JPH09327924A - Nozzle plate - Google Patents

Nozzle plate

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JPH09327924A
JPH09327924A JP15057096A JP15057096A JPH09327924A JP H09327924 A JPH09327924 A JP H09327924A JP 15057096 A JP15057096 A JP 15057096A JP 15057096 A JP15057096 A JP 15057096A JP H09327924 A JPH09327924 A JP H09327924A
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Japan
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nozzle plate
board
lcp
actuator
ink
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JP15057096A
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Japanese (ja)
Inventor
Chisato Yoshimura
千里 吉村
Original Assignee
Brother Ind Ltd
ブラザー工業株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To use almost all inks, to mold in a thin state, and to extend selecting ranges of an NWC agent and adhesive so that release of a connecting part from an actuator scarcely occurs by using liquid crystal polymer as a raw material.
SOLUTION: A nozzle plate 1 is coated on one surface of a board 2 formed of a liquid crystal polymer(LCP) with a liquid repellent film 3. Many nozzles 4 for injecting ink 5 are formed in a plurality of rows, in place. The board 2 is adhered on the other surface with an actuator 6 by adhesive 7. As the board 2, a nonreinforced grade LCP is used. The film 3 is coated with fluororesin after the board 2 is molded. Thereafter, micropores penetrating the film 3, board 2 and adhesive 7 are opened by laser processing, and the nozzles 4 are formed. Since the LCP is used for the board 2, almost all inks can be used. Since the thermal expansion coefficient of the board 2 is near that of the actuator 6, its release scarcely occurs. Since its heat resistant temperature is high, selecting ranges of adhesives are extended.
COPYRIGHT: (C)1997,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプリンタ用印字ヘッドに用いられるノズルプレートに関し、特に、その材質が液晶ポリマーであるノズルプレートに関する。 The present invention relates to relates to a nozzle plate used in the printing head for an ink jet printer, in particular, the material is about nozzle plate is a liquid crystal polymer.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、ドロップオンデマンド方式のインクジェットヘッドとして、例えば、圧電セラミックスの変形によってインク流路の容積を変化させ、その容積減少時にインク流路内のインクをノズルから液滴として噴射し、容積増大時にインク導入口からインク流路内にインクを導入するようにしたものがある。 Conventionally, as an inkjet head of a drop-on-demand, for example, to change the volume of the ink channel by deformation of the piezoelectric ceramics, the ink in the ink flow path ejected as droplets from the nozzle at the time of volume reduction , there is that so as to introduce the ink in the ink flow path from the ink inlet when the volume increases. そして、所要の印字データに従って所要の位置のノズルからインク滴を噴射させることにより、インクジェットヘッドと対向する紙面上等に所望する文字や画像を形成するものである。 Then, by ejecting ink droplets from the nozzles of the required position according to the required print data, and forms the character or image to be desired paper choice so that faces the ink jet head. この種のインクジェットヘッドとしては、例えば特開昭63−247051号公報に記載されているものがある。 As this type of ink jet head, there is one disclosed in JP Sho 63-247051. このインクジェットヘッドは、圧電セラミックスの隔壁によって隔てられた複数の平行なインク流路を形成し、前記インク流路の一端をノズルプレートの前記ノズルに連通し、他端をインクを供給するインク供給手段に接続し、前記隔壁の変形によってインク流路の容積を変化させて前記ノズルからインクを噴射するものである。 The ink-jet head forms a plurality of parallel ink channels separated by piezoelectric ceramic partition wall communicates with one end of the ink flow path to the nozzle of the nozzle plate, an ink supply means for supplying ink to the other end connected to, in which ejects ink from the nozzles by changing the volume of the ink channel by deformation of the partition wall. 上述のような複数のインク噴射口を有するインクジェットヘッドのノズルプレートの製造は、射出成形技術を用いて形成する手法がよく知られている。 Manufacturing a nozzle plate of an ink-jet head having a plurality of ink injection ports as described above, techniques be formed using injection molding techniques are well known. その製造方法として、例えば、特開平3−297651号公報に開示されているように、高分子樹脂材料で射出成形した後、インク噴射口をエキシマレーザ装置等によりレーザ加工により形成する方法が知られている。 As a manufacturing method, for example, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-297651, after injection molding of a polymeric resin material, the ink injection port is a method of forming by laser processing by an excimer laser device or the like is known ing. しかし、エキシマレーザ装置は非常に高価な装置であり、加工時間、 However, the excimer laser apparatus is very expensive apparatus, processing time,
即ち加工する部分の肉厚に比例してノズルプレートの生産コストが高くなっていた為、加工部の薄肉化が要求されていた。 That because you have higher production costs of the nozzle plate in proportion to the thickness of the portion to be processed, thinning of the processing unit has been required. また、ノズルプレートの材質としては、一般にPSF(ポリサルフォン)が用いられていた。 The material of the nozzle plate, generally PSF (polysulfone) has been used.

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、PSF The object of the invention is to, however, PSF
を使用して成形されたノズルプレートには、次のような問題点があった。 The nozzle plate is molded using, there are the following problems. <1>使用するインクの種類によって、例えば、顔料、 By <1> type of ink used, for example, pigments,
染料、その他の溶剤を含むインクなどによっては、ノズルプレートが侵食される場合がある。 Dye, is such as by ink containing other solvents, there are cases where nozzle plate is eroded. そのため、ノズルプレートが割れたり、溶かされたりする恐れがあるため、使用できるインクの種類が限定されていた。 Therefore, crack the nozzle plate, because it may or melted, the type of ink that can be used is limited. <2>また、解像度を良好にする為のノズルの高集積化に伴い、ノズルを形成する数μmから数十μmの金型のコアピンが複数行、複数列配置される。 <2> Also, with high integration of nozzles for improving the resolution, the core pin from a few μm of a mold several tens μm to form a nozzle multiline, it is a plurality of rows arranged. 一方、PSFは溶融粘度が高く、金型内での流動性が良くない為、通常の射出成型法では、射出圧を高くして、ノズル部周辺の肉厚を厚くしないと充填できない。 Meanwhile, PSF has high melt viscosity, because poor flowability in the mold, in the conventional injection molding method, by increasing the injection pressure, can not be filled to not increase the thickness of the periphery of the nozzle portion. しかし、肉厚を厚くすると前記の微細なコアピンの長さが長くなり、加えて射出圧力が高いとコアピンの破損が多発した。 However, the wall thickness increases the length of the fine core pin and a thicker, in addition injection pressure is high, the core pin breakage occurred frequently. コアピンの長さを変えずに肉厚のみを厚くしても成形は可能だが、エキシマレーザでの加工部が増し、生産コストが高くなると言う問題があった。 Molding even when the thickness only the wall thickness without changing the length of the core pin is a possible, but processing part of an excimer laser is increased, there has been a problem that the production cost is high. すなわち、ノズルプレートとしては、PSFよりさらに薄肉化できる素材が求められていた。 That is, the nozzle plate, the material can be further thinner than the PSF has been demanded.

【0004】<3>また、インクジェットプリンタでは、インクを噴射するためのインクジェットヘッドとしてピエゾタイプのアクチュエータが広く使用される。 [0004] <3> Further, in the ink jet printer, a piezoelectric type actuator is used widely as an ink jet head for ejecting the ink. ノズルプレートの片面はアクチュエータに接着され、アクチュエータにより押し出されたインクが、ノズルプレートに形成されたノズルから噴射される。 One side of the nozzle plate is adhered to the actuator, the ink pushed out by the actuator is ejected from nozzles formed in the nozzle plate. ピエゾタイプのアクチュエータには一般的に、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)が使用される。 In general the piezoelectric type actuator, PZT (lead zirconate titanate) is used. しかし、PSF(ノズルプレート)はPZT(アクチュエータ)に比べて熱膨張率が大きい。 However, PSF (nozzle plate) has a large thermal expansion coefficient compared to the PZT (actuator). 具体的には、PZTの熱膨張率が0.2〜0.3 Specifically, the thermal expansion coefficient of PZT is 0.2 to 0.3
×10 -5 mm/mm/℃であるのに対し、PSFの熱膨張率は5.6×10 -5 mm/mm/℃である。 × to 10 -5 in the range of mm / mm / ℃, the thermal expansion coefficient of the PSF is 5.6 × 10 -5 mm / mm / ℃. すなわち、温度が1℃変化したときの膨張率が5×10 -5 mm That is, the expansion ratio when the temperature changes 1 ℃ is 5 × 10 -5 mm
/mm以上異なる。 / Mm or more different. そのため、長時間の使用により、温度が大きく上昇したり、または、使用される環境温度の違いなどにより、ノズルプレートとアクチュエータの大きさに差異が生じ、接合部分が剥離する恐れがある。 Therefore, the long time use, or elevated temperature is large, or, due to the environmental temperature difference to be used, differences occur in the size of the nozzle plate and the actuator, there is a possibility that the joining portion is peeled.

【0005】<4>また、PSFの熱変形温度は174 [0005] <4> The heat distortion temperature of the PSF 174
℃であるので、ノズルプレートのインク吐出面をコートする撥液性膜を形成するNWC(ノンウエットコート) Since at ° C., NWC to form a liquid repellent film that coats the ink ejection surface of the nozzle plate (non wet coat)
剤及びノズルプレートとアクチュエータとの接着に使用される接着剤の選定において、その加熱硬化温度が17 The dosage and selection of adhesives used in bonding the nozzle plate and the actuator, its heat curing temperature is 17
4℃よりも低いものに限定される。 4 is limited to less than the ° C.. 特に、撥液性能が良好な材質であるフッ素系のNWC剤は、加熱硬化温度が高いものの方が、ノズルプレートとの密着性や耐久性が良好になる傾向が見られた。 In particular, fluorine-based NWC agent liquid repellency is good material is towards those heat curing temperature is higher, adhesion and durability of the nozzle plate tends to be better seen. すなわち、ノズルプレートとしては、耐熱温度が高い素材が求められていた。 That is, the nozzle plate, heat-resistant temperature higher material has been demanded.

【0006】本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、<1>ほとんど全てのインクが使用可能、<2>薄肉成形可能、<3>アクチュエータと接合部の剥離が起こりにくい、<4>NWC剤、接着剤の選択範囲が広い、という優れた素材を使用し、かつ、きれいなノズル穴を形成することの出来るノズルプレートを提供することを目的とする。 [0006] The present invention has been made to solve the above problems, <1> almost all the ink can be used, <2> thin moldable, less prone to delamination of the junction between <3> Actuator , <4> NWC agent, a wide selection range of the adhesive, using superior materials that, and aims to provide a nozzle plate capable of forming a clean nozzle holes.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために本発明のノズルプレートは、インクを噴射するノズル孔が形成されたノズルプレートであって、素材が液晶ポリマー(LCP)であることを特徴とする。 Means for Solving the Problems] The nozzle plate of the present invention in order to achieve the above object, a nozzle plate in which the nozzle holes are formed for ejecting ink, the material is a liquid crystal polymer (LCP) and features. 特に、液晶ポリマーが、半芳香族液晶ポリエステルであるとさらによい。 In particular, liquid crystal polymer, even better If it is a semi-aromatic liquid crystal polyester.

【0008】液晶ポリマー(LCP)は、溶融状態で液晶を形成し、溶融状態で応力が加わると分子鎖が一方向に配向し、溶融粘度が下がる。 [0008] The liquid crystal polymer (LCP) is a liquid crystal is formed in a molten state, the molecular chains when the stress is applied in the molten state is oriented in one direction, decreases melt viscosity. また、そのまま冷却すると、分子が配向したまま固化し、安定する。 In addition, when it is cooled, molecules are solidified while oriented, stable. そのため、 for that reason,
成形性に優れ、高強度、高弾性率を有する。 Excellent moldability, has high strength, a high elastic modulus. そのような特徴を持つLCPの中でも特に半芳香族ポリエステルは、結晶性の低いLCPであるため、配向が少なく、成形性、精密性に特に優れている。 In particular semi-aromatic polyester Among LCP having such characteristics are the low crystallinity LCP, orientation less, moldability, particularly excellent precision. LCPをノズルプレートの素材として用いる事は、従来のPSFを使用した場合の問題点に対し以下の様な効果がある。 By using the LCP as a material of the nozzle plate to problems when using a conventional PSF has the following such effects.

【0009】<1>LCPは、ほとんどの有機溶剤に侵されないのでインクの種類に関わらず使用できる。 [0009] <1> LCP can be used regardless of the type of ink because it is not attacked by most organic solvents. <2>また、溶融粘度が低いので、PSFで成形する場合に比べ、数分の1の圧力で成形できるため、極めて薄肉の成形品を形成することができる。 <2> Also, because of the low melt viscosity, compared with the case of molding by the PSF, since it molded at a pressure of a fraction, it is possible to form an extremely thin molded article.

【0010】<3>また、LCPの熱膨張率がアクチュエータの熱膨張率と近いため、アクチュエータとの接合部分の剥離が起こりにくい。 [0010] <3> In addition, since the thermal expansion coefficient of LCP is close to the thermal expansion rate of the actuator, hardly occurs separation of the joining portion of the actuator. 具体的には、LCPの特徴として、熱膨張率が2.8×10 -5 mm/mm/℃である。 Specifically, as a feature of the LCP, the thermal expansion coefficient is 2.8 × 10 -5 mm / mm / ℃. アクチュエータの熱膨張率が0.2〜0.3×10 Thermal expansion coefficient of the actuator 0.2 to 0.3 × 10
-5 mm/mm/℃であり、従来のPSFの熱膨張率は5.6×10 -5 mm/mm/℃である。 A -5 mm / mm / ℃, the thermal expansion coefficient of the conventional PSF is 5.6 × 10 -5 mm / mm / ℃. このため、LC For this reason, LC
Pの熱膨張率はPSFの約半分となり、アクチュエータの熱膨張率とより近いため、温度が変化しても、接合部分の剥離が起こりにくい。 Thermal expansion coefficient of the P becomes about half of the PSF, for closer to the thermal expansion rate of the actuator, even if the temperature changes, peeling of the joint portion is less likely to occur. <4>さらに、LCPの熱変形温度は180℃と、PS <4> In addition, the thermal deformation temperature of the LCP and 180 ° C., PS
Fよりも高いので、NWC剤及び接着剤の選定において、PSFよりも使用できる種類の範囲が広くなる。 Is higher than F, in the selection of the NWC and adhesives, the range of available types than PSF is widened. 従って、密着性能や耐久性能を向上させることが可能となる。 Therefore, it is possible to improve the adhesion performance and durability.

【0011】以上のように優れた性質を持つLCPであるが、以下に述べるように、成形する上での問題点があった。 [0011] a LCP having excellent properties as described above but, as described below, there are problems in terms of molding. まず、一般にLCPでは、フィラーとして強度や難燃性を上げるためにガラス繊維などの微粉を混入することがある。 First, the general LCP, may be mixed with fines, such as glass fibers to increase the strength and flame retardancy as a filler. これをLCPの強化グレードと呼ぶ。 This is referred to as reinforced grades of LCP. しかし一方、ノズルプレートのノズル穴加工は一般的にレーザー加工で形成する。 On the other hand, the nozzle hole processing of the nozzle plate is generally formed by laser processing. その際には、ノズルプレートの材料としてのLCPにフィラー等の充填剤が入っている強化グレードでは、きれいな穴が形成されない。 In that case, the reinforcing grade the LCP as the material of the nozzle plate containing the filler such as fillers, clean holes are not formed. すなわち、レーザー熱がLCPとフィラーで均一に吸収されないため、フィラーが残ってしまう場合がある。 That is, since the laser heat not uniformly absorbed by the LCP and filler, in some cases remain filler.

【0012】一方、LCPの充填剤が入っていない非強化グレードでは、成形面に力が加わるとケバ立ちしてしまう。 [0012] On the other hand, in the non-reinforced grade that does not contain fillers of LCP, resulting in fluff up when a force is applied to the molding surface. 例えば、成形後の超音波洗浄やワイピングの際にケバ立ちができやすい。 For example, easily can fluffing during ultrasonic cleaning and wiping after molding. その理由としては、無充填の非強化グレードでは、強化グレードよりさらに流れ方向の分子鎖の配向が強いからと思われる。 The reason is that in the unreinforced grades unfilled seems because more strong orientation in the flow direction of the molecular chain from the reinforced grades.

【0013】以上の理由により、強化グレードも非強化グレードもいずれも、ノズルプレートとして使用した場合、きれいなノズル穴が形成されない。 [0013] For the above reasons, any strengthening grades unreinforced grades, when used as a nozzle plate, clean the nozzle hole is not formed. そのため、ノズルから噴射されるインク滴の飛翔方向に液滴曲がりによるばらつきが生じたり、インクの噴射タイミングにばらつきが生じるなどインクが適正に噴射されないため、ノズルプレートとして使用できなかった。 Therefore, since the or variations occur due to bending droplet flying direction of ink droplets ejected from the nozzles, the ink such as variation in the ejection timing of the ink is not properly ejected, it could not be used as a nozzle plate.

【0014】上記問題点を解決するため、本発明のノズルプレートは、外面にフッ素樹脂製撥液性膜が形成されていることを特徴とする。 [0014] To solve the above problems, the nozzle plate of the present invention is characterized in that the fluorine resin liquid repellent film is formed on the outer surface. 特に、フッ素樹脂製撥液性膜が、ヘテロ環を有する溶剤可溶性フッ化ポリマーであるとさらによい。 Particularly, fluororesin liquid repellent film, even better when it is a solvent-soluble fluoropolymer having a hetero ring. さらに、フッ素樹脂製撥液性膜の厚みが0.1μm以上、3μm以下であるとよい。 Further, the thickness of the fluorine resin liquid repellent film is 0.1μm or more, may is 3μm or less.

【0015】ノズルプレートの素材としては、無充填の非強化グレードを使用する。 [0015] Examples of the material of the nozzle plate, the use of non-reinforced grades of unfilled. それにより、レーザー加工による穴加工はきれいな穴が形成される。 Thereby, drilling by laser machining a clean hole is formed. さらに、ノズルプレートの穴加工前に予めノズルプレートの一面にフッ素樹脂製撥液性膜を形成しておくことにより、ノズル穴加工後のケバ立ちを防ぐ。 Further, by forming a fluorine resin liquid repellent film on a surface of the pre-nozzle plate before drilling the nozzle plate to prevent fluffing after the nozzle hole machining. 他の一面はアクチュエータとの接着のための接着剤が使用されるため、ケバ立ちを防ぐことができる。 Other one surface because the adhesive for bonding the actuator is used, it is possible to prevent fluffing. また、フッ素樹脂製撥液性膜が、ヘテロ環を有する溶剤可溶性フッ化ポリマーであれば、接着性がよいので、ノズルプレートが変形する事なく、より薄い膜を形成することが出来る。 Further, fluororesin liquid repellent film, when the solvent-soluble fluoropolymer having a hetero ring, since a good adhesion, without the nozzle plate is deformed, it is possible to form a thinner film. 具体的には、0.1 Specifically, 0.1
〜1μmの厚さに形成できる。 It can be formed to a thickness of ~1μm. 0.1μmより薄く形成することは、撥液性膜としての効果が失われるため、望ましくない。 It is thinner than 0.1μm, since the effect as a liquid-repellent film is lost, which is undesirable. ほかには、フッ素もしくはシリコン系の撥液性膜を使用することもでき、その場合には2〜3μm The addition can also be used fluorine or lyophobic film silicon-based, 2 to 3 [mu] m in the case
の厚さでも構わない。 It may be a thickness of. 3μmより厚く形成することは、 It is thicker than 3μm is
不要なだけでなく、穴加工時のノズルへの入り込み等が生じ、きれいなノズルを形成できなくなる。 Not only unnecessary, resulting like enters into the nozzle during drilling becomes impossible to form a clean nozzle.

【0016】 [0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施の一形態を図面を参照して説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an embodiment embodying the present invention with reference to the drawings. 図1(a)は本発明のノズルプレートを示す正面図、(b)は同じく正面方向からみた斜視図である。 1 (a) is a front view showing a nozzle plate of the present invention, it is a perspective view from (b) is also the front direction. 図1(a)及び(b)に示すように、ノズルプレート1は、LCPで形成された基板2の一面に撥液性膜3が塗布され、適所にインク5を噴射するための多数のノズル4が複数列に形成されている。 As shown in FIG. 1 (a) and (b), the nozzle plate 1, the liquid-repellent film 3 is coated on one surface of the substrate 2 formed of LCP, a number of nozzles for ejecting ink 5 in place 4 is formed in a plurality of rows. 基板2の他の一面には、アクチュエータ6が接着剤7で接着されている。 The other surface of the substrate 2, the actuator 6 is glued 7.

【0017】基板2は充填剤の入っていない、非強化グレードのLCPを用いる。 [0017] The substrate 2 does not contain a filler, using a non-reinforced grades LCP. ここでは、半芳香族ポリエステルであり、ユニチカ株式会社の製品で商標『ロッドラン』シリーズより、LC−5000を用いている。 Here is a semi-aromatic polyester, than the trademark "LODRUN" series in the product of Unitika Ltd., is using the LC-5000. この基板2の成形には、射出成形を行なうかあるいは、フィルム状のLCP製品を使用してもよい。 The molding of the substrate 2, or whether to perform injection molding, may be used a film of LCP product.

【0018】撥液性膜3は、基板2の成形後、そのインク吐出面に180℃以下の温度で焼き付け可能なフッ素樹脂をコーティングしてある。 The liquid repellent film 3 after molding of the substrate 2, are coated with baked capable fluororesin 180 ° C. temperature below the ink ejection surface. 180℃は、LCPの熱変形温度である。 180 ° C. is a heat distortion temperature of the LCP. コーティング法としては、スピンコート、あるいはディップコート等の方法を用い、アクチュエータとの接着面をマスキングして行われる。 The coating method, using a method such as spin coating or dip coating, is performed by masking the adhesive surface of the actuator. なお、ここでは撥液性膜3としては、ヘテロ環を有する溶剤可溶性フッ化ポリマーを、0.1〜1μmの厚さにコーティングして使用する。 Here, as the liquid-repellent film 3, a solvent-soluble fluoropolymer having a hetero ring, used by coating to a thickness of 0.1 to 1 [mu] m. 図1(b)において、Wは撥液性膜3の厚さを表し、ここでは、W=0.1〜1μmである。 In FIG. 1 (b), W represents the thickness of the liquid-repellent film 3, where is the W = 0.1 to 1 [mu] m. これ以外にも、フッ素系あるいはシリコン系の撥液性膜を1〜3μmの厚さにコーティングして使用してもよい。 In addition to this, a fluorine-based or liquid-repellent film of silicon may be used by coating to a thickness of 1 to 3 [mu] m.

【0019】この後、エキシマレーザー等を用いたレーザー加工により、基板2、撥液性膜3を貫通する微小な穴開けを行う。 [0019] Thereafter, by laser processing using an excimer laser or the like, and drilled small holes penetrating the substrate 2, a liquid repellent film 3. これがノズル4となる。 This is the nozzle 4. そして、基板2 Then, the substrate 2
の他の一面には、アクチュエータ6との接着のための接着剤7がコーティングされ、アクチュエータ6と接着される。 The other surface of the adhesive 7 for bonding the actuator 6 is coated, it is adhered to the actuator 6. また、これ以外に次にような工程であってもよい。 Further, it may be a process such as the following other than this. 基板2に撥液性膜3を形成後、基板2の他の一面をアクチュエータ6と接着剤7により接着される。 After forming a liquid repellent film 3 on the substrate 2, it is bonded to another surface of the substrate 2 and the actuator 6 by an adhesive 7. その後、エキシマレーザー等を用いたレーザー加工により、 Thereafter, by laser processing using an excimer laser or the like,
撥液性膜3、基板2、接着剤7を貫通する微小な穴開けを行い、ノズル4を形成する。 Liquid repellent film 3, the substrate 2 performs drilled small holes through the adhesive 7, forming the nozzle 4. この時、基板2は無充填LCPを用いているので、ノズル4部分に充填剤が残ることなく、きれいな穴が形成される。 At this time, since the substrate 2 is used unfilled LCP, without filler remains in the nozzle 4 parts, clean holes are formed. 穴開け後は超音波洗浄をしてカスなどを洗い流す。 After drilling is washed away, such as dregs and ultrasonic cleaning. この時、基板2の両面に撥液性膜3と接着剤7をコーティングしているので、 At this time, since the coating of the adhesive 7 lyophobic film 3 on both sides of the substrate 2,
超音波洗浄やワイピングにおけるケバ立ちを防ぐことが出来る。 It is possible to prevent the fluff Standing in the ultrasonic cleaning and wiping.

【0020】このようにして、本発明のノズルプレート1は、基板2に半芳香族ポリエステルであるLCPを使用しているので、ほとんど全てのインクを使用できる。 [0020] In this manner, the nozzle plate 1 of the present invention, because it uses the LCP substrate 2 is a semi-aromatic polyester, almost all the ink can be used.
さらに、解像度を良好にする為のノズルの高集積化を行っても、薄肉に成形できる為、金型のコアピン破損が極めて少なくなり、レーザ加工費も低減してコストダウンできる。 Furthermore, even if the high integration of the nozzles for improving the resolution, since it formed a thin core pin breakage of the mold is extremely small, it costs by reducing also the laser processing costs. また、アクチュエータ6との熱膨張率が近いのでアクチュエータ6との剥離が起こりにくい。 Also, less prone to peeling between the actuator 6 so thermal expansion coefficient between the actuator 6 is close. また、耐熱温度が高いので撥液性膜3や接着剤7として使用できる素材の選択範囲が広くなる。 Further, the selection of materials that can be used as liquid-repellent film 3 and the adhesive 7 is widened because the heat temperature is high.

【0021】さらに、本発明のノズルプレート1はその一面に撥液性膜3としてヘテロ環を有する溶剤可溶性フッ化ポリマーを、他の一面に接着剤7をコーティングしているので、レーザーによる穴開け加工によりきれいな穴を形成することが出来、さらに超音波洗浄や使用時のワイピングによるケバ立ちが生じることもない。 Furthermore, the solvent-soluble fluoropolymer having a hetero ring in the nozzle plate 1 is one surface of the present invention as a liquid-repellent film 3, since the coating adhesive 7 on the other one side, drilled by laser processed by it is possible to form a clean bore, it does not cause fluffing by further ultrasonic cleaning or during use wiping. そのため、ノズル形状がきれいなので、ノズルから噴射されるインク滴の飛翔方向に液滴曲がりによるばらつきが生じたり、インクの噴射タイミングにばらつきが生じることがない。 Therefore, the nozzle shape is clean, or variations occur due to bending droplet flying direction of ink droplets ejected from the nozzles, causing no variation in the ejection timing of the ink. したがって、インクが適正に噴射されるので高印字品質が得られる。 Thus, high printing quality can be obtained because the ink is properly ejected.

【0022】 [0022]

【発明の効果】以上説明した通り本発明のノズルプレートは、その素材に液晶ポリマーを使用しているので、インクの溶剤にノズルプレートが侵食されることがなく、 As described above, according to the present invention the nozzle plate of the present invention, because it uses a liquid crystal polymer on the material, without the nozzle plate in the solvent of the ink is eroded,
インクジェットプリンタにほとんど全てのインクを使用できる。 Almost all of the ink jet printer can be used. さらに、本発明のノズルプレートは、その素材に液晶ポリマーを使用しているので、解像度を良好にする為のノズルの高集積化を行っても、薄肉に成形できる為、金型のコアピン破損が極めて少なくなり、レーザ加工費も低減してコストダウンできる。 Further, the nozzle plate of the present invention, because it uses a liquid crystal polymer in the material, even if the high integration of the nozzles for improving the resolution, since it formed into thin, the core pin breakage of the mold becomes very small, it can cost down by reducing also laser processing costs. さらに、本発明のノズルプレートは、その素材に液晶ポリマーを使用しているので、アクチュエータの素材であるPZTとの熱膨張率の違いが小さくなり、温度変化によるアクチュエータとの接合部の剥離が起こりにくい。 Further, the nozzle plate of the present invention, because it uses a liquid crystal polymer on the material, the thermal expansion coefficient of PZT as a material for actuators difference is reduced, peeling occurs in the joint between the actuator due to a temperature change Hateful.

【0023】さらに、本発明のノズルプレートは、その素材に液晶ポリマーを使用しているので、耐熱温度が高く、撥液性膜剤、接着剤の選択範囲が広い。 Furthermore, the nozzle plate of the present invention, because it uses a liquid crystal polymer in the material, high heat-resistant temperature, liquid-repellent film agent, a wide selection range of the adhesive. さらに、ノズルプレートの外面にフッ素樹脂製撥液性膜を0.1〜 Further, 0.1 a fluorine resin liquid repellent film on the outer surface of the nozzle plate
3μm厚でコーティングしているので、きれいなケバ立ちの無いノズル穴を形成することが出来る。 Since coated with 3μm thick, it is possible to form the nozzle hole without clean fluffing. それにより、適正なインク噴射が得られ、高印字品質な印字ヘッドを形成できる。 Thereby, the proper ink ejection can be obtained, forming a high printing quality printhead.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】(a)は本発明の実施の一形態によるノズルプレートの正面図、(b)は正面方向から見た斜視図である。 1 (a) is a front view of a nozzle plate according to one embodiment of the present invention, (b) is a perspective view from the front direction.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 ノズルプレート 2 基板 3 撥液性膜 4 ノズル 7 接着剤 1 nozzle plate 2 substrate 3 liquid-repellent film 4 nozzles 7 adhesive

Claims (5)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 インクを噴射するノズル孔が形成されたノズルプレートにおいて、 素材が液晶ポリマー(LCP)であることを特徴とするノズルプレート。 1. A nozzle plate in which the nozzle holes are formed for ejecting ink, a nozzle plate material is characterized in that the a liquid crystal polymer (LCP).
  2. 【請求項2】 請求項1に記載するものにおいて、 前記液晶ポリマーが、半芳香族液晶ポリエステルであることを特徴とするノズルプレート。 2. A those described in claim 1, wherein the liquid crystal polymer, a nozzle plate, which is a semi-aromatic liquid crystal polyester.
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載するものにおいて、 前記ノズルプレートの外面にフッ素樹脂製撥液性膜が形成されていることを特徴とするノズルプレート。 3. A that described in claim 1 or claim 2, the nozzle plate, wherein the fluororesin liquid repellent film on the outer surface of the nozzle plate is formed.
  4. 【請求項4】 請求項3に記載するものにおいて、 前記フッ素樹脂製撥液性膜が、ヘテロ環を有する溶剤可溶性フッ化ポリマーであることを特徴とするノズルプレート。 In those described claim 3, wherein the fluororesin liquid repellent film, a nozzle plate, which is a solvent-soluble fluoropolymer having a hetero ring.
  5. 【請求項5】 請求項3または請求項4に記載するものにおいて、 前記フッ素樹脂製撥液性膜の厚みが0.1μm以上、3 5. A those described in claim 3 or claim 4, the thickness of the fluorine resin liquid repellent film is 0.1μm or more, 3
    μm以下であることを特徴とするノズルプレート。 A nozzle plate, wherein μm or less.
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