JPH0934552A - Mobile object controller, position detection device, mobile object device and their control method - Google Patents

Mobile object controller, position detection device, mobile object device and their control method

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JPH0934552A
JPH0934552A JP18133195A JP18133195A JPH0934552A JP H0934552 A JPH0934552 A JP H0934552A JP 18133195 A JP18133195 A JP 18133195A JP 18133195 A JP18133195 A JP 18133195A JP H0934552 A JPH0934552 A JP H0934552A
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imaging
moving
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禎ニ 逢坂
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To detect the position of a work piece with high accuracy by detecting the position information on the work out of the images which are photographed by the image pickup devices having the limited resolution. SOLUTION: A part (view field 30 of CCD camera) showing the features of the shape of a work and other parts (view field 31 of CCD camera) of the work are photographed by two CCD cameras which are fixed on the ground. The position relations are previously measured (X0, Y0) among two CCD cameras, a scale 7 and the standard marks 25 and 26 put on the scale 7. A corner C1 is set (X1, Y1) on the basis of the mark 25, and a corner C2 is set (X2, Y2) on the basis of the mark 26 respectively. Then the final target position of the corner C1 is set (X10, Y10). The position (X1, Y1) of the work and the tilt angle θ of a chip set against an axis X are detected based on the position data which are previously measured and also the data on two images which are photographed by both CCD cameras.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、代表的な撮像装置
であるCCDカメラ等を使用した画像処理により、ワー
クの位置情報を検出し、ワークをベース部材に位置決め
する移動体及びその制御方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a moving body for detecting position information of a work by image processing using a CCD camera, which is a typical image pickup device, and positioning the work on a base member, and a control method thereof. .

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、10mm角程度のチップをベース
部材に位置決めする場合、1台のCCDカメラが撮像し
た1つの視野を画像処理し、CCDカメラの視野に対す
るチップの位置情報X,Y,θを求め、その値に従って
X軸、Y軸、θ軸をそれぞれ補正動作させて必要な精度
を得ていた。このような方法として、例えば特開平3−
228591号等の提案がなされている。
2. Description of the Related Art Conventionally, when positioning a chip of about 10 mm square on a base member, image processing is performed on one field of view picked up by one CCD camera, and position information X, Y, θ of the chip with respect to the field of view of the CCD camera. Was calculated, and the X-axis, Y-axis, and θ-axis were respectively corrected according to the value to obtain the required accuracy. As such a method, for example, JP-A-3-
Proposals such as No. 228591 have been made.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
従来の方法は、チップをベース部材に対し±1μm程度
の精度で位置決めするためには、X軸に対するチップの
傾き角θの測定精度として少なくとも(1)式程度の値
が必要とされる。(尚、以下A∧Bは、AのB乗を意味
する。) (1μm/10mm)rad=1×10∧−4rad ・・・・・・(1) しかし、一般的なCCDカメラでは、縦横の画素の数が
それぞれ500程度であり、得られる測定精度は、
(2)式程度でしかない。 (1/500)rad≒20×10∧−4rad ・・・・・・・(2) 図5は、従来例1としてチップを1台のCCDカメラで
撮像した場合の視野を表わす図である。
However, according to the above-mentioned conventional method, in order to position the chip with respect to the base member with an accuracy of about ± 1 μm, at least the measurement accuracy of the tilt angle θ of the chip with respect to the X axis is ( A value of the order of 1) is required. (Hereinafter, A∧B means A to the Bth power.) (1 μm / 10 mm) rad = 1 × 10∧-4 rad (1) However, in a general CCD camera, The number of pixels of each is about 500, and the obtained measurement accuracy is
It is only about the formula (2). (1/500) rad≉20 × 10∧-4 rad (2) FIG. 5 is a diagram showing a field of view when a chip is imaged by one CCD camera as the conventional example 1.

【0004】図5のように、CCDカメラの視野の領域
内にチップ全体を納めた場合、(2)式の測定精度では
不十分となる。
As shown in FIG. 5, when the entire chip is placed within the field of view of the CCD camera, the measurement accuracy of the formula (2) is insufficient.

【0005】図6は、従来例1としてチップを1台のC
CDカメラで撮像した場合の視野を表わす図である。
FIG. 6 shows a C having one chip as a conventional example 1.
It is a figure showing the visual field at the time of picturizing with a CD camera.

【0006】図6のように、CCDカメラの視野の領域
内にチップの一部を納めた場合、CCDカメラの画素数
に対するθの測定精度は図4の場合より高くなる。しか
し、今度はチップ全体を捉えられないことによる問題が
場合により生じることがある。
As shown in FIG. 6, when a part of the chip is placed in the field of view of the CCD camera, the measurement accuracy of θ with respect to the number of pixels of the CCD camera is higher than that in FIG. However, this may occasionally cause problems due to the inability to capture the entire chip.

【0007】また、複数個のチップを±1μm程度の高
精度なピッチでベース部材に貼りつける際、ベース部材
を搭載し、移動させる移動体を使用する場合は、その移
動体の位置情報についても同程度の精度で測定する必要
がある。そのためには、レーザ測長器などの高価な測定
器が必要となりコストアップの要因となる。またレーザ
測長器は、気圧などの影響も受けるので、移動体の位置
情報の算出が複雑となるという欠点もあった。
Further, when a plurality of chips are attached to a base member at a highly accurate pitch of about ± 1 μm, when using a moving body that mounts and moves the base member, the positional information of the moving body is also used. It is necessary to measure with the same accuracy. For that purpose, an expensive measuring device such as a laser length measuring device is required, which causes a cost increase. In addition, the laser length measuring device is also affected by atmospheric pressure and the like, so that there is a drawback that calculation of position information of the moving body becomes complicated.

【0008】更に、一般的な移動体では、100mm程
度移動させた場合、移動方向と直交する方向へのヨーイ
ングにより、数μm程度動いてしまいため、±1μm程
度の高精度を実現し、2次元の動作系で位置決めするの
は困難であった。
Further, in a general moving body, when it is moved about 100 mm, it moves about several μm due to yawing in a direction orthogonal to the moving direction, so that a high accuracy of about ± 1 μm is realized and two-dimensional movement is realized. However, it was difficult to position it with the motion system.

【0009】そこで本発明の目的は、解像度が限られた
撮像装置で撮像した画像から、ワークの位置情報を検出
し、高精度な位置検出を行なうことである。
Therefore, an object of the present invention is to detect position information of a work from an image picked up by an image pickup device having a limited resolution and to perform highly accurate position detection.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めの本発明の構成として、請求項1は、ワークを撮像し
た画像データに基づいて、そのワークを目標位置へ移動
させる移動体の制御装置において、前記ワークの形状の
特徴を表わす1つ以上の部分を撮像した第1の画像デー
タを入力する入力手段と、前記ワークの形状の特徴を表
わす1つ以上の他の部分を撮像した第2の画像データを
入力する入力手段と、前記第1及び第2の画像データに
常に含まれるような1つ以上の基準点の位置、そしてそ
の基準点と前記目標位置との関係を示す位置データを予
め入力する入力手段と、その入力された位置データと、
前記第1及び第2の画像データに基づいて前記ワークの
前記目標位置までの移動量を算出する算出手段を備えた
ことを特徴とする移動体の制御装置である。
As a constitution of the present invention for achieving the above-mentioned object, the first aspect of the present invention is to control a moving body for moving a work to a target position based on image data obtained by picking up the work. In the apparatus, input means for inputting first image data, which is an image of one or more portions representing the shape feature of the work, and one or more other portions, which are image representing the shape feature of the work, are imaged. Input means for inputting the second image data, position data of one or more reference points that are always included in the first and second image data, and position data indicating the relationship between the reference points and the target position. Input means for inputting in advance, and the input position data,
It is a control device for a moving body, comprising a calculating means for calculating a movement amount of the work to the target position based on the first and second image data.

【0011】画像データの入力手段が2つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
Since there are two image data input means, highly accurate measurement is realized without being limited by the limited resolution of the image data. Furthermore, since the relationship between the reference point and the target position is input in advance, accurate position detection can be performed even if the entire work cannot fit within the image data area.

【0012】請求項2の前記ワークは、矩形物体であ
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項1記載の
移動体の制御装置である。
2. The control of the moving body according to claim 1, wherein the work in claim 2 is a rectangular object, and the corner portions of the end portions are used as the portions which represent the shape characteristics of the rectangular object. It is a device.

【0013】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
By using the most characteristic part, the structure of image processing can be made relatively simple.

【0014】請求項3は、物体を撮像する撮像手段と、
その撮像した画像を処理する画像処理手段と、それによ
り得た画像データに基づいて物体の位置を検出する検出
手段を備えた位置検出装置において、前記物体の形状の
特徴を表わす1つ以上の部分を撮像する第1の撮像手段
と、前記物体の形状の特徴を表わす1つ以上の他の部分
を撮像する第2の撮像手段と、前記第1及び第2の撮像
手段により得られる2つの画像データに、常に含まれる
ような1つ以上の基準点の位置、そしてその基準点と前
記目標位置との関係を示す位置データを予め入力する入
力手段と、その入力された位置データと、前記2つの画
像データに基づいて前記物体の位置を検出する検出手段
を備えたことを特徴とする位置検出装置である。
A third aspect of the present invention is an image pickup means for picking up an image of an object,
In a position detecting device equipped with an image processing means for processing the captured image and a detecting means for detecting the position of the object based on the image data obtained by the image processing means, one or more parts representing the characteristics of the shape of the object. A first image pickup means for picking up an image of the object, a second image pickup means for picking up one or more other portions representing the characteristic of the shape of the object, and two images obtained by the first and second image pickup means. Input means for previously inputting the position of one or more reference points that are always included in the data and position data indicating the relationship between the reference point and the target position; the input position data; A position detecting device comprising a detecting means for detecting the position of the object based on one image data.

【0015】画像データの入力手段が2つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
Since there are two image data input means, highly accurate measurement can be realized without being limited by the limited resolution of the image data. Furthermore, since the relationship between the reference point and the target position is input in advance, accurate position detection can be performed even if the entire work cannot fit within the image data area.

【0016】請求項4の前記物体は、矩形物体であり、
その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角
の部分を使用することを特徴とする請求項3記載の位置
検出装置である。
The object of claim 4 is a rectangular object,
4. The position detecting device according to claim 3, wherein the corner portions of the end portions are used as the portions representing the shape characteristics of the rectangular object.

【0017】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
By using the most characteristic portion, the structure of image processing can be made relatively simple.

【0018】請求項5は、第1及び第2のワークを撮像
する撮像手段と、その撮像した画像を処理する画像処理
手段と、それにより得た画像データに基づいて前記第1
及び第2のワークの位置を検出する検出手段と、検出し
た前記第1及び第2のワークの位置に基づいて、前記第
2のワーク上の目標位置に前記第1のワークを移動させ
る移動手段を備えた移動体装置において、前記第1のワ
ークの形状の特徴を表わす1つ以上の部分を撮像する第
1の撮像手段と、前記第1のワークの形状の特徴を表わ
す1つ以上の他の部分を撮像する第2の撮像手段と、前
記第1及び第2の撮像手段により得られる2つの画像デ
ータに、常に含まれるような1つ以上の基準点の位置、
そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位置デ
ータを予め入力する入力手段と、その入力された位置デ
ータと、前記2つの画像データに基づいて前記第1及び
第2のワークの位置を検出する検出手段を備えたことを
特徴とする移動体装置である。
According to a fifth aspect of the present invention, image pickup means for picking up the first and second workpieces, image processing means for processing the picked-up images, and the first data based on the image data obtained by the image processing means.
And a detecting means for detecting the position of the second work, and a moving means for moving the first work to a target position on the second work based on the detected positions of the first and second work. A moving body apparatus including: a first imaging means for imaging one or more portions representing the shape feature of the first work; and one or more others representing the shape feature of the first work. A second image pickup means for picking up an image of a portion of the above, and the positions of one or more reference points that are always included in the two image data obtained by the first and second image pickup means,
Then, the input means for previously inputting position data indicating the relationship between the reference point and the target position, the input position data, and the positions of the first and second works based on the two image data. A mobile device comprising a detection means for detecting.

【0019】画像データの入力手段が2つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
Since there are two image data input means, highly accurate measurement can be realized without being limited by the limited resolution of the image data. Furthermore, since the relationship between the reference point and the target position is input in advance, accurate position detection can be performed even if the entire work cannot fit within the image data area.

【0020】請求項6の前記第1のワークは、矩形物体
であり、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として
端部の角の部分を使用することを特徴とする請求項5記
載の移動体装置である。
The movement according to claim 5, wherein the first work of claim 6 is a rectangular object, and the corner portions of the end portions are used as the portions that represent the characteristics of the shape of the rectangular object. It is a body device.

【0021】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
By using the most characteristic part, the structure of image processing can be made relatively simple.

【0022】請求項7は、前記移動手段として、前記第
1のワークを移動させる第1の移動手段と、前記第2の
ワークを移動させる第2の移動手段との2つの移動手段
を備えたことを特徴とする請求項5記載の移動体装置で
ある。
According to a seventh aspect of the present invention, the moving means includes two moving means, a first moving means for moving the first work and a second moving means for moving the second work. The mobile device according to claim 5, wherein:

【0023】これにより、複数の第1のワークを同一の
第2のワークに並べて位置決めすることが容易に実現で
きた。
As a result, it was possible to easily realize the positioning of the plurality of first works arranged side by side on the same second work.

【0024】請求項8の前記第1及び第2の撮像手段
は、大地又は空間で固定され移動しないことを特徴とす
る請求項5記載の移動体装置である。
A mobile device according to claim 5, wherein the first and second image pickup means of claim 8 are fixed on the ground or space and do not move.

【0025】位置決めの基準を確保したことにより、第
2のワークの移動による振動や撮像手段の移動に伴うヨ
ーイング等による画像のふらつきを容易に防止できた。
By securing the reference for positioning, it is possible to easily prevent the image from fluctuating due to the vibration caused by the movement of the second workpiece and the yawing accompanying the movement of the image pickup means.

【0026】同目的を達成するための本発明の他の構成
として、請求項9は、ワークを撮像した画像データに基
づいて、そのワークを目標位置へ移動させる移動体の制
御装置の制御方法において、前記ワークの形状の特徴を
表わす1つ以上の部分を撮像した第1の画像データを入
力し、前記ワークの形状の特徴を表わす1つ以上の他の
部分を撮像した第2の画像データを入力し、前記第1及
び第2の画像データに常に含まれるような1つ以上の基
準点の位置、そしてその基準点と前記目標位置との関係
を示す位置データを予め入力し、その入力された位置デ
ータと、前記第1及び第2の画像データに基づいて前記
ワークの前記目標位置までの移動量を算出することを特
徴とする移動体の制御装置の制御方法である。
As another configuration of the present invention for achieving the same object, claim 9 relates to a control method of a control device for a moving body, which moves a work to a target position based on image data obtained by picking up the work. , Inputting first image data obtained by imaging one or more portions representing the shape feature of the work, and obtaining second image data obtained by imaging one or more other portions representing the feature of the work shape. The position data of one or more reference points that are always included in the first and second image data and the position data indicating the relationship between the reference points and the target position are input in advance, and the position data is input. The control method of the control device for a moving body is characterized in that the moving amount of the workpiece to the target position is calculated based on the position data and the first and second image data.

【0027】画像データの入力手段が2つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
By using two image data input means, highly accurate measurement can be realized without being limited by the limited resolution of the image data. Furthermore, since the relationship between the reference point and the target position is input in advance, accurate position detection can be performed even if the entire work cannot fit within the image data area.

【0028】請求項10の前記ワークは、矩形物体であ
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項9記載の
移動体の制御装置の制御方法である。
10. The control of the moving body according to claim 9, wherein the work in claim 10 is a rectangular object, and the corner portions of the end portions are used as the portions representing the shape characteristics of the rectangular object. It is a method of controlling the device.

【0029】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
The configuration of image processing can be made relatively simple by using the most characteristic part.

【0030】請求項11は、物体を撮像し、その撮像し
た画像を処理し、それにより得た画像データに基づいて
物体の位置を検出する位置検出装置の制御方法におい
て、前記物体の形状の特徴を表わす1つ以上の部分を撮
像する第1の撮像工程と、前記物体の形状の特徴を表わ
す1つ以上の他の部分を撮像する第2の撮像工程と、前
記第1及び第2の撮像工程により得られる2つの画像デ
ータに、常に含まれるような1つ以上の基準点の位置、
そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位置デ
ータを予め入力する入力工程と、その入力された位置デ
ータと、前記2つの画像データに基づいて前記物体の位
置を検出する検出工程を特徴とする位置検出装置の制御
方法である。
According to an eleventh aspect of the present invention, there is provided a method for controlling a position detecting device, wherein an object is imaged, the imaged image is processed, and the position of the object is detected based on image data obtained thereby. , A first imaging step of imaging one or more portions representing the object, a second imaging step of imaging one or more other portions representing the shape feature of the object, and the first and second imaging The positions of one or more reference points that are always included in the two image data obtained by the process,
Then, an input step of previously inputting position data indicating the relationship between the reference point and the target position, and a detection step of detecting the position of the object based on the input position data and the two image data are characterized. Is a control method of the position detecting device.

【0031】画像データの入力手段が2つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
By using two image data input means, highly accurate measurement can be realized without being limited by the limited resolution of the image data. Furthermore, since the relationship between the reference point and the target position is input in advance, accurate position detection can be performed even if the entire work cannot fit within the image data area.

【0032】請求項12の前記物体は、矩形物体であ
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項11記載
の位置検出装置の制御方法である。
The position detecting apparatus according to claim 11, wherein the object of claim 12 is a rectangular object, and the corner portions of the end portions are used as the portions representing the shape characteristics of the rectangular object. It is a control method.

【0033】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
The configuration of image processing can be made relatively simple by using the most characteristic part.

【0034】請求項13は、第1及び第2のワークを撮
像し、その撮像した画像を処理し、それにより得た画像
データに基づいて前記第1及び第2のワークの位置を検
出し、検出した前記第1及び第2のワークの位置に基づ
いて、前記第2のワーク上の目標位置に前記第1のワー
クを移動させる移動体装置の制御方法において、前記第
1のワークの形状の特徴を表わす1つ以上の部分を撮像
する第1の撮像工程と、前記第1のワークの形状の特徴
を表わす1つ以上の他の部分を撮像する第2の撮像工程
と、前記第1及び第2の撮像工程により得られる2つの
画像データに、常に含まれるような1つ以上の基準点の
位置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す
位置データを予め入力する入力工程と、その入力された
位置データと、前記2つの画像データに基づいて前記第
1及び第2のワークの位置を検出する検出工程を備えた
ことを特徴とする移動体装置の制御方法である。
According to a thirteenth aspect, the first and second workpieces are imaged, the captured images are processed, and the positions of the first and second workpieces are detected based on the image data obtained thereby, In a control method of a moving body device for moving the first work to a target position on the second work based on the detected positions of the first and second works, the shape of the first work A first imaging step of imaging one or more portions representing features, a second imaging step of imaging one or more other portions representing features of the shape of the first workpiece, the first and the second An input step of previously inputting the positions of one or more reference points that are always included in the two image data obtained by the second imaging step, and position data indicating the relationship between the reference points and the target position; , Its input position data and previous Based on the two image data is a control method of the mobile device, characterized in that it comprises a detection step of detecting a position of said first and second workpiece.

【0035】画像データの入力手段が2つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
By using two image data input means, it is possible to realize high-precision measurement which is not limited by the limited resolution of the image data. Furthermore, since the relationship between the reference point and the target position is input in advance, accurate position detection can be performed even if the entire work cannot fit within the image data area.

【0036】請求項14の前記第1のワークは、矩形物
体であり、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分とし
て端部の角の部分を使用することを特徴とする請求項1
3記載の移動体装置の制御方法である。
The first work according to claim 14 is a rectangular object, and the corner portions of the end portions are used as the portions representing the characteristic features of the shape of the rectangular object.
3 is a method for controlling a mobile device according to item 3.

【0037】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
By using the most characteristic part, the image processing configuration can be made relatively simple.

【0038】請求項15は、前記第1のワークを移動さ
せる第1の移動工程と、前記第2のワークを移動させる
第2の移動工程との2つの移動工程を備えたことを特徴
とする請求項13記載の移動体装置の制御方法である。
A fifteenth aspect of the present invention is characterized by comprising two moving steps, a first moving step for moving the first work and a second moving step for moving the second work. A method of controlling a mobile device according to claim 13.

【0039】これにより、複数の第1のワークを同一の
第2のワークに並べて位置決めすることが容易に実現で
きた。
As a result, it was possible to easily realize the positioning of the plurality of first works arranged side by side on the same second work.

【0040】請求項16の前記第1及び第2の撮像工程
は、大地又は空間で固定して移動しないことを特徴とす
る請求項13記載の移動体装置の制御方法である。
The control method for a mobile device according to claim 13 is characterized in that the first and second imaging steps of claim 16 are fixed and not moved in the ground or space.

【0041】位置決めの基準を確保したことにより、第
2のワークの移動による振動や撮像手段の移動に伴うヨ
ーイング等による画像のふらつきを容易に防止できた。
By ensuring the positioning reference, it is possible to easily prevent the image from fluctuating due to the vibration caused by the movement of the second work and the yawing accompanying the movement of the image pickup means.

【0042】[0042]

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した一実施形
態を図面を参照して説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings.

【0043】はじめに、本発明を適用した移動体であ
り、ワークをベース部材に貼り合わせる装置について図
1〜図3を参照して説明する。
First, an apparatus for adhering a work to a base member, which is a moving body to which the present invention is applied, will be described with reference to FIGS.

【0044】図1は、本発明の一実施形態としてのチッ
プ貼り付け装置の構成の概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of the configuration of a chip attaching apparatus as an embodiment of the present invention.

【0045】図中、チップ貼り付け装置は、天井部のフ
ィンガ3、θステージ4、Yステージ5、そしてZステ
ージ6を備え、更に基部のXステージ9、CCDカメラ
10及びCCDカメラ11を備えており、ワークである
チップ1をベース部材2に順次張り付けるように制御装
置14によって制御されている。Xステージ9、Yステ
ージ5、及びZステージ6は、それぞれ直交した方向に
配置されている。
In the figure, the chip attaching apparatus is provided with a finger 3, a θ stage 4, a Y stage 5, and a Z stage 6 on the ceiling, and further an X stage 9, a CCD camera 10 and a CCD camera 11 on the base. The control device 14 controls the chip 1 which is a work to be sequentially attached to the base member 2. The X stage 9, the Y stage 5, and the Z stage 6 are arranged in directions orthogonal to each other.

【0046】天井部において、チップ1を保持するフィ
ンガ(バキュームフィンガ)3は、図1の前後方向であ
るY軸方向に移動可能なYステージ5、図1の上下方向
であるZ軸方向に移動可能なZステージ6、そしてYス
テージ5上でZ軸と平行な軸廻りに回転可能なθステー
ジ4により移動及び回転可能に取り付けられている。
In the ceiling part, the fingers (vacuum fingers) 3 holding the chip 1 are movable in the Y-axis direction 5 which is the front-back direction of FIG. 1, and in the Z-axis direction which is the vertical direction of FIG. It is mounted so as to be movable and rotatable by a possible Z stage 6 and a θ stage 4 which is rotatable around an axis parallel to the Z axis on the Y stage 5.

【0047】基部において、チップ1を貼り付けるベー
ス部材2は、図1の左右方向に移動可能なXステージ9
に移動可能に取り付けられている。
At the base, the base member 2 to which the chip 1 is attached is the X stage 9 which is movable in the left-right direction in FIG.
It is movably attached to

【0048】また、レンズ19及びレンズ20をそれぞ
れ有するCCDカメラ10及びCCDカメラ11は、そ
れぞれ撮像領域を照明するための不図示の照明装置を有
しており、反射光としてベース部材2やチップ1を撮像
する。尚、チップ1は、一方の端部がベース部材2の妻
面から飛び出す状態でベース部材2に貼り付けられるの
で、ベース部材2の下方にCCDカメラを設置すること
ができる。撮像された画像は、画像処理装置15、画像
処理装置16により2値化され、通信用インターフェー
ス8の通信手段を介して制御装置14に送られる。画像
処理装置15、画像処理装置16には、それぞれモニタ
17、モニタ18が接続されており、制御装置14には
CRT21、キーボード22が接続されており各装置の
プログラム、メンテナンス等に使用する。
Further, the CCD camera 10 and the CCD camera 11 each having the lens 19 and the lens 20 respectively have an illuminating device (not shown) for illuminating the image pickup area, and the base member 2 and the chip 1 as reflected light. Image. Since the chip 1 is attached to the base member 2 with one end protruding from the end face of the base member 2, the CCD camera can be installed below the base member 2. The captured image is binarized by the image processing device 15 and the image processing device 16, and is sent to the control device 14 via the communication means of the communication interface 8. A monitor 17 and a monitor 18 are connected to the image processing device 15 and the image processing device 16, respectively, and a CRT 21 and a keyboard 22 are connected to the control device 14, which are used for programs and maintenance of each device.

【0049】次に、CCDカメラが撮像した視野30及
び31、チップ1、そしてベース部材2の位置関係につ
いて図2及び図3を参照して説明する。
Next, the positional relationship among the visual fields 30 and 31, the chip 1, and the base member 2 imaged by the CCD camera will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

【0050】図2は、本発明の一実施形態としてのベー
ス部材周りの位置関係を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing the positional relationship around the base member as an embodiment of the present invention.

【0051】図中、30はCCDカメラ10が撮像した
視野、31はCCDカメラ11が撮像した視野である。
スケール7は、ガラス等の透明な材質であり、Xステー
ジ9上に搭載され、ベース部材2とともに移動可能であ
り、スケール7の下面には基準マーク25及び26がプ
ロットされている。尚、基準マークは、実際にはスケー
ル7上に等間隔にプロットされている。CCDカメラ1
0及び11は、チップ1の角の部分であるコーナーC1
及びC2、チップ1、そしてスケール7がそれぞれ1つ
の視野に入るように固定して配置する。制御装置14
は、基準マーク25及び26に基づいて算出するチップ
1の位置情報から、Yステージ5、θステージ4、Xス
テージ9、そしてZステージ6を制御する。更に実際に
は、図3の位置関係において処理を進める。
In the figure, 30 is a visual field imaged by the CCD camera 10, and 31 is a visual field imaged by the CCD camera 11.
The scale 7 is made of a transparent material such as glass, is mounted on the X stage 9 and is movable together with the base member 2, and the reference marks 25 and 26 are plotted on the lower surface of the scale 7. The reference marks are actually plotted on the scale 7 at equal intervals. CCD camera 1
0 and 11 are corners C1 which are the corners of chip 1.
, C2, chip 1, and scale 7 are fixedly arranged so that they are in one visual field. Control device 14
Controls the Y stage 5, the θ stage 4, the X stage 9, and the Z stage 6 based on the position information of the chip 1 calculated based on the reference marks 25 and 26. Further, in reality, the process proceeds in the positional relationship shown in FIG.

【0052】図3は、本発明の一実施形態としての2台
のCCDカメラの視野の位置関係を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing the positional relationship of the visual fields of two CCD cameras as one embodiment of the present invention.

【0053】図中、X0及びY0の値は、2台のCCD
カメラ、スケール7、スケール7上の基準マーク25及
び26の位置によるので予め測定しておく。コーナーC
1は、基準マーク25を基準に(X1,Y1)、そして
コーナーC2は、基準マーク26を基準に(X2,Y
2)とし、更にコーナーC1の最終目標位置は(X1
0,Y10)、X軸に対するチップの傾き角はθとす
る。
In the figure, the values of X0 and Y0 are two CCDs.
It is measured in advance because it depends on the position of the camera, the scale 7, and the reference marks 25 and 26 on the scale 7. Corner C
1 is based on the reference mark 25 (X1, Y1), and the corner C2 is based on the reference mark 26 (X2, Y1).
2), and the final target position of the corner C1 is (X1
0, Y10), and the tilt angle of the chip with respect to the X axis is θ.

【0054】次に、処理の流れについて図4を参照して
説明する。
Next, the flow of processing will be described with reference to FIG.

【0055】図4は、本発明の一実施形態としての位置
決め処理のフローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart of the positioning process as an embodiment of the present invention.

【0056】図中、ステップS1で、チップ1を把持し
たフィンガ3をCCDカメラのピントが合う位置までZ
方向に移動させる。次にステップS2で、制御装置14
から画像処理装置15に指令を送出し(X1,Y1)を算
出させ、結果を制御装置14に送信させる。同様にステ
ップS3で、画像処理装置16より(X2,Y2)を得
る。ステップS4では、θステージのずれ量Δθを算出
する。ここでΔθは、(3)式として算出可能である。 Δθ=arctan(Y0−Y1+Y2/X0−X1+X2) ・・(3) ステップS4では、このΔθの値が所定の角度範囲内か
どうかを比較し、NOであればステップS6でθステー
ジ4を補正動作を行い、再度ステップS2及びステップ
S3に戻る。一方、YESであれば、ステップS7で、
Xステージ9、Yステージ5の移動量ΔX,ΔYを算出
する。ここで、チップのコーナC1の位置を基準マーク
25に対して(X10,Y10)に位置決めする際、Δ
X,ΔYは、 ΔX=X10−X1 ΔY=Y10−Y1 で算出できる。ステップS8で、求めたΔX,ΔYが、
所定の値の範囲内かどうかを比較し、NOであれば、ス
テップS9でXステージ9、Yステージ5を補正動作さ
せ再度確認のため、ステップS2及びS3に戻る。YE
Sであれば、ステップS10でフィンガ3をベース部材
2の位置までZステージ6により下降させ、ステップS
11でベース部材2にチップ1を接着し、ステップS1
2でフィンガ3のみ上昇させ一連の動作を終了させる。
In the figure, in step S1, the finger 3 holding the chip 1 is moved to the position where the CCD camera is in focus.
Move in the direction. Next, in step S2, the control device 14
To send an instruction to the image processing device 15 to calculate (X1, Y1) and send the result to the control device 14. Similarly, in step S3, (X2, Y2) is obtained from the image processing device 16. In step S4, the deviation amount Δθ of the θ stage is calculated. Here, Δθ can be calculated as the expression (3). Δθ = arctan (Y0-Y1 + Y2 / X0-X1 + X2) (3) In step S4, it is determined whether or not the value of Δθ is within a predetermined angular range. If NO, the θ stage 4 is corrected in step S6. Then, the process returns to step S2 and step S3 again. On the other hand, if YES, in step S7,
The movement amounts ΔX and ΔY of the X stage 9 and the Y stage 5 are calculated. Here, when the position of the corner C1 of the chip is positioned at (X10, Y10) with respect to the reference mark 25, Δ
X and ΔY can be calculated by ΔX = X10−X1 ΔY = Y10−Y1. In step S8, the obtained ΔX and ΔY are
It is compared whether it is within a predetermined value range, and if NO, the X stage 9 and the Y stage 5 are corrected in step S9, and the process returns to steps S2 and S3 for confirmation again. YE
If it is S, the finger 3 is lowered to the position of the base member 2 by the Z stage 6 in step S10, and step S
The chip 1 is adhered to the base member 2 by step 11, and step S1
At 2, only the finger 3 is raised to end the series of operations.

【0057】Xステージ9を一定ピッチで移動する度
に、前述の一連の動作を再度行うことにより、複数のチ
ップを高精度でベース部材2に貼り付けることが可能と
なる。 <実施形態の変形例> (1)前述の実施形態は2つの基準マークを使用した
が、2台のCCDカメラ、スケール7、スケール7上の
基準マークの位置関係は予め分かるので、片方の基準マ
ークで行ってもよい。それ以外の構成は前述の実施形態
と同様である。 (2)前述の実施形態は位置決めのフローチャートにお
いて、θの補正動作と、X,Yの補正動作を別々に行っ
ているが、θ軸の回転中心位置がわかっていれば、Δ
θ,ΔX,ΔYの値を同時に求め、2軸同時に補正動作
を行う事も可能である。それ以外の構成は前述の実施形
態と同様である。 (3)前述の実施形態は位置情報として、チップ1の2
コーナーを用いたが、チップ上のパターン等の物体上の
画像認識可能な2ヶ所の位置情報でもよい。それ以外の
構成は前述の実施形態と同様である。 (4)前述の実施形態は2台のCCDカメラを基部に固
定し、チップ1やベース部材2を下部から撮像したが、
天井部のフィンガ3、θステージ4、Yステージ5、そ
してZステージ6の動作に干渉しないように固定すれ
ば、チップ1やベース部材2を上部から撮像してもよ
い。この場合、チップ1の貼り付け位置は、ベース部材
2から前述の実施形態のように一部飛び出す状態でなく
ても本発明を適用できるという利点がある。
By repeating the above-described series of operations each time the X stage 9 is moved at a constant pitch, a plurality of chips can be attached to the base member 2 with high accuracy. <Modification of Embodiment> (1) In the above-described embodiment, two reference marks are used, but since the positional relationship between the two CCD cameras, the scale 7, and the reference marks on the scale 7 is known in advance, one reference is used. You may go by mark. The other configuration is the same as that of the above-described embodiment. (2) In the above embodiment, the θ correction operation and the X and Y correction operations are separately performed in the positioning flowchart, but if the rotation center position of the θ axis is known, Δ
It is also possible to obtain the values of θ, ΔX, and ΔY at the same time and perform the correction operation on two axes simultaneously. The other configuration is the same as that of the above-described embodiment. (3) In the above-described embodiment, the position information is 2 of the chip 1.
Although the corners are used, two pieces of position information that allows image recognition on an object such as a pattern on a chip may be used. The other configuration is the same as that of the above-described embodiment. (4) In the above-described embodiment, two CCD cameras are fixed to the base and the chip 1 and the base member 2 are imaged from the bottom.
If the fingers 3, the θ stage 4, the Y stage 5, and the Z stage 6 on the ceiling are fixed so as not to interfere with the operations, the chip 1 and the base member 2 may be imaged from above. In this case, there is an advantage that the present invention can be applied even when the chip 1 is attached at a position where the chip 1 does not protrude from the base member 2 as in the above embodiment.

【0058】尚、本発明は、複数の機器から構成される
システムに適用しても、1つの機器から成る装置に適用
しても良い。また、本発明はシステム或は装置にプログ
ラムを供給することによって達成される場合にも適用で
きることはいうまでもない。この場合、本発明に係るプ
ログラムを格納した記憶媒体が、本発明を構成すること
になる。そして、該記憶媒体からそのプログラムをシス
テム或いは装置に読み出すことにより、そのシステム或
いは装置が、予め定められたし方で動作することが可能
となる。
The present invention may be applied to either a system composed of a plurality of devices or an apparatus composed of a single device. Needless to say, the present invention can be applied to a case where the present invention is achieved by supplying a program to a system or an apparatus. In this case, the storage medium storing the program according to the present invention constitutes the present invention. Then, by reading the program from the storage medium to the system or device, the system or device can operate in a predetermined manner.

【0059】<実施形態の効果> (1)2台の画像処理装置15及び16により取り込ま
れる、矩形状物体の2つのコーナーC1及びC2の位置
情報によりθの回転量を算出すると共に、それぞれの視
野に入る基準マーク25及び26の位置情報によりXY
平面の移動量を算出した。これにより、チップ1の全体
形状も把握しながら、画像処理装置の限られた解像度の
環境下で必要とする測定精度を得ることが可能となり、
高精度な位置決めを容易に実現することができた。 (2)ベース部材2をXステージ9と共に移動可能とす
ることにより、複数のチップ部材を同一のベース部材2
に並べて位置決めすることが容易に実現できた。 (3)CCDカメラ10及び11を基部に固定すること
により、位置決めの基準を確保したことにより、Xステ
ージ9の移動による振動やCCDカメラの移動に伴うヨ
ーイング等による画像のふらつきを容易に防止できた。 (4)前記の実施形態の効果(1)で測定精度を確保
し、Xステージ9上のスケール7に等間隔でプロットし
た基準マークを基準とした。これにより、複数のチップ
を貼り合わせるためのXステージ9の位置決めのため
に、新たにレーザ測長器等の高額な測定器を備えること
なく高精度な位置決めを容易に実現することができた。
<Effects of Embodiment> (1) The rotation amount of θ is calculated based on the position information of the two corners C1 and C2 of the rectangular object, which are fetched by the two image processing devices 15 and 16, and at the same time. XY is obtained by the positional information of the reference marks 25 and 26 that enter the visual field.
The amount of movement of the plane was calculated. As a result, it becomes possible to obtain the measurement accuracy required under the environment of the limited resolution of the image processing apparatus, while grasping the overall shape of the chip 1.
High-precision positioning could be easily realized. (2) By making the base member 2 movable together with the X stage 9, a plurality of chip members can be formed on the same base member 2.
It was possible to easily position them side by side. (3) By fixing the CCD cameras 10 and 11 to the base to secure the positioning reference, it is possible to easily prevent the vibration of the X stage 9 from vibrating and the fluctuation of the image due to the yawing accompanying the movement of the CCD camera. It was (4) The measurement accuracy is ensured by the effect (1) of the above-described embodiment, and the reference marks plotted on the scale 7 on the X stage 9 at equal intervals are used as the reference. As a result, it was possible to easily realize highly accurate positioning without newly providing an expensive measuring device such as a laser length measuring device for positioning the X stage 9 for bonding a plurality of chips.

【0060】[0060]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
解像度が限られた撮像装置で撮像した画像から、ワーク
の位置情報を検出し、高精度な位置検出をすることが可
能となる。
As described above, according to the present invention,
It becomes possible to detect the position information of the work from the image picked up by the image pickup device whose resolution is limited and to detect the position with high accuracy.

【0061】[0061]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態としてのチップ貼り付け装
置の構成の概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of a configuration of a chip attaching apparatus as an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施形態としてのベース部材周りの
位置関係を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a positional relationship around a base member as an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施形態としての2台のCCDカメ
ラの視野の位置関係を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a positional relationship of fields of view of two CCD cameras as one embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施形態としての位置決め処理のフ
ローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart of a positioning process as an embodiment of the present invention.

【図5】従来例1としてチップを1台のCCDカメラで
撮像した場合の視野を表わす図である。
FIG. 5 is a diagram showing a field of view when a chip is imaged by one CCD camera as Conventional Example 1.

【図6】従来例1としてチップを1台のCCDカメラで
撮像した場合の視野を表わす図である。
FIG. 6 is a diagram showing a field of view when a chip is imaged by one CCD camera as Conventional Example 1.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 チップ 2 ベース部材 3 フィンガ 4 θステージ 5 Yステージ 6 Zステージ 7 スケール 8 通信用インターフェース 9 Xステージ 10 CCDカメラ 11 CCDカメラ 14 制御装置14 15 画像処理装置 16 画像処理装置 17 モニタ 18 モニタ 19 レンズ 20 レンズ 21 CRT 22 キーボード 25 基準マーク 26 基準マーク 30 CCDカメラ10が撮像した視野 31 CCDカメラ11が撮像した視野 1 chip 2 base member 3 finger 4 θ stage 5 Y stage 6 Z stage 7 scale 8 communication interface 9 X stage 10 CCD camera 11 CCD camera 14 control device 14 15 image processing device 16 image processing device 17 monitor 18 monitor 19 lens 20 Lens 21 CRT 22 Keyboard 25 Reference mark 26 Reference mark 30 Field of view imaged by the CCD camera 10 31 Field of view imaged by the CCD camera 11

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ワークを撮像した画像データに基づい
て、そのワークを目標位置へ移動させる移動体の制御装
置において、 前記ワークの形状の特徴を表わす1つ以上の部分を撮像
した第1の画像データを入力する入力手段と、 前記ワークの形状の特徴を表わす1つ以上の他の部分を
撮像した第2の画像データを入力する入力手段と、 前記第1及び第2の画像データに常に含まれるような1
つ以上の基準点の位置、そしてその基準点と前記目標位
置との関係を示す位置データを予め入力する入力手段
と、 その入力された位置データと、前記第1及び第2の画像
データに基づいて前記ワークの前記目標位置までの移動
量を算出する算出手段を備えたことを特徴とする移動体
の制御装置。
1. A control device for a moving body, which moves a work to a target position based on image data of the work, wherein a first image of one or more portions representing the shape feature of the work is picked up. Input means for inputting data, input means for inputting second image data of one or more other portions representing the shape feature of the work, and always included in the first and second image data Like 1
Based on the input means for inputting in advance the position of one or more reference points and the position data indicating the relationship between the reference points and the target position, and the input position data and the first and second image data. A control device for a moving body, comprising: a calculating unit that calculates the amount of movement of the workpiece to the target position.
【請求項2】 前記ワークは、矩形物体であり、その矩
形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角の部分
を使用することを特徴とする請求項1記載の移動体の制
御装置。
2. The control apparatus for a moving body according to claim 1, wherein the work is a rectangular object, and the corner portions of the end portions are used as the portions that represent the shape characteristics of the rectangular object.
【請求項3】 物体を撮像する撮像手段と、その撮像し
た画像を処理する画像処理手段と、それにより得た画像
データに基づいて物体の位置を検出する検出手段を備え
た位置検出装置において、 前記物体の形状の特徴を表わす1つ以上の部分を撮像す
る第1の撮像手段と、 前記物体の形状の特徴を表わす1つ以上の他の部分を撮
像する第2の撮像手段と、 前記第1及び第2の撮像手段により得られる2つの画像
データに、常に含まれるような1つ以上の基準点の位
置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位
置データを予め入力する入力手段と、 その入力された位置データと、前記2つの画像データに
基づいて前記物体の位置を検出する検出手段を備えたこ
とを特徴とする位置検出装置。
3. A position detecting device comprising an image pickup means for picking up an object, an image processing means for processing the picked up image, and a detecting means for detecting the position of the object based on the image data obtained by the image processing means. First imaging means for imaging one or more portions representing the shape characteristics of the object; second imaging means for imaging one or more other portions representing the shape characteristics of the object; An input for previously inputting the positions of one or more reference points that are always included in the two image data obtained by the first and second imaging means, and position data indicating the relationship between the reference points and the target position. A position detecting device comprising: means and a detecting means for detecting the position of the object based on the input position data and the two image data.
【請求項4】 前記物体は、矩形物体であり、その矩形
物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角の部分を
使用することを特徴とする請求項3記載の位置検出装
置。
4. The position detecting device according to claim 3, wherein the object is a rectangular object, and corner portions of an end portion are used as a portion representing the shape feature of the rectangular object.
【請求項5】 第1及び第2のワークを撮像する撮像手
段と、その撮像した画像を処理する画像処理手段と、そ
れにより得た画像データに基づいて前記第1及び第2の
ワークの位置を検出する検出手段と、検出した前記第1
及び第2のワークの位置に基づいて、前記第2のワーク
上の目標位置に前記第1のワークを移動させる移動手段
を備えた移動体装置において、 前記第1のワークの形状の特徴を表わす1つ以上の部分
を撮像する第1の撮像手段と、 前記第1のワークの形状の特徴を表わす1つ以上の他の
部分を撮像する第2の撮像手段と、 前記第1及び第2の撮像手段により得られる2つの画像
データに、常に含まれるような1つ以上の基準点の位
置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位
置データを予め入力する入力手段と、 その入力された位置データと、前記2つの画像データに
基づいて前記第1及び第2のワークの位置を検出する検
出手段を備えたことを特徴とする移動体装置。
5. Image pickup means for picking up images of the first and second works, image processing means for processing the picked-up images, and positions of the first and second works based on image data obtained thereby. Detecting means for detecting, and the detected first
And a moving body device including a moving means for moving the first work to a target position on the second work based on the position of the second work, the shape feature of the first work is expressed. A first imaging means for imaging one or more portions, a second imaging means for imaging one or more other portions representing the shape feature of the first workpiece, the first and second Input means for inputting in advance the position of one or more reference points that are always included in the two image data obtained by the image pickup means, and position data indicating the relationship between the reference points and the target position; A mobile device, comprising: detecting means for detecting the positions of the first and second workpieces based on the generated position data and the two image data.
【請求項6】 前記第1のワークは、矩形物体であり、
その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角
の部分を使用することを特徴とする請求項5記載の移動
体装置。
6. The first work is a rectangular object,
6. The moving body apparatus according to claim 5, wherein the corner portions of the end portions are used as the portions representing the shape characteristics of the rectangular object.
【請求項7】 前記移動手段として、 前記第1のワークを移動させる第1の移動手段と、 前記第2のワークを移動させる第2の移動手段との2つ
の移動手段を備えたことを特徴とする請求項5記載の移
動体装置。
7. The moving means comprises two moving means, a first moving means for moving the first work and a second moving means for moving the second work. The mobile device according to claim 5.
【請求項8】 前記第1及び第2の撮像手段は、大地又
は空間で固定され移動しないことを特徴とする請求項5
記載の移動体装置。
8. The first and second imaging means are fixed on the ground or space and do not move.
The mobile device described.
【請求項9】 ワークを撮像した画像データに基づい
て、そのワークを目標位置へ移動させる移動体の制御装
置の制御方法において、 前記ワークの形状の特徴を表わす1つ以上の部分を撮像
した第1の画像データを入力し、 前記ワークの形状の特徴を表わす1つ以上の他の部分を
撮像した第2の画像データを入力し、 前記第1及び第2の画像データに常に含まれるような1
つ以上の基準点の位置、そしてその基準点と前記目標位
置との関係を示す位置データを予め入力し、 その入力された位置データと、前記第1及び第2の画像
データに基づいて前記ワークの前記目標位置までの移動
量を算出することを特徴とする移動体の制御装置の制御
方法。
9. A control method of a control device for a moving body, which moves a work to a target position based on image data of the work, in which one or more portions representing the feature of the shape of the work are imaged. The first image data is input, the second image data obtained by capturing one or more other portions representing the shape feature of the workpiece is input, and the second image data is always included in the first and second image data. 1
Positions of one or more reference points and position data indicating the relationship between the reference points and the target position are input in advance, and the work is based on the input position data and the first and second image data. A method of controlling a control device for a moving body, comprising: calculating the amount of movement of the vehicle to the target position.
【請求項10】 前記ワークは、矩形物体であり、その
矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角の部
分を使用することを特徴とする請求項9記載の移動体の
制御装置の制御方法。
10. The control device for a moving body according to claim 9, wherein the work is a rectangular object, and the corner portions of the end portions are used as the portions representing the shape characteristics of the rectangular object. Control method.
【請求項11】 物体を撮像し、その撮像した画像を処
理し、それにより得た画像データに基づいて物体の位置
を検出する位置検出装置の制御方法において、 前記物体の形状の特徴を表わす1つ以上の部分を撮像す
る第1の撮像工程と、 前記物体の形状の特徴を表わす1つ以上の他の部分を撮
像する第2の撮像工程と、 前記第1及び第2の撮像工程により得られる2つの画像
データに、常に含まれるような1つ以上の基準点の位
置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位
置データを予め入力する入力工程と、 その入力された位置データと、前記2つの画像データに
基づいて前記物体の位置を検出する検出工程を特徴とす
る位置検出装置の制御方法。
11. A control method of a position detecting device, which captures an image of an object, processes the imaged image, and detects the position of the object based on image data obtained thereby. A first imaging step of imaging one or more parts; a second imaging step of imaging one or more other parts representing the shape feature of the object; and a first imaging step and a second imaging step. An input step of previously inputting the positions of one or more reference points that are always included in the two image data that are stored, and position data indicating the relationship between the reference points and the target position; and the input position data. And a detection step of detecting the position of the object based on the two image data, a method for controlling a position detection device.
【請求項12】 前記物体は、矩形物体であり、その矩
形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角の部分
を使用することを特徴とする請求項11記載の位置検出
装置の制御方法。
12. The method for controlling a position detecting device according to claim 11, wherein the object is a rectangular object, and the corner portions at the ends are used as the portions representing the shape characteristics of the rectangular object. .
【請求項13】 第1及び第2のワークを撮像し、その
撮像した画像を処理し、それにより得た画像データに基
づいて前記第1及び第2のワークの位置を検出し、検出
した前記第1及び第2のワークの位置に基づいて、前記
第2のワーク上の目標位置に前記第1のワークを移動さ
せる移動体装置の制御方法において、 前記第1のワークの形状の特徴を表わす1つ以上の部分
を撮像する第1の撮像工程と、 前記第1のワークの形状の特徴を表わす1つ以上の他の
部分を撮像する第2の撮像工程と、 前記第1及び第2の撮像工程により得られる2つの画像
データに、常に含まれるような1つ以上の基準点の位
置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位
置データを予め入力する入力工程と、 その入力された位置データと、前記2つの画像データに
基づいて前記第1及び第2のワークの位置を検出する検
出工程を備えたことを特徴とする移動体装置の制御方
法。
13. The first and second workpieces are imaged, the captured images are processed, the positions of the first and second workpieces are detected based on image data obtained thereby, and the detected images are detected. A method of controlling a moving body device for moving the first work to a target position on the second work based on the positions of the first and second works, wherein the shape feature of the first work is represented. A first imaging step of imaging one or more parts, a second imaging step of imaging one or more other parts representing the shape feature of the first workpiece, the first and second An input step of previously inputting the positions of one or more reference points that are always included in the two image data obtained by the imaging step, and position data indicating the relationship between the reference points and the target position; Location data and the two The method of the mobile device characterized by comprising a detection step of detecting a position of said first and second workpiece based on image data.
【請求項14】 前記第1のワークは、矩形物体であ
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項13記載
の移動体装置の制御方法。
14. The moving body apparatus according to claim 13, wherein the first work is a rectangular object, and the corner portions of the end portions are used as the portions representing the shape characteristics of the rectangular object. Control method.
【請求項15】 前記第1のワークを移動させる第1の
移動工程と、 前記第2のワークを移動させる第2の移動工程との2つ
の移動工程を備えたことを特徴とする請求項13記載の
移動体装置の制御方法。
15. The method according to claim 13, further comprising a first moving step of moving the first work piece and a second moving step of moving the second work piece. A method for controlling a mobile device described.
【請求項16】 前記第1及び第2の撮像工程は、大地
又は空間で固定して移動しないことを特徴とする請求項
13記載の移動体装置の制御方法。
16. The method of controlling a mobile device according to claim 13, wherein the first and second imaging steps are fixed and do not move on the ground or in space.
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