JPH09505410A

JPH09505410A - Magnetic sensor with improved calibration function

Info

Publication number: JPH09505410A
Application number: JP8522424A
Authority: JP
Inventors: サムキャド，グスタヴォ・エル
Original assignee: ハネウエル・インコーポレーテッド
Priority date: 1995-01-18
Filing date: 1996-01-18
Publication date: 1997-05-27
Anticipated expiration: 2016-01-18
Also published as: JP2929238B2; WO1996022543A1; DE19680088B4; DE19680088T1; US5500589A

Abstract

(57)【要約】磁気センサに、その中に滑り込む関係にある磁石を受けるように形作られたくぼみを有する担体を提供する。くぼみ内への磁石の移動を案内するためにリブを設け、能動較正工程によって決定された精密な位置に磁石を保持するのに変形可能リブを使用する。磁気感応構成要素に基板を堅固に取り付け、その中にくぼみが形成された担体に基板を堅固に取り付ける。担体内に導電性リードを成形し、基板上に広がる回路に電気的に接続できる位置まで担体を貫通して延ばす。くぼみへの磁石の挿入に応答してバイアスするように、可とう性壁を担体内に形成することもできる。これによって、外力を除去したときに磁石を所定の位置に保持する追加の保持機能が提供される。 (57) Abstract: A magnetic sensor is provided with a carrier having an indentation shaped to receive a magnet having a sliding relationship therein. Ribs are provided to guide the movement of the magnet into the recess and the deformable rib is used to hold the magnet in the precise position determined by the active calibration process. The substrate is rigidly attached to the magnetically sensitive component, and the substrate is rigidly attached to a carrier having an indentation formed therein. Conductive leads are molded in the carrier and extend through the carrier to a location where they can be electrically connected to a circuit extending over the substrate. Flexible walls may also be formed in the carrier to bias in response to insertion of the magnet into the recess. This provides an additional holding feature that holds the magnet in place when the external force is removed.

Description

【発明の詳細な説明】較正機能を改善した磁気センサ発明の背景発明の分野本発明は、一般に磁気センサに関し、より詳細には、磁気感応構成要素に対して磁石を移動させ、磁石と磁気感応構成要素との間に所期の関係が達成されたときに、その位置に堅固に取り付けることによって正確に較正することができる磁気センサに関する。従来技術の説明磁気センサには多くの異なるタイプがあることは、当業者にとって周知である。ある特定のタイプのセンサには、磁気抵抗素子やホール効果素子など、磁気感応構成要素と連動するバイアス磁石が組み込まれる。バイアス磁石を使用したセンサは、強磁性体が検出域に入ったときに永久磁石によって形成される磁界内の変化に応答する。このタイプのセンサを大量生産することを意図するときは、使用する特定のセンサの如何にかかわらず同じ方式で強磁性体を検出できるように、磁石と磁気感応構成要素と間の相対位置を正確に制御する必要がある。このタイプのセンサには、磁気抵抗素子またはホール効果素子を使用することができる。磁気抵抗センサについては、ＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＨｏｎｅｙｗｅｌｌｅｒ誌１９８７年秋季号に所載のＢ．Ｐａｎｔの論文「ＭａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅＳｅｎｓｏｒｓ」に記載されている。この論文では、様々なセンサ用途における磁気抵抗性材料の使用について記述されている。その中では、センサの抵抗性ならびに外部の磁界に応答した抵抗性の変化についても論じられている。様々な設計上のトレードオフが、対抗して磁気抵抗性薄膜中の磁化の方向性を決定する力によって規定されるが、このようなトレードオフについても論じられている。１９９１年８月２０日にＧｒｉｅｂｅｌｅｒに対して発行された米国特許第５０４１７８４号では、矩形領域を歪曲させた磁束棒を伴う磁気センサが開示されている。このセンサは、運動物体に面する極面を有し、物体の運動の方向に対して直交している軸を有する永久磁石部材を備えた交互の磁気伝導域を有する物体の運動の位置、速度または方向を測定するのに使用される。磁石と同軸であり、物体の運動方向に、運動方向に対して横になっている幅寸法より大きい長さ寸法を有する磁石の面に、透磁性の高い強磁性ストリップが取り付けられる。１９８８年２月１６日にＯｎｏｄｅｒａ他に対して発行された米国特許第４７２５７７６号には、運動物体に対して傾斜した薄膜の磁気抵抗素子を使用した磁気的位置検出器が記述されている。この検出器には磁気抵抗素子が採用されており、検出すべき物体の磁気歯を検出する。より具体的には、直流磁界の非線形領域を避けるような方法で磁気抵抗素子に定直流磁界を供給し、良好な線形性を示す領域でこのような素子を使用できるようにする。この発明では、その中で磁気抵抗素子が永久磁石と磁気歯の間に形成された磁界に対して傾斜して配列されている単純構造を採用することによって、磁気抵抗素子に直流磁界が提供される。１９９４年２月２２日にＳｈｉｇｅｎｏに対して発行された米国特許第５２８９１２２号では、進路と細密な磁気パターンを検出するための磁気センサが開示されている。複数の検出部が、膜状の素子基板上に付着され形成される。２つの検出部の内側は、直列に接続されて狭いピッチの磁気パターンを読み取るのに使用され、２つの検出部の外側もまた直列に接続され、広いピッチの磁気パターンを読み取るのに使用される。検出部の接続は、端子と電線を使用して実施される。端子は、検出部の端部を短絡するために設けられる。ＴｈｅＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＰｈｙｓｉｃｓ１９８６年号に所載のＷ．ＫｗｉａｔｋｏｗｓｋｉとＳ．Ｔｕｍａｎｓｋｉの論文「ＴｈｅＰｅｒｍａｌｌｏｙＭａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅＳｅｎｓｏｒｓ−ＰｒｏｐｅｒｔｉｅｓａｎｄＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ」では、磁界のパーマロイ磁気抵抗センサの特性と応用例の概説が提示されている。この中では、センサに関連して使用される製造およびバイアス方法に関する情報が提供されている。感度や寸法、線形性、分解能、変換器エラー差などの基本パラメータが解析され、これらのパラメータを改善する様々な方法が論じられている。この論文では、パーマロイのマイクロセンサ、小型センサおよび広域センサの実施形態も提示されている。パーマロイ磁気抵抗体の、磁界測定ならびに電気的および非電気的変換器への応用が記述されている。１９９２年７月７日にＴａｋａｈａｓｈｉに対して発行された米国特許第５１２８６１３号には、非透磁性材料中の磁気炭化（magnetic carbonization）の検査方法が記述されている。磁石と非透磁性である場合に提供されるホール素子とを備えるプローブが記述されている。ホール素子は、磁石の２極間の中間部に磁束線と平行に付着される。検査すべき部材中の炭化部(carbonized portion)の存在とその炭化の深さは、ホール素子間に直流電流を流し、電流の流れに対する垂直方向で対向している素子の２つの端部の間に生成されるホール素子の電磁力を検出することによって検出される。１９８９年８月１日にＮａｇａｎｏ他に対して発行された米国特許第４８５３６３２号には、可動磁性体の位置を磁気的に検出する装置が記述されている。この装置は、１対の磁気抵抗体によって形成される３端子磁界強度検出構造を含んでいる。磁界強度検出構造は、磁界内にそれに対する運動に対して配列された磁性体に対向して配置され、磁性体の相対運動による磁界強度の変化に応答して正弦波形の第１電気信号を生成する。この第１電気信号は、矩形波形または正弦波形の第２電気信号の振幅が増幅されるとき装置から発生する。第１電気信号の波形を成形するあるいはその振幅を増幅する回路の構成要素は、基板上の磁気抵抗体と共に一体として取り付けられる。成形回路または増幅回路は、基板上に形成された混成集積回路の形とすることが好ましい。１９８５年８月１３日にＡｂｅ他に対して発行された米国特許第４５３５２８９号では、運動物体の位置を測定する装置が開示されている。運動物体には、磁性材料製の検出される部材が固定され、運動方向に対して横にされた測定される部材に隣接してＥ形状の磁石が配置される。磁石の中央の脚部分の端部には、磁石の磁束密度の変化を電圧の変化に変換するためのホールＩＣが固定される。測定される部材は細長い棒であり、両側の細長い棒への一連の突出部を備える。両側の突出部は、ねじれた関係に配置される。ホールＩＣは、運動物体が細長い方向に移動するときに一方の突出部の内側部分に隣接する。ホールＩＣは、反転波間のゼロ・レベル間隔の波形を有する出力を生成する。１９９４年４月１９日にＷｕに対して発行された米国特許第５３０４９２６号には、２つのホール効果素子を伴う歯車位置センサが記述されている。この位置センサは、磁石と連動する２つの磁気感応装置を有する。このセンサは、その表面に少なくとも１つの不連続性を有する回転自在の部材に近接して配置可能である。ホール効果変換器など２つの磁気感応装置がそれぞれ、そのそれぞれの変換器が配置された磁界の方向と強度を表す出力信号を供給する。磁気感応装置からの第１出力信号と第２出力信号の代数的和が、センサに近接して配置された回転自在の部材の位置の表示として生成される。高分解能の磁気歯車センサでは一般に、特定の用途のための較正が必要とされる。こうしたタイプの用途の１つには、１９９３年３月１８日にＷｕによって出願され本発明の出願人に譲渡された、米国特許出願第０８／０３２８８３号で開示されているような相補的目標方式がある。このタイプの歯車センサには、システムの適切な動作のための磁気的空白(mag netic null)を達成するために磁石の調整を必要とする磁気システムを使用することができる。なしうる最高の精度を達成するために、回路の調整にはゼロ交差検出が使用される。従来、このタイプの試作装置は単に、バイアスを導入する前にブリッジ出力がその基点であるブリッジのゼロ値に等しくなるまで、磁気抵抗センサの後ろにあるバイアス磁石を調整することによって、ゼロ交差付近に較正されていた。較正手順の最初の部分の間、常にこのブリッジのアナログ出力を監視するが、基点であるゼロ電圧に達すると完了する。調整は、磁気センサの検出域内に相補的目標を存在させずに行われる。較正手順の最後の部分は、最初に測定されたブリッジのゼロ値と一致させるように回路のゼロ値を調整することによって達成される。このタイプの較正方式は全体として、センサが別々のブリッジと回路を有していたときの試作センサには問題がなかったが、これはまた、柔軟性、製造容易性および生産性を考慮したときに重大に不利な制限をもたらす。たとえば、２段階の較正手順が必要であったが、これは費用効果が高くない。このタイプの方式では、較正サイクル時間が長くなるばかりか、２重の調整に対処するのに必要とされる装置に必要な費用が増す。ＩＣプローブ検査手順の間の適切なバランス調整手順によってブリッジと回路を適合させた場合、このタイプの較正手順での第２の調整を省略することができる。その上、一体型ＩＣセンサは、供給、負および出力終端を備えていることから、実際のブリッジ出力を測定するためにセンサＩＣの出力ピンを形成するには、２つの追加の相互接続が必要である。ブリッジのゼロ電圧を監視するには、ブリッジ出力、すなわち磁気抵抗ブリッジ間の差電圧が与えられている必要がある。ブリッジ出力に、制御回路ならびに必要なワイヤ接続のための追加のボンディング・パッドとは別々にされたバッファリングが必要であると仮定すると、これによってＩＣに必要とされる空間と追加の費用が増すことになる。その上、ブリッジ出力接続がワイヤ・ボンディング、ピン、トレースおよびパッドを通じて外界に露出し、様々なタイプの干渉信号を受信するアンテナのように働くので、ＥＭＩおよびＲＦＩ感受性における欠点が増す。ブリッジからのアナログ出力を継続的に監視することによってもまた、較正サイクル時間が長くなる。このタイプの較正手順では、ブリッジ出力を読み取り、センサによって様々に異なる事前に求めたゼロ電圧と比較し、磁気感応構成要素に対する磁石の移動を最後に停止させるデジタル論理回路に通すことが必要である。その上、アナログのブリッジ出力は、ミリボルト単位で測定されるのでシステムの制御電圧よりはるかに低い。このタイプの較正システムの雑音感受性は、アナログ出力を十分にフィルタリングしないかぎり自然に増すことになる。このようなフィルタリングによってもまた、較正サイクル時間が増す。磁気センサの製造においては、歯車などの強磁性体に対して特定の位置に置かれたときに、センサが予測可能な信号を供給するようにセンサを較正することが重要である。自動車用の用途では、歯車のエッジがセンサの検出域内の特定の位置を通過したときに、センサが周知の強さの予め選定された信号に予測可能に反応するようにセンサを較正することが特に重要である。センサが適切に較正されていない場合、その出力信号を早すぎるまたは遅すぎる形で供給する可能性があり、それによって正確なタイミング信号が必要とされる自動車用エンジンには使用できなくなる。磁気センサを製造するときは一般に、較正手順に２つの別々の付随する工程が必要である。一方の工程は、付随する回路要素に対する磁気感応構成要素の較正である。その上、磁気感応構成要素に対する永久磁石の位置を正確に保持する必要がある。これらの較正手順は、費用的にも時間的にも浪費する可能性がある。さらに、較正測定を適切に行うのに必要な回路はときとして、電磁妨害雑音すなわちＥＭＩおよび高周波雑音すなわちＲＦＩに対する感受性に関する別の問題を引き起こす。したがって、較正工程の間に磁気感応構成要素に対して磁石を移動できるようにし、センサ構造内に不変に固定することができるまで磁石を所定の位置に堅固に保持することによって、その較正手順が単純化された磁気センサを実現することができれば、有益であることになる。発明の概要本発明の好ましい実施態様では、磁石の位置が調整可能な磁気センサは、くぼみを有する担体を具備する。これはまた、担体の中に成形された複数の電気リードも具備する。くぼみは、その中に永久磁石を受けるように形作られ、磁石は、外力に応答してくぼみに滑り込むように形作られる。本発明ではまた、磁石が外力に応答してくぼみに滑り込むときに予め選定された軸に沿って磁石を案内するための、くぼみと連結された手段を備える。本発明の好ましい実施態様ではまた、磁石が外力に応答してくぼみに滑り込むときに磁石に抵抗するための、くぼみと連結された手段を備える。抵抗手段は、磁石が外力に応答してくぼみに滑り込むときに磁石との強制的な接触に応答して変形可能である。抵抗手段は、磁石に対して外力がかかっていないときに磁石をくぼみの中の所定の位置に保持するように形作られる。その上、本発明ではまた、磁気感応構成要素と基板を具備する。磁気感応構成要素は基板に取り付けられ、基板は担体に取り付けられる。本発明の好ましい実施態様では、担体は成形プラスチック製であり、磁石は永久磁石である。案内手段は、くぼみの壁面に形成された複数の突出部を具備する。複数の突出部は、複数のリブを具備することができる。複数のリブは、磁石がくぼみに滑り込むときに沿って移動する予め選定された軸に対して平行に位置合せすることができる。抵抗手段は、変形可能なリブを具備することができる。磁気感応構成要素は、特に本発明の好ましい実施態様では、ブリッジ構成内に配置された複数の磁気抵抗素子を具備する。本発明はさらに、基板に取り付けられ磁気感応構成要素と電気的に連絡して接続された複数の電気部品を具備する。その上、複数の電気リード線を担体を通して延ばし、磁気感応構成要素と電気的に連絡して接続することができる。本発明のある特定の好ましい実施態様では、担体、基板、磁石および磁気感応構成要素は、オーバモールドされた構造内にカプセル封じされる。図面の簡単な説明以下の好ましい実施形態の説明を図面と併せ読めば、本発明をより十分かつ完全に理解できよう。第１図および第２図は、取付台に取り付けた磁気抵抗素子を概略的に示す図である。第３図は、第１図および第２図のセンサの組立体を永久磁石と併せて示す図である。第４図は、複数の磁気抵抗素子と電圧供給によって形成されたブリッジ構造を示す図である。第５図および第６図は、永久磁石との様々な相対位置にあるセンサの組立体を示す図である。第７図は、本発明に関連して使用される目標を示す図である。第８図、第９図および第１０図は、第７図に示した目標を３方向から見た図である。第１１図は、センサと目標の２つの間隙に関して、第４図に示したブリッジによって提供されるブリッジ出力信号のタイプを示す図である。第１２図は、本発明の好ましい実施形態の分解図である。第１３図は、本発明の平面図である。第１４図は、第１３図に示した装置の断面図である。第１５図は、第１３図に示した装置の底面図である。第１６図は、センサ組立体に対して精密な軸に沿って磁石を移動させる必要性を示す図である。第１７図は、第４図のブリッジからの例示的出力信号を、ブリッジ信号によって誘導されるデジタル出力信号と共に示す図である。第１８図は、較正中の、目標に対するセンサの移動に応答したブリッジ出力信号の変化を示す図である。第１９図は、較正中の、目標に対するセンサの交互の移動を示す図である。第２０図は、オーバモールドされた後の本発明を示す図である。好ましい実施形態の説明好ましい実施形態の説明全体にわたり、同種の構成要素を同じ符号で表す。第１図に、基板１２上に１群の磁気抵抗素子を配置したセンサ構成１０を概略的に示す。符号１４、１６、１８および２０によって、磁気抵抗素子を示す。磁気抵抗素子間の電気的接続については、図面の概略的な性質上、第１図には図示していない。ただし、磁気抵抗素子間の電気的接続については、以下第４図に関連して詳細にわたり述べる。磁気抵抗素子は、磁石に対して相対的に位置決めできるように基板１２上に配置される。第２図に、センサ構成１０の側面図を示す。磁気抵抗素子は、本発明の好ましい実施形態では基板１２の上面に配置された薄膜構造であることを理解されたい。さらに、第１図および第２図では磁気抵抗素子を単純なボックスとして示したが、これらは、典型的な場合では蛇行パターンでインタリーブされたパーマロイ材料のストリップである。インタリーブは、このタイプのセンサでは絶対的な要件ではないが、これによって磁気抵抗体１４および１８が同時に同様の磁界にさらされる可能性に加え、磁気抵抗体１６および２０が同時に同様の磁界にさらされる可能性が増す。第３図に、磁石２４の磁界内に配置されたセンサ構成１０を示す。磁石２４は、第３図に矢印によって概略的に示した磁界を形成する永久磁石である。磁気抵抗体の電気的な接続によって、磁界内のセンサ構成１０の対称位置では、全体として平衡信号が得られる。第４図に、ブリッジ構成に接続された４つの磁気抵抗素子を示す。供給電圧Ｖ_SUPPLY は、示したようにブリッジを横断して接続されており、第４図に示した回路の位置で信号電圧Ｖ_SIGNALを監視することができる。この構成によって、磁気抵抗センサ構成の感度が向上する。たとえば、磁気抵抗素子１４および１８に作用している磁界が、磁気抵抗体１６および２０に作用している磁界に対して強くなった場合、その差は、第４図に示したブリッジ構成の電気的接続によって強調される。歯車センサに磁気抵抗素子を使用することは、前述の従来技術の説明で述べたように当業者にとって周知である。第５図および第６図に、本発明によって改善される較正のタイプを示す。第５図では、センサ構成１０は、磁石２４によって形成される磁界と非対称の関係にある。第５図に示した状況は誇張されていることを理解する必要があるが、センサ構成１０と永久磁石２４との間のこのタイプの関係によって、非対称構成のため信号に歪みがもたらされることに留意されたい。多くのタイプの歯車センサにはゼロ交差法が必要であることから、第５図に提示した状況は、すべての磁気抵抗素子への磁界効果が単極の性質であるため、著しく不都合であることになる。第５図を見るとわかるが、磁束の線は、同一方向にあるすべての磁気抵抗体に作用する。磁気抵抗素子は特に、センサ自体の面の範囲の磁界の構成要素に感応するため、第５図に示した磁気抵抗体すべてに作用している磁界の水平方向の構成要素は、右方に向かう方向になることを理解されたい。これは、磁気抵抗素子と磁石の両極関係を達成することを意図されているセンサにとって不都合である。引き続き第５図を参照すると、外力Ｆを利用して磁石２４をセンサ構成１０の位置に対して右方に移動させることができることが理解できよう。外力Ｆを加えることによってそのような磁石の２４の移動が達成される場合、第６図に示した相対位置を達成することができる。本発明の目標は、必ずしもセンサ構成１０と磁石２４の中心軸との間の物理的な平衡を達成することではないことを理解されたい。その代わりに、本発明の意図は、磁気抵抗素子から所定の信号出力が得られる位置に、センサ構成１０に対して磁石２４を位置付けることである。言い換えれば、磁気抵抗ブリッジおよび関連する構成要素に非ゼロの空白(null)が僅かでも存在する場合、磁石２４の位置を磁気抵抗素子と物理的に対称でない位置に置くことが可能であるが、その代わりに、磁気抵抗素子との磁石の位置の機能ならびにブリッジ構造を完全な平衡状態ではなくすことが可能なその他の要素の機能として、所期の出力が達成される。本発明は特に、複数の歯車と間隙空間を備える強磁性目標と共に使用することを意図している。より具体的に言うと、本発明の好ましい実施形態は特に、２つのトラックの相補的目標素子を備える回転自在な目標と共に使用することを意図している。第７図に、２つの相補的目標トラックを備える歯および間隙空間の線形構成を示す。第７図に示した構成は、線形であり、回転自在な歯車などの円形の形態で配置されてはいないが、磁気センサへの作用は、相補的目標が線形の形態の構成かあるいは回転自在な要素の円周上にあっても、本質的に同じであることを理解されたい。第７図に示した構成要素は、歯７０、７２および７４を備えた第１目標トラックを具備する。それらの歯の中間には、間隙空間７１、７３および７５がある。他方の目標トラックは、歯８０、８２および８４を具備する。それらの第２トラックの歯の中間には、間隙空間７９、８１および８３がある。２つの目標トラックは、互いに相補的である。言い換えれば、第１目標トラック内のあらゆる歯は、第２目標トラックの空間と並べて配置されている。さらに、第２目標トラック内のあらゆる歯は、第１目標トラックの空間と並べて配置される。このタイプの構成は、当業者には周知のものであり、１９９３年７月７日にＷｕによって出願された米国特許出願第０８／０９９２９６号に特に詳しく記述されている。第７図に示した構成要素は、センサが製造され機器内に組み込まれた後に関連付けられる実際の目標をシミュレートすることによってセンサを較正するために、磁気センサと共に使用可能である。第８図および第９図に、第７図と共に前述した目標６８の２つの外観を示す。これは、強磁性材料でできており、回転自在な相補的目標の歯および間隙空間をシミュレートすることを意図している。第８図では、センサ構成１０は、両方の目標トラックの移行位置の上方に面して配置されて示されている。言い換えれば、センサ構成１０に取り付けられた磁気感応構成要素（第８図には図示せず）は、歯７２と空間７１の間の移行線ならびに歯８０と空間８１の間の移行線の上方に配置されている。この位置に置くと、特定の信号が磁気抵抗素子のブリッジ構成から出力されることが予想される。第１０図に、目標の上方に配置されたセンサ構成１０と共に目標６８の端面図を示す。磁石２４は、センサ構成１０に関連させて示されている。矢印Ｆは、センサ構成１０に対する磁石２４の潜在的な移動方向の力を表す。本発明によって可能になる較正工程の間、磁気抵抗素子を目標６８に対する予め選定された位置に配置し、センサから特定の信号が受信されるまで外力Ｆによって磁石２４を移動する。信号が受信されたときに、外力Ｆを除去し、磁石２４を外力を除去したときにそれが位置していた正確な位置に保持する。センサに対してさらに製造工程を行う間、磁石をその位置に保持する。そうした工程の１つは、磁気抵抗素子、担体、および磁石の構造全体をカプセル化されたプラスチック構造内にカプセル封じすることであろう。このカプセル封じを実行すると、磁石２４の位置は、較正工程の間に磁石によってセンサが所期の信号を受信するようにされたときの磁石の位置で、永久に定位置に保持される。磁気センサの典型的な用途は、自動車エンジンの歯車センサであることを理解されたい。自動車エンジン内での歯車センサの目的は、回転自在な目標の歯および間隙空間の通過を検出し、歯のエッジがセンサの検出域内の予め選定された位置を通過する正確な瞬間に信号を供給することである。このタイプの精密位置検出は、歯車センサを使用してエンジンの運転の制御を行うマイクロプロセッサにタイミング信号を供給する用途において必要とされる。歯車センサをエンジンに組み込む間に、いくつかの問題が発生する可能性がある。この種の用途のほとんどでは、歯車センサはその先端を歯車の歯の外周に近接させて配置される。したがって、出力信号のタイミングは、磁気センサの先端と歯との間の間隔によってある程度決定される。言い換えれば、センサの先端が歯車に近すぎる場合、出力信号タイミングは影響を受けることになる。同様に、歯車センサの先端が歯車から離れすぎている場合もまた、タイミングは影響を受けることになる。一例として、第１１図に、第４図の信号出力Ｖ_SIGNALを示す。第１１図に示したパターンは、磁気センサの先端を２つの異なる間隙位置に配置したときの、第４図に示したものなどの構成のブリッジ出力である。曲線９０は、磁気センサの先端を、それと歯車の外面との間の間隙を０．０１ｍｍ（０．００４インチ）にして配置したときのブリッジ出力である。曲線９２は、歯車の外面からの間隙を０．１２４ｍｍ（０．０４９インチ）にして先端を配置したときの、同様の信号のパターンを表している。図を見るとわかるが、２つの信号のパターンは互いに等しくない。しかしながら、たいていの自動車用の用途では磁気センサをある間隙の範囲内で作動させる能力が必要とされるため、磁気センサによって供給される信号を確実に、その間隙の範囲内のいずれの位置についても適切にするための処置を講じる必要がある。引き続き第１１図を参照すると、曲線９０と曲線９２は、正の出力信号から負の出力信号に変化する度に交差することがわかる。それらの曲線９０と曲線９２の交差は、第１１図中のゼロ値軸９３でのそれら２つの信号の交差と完全に一致しているわけではない。回路のゼロ値が、曲線９０と曲線９２が線９５で互いに交差するときのセンサのブリッジ出力の値と一致する場合、エアギャップの配置ミスによるエラーは最小限になる。以下により詳しく述べるが、本発明は、較正中に、第１１図の曲線のゼロ交差位置での影響が有利な形で与えられるような方法で、磁気抵抗素子に対して磁石を移動させることができるようにする。外力の影響下にある磁石２４を移動させ、較正の後に外力を除去するときに磁石をその位置に保持させるために、本発明は、そのくぼみ内に、磁石の移動を第１軸に沿って案内し外力が除去されるときに磁石の位置を保持する手段を提供する。第１２図に、本発明の好ましい実施形態の分解図を示す。担体１００は、その中に形成されたくぼみ１０４を備える。くぼみ１０４は、磁石が外力Ｆに応答してくぼみに押し込まれるときに磁石２４を受けるように形作られる。磁石が外力Ｆに応答してくぼみ１０４に滑り込むときに、磁石２４を予め選定された軸に沿って案内するための手段が提供される。第１２図では、案内手段は、くぼみ１０４の壁面に形成された突出部１１０および１１２を具備する。予め選定された軸（第１２図には図示せず）は、垂直であり外力Ｆの方向に対して平行である。案内手段の意図については、以下詳しく述べる。本発明はまた、くぼみ１０４に付随する、くぼみ１０４に滑り込むときの磁石の移動に抵抗するための手段も備えている。本発明の好ましい実施形態では特に、その抵抗手段は、変形可能なリブ１２０からなる。変形可能リブ１２０は、磁石がくぼみ１０４に入り込むときに磁石２４によって押しつぶされる。リブ１２０の変形によって、磁石２４は、第１２図に示したように下方に移動するときくぼみとしまりばめの関係になることが確実になる。リブ１２０のおかげで、磁石２４は、外力Ｆが除去されるときにその瞬間の位置に保持されることになる。本発明のいくつかの実施形態では、担体１００は、変形可能リブ１２０と共に働いて磁石がくぼみ１０４に滑り込むときの磁石２４に対する圧縮力を維持するための可とう性薄壁１２２も備える。ただし、可とう性薄壁１２２は、必ずしも本発明のすべての実施形態で必要ではないことを理解されたい。引き続き第１２図を参照すると、複数の導電性リード１３０、１３２および１３４が担体１００のボディ内に成形されており担体を貫通して延びている。基板１４０は、示したように基板１４０中の孔を貫通して延びることができるプラスチック製ペグ１４１および１４２を使用して、担体１００に取付け可能である。基板１４０を担体１００の端部と接触させて置き、プラスチック製ペグを基板１４０中のそれらが関連付けられた孔に挿入した後、基板を担体に永久に取り付けるために、熱を加えることによってプラスチック製ペグを溶融することができる。基板１４０中には、そこを貫通して導電性リードを受けるための３つの孔が形成されている。分解図には、それらの孔の内の２つの孔１４４および１４６が示されている。言い換えれば、導電性リード１３４は孔１４４を貫通して延び、導電性リード１３２は孔１４６を貫通して延びる。第１２図に示されていないもう１つの孔は、導電性リード１３０を受ける。基板１４０を担体１００に組み付けた後、電気リードと基板１４０に取り付けられている構成要素との間の電気的連絡を形成するために、３つの導電性リードを所定の位置ではんだ付けする。センサ構成１０は、基板１４０に取り付けられ、同じく基板に取り付けられている複数の電気的構成部品と連絡して接続される。したがって、導電性リード１３０、１３２および１３４は、センサ構成１０ならびに基板上の関連付けられた電気的構成部品と電気的に連絡して接続される。孔１５０および１５２は、担体１００、磁石２４、基板１４０、および電気的構成部品を外界から保護するための、熱硬化オーバモールド材料と導電性材料１３０、１３２および１３４との間の結合を作成するために設けられている。担体中の孔１６０は、熱硬化成形型の中で担体を位置決めするために設けられている。引き続き第１２図を参照すると、担体１００のくぼみ１０４内に形成された構造によって、基板１４０上の回路が適切なデジタル信号を受信するまで磁石２４を外力によってくぼみ内に押し下げることが可能になることが理解できよう。ブリッジ出力としきい値との交差に対応してデジタル信号を提供するための様々な回路があることは、当業者には周知のことである。デジタル信号が受信されると、外力Ｆを即座に除去することが可能であり、磁石２４は、回路から信号の発生につながった正確な位置で、くぼみ内のその位置に正確に保持されることになる。第１３図に、担体１００の平面図を示す。第１３図に示したように、導電性リード１３０、１３２および１３４は、担体１００を貫通して延びその中で成形されている。くぼみ１０４は、４つのリブ１１０〜１１３を有しているが、これらのリブは、磁石が外力によってくぼみの中に押し下げられるときに磁石を案内する役割をする。変形可能リブ１２０によって、磁石が外力によってくぼみ１０４の中に押し下げられるときに磁石２４の移動に抵抗するための手段が提供される（第１３図には図示せず）。前述したように、可とう性壁１２２は、くぼみ１０４と開口部１７０の間に形成されている。可とう性壁１２２は、変形可能であり、変形可能リブ１２０に対する磁石２４の力によって開口部１７０に向かって移動することができる。前述したように、可とう性壁１２２を設けることは本発明の要件ではない。第１４図に、第１３図に示す図の断面図を示す。この図には、くぼみ１０４および変形可能リブ１２０に対する案内用リブ１１１および１１３の相対位置を示した。さらに、可とう性壁１２２を、くぼみ１０４と開口部１７０の間のその位置に示した。第１３図および第１４図には特に示していないが、導電性リードは、担体１００のボディを通過するにつれて曲げられていることを理解されたい。これは、２つの理由により形成されている。第１に、導電性リードを曲げることによって、リードの一方の端部を基板中の開口部に適合する特定の位置に配置すると同時に、３つのリードの他方の端部を外部構成部品への取付けに関して適切な位置に配置することが実現される。その上、リードに設けられた２段屈曲によって、それに沿って液体が金属製リードと担体１００のプラスチック製ボディとの間の界面内に容易には通過しない蛇行する経路が形成されることによって、追加の封止手段が提供される。引き続き第１４図を参照すると、第１４図に示した磁石２４のくぼみ１０４の中への上方移動によって、変形可能リブ１２０に変形が生じる。さらに、可とう性壁１２２は、開口部１７０の中に屈曲し、磁石に対して第１４図の左に向かう方向の圧縮力を与えることができる。変形可能リブ１２０と可とう性壁１２２の連結によって、磁石は、外力が除去されたときに所定の位置に保持される。この形式の磁石の停止によって、磁石は、外力が除去されたときに保持されていたその所定の位置に正確に保持される。第１５図に、第１３図に示した本発明の底面図を示す。この図には、導電性リード１３０、１３２および１３４の相対位置を示したが、プラスチック製ペグ１４１および１４２の相対位置も併せて示した。第１６図に、センサ構成１０および磁石２４の概略図を示す。第１６図の意図は、磁石２４を予め選定された軸２００に沿って確実に移動させることの重要性を示すことである。くぼみ１０４の中には、こうした適切な移動を確実にするために、リブ１１０〜１１３が設けられている。磁石２４が第１６図の磁石上の矢印によって表される方向に移動しない場合、磁気抵抗素子１４、１６、１８および２０によって形成されるブリッジからの出力信号に対する所期の効果は、達成されないことになる。担体のくぼみ１０４の中に設けられた４つのリブは、予め選定された軸２００に沿ったこうした適切な方向に磁石を案内するための手段である。第１７図は、第４図に示し前述したブリッジからの出力である出力信号Ｖ_SIGN _AL を表している曲線を概略的に表した図である。多くの磁気センサはデジタル出力を提供することから、ブリッジからの出力信号２０８がゼロ基準線と交差するときにハイ信号からロー信号、またその逆も同様に切り替える適切な回路が提供されている。理想的には、信号基準線２１０をこうした目的に使用することができる。しかしながら、たいていのシステムには電気的ノイズが存在するので、適切な信号切替を発生させるためにヒステリシスが形成される。典型的な場合では、上側のしきい値２２０と下側のしきい値２２２は、基準値２１０の上方と下方に設けられる。点Ｐ１で示したように、信号２０８が下側のしきい値２２２を通過すると、デジタル出力信号２３０は、ハイからローに切り替えられる。ブリッジからの信号２０８が上昇して点Ｐ２で上側のしきい値２２０を越えると、デジタル出力信号２４０は、ロー状態からハイ状態に変化する。信号２０８がしきい値の上下で変化し続けるのにつれて、デジタル出力信号も変化し続ける。第１７図を見るとよくわかるが、点Ｐ３での下側のしきい値２２２の交差によって信号のロー状態が達成され、点Ｐ４での上側のしきい値２２０の交差によってデジタル出力信号２５０のハイ状態が再び達成される。やがて、信号２０８が点Ｐ５で下側のしきい値２２２と交差することによって、デジタル出力信号のロー状態が再び達成される。引き続き第１７図を参照すると、基準値２１０と上側および下側のしきい値２２０および２２２に対する信号２０８の適切な縦の位置付けは、磁気感応構成要素に対する磁石２４の位置によって形成されるオフセットと相まって、回路のゼロオフセットの関数であることを理解されたい。第１８図は、信号２０８をさらに概略的に示す図である。信号２０８は、第７図に示した目標６８に沿った線形位置の関数としての、第４図のブリッジの出力Ｖ_SIGANLである。磁石２４が外力Ｆに応答して予め選定された軸２００に沿って移動する場合、ブリッジからの出力信号を、第１８図に符号２０８で示したところから符号２０８’で示したところに変化させることができる。したがって、磁石２４を予め選定された軸２００に沿って移動させることによって、ブリッジからの出力電圧の瞬間の値を変化させることが可能である。言い換えれば、磁石２４が移動する方向によって、ブリッジからの瞬間出力信号を、第１８図にＰ６で示したところからＰ７で示したところに変化させることが可能である。第１８図は、信号Ｖ_SIGANLの変化の精密な値を表すようには意図されていないが、磁気感応構成要素に対して磁石２４を移動させることによって達成することが可能な変化の相対的なタイプが示されている。本発明は、磁石をこの形で移動させることを可能にすると共に、外力が除去されたときに磁石をその所定の位置に正確に保持するための手段を提供する。較正手順において位相シフトを与えることが必要になった場合、磁気センサおよび目標の相対的な開始位置を変えることができる。目標６８をその縦軸に沿った方向に僅かに移動させた場合の信号２０８への影響は、第１９図を見るとよくわかる。言い換えれば、磁石２４を磁気感応構成要素に対して調整する前に出力信号を変えることができる。第２０図に、プラスチックでオーバモールドされたボディ内にカプセル封じされた後に本発明に従って製作された磁気センサを示す。言い換えれば、担体１００を基板１４０に堅固に取り付け磁石２４をくぼみ１０４内のその較正深さまで挿入し、回路のデジタル出力を監視して磁石２４がその適切な位置にあり変形可能リブ１２０によって所定の位置に保持されていることを確認した後に、周知の技法を使用して組立体全体をオーバモールドすることができる。その場合、磁気センサをオーバモールドするのに使用される熱硬化性エポキシ化合物によって、磁石はその較正位置に保持される。本発明によって提供される構造は、別の方法では不可能な形式で較正手順を実行することを可能にする。そうした較正手順について、以上で論じた様々な構成要素および較正に関連して以下に述べる。磁気センサにおいて多くの正確なセンサ特性を得るためには、一般に微調整を行う必要がある。磁気抵抗センサのブリッジの調整は、磁気抵抗ブリッジに対して磁石を移動させることによってほとんど直接的に行われる。磁気抵抗ブリッジはきわめて高感度であり、その出力はミリボルト単位で測定されるため、高い精度を達成する必要がある場合、磁石の精密な位置が非常に重要である。磁気センサのこうしたタイプの較正を実現し、その場合に較正結果を確実に不変にするために、磁石２４と担体１００との間のしまりばめ結合が設けられ、かつ熱硬化オーバモールドも使用される。初期段階として、磁気抵抗ブリッジを入れた型を集積回路パッケージに成形する。このパッケージは、第１２図に、基板１４０に取り付けられて示されている。このパッケージは、センサ構成１０を含む。次いで、集積回路パッケージは、必要なセンサ回路を形成するために、他の構成要素およびリードに沿って基板１４０などのプリント基板にはんだ付けされる。本発明のいずれかの特定用途に使用される特定のタイプのセンサ回路は、本発明には限定されない。磁石と基板１４０を正確に位置付けるために、成形された熱可塑性担体１００が用意される。次いで、プラスチック製ペグを基板の開口部に通してヒートステーキングするなどの適切な形で、基板１４０を担体の面に堅固に取り付ける。これによって、基板１４０が傾いたり回転する、あるいはそうでない場合に後続の処理やオーバモールド工程中に移動することが確実になくなる。次いで、必要なセンサの接続は、基板に導体をはんだ付けすることによって行われる。組立体を、センサが移行信号を与えるのに望ましい地点に位置決めされた目標６８の移行部分を伴う固定物内に配置する。この目標機構は、両方の平行トラック上の歯と空間の間の移行である。第１８図に関連して前述したように、センサの周知のヒステリシスに対処するために、中心から僅かにずらして目標機構を配置することができる。担体は、磁石２４の寸法より若干大きいくぼみ１０４を備える。くぼみ１０４内には、熱可塑性材料でできた少なくとも１つの変形可能リブ１２０を設ける。磁石２４がくぼみ１０４に挿入されると、変形可能リブ１２０は、押しつぶされるかせん断される。このリブの変形によって、くぼみと磁石２４との間のしまりばめを制御することが可能になる。このしまりばめの形成を助けるために、少なくとも１つの可とう壁１２２を設けて変形可能リブ１２０を補助することが可能であり、またそれによって、壁を外側に屈曲させて磁石２４の挿入に応答して基板に加わるいずれの力も防止することが可能になる。外力Ｆを与える細密なねじ山の線形螺旋駆動装置を使用することによって、磁石をくぼみに挿入し担体内にゆっくりと載せる。磁石２４をくぼみ１０４内に移動させるときには、センサのデジタル出力を連続的に監視する。センサが所期の出力を実現したときに、磁石をそれ以上くぼみ１０４内に進行させることを止め外力を除去する。変形可能リブ１２０と可とう性壁１２２の組合せの作用によって、磁石２４をその所定の位置に固定する。次いで、担体１００内の２つの孔にある位置決め用コア・ピンを使用して、組立体を熱硬化成形型内に挿入し所定の位置に保持することができる。これらの２つの孔は、その１つが符号１６０で識別されて第１３図に示されている。熱硬化性エポキシ材料で組立体を被覆し、それによってブリッジと磁石を全体的にカプセル封じすることが可能になる。これによって永久に、磁石、磁気感応構成要素、基板および担体を併せて封止する。インサート組立体を所定の位置に保持するために十分な量の熱硬化性材料を硬化させた後にピンを陥没させる必要があるが、これは、熱硬化性材料がすべて硬化する前に当業者にとって周知の方法で行う必要がある。これによって、コア・ピンがあったところに熱硬化性エポキシ材料を埋め戻すことが可能になる。コア・ピンから離れた領域にある熱硬化性の薄壁部分によって、材料をその部分でより速く硬化させることが容易になり、ピンを速く陥没させることが可能になる。プリント回路板および磁石のインサートへの締結は、これらの構成要素が処理工程およびオーバモールド手順の間に確実に移動しない程度の強度があればよい。本発明によって、ブリッジの調整か回路のオフセットの調整のどちらかによって行われる一体型設計の整合ブリッジおよび回路を、較正工程に利用することが可能になる。これは、第１２図に符号１０で示したような構成要素にカプセル封じする前に、ＩＣを試験することによって実現される。ＩＣには、３つの出力ピンしか必要ない。これらの出力ピンは、供給接続、負接続およびデジタル出力接続である。較正設備を設け、それによってセンサのデジタル出力の状態が切り替わるまで磁気感応構成要素に対して磁石２４を移動させる。その設備と共に目標６８を使用し、その磁気感応構成要素が目標の歯と間隙空間の間の移行に近接する位置にセンサを置く。トリガ回路には一般に、磁気センサに使用されるものと同様の有限のヒステリシスが使用されることから、この方式では端部精度および繰返し性の誤りが発生する恐れがある。第１７図に関連して前述したヒステリシスのため、磁石２４は正確な回路のゼロ値に完全には調整されないことになるが、これはデジタル出力が実際のゼロ値に到達する前に作動すると予想されることによる。言い換えれば、デジタル出力は、信号２０８が至近のしきい値を通過するときに状態が変化することになる。より高い調整分解能を達成するために最大エアギャップでまたはそれを越えてその相補的目標を配置することによって、これらの端部繰返し性および精度の誤りを低減することができる。これは主に、センサの先端と目標６８の間のエアギャップが離れていればブリッジ出力のスロープがより平坦になるためである。端部繰返し性の誤りが、これが許容範囲外の値に調整されているために発生する場合、相補的目標６８をその短い幅の方向に調整することができる。言い換えれば、磁気抵抗ブリッジを目標の２つのトラックの一方に向けて移動させることができる。これを行うと、磁気較正中の目標の軸位置に応じて、ＩＣ回路をしきい値よりも早くまたは遅く作動させるようにすることができる。端部精度も調整する必要がある場合、目標６８を長手方向に移動させることができる。第１９図に関連して前述したように、この調整によってブリッジ出力に位相変移が生じる。この形式の調整は、ブリッジ出力に位相変移を引き起こし較正中の端部精度に直接的に影響する。要約すると、両方の目標トラックの歯と溝の間の目標６８の移行領域に近接して磁気センサを配置する。達成すべき特定の特性に応じて、担体１００および磁気感応構成要素に対して磁石２４を調整する前に、目標６８を第１９図に示したようにその長手方向か第１８図に示したようにその幅に対して移動することができる。次いで、センサを目標６８に対する所定の位置に堅固に取り付け、デジタル出力信号の状態が変化するまで外力に応答して磁石２４をくぼみ１０４内に押し込むことができる。出力信号の状態が変化すると、外力を即座に除去し、磁石２４をくぼみ１０４内のその正確な位置に保持する。磁石は、前述のように組立体全体をオーバモールドするまでこの位置に留まる。本発明による較正手順は、単一の段階工程で実行される。較正中の使用には、供給、負および出力信号しか必要ない。較正回路からブリッジを絶縁するのに追加のバッファリングは必要なく、センサの露出したブリッジ出力アンテナが外界にさらされることはない。その結果、ＥＭＩおよびＲＦＩに対する感受性は低減する。従来の較正方式の場合のような、実際のアナログ出力信号Ｖ_SIGNALを監視する必要がなくなるので、較正サイクル時間は著しく低減される。センサからのデジタル出力信号をセンサ自体が使用してシステムをトリガし、担体１００に対する磁石の移動を停止することが可能である。デジタル出力信号を使用しているので、電圧レベルは、ミリボルトのレベルのブリッジ出力よりはるかに高く、信号対雑音比（Ｓ／Ｎ比）が大幅に改善される。出力が供給電圧からグランドに切り替わると、較正が一致したことを表す。本発明による較正方式にはまた、実際に磁気ブリッジのゼロ値を正確なゼロ交差に調整して回路ヒステリシスの存在を消散させる能力もある。これは、ハウジング（担体）１００に対して磁石２４を移動させる前に、センサに対する目標６８の開始位置を調整することによって行われる。その上、本発明による較正方式には、特定の用途に対処するために、固定回路作動点に関して磁気ブリッジのゼロ値を調整する機能もある。言い換えれば、出力信号の負端部の移行が正端部の移行より正確であることが必要な用途の場合、磁気ブリッジのゼロ値を調整して負のしきい値の方にバイアスさせることが可能である。これを実現するのに、回路のしきい値の調整を変える必要はない。BACKGROUND OF THE INVENTION FIELD OF THE INVENTION The present magnetic sensor invention with improved calibration feature generally relates to a magnetic sensor, and more particularly, by moving the magnet relative to the magnetically sensitive component, magnet and magnetosensitive It relates to a magnetic sensor that can be accurately calibrated by firmly mounting it in place when the desired relationship with the component is achieved. Description of the Prior Art It is well known to those skilled in the art that there are many different types of magnetic sensors. One particular type of sensor incorporates a bias magnet, such as a magnetoresistive element or a Hall effect element, that works with a magnetically sensitive component. A sensor using a bias magnet responds to changes in the magnetic field created by the permanent magnet when the ferromagnet enters the detection zone. When intending to mass-produce this type of sensor, the relative position between the magnet and the magnetically sensitive component must be precise so that the ferromagnetic material can be detected in the same manner regardless of the particular sensor used. Need to control. Magnetoresistive elements or Hall effect elements can be used for this type of sensor. The magnetoresistive sensor is described in B. 1987, published in the Autumn issue of Scientific Honeywell Leller. Pant's article, "Magnetore system Sensors". This paper describes the use of magnetoresistive materials in various sensor applications. It discusses the resistance of the sensor as well as the change in resistance in response to an external magnetic field. Various design tradeoffs are defined by the forces that oppose the directionality of the magnetization in the magnetoresistive thin film, but such tradeoffs are also discussed. U.S. Pat. No. 5,041,784 issued August 20, 1991 to Griebeler discloses a magnetic sensor with flux rods having a rectangular area distorted. This sensor has a pole face facing a moving object, and the position, velocity of movement of an object having alternating magnetic conduction zones with a permanent magnet member having an axis orthogonal to the direction of movement of the object. Or used to measure direction. A highly permeable ferromagnetic strip is attached to the face of the magnet which is coaxial with the magnet and which has a length dimension in the direction of movement of the body lying in the direction of movement which is larger than the width dimension. U.S. Pat. No. 4,725,776 issued to Onodera et al. On Feb. 16, 1988 describes a magnetic position detector using a thin film magnetoresistive element tilted with respect to a moving object. This detector employs a magnetoresistive element to detect the magnetic teeth of the object to be detected. More specifically, a constant DC magnetic field is supplied to the magnetoresistive element in such a way as to avoid the non-linear region of the DC magnetic field so that such an element can be used in the region showing good linearity. In the present invention, a DC magnetic field is provided to the magnetoresistive element by adopting a simple structure in which the magnetoresistive element is arranged to be inclined with respect to the magnetic field formed between the permanent magnet and the magnetic teeth. It U.S. Pat. No. 5,289,122, issued to Shigeno on February 22, 1994, discloses a magnetic sensor for detecting a path and a fine magnetic pattern. A plurality of detectors are attached and formed on the film-shaped element substrate. The insides of the two detectors are connected in series and used to read a magnetic pattern with a narrow pitch, and the outsides of the two detectors are also connected in series and used to read a magnetic pattern with a wide pitch. . The connection of the detection unit is performed using the terminal and the electric wire. The terminals are provided to short-circuit the ends of the detection unit. The Institute of Physics, 1986, W. Kwiatkowski and S.K. The article "The Permalloy Magnitude Resistive Sensors-Properties and Applications" by Tumanski provides an overview of the properties and applications of magnetic field permalloy magnetoresistive sensors. In this, information is provided regarding the manufacturing and biasing methods used in connection with the sensor. Basic parameters such as sensitivity, size, linearity, resolution, transducer error difference, etc. have been analyzed and various ways to improve these parameters have been discussed. This paper also presents Permalloy microsensor, miniature sensor, and wide area sensor embodiments. The application of permalloy magnetoresistors to magnetic field measurements and electrical and non-electrical converters has been described. US Pat. No. 5,128,613, issued to Takahashi on July 7, 1992, describes a method for inspecting magnetic carbonization in non-permeable materials. A probe is described that comprises a magnet and a Hall element provided when it is impermeable. The Hall element is attached in the middle of the two poles of the magnet parallel to the magnetic flux lines. The presence of a carbonized portion in the member to be inspected and the depth of its carbonization causes a direct current to flow between the Hall elements and between the two ends of the elements which are vertically opposed to the current flow. It is detected by detecting the electromagnetic force of the Hall element generated in. U.S. Pat. No. 4,853,632 issued August 1, 1989 to Nagano et al. Describes a device for magnetically detecting the position of a moving magnetic body. The device includes a three terminal magnetic field strength detection structure formed by a pair of magnetoresistors. The magnetic field strength detection structure is arranged in opposition to a magnetic body arranged in the magnetic field with respect to the motion thereof, and generates a sine-waveform first electric signal in response to a change in the magnetic field strength due to relative motion of the magnetic body. To do. The first electrical signal originates from the device when the amplitude of the rectangular or sinusoidal second electrical signal is amplified. The components of the circuit that shape the waveform of the first electrical signal or amplify its amplitude are mounted together with the magnetoresistor on the substrate. The shaping circuit or amplifier circuit is preferably in the form of a hybrid integrated circuit formed on a substrate. U.S. Pat. No. 4,535,289, issued to Abe et al. On Aug. 13, 1985, discloses a device for measuring the position of a moving object. To the moving object, a detected member made of magnetic material is fixed, and an E-shaped magnet is arranged adjacent to the measured member lying in the direction of movement. A Hall IC for converting a change in magnetic flux density of the magnet into a change in voltage is fixed to the end of the central leg of the magnet. The member to be measured is an elongated bar, with a series of protrusions on both sides of the elongated bar. The protrusions on both sides are arranged in a twisted relationship. The Hall IC adjoins the inner portion of one of the protrusions when the moving object moves in the elongated direction. The Hall IC produces an output having a waveform with zero level spacing between the inverted waves. U.S. Pat. No. 5,304,926 issued to Wu on April 19, 1994 describes a gear position sensor with two Hall effect elements. The position sensor has two magnetically sensitive devices that work with the magnets. The sensor can be placed in proximity to a rotatable member having at least one discontinuity on its surface. Two magnetically sensitive devices, such as Hall effect transducers, each provide an output signal representative of the direction and strength of the magnetic field in which its respective transducer is located. An algebraic sum of the first output signal and the second output signal from the magnetically sensitive device is generated as an indication of the position of a rotatable member located proximate to the sensor. High resolution magnetic gear sensors generally require calibration for specific applications. One such type of application is the complementary targeting scheme as disclosed in US patent application Ser. No. 08/032883, filed by Wu on Mar. 18, 1993 and assigned to the assignee of the present invention. There is. This type of gear sensor can use a magnetic system that requires adjustment of the magnets to achieve a mag netic null for proper operation of the system. To achieve the highest accuracy possible, zero crossing detection is used to tune the circuit. Traditionally, this type of prototyping device simply adjusts the bias magnet behind the magnetoresistive sensor until the bridge output equals the zero value of its base bridge before introducing the bias, near the zero crossing. Was calibrated to. The analog output of this bridge is constantly monitored during the first part of the calibration procedure, but is complete when the zero voltage is reached. The adjustment is done without the presence of complementary targets within the detection area of the magnetic sensor. The final part of the calibration procedure is accomplished by adjusting the zero value of the circuit to match the zero value of the initially measured bridge. This type of calibration scheme, as a whole, was fine for prototype sensors when the sensor had separate bridges and circuits, but also when considering flexibility, manufacturability, and productivity. Bring a serious disadvantage to. For example, a two-step calibration procedure was required, which is not cost effective. This type of scheme not only prolongs the calibration cycle time, but also adds to the cost of the equipment required to accommodate double adjustment. A second adjustment in this type of calibration procedure can be omitted if the bridge and circuit are matched by a proper balancing procedure during the IC probe test procedure. Moreover, because the integrated IC sensor has supply, negative and output terminations, two additional interconnects are required to form the sensor IC output pin to measure the actual bridge output. Is. To monitor the zero voltage of the bridge, the bridge output, ie the differential voltage between the magnetoresistive bridges, must be applied. Assuming that the bridge output requires buffering that is separate from the control circuitry as well as additional bond pads for the required wire connections, this increases the space required for the IC and the additional cost. It will be. Moreover, the bridge output connection is exposed to the outside world through wire bonds, pins, traces and pads, and acts like an antenna that receives various types of interfering signals, increasing the drawbacks in EMI and RFI susceptibility. Continuous monitoring of the analog output from the bridge also increases the calibration cycle time. This type of calibration procedure requires that the bridge output be read, compared to various different pre-determined zero voltages by the sensor, and passed through a digital logic circuit that finally stops the movement of the magnet with respect to the magnetically sensitive components. . Moreover, the analog bridge output is much lower than the system control voltage because it is measured in millivolts. The noise sensitivity of this type of calibration system will naturally increase unless the analog output is well filtered. Such filtering also increases the calibration cycle time. In the manufacture of magnetic sensors, it is important to calibrate the sensor so that it provides a predictable signal when placed in a specific position relative to a ferromagnet such as a gear. In automotive applications, it is possible to calibrate the sensor such that when the edge of the gear passes a certain position within the detection area of the sensor, the sensor will react predictably to a preselected signal of known strength. Especially important. If the sensor is not properly calibrated, it may deliver its output signal too early or too late, which renders it unusable for automotive engines where accurate timing signals are required. When manufacturing a magnetic sensor, the calibration procedure generally requires two separate attendant steps. One step is the calibration of the magnetically sensitive components to the associated circuit elements. Moreover, there is a need to accurately hold the position of the permanent magnet with respect to the magnetically sensitive component. These calibration procedures can be costly and time consuming. In addition, the circuitry required to make proper calibration measurements sometimes presents another problem with respect to susceptibility to electromagnetic interference or EMI and high frequency noise or RFI. Therefore, by allowing the magnet to move relative to the magnetically sensitive component during the calibration process and holding the magnet firmly in place until it can be permanently fixed in the sensor structure, the calibration procedure is improved. It would be beneficial to be able to realize a simplified magnetic sensor. SUMMARY OF THE INVENTION In a preferred embodiment of the present invention, a magnetic sensor with adjustable magnet position comprises a carrier having indentations. It also comprises a plurality of electrical leads molded into the carrier. The recess is shaped to receive a permanent magnet therein, and the magnet is shaped to slide into the recess in response to an external force. The present invention also includes means associated with the recess for guiding the magnet along a preselected axis as the magnet slides into the recess in response to an external force. A preferred embodiment of the present invention also comprises means associated with the recess for resisting the magnet as it slides into the recess in response to an external force. The resistance means is deformable in response to the forced contact with the magnet as it slides into the recess in response to an external force. The resistance means is shaped to hold the magnet in place within the recess when no external force is applied to the magnet. Moreover, the present invention also comprises a magnetically sensitive component and a substrate. The magnetically sensitive component is attached to the substrate and the substrate is attached to the carrier. In a preferred embodiment of the invention, the carrier is made of molded plastic and the magnet is a permanent magnet. The guide means comprises a plurality of protrusions formed on the wall surface of the recess. The plurality of protrusions may include a plurality of ribs. The plurality of ribs can be aligned parallel to a preselected axis along which the magnet moves as it slides into the recess. The resistance means may comprise deformable ribs. The magnetically sensitive component comprises, in a particularly preferred embodiment of the invention, a plurality of magnetoresistive elements arranged in a bridge configuration. The present invention further comprises a plurality of electrical components mounted on the substrate and in electrical communication with the magnetically sensitive components. Moreover, a plurality of electrical leads can extend through the carrier and be in electrical communication with the magnetically sensitive components. In certain preferred embodiments of the present invention, the carrier, substrate, magnet and magnetically sensitive components are encapsulated within an overmolded structure. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention will be more fully and completely understood in view of the following description of the preferred embodiments in conjunction with the drawings. 1 and 2 are diagrams schematically showing a magnetoresistive element mounted on a mounting base. FIG. 3 shows the sensor assembly of FIGS. 1 and 2 together with a permanent magnet. FIG. 4 is a diagram showing a bridge structure formed by a plurality of magnetoresistive elements and voltage supply. 5 and 6 are views showing the assembly of the sensor in various relative positions with the permanent magnet. FIG. 7 is a diagram showing the goals used in connection with the present invention. FIGS. 8, 9, and 10 are views of the target shown in FIG. 7 viewed from three directions. FIG. 11 is a diagram showing the types of bridge output signals provided by the bridge shown in FIG. 4 for two sensor and target gaps. FIG. 12 is an exploded view of the preferred embodiment of the present invention. FIG. 13 is a plan view of the present invention. FIG. 14 is a sectional view of the device shown in FIG. FIG. 15 is a bottom view of the device shown in FIG. FIG. 16 illustrates the need to move the magnet along a precise axis with respect to the sensor assembly. 17 is a diagram showing an exemplary output signal from the bridge of FIG. 4 along with a digital output signal induced by the bridge signal. FIG. 18 shows the change in bridge output signal in response to sensor movement relative to the target during calibration. FIG. 19 is a diagram showing the alternating movement of the sensor relative to the target during calibration. FIG. 20 shows the invention after it has been overmolded. Description of the Preferred Embodiment Throughout the description of the preferred embodiment, like components are designated by the same reference numerals. FIG. 1 schematically shows a sensor structure 10 in which a group of magnetoresistive elements are arranged on a substrate 12. Reference numerals 14, 16, 18 and 20 denote magnetoresistive elements. The electrical connection between the magnetoresistive elements is not shown in FIG. 1 due to the schematic nature of the drawing. However, the electrical connection between the magnetoresistive elements will be described in detail below with reference to FIG. The magnetoresistive element is arranged on the substrate 12 so that it can be positioned relative to the magnet. A side view of the sensor arrangement 10 is shown in FIG. It should be understood that the magnetoresistive element is a thin film structure disposed on the top surface of the substrate 12 in the preferred embodiment of the present invention. Further, although the magnetoresistive elements are shown as simple boxes in FIGS. 1 and 2, these are typically strips of permalloy material interleaved in a serpentine pattern. Although interleaving is not an absolute requirement for this type of sensor, it does not only expose magnetoresistors 14 and 18 to similar magnetic fields at the same time, but it also exposes magnetoresistors 16 and 20 to similar magnetic fields at the same time. The possibility of being FIG. 3 shows the sensor arrangement 10 arranged in the magnetic field of the magnet 24. The magnet 24 is a permanent magnet that forms a magnetic field, which is schematically indicated by an arrow in FIG. The electrical connection of the magnetoresistors results in an overall balanced signal at symmetrical positions of the sensor arrangement 10 in the magnetic field. FIG. 4 shows four magnetoresistive elements connected in a bridge configuration. The supply voltage V _SUPPLY is connected across the bridge as shown, allowing the signal voltage V _SIGNAL to be monitored at the location of the circuit shown in FIG. This configuration improves the sensitivity of the magnetoresistive sensor configuration. For example, when the magnetic field acting on the magnetoresistive elements 14 and 18 becomes stronger than the magnetic field acting on the magnetoresistors 16 and 20, the difference is the difference between the bridge-structured electric fields shown in FIG. Emphasized by physical connection. The use of magnetoresistive elements in gear sensors is well known to those of skill in the art, as set forth in the description of the prior art above. Figures 5 and 6 show the type of calibration improved by the present invention. In FIG. 5, the sensor arrangement 10 is asymmetric with the magnetic field created by the magnet 24. It should be understood that the situation shown in FIG. 5 is exaggerated, but that this type of relationship between the sensor arrangement 10 and the permanent magnet 24 introduces signal distortion due to the asymmetrical arrangement. Please note. Since many types of gear sensors require the zero-crossing method, the situation presented in FIG. 5 is significantly inconvenient because the magnetic field effect on all magnetoresistive elements is unipolar in nature. become. As can be seen in FIG. 5, the lines of magnetic flux act on all magnetoresistors in the same direction. The magnetoresistive element is particularly sensitive to the components of the magnetic field in the area of the surface of the sensor itself, so that the horizontal components of the magnetic field acting on all magnetoresistors shown in FIG. 5 are directed to the right. Please understand that it will be the direction. This is a disadvantage for sensors intended to achieve a bipolar relationship between the magnetoresistive element and the magnet. With continued reference to FIG. 5, it will be appreciated that the external force F can be utilized to move the magnet 24 to the right relative to the position of the sensor arrangement 10. If such movement of the magnet 24 is achieved by applying an external force F, the relative position shown in FIG. 6 can be achieved. It should be appreciated that the goal of the present invention is not necessarily to achieve a physical balance between the sensor arrangement 10 and the central axis of the magnet 24. Instead, the intent of the present invention is to position the magnet 24 with respect to the sensor arrangement 10 at a position where a predetermined signal output is obtained from the magnetoresistive element. In other words, it is possible to position magnet 24 in a position that is not physically symmetrical to the magnetoresistive element, even if there are any non-zero nulls in the magnetoresistive bridge and associated components, Instead, the desired output is achieved as a function of the position of the magnet with respect to the magnetoresistive element and as a function of other elements that can bring the bridge structure out of perfect equilibrium. The present invention is particularly intended for use with ferromagnetic targets that include multiple gears and clearance spaces. More specifically, the preferred embodiment of the present invention is particularly intended for use with a rotatable target comprising two track complementary target elements. FIG. 7 shows a linear configuration of the tooth and interstitial space with two complementary target tracks. The configuration shown in FIG. 7 is linear and is not arranged in a circular configuration such as a rotatable gear, but the effect on the magnetic sensor is that the complementary target is configured in a linear configuration or is rotatable. It should be understood that they are essentially the same even if they are on the circumference of various elements. The component shown in FIG. 7 comprises a first target track with teeth 70, 72 and 74. In the middle of the teeth there are interstitial spaces 71, 73 and 75. The other target track comprises teeth 80, 82 and 84. In the middle of the teeth of the second track there are gap spaces 79, 81 and 83. The two target tracks are complementary to each other. In other words, every tooth in the first target track is aligned with the space of the second target track. Furthermore, every tooth in the second target track is aligned with the space of the first target track. This type of construction is well known to those skilled in the art and is described in particular detail in US patent application Ser. No. 08/099296 filed by Wu on July 7, 1993. The components shown in FIG. 7 can be used with magnetic sensors to calibrate the sensor by simulating the actual goals associated with the sensor after it has been manufactured and installed in the instrument. FIGS. 8 and 9 show two views of the target 68 described above in connection with FIG. It is made of ferromagnetic material and is intended to simulate rotatable complementary target teeth and interstitial spaces. In FIG. 8 the sensor arrangement 10 is shown arranged facing the transition position of both target tracks. In other words, the magnetically sensitive components (not shown in FIG. 8) attached to the sensor arrangement 10 are above the transition line between the tooth 72 and the space 71 and the transition line between the tooth 80 and the space 81. It is arranged. When placed in this position, it is expected that a particular signal will be output from the magnetoresistive bridge configuration. FIG. 10 shows an end view of the target 68 with the sensor arrangement 10 positioned above the target. The magnet 24 is shown in relation to the sensor arrangement 10. Arrow F represents the potential direction of movement of magnet 24 on sensor configuration 10. During the calibration process enabled by the present invention, the magnetoresistive element is placed in a preselected position relative to the target 68 and the magnet 24 is moved by the external force F until a specific signal is received from the sensor. When the signal is received, the external force F is removed, holding the magnet 24 in the exact position it was in when the external force was removed. The magnet is held in that position during further manufacturing steps on the sensor. One such process would be to encapsulate the entire magnetoresistive element, carrier, and magnet structure within an encapsulated plastic structure. When this encapsulation is performed, the position of the magnet 24 is permanently held in place at the position of the magnet as it was when the sensor was made to receive the desired signal during the calibration process. It should be appreciated that a typical application of magnetic sensors is in automotive engine gear sensors. The purpose of the gear sensor in an automobile engine is to detect the passage of a freely rotatable target tooth and gap space and provide a signal at the exact moment when the tooth edge passes a preselected position within the sensor's detection area. It is to be. This type of precision position sensing is needed in applications where a gear sensor is used to provide timing signals to a microprocessor that controls the operation of the engine. Several problems can occur during the incorporation of the gear sensor into the engine. In most applications of this type, the gear sensor is placed with its tip in close proximity to the outer circumference of the gear teeth. Therefore, the timing of the output signal is determined in part by the spacing between the tip of the magnetic sensor and the tooth. In other words, the output signal timing will be affected if the tip of the sensor is too close to the gear. Similarly, timing will also be affected if the tip of the gear sensor is too far from the gear. As an example, FIG. 11 shows the signal output V _{SIGNAL of} FIG. The pattern shown in FIG. 11 is a bridge output having a structure such as that shown in FIG. 4 when the tip of the magnetic sensor is arranged at two different gap positions. Curve 90 is the bridge output when the tip of the magnetic sensor is placed with a 0.01 mm (0.004 inch) gap between it and the outer surface of the gear. Curve 92 represents a similar signal pattern when the tip is placed with a 0.124 mm (0.049 inch) clearance from the outer surface of the gear. As can be seen, the patterns of the two signals are not equal to each other. However, most automotive applications require the ability to operate the magnetic sensor within a certain gap, thus ensuring the signal provided by the magnetic sensor for any position within that gap. Steps need to be taken to make it appropriate. With continued reference to FIG. 11, it can be seen that curves 90 and 92 intersect each time the positive output signal changes to the negative output signal. The intersections of the curves 90 and 92 are not completely coincident with the intersections of the two signals on the zero value axis 93 in FIG. If the zero value of the circuit matches the value of the bridge output of the sensor when curves 90 and 92 intersect each other at line 95, the error due to misplacement of the air gap is minimized. As will be described in more detail below, the present invention allows the magnet to be moved relative to the magnetoresistive element during calibration in such a way that the effect at the zero crossing position of the curve of FIG. It can be so. In order to move the magnet 24 under the influence of an external force and to hold the magnet in its position when removing the external force after calibration, the present invention provides for the movement of the magnet along its first axis in its recess. Means for holding the position of the magnet when the guiding external force is removed. FIG. 12 shows an exploded view of the preferred embodiment of the present invention. The carrier 100 comprises an indentation 104 formed therein. The recess 104 is shaped to receive the magnet 24 as the magnet is pushed into the recess in response to an external force F. Means are provided for guiding the magnet 24 along a preselected axis as the magnet slides into the recess 104 in response to an external force F. In FIG. 12, the guide means comprises protrusions 110 and 112 formed on the wall surface of the recess 104. The preselected axis (not shown in FIG. 12) is vertical and parallel to the direction of the external force F. The intention of the guide means will be described in detail below. The present invention also includes means associated with the recess 104 for resisting movement of the magnet as it slides into the recess 104. Particularly in the preferred embodiment of the present invention, the resistance means comprises deformable ribs 120. The deformable rib 120 is crushed by the magnet 24 as it enters the recess 104. The deformation of the ribs 120 ensures that the magnets 24 are in a recessed and interference-fitting relationship when moving downwards, as shown in FIG. Due to the ribs 120, the magnet 24 will be held in its instantaneous position when the external force F is removed. In some embodiments of the invention, the carrier 100 also comprises a flexible thin wall 122 for working with the deformable ribs 120 to maintain a compressive force on the magnet 24 as the magnet slides into the recess 104. However, it should be understood that the flexible thin wall 122 is not necessary in all embodiments of the invention. Continuing to refer to FIG. 12, a plurality of conductive leads 130, 132 and 134 are molded into the body of carrier 100 and extend through the carrier. The substrate 140 can be attached to the carrier 100 using plastic pegs 141 and 142 that can extend through holes in the substrate 140 as shown. After placing the substrate 140 in contact with the end of the carrier 100 and inserting the plastic pegs into their associated holes in the substrate 140, the plastic is applied by applying heat to permanently attach the substrate to the carrier. The pegs made can be melted. Three holes are formed in the substrate 140 to penetrate the substrate and receive the conductive leads. The exploded view shows two of these holes 144 and 146. In other words, conductive lead 134 extends through hole 144 and conductive lead 132 extends through hole 146. Another hole, not shown in FIG. 12, receives the conductive lead 130. After assembling the substrate 140 to the carrier 100, three conductive leads are soldered in place to form electrical communication between the electrical leads and the components attached to the substrate 140. The sensor arrangement 10 is mounted on a board 140 and is in communication with and connected to a plurality of electrical components also mounted on the board. Thus, the conductive leads 130, 132 and 134 are in electrical communication with and connected to the sensor arrangement 10 and associated electrical components on the substrate. The holes 150 and 152 create a bond between the thermoset overmold material and the conductive materials 130, 132 and 134 to protect the carrier 100, the magnet 24, the substrate 140, and the electrical components from the outside world. It is provided for. Holes 160 in the carrier are provided to position the carrier in the thermoset mold. Continuing to refer to FIG. 12, the structure formed in the recess 104 of the carrier 100 allows the magnet 24 to be pushed into the recess by an external force until the circuitry on the substrate 140 receives the appropriate digital signal. Can be understood. It is well known to those skilled in the art that there are various circuits for providing a digital signal corresponding to the crossing of the bridge output and the threshold value. When a digital signal is received, it is possible to immediately remove the external force F, and the magnet 24 is held exactly in its position within the recess at the exact position that led to the generation of the signal from the circuit. become. FIG. 13 shows a plan view of the carrier 100. As shown in FIG. 13, conductive leads 130, 132 and 134 extend through the carrier 100 and are molded therein. The recess 104 has four ribs 110-113, which serve to guide the magnet as it is pushed into the recess by external forces. Deformable ribs 120 provide a means for resisting movement of magnet 24 as the magnet is pushed down into recess 104 by an external force (not shown in FIG. 13). As described above, the flexible wall 122 is formed between the recess 104 and the opening 170. The flexible wall 122 is deformable and can be moved towards the opening 170 by the force of the magnet 24 on the deformable rib 120. As mentioned above, the provision of the flexible wall 122 is not a requirement of the present invention. FIG. 14 shows a sectional view of the diagram shown in FIG. This figure shows the relative position of the guiding ribs 111 and 113 with respect to the recess 104 and the deformable rib 120. Further, the flexible wall 122 is shown in its position between the depression 104 and the opening 170. Although not specifically shown in FIGS. 13 and 14, it should be understood that the conductive leads are bent as they pass through the body of the carrier 100. This is formed for two reasons. First, by bending the conductive leads, one end of the leads is placed in a specific position in the substrate that fits into the opening while the other ends of the three leads are attached to external components. Placement in the proper position with respect to is realized. Moreover, the two-step bend provided in the leads creates a serpentine path along which liquid does not easily pass into the interface between the metal leads and the plastic body of the carrier 100. Additional sealing means are provided. Continuing to refer to FIG. 14, the upward movement of the magnet 24 shown in FIG. 14 into the recess 104 causes the deformable rib 120 to deform. Further, the flexible wall 122 can bend into the opening 170 to provide a compressive force to the magnet in the leftward direction of FIG. The connection between the deformable rib 120 and the flexible wall 122 holds the magnet in place when the external force is removed. This type of magnet deactivation ensures that the magnet is held exactly in its position it was in when it was removed. FIG. 15 shows a bottom view of the present invention shown in FIG. Although the relative positions of the conductive leads 130, 132 and 134 are shown in this figure, the relative positions of the plastic pegs 141 and 142 are also shown. FIG. 16 shows a schematic diagram of the sensor arrangement 10 and the magnet 24. The intent of FIG. 16 is to show the importance of ensuring that the magnet 24 moves along the preselected axis 200. Ribs 110-113 are provided in the indentation 104 to ensure such proper movement. If the magnet 24 does not move in the direction represented by the arrow on the magnet of FIG. 16, then the desired effect on the output signal from the bridge formed by the magnetoresistive elements 14, 16, 18 and 20 is not achieved. become. The four ribs provided in the carrier recess 104 are means for guiding the magnet in these appropriate directions along the preselected axis 200. FIG. 17 is a diagram schematically showing a curve representing the output signal V _SIGN _AL which is the output from the bridge shown in FIG. 4 and described above. Since many magnetic sensors provide a digital output, suitable circuitry is provided to switch from a high signal to a low signal when the output signal 208 from the bridge crosses the zero reference line and vice versa. Ideally, the signal reference line 210 could be used for this purpose. However, due to the presence of electrical noise in most systems, hysteresis is created to produce proper signal switching. In the typical case, the upper threshold 220 and the lower threshold 222 are provided above and below the reference value 210. The digital output signal 230 switches from high to low when the signal 208 crosses the lower threshold 222, as indicated by point P1. When the signal 208 from the bridge rises and crosses the upper threshold 220 at point P2, the digital output signal 240 changes from a low state to a high state. As the signal 208 continues to change above and below the threshold, the digital output signal also changes. As can be seen in FIG. 17, the low state of the signal is achieved by the crossing of the lower threshold 222 at point P3 and the crossing of the upper threshold 220 at point P4. The high state is achieved again. Eventually, the signal 208 crosses the lower threshold 222 at point P5, so that the low state of the digital output signal is again achieved. With continued reference to FIG. 17, proper vertical positioning of the signal 208 with respect to the reference value 210 and the upper and lower thresholds 220 and 222 is due to the offset formed by the position of the magnet 24 relative to the magnetically sensitive component. Together, it should be understood that it is a function of the circuit's zero offset. FIG. 18 is a diagram further schematically showing the signal 208. Signal 208 is the output V _SIGANL of the bridge of FIG. 4 as a function of linear position along the target 68 shown in FIG. When the magnet 24 moves along the preselected axis 200 in response to an external force F, it changes the output signal from the bridge from what is shown at 208 in Figure 18 to what is shown at 208 '. be able to. Therefore, it is possible to change the instantaneous value of the output voltage from the bridge by moving the magnet 24 along the preselected axis 200. In other words, depending on the direction in which the magnet 24 moves, the instantaneous output signal from the bridge can be changed from the position indicated by P6 in FIG. 18 to the position indicated by P7. FIG. 18 is not intended to represent the precise value of the change in signal V _SIGANL , but the relative change that can be achieved by moving magnet 24 relative to the magnetically sensitive component. The type is indicated. The present invention allows the magnet to move in this manner and provides a means for accurately holding the magnet in its position when external forces are removed. If it is necessary to provide a phase shift in the calibration procedure, the relative starting positions of the magnetic sensor and the target can be changed. The effect on signal 208 of slightly moving target 68 in the direction along its longitudinal axis can be seen clearly in FIG. In other words, the output signal can be changed before adjusting the magnet 24 to the magnetically sensitive component. FIG. 20 shows a magnetic sensor made in accordance with the present invention after being encapsulated in a plastic overmolded body. In other words, the carrier 100 is firmly attached to the substrate 140 and the magnet 24 is inserted to its calibrated depth within the recess 104 and the digital output of the circuit is monitored to place the magnet 24 in its proper position and defined by the deformable rib 120. After confirming that it has been held in place, the entire assembly can be overmolded using well known techniques. In that case, the magnet is held in its calibrated position by the thermosetting epoxy compound used to overmold the magnetic sensor. The structure provided by the invention makes it possible to carry out a calibration procedure in a way that would not otherwise be possible. Such a calibration procedure is described below in relation to the various components and calibrations discussed above. In order to obtain many accurate sensor characteristics in magnetic sensors, it is generally necessary to make fine adjustments. The adjustment of the magnetoresistive sensor bridge is done almost directly by moving the magnet relative to the magnetoresistive bridge. Since the magnetoresistive bridge is extremely sensitive and its output is measured in millivolts, the precise position of the magnet is very important when high accuracy is required to be achieved. To achieve this type of calibration of the magnetic sensor, in which case a calibration fit is provided between the magnet 24 and the carrier 100 and a thermoset overmold is also used in order to ensure that the calibration result remains unchanged. It As an initial step, a mold containing a magnetoresistive bridge is molded into an integrated circuit package. This package is shown attached to a substrate 140 in FIG. The package includes a sensor configuration 10. The integrated circuit package is then soldered along with other components and leads to a printed circuit board, such as board 140, to form the required sensor circuits. The particular type of sensor circuit used in any particular application of the present invention is not limited to the present invention. A molded thermoplastic carrier 100 is provided for accurate positioning of the magnet and the substrate 140. The substrate 140 is then rigidly attached to the surface of the carrier, such as by heat staking a plastic peg through the opening in the substrate. This ensures that the substrate 140 does not tilt or rotate, or otherwise move during subsequent processing or overmolding steps. The necessary sensor connections are then made by soldering the conductors to the board. The assembly is placed in a fixture with the transition portion of the target 68 positioned at the desired point for the sensor to provide the transition signal. This targeting mechanism is the transition between the tooth and space on both parallel tracks. As discussed above in connection with FIG. 18, the targeting mechanism can be positioned slightly off center to address the known hysteresis of the sensor. The carrier comprises an indentation 104 that is slightly larger than the size of the magnet 24. Within the recess 104 is at least one deformable rib 120 made of a thermoplastic material. When the magnet 24 is inserted into the recess 104, the deformable rib 120 is crushed or sheared. This deformation of the ribs makes it possible to control the interference fit between the recess and the magnet 24. To assist in forming this interference fit, at least one flexible wall 122 may be provided to assist the deformable ribs 120 and thereby bend the wall outward for insertion of the magnet 24. It becomes possible to prevent any force on the substrate in response. The magnet is inserted into the recess and slowly seated in the carrier by using a fine threaded linear spiral drive that exerts an external force F. The digital output of the sensor is continuously monitored as the magnet 24 is moved into the recess 104. When the sensor achieves the desired output, it stops moving the magnet further into the recess 104 and removes the external force. The action of the combination of the deformable rib 120 and the flexible wall 122 locks the magnet 24 in place. The locating core pins in the two holes in the carrier 100 can then be used to insert the assembly into the thermoset mold and hold it in place. These two holes, one of which is identified by reference numeral 160, are shown in FIG. A thermosetting epoxy material coats the assembly, which allows the bridge and magnet to be totally encapsulated. This permanently seals the magnet, the magnetically sensitive component, the substrate and the carrier together. The pins should be recessed after curing a sufficient amount of the thermosetting material to hold the insert assembly in place, which can be done by those skilled in the art before the thermosetting material is fully cured. It needs to be done in a known manner. This allows the thermoset epoxy material to be backfilled where the core pins were. The thermoset thin-walled portion in the area away from the core pin facilitates faster material cure in that area and allows the pin to collapse faster. The fastening of the printed circuit board and magnet to the insert need only be strong enough to ensure that these components do not move during processing and overmolding procedures. The present invention allows the use of matched bridges and circuits of integral design, either by adjusting the bridge or adjusting the offset of the circuit, in the calibration process. This is accomplished by testing the IC prior to encapsulation in a component such as that shown at 10 in FIG. The IC requires only three output pins. These output pins are the supply connection, the negative connection and the digital output connection. Calibration equipment is provided to move the magnet 24 relative to the magnetically sensitive components until the state of the digital output of the sensor switches. The target 68 is used in conjunction with the equipment to place the sensor in a position where the magnetically sensitive components are in close proximity to the transition between the target tooth and interstitial space. Since the trigger circuit generally uses a finite hysteresis similar to that used in magnetic sensors, this scheme can lead to errors in edge accuracy and repeatability. Due to the hysteresis described above in connection with FIG. 17, the magnet 24 will not be perfectly tuned to the exact circuit zero value, which is expected to work before the digital output reaches the actual zero value. It depends on what is done. In other words, the digital output will change state when the signal 208 passes the nearest threshold. By placing their complementary targets at or beyond the maximum air gap to achieve higher adjustment resolution, these end repeatability and accuracy errors can be reduced. This is primarily because the slope of the bridge output will be more flat if the air gap between the tip of the sensor and the target 68 is farther apart. If an end repeatability error occurs because it is adjusted to a value outside the acceptable range, the complementary target 68 can be adjusted in its shorter width direction. In other words, the magnetoresistive bridge can be moved towards one of the two target tracks. Doing this may cause the IC circuit to operate faster or slower than the threshold depending on the target axis position during magnetic calibration. The target 68 can be moved longitudinally if the end accuracy also needs to be adjusted. This adjustment causes a phase shift at the bridge output, as described above in connection with FIG. This type of adjustment causes a phase shift in the bridge output, which directly affects the end accuracy during calibration. In summary, the magnetic sensor is placed close to the transition area of the target 68 between the teeth and grooves of both target tracks. Depending on the particular properties to be achieved, prior to adjusting the magnet 24 with respect to the carrier 100 and the magnetically sensitive components, the target 68 may be set longitudinally as shown in FIG. 19 or as shown in FIG. Can be moved to its width. The sensor can then be securely mounted in place with respect to the target 68 and the magnet 24 can be pushed into the recess 104 in response to an external force until the state of the digital output signal changes. As the state of the output signal changes, the external force is immediately removed, holding the magnet 24 in its correct position within the recess 104. The magnet remains in this position until overmolding the entire assembly as described above. The calibration procedure according to the invention is carried out in a single step process. Only supply, negative and output signals are required for use during calibration. No additional buffering is required to isolate the bridge from the calibration circuit and the exposed bridge output antenna of the sensor is not exposed to the outside world. As a result, susceptibility to EMI and RFI is reduced. The calibration cycle time is significantly reduced as it is not necessary to monitor the actual analog output signal V _{SIGNAL as} is the case with conventional calibration schemes. The digital output signal from the sensor can be used by the sensor itself to trigger the system and stop the movement of the magnet relative to the carrier 100. Since a digital output signal is used, the voltage level is much higher than the millivolt level bridge output and the signal to noise ratio (S / N ratio) is greatly improved. When the output switches from the supply voltage to ground, it indicates a calibration match. The calibration scheme according to the invention also has the ability to actually adjust the zero value of the magnetic bridge to the exact zero crossing to dissipate the presence of circuit hysteresis. This is done by adjusting the starting position of the target 68 with respect to the sensor before moving the magnet 24 relative to the housing (carrier) 100. Moreover, the calibration scheme according to the invention also has the function of adjusting the zero value of the magnetic bridge with respect to the fixed circuit operating point in order to address the specific application. In other words, for applications where the negative end transition of the output signal needs to be more accurate than the positive end transition, the zero value of the magnetic bridge can be adjusted to bias it towards the negative threshold. It is possible. To achieve this, it is not necessary to change the circuit threshold adjustment.

【手続補正書】【提出日】１９９６年９月１８日【補正内容】請求の範囲１．磁気センサの較正方法であって、担体を用意する段階と、前記担体内にくぼみを形成する段階と、磁気感応構成要素を基板に取り付ける段階と、前記基板を担体に取り付ける段階と、前記磁気感応構成要素の検出域内に目標を配置する段階と、磁石を前記くぼみに挿入する段階と、前記磁石に対して力を与えて前記磁石を前記くぼみに押し込む段階と、前記磁気感応構成要素からの予め選定された信号を監視する段階と、前記の予め選定された信号の所定の状態が検出されたときに前記力を除去し、かつ前記力を除去したときに前記磁石を前記くぼみ内の所定の位置に保持する抵抗要素を形成させる段階とを含む方法。２．前記磁石を前記くぼみに押し込む際に前記磁石の位置合せを制御するために複数の案内リブを用意する段階とを含む請求項１に記載の方法。３前記くぼみの可とう性壁を形成する段階を含む請求項１に記載の方法。４．磁気センサの較正方法であって、担体を用意する段階と、前記担体内にくぼみを形成する段階と、磁気感応構成要素を基板に取り付ける段階と、前記基板を担体に取り付ける段階と、前記磁気感応構成要素の検出域内に目標を配置する段階と、磁石を前記くぼみに挿入する段階と、前記磁石に対して力を与えて前記磁石を前記くぼみに押し込む段階と、前記磁気感応構成要素からの予め選定された信号を監視する段階と、前記の予め選定された信号の所定の状態が検出されたときに前記力を除去する段階と、前記力を除去したときに前記磁石を前記くぼみ内の所定の位置に保持する抵抗要素を形成させる段階と、前記磁石を前記くぼみに押し込む際に前記磁石の位置合せを制御するために複数の案内リブを形成させる段階とを含む方法。５．前記くぼみの可とう性壁を形成する段階を含む請求項８に記載の方法。６．磁気センサの較正方法であって、担体を用意する段階と、前記担体内にくぼみを形成する段階と、磁気感応構成要素を基板に取り付ける段階と、前記基板を担体に取り付ける段階と、前記磁気感応構成要素の検出域内に目標を配置する段階と、磁石を前記くぼみに挿入する段階と、前記磁石に対して力を与えて前記磁石を前記くぼみに押し込む段階と、前記磁気感応構成要素からの予め選定された信号を監視する段階と、前記の予め選定された信号の所定の状態が検出されたときに前記力を除去する段階と、前記力を除去する際に前記磁石を前記くぼみ内の所定の位置に保持する抵抗要素を形成させる段階と、前記磁石を前記くぼみに押し込む際に前記磁石の位置合せを制御するために複数の案内リブを形成させる段階と、前記くぼみの可とう性壁を形成させる段階とを含む方法。[Procedure amendment] [Submission date] September 18, 1996 [Correction contents] The scope of the claims 1. A method of calibrating a magnetic sensor, comprising: Providing a carrier, Forming a depression in the carrier, Attaching the magnetically sensitive component to the substrate; Attaching the substrate to a carrier, Placing a target in the detection zone of the magnetically sensitive component; Inserting a magnet into the recess; Applying force to the magnet to force the magnet into the recess; Monitoring a preselected signal from the magnetically sensitive component; Removing the force when a predetermined condition of the preselected signal is detected, And A resistance that holds the magnet in place within the recess when the force is removed. The stages of forming elements Including the method. 2. To control the alignment of the magnet as it is pushed into the recess Providing a plurality of guide ribs. 3. The method of claim 1 including the step of forming a flexible wall of said depression. 4. A method of calibrating a magnetic sensor, comprising: Providing a carrier, Forming a depression in the carrier, Attaching the magnetically sensitive component to the substrate; Attaching the substrate to a carrier, Placing a target in the detection zone of the magnetically sensitive component; Inserting a magnet into the recess; Applying force to the magnet to force the magnet into the recess; Monitoring a preselected signal from the magnetically sensitive component; Remove the force when a predetermined condition of the preselected signal is detected Stages and A resistance that holds the magnet in place within the recess when the force is removed. Forming elements, To control the alignment of the magnets when pushing the magnets into the depressions, Forming a number of guide ribs. 5. 9. The method of claim 8 including the step of forming a flexible wall of the depression. 6. A method of calibrating a magnetic sensor, comprising: Providing a carrier, Forming a depression in the carrier, Attaching the magnetically sensitive component to the substrate; Attaching the substrate to a carrier, Placing a target in the detection zone of the magnetically sensitive component; Inserting a magnet into the recess; Applying force to the magnet to force the magnet into the recess; Monitoring a preselected signal from the magnetically sensitive component; Remove the force when a predetermined condition of the preselected signal is detected Stages and A resistive element that holds the magnet in place within the recess when removing the force. The step of forming the element, To control the alignment of the magnets when pushing the magnets into the depressions, Forming a number of guide ribs, Forming a flexible wall of the depression.

Claims

[Claims] 1. A method of calibrating a magnetic sensor, comprising: Providing a carrier, Forming a depression in the carrier, Attaching the magnetically sensitive component to the substrate; Attaching the substrate to a carrier, Placing a target in the detection zone of the magnetically sensitive component; Inserting a magnet into the recess; Applying force to the magnet to force the magnet into the recess; Monitoring a preselected signal from the magnetically sensitive component; Removing the force when a predetermined condition of the preselected signal is detected, And A resistance that holds the magnet in place within the recess when the force is removed. The stages of forming elements Including the method. 2. To control the alignment of the magnet as it is pushed into the recess Providing a plurality of guide ribs. 3. The target placement step is close to the target transition region between the teeth and the space between the teeth. The method of claim 1, including the step of disposing the magnetically sensitive component. How to list. 4. The method of claim 1, including the step of forming a flexible wall of the depression. 5. 2. The preselected signal is a digital signal. The method described in. 6. The method of claim 1, wherein the sensor is a gear sensor. 7. The magnetic sensitive component is a magnetoresistive element according to claim 1. the method of. 8. A method of calibrating a magnetic sensor, comprising: Providing a carrier, Forming a depression in the carrier, Attaching the magnetically sensitive component to the substrate; Attaching the substrate to a carrier, Placing a target in the detection zone of the magnetically sensitive component; Inserting a magnet into the recess; Applying force to the magnet to force the magnet into the recess; Monitoring a preselected signal from the magnetically sensitive component; Remove the force when a predetermined condition of the preselected signal is detected Stages and A resistance that holds the magnet in place within the recess when the force is removed. Forming elements, To control the alignment of the magnets when pushing the magnets into the depressions, Forming a number of guide ribs. 9. The target placement step is close to the target transition region between the teeth and the space between the teeth. 9. The method of claim 8 including the step of disposing the magnetically sensitive component. How to list. 10. The method of claim 8 including the step of forming a flexible wall of the depression. 11. 7. The preselected signal is a digital signal. 9. The method according to 8. 12. The method of claim 8, wherein the sensor is a gear sensor. 13. 9. The magnetic recording medium according to claim 8, wherein the magnetically sensitive component is a magnetic resistor. How to list. 14． A method of calibrating a magnetic sensor, comprising: Providing a carrier, Forming a depression in the carrier, Attaching the magnetically sensitive component to the substrate; Attaching the substrate to a carrier, Placing a target in the detection zone of the magnetically sensitive component; Inserting a magnet into the recess; Applying force to the magnet to force the magnet into the recess; Monitoring a preselected signal from the magnetically sensitive component; Remove the force when a predetermined condition of the preselected signal is detected Stages and A resistive element that holds the magnet in place within the recess when removing the force. The step of forming the element, To control the alignment of the magnets when pushing the magnets into the depressions, Forming a number of guide ribs, Forming a flexible wall of the depression. 15. The target placement step approaches the target transition region between the teeth and the space between the teeth. 15. Placing the magnetically sensitive components in contact. The method described in. 16. 7. The preselected signal is a digital signal. 14. The method according to 14. 17． 15. The method of claim 14, wherein the sensor is a gear sensor. . 18. 15. The magnetic sensitive component of claim 14, wherein the magnetic sensitive component is a magnetoresistor. The described method.