JPH09281056A - Surface inspection apparatus - Google Patents

Surface inspection apparatus

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JPH09281056A
JPH09281056A JP8964896A JP8964896A JPH09281056A JP H09281056 A JPH09281056 A JP H09281056A JP 8964896 A JP8964896 A JP 8964896A JP 8964896 A JP8964896 A JP 8964896A JP H09281056 A JPH09281056 A JP H09281056A
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JP
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signal
image
running
material
surface
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Application number
JP8964896A
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Japanese (ja)
Inventor
Tsutomu Kawamura
Akira Kazama
Yuji Matoba
Takahiko Oshige
貴彦 大重
努 河村
有治 的場
彰 風間
Original Assignee
Nkk Corp
日本鋼管株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a surface inspection apparatus which prevents a very small defect on the surface of a running material from being overlooked, and by which the two-dimensional image on the surface of the running material is displayed at a constant scale irrespective of the running speed of the running material.
SOLUTION: A one-dimensional imaging element 11 converts the image of a running material 99 into a video signal so as to be sent to an adder 31. The adder 31 integrates the video signal so as to form a superposed video signal. A rotary encoder 21 detects the running distance of the running material 99, and the adder 31 sends the superposed video signal to a divider 32. The superposed video signal is signal-processed by the divider 32 and a flaw discrimination device 40 so as to be output to a printer 53, a CRT 98 and the like. Since the two-dimensional image of the CRT 98 is constituted of image scanning lines in which the superposed video signal is converted, it is displayed at a constant scale irrespective of the running speed of the running material. In addition, since the video signal is not thinned out, it is possible to prevent a very small defect of the running material 99 from being overlooked.
COPYRIGHT: (C)1997,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、移送されている長尺材料の表面の疵を光学的に検出する表面検査装置に関する。 The present invention relates] relates the surface inspection apparatus for optically detecting flaws in the surface of the elongated material being transported.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、表面疵の有無等のシ−ト材(走行材)の表面状態をシ−ト材を走行させながら連続的に観察するため、特開平4−166750号公報に開示されるように、1次元撮像素子を用いた表面検査装置が提案されている。 Conventionally, sheet, such as the presence or absence of surface defects - DOO material the surface state of the (driving member) System - To observe continuously while traveling bets material, is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-166750 in so that the surface inspection apparatus using a one-dimensional image sensor has been proposed.

【0003】図7は、従来の表面検査装置の概略説明図を示す図である。 [0003] Figure 7 is a diagram showing a schematic view of a conventional surface inspection apparatus. 図7中、11は1次元撮像素子、13 In FIG. 7, 11 is a one-dimensional image pickup device, 13
は撮影レンズ、50はメモリ、91は手動入力スイッチ、92は制御装置、93は増幅器、94はアナログ/ Taking lens, a memory 50, the manual input switches 91, 92 control unit, 93 an amplifier, 94 an analog /
デジタル信号変換器、95は画像メモリ、96は映像信号解析回路、97はデジタル/アナログ信号変換器、9 Digital signal converter, 95 an image memory, 96 is a video signal analyzing circuit, 97 a digital / analog signal converter, 9
8はCRT、99は走行材を示す。 8 CRT, 99 denotes a track material.

【0004】図7に示すように、従来の表面検査装置は、1次元撮像素子11が撮影した走行材99表面の映像を2次元映像化してCRT98に表示するものである。 [0004] As shown in FIG. 7, the conventional surface inspection apparatus, in which one-dimensional image pickup element 11 displays an image of the track material 99 surface photographed in a two-dimensional imaging to CRT98. 1次元撮像素子11は、1列に配列された複数個の素子(画素)より構成されている。 1-dimensional image sensor 11 is composed of a plurality of elements arranged in a row (pixel). 1次元撮像素子11 1-dimensional image sensor 11
の画素の配列方向は、走行材99の表面に平行かつ走行材99の走行方向に垂直な方向に設定されている。 The arrangement direction of the pixels is set in a direction perpendicular to the traveling direction of the parallel and track material 99 on the surface of the track material 99. このため、走行材99表面の映像は、CRT98画面上において、1次元撮像素子11が撮影した走行材99表面の映像をCRT98画面の横軸方向の映像走査線とし、1 Therefore, the image of the running member 99 surface is on CRT98 screen, the image of the track material 99 surface one-dimensional image sensor 11 is taken on the horizontal axis direction of image scanning lines of CRT98 screen 1
次元撮像素子11が撮影した映像をCRT98画面の縦軸方向に撮影された順に配列することによって、2次元映像化されている。 By arranging an image dimension image pickup element 11 is taken in the vertical axis direction to be taken in the order of CRT98 screen is two-dimensional imaging.

【0005】1次元撮像素子11は、走行材99表面の映像を撮影して映像信号に変換する。 [0005] 1-dimensional image sensor 11 is converted into a video signal by shooting the image of the track material 99 surface. 映像信号は、1次元撮像素子11が撮影した映像の光の強度を各画素毎に信号化したものである。 Video signal is the intensity of the image the one-dimensional image sensor 11 has the imaging optical those signals into each pixel. 1次元撮像素子11には、制御装置92から一定周期毎にクロック信号が送られている。 The one-dimensional image sensor 11, a clock signal is sent to a fixed period each from the control device 92. 1次元撮像素子11は、クロック信号の周期と同じ周期で走査されている。 1-dimensional image sensor 11 is scanned in the same cycle as the cycle of the clock signal. 1次元撮像素子11で生成された映像信号は、クロック信号の周期と同じ周期で1次元撮像素子11から出力されている。 The video signal generated by the one-dimensional image sensor 11 is outputted from the one-dimensional image sensor 11 in the same cycle as the cycle of the clock signal.

【0006】1次元撮像素子11から出力された映像信号は、増幅器93で増幅され、アナログ/デジタル信号変換器94でデジタル信号化された後、画像メモリ95 [0006] The video signal outputted from the one-dimensional image sensor 11 is amplified by the amplifier 93, after a digital signal by an analog / digital signal converter 94, an image memory 95
内に格納されている。 It is stored within. 画像メモリ95内には、一定走査回数分の映像信号が格納可能になっている。 The image memory 95, a video signal of a predetermined number of scanning times is enabled store. 画像メモリ95には、制御装置92から一定周期毎にシフトパルスが送られている。 The image memory 95, shift pulses are fed to a fixed period each from the control device 92. 画像メモリ95内の映像信号は、画像メモリ95にシフトパルスが送られる毎に、画像メモリ95内に格納された順に1回走査分ずつ消去され、新たにアナログ/デジタル信号変換器94から送られた映像信号が画像メモリ95内に格納されている。 Video signal in the image memory 95, every time shift pulse is sent to the image memory 95 is erased once scanning operation in the order stored in the image memory 95 is sent anew from the analog / digital signal converter 94 video signal is stored in the image memory 95.

【0007】画像メモリ95内の映像信号は、デジタル/アナログ信号変換器97でアナログ信号化された後、 [0007] The video signal in the image memory 95, after being analog signals of the digital / analog signal converter 97,
CRT98に送られている。 It has been sent to the CRT98.

【0008】CRT98は、デジタル/アナログ信号変換器97から送られた一定走査回数分の映像信号をもとにして、1次元撮像素子11が撮影した走行材99表面の映像を2次元映像として表示している。 [0008] CRT98 is a video signal of a predetermined number of scanning times sent from the digital / analog signal converter 97 based on the display an image of the track material 99 surface one-dimensional image sensor 11 is taken as a two-dimensional image are doing.

【0009】図7に示す表面検査装置において、1回走査分の映像信号には、走行材99の走行方向に向かって(クロック信号の周期)×(走行材の走行速度)分の長さの走行材99表面の映像情報が含まれている。 [0009] In the surface inspection apparatus shown in FIG. 7, once the scanning of the video signal, toward the traveling direction of the traveling material 99 (the clock signal period) × (running speed of the running material) fraction of the length of image information of the running member 99 surface are included. クロック信号の周期は一定に設定されているため、映像信号中に含まれる走行材99表面の走行材99の走行方向の映像情報は、走行材の走行速度によって変化する。 Since the period of the clock signal is set to a constant, the video information in the running direction of the running material 99 surface track material 99 contained in the video signal varies with the traveling speed of the traveling material. すなわち、(1)走行材の走行速度が速い場合、1回走査分の映像信号に対応する走行材99表面の走行材99の走行方向の映像範囲は、長くなり、(2)走行材の走行速度が遅い場合、1回走査分の映像信号に対応する走行材9 That is, (1) when the running speed of the running member is fast, the image range in the running direction of the running material 99 of the traveling member 99 surface corresponding to the video signal of one scanning operation is increased, (2) traveling of the traveling member If the speed is slow, the running member 9 corresponding to the video signal of one scanning operation
9表面の走行材99の走行方向の映像範囲は、短くなる。 9 image range in the running direction of the running material 99 of the surface is shortened. このため、走行材99の走行方向に一定長さの走行材99表面の2次元映像を形成するために必要な映像信号の走査回数は、(1)走行材の走行速度が速い場合には、少なくなり、(2)走行材の走行速度が遅い場合には、多くなる。 Therefore, the number of scans of the video signal needed to form a two-dimensional image of the track material 99 the surface of a predetermined length in the traveling direction of the traveling member 99, when (1) the traveling speed of the track material is high, less, (2) when the running speed of the track material is slow, increases.

【0010】一方、画像メモリ95に記憶される映像信号の量(走査回数)は、走行材の走行速度に関係なく一定である。 On the other hand, the amount of the video signal stored in the image memory 95 (number of scans) is constant irrespective of the running speed of the running material. このため、1次元撮像素子11が出力するすべての映像信号を画像メモリ95に格納した場合には、 Therefore, when storing all the video signals one-dimensional image sensor 11 is output to the image memory 95,
CRT98画面上に表示される2次元映像の縦軸方向の尺度が走行材の走行速度によって変化するという問題が生じる。 Problem the direction of the longitudinal axis of the measure of the two-dimensional image to be displayed on CRT98 screen is changed by the running speed of the running material occurs. すなわち、1次元撮像素子11が出力するすべての映像信号を画像メモリ95に格納した場合、CRT That is, if you store all the video signal one-dimensional image sensor 11 is output to the image memory 95, CRT
98画面上に表示される走行材99表面の2次元映像は、(1)走行材の走行速度が速い場合には、CRT9 98 two-dimensional image of the track material 99 surface to be displayed on the screen, when (1) the traveling speed of the track material is high, CRT 9
8画面の縦軸方向に圧縮された映像になり、(2)走行材の走行速度が遅い場合には、CRT98画面の縦軸方向に拡大された映像になる。 8 becomes the vertical axis direction to the compressed video screen, (2) when the running speed of the track material is slow, becomes image is enlarged in the direction of the longitudinal axis of CRT98 screen.

【0011】図7に示す表面検査装置は、(1)画像メモリ95に映像信号を格納する際に、走行材99の走行速度に応じて映像信号を間引きし、(2)走行材99の走行方向に一定長さの走行材99表面の2次元映像を、 [0011] surface inspection apparatus shown in FIG. 7, (1) when storing the video signal to the image memory 95, and decimating a video signal in accordance with the running speed of the running member 99, the travel of the (2) track material 99 the two-dimensional image of the track material 99 surface of the predetermined length in the direction,
走行材の走行速度に関係なく、一定の本数の映像信号でCRT98画面上に表示することによって、CRT98 Regardless running speed of the running material, by displaying on CRT98 screen by the video signal with a constant number, CRT98
画面上に表示される走行材99表面の2次元映像の縦軸方向の尺度を一定にするものである。 In which the longitudinal axis of the measure of the two-dimensional image of the track material 99 surface to be displayed on the screen at a constant level.

【0012】制御装置92には、(シフトパルスの出力間隔)×(走行材の走行速度)の値が定数値として設定されている。 [0012] Control unit 92 is set as the value is a constant value (output interval of a shift pulse) × (running speed of the running material). 制御装置92は、走行材の走行速度に応じてシフトパルスの出力間隔を変化させている。 Controller 92 is to change the output interval of a shift pulse in accordance with the travel speed of the traveling material. シフトパルスが画像メモリ95に送られるまでの間に1次元撮像素子11から出力された映像信号は、画像メモリ95内に格納されずに消去(間引き)される。 Shift pulse video signal output from the 1-dimensional image sensor 11 between the time is sent to the image memory 95 is erased without being stored in the image memory 95 (thinning). その結果、CR As a result, CR
T98画面上に表示される走行材99表面の2次元映像は、縦軸方向の尺度が走行材の走行速度に関係なく一定になる。 2-dimensional image of the track material 99 surface that appear on T98 screen is a measure of the vertical axis direction is constant irrespective of the running speed of the running material.

【0013】 [0013]

【発明が解決しようとする課題】走行材の表面には、ピンホ−ル等のように、製品(走行材)の品質管理上、微小ではあっても検出しなければならない深い微小欠陥が存在する場合がある。 On the surface of the track material [0005], pinholes - as such le, product (track material) of quality control, there is a deep micro defects to be detected even in very small If there is a. しかしながら、従来の表面検査装置は、1次元撮像素子が出力した映像信号を間引きしており、間引きされた映像信号中に微小欠陥の情報が含まれている可能性がある。 However, the conventional surface inspection apparatus are decimated video signal one-dimensional image sensor is output, there is likely to contain information of minute defects in the decimated video signal. このため、従来の表面検査装置は、微小欠陥の見落としの可能性があるという問題がある。 Therefore, the conventional surface inspection apparatus, there is a problem that the possibility of oversight of minute defects.

【0014】本発明は、以上の問題を解決するためのものであって、(1)走行材表面の2次元映像を、走行材の走行速度に関係なく、走行材の走行方向に一定の尺度で表示するとともに、(2)走行材表面の微小欠陥の見落としを防ぐこと、を、目的とする表面検査装置である。 [0014] The present invention is intended to solve the above problems, (1) a two-dimensional image of the track material surface, regardless of the running speed of the running material, to scale the running direction of the running material and displays in, (2) preventing the oversight of minute defects of the running material surface, and a surface inspection apparatus for the purpose.

【0015】 [0015]

【課題を解決するための手段】本発明は、走行材の走行距離を検出し、走行材が一定距離走行するまで、1次元撮像素子で走行材表面を撮影してえられた映像信号を、 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention detects the travel distance of the traveling material, until the running material a certain distance running, a video signal that has been E by photographing the track material surface in one-dimensional image sensor,
各映像信号の同じ画素について加算平均して平均化重畳映像信号とし、1本の平均化重畳映像信号を1本の映像走査線に変換し、複数本の映像走査線を2次元映像に展開して表示することを特徴とする表面検査装置である。 For the same pixel of the video signal averaging to the averaged superimposed image signal, and converts a single averaged superimposed image signal to one video scan line, expand a plurality of video scan lines in a two-dimensional image a surface inspection apparatus and displaying Te.

【0016】本発明は、走行材が一定距離走行するまで、1次元撮像素子で走行材表面を撮影してえられた映像信号を、各映像信号の同じ画素について加算平均して平均化重畳映像信号とする。 [0016] The present invention is, until the running material a certain distance running, a video signal that has been E by photographing the track material surface in one-dimensional image sensor, averaging superimposed image averaging to the same pixel of the video signal the signal. このため、平均化重畳映像信号中には、走行材の走行速度に関係なく、走行材の走行方向に向かって一定走行距離分の走行材表面の映像情報が含まれる。 Therefore, during the averaging superimposed image signal, regardless of the running speed of the running member, toward the traveling direction of the traveling member includes video information fixed travel distance fraction of the running material surface. 本発明は、1本の平均化重畳映像信号を1本の映像走査線に変換する。 The present invention converts the averaged superposition image signal one to one video scan line. このため、複数本の映像走査線を展開することによって表示される2次元映像において、映像走査線に垂直な方向の尺度は、走行材の走行速度に関係なく一定になる。 Therefore, in a two-dimensional image displayed by deploying a plurality of image scanning lines, perpendicular scale the video scan line is constant regardless of the traveling speed of the traveling material.

【0017】本発明において、映像信号を各映像信号の同じ画素について加算平均して平均化重畳映像信号を生成する際、映像信号の間引きは行わなれない。 [0017] In the present invention, when generating an averaged superposition image signal averaging to the same pixel of the video signal the video signal, decimation of the video signal can not bring performed. このため、走行材表面に微小欠陥が存在する場合でも、走行材表面の微小欠陥の映像情報は、間引きされずに平均化重畳映像信号中に含まれる。 Therefore, even in the presence of micro defects on the track material surface, the image information of the minute defects in the track material surface is included in the averaging superimposed image signal without being thinned. このため、本発明は、走行材表面に微小欠陥が存在する場合でも、走行材表面の微小欠陥の表示もれ防止を図れる。 Therefore, the present invention is, even in the presence of micro-defects in the running material surface, thereby displaying leakage prevention of the minute defects in the track material surface.

【0018】 [0018]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の形態の1 Figure 1 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION, one embodiment of the present invention
例である表面検査装置のブロック図を示す図である。 It shows a block diagram of a surface inspection apparatus is an example. 図1中、10はリニアアレイカメラ、12はクロック信号発生器、21はロ−タリエンコ−ダ、31は加算器、3 In Figure 1, the 10 linear array camera, 12 a clock signal generator, 21 b - Tarienko - da, 31 an adder, 3
2は除算器、33はカウンタ、34はメモリ、40は疵判別装置、51はデ−タ出力制御装置、52は記憶装置、53はプリンタ、80は搬送用ロ−ラを示す。 2 divider, 33 denotes a counter, 34 is a memory, 40 is flaw discriminating apparatus 51 is de - data output controller, 52 storage unit, 53 a printer, 80 transport Russia - shows a la. 図1 Figure 1
に示す部分のうち、図7に示す部分と同じものには、同一符号を付して説明を省略する。 Of the parts shown in, the same as the parts shown in FIG. 7, and its description is omitted with the same reference numerals.

【0019】図1に示すように、リニアアレイカメラ1 As shown in FIG. 1, the linear array camera 1
0に設けられた1次元撮像素子11の撮像視野は、走行材99の表面上かつ走行材99の走行方向に垂直な方向に設定される。 Imaging visual field of the one-dimensional image sensor 11 provided in the 0 is set in a direction perpendicular to the traveling direction of the surface on and track material 99 of track material 99. また、走行材99の搬送用ロ−ラ80の回転軸には、ロ−タリエンコ−ダ21が設けられる。 Further, conveying Hollow track material 99 - the axis of rotation of La 80, Russia - Tarienko - da 21 is provided. (1)1次元撮像素子11〜増幅器93〜アナログ/デジタル信号変換器94〜加算器31間と、(2)加算器31〜除算器32間と、(3)加算器31〜メモリ34 (1) and between the one-dimensional image sensor 11 to the amplifier 93 to analog / digital signal converter 94 to the adder 31, and between (2) the adder 31 to divider 32, (3) the adder 31 to the memory 34
間と、(4)除算器32〜画像メモリ95間と、(5) And between, as between (4) divider 32 to the image memory 95, (5)
画像メモリ95〜デジタル/アナログ信号変換器97〜 The image memory 95 a digital / analog signal converter 97 to
CRT98間と、(6)クロック信号発生器12〜1次元撮像素子11間と、(7)クロック信号発生器12〜 And between CRT98, and between (6) the clock signal generator 12-1-dimensional image pickup device 11, (7) a clock signal generator 12
カウンタ33間と、(8)クロック信号発生器12〜アナログ/デジタル信号変換器94間と、(9)ロ−タリエンコ−ダ21〜加算器31間と、(10)ロ−タリエンコ−ダ21〜カウンタ33間と、(11)カウンタ3 And while the counter 33, and between 94 (8) clock signal generator 12 to an analog / digital signal converter, (9) B - Tarienko - and between da 21 to the adder 31, (10) B - Tarienko - da 21 to and while the counter 33, (11) counter 3
3〜除算器32間と、には、それぞれ信号の伝達経路が設けられる。 3 and between the divider 32, to the transmission path of each signal is provided. また、(12)画像メモリ95〜疵判別装置40間と、(13)疵判別装置40〜デ−タ出力制御装置51間と、(14)デ−タ出力制御装置51〜記憶装置52間と、(15)デ−タ出力制御装置51〜プリンタ53間と、(16)デ−タ出力制御装置51〜デジタル/アナログ信号変換器97〜CRT98間と、には、それぞれ信号の伝達経路が設けられる。 Further, (12) and between the image memory 95 to flaw discriminating apparatus 40, (13) flaw discriminating apparatus 40 de - and between data output control device 51, (14) de - and between data output control device 51 to the storage device 52 , (15) de - and between data output control device 51 to the printer 53, (16) de - and between data output control device 51 to a digital / analog signal converter 97~CRT98, in the transmission path of each signal is provided It is.

【0020】図1に示す表面検査装置において、1次元撮像素子11は、撮影した映像を映像信号に変換する。 [0020] In the surface inspection apparatus shown in FIG. 1, one-dimensional image sensor 11 converts the captured image to the image signal.

【0021】クロック信号発生器12は、一定周期毎にクロック信号を生成する。 The clock signal generator 12 generates a clock signal at every predetermined period. クロック信号発生器12は、 Clock signal generator 12,
生成したクロック信号をカウンタ31と、1次元撮像素子11と、アナログ/デジタル信号変換器94に送る。 And the generated clock signal counter 31, a one-dimensional image sensor 11, and sends the analog / digital signal converter 94.

【0022】カウンタ31は、クロック信号発生器12 [0022] The counter 31, the clock signal generator 12
から送られるクロック信号を受けて、クロック信号の発生回数を記憶する。 Receiving a clock signal sent from, and stores the number of occurrences of the clock signal.

【0023】1次元撮像素子11は、クロック信号発生器12から送られるクロック信号を受けて、クロック信号の周期と同じ周期で走査される。 The one-dimensional image sensor 11 receives a clock signal sent from clock signal generator 12, is scanned in the same cycle as the cycle of the clock signal. 1次元撮像素子11 1-dimensional image sensor 11
で生成された映像信号は、クロック信号の周期と同じ周期で1次元撮像素子11から出力される。 Video signal in generated are outputted from the one-dimensional image sensor 11 in the same cycle as the cycle of the clock signal. 1次元撮像素子11から出力された映像信号は、増幅器93で増幅された後、アナログ/デジタル信号変換器94に送られる。 Video signal output from the 1-dimensional image sensor 11 is amplified by the amplifier 93 and sent to an analog / digital signal converter 94.

【0024】アナログ/デジタル信号変換器94は、クロック信号発生器12から送られるクロック信号を受けて、増幅器93から送られる映像信号をデジタル信号化する。 The analog / digital signal converter 94 receives a clock signal sent from clock signal generator 12, a digital signal of a video signal sent from the amplifier 93. アナログ/デジタル信号変換器94における映像信号のデジタル信号化のタイミングと、1次元撮像素子11からの映像信号の出力タイミングは、クロック信号によって同期がとられる。 And timing of the digital signal of the video signal in the analog / digital signal converter 94, the output timing of the video signal from the one-dimensional image sensor 11, are synchronized by the clock signal. アナログ/デジタル信号変換器94においてデジタル信号化された映像信号は、加算器31に送られる。 Digital signal video signal in the analog / digital signal converter 94 is sent to the adder 31.

【0025】加算器31は、アナログ/デジタル信号変換器94から送られる映像信号を受けて、映像信号の積算を行う。 The adder 31 receives the video signal sent from the analog / digital signal converter 94 performs the integration of the video signal. 加算器31は、アナログ/デジタル信号変換器94から送られる映像信号と、先にメモリ34に格納されている信号(重畳映像信号)とを対応する画素毎に加算する。 The adder 31 is a video signal sent from the analog / digital signal converter 94, adds the signal stored earlier in the memory 34 (superimposed image signal) to each corresponding pixel. 加算器31は、映像信号と先にメモリ34に格納されている重畳映像信号の加算結果を、新たに重畳映像信号としてメモリ34内に格納する。 The adder 31 stores the addition result of the superimposed image signal stored in the memory 34 to the video signal before, in the memory 34 as a new superimposed image signal. すなわち、メモリ34内に格納される重畳映像信号は、加算器31に映像信号が送られる毎に更新される。 In other words, superimposed image signal stored in the memory 34 is updated every time the video signal is sent to the adder 31.

【0026】一方、ロ−タリエンコ−ダ21は、走行材99の搬送用ロ−ラ80の回転角度を検出する。 On the other hand, Russia - Tarienko - da 21, conveying Hollow track material 99 - for detecting the rotation angle of La 80. ロ−タリエンコ−ダ21は、走行材99の搬送用ロ−ラ80が一定回転角度回転する毎に、加算器31とカウンタ33 B - Tarienko - da 21, conveying Hollow track material 99 - for each of La 80 constant rotational angle, the adder 31 and the counter 33
にトリガパルス信号を送る。 Send a trigger pulse signal to. すなわち、ロ−タリエンコ−ダ21は、走行材が一定距離走行する毎に、加算器3 In other words, Russia - Tarienko - da 21, each time the track material is constant distance travel, the adder 3
1とカウンタ33にトリガパルス信号を送る。 Sending a trigger pulse signal to 1 and the counter 33.

【0027】加算器31は、ロ−タリエンコ−ダ21から送られるトリガパルス信号を受けて、メモリ34内に格納されている重畳映像信号を除算器32に送る。 [0027] Adder 31 b - Tarienko - receiving a trigger pulse signal sent from da 21, sends the superimposed image signal stored in the memory 34 to the divider 32. このため、加算器31から出力される重畳映像信号には、走行材の走行速度に関係なく、走行材の走行方向に向かって一定距離分の走行材表面の映像情報が含まれる。 Therefore, the superimposed image signal output from the adder 31 regardless of the running speed of the running member, toward the traveling direction of the traveling member includes video information of the running material surface a certain distance min. 重畳映像信号が除算器32に送られた後、加算器31はメモリ34のデ−タを0にリセットしてから映像信号の積算を再開する。 After superimposed image signal is sent to the divider 32, adder 31 de memory 34 - resumes accumulation of the image signal from the reset data to zero.

【0028】カウンタ33は、ロ−タリエンコ−ダ21 [0028] The counter 33, Russia - Tarienko - da 21
から送られるトリガパルス信号を受けて、トリガパルス信号の発生間隔にカウンタ33に送られたクロック信号の回数をカウント信号に変換する。 Receiving a trigger pulse signal sent from, for converting the number of sent to the counter 33 to the interval of generation of the trigger pulse signal the clock signal to the count signal. カウンタ33は、カウント信号を除算器32に送る。 Counter 33 sends a count signal to the divider 32. 重畳映像信号が除算器32に送られた後、カウンタ33は0にリセットされる。 After superimposed image signal is sent to the divider 32, the counter 33 is reset to 0.

【0029】除算器32は、加算器31から送られる重畳映像信号と、カウンタ31から送られるカウント信号を受けて、重畳映像信号の信号強度をトリガパルス信号の発生間隔に発生したクロック信号の回数で各画素毎に除算して、平均化重畳映像信号とする。 The divider 32 receives a superimposed image signal sent from the adder 31, the count signal sent from the counter 31, the number of clock signals generated in the generation interval of the trigger pulse signal the signal strength of the superimposed image signal in by dividing for each pixel, and averages superimposed image signal. すなわち、除算器32は、重畳映像信号の信号強度が1走査当たりの映像信号の信号強度レベルになるように、重畳映像信号の信号強度を平均化する。 That is, the divider 32, so that the signal intensity of the superimposed video signal is the signal intensity level of the video signal per scan, averaging the signal strength of the superimposed image signal. 除算器32は、平均化重畳映像信号を画像メモリ95に送る。 Divider 32 sends the averaged superimposed image signal to the image memory 95.

【0030】画像メモリ95には、一定本数分の平均化重畳映像信号が格納可能になっている。 [0030] The image memory 95, an averaging superimposed image signal of a predetermined number worth is enabled store. 画像メモリ95 Image memory 95
内の平均化重畳映像信号は、画像メモリ95に平均化重畳映像信号が送られる毎に、画像メモリ95内に格納された順に1本ずつ消去され、新たに除算器32から送られた平均化重畳映像信号が画像メモリ95内に記憶される。 Averaging superimposed image signal of the inner, every time averaging superimposed image signal to the image memory 95 is sent, it erased one by one in the order stored in the image memory 95, an averaging sent from the newly divider 32 superimposed video signal is stored in the image memory 95.

【0031】画像メモリ95内の平均化重畳映像信号は、デジタル/アナログ信号変換器97でアナログ信号化された後、CRT98に送られる。 The averaged superimposed image signal in the image memory 95, after being analog signals of the digital / analog signal converter 97, and sent to the CRT98. CRT98は、デジタル/アナログ信号変換器97から送られた一定本数の重畳映像信号をもとにして、1次元撮像素子11が撮影した走行材99表面の映像を2次元映像化する。 CRT98 is a superimposed image signal of a predetermined number sent from the digital / analog signal converter 97 based on the one-dimensional image sensor 11 is a two-dimensional image the image of the track material 99 surface photographed. CR CR
T98は、1本の重畳映像信号が示す映像をCRT98 T98 is, CRT98 an image one superimposed image signal indicates
画面の横軸方向の映像走査線とし、各重畳映像信号が示す映像をCRT98画面の縦軸方向に向かって重畳映像信号が生成された順に配列することによって、走行材9 By the horizontal axis direction of image scanning lines of the screen, arranging the video indicated by the superimposed image signal in the order in which superimposed image signal is generated toward the direction of the longitudinal axis of the CRT98 screen, track material 9
9表面の映像を2次元映像表示する。 Image 9 surface to two-dimensional image displayed. 重畳映像信号中には、走行材99の走行速度に関係なく、走行材99の走行方向に向かって一定距離分の走行材99表面の映像情報が含まれる。 During superimposed image signal, regardless of the traveling speed of the traveling member 99, toward the traveling direction of the traveling member 99 includes video information track material 99 surface of the fixed distance min. このため、図1に示す表面検査装置において、CRT98画面の縦軸方向(走行材の走行方向) Therefore, in the surface inspection apparatus shown in FIG. 1, the direction of the longitudinal axis of the CRT98 screen (running direction of the traveling material)
の尺度は、走行材99の走行速度に関係なく一定になる。 Measure is constant irrespective of the running speed of the running member 99. また、映像信号を加算器31で積算して重畳映像信号を生成する際に、映像信号の間引きは行われない。 Moreover, when generating the superimposed image signal by integrating the video signal at the adder 31, the thinning of the image signal is not performed. このため、走行材99表面に微小欠陥が存在する場合でも、走行材99表面の微小欠陥の映像情報は、重畳映像信号中に含まれる。 Therefore, even if a minute defect is present in the track material 99 surface, the image information of the minute defects in the track material 99 surface is included in the superimposed image signal. ゆえに、走行材99表面に微小欠陥が存在する場合でも、走行材99表面の微小欠陥の映像はCRT98画面に表示される。 Therefore, even if there are minute defects in the track material 99 surface, the image of the micro-defects in the track material 99 surface is displayed on CRT98 screen. したがって、本発明は、ピンホ−ル等のように製品の品質管理上、検出する必要がある走行材99表面の微小欠陥の見落とし防止を図ることが可能になる。 Accordingly, the present invention is, pinholes - on product quality control as such Le, it is possible to achieve the oversight prevention of micro-defects of the running material 99 surface that needs to be detected.

【0032】尚、本発明において、さらに疵判別手段を設けることによって、走行材表面の疵の度合いを所定のパラメ−タで等級別に分類してもよい。 [0032] In the present invention, by further providing the flaw determination unit, parameter flaw degree predetermined for traveling material surface - it may be classified into graded with data. 以下、疵判別手段の実施の形態の1例を示す。 Hereinafter, an example embodiment of the flaw determining means.

【0033】図1に示すように、疵判別装置40は、画像メモリ95内に格納された平均化重畳映像信号を読み取り、以下に示す手順で走行材99表面の疵の度合いを所定のパラメ−タで等級別に分類する。 As shown in FIG. 1, flaw discriminating apparatus 40, the image reading averaging superimposed image signal stored in the memory 95, a predetermined degree of flaw of track material 99 surface according to the following procedure parameters - It is classified by grade in the data.

【0034】図2は、図1に示す表面検査装置における疵判別装置の疵判別手順を示すフロ−チャ−トを示す図である。 FIG. 2 is flow shows the flaw determination procedures flaw discriminating apparatus in the surface inspection apparatus shown in FIG. 1 - is a view showing the door - tea.

【0035】(1)走行材表面の映像領域の抽出、 1次元撮像素子の撮像視野が走行材の幅よりも広い場合、重畳映像信号によって形成される2次元映像中には、走行材表面の映像領域以外に背景の映像領域が含まれる。 [0035] (1) Extraction of image area of ​​the traveling material surface, when the imaging visual field of the one-dimensional image sensor is wider than the width of the track material, the 2-dimensional image formed by superimposing the video signal, the track material surface It includes a video area of ​​the background to the non-image area. このため、疵判別装置は、平均化重畳映像信号の中から、走行材表面の映像領域内に位置する画素の平均化重畳映像信号を抽出する。 Thus, flaw discriminating apparatus, from among the averaging superimposed image signal, and extracts the averaged superimposed image signals of pixels located in the image area of ​​the traveling material surface.

【0036】図3は、1本の平均化重畳映像信号の信号強度を1画素毎に示した平均化重畳映像信号強度分布の概略説明図である。 [0036] FIG. 3 is a schematic illustration of averaging superimposed image signal intensity distribution showing the signal strength of a single averaged superimposed image signal for each pixel. 図3中、縦軸は1画素の平均化重畳映像信号の信号強度、横軸は画素の位置を示す。 In Figure 3, the vertical axis represents the signal intensity of the averaged superimposed image signal for one pixel, the horizontal axis shows the position of the pixel. 図3 Figure 3
中、71は走行材表面の映像領域、72は背景の映像領域を示す。 Among, 71 image area of ​​the traveling material surface, 72 denotes an image area of ​​the background.

【0037】図3に示すように、走行材表面の映像領域71内の画素は、背景の映像領域72内の画素よりも平均化重畳映像信号の信号強度が高くなる。 As shown in FIG. 3, the pixel of the image region 71 of the track material surface, the signal strength of the averaging superimposed image signal is higher than the pixel of the image region 72 of the background. 疵判別装置は、予め疵判別装置に設定される映像抽出信号強度レベルと各画素の平均化重畳映像信号の信号強度を比較し、 Flaw discriminating apparatus compares the signal strength averaged superposition image signal of the image extraction signal intensity level and each pixel is set in advance flaw discriminating apparatus,
平均化重畳映像信号の信号強度が映像抽出信号強度レベルよりも高い画素を抽出して、走行材表面の映像領域7 Signal strength averaging superimposed image signal to extract a higher pixel than the picture extracting signal strength level, the image area 7 of the running material surface
1内の画素とする。 The pixels in one.

【0038】(2)平均化重畳映像信号強度レベルの規格化、 図4(a)は、1本の平均化重畳映像信号の走行材表面の映像領域における信号強度を1画素毎に示した平均化重畳映像信号強度分布の概略説明図である。 [0038] (2) normalized averaged superimposed image signal intensity levels, Fig. 4 (a), the average showing signal intensity in the video area of ​​the track material surface of one averaged superimposed image signal for each pixel it is a schematic illustration of a reduction superimposed image signal intensity distribution. 図4(a) FIGS. 4 (a)
中、縦軸は1画素の平均化重畳映像信号の信号強度、横軸は画素の位置を示す。 Among, the vertical axis represents the signal intensity of the averaged superimposed image signal for one pixel, the horizontal axis shows the position of the pixel. 図4(b)は、図4(a)に示す平均化重畳映像信号強度分布を規格化した規格化重畳映像信号強度分布の概略説明図である。 FIG. 4 (b) is a schematic illustration of averaging superimposed image signal intensity distribution normalized superimposed image signal intensity distribution obtained by normalizing the shown in Figure 4 (a). 図4(b)中、 In FIG. 4 (b), the
縦軸は1画素の規格化重畳映像信号の信号強度、横軸は画素の位置を示す。 Signal strength normalization superimposed image signal of the vertical axis 1 pixel, the horizontal axis indicates the position of the pixel.

【0039】図4(a)に示すように、走行材表面の正常部から得られる平均化重畳映像信号の信号強度は、走行材表面の照明状態の影響を受けるため、画素の位置に関係なく一定強度レベルになるとは限らない。 As shown in FIG. 4 (a), the signal strength of the averaging superimposed image signal obtained from the normal portion of the track material surface is affected by the lighting state of the track material surface, regardless of the position of the pixel not necessarily to be a constant intensity level. 疵判別装置は、走行材表面の正常部における平均化重畳映像信号の信号強度が一定強度レベルになるように、走行材表面の映像領域内の平均化重畳映像信号強度分布を規格化する。 Flaw discriminating apparatus, so that the signal strength averaged superimposed image signal becomes constant intensity level at the normal part of the track material surface, to normalize the averaged superimposed image signal intensity distribution of the image area of ​​the traveling material surface. まず、疵判別装置は、走行材表面の映像領域内の1 First, flaw discriminating apparatus, the first image region of the track material surface
画素の平均化重畳映像信号強度を、近傍の数10点の画素の平均化重畳映像信号強度の平均値に変換して移動平均信号とする。 Averaging superimposed image signal intensities of the pixels, and the moving average signal is converted to an average value of the averaging superimposed image signal intensities of pixels having 10 points in the vicinity. 次に、疵判別装置は、各画素の規格化重畳映像信号の信号強度を(1)式に従って算出する。 Then, flaw discriminating apparatus calculates the signal strength of the normalized superimposed image signal for each pixel in accordance with equation (1). C =A・(I−I m )/I m +C ・・・(1)式 尚、(1)式中、I Cは画素の規格化重畳映像信号の信号強度、Iは画素の重畳映像信号の信号強度、I mは画素の移動平均信号の信号強度、AおよびCは定数を示す。 I C = A · (I- I m) / I m + C ··· (1) formula Incidentally, (1) where, I C is the signal strength of the normalized superimposed image signal of the pixel, I is superimposed image pixels signal strength of the signal, I m is the signal strength of the moving average signal of the pixel, a and C represents a constant.

【0040】以上の結果、図4(b)に示すように、走行材表面の映像領域内の平均化重畳映像信号強度分布が規格化される。 [0040] As a result, as shown in FIG. 4 (b), averaged superimposed image signal intensity distribution of the image area of ​​the track material surface is normalized.

【0041】(3)規格化重畳映像信号の2値化、 疵判別装置は、規格化重畳映像信号を生成した後、規格化重畳映像信号の2値化を行う。 [0041] (3) binarized flaw discriminating apparatus standardized superimposed image signal after generating the normalized superimposed image signal, binarizes the normalized superimposed image signal.

【0042】図5は、規格化重畳映像信号の2値化を説明するための概略説明図である。 [0042] Figure 5 is a schematic explanatory view for explaining the binarizing normalized superimposed image signal. 図5中、縦軸は1画素の規格化重畳映像信号の信号強度、横軸は画素の位置を示す。 In FIG. 5, the vertical axis represents the signal intensity normalized superimposed image signal for one pixel, the horizontal axis indicates the position of the pixel. 図5中、一点鎖線は2値化レベルを示す。 In FIG. 5, the dashed line shows the binarization level.

【0043】図5に示すように、疵判定装置内には、予め、走行材表面の正常部から得られる規格化重畳映像信号の信号強度の高強度側と低強度側に2値化レベルが設定される。 As shown in FIG. 5, in the flaw determination unit, advance, high strength side and the low intensity side binarization level of the signal intensity normalized superimposed image signal obtained from the normal portion of the track material surface It is set. 疵判別装置は、(1)画素の規格化重畳映像信号の信号強度が高強度側の2値化レベル〜低強度側の2値化レベルの範囲内にある場合、画素の表示を黒とし、(2)画素の規格化重畳映像信号の信号強度が高強度側の2値化レベル〜低強度側の2値化レベルの範囲外である場合、画素の表示を白とする。 Flaw discriminating apparatus, (1) when the signal strength of the normalized superimposed image signal of the pixel is within the scope of the binarization level of the binarized level - low intensity side of the high strength side, the black display of the pixel, (2) If the signal strength of the normalized superimposed image signal of the pixel is binarized level outside the range of the high intensity side binarization level - low intensity side, the display of the pixel white. 画素の表示は、疵判別装置内に設けられた疵判別用画像メモリ内に、2値化された2次元画像として格納される。 Display pixels, in the flaw determination image memory provided in the flaw discriminating apparatus, is stored as binarized two-dimensional image.

【0044】(4)疵候補領域の抽出、 図6は、2値化された2次元画像の概略説明図である。 [0044] (4) Extraction of flaw candidate region, FIG. 6 is a schematic illustration of a binarized two-dimensional image.
図6中、73a、73bは疵候補領域、74は規格化重畳映像信号を構成する画素の表示の列を示す。 In Figure 6, 73a, 73b is flaw candidate region, 74 indicates a row of display pixels constituting the normalized superimposed image signal.

【0045】図6に示すように、2値化された2次元画像は、疵判別用画像メモリの横軸方向に、1本の規格化重畳映像信号を構成する画素の表示の列74を格納し、 [0045] As shown in FIG. 6, the binarized two-dimensional image, the horizontal axis direction of the image memory for flaw determination, stores display column 74 of pixels constituting a single standardized superimposed image signal and,
疵判別用画像メモリの縦軸方向に、各規格化重畳映像信号を構成する画素の表示の列74を規格化重畳映像信号が生成された順に格納することによって形成される。 The longitudinal axis direction of the image memory for flaw discrimination, is formed by storing the display columns 74 of the pixels constituting the respective normalized superimposed image signal in the order in which the normalized superimposed video signal is generated. 疵判別装置は、2値化された2次元画像の中から白い部分に外接する長方形の領域を疵候補領域73a、73bとして抽出する。 Flaw discriminating apparatus extracts a rectangular area circumscribing the white portion from the binarized two-dimensional image flaw candidate region 73a, as 73b.

【0046】(5)走行材表面の疵の等級分類、 疵判別装置は、疵候補領域内の疵の特徴量を求め、疵候補領域内の疵を特徴量の大きさによって等級分類する。 [0046] (5) grading the flaw of the running material surface, flaw discriminating apparatus obtains the feature value of defect of flaw candidate region is grading by size of the feature quantity flaws of flaw candidate region.
疵の特徴量としては、(1)疵の長さ、疵の幅、疵の面積等のような疵の形状特徴量や、(2)疵の部分に位置する画素の規格化重畳映像信号の信号強度の最大値、疵の部分に位置する画素の規格化重畳映像信号の信号強度の平均値等のような規格化重畳映像信号の信号強度に関する疵の濃度特徴量等、が挙げられる。 The feature amount of defects, (1) the length of the flaw, the width of the flaw, flaw shape feature or the like area of ​​defect, (2) of the pixels located in the portion of the flaw of the normalized superimposed image signal maximum value of the signal strength, density feature quantity of defect related to the signal strength of a standardized superimposed image signal as average value of the signal intensity of the normalized superimposed image signals of pixels located in the portion of the flaw or the like, can be mentioned. 疵判別装置内には、予め、走行材表面の疵を分類するために疵の特徴量の等級が設定される。 In the flaw determination unit, in advance, grade feature amount of scratches is set to classify the defects of the running material surface. 疵判別装置は、疵候補領域内の疵の特徴量と、疵判別装置内に設定された疵の特徴量の等級(特徴量の範囲)を比較することによって、疵候補領域内の疵を等級分類する。 Flaw discriminating apparatus, by comparing the feature amount of flaw flaw candidate region, the characteristic quantity of the set flaws in the flaw discriminating apparatus grade (the range of the feature amount), grade flaws in flaw candidate areas Classify.

【0047】走行材表面の疵を疵の形状特徴量について等級別に分類する場合、疵判別装置内には、予め、疵の形状特徴量の等級が画素の点数別に設定される。 [0047] When classifying the defects of the running material surface in graded the shape feature value of defect, within flaw discriminating apparatus in advance, grade shape feature of the flaw is set for each number of pixels. 疵判別装置は、疵候補領域内の白い画素の点数を数えて、疵候補領域内の疵の等級を画素の点数比較によって分類する。 Flaw discriminating apparatus, counting the number of white pixels of flaw candidate region, classifying the grade of flaws flaw candidate region by score comparator pixels.

【0048】走行材表面の疵を疵の形状特徴量について等級別に分類する場合、疵判別装置内には、予め、疵の濃度特徴量の等級が規格化重畳映像信号の信号強度に関する量として設定される。 [0048] When classifying the defects of the running material surface in graded the shape feature value of defect setting, in the flaw discriminating apparatus in advance, grade density feature quantity of flaws as an amount related to the signal strength of the normalized superimposed image signal It is. 疵判別装置は、疵候補領域内の画素の規格化重畳映像信号の信号強度を等級分類すべき疵の濃度特徴量に合わせて求め、疵候補領域内の疵を疵の濃度特徴量別に等級分類する。 Flaw discriminating apparatus obtains in accordance with the density feature of flaw signal strength to be grading standardized superimposed image signal of the pixels in the flaw candidate area, density feature quantity of flaws and flaws flaw candidate region separately grading to. 以上の手順により、 By the above procedure,
疵判別装置は、走行材表面の疵の等級を分類する。 Flaw discriminating apparatus classifies the grade of flaw of the running material surface.

【0049】図1に示すように、疵判別装置40は、疵判別領域の位置のデ−タと、疵候補領域内の疵の等級のデ−タをデ−タ出力制御装置51に送る。 [0049] As shown in FIG. 1, flaw discriminating apparatus 40, data of the position of the flaw determining zone - Send the data output control device 51 - and data, de grades of flaw of flaw candidate region - the data de. デ−タ出力制御装置51は、必要に応じて、疵判別領域の位置のデ− De - data output control device 51, if necessary, data of the position of the flaw determining zone -
タと疵候補領域内の疵の等級のデ−タをメモリ52に格納したり、疵判別領域の位置のデ−タと疵候補領域内の疵の等級のデ−タをプリンタ53から出力する。 Data and flaw candidate region flaw grade de of the - outputting the data from the printer 53 - the data and stores in the memory 52, data of the position of the flaw determining zone - de grade flaw in data and flaw candidate areas .

【0050】また、本発明において、画像メモリ95に格納される映像信号をCRT98に2次元映像表示する代わりに、疵判別装置40で得られた規格化重畳映像信号を、デ−タ出力制御装置51〜デジタル/アナログ信号変換器97を介してCRT98に送り、走行材99表面の映像を規格化重畳映像信号で2次元映像表示してもよい。 [0050] Further, in the present invention, a video signal stored in the image memory 95 instead of displaying two-dimensional image to CRT98, normalized superimposed image signal obtained by the defect determination unit 40, de - data output control device 51 to the digital / via an analog signal converter 97 sends the CRT98, the image of the track material 99 surface may display two-dimensional image in normalized superimposed image signal.

【0051】 [0051]

【発明の効果】本発明の表面検査装置は、(1)1次元撮像素子で走行材表面を撮影してえられた映像信号を、 Effects of the Invention surface inspection apparatus of the present invention, a video signal that has been E by photographing the track material surface (1) one-dimensional image sensor,
走行材が一定距離走行するまで、各映像信号の同じ画素について加算平均して平均化重畳映像信号とするため、 Until the running material a certain distance travel, to the averaging superimposed image signal averaging to the same pixel of the video signal,
平均化重畳映像信号中には走行材の走行方向に向かって一定走行距離分の映像情報が含まれ、さらに、1本の平均化重畳映像信号を1本の映像走査線に変換し、複数本の映像走査線を2次元映像に展開して表示するので、走行材表面の2次元映像を、走行材の走行速度に関係なく、走行材の走行方向に一定の尺度で表示することが可能になるとともに、(2)平均化重畳映像信号を生成する際、映像信号の間引きは行わなれないため、走行材表面に微小欠陥が存在する場合でも、走行材表面の微小欠陥の映像情報は、間引きされずに平均化重畳映像信号中に含まれるので、走行材表面の微小欠陥の見落とし防止を図れる。 During averaging superimposed video signal contains image information of a predetermined traveling distance component toward the running direction of the running material, further, it converts the one averaged superimposed image signal to one video scan line, a plurality of since the image scanning lines and displaying the expanded into two-dimensional image, the two-dimensional image of the track material surface, regardless of the running speed of the running member, to be capable of displaying the running direction of the traveling material to scale together comprising, when generating the (2) averaged superimposed image signal, since no familiar performed thinning of the video signal, even in the presence of micro defects on the track material surface, the image information of the minute defects in the track material surface is thinned because included in the averaging superimposed image signal without being, thereby overlooked prevention of micro-defects of the running material surface.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】 図1は、本発明の実施の形態の1例である表面検査装置のブロック図を示す図である。 FIG. 1 is a diagram showing a block diagram of the surface inspection apparatus, which is an example of the embodiment of the present invention.

【図2】 図2は、図1に示す表面検査装置における疵判別装置の疵判別手順を示すフロ−チャ−トを示す図である。 Figure 2 is a flow shows the flaw determination procedures flaw discriminating apparatus in the surface inspection apparatus shown in FIG. 1 - is a view showing the door - tea.

【図3】 図3は、1本の平均化重畳映像信号の信号強度を1画素毎に示した平均化重畳映像信号強度分布の概略説明図である。 Figure 3 is a schematic illustration of averaging superimposed image signal intensity distribution showing the signal strength of a single averaged superimposed image signal for each pixel. 図3中、縦軸は1画素の平均化重畳映像信号の信号強度、横軸は画素の位置を示す。 In Figure 3, the vertical axis represents the signal intensity of the averaged superimposed image signal for one pixel, the horizontal axis shows the position of the pixel.

【図4】 図4(a)は、1本の平均化重畳映像信号の走行材表面の映像領域における信号強度を1画素毎に示した平均化重畳映像信号強度分布の概略説明図である。 [4] FIG. 4 (a) is a schematic illustration of averaging superimposed image signal intensity distribution showing the signal strength in the image area of ​​the traveling material surface of one averaged superimposed image signal for each pixel.
図4(a)中、縦軸は1画素の平均化重畳映像信号の信号強度、横軸は画素の位置を示す。 FIGS. 4 (a) in the signal strength of the averaging superimposed image signal of the vertical axis 1 pixel, the horizontal axis indicates the position of the pixel. 図4(b)は、図4 FIG. 4 (b), FIG. 4
(a)に示す平均化重畳映像信号強度分布を規格化した規格化重畳映像信号強度分布の概略説明図である。 Is a schematic illustration of averaging superimposed image signal intensity distribution normalized superimposed image signal intensity distribution obtained by normalizing the shown in (a). 図4 Figure 4
(b)中、縦軸は1画素の規格化重畳映像信号の信号強度、横軸は画素の位置を示す。 (B) in the signal strength of the normalized superimposed image signal of the vertical axis 1 pixel, the horizontal axis indicates the position of the pixel.

【図5】 図5は、規格化重畳映像信号の2値化を説明するための概略説明図である。 Figure 5 is a schematic explanatory view for explaining the binarizing normalized superimposed image signal. 図5中、縦軸は1画素の規格化重畳映像信号の信号強度、横軸は画素の位置を示す。 In FIG. 5, the vertical axis represents the signal intensity normalized superimposed image signal for one pixel, the horizontal axis indicates the position of the pixel. 図5中、一点鎖線は2値化レベルを示す。 In FIG. 5, the dashed line shows the binarization level.

【図6】 図6は、2値化された2次元画像の概略説明図である。 Figure 6 is a schematic illustration of a binarized two-dimensional image.

【図7】 図7は、従来の表面検査装置の概略説明図を示す図である。 Figure 7 is a diagram showing a schematic view of a conventional surface inspection apparatus.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

11 1次元撮像素子 12 クロック信号発生器 21 ロ−タリエンコ−ダ 31 加算器 32 除算器 33 カウンタ 34 メモリ 40 疵判別装置 51 デ−タ出力制御装置 52 記憶装置 53 プリンタ 80 搬送用ロ−ラ 95 画像メモリ 98 CRT 99 走行材 11 1-dimensional image sensor 12 clock signal generator 21 b - Tarienko - da 31 adder 32 divider 33 counter 34 memory 40 flaw discriminating apparatus 51 de - data output control device 52 storage device 53 printer 80 carrying B - La 95 images memory 98 CRT 99 track material

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【手続補正書】 [Procedure amendment]

【提出日】平成8年8月14日 [Filing date] 1996 August 14,

【手続補正1】 [Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0038 [Correction target item name] 0038

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0038】(2)平均化重畳映像信号強度レベルの規格化、 [0038] (2) normalized averaged superimposed image signal intensity level,

【手続補正2】 [Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0039 [Correction target item name] 0039

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0039】 図3に示すように、走行材表面の正常部から得られる平均化重畳映像信号の信号強度は、走行材表面の照明状態の影響を受けるため、画素の位置に関係なく一定強度レベルになるとは限らない。 As shown in FIG. 3, the signal strength of the averaging superimposed image signal obtained from the normal portion of the track material surface is affected by the lighting state of the track material surface, regardless of the position of the pixel constant intensity level to become not necessarily. 疵判別装置は、 Flaw discriminating apparatus,
走行材表面の正常部における平均化重畳映像信号の信号強度が一定強度レベルになるように、走行材表面の映像領域内の平均化重畳映像信号強度分布を規格化する。 As the signal strength averaging superimposed image signal becomes constant intensity level at the normal part of the track material surface, to normalize the averaged superimposed image signal intensity distribution of the image area of ​​the traveling material surface. まず、疵判別装置は、走行材表面の映像領域内の1画素の平均化重畳映像信号強度を、近傍の数10点の画素の平均化重畳映像信号強度の平均値に変換して移動平均信号とする。 First, flaw discriminating apparatus, the moving average signal averaging superimposed image signal intensity of one pixel of the image region of the running material surface, by converting the average value of the averaging superimposed image signal intensities of the pixels of the number 10 in the vicinity to. 次に、疵判別装置は、各画素の規格化重畳映像信号の信号強度を(1)式に従って算出する。 Then, flaw discriminating apparatus calculates the signal strength of the normalized superimposed image signal for each pixel in accordance with equation (1). C =A・(I−I m )/I m +C ・・・(1)式 尚、(1)式中、I Cは画素の規格化重畳映像信号の信号強度、Iは画素の重畳映像信号の信号強度、I mは画素の移動平均信号の信号強度、AおよびCは定数を示す。 I C = A · (I- I m) / I m + C ··· (1) formula Incidentally, (1) where, I C is the signal strength of the normalized superimposed image signal of the pixel, I is superimposed image pixels signal strength of the signal, I m is the signal strength of the moving average signal of the pixel, a and C represents a constant.

【手続補正3】 [Amendment 3]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0040 [Correction target item name] 0040

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0040】以上の結果、 図4に示すように、走行材表面の映像領域内の平均化重畳映像信号強度分布が規格化される。 [0040] As a result, as shown in FIG. 4, averaging superimposed image signal intensity distribution of the image area of the track material surface is normalized.

【手続補正4】 [Amendment 4]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】図4 [Correction target item name] FIG. 4

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【図4】 図4は走行材表面の映像領域内の平均化重畳 Figure 4 is averaged superposition of the image area of the traveling material surface
映像信号強度分布が規格化された状態を示す図である。 Video signal intensity distribution is a diagram illustrating a state of being normalized.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大重 貴彦 東京都千代田区丸の内一丁目1番2号 日 本鋼管株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Takahiko Oshige Marunouchi, Chiyoda-ku, tokyo chome No. 1 No. 2 Date. this steel pipe in the Corporation

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 走行材の走行距離を検出し、走行材が一定距離走行するまで、1次元撮像素子で走行材表面を撮影してえられた映像信号を、各映像信号の同じ画素について加算平均して平均化重畳映像信号とし、1本の平均化重畳映像信号を1本の映像走査線に変換し、複数本の映像走査線を2次元映像に展開して表示することを特徴とする表面検査装置。 1. A detects the travel distance of the traveling material, until the running material a certain distance running, a video signal that has been E by photographing the track material surface in one-dimensional image sensor, adding the same pixel of the video signal average of the averages superimposed image signal, and converts a single averaged superimposed image signal to one video scan line, and displaying expand the plurality of video scan lines in a two-dimensional image surface inspection apparatus.
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