JPH09329444A

JPH09329444A - 角速度センサ

Info

Publication number: JPH09329444A
Application number: JP8146114A
Authority: JP
Inventors: Iwao Ozaki; 巌尾崎; Nobuyoshi Sugitani; 伸芳杉谷; Kenji Morikawa; 健志森川
Original assignee: Toyota Motor Corp; Toyota Central R&D Labs Inc
Current assignee: Toyota Motor Corp; Toyota Central R&D Labs Inc
Priority date: 1996-06-07
Filing date: 1996-06-07
Publication date: 1997-12-22
Anticipated expiration: 2016-06-07
Also published as: JP3769322B2

Abstract

(57)【要約】【課題】漏れ振動による影響をなくして、角速度を精
度よく検出する。【解決手段】振動片１２〜１５を紙面左右方向に励振
させて（図２(Ａ)参照）、支持片１６，１７の軸線回り
に角速度が作用した際に、コリオリ力による振動片１
４，１５の紙面垂直方向であって左右逆相の振動（図２
(Ｂ)参照）により前記角速度を検出する。全ての振動片
１２〜１５が同相に振動する振動モード（図２(Ｃ)）を
励振に共振させることにより、励振による振動片１２〜
１５の漏れ振動を前記同相の振動モードに集中させる。
振動片１４，１５の各振動を表す差信号を取り出すこと
により、振動片１４，１５の各漏れ振動を表す電気信号
が互いに打ち消され、かつ角速度に関係した振動片１
４，１５の振動を表す大きな電気信号が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一対の振動片を第
１方向に励振しておき、コリオリ力によって生じる第１
方向と直交する第２方向への一対の振動片の振動を検出
して、第１及び第２方向と直交する軸線回りの角速度を
検出する角速度センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のセンサは、例えば特開平
２−３８９１７号公報に示されているように、連結片の
両端に平行に延設した一対の振動片を設けるように振動
子をＨ型に構成し、励振による漏れ振動が検出されるべ
き振動に影響を与えないようにするために、振動子をそ
の重心位置にて支持するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の角速度
センサにあっては、振動子が重心位置からあらゆる方向
に同一形状をしているわけではないので、種々の漏れ振
動が発生し、漏れ振動を充分になくすことができない。

【０００４】

【本発明の特徴】本発明は上記問題に対処するためにな
されたもので、その第１の特徴は、励振手段により一対
の振動片を一軸線と直交する面内の第１方向へ励振して
おき、検出手段により前記一軸線と直交する面内であっ
て前記第１方向と直交する第２方向へのコリオリ力によ
る一対の振動片の各振動をそれぞれ検出して、前記一軸
線回りの角速度を検出するようにした角速度センサにお
いて、一方の振動片ではコリオリ力と同方向に前記励振
による漏れ振動が発生し、かつ他方の振動片ではコリオ
リ力と逆方向に漏れ振動が発生するように、励振手段に
よる励振周波数及び検出手段による検出振動周波数を決
定するようにしたことにある。

【０００５】上記構成においては、励振による漏れ振動
は一方の振動片にてコリオリ力と同方向に発生するとと
もに、他方の振動片にてコリオリ力と逆方向に発生して
いるので、一対の振動片のコリオリ力による各振動を表
す電気信号を加算して取り出すようにすれば、一方の振
動片に発生している漏れ振動と他方の振動片に発生して
いる漏れ振動に関する各電気信号が打ち消されるととも
に、コリオリ力による振動を表す大きな電気信号を取り
出すことができる。したがって、この第１の特徴によれ
ば、角速度の検出精度が良好になる。

【０００６】また、本発明の第２の特徴は、連結片の両
端にて互いに平行に延設された第１及び第２の振動片を
有してなり一軸線回りの角速度を検出する角速度センサ
であって、前記一軸線と直交する面内の第１方向へ前記
第１及び第２の振動片を互いに逆相に励振する励振手段
と、前記一軸線と直交する面内であって前記第１方向と
直交する第２方向へのコリオリ力による第１及び第２の
振動片の振動を検出する検出手段とを備え、前記検出さ
れた振動により前記角速度を検出するようにした角速度
センサにおいて、連結片のほぼ中央位置にて第１及び第
２の振動片と平行に延設された第３の振動片を設けたこ
とにある。

【０００７】上記構成においては、励振手段が第１及び
第２の振動片を互いに逆相に励振するので、コリオリ力
による第１及び第２の振動片の振動も逆相に現れ、この
第１及び第２の振動片による振動によって第３の振動片
に位置する角速度センサの重心位置は移動しない。した
がって、角速度センサに作用する角速度によって、第３
の振動片が振動することはない。一方、励振手段によっ
て第１及び第２振動片に同相の漏れ振動が発生した場合
には、角速度センサの重心位置が移動することになり、
第３の振動片は同重心位置の移動を抑制する方向、すな
わち前記漏れ振動と逆相に振動する。この第３の振動片
の振動は前記漏れ振動の負荷となり、同漏れ振動を抑制
するとともに、前記重心の移動の抑制により第１及び第
２の振動片の漏れ振動が安定化する。この漏れ振動の安
定化により、第１及び第２の振動片が均等な振幅で漏れ
振動するようになるので、前述のような第１及び第２の
振動片の振動を表す電気信号の合成により、漏れ振動を
互いに打ち消し易くなる。その結果、この第２の特徴に
よれば、より角速度の検出精度が良好になる。

【０００８】

【発明の実施の形態】

ａ．第１実施形態以下、本発明の第１実施形態について図面を用いて説明
すると、図１は同実施形態に係る角速度センサを正面図
により示している。この角速度センサは、金属材料で一
体的に構成した振動体１０を備えている。振動体１０
は、横方向に延設された連結片１１と、同連結片１１の
両端にて上下方向にそれぞれ延設された振動片１２〜１
５とを備え、連結片１１及び振動片１２〜１５によりＨ
型振動子を構成している。また、この振動体１０は、連
結片１１の中央位置にて上下方向にそれぞれ延設された
支持片１６，１７を有し、同支持片１６，１７の下端及
び上端には固定部１８，１９が設けられており、同固定
部１８，１９にて角速度の被検出物体に固定されてい
る。

【０００９】振動片１２，１３は励振用に設けられてお
り、各振動片１２，１３の外側には連結片１１の近傍に
て励振用の圧電素子２１，２２がそれぞれ添着されてい
る。圧電素子２１，２２には所定の周波数で発振する発
振源２３が接続されるようになっており、この発振源２
３から供給される電気信号により、振動片１２，１３が
紙面左右方向にそれぞれ振動するようになっている。振
動片１４，１５は検出用に設けられており、各振動片１
４，１５の正面側には連結片１１の近傍にて振動検出用
の圧電素子２４，２５がそれぞれ添着されている。圧電
素子２４，２５は振動片１４，１５の紙面垂直方向の各
振動をそれぞれ表す各電気信号をそれぞれ取り出すもの
で、両圧電素子２４，２５には、前記各振動をそれぞれ
表す各電気信号を入力して各電気信号の差信号を取り出
す信号取り出し回路２６が接続されている。この信号取
り出し回路２６はバンドパスフィルタ回路２７に接続さ
れており、同フィルタ回路２７は予め決められた周波数
帯域の電気信号のみを出力する。

【００１０】上記のように構成した振動体１０におい
て、発振源２３から圧電素子２１，２２に発振信号を付
与することにより、振動片１２，１３を図２(Ａ)及び図
３(Ａ)に示すように互いに紙面左右逆方向（逆相）にそ
れぞれ励振させると、振動片１４，１５も互いに紙面左
右逆方向（逆相）に振動する。この場合、振動片１４，
１５が図２(Ａ)に示すように振動片１２，１３と各逆方
向（逆相）に振動する場合と、振動片１４，１５が図３
(Ａ)に示すように振動片１２，１３と各同方向（同相）
に振動する場合とがある。このような振動片１２，１３
の振動に対する振動片１４，１５の振動モードは、振動
体１０の材質、形状、寸法などにより決まる同振動体１
０の左右方向の固有振動数と、発振源２３及び圧電素子
２１，２２により励振される振動片１２，１３の励振周
波数との関係により定まる。

【００１１】このように振動片１４，１５を励振させた
状態で、支持片１６，１７の軸線回りの角速度が振動体
１０に作用すると、振動片１４，１５は図２(Ｂ)又は図
３(Ｂ)に示すようにコリオリ力によって紙面垂直方向に
同角速度の大きさに比例した振幅で振動し始める。な
お、図示中、記号ｚ1は紙面に垂直な裏から表への振動
片１２〜１５の変位を示しており、記号ｚ2は紙面に垂
直な表から裏への振動片１２〜１５の変位を示してお
り、異なる記号ｚ1，ｚ2の組み合わせは互いに逆方向の
振動（逆相振動）を意味しかつ同一な記号ｚ1，ｚ1（又
はｚ2，ｚ2）の組み合わせは互いに同一方向の振動（同
相振動）を意味する。

【００１２】振動片１２〜１５を紙面左右方向に図２
(Ａ)の振動モードで励振させた場合には、振動片１２と
振動片１４の紙面左右方向の振動も、振動片１３と振動
片１５の紙面左右方向の振動も互いに逆相であるので、
振動片１２〜１５の前記コリオリ力による紙面垂直方向
の振動は左右逆相かつ上下逆相となる。そして、この振
動モードを本明細書では第１振動モードと呼び、この場
合には、この第１振動モードの振動片１４，１５の振動
が前記角速度の検出に利用される。また、振動片１２〜
１５を紙面左右方向に図３(Ａ)の振動モードで励振させ
た場合には、振動片１２と振動片１４の紙面左右方向の
振動も、振動片１３と振動片１５の紙面左右方向の振動
も互いに同相であるので、振動片１２〜１５の前記コリ
オリ力による紙面垂直方向の振動は左右逆相かつ上下同
相となる。そして、この振動モードを本明細書では第２
振動モードと呼び、この場合には、この第２振動モード
の振動片１４，１５の振動が前記角速度の検出に利用さ
れる。

【００１３】一方、前記発振源２３及び圧電素子２１，
２２による励振によって、振動片１２〜１５は前記角速
度が作用しなくても紙面垂直方向に種々のモードで振動
してしまう。この振動を本明細書では漏れ振動と呼び、
この漏れ振動は角速度の検出精度を悪化させるものであ
る。このような漏れ振動のうちで、本願発明において着
目している漏れ振動は、図２(Ｃ)及び図３(Ｃ)に示すよ
うに、振動片１２〜１５の全てが紙面垂直の同一方向に
同時に変位する振動モード（この振動モードを本明細書
では第３振動モードという）であり、この漏れ振動は比
較的大きなものである。

【００１４】上記のような第１〜第３振動モードは、振
動体１０の材質、形状、寸法などににより決まるもので
あって、同振動体１０が有する紙面垂直方向の種々の固
有振動数に起因するものである。いま、振動体１０をＨ
型振動子で構成するとともに各部の寸法を適当に定める
ことにより、図４に示すように、左右逆相かつ上下逆相
の第１振動モード、左右及び上下同相の第３振動モー
ド、及び左右逆相かつ上下同相の第２振動モードに対す
る各固有振動数ｆ1，ｆ3，ｆ2 がこの順に高くなるよう
に設定する。

【００１５】まず、第１振動モードの振動片１４，１５
の振動を角速度の検出に使う場合について説明する。発
振源２３の発振周波数を固有振動数ｆ3の近傍に設定し
て、発振源２３及び圧電素子２１，２２による振動片１
４，１５の紙面左右方向の振動に伴う振動片１４，１５
の紙面垂直方向の漏れ振動を第３振動モードに集中させ
る。この場合、振動片１４，１５の紙面左右方向の振動
周波数が高すぎるために振動片１４，１５が紙面垂直方
向に第３振動モードで共振しなければ、連結片１１の近
傍であって振動片１２，１３の各内側面の一部１２ａ，
１３ａをそれぞれ削るようにする。また、振動片１４，
１５の紙面左右方向の振動周波数が低すぎるために振動
片１４，１５が紙面垂直方向に第３振動モードで共振し
なければ、振動片１４，１５の正面下端部に質量１４
ａ，１５ａをそれぞれ付加するようにする。なお、質量
１４ａ，１５ａの付加は、エポキシ樹脂の接着、金属の
蒸着などにより行うとよい。このような振動片１２，１
３の一部１２ａ，１３ａの削除又は振動片１４，１５へ
の質量１４ａ，１５ａの付加により、振動片１４，１５
の紙面左右方向の振動周波数と振動片１４，１５の第３
振動モードの振動周波数とを近づけることができ、互い
の共振により、発振源２３及び圧電素子２１，２２によ
る振動片１４，１５の紙面左右方向の振動に伴う振動片
１４，１５の紙面垂直方向の漏れ振動を第３振動モード
に集中させることができる。

【００１６】また、この場合、角速度の検出には振動片
１４，１５の第１振動モードによる振動を利用している
ので、角速度の検出感度を上げるために、発振源２３及
び圧電素子２１，２２による振動片１４，１５の紙面左
右方向の振動周波数は第１振動モードの固有振動数ｆ1
に近い方がよい。したがって、発振源２３及び圧電素子
２１，２２による振動片１４，１５の紙面左右方向の振
動周波数は、振動片１４，１５の固有振動数ｆ3以下の
近傍で、前記左右方向の振動により振動片１４，１５を
第３振動モードで共振させる周波数に設定するとよい。
当然ながら、発振源２３の発振周波数も前記紙面左右方
向の振動周波数にほぼ等しく設定するとよい。また、バ
ンドパスフィルタ２７の中心周波数は、第１振動モード
の固有振動周波数ｆ1に設定するとよい。

【００１７】次に、第２振動モードの振動片１４，１５
の振動を角速度の検出に使う場合について説明する。こ
の場合も、発振源２３及び圧電素子２１，２２による振
動片１４，１５の紙面左右方向の振動に伴う振動片１
４，１５の紙面垂直方向の漏れ振動を第３振動モードに
集中させることは前記場合と同じである。一方、この場
合には、角速度の検出感度を上げるために、発振源２３
及び圧電素子２１，２２による振動片１４，１５の紙面
左右方向の振動周波数は第２振動モードの固有振動数ｆ
2に近い方がよい。したがって、発振源２３及び圧電素
子２１，２２による振動片１４，１５の紙面左右方向の
振動周波数は、振動片１４，１５の固有振動数ｆ3以上
の近傍で、前記左右方向の振動により振動片１４，１５
を第３振動モードで共振させる周波数に設定するとよ
い。この場合も、発振源２３の発振周波数も前記紙面左
右方向の振動周波数にほぼ等しく設定するとよい。ま
た、バンドパスフィルタ２７の中心周波数は、第２振動
モードの固有振動周波数ｆ2に設定するとよい。

【００１８】上記のように構成した角速度センサによれ
ば、発振源２３及び圧電素子２１，２２により振動片１
２，１３を励振させると、振動片１４，１５も図２(Ａ)
又は図３(Ａ)のように励振される。この場合、前記励振
による紙面垂直方向の漏れ振動は図２(Ｃ)又は図３(Ｃ)
に示す第３振動モードに集中している。この第３振動モ
ードでは、振動片１４，１５は同相に振動するので、圧
電素子２４，２５は漏れ振動として同相の振動を検出
し、同検出した振動を表す電気信号は信号取り出し回路
２６に供給される。信号取り出し回路２６は圧電素子２
４，２５からの各電気信号の差信号を出力するので、前
記同相の漏れ信号は互いに打ち消される。一方、角速度
の検出に用いられる紙面垂直方向の振動片１４，１５の
振動は図２(Ｂ)又は図３(Ｂ)に示すような第１振動モー
ド又は第２振動モードである。そして、この第１振動モ
ードにおいても、第２振動モードにおいても、振動片１
４，１５の紙面垂直方向の振動は逆相であり、圧電素子
２４，２５により検出された振動片１４，１５の振動を
表す各電気信号は互いに逆相になる。前記のように信号
取り出し回路２６は入力した各電気信号の差信号を出力
するので、前記各電気信号は合算されて大きな電気信号
として出力される。その結果、上記第１実施形態に係る
角速度センサによれば、角速度の検出精度が良好にな
る。

【００１９】この角速度の検出精度が良好になったこと
を実験により確認すると、次のとおりである。上記第１
実施形態のような形状の振動体１０において、発明者ら
は、振動片１２〜１５の紙面左右方向の励振による振動
と同振動片１２〜１５の紙面垂直方向の第３振動モード
の振動を共振させない場合（以下、従来例という）と、
上記第１実施形態のように前記両振動を共振させた場合
とで、ゼロ点ドリフト電圧の相違を比較した。前記両振
動体１０の常温（２０℃）時における漏れ振動に対する
出力電圧を電気的なレベルシフト操作によりゼロ点に調
整した上で、振動体１０を８０℃の環境下において漏れ
振動による出力電圧を測定したところ、前記従来例によ
る角速度センサでは１．３Ｖの漏れ振動による出力電圧
が観測された。これに対し、上記第１実施形態による角
速度センサでは０．３Ｖの漏れ振動による出力電圧が観
測された。したがって、この実験結果からも上記第１実
施形態による角速度センサの検出精度が良好になったこ
とが理解できる。

【００２０】なお、上記第１実施形態においては、角速
度検出に振動片１２〜１５の紙面垂直方向の第１又は第
２振動モードを利用するとともに、漏れ振動を振動片１
２〜１５の紙面垂直方向の第３振動モードに集中させる
ようにした。しかし、この発明では、振動片１４，１５
の各振動を表す各電気信号を合成することにより、漏れ
振動を表す電気信号を打ち消して取り出すとともに角速
度に起因した振動を表す大きな電気信号を取り出すこと
にあるので、振動片１４，１５の一方でコリオリ力と同
方向に漏れ振動が発生し、かつ他方でコリオリ力と逆方
向に漏れ振動が発生するようにすればよい。

【００２１】例えば、発振源２３及び圧電素子２１，２
２によって振動片１２〜１５を紙面左右方向であって同
一方向に励振するようにすれば、支持片１６，１７の軸
線回りの角速度が作用した際には、コリオリ力により図
２(Ｃ)及び図３(Ｃ)に示す第３振動モードの振動片１
４，１５の振動を角速度の検出に利用することになる。
したがって、この場合には、発振源２３及び圧電素子２
１，２２による励振に伴う漏れ振動を図２(Ｂ)の第１振
動モード又は図３(Ｂ)の第２振動モードに集中させるよ
うにすればよい。そして、信号取り出し回路２６として
は、圧電素子２４，２５からの電気信号を加算して出力
するようにすればよい。これにより、第１又は第２振動
モードによる振動片１４，１５の振動を表す電気信号が
打ち消されてしまうとともに、第３振動モードによる振
動片１４，１５の振動を表す電気信号が大きな電気信号
として取り出される。その結果、これによっても、上記
第１実施形態と同様な効果を期待できる。

【００２２】ｂ．第２実施形態次に、本発明の第２実施形態について図面を用いて説明
すると、図５は同実施形態に係る角速度センサを正面図
により示している。この角速度センサは、上記第１実施
形態の固定部１８をなくして支持片１６の一端を自由端
に構成し、同支持片１６を振動片１６Ａに代えたことを
特徴としている。他の構成は上記第１実施形態と同じで
あり、発振源２３及び圧電素子２１，２２により振動片
１２〜１５を図６(Ａ)又は図７(Ａ)に示すように紙面左
右方向であって振動片１２，１３の組と振動片１４，１
５の組が互いに逆相になるように励振し、図６(Ｂ)又は
図７(Ｂ)に示すように上記第１又は第２振動モードの振
動片１４，１５の振動を角速度の検出に利用することも
同じである。また、図６(Ｃ)又は図７(Ｃ)に示す第３振
動モードの漏れ振動を前記振動片１２〜１５の励振に共
振させて、漏れ振動を第３振動モードに集中させること
も同じである。

【００２３】このように構成した第２実施形態において
も、第３振動モードによる漏れ振動を互いに電気的に打
ち消し合うようにするとともに、第１又は第２振動モー
ドによる振動を大きな電気信号として取り出すようにし
て、角速度の検出精度を良好にすることも上記第１実施
形態と同じである。

【００２４】さらに、この第２実施形態においては、角
速度を検出するための第１又は第２振動モードによる振
動片１２，１３の組と振動片１４，１５の組はそれぞれ
逆相に振動するので、これらの振動によっては振動体１
０の重心位置は移動しない（図８(Ａ)参照）。したがっ
て、振動体１０に作用する角速度によって、振動片１６
Ａが振動することはない。一方、第３振動モードによる
振動片１２〜１５の振動はすべて同相であるので、振動
体１０の重心位置が紙面垂直方向に移動することにな
り、振動片１６Ａは同重心位置の移動を抑制する方向、
すなわち前記漏れ振動と逆相に振動する（図８(Ｂ)参
照）。この振動片１６Ａの振動は前記漏れ振動の負荷と
なり、同漏れ振動を抑制するとともに、前記重心の移動
の抑制により振動片１２〜１５の漏れ振動を安定化させ
る。この漏れ振動の安定化により、振動片１４，１５が
均等な振幅で漏れ振動するようになるので、信号取り出
し回路２６による振動片１４，１５の振動を表す電気信
号の合成により、漏れ振動を互いに打ち消し易くなる。
その結果、この第２実施形態によれば、角速度の検出精
度がより良好になる。

【００２５】また、この場合も、この角速度の検出精度
が良好になったことを実験により確認すると、次のとお
りである。上記第１実施形態と同様な条件で、この第２
実施形態に係る角速度センサにおいて、振動体１０の常
温（２０℃）時における漏れ振動に対する出力電圧を電
気的なレベルシフト操作によりゼロ点に調整した上で、
振動体１０を８０℃の環境下において漏れ振動による出
力電圧を測定したところ、０．０６Ｖの漏れ振動による
出力電圧が観測された。したがって、この実験結果から
もこの第２実施形態による角速度センサの検出精度が極
めて良好になったことが理解できる。

【００２６】ｃ．その他の変形例なお、上記第１及び第２実施形態においては、振動体１
０をＨ型に構成するようにしたが、振動体１０の形状は
一対の振動片を有するものであれば、Ｕ字型など種々の
形状に変形させることもできる。

【００２７】また、上記第１及び第２実施形態において
は、振動体１０を金属材料で構成して、圧電素子２１，
２２により振動片１２〜１５を励振するとともに圧電素
子２４，２５により振動片１４，１５の振動を検出する
ようにしたが、振動体１０自体を圧電材料で構成するよ
うにしてもよい。この場合、振動体１０を励振したり、
振動体１０の振動を検出するために、上記圧電素子２
１，２２，２４，２５に代えて導電材料で構成した励振
用電極及び振動検出用電極を設けるようにすればよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る角速度センサの
正面図である。

【図２】 (Ａ)は励振による振動片の振動状態の一例を
説明するための作動説明図であり、(Ｂ)は(Ａ)の励振状
態においてコリオリ力による振動片の振動状態を説明す
るための作動説明図であり、(Ｃ)は励振による振動片の
漏れ振動の状態を説明するための作動説明図である。

【図３】 (Ａ)は励振による振動片の振動状態の他の例
を説明するための作動説明図であり、(Ｂ)は(Ａ)の励振
状態においてコリオリ力による振動片の振動状態を説明
するための作動説明図であり、(Ｃ)は励振による振動片
の漏れ振動の状態を説明するための作動説明図である。

【図４】振動体の各種振動モードを説明するための説
明図である。

【図５】本発明の第２実施形態に係る角速度センサの
正面図である。

【図６】 (Ａ)は励振による振動片の振動状態の一例を
説明するための作動説明図であり、(Ｂ)は(Ａ)の励振状
態においてコリオリ力による振動片の振動状態を説明す
るための作動説明図であり、(Ｃ)は励振による振動片の
漏れ振動の状態を説明するための作動説明図である。

【図７】 (Ａ)は励振による振動片の振動状態の他の例
を説明するための作動説明図であり、(Ｂ)は(Ａ)の励振
状態においてコリオリ力による振動片の振動状態を説明
するための作動説明図であり、(Ｃ)は励振による振動片
の漏れ振動の状態を説明するための作動説明図である。

【図８】 (Ａ)及び(Ｂ)は漏れ振動を抑制するための振
動片の機能を説明するための各振動片の振動状態を説明
するための作動説明図である。

【符号の説明】

１０…振動体、１１…連結片、１２〜１５，１６Ａ…振
動片、１６，１７…支持片、１８，１９…固定部、２
１，２２…励振用の圧電素子、２３…発振源、２４，２
５…検出用の圧電素子、２６…信号取り出し回路、２７
…バンドパスフィルタ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者杉谷伸芳愛知県豊田市トヨタ町１番地トヨタ自動車株式会社内 (72)発明者森川健志愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番地の１株式会社豊田中央研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対の振動片を有してなり一軸線回りの
角速度を検出する角速度センサであって、前記一軸線と
直交する面内の第１方向へ前記一対の振動片を励振する
励振手段と、前記一軸線と直交する面内であって前記第
１方向と直交する第２方向へのコリオリ力による前記一
対の振動片の各振動をそれぞれ検出する検出手段とを備
え、前記検出された各振動により前記角速度を検出する
ようにした角速度センサにおいて、一方の振動片ではコ
リオリ力と同方向に前記励振による漏れ振動が発生し、
かつ他方の振動片ではコリオリ力と逆方向に漏れ振動が
発生するように、前記励振手段による励振周波数及び前
記検出手段による検出振動周波数を決定するようにした
ことを特徴とする角速度センサ。
【請求項２】連結片の両端にて互いに平行に延設され
た第１及び第２の振動片を有してなり一軸線回りの角速
度を検出する角速度センサであって、前記一軸線と直交
する面内の第１方向へ前記第１及び第２の振動片を互い
に逆相に励振する励振手段と、前記一軸線と直交する面
内であって前記第１方向と直交する第２方向へのコリオ
リ力による前記第１及び第２の振動片の振動を検出する
検出手段とを備え、前記検出された振動により前記角速
度を検出するようにした角速度センサにおいて、前記連
結片のほぼ中央位置にて前記第１及び第２の振動片と平
行に延設された第３の振動片を設けたことを特徴とする
角速度センサ。