aが上表面、配線20Bが下表面というように表裏面に分割されて形成されている。 The wiring is formed on the surface and the bottom surface of the insulating substrate 19, the phase adjacent wirings each other to be connected to the cathode electrode 14, for example, the wiring 20A is the top surface, the front and back surfaces and so the wiring 20B is a lower surface It is formed to be divided. このため、絶縁基板19の一方の表面に形成される配線の密度は低くなり、クロストークを防止することが可能となる。 Therefore, the density of the wiring formed on one surface of the insulating substrate 19 is low, it is possible to prevent crosstalk. また、 Also,
本実施形態によれば、絶縁基板19側に対して有機電界発光素子10を容易に交換することが可能となる。 According to this embodiment, it is possible to easily replace the organic electroluminescent device 10 with respect to the insulating substrate 19 side. なお、配線20Aの端部は、絶縁基板19に形成されたスルーホールを介して絶縁基板19の下表面側に突出するようになっている。 The end portion of the wiring 20A is adapted to protrude beneath the surface side of the insulating substrate 19 via a through hole formed in the insulating substrate 19.

【0023】(実施形態6)図8(A)は本発明の実施形態6の有機電界発光素子を示す平面図であり、図8 [0023] (Embodiment 6) FIG. 8 (A) is a plan view showing an organic light emitting element of Embodiment 6 of the present invention, FIG. 8
(B)は同図(A)のY−Y線に沿った断面図である。 (B) is a sectional view taken along line Y-Y in FIG. (A).
この有機電界発光素子では、ガラス等からなる透明基板31上の一端部から列方向(図面左右方向)に延びて複数配列されたITOからなるアノード電極32Aと、透明基板31上の他端部から行方向(図面上下方向)に延び、先端部がアノード電極32Aに達しないように配列された複数の入力端子32Bとが同一部材により一括してパターン形成されている。 In the organic electroluminescent device, an anode electrode 32A made of a plurality ordered ITO from one end of the transparent substrate 31 made of glass or the like extending in the column direction (horizontal direction in the drawing), the other end portion on the transparent substrate 31 extending in the row direction (vertical direction), it is collectively patterned by a plurality of input terminals 32B and the same member of the tip portion is arranged so as not to reach the anode electrode 32A. 透明基板31上の一端部近傍のアノード電極32A及び入力端子32Bを除いた透明基板31上には電界に応じて発光を生じる有機発光層33が形成され、アノード電極32Aと、入力端子32 Transparent on the transparent substrate 31, except for the one end portion anode electrode 32A and an input terminal 32B of the vicinity of the substrate 31 is formed an organic light-emitting layer 33 which emits light in response to an electric field is, the anode electrode 32A, an input terminal 32
Bの行方向延長上との重なる有機発光層33上にMgA MgA on the organic light-emitting layer 33 overlaps the row direction on an extension of the B
g等の反射性導電体からなるカソード電極34がマトリクス状に形成されている。 A cathode electrode 34 made of a reflective conductor g or the like is formed in a matrix. 有機発光層33上には絶縁膜35が形成され、絶縁膜35はカソード電極34上に接続用開口部35Aを設けている。 On the organic light-emitting layer 33 is an insulating film 35 is formed, the insulating film 35 is provided with a connection opening 35A on the cathode electrode 34. 複数の配線36は行方向に延びており、一端が入力端子32Bの先端上に接続され、行方向の接続用開口部35Aを埋設し複数のカソード電極34と接続されている。 Extend a plurality of wiring 36 in the row direction, one end connected to the distal end of the input terminal 32B, embedded in the row direction of the connection opening 35A is connected to a plurality of cathode electrodes 34. 本実施形態によれば、 According to this embodiment,
単純マトリクス型の有機電界発光素子において絶縁膜3 Insulating film 3 in a simple matrix type organic electroluminescent device
5を設けたことによりクロストロークを抑制するので、 Since suppress black stroke by 5 and the provided,
遮光膜がなくても良好な表示を実現できる。 Even without the light shielding film can achieve a good display.

【0024】以上、実施形態1〜6について説明したが、この発明はこれらに限定されるものではなく構成の要旨に付随する各種の設計変更が可能である。 [0024] Having described embodiments 1-6, the present invention is capable of various design changes associated with the gist of the structure without being limited thereto. 例えば、 For example,
上記各実施形態においては、透明基板上にアノード電極を形成し、有機発光層を介してカソード電極を形成する構成としたが、カソード電極を透明基板のすぐ上に形成してもよい。 In the above respective embodiments, the anode electrode is formed on a transparent substrate, a configuration for forming the cathode electrode through the organic light emitting layer, the cathode electrode may be formed immediately above the transparent substrate.

【0025】また、上記各実施形態では、カソード電極14は、MgAgであったがMgInでもよくまた、光反射性をもつ材料で構成したが、カソード電極14が透明性をもち、アノード電極12Aが光反射性をもつ構成としても勿論よい。 [0025] In the above embodiments, the cathode electrode 14, was the MgAg also may even MgIn, was composed of a material having light reflectivity, the cathode electrode 14 has a transparency, an anode electrode 12A of course it may be configured with light reflectivity. また、上記した有機発光層13の構成は、アノード電極12Aやカソード電極14などの材質に応じて適宜変更が可能である。 The configuration of the organic light emitting layer 13 described above may be appropriately changed according to the material, such as the anode electrode 12A and cathode electrode 14. さらに、上記各実施形態では、透明基板11がガラスでなる構成としたが、 Furthermore, the above-described embodiments, the transparent substrate 11 has a structure made of glass,
樹脂材料や、可撓性を有するフィルム材を用いても勿論よい。 Or a resin material, flexibility may of course be a film material having a. また、上記実施形態では、カソード電極と配線とを別々に設けたが、絶縁膜に適宜開口部を形成してMg In the above embodiment, it is provided with the cathode electrode wiring and separately to form the appropriate opening in the insulating film Mg
Agを堆積し、一括して形成してもよい。 Deposited Ag, it may be formed at once.

【0026】さらに、上記した絶縁層15は、無機系材料の他に有機系材料を用いてもよく、有機系材料に部分的に着色を施してブラックマスクと同様の着色パターンを形成してもよい。 Furthermore, the insulating layer 15 described above may be used in addition to organic materials inorganic material, it is formed similar color pattern and the black mask is subjected to partial colored organic material good. また、画素に対応する位置にカラーフィルタを備える構成としても勿論よい。 Also, of course it may be configured to include a color filter at a position corresponding to the pixel. また、カソード電極14に薄膜トランジスタ等のスイッチング素子を接続しアクティブマトリクス型の表示素子としてもよい。 Also, connect the switching elements such as thin film transistors in the cathode electrode 14 may be a display device of active matrix type.

【0027】 [0027]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発明によれば、発光表示に際して不要な発光を防止できるという効果がある。 As is apparent from the foregoing description, according to the present invention, there is an effect that it prevents unwanted light emission time of the light emitting display. また、各配線間の間隔を確保することが可能となるため、クロストークを防止するという効果を奏する。 Moreover, since it is possible to secure a distance between the wires, the effect of preventing crosstalk. さらに、この発明によれば、配線の引き回し領域を省略できるため、画素の開口率を大きくできるという効果がある。 Further, according to the present invention, it is possible to omit the leading region of the wiring, there is an effect that can increase the aperture ratio of the pixel. またさらに、この発明によれば、例えば動画表示において変更のあったドットのみの表示状態を変えるなどの駆動も可能になるという効果がある。 Furthermore, according to the present invention, for example, there is an effect that the driving also allows such changes the display state of only the dot that changed in moving image display.
また、本発明によれば、駆動回路部を別の基板に形成することもできるため、透明基板上の構造を簡略化できるという効果がある。 Further, according to the present invention, since it is also possible to form the driving circuit unit to another substrate, there is an effect that can be simplified structure on the transparent substrate.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】(A)はこの発明の有機電界発光素子の実施形態1の平面図、(B)は(A)のX−X断面図。 1 (A) is a plan view of a first embodiment of the organic electroluminescent device of the present invention, (B) is sectional view taken along line X-X of (A).

【図2】(A)〜(D)は実施形態1の製造方法を示す工程断面図。 [2] (A) ~ (D) are sectional views showing a manufacturing method of Embodiment 1.

【図3】(A)〜(D)は実施形態1の製造方法を示す工程断面図。 [3] (A) ~ (D) are sectional views showing a manufacturing method of Embodiment 1.

【図4】この発明の有機電界発光素子の実施形態2を示す要部断面図。 [4] cross sectional view showing a second embodiment of the organic electroluminescent device of the present invention.

【図5】この発明の有機電界発光素子の実施形態3を示す要部断面図。 [5] cross sectional view showing a third embodiment of the organic electroluminescent device of the present invention.

【図6】(A)および(B)はこの発明の有機電界発光素子の実施形態4を示す工程断面図。 6 (A) and (B) cross-sectional views illustrating a fourth embodiment of the organic electroluminescent device of the present invention.

【図7】この発明の有機電界発光素子の実施形態5を示す要部断面図。 7 cross sectional view showing a fifth embodiment of the organic electroluminescent device of the present invention.

【図8】(A)はこの発明の有機電界発光素子の実施形態6の平面図、(B)は(A)のY−Y断面図。 8 (A) is a plan view of a sixth embodiment of the organic electroluminescent device of the invention, Y-Y cross-sectional view of (B) is (A).

【図9】(A)は従来の有機電界発光素子の平面図、 9 (A) is a plan view of a conventional organic electroluminescent device,
(B)は(A)のA−A断面図。 (B) is A-A sectional view of (A).

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10 有機電界発光素子 11 透明基板 12A アノード電極 13 有機発光層 14 カソード電極 15 絶縁層 15A 接続用開口部 16 配線 10 The organic electroluminescent element 11 transparent substrate 12A anode 13 organic light-emitting layer 14 cathode electrode 15 insulating layer 15A connecting opening 16 wire

Claims (6)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 相対向する第1の電極と第2の電極との間に有機発光層が介在された有機電界発光素子において、 前記第2の電極は、その対向外側に当該第2の電極上方に開口された接続用開口部を有する絶縁層の当該接続用開口部を介して入力端子と接続されることを特徴とする有機電界発光素子。 In the organic electroluminescent device wherein an organic light-emitting layer is interposed between the first electrode and the second electrode of claim 1] opposed, and the second electrode, the second electrode on its opposite outer side the organic electroluminescent device, characterized in that it is connected to the input terminal through the connection opening of the insulating layer having a connection opening that is opened upward.
  2. 【請求項2】 前記第2の電極は反射性を有する部材でなり、前記第1の電極及び入力端子は前記第2の電極より剛性度が高く、光透過性を有する部材でなり、前記第1の電極及び入力端子は、それぞれ基板上に設けられ、 Wherein said second electrode comprises a member having a reflective, the first electrode and the input terminal is higher stiffness than the second electrode, made of a member having optical transparency, the first 1 of the electrode and the input terminals are respectively provided on the substrate,
    前記第2の電極は、配線を介して前記入力端子と接続されることを特徴とする請求項1記載の有機電界発光素子。 The second electrode, the organic electroluminescent device according to claim 1, characterized in that it is connected to the input terminal through the wiring.
  3. 【請求項3】 前記第2の電極は複数の画素電極でなり、前記第1の電極はこれら画素電極に対向する一枚の共通電極であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の有機電界発光素子。 Wherein the second electrode comprises a plurality of pixel electrodes, according to claim 1 or claim 2, wherein said first electrode is a common electrode of one facing the pixel electrodes the organic electroluminescent device.
  4. 【請求項4】 前記絶縁層は複数の絶縁膜が積層されてなり、それぞれの絶縁膜上に、前記画素電極に接続された配線群が分割されて介在されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の有機電界発光素子。 Wherein said insulating layer comprises a plurality of insulating films are stacked, the claims on each of the insulating films, wiring connected group to the pixel electrode is characterized by being interposed divided the organic electroluminescence device according to any one of 1 to claim 3.
  5. 【請求項5】 前記配線は、前記第2の電極と一体的に形成されることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の有機電界発光素子。 Wherein said wiring organic electroluminescent device according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it is formed the integral and the second electrode.
  6. 【請求項6】 前記第2の電極及び配線はMgAgでなり、前記第1の電極はITOでなることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の有機電界発光素子。 Wherein said second electrode and the wiring are made in MgAg, organic electroluminescent element according to any one of claims 1 to 5 wherein the first electrode is characterized by comprising at ITO.
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