JPH09245653A - Display device - Google Patents

Display device

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Publication number
JPH09245653A
JPH09245653A JP8056573A JP5657396A JPH09245653A JP H09245653 A JPH09245653 A JP H09245653A JP 8056573 A JP8056573 A JP 8056573A JP 5657396 A JP5657396 A JP 5657396A JP H09245653 A JPH09245653 A JP H09245653A
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JP
Japan
Prior art keywords
discharge
display device
discharge chamber
plasma
gas
Prior art date
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Pending
Application number
JP8056573A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Sumio Ashida
純生 芦田
Hirosaku Yamada
啓作 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP8056573A priority Critical patent/JPH09245653A/en
Publication of JPH09245653A publication Critical patent/JPH09245653A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To quickly start and attenuate a discharge by containing a molecular kind, having second probability larger than first probability recoupling an ion of a atomic molecule and an electron by collision therebetween, in sealing gas of a discharge chamber in a display device using plasma. SOLUTION: In the case of discharge gas of single atomic molecule like rare gas, a charged particle at attenuation time of discharged plasma disappears by charge exchange mainly in a wall surface. On the other hand, in the case of containing molecular gas of large collision section al area like a molecule having two atoms or more, recoupling of charged particle at discharge ending time is quickly performed. Consequently, the number of scans in the same flame time can be increased, and contrast is also improved. Further, for instance, in a plasma address type liquid crystal display device, in a region except a display part, when a part 991 with a separating distance different between an anode electrode 305 a cathode electrode 306 is formed, the range of a conversion interelectrode distance of a discharge is broadened, so as to effectively make the discharge in rise up high speediness. Further, partly both the electrodes may be coated with an insulator layer 701.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマを用いた表
示装置に関し、特にプラズマディスプレイ、プラズマア
ドレス型液晶ディスプレイに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display device using plasma, and more particularly to a plasma display and a plasma addressed liquid crystal display.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子計算機をはじめとする電子情
報機器の小型化が進んでいる。これはLSIに代表され
る電子部品の小型化によるところが大きい。演算装置、
主記憶装置、補助記憶装置などは急速な小型化が進んで
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic information devices such as electronic calculators have been downsized. This is largely due to the miniaturization of electronic components represented by LSI. Arithmetic unit,
Main memory devices, auxiliary memory devices, etc. are rapidly miniaturized.

【0003】しかしながら、表示装置については未だに
陰極線管(以下、CRTという)が多く使われている。
CRTは原理的に大きくなってしまうため、ポータブル
機器として使用できないことはもちろん、室内において
も装置がスぺースを圧迫しているのが現状である。
However, cathode ray tubes (hereinafter referred to as CRTs) are still widely used for display devices.
Since the CRT becomes large in principle, it cannot be used as a portable device, and the device is squeezing the space indoors at present.

【0004】このような問題を解決する手段として平面
ディスプレイ(以下FPDという)ヘの期待が高まって
いる。液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイなど多
種の表示装置が提案され、一部は実用化され普及が始ま
っている。
As a means for solving such a problem, expectations for flat displays (hereinafter referred to as FPDs) are increasing. Various display devices such as liquid crystal displays and plasma displays have been proposed, some of which have been put into practical use and have become popular.

【0005】電子情報機器と同様、テレビのような映像
機器においても、ハイビジョン、大画面化への流れの中
でやはりCRTからFPDへの置き換えの期待が強まっ
ている。特に、大画面テレビを家庭に設置するためには
CRTの奥行きでは困難である。
Similar to electronic information devices, in video devices such as televisions, the expectation of replacement of CRTs with FPDs is growing due to the trend toward high definition and large screens. In particular, it is difficult to install a large-screen TV at home with the depth of the CRT.

【0006】大画面の表示装置を実現するには単純な構
造であることが実用化する上で重要である。映像機器、
情報表示装置ともに、任意の画像を表示する必要からマ
トリクス駆動は必須であるが、そのために数百万の画素
数が必要であり、すべての画素を無欠陥で製造する必要
があるからである。
In order to realize a large-screen display device, a simple structure is important for practical use. Video equipment,
Matrix driving is indispensable because it is necessary to display an arbitrary image in both the information display device, but this requires several millions of pixels, and it is necessary to manufacture all pixels without defects.

【0007】良好な画像特性と、構造の単純さを兼ね備
えた表示装置として、プラズマディスプレイ(以下、P
DPという)、プラズマをスイッチング素子として用い
たプラズマアドレス液晶ディスプレィ(以下、PALC
という)などのプラズマを用い表示装置が提案されてい
る。これらはいずれも気体放電を表示の主要な要素とし
ている。
Plasma display (hereinafter referred to as P
Plasma addressed liquid crystal display (hereinafter referred to as PALC) using plasma as a switching element.
Display devices have been proposed using plasma such as). In all of these, gas discharge is the main element of the display.

【0008】例えばPDPでは、選択する走査線に15
0〜300Vの電圧を印加し、気体放電をおこす。その
際に放電から放射される励起原子ないし分子からの発光
を表示光源とする。あるいは、放電室に蛍光体をあらか
じめ塗布しておき、放電から放射される紫外線で励起し
て蛍光を見ることもできる。後者はカラーPDPの一般
的な動作原理である。
For example, in a PDP, 15 scan lines are selected.
A voltage of 0 to 300 V is applied to cause gas discharge. At this time, light emitted from excited atoms or molecules emitted from the discharge is used as a display light source. Alternatively, the fluorescent material can be applied to the discharge chamber in advance and excited by the ultraviolet rays emitted from the discharge to see the fluorescent light. The latter is the general operating principle of a color PDP.

【0009】一方PALCの基本構造は液晶ディスプレ
イに類似しており、光の透過、遮断の選択を液晶の配向
を変化させることで行う表示装置である。液晶の配向制
御を行うのは、液晶を封止している絶縁性基板表面の帯
電である。
On the other hand, the basic structure of PALC is similar to a liquid crystal display, and is a display device in which light transmission and blocking are selected by changing the orientation of liquid crystal. The orientation of the liquid crystal is controlled by charging the surface of the insulating substrate that seals the liquid crystal.

【0010】図12は従来のPALCの構成を概略的に
示す断面図である。
FIG. 12 is a sectional view schematically showing the structure of a conventional PALC.

【0011】PALCはプラズマを用いて電気的に液晶
マトリクスをアドレスする表示装置である。CRTの走
査線に相当するのは数十μm幅の隔壁901で隔てられ
た細長い放電室902である。放電室の内部には放電室
と平行に一対のアノード電極903とカソード電極90
4が走っている。
PALC is a display device that electrically addresses a liquid crystal matrix using plasma. Corresponding to the scanning line of the CRT is an elongated discharge chamber 902 separated by a partition wall 901 having a width of several tens of μm. Inside the discharge chamber, a pair of anode electrode 903 and cathode electrode 90 are arranged in parallel with the discharge chamber.
4 is running.

【0012】放電室902の上部には、放電室の上部隔
壁である透明絶縁性基板905が配設されている。さら
にその上に液晶層906が、透明導電体により形成され
た信号線907が形成されたガラス基板908との間に
封じ込まれている。
A transparent insulating substrate 905, which is an upper partition of the discharge chamber, is disposed above the discharge chamber 902. Further, a liquid crystal layer 906 is enclosed between the liquid crystal layer 906 and a glass substrate 908 on which a signal line 907 formed of a transparent conductor is formed.

【0013】アノード電極903とカソード電極904
とのあいだに電圧を印加し、封入ガスに気体放電を起こ
す。そのため、放電室902内には希ガスなどのガスを
適当な圧力に封入しておく。プラズマにより上部隔壁9
05表面に荷電粒子を供給して、チャージアップの状態
を変化させる。
Anode electrode 903 and cathode electrode 904
A voltage is applied between and to cause gas discharge in the enclosed gas. Therefore, the discharge chamber 902 is filled with a gas such as a rare gas at an appropriate pressure. Upper partition 9 by plasma
05 Charged particles are supplied to the surface to change the state of charge-up.

【0014】液晶層906を挟んで放電室902と対向
して、走査線である放電室902、アノード電極90
3、カソード電極904と互いに直角に交差するように
信号線907が配置されている。信号線907には、液
晶に書き込みたい表示に応じた電圧が供給される。
The discharge chamber 902, which is a scanning line, and the anode electrode 90 are opposed to the discharge chamber 902 with the liquid crystal layer 906 interposed therebetween.
3, signal lines 907 are arranged so as to intersect the cathode electrodes 904 at right angles to each other. The signal line 907 is supplied with a voltage corresponding to the display desired to be written in the liquid crystal.

【0015】放電終了時に上部隔壁905に残る帯電量
は信号線907の電位に依存する。この帯電量による電
位と対向電極電位間の電位差が液晶906に印加され
る。放電時の信号線907の電圧を制御することで、所
望の階調表示を行うことができる。
The amount of charge remaining on the upper barrier ribs 905 at the end of discharge depends on the potential of the signal line 907. A potential difference between the potential due to the charge amount and the potential of the counter electrode is applied to the liquid crystal 906. By controlling the voltage of the signal line 907 at the time of discharging, desired gradation display can be performed.

【0016】選択する放電室902には、この放電室9
02に属する放電電極に150〜300Vの電圧を印加
し、気体放電を起こす。放電状態にあることが、即ち、
走査線である放電室902が選択されていることに他な
らない。
The discharge chamber 902 to be selected is the discharge chamber 9
A voltage of 150 to 300 V is applied to the discharge electrode belonging to No. 02 to cause gas discharge. Being in a discharged state, that is,
It is nothing but the selection of the discharge chamber 902 which is the scanning line.

【0017】任意画像の表示には、線順次方式のマトリ
クス駆動を行い、電極電圧を時系列で制御する必要があ
る。すなわち、n番目の走査線を選択した時に、その走
査線に属する画素に書き込むべきレベルに応じて信号を
信号線に与える。n番目の走査線の書き込みが終了した
後、n+1番目の走査線に属する画素に書き込むべき信
号を信号線に与え、n+1番目の走査線を選択する。走
査線のn+1番目の走査線を選択したときの信号は、n
番目の走査線を選択したときの信号とは独立でなければ
ならない。異なる走査線にアクセスしている時刻の信号
によって他の画素が影響される場合には、良好なコント
ラストが確保できず画質が低下する。
In order to display an arbitrary image, it is necessary to perform line-sequential matrix driving and control the electrode voltage in time series. That is, when the nth scanning line is selected, a signal is given to the signal line according to the level to be written in the pixel belonging to the scanning line. After the writing of the nth scanning line is completed, a signal to be written to the pixel belonging to the n + 1th scanning line is given to the signal line, and the n + 1th scanning line is selected. The signal when selecting the (n + 1) th scanning line is n
It must be independent of the signal when the second scan line is selected. If another pixel is affected by a signal at the time of accessing a different scanning line, good contrast cannot be ensured and the image quality is degraded.

【0018】放電室を隔てる隔壁は放電をそれぞれの放
電室内に閉じこめる役割がある。放電室からプラズマ中
の荷電粒子、すなわち電子やイオンが漏れ出して隣接し
た走査線の画素に影響を及ぼすのを防いでいる。
The partition walls separating the discharge chambers have a role of confining the discharges in the respective discharge chambers. This prevents charged particles in the plasma, that is, electrons and ions, from leaking from the discharge chamber and affecting the pixels of adjacent scanning lines.

【0019】また、放電電極であるアノード電極、カソ
ード電極は、ガス放電が起こる程度の導電性を持つ必要
がある。放電を短時間に開始または終了できれば1つの
走査線にアクセスする時間を短縮することができるの
で、より走査線の多い表示装置が設計でき、また画質も
向上する。そのため放電開始電圧に達する時間をできる
だけ短くすることが望ましいが、それには放電電極の電
気的抵抗は低くすることが望ましい。
Further, the anode electrode and the cathode electrode, which are the discharge electrodes, need to be electrically conductive enough to cause gas discharge. If the discharge can be started or ended in a short time, the time for accessing one scan line can be shortened, so that a display device with more scan lines can be designed and the image quality is improved. Therefore, it is desirable to shorten the time to reach the discharge starting voltage as much as possible, but it is desirable to lower the electric resistance of the discharge electrode.

【0020】ΡALCは放電室において発生した電荷が
信号線によって引き寄せられ、上部隔壁の放電室側の壁
面に帯電し、その電荷により誘起した電荷が上部隔壁の
液晶層側に蓄積される。
In the AALC, the electric charge generated in the discharge chamber is attracted by the signal line and charged on the wall surface of the upper partition wall on the discharge chamber side, and the charge induced by the electric charge is accumulated on the liquid crystal layer side of the upper partition wall.

【0021】プラズマ放電が停止すると蓄積された電荷
は信号線との間に保持され、液晶層の光変調特性が保持
される。
When the plasma discharge is stopped, the accumulated charges are held between the signal lines and the light modulation characteristics of the liquid crystal layer.

【0022】PALCの特性向上に関する1つの問題点
は、放電開始・終了の時間応答がかならずしも十分にす
ばやくはないことにある。例えば、n番目の走査線にア
クセスを開始するときには、n−1番目の走査線に関す
る放電が完全に終了していなくてはならない。なぜな
ら、もし多少の荷電粒子がn−1番目の走査線に対応す
る放電空間に残存しているならば、n番目の走査線をア
クセスする際に印加すべく用意された信号線電極のデー
タによって影響され、n−1番目の液晶電圧が影響され
てしまう。これは映像のコントラスト低下につながり、
良好な表示を得ることはできない。
One problem with improving the characteristics of PALC is that the time response of the start and end of discharge is not always sufficiently fast. For example, when starting access to the nth scan line, the discharge for the (n-1) th scan line must be completely completed. Because if some charged particles remain in the discharge space corresponding to the (n-1) th scan line, the data of the signal line electrode prepared to be applied when accessing the nth scan line is used. Therefore, the (n-1) th liquid crystal voltage is affected. This leads to a reduction in image contrast,
You cannot get a good display.

【0023】アクセス終了後の液晶電位が信号線電極の
電位変化に影響されることを防ぐには、次の走査線に移
る前に荷電粒子が完全に消滅するまで待てばよい。しか
しこの方法では1画面を走査し終わるのにより長い時間
が必要となる。すなわちリアルタイムに変化する映像、
いわゆる動画などを表示するには不適当な表示装置とな
る。
In order to prevent the liquid crystal potential after the access from being influenced by the potential change of the signal line electrode, it is sufficient to wait until the charged particles completely disappear before moving to the next scanning line. However, this method requires a longer time to finish scanning one screen. That is, images that change in real time,
The display device is not suitable for displaying so-called moving images.

【0024】本質的な解決策は、放電終了後の荷電粒子
の減衰をよりすばやくすることである。
The essential solution is to make the decay of the charged particles more quickly after the end of the discharge.

【0025】従来、プラズマを形成する封入ガスは希ガ
スを用いることが通常であった。放電の立ち上がりと減
衰時間には希ガスを使い続ける限り限界があり、設計で
きるディスプレイの解像度はいわゆるVGA(640×
480画素)程度に限られ、高精細なディスプレイ、た
とえばXGA(1024×768)やHDTVのディス
プレイが実現できないという問題であった。また、VG
A程度の中解像度でもクロストークが発生してコントラ
ストが低下してしまうという問題があった。
Conventionally, it has been customary to use a rare gas as an enclosed gas for forming plasma. There is a limit to the rise and decay time of the discharge as long as the rare gas is used, and the display resolution that can be designed is the so-called VGA (640 ×
However, there is a problem in that a high-definition display, such as an XGA (1024 × 768) or HDTV display, cannot be realized. Also, VG
Even at a medium resolution of about A, there is a problem that crosstalk occurs and the contrast deteriorates.

【0026】また、従来のPDP、ΡALCの構造で
は、放電室の幅は200μm以上と大きなものが多かっ
た。このサイズは127dpi(1インチあたりのドッ
ト数)にすぎず、印刷物なみの解像度はおろか現在ロー
コストプリンターの標準的解像度になっている300d
piにも至らない。したがって、将来のディスプレイと
しては、より高い精細度を実現する技術を導入しなけれ
ばならない。
In the conventional PDP and Ρ ALC structure, the width of the discharge chamber is often as large as 200 μm or more. This size is only 127 dpi (dots per inch), and it has become the standard resolution of low-cost printers, let alone the resolution similar to printed materials.
Not even pi. Therefore, in the future display, technology that realizes higher definition must be introduced.

【0027】また走査線の本数をnAD、1フレーム時間
をtfrとして、1走査線あたりのアクセス時間が1/
(nAD×tfr)に限られる。自然な動画を表示するに
は、60フレーム/秒以上の画面書換回数が必要とされ
ている。例えば、いわゆるXGAの解像度を得るには1
アドレス時間を21μs以下にしなければならない。
Further, assuming that the number of scanning lines is n AD and the frame time is t fr , the access time per scanning line is 1 /
Limited to (n AD × t fr ). In order to display a natural moving image, it is necessary to rewrite the screen 60 times or more per second. For example, to get the so-called XGA resolution, 1
The address time must be 21 μs or less.

【0028】従来の放電は放電の開始、終了に10μs
程度の時間がかかり、1フレーム時間内に放電を完全に
終了するのが難しいという問題があった。また、結果的
にクロストークが発生しコントラストが低下するという
問題があった。さらにコントラストを向上するには精細
度を犠牲にしなくてはならないという問題があった。
The conventional discharge is 10 μs at the start and end of the discharge.
It takes a certain amount of time and it is difficult to completely complete the discharge within one frame time. Further, as a result, there is a problem that crosstalk occurs and the contrast is lowered. Further, there is a problem that the definition must be sacrificed to improve the contrast.

【0029】[0029]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点を解決するためになされたものである。すなわち、
本発明は放電の開始、減衰がすばやい高性能な表示装置
を提供することを目的とする。また本発明は、よりすば
やい走査線の選択が行え、したがって走査線数の多い高
精細な表示装置を提供することを目的とする。また本発
明は、クロストークが少なくコントラストの高い表示装
置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem. That is,
It is an object of the present invention to provide a high-performance display device in which the start and decay of discharge are quick. It is another object of the present invention to provide a high-definition display device which allows quicker selection of scanning lines and therefore has a large number of scanning lines. It is another object of the present invention to provide a display device with low crosstalk and high contrast.

【0030】[0030]

【課題を解決するための手段】本発明の表示装置は、プ
ラズマを画素の構成要素として用いた表示装置であっ
て、放電室と、この放電室に封入された、単原子分子の
イオンと電子とが衝突して再結合する第1の確率よりも
大きい第2の確率を有する分子種を含む封入ガスと、前
記放電室内に形成され、前記封入ガスに電圧を印加して
プラズマ状態を生成する電圧印加手段とを具備したこと
を特徴とする。
A display device of the present invention is a display device using plasma as a constituent element of a pixel, and is a discharge chamber and ions and electrons of a monatomic molecule enclosed in the discharge chamber. And a sealed gas containing a molecular species having a second probability higher than the first probability of collision and recombination with each other, and a voltage is applied to the sealed gas to generate a plasma state. And a voltage applying unit.

【0031】また本発明の表示装置は、放電室内に封入
したガスに電圧を印加して生成するプラズマをスイッチ
ング素子または光源として用いた表示装置であって、前
記封入ガスは、単原子分子のイオンと電子とが衝突して
再結合する第1の確率よりも大きい第2の確率を有する
分子種を含むことを特徴とする。
The display device of the present invention is a display device using plasma generated by applying a voltage to the gas sealed in the discharge chamber as a switching element or a light source, wherein the sealed gas is an ion of a monatomic molecule. And an electron collide and recombine with each other, and include a molecular species having a second probability larger than the first probability.

【0032】また本発明の表示装置は、プラズマを画素
の構成要素として用いた表示装置であって、放電室と、
この放電室に封入された、振動エネルギーと回転エネル
ギーとを有する分子種を含む封入ガスと、前記放電室内
に形成され、前記封入ガスに電圧を印加してプラズマ状
態を生成する電圧印加手段とを具備したことを特徴とす
る。
The display device of the present invention is a display device using plasma as a constituent element of a pixel, and includes a discharge chamber and
An enclosed gas containing a molecular species having vibrational energy and rotational energy, which is enclosed in the discharge chamber, and a voltage applying unit which is formed in the discharge chamber and applies a voltage to the enclosed gas to generate a plasma state. It is characterized by having.

【0033】また本発明の表示装置は、プラズマを画素
の構成要素として用いた表示装置であって、放電室と、
この放電室に封入された封入ガスと、放電室内に、第1
の放電開始電圧に対応する第1の距離で離間した第1の
領域と、第2の放電開始電圧に対応する第2の距離で離
間した第2の領域とを有するように形成された第1の電
極と第2の電極とを具備したことを特徴とする。
Further, the display device of the present invention is a display device using plasma as a constituent element of a pixel, and includes a discharge chamber and
The gas filled in the discharge chamber and the first gas in the discharge chamber
Formed so as to have a first region separated by a first distance corresponding to the discharge start voltage and a second region separated by a second distance corresponding to the second discharge start voltage. And the second electrode.

【0034】また本発明の表示装置は、プラズマを画素
の構成要素として用いた表示装置であって、放電室と、
この放電室に封入された封入ガスと、前記放電室内に、
前記封入ガスに電圧を印加してプラズマ状態を生成する
略平行に形成された一対の電極と、前記一対の電極の1
部領域を被覆するように形成されたダイアモンド構造の
炭素からなる薄膜とを具備したことを特徴とする。
The display device of the present invention is a display device using plasma as a constituent element of a pixel, and includes a discharge chamber,
Filled gas filled in the discharge chamber, and in the discharge chamber,
A pair of electrodes formed in substantially parallel to each other for applying a voltage to the enclosed gas to generate a plasma state;
And a thin film of diamond-structured carbon formed so as to cover the partial region.

【0035】また放電室内に封入するガスは、H2 、C
O、CO2 、N2 、O2 、SF6 、NF3 、XeF2
ArF2 、HeF2 、NeF2 、H2 O、CH4 、CF
4 、C2 2 、C2 4 、C2 2 からなる群の少なく
とも1種を含むことを特徴とする。ここでこれらのガス
は元素の構成を示したものであって、本発明の表示装置
の封入ガスにはこれらのガスを構成する元素がその安定
同位体からなるガスも含まれる(例えばD2 、13
2 152 1415Nなど)。また、天然の同位体比
組成とは異なる元素からなるガスを用いることも含まれ
る。
The gas sealed in the discharge chamber is H 2 , C.
O, CO 2 , N 2 , O 2 , SF 6 , NF 3 , XeF 2 ,
ArF 2 , HeF 2 , NeF 2 , H 2 O, CH 4 , CF
4 , C 2 H 2 , C 2 H 4 , and C 2 N 2 at least one kind is contained. Here, these gases show the constitution of elements, and the gas filled in the display device of the present invention includes the gas in which the elements constituting these gases are stable isotopes (for example, D2, 13). C
O 2 , 15 N 2 , 14 N 15 N, etc.). It also includes using a gas composed of an element different from the natural isotopic composition.

【0036】また、例えば窒素、酸素、水素、炭素から
選ばれた1種以上の元素から構成された多原子分子から
なる気体をその一部あるいは全部とする気体を用いるよ
うにしてもよい。本発明は、プラズマを画素の構成要素
として用いた表示装置、例えばPDPやPALCなどプ
ラズマをスイッチング素子または光源として用いた表示
装置などプラズマを表示に用いるものであれば適用する
ことができる。
Further, for example, a gas containing a part or all of a gas composed of a polyatomic molecule composed of one or more elements selected from nitrogen, oxygen, hydrogen and carbon may be used. The present invention can be applied to any display device using plasma as a constituent element of a pixel, such as a display device using plasma as a switching element or a light source, such as PDP or PALC, as long as the display device uses plasma.

【0037】すなわち、本発明はPDP、PALCなど
のプラズマを用いた表示装置の放電の開始、減衰を素早
くするものである。
That is, the present invention is to accelerate the start and decay of discharge of a display device using plasma such as PDP and PALC.

【0038】まず、プラズマの減衰の高速化について説
明する。本発明の表示装置は、気体放電を表示の主要部
分あるいは補助的部分として用いる表示装置であって、
該気体放電の主体である気体に単原子分子のイオンと電
子とが衝突して再結合する第1の確率よりも大きい第2
の確率を有する分子種を含む気体を用いたものである。
例えばN2 などの多原子分子は、電子との衝突断面積が
大きく、電子の消費効率が高い。電気的に中性なN2
子は、電子と衝突してイオン化し、 N2 +e- → N- +N などの反応により電子を消費する。さらに生成されたN
- は、 N+ +N- → N2 +hν などの反応により電荷を失う。
First, speeding up of plasma attenuation will be described. The display device of the present invention is a display device using a gas discharge as a main part or an auxiliary part of a display,
A second larger than the first probability that ions of monatomic molecules and electrons recombine with the gas that is the main body of the gas discharge.
A gas containing a molecular species having a probability of is used.
For example, a polyatomic molecule such as N 2 has a large collision cross section with an electron and has a high electron consumption efficiency. The electrically neutral N 2 molecule collides with an electron to be ionized, and the electron is consumed by a reaction such as N 2 + e → N + N. Further generated N
- it is, N + + N - → N lose their charge by the reaction, such as 2 + hν.

【0039】また、単原子分子の全運動エネルギーは並
進エネルギーであるのに対し、多原子分子の運動エネル
ギーには、並進エネルギーの他に、振動エネルギー、回
転エネルギーがある。したがって、電子との衝突に際し
ての余剰のエネルギーを、振動、回転モードになどによ
り吸収することができるので電子の消費効率が高くな
る。 本発明の表示装置は、このような分子種を含むガ
スを封入ガスとして用いることにより、放電をすばやく
立ち上げ、また減衰させるものである。
Further, while the total kinetic energy of a monoatomic molecule is translational energy, the kinetic energy of a polyatomic molecule includes vibrational energy and rotation energy in addition to translational energy. Therefore, the surplus energy at the time of collision with the electrons can be absorbed by the vibration, the rotation mode, etc., so that the electron consumption efficiency becomes high. The display device of the present invention uses a gas containing such a molecular species as an enclosed gas to quickly start up and attenuate the discharge.

【0040】マトリクス型表示装置の特徴は、任意の図
形が表示できることにある。一方、全走査線の走査を完
了するまで1画面が構築されないため、時間的に変化す
る映像を表示するためには休みなく全画面の走査をし続
けなくてはならない。かつ、1画面の走査が完了するま
での時間(1フレーム時間という)は約1/60秒程度
より短く設定する必要がある。これは動画の表示に人間
の錯覚を利用しているためである。書換にそれ以上の時
間がかかると走査線の動きが認められ、ちらつきのある
見にくい画像になる。
A feature of the matrix type display device is that it can display arbitrary figures. On the other hand, since one screen is not constructed until the scanning of all the scanning lines is completed, it is necessary to continuously scan the entire screen in order to display a time-varying image. Moreover, it is necessary to set the time until the scanning of one screen is completed (referred to as one frame time) to be shorter than about 1/60 seconds. This is because the human illusion is used to display the moving image. If it takes more time to rewrite, the movement of the scanning line is recognized, and the image becomes flicker and difficult to see.

【0041】気体放電を利用したディスプレイでは、1
走査線のアクセスを始めてから終わるまでの時間(以
下、アドレス時間という)をできるだけ短くすることが
重要である。それは、通常の気体放電ではその立ち上が
り、減衰の時間がアドレス時間に比較できる程度の長さ
であることによる。
For a display utilizing gas discharge, 1
It is important to minimize the time from the start of access to the scan line to the end (hereinafter referred to as address time). This is because the rise and decay times of a normal gas discharge are long enough to be compared with the address time.

【0042】1フレーム時間を1/60秒とすると、走
査線の本数に従ってアドレス時間がきまる。走査線数を
nとすると、1アドレス時間は1/60n秒となる。
When one frame time is 1/60 second, the address time is determined according to the number of scanning lines. When the number of scanning lines is n, one address time is 1 / 60n second.

【0043】例えば、パーソナルコンピュータのモニタ
ー画面として走査線数480本が一般的であるが、この
場合アドレス時間は約35μsである。線順次方式で駆
動するためにはその時間内にプラズマ放電を開始および
終了する必要がある。走査線数は高精細化への要求を満
たすために増加の傾向にあり、ワークステーションでは
1200本以上の例もある。この場合の1アドレス時間
は約14μsとなる。一般に放電の立ち上がり、減衰の
時定数は5μs以上であり、1アドレス時間内に放電を
完全に終了することは非常に困難である。
For example, the number of scanning lines is generally 480 as a monitor screen of a personal computer, but in this case, the address time is about 35 μs. In order to drive by the line-sequential method, it is necessary to start and end the plasma discharge within that time. The number of scanning lines tends to increase in order to meet the demand for higher definition, and there are examples of 1200 or more workstations. In this case, one address time is about 14 μs. In general, the time constant of rising and decay of discharge is 5 μs or more, and it is very difficult to completely complete the discharge within one address time.

【0044】プラズマから荷電粒子を供給して帯電さ
せ、その電荷で液晶電圧を保持することを基本動作原理
とするPALCは、放電終了後速やかに荷電粒子を消滅
することが必要である。次の走査線にアクセスするとき
に電荷が残っていると、新しい信号が前の画素列に影響
をあたえる、すなわちクロストークが発生し、画質が劣
化する。したがって特に残存プラズマ粒子の影響を受け
やすい。
In the PALC whose basic operation principle is to supply charged particles from plasma to be charged and hold the liquid crystal voltage by the charges, it is necessary to extinguish the charged particles promptly after the end of discharge. If the charge remains when the next scan line is accessed, the new signal affects the previous pixel column, that is, crosstalk occurs and the image quality deteriorates. Therefore, they are particularly susceptible to residual plasma particles.

【0045】プラズマ中の衝突素過程を簡単に説明す
る。プラズマ中の電子は印加された電場で加速されて運
動エネルギーを得る。このような電子がガス原子ないし
分子に衝突すると電離および励起がおきる。電離がなだ
れ的に起きると持続的な荷電粒子の供給源となり、安定
に放電が起こる。
The collision element process in plasma will be briefly described. The electrons in the plasma are accelerated by the applied electric field to obtain kinetic energy. When such electrons collide with gas atoms or molecules, ionization and excitation occur. When ionization occurs avalanche, it becomes a continuous supply source of charged particles and stable discharge occurs.

【0046】単原子分子のみからなるガス、例えば希ガ
スのみからなる放電ガスを用いた場合、放電電極への電
圧印加が終了した後、すなわち放電プラズマの減衰時の
荷電粒子の消滅過程はおもに壁面での電荷交換である。
放電プラズマ中のイオンと電子の再結合は、その衝突断
面積はきわめて小さいことが知られている。その理由
は、2体衝突では運動エネルギーと運動量が同時に保存
することができないからであると一般に説明されてい
る。その他の気相中での再結合は、イオンと電子以外の
第三体、すなわち、例えば中性のガス粒子の存在下での
みおこり、したがってこれらの3者が同時に衝突するこ
とが必要となり、その確率は非常に小さい。
When a gas consisting of only monatomic molecules, for example, a discharge gas consisting of only a rare gas, is used, the disappearance process of charged particles after the voltage application to the discharge electrode is completed, that is, when the discharge plasma is attenuated is mainly on the wall surface. It is the charge exchange in.
It is known that the recombination of ions and electrons in the discharge plasma has a very small collision cross section. It is generally explained that the reason is that kinetic energy and momentum cannot be stored simultaneously in a two-body collision. Recombination in the other gas phase only occurs in the presence of a third body other than ions and electrons, ie neutral gas particles, for example, so that it is necessary that these three collide at the same time. The probability is very small.

【0047】一方、2原子分子以上の原子数を持つ分子
イオンと電子との衝突では、壁面での電荷交換以外で
も、余剰エネルギーを分子の振動エネルギー、回転エネ
ルギーなどで吸収することができるため単原子分子の衝
突電荷交換よりもはるかに大きい衝突再結合断面積を持
つ。
On the other hand, in a collision between a molecular ion having an atomic number of two atomic molecules or more and an electron, the surplus energy can be absorbed by the vibrational energy and the rotational energy of the molecule in addition to the charge exchange on the wall surface. It has a collision recombination cross section much larger than the collision charge exchange of atomic molecules.

【0048】本発明は、このような衝突断面積の大きな
分子種を含む分子ガスを封入ガスとして用いたものであ
る。したがって、放電終了後の荷電粒子の再結合が速や
かに行われる。このことから、同一のフレーム時間で走
査線の数を増やすことができることになる。すなわち、
動画表示にも適した、高精細のディスプレイを提供する
ことができる。
The present invention uses a molecular gas containing such a molecular species having a large collision cross-section as an enclosed gas. Therefore, the recombination of the charged particles is promptly performed after the discharge is completed. Therefore, the number of scanning lines can be increased in the same frame time. That is,
It is possible to provide a high-definition display suitable for displaying moving images.

【0049】同様に、同じ精細度のディスプレイを比較
したばあいでは、次の走査線に移ったときには前の走査
線のプラズマは完全に消滅しているため、次の走査線に
対応する画素の信号によって影響を受けることがない。
すなわち、クロストークが少なくなる。また、コントラ
ストのよい画像が得られる。
Similarly, when comparing displays of the same definition, when the scan line is moved to the next scan line, the plasma of the previous scan line is completely extinguished, so that the pixel of the pixel corresponding to the next scan line is extinguished. Not affected by the signal.
That is, crosstalk is reduced. Also, an image with good contrast can be obtained.

【0050】つぎに、プラズマの立ち上がりの高速化に
ついて説明する。
Next, the speeding up of the rising of the plasma will be described.

【0051】本発明の表示装置は放電室内に平行に配設
された、封入ガスに電圧を印加してプラズマ状態を生成
するカソード電極とアノード電極とに、間隔の異なる部
分を設けたものである。これにより、放電電極が形成す
る電場が、1つ走査線に属する放電室内で勾配を形成
し、最も適した電場で放電が開始される。
In the display device of the present invention, the cathode electrode and the anode electrode, which are arranged in parallel in the discharge chamber and generate a plasma state by applying a voltage to the enclosed gas, are provided with different portions. . As a result, the electric field formed by the discharge electrodes forms a gradient in the discharge chamber belonging to one scanning line, and the discharge is started at the most suitable electric field.

【0052】直流電界によりプラズマを生成する際の放
電破壊条件は、 γ(eαd−1)=1 で与えられる。ここでdは電極間距離、αは電子電離係
数、γはイオンの衝撃によってカソード電極から放出さ
れる2次電子の放出係数である。また、直流放電での放
電開始電圧Vstは、換算電極間距離(reducede
lectrode distance)すなわち封入ガ
スの圧力pと電極間距離dとの積pdの関数として次式
で与えられる。 Vst=(Bpd)/{ln(pd)+ln(A/ln
(1+1/γ))} ここでA=1/m、B=n/m、mは1Torrでの電
子の平均自由行程、nはガスの平均イオン化ポテンシャ
ルである。したがって放電開始電圧には最適電圧があ
り、また放電開始電圧は封入ガスの組成の違い、表示装
置の経時変化により組成の変動などによって変化する。
The discharge breakdown condition when plasma is generated by the DC electric field is given by γ (e αd -1) = 1. Here, d is the distance between the electrodes, α is the electron ionization coefficient, and γ is the emission coefficient of secondary electrons emitted from the cathode electrode by the impact of ions. Further, the discharge start voltage Vst in the DC discharge is equal to the reduced interelectrode distance (reducede).
It is given by the following equation as a function of the product pd of the pressure p of the enclosed gas and the distance d between the electrodes. Vst = (Bpd) / {ln (pd) + ln (A / ln
(1 + 1 / γ))} where A = 1 / m, B = n / m, m is the mean free path of electrons at 1 Torr, and n is the mean ionization potential of gas. Therefore, there is an optimum voltage for the discharge start voltage, and the discharge start voltage changes due to the difference in the composition of the enclosed gas and the change in the composition due to the change over time of the display device.

【0053】高周波電界における放電開始電圧は、直流
電界における換算電極間距離pdの他に印加する高周波
の周波数による影響があり、Vst=F(pd、fd)と
表示でき(fは周波数)、やはり放電開始電圧には最適
電圧があり、また放電開始電圧は封入ガスの組成の違
い、表示装置の経時変化により組成の変動などによって
変化する。
The discharge start voltage in the high frequency electric field is influenced by the frequency of the high frequency applied in addition to the converted inter-electrode distance pd in the DC electric field, and can be displayed as Vst = F (pd, fd) (f is the frequency). The discharge starting voltage has an optimum voltage, and the discharge starting voltage changes depending on the composition of the enclosed gas, the composition of the display device with time, and the like.

【0054】本発明はこのような放電開始電圧の変化に
対応できるように、複数の電極間距離を有する部分を有
するようにアノード電極とカソード電極とを配設したも
のである。したがって、常に最適電圧で放電が開始され
る。
In the present invention, the anode electrode and the cathode electrode are arranged so as to have a portion having a plurality of inter-electrode distances so as to cope with such a change in the discharge starting voltage. Therefore, the discharge is always started at the optimum voltage.

【0055】この部分は放電室の表示領域外に形成する
ようにしてもよい。また、このような放電のトリガー部
はAC型PDP、DC型PDP、PALCを含めプラズ
マを用いた表示装置に適用することができる。
This portion may be formed outside the display area of the discharge chamber. Further, such a discharge trigger unit can be applied to a display device using plasma including AC type PDP, DC type PDP and PALC.

【0056】また本発明の表示装置は放電室内の電極を
ダイアモンド構造を有する炭素により被覆したものであ
る。ここでダイアモンド構造を有する炭素(以下単にダ
イアモンドという)とは、単結晶のダイアモンドだけで
なく、多結晶ダイアモンドでもよく、さらに誘電体基材
にこれら単結晶のダイアモンドや、多結晶ダイアモンド
を担持したものでもよい。カソード電極表面にダイヤモ
ンドを形成することにより放電開始が容易になる。ま
た、絶縁体被覆により、該絶縁体表面の電荷が放電開始
をアシストし、より高速な放電が得られる。
In the display device of the present invention, the electrodes in the discharge chamber are coated with carbon having a diamond structure. Here, carbon having a diamond structure (hereinafter simply referred to as “diamond”) may be not only a single crystal diamond but also a polycrystalline diamond, and further, these single crystal diamonds and polycrystalline diamonds are carried on a dielectric substrate. But it's okay. The formation of diamond on the surface of the cathode electrode facilitates the initiation of discharge. Further, the insulator coating assists the electric charge on the surface of the insulator to start the discharge, and a faster discharge can be obtained.

【0057】また、放電室の走査線の長さLscanが表示
部の走査線方向の長さであるLdispよりも1mm以上長
く、放電室と表示部との重ならない部分に、互いに隣接
する放電室を接続する隔壁に欠け部を設けるようにして
もよい。
Further, the scanning line length Lscan of the discharge chamber is longer than Ldisp, which is the length of the display portion in the scanning line direction, by 1 mm or more, and the discharge chambers adjacent to each other in the non-overlapping portions of the discharge chamber and the display portion. You may make it provide the notch in the partition which connects.

【0058】欠け部は先に選択された走査線に対応する
放電室に生成した荷電粒子をひきこみ、次に選択する放
電室での放電開始を容易にする。また、欠け部と表示部
の距離を1mm以上はなすことにより、隣接する走査線
のクロストークを十分低くすることができ、なおかつ十
分な放電アシストができる。
The cutout portion draws in the charged particles generated in the discharge chamber corresponding to the previously selected scanning line, and facilitates the start of discharge in the discharge chamber to be selected next. Further, by setting the distance between the cutout portion and the display portion to be 1 mm or more, it is possible to sufficiently reduce the crosstalk between adjacent scanning lines, and it is also possible to perform sufficient discharge assist.

【0059】上述した本発明の表示装置が備える放電開
始を高速化するトリガーは、単独で用いてもよいし、組
合わせて用いるようにしてもよい。また、前述した本発
明の放電の減衰を高速化する手段と組合わせて用いるよ
うにしてもよい。もちろん、従来の放電開始、減衰を高
速化する手段と組合わせて用いるようにしてもよい。
The above-mentioned triggers provided in the display device of the present invention for accelerating the start of discharge may be used alone or in combination. Further, it may be used in combination with the above-mentioned means for speeding up the decay of the discharge of the present invention. Of course, it may be used in combination with a conventional means for speeding up discharge initiation and decay.

【0060】[0060]

【発明の実施の形態】図1は本発明の表示装置の1例と
して試作したプラズマアドレス型液晶表示装置を概略的
に示す断面図である。
1 is a sectional view schematically showing a plasma-addressed liquid crystal display device as an example of the display device of the present invention.

【0061】101はガラス基板、102は走査線であ
る放電室、103は放電電極、104はガラスなどの絶
縁性薄板、105は液晶層、106はデータ線である透
明導電膜、107はガラス基板である。
Reference numeral 101 is a glass substrate, 102 is a discharge chamber which is a scanning line, 103 is a discharge electrode, 104 is an insulating thin plate such as glass, 105 is a liquid crystal layer, 106 is a transparent conductive film which is a data line, and 107 is a glass substrate. Is.

【0062】放電室2はガラス基板の一方の辺に平行に
形成されている。また、透明導電膜106は放電室10
2(走査線)と直角になるように配向されており、これ
を以下信号線と呼ぶ。
The discharge chamber 2 is formed parallel to one side of the glass substrate. In addition, the transparent conductive film 106 is formed in the discharge chamber 10.
It is oriented so as to be perpendicular to 2 (scan line), and this is hereinafter referred to as a signal line.

【0063】一対の放電電極3に200Vの電圧を印加
すると放電室内にて気体放電が開始するよう、200T
orrのガスを封入した。ここでガスにはHeとN2
混合ガスを用いた。
When a voltage of 200 V is applied to the pair of discharge electrodes 3, 200 T is set so that gas discharge starts in the discharge chamber.
Orr gas was filled. Here, a mixed gas of He and N 2 was used as the gas.

【0064】放電電極103に順次高電圧を印加し、1
/60秒で1画面の走査を終了するようにした。走査線
の総数は600本とした。画像を表示するように、信号
線には順次それぞれの画素に対応する電圧を印加した。
A high voltage is sequentially applied to the discharge electrode 103, and 1
The scanning of one screen is completed in / 60 seconds. The total number of scanning lines was 600. A voltage corresponding to each pixel was sequentially applied to the signal line so as to display an image.

【0065】放電が開始すると放電中の荷電粒子がガラ
ス薄板104に入射するが、ガラス薄板104の帯電量
は信号線電極である透明導電膜106の電圧に依存す
る。したがって信号線にあたえる電圧を制御することで
流入電荷量を制御でき、すなわち光変調層である液晶層
への印加電圧が制御できる。
When the discharge starts, charged particles during the discharge enter the glass thin plate 104, and the amount of charge of the glass thin plate 104 depends on the voltage of the transparent conductive film 106 which is the signal line electrode. Therefore, the amount of inflow charges can be controlled by controlling the voltage applied to the signal line, that is, the voltage applied to the liquid crystal layer which is the light modulation layer can be controlled.

【0066】コントラストを測定したところ、1:15
0が得られた。
When the contrast was measured, it was 1:15.
0 was obtained.

【0067】ここで比較のため、同一構成の装置に原子
性のガス、ここでは純Heガスを封入して実験を行っ
た。その結果、コントラストの測定値は1:40であっ
た。
For comparison, an experiment was conducted by filling an atomic gas, here, pure He gas, in an apparatus having the same structure. As a result, the measured contrast value was 1:40.

【0068】このように、本発明の表示装置では、He
に加えて、N2 の混合ガスのような電子との再結合断面
積の大きな分子を封入ガスを用いることにより、はるか
によいコントラストが得ることができる。
As described above, in the display device of the present invention, He
In addition, much better contrast can be obtained by using a fill gas for molecules having a large recombination cross section with electrons, such as a mixed gas of N 2 .

【0069】また放電室内に封入するガスは、H2 、C
O、CO2 、N2 、O2 、SF6 、NF3 、XeF2
ArF2 、HeF2 、NeF2 、H2 O、CH4 、CF
4 、C2 2 、C2 4 、C2 2 からなる群の少なく
とも1種を含むガスを用いるようにしてもよい。
The gas sealed in the discharge chamber is H 2 , C.
O, CO 2 , N 2 , O 2 , SF 6 , NF 3 , XeF 2 ,
ArF 2 , HeF 2 , NeF 2 , H 2 O, CH 4 , CF
A gas containing at least one member selected from the group consisting of 4 , C 2 H 2 , C 2 H 4 , and C 2 N 2 may be used.

【0070】ここでは、PALCに本発明を適用した例
を説明したが、AC型、DC型を問わずPDPに本発明
を適用するようにしてもよい。また、PALC、PDP
以外にもプラズマを用いた表示装置に適用することがで
きる。
Here, an example in which the present invention is applied to PALC has been described, but the present invention may be applied to PDP regardless of AC type or DC type. In addition, PALC, PDP
Besides, it can be applied to a display device using plasma.

【0071】図2はAC型PDPの構造を概略的に示す
図である。背面ガラス基板201に隔壁202が形成さ
れており、これらと誘電体層203と保護膜204とが
形成された前面ガラス基板205とにより放電室206
が形成されている。放電室206内のガラス基板201
上にはアドレス電極207が形成されており、また、誘
電体層203の前面ガラス基板205側には信号電極2
08が形成されている。そして、放電室内に封入した希
ガスなどのガスに電圧を印加してプラズマ状態を生成す
る。図2に例示したPDPでは、放電室内に蛍光体20
9が塗布されており、プラズマにより生じた紫外線を蛍
光体により所定の可視光にして表示光としている。
FIG. 2 is a diagram schematically showing the structure of an AC type PDP. A partition wall 202 is formed on a rear glass substrate 201, and a discharge chamber 206 is formed by these and a front glass substrate 205 on which a dielectric layer 203 and a protective film 204 are formed.
Are formed. Glass substrate 201 in discharge chamber 206
An address electrode 207 is formed on the upper side, and the signal electrode 2 is provided on the front glass substrate 205 side of the dielectric layer 203.
08 is formed. Then, a voltage is applied to a gas such as a rare gas sealed in the discharge chamber to generate a plasma state. In the PDP illustrated in FIG. 2, the phosphor 20 is placed in the discharge chamber.
9 is applied, and ultraviolet rays generated by plasma are converted into predetermined visible light by a phosphor to be used as display light.

【0072】したがって、前述のような封入ガスを用い
ることにより図1の表示装置と同様の効果を得ることが
できる。
Therefore, the same effect as that of the display device of FIG. 1 can be obtained by using the enclosed gas as described above.

【0073】図3は本発明を適用したPALCを概略的
に示す図である。アドレス線である放電室301はガラ
ス基板302、隔壁303、上部隔壁304により形成
されている。放電室301内にはこれまで説明したよう
な電子と衝突して再結合する確率の高いガスが封入され
ている。また、放電室301内には、封入ガスに電界を
印加してプラズマ状態を生成する一対のアノード電極3
05、カソード電極306が放電室の伸長方向と平行に
配設されている。上部隔壁304とを介してデータ線で
ある透明導電膜307が形成されたガラス基板308と
の間に光変調層である液晶層309が挟持されている。
放電室301はガラス基板の一方の辺に平行に形成され
ており、その様子を図4に模式的に示す。走査線である
放電室301はデ−タ線である透明導電膜307と直角
に交差するように形成されている。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a PALC to which the present invention is applied. The discharge chamber 301, which is an address line, is formed by a glass substrate 302, partition walls 303, and upper partition walls 304. The discharge chamber 301 is filled with a gas that has a high probability of colliding with electrons and recombine as described above. Further, in the discharge chamber 301, a pair of anode electrodes 3 for generating a plasma state by applying an electric field to the enclosed gas.
05, the cathode electrode 306 is arranged in parallel with the extending direction of the discharge chamber. A liquid crystal layer 309 that is a light modulation layer is sandwiched between the upper partition 304 and a glass substrate 308 on which a transparent conductive film 307 that is a data line is formed.
The discharge chamber 301 is formed parallel to one side of the glass substrate, and the state is schematically shown in FIG. The discharge chamber 301, which is a scanning line, is formed so as to intersect the transparent conductive film 307, which is a data line, at a right angle.

【0074】図5はこのような表示装置の放電室内の様
子を概略的に示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view schematically showing a state in the discharge chamber of such a display device.

【0075】図5の放電室では、1本の放電室に対して
1個の補助電極501が設けられている。アノード電極
305、カソード電極306および補助電極501には
それぞれ電源回路が接続されている。図5には直流電圧
源、スイッチ、放電電流の制限用抵抗で示したが、いう
までもなくこれらは動作原理を簡潔に示すための表記で
あり、実際には駆動用集積回路などの電子部品で構成さ
れる。
In the discharge chamber of FIG. 5, one auxiliary electrode 501 is provided for each discharge chamber. A power supply circuit is connected to each of the anode electrode 305, the cathode electrode 306, and the auxiliary electrode 501. In FIG. 5, a DC voltage source, a switch, and a resistor for limiting a discharge current are shown, but it goes without saying that these are notations for simply showing the operation principle, and actually, electronic parts such as a driving integrated circuit are shown. Composed of.

【0076】比較のため、補助電極501に電圧をまっ
たく印加せずに、放電実験をおこなった。放電開始時間
(アノード電極306とカソード電極305との間に流
れる放電電流の最終安定値をImax としてImax (1−
-1)に至るまでの時間と定義する)を測定すると、そ
の平均値は10μsであった。100回の試行におい
て、放電開始時間は5μsから14μsまでばらつい
た。
For comparison, a discharge experiment was conducted without applying any voltage to the auxiliary electrode 501. Discharge start time (where Imax is the final stable value of the discharge current flowing between the anode electrode 306 and the cathode electrode 305, Imax (1-
The time required to reach e -1 ) is defined as 10). In 100 trials, the discharge start time varied from 5 μs to 14 μs.

【0077】次に補助電極501に電圧を印加して同様
の測定を行った。補助電極501に電圧を印加すると同
時に放電電極305、306にも電圧を印加する。補助
電極501の電圧印加は5μs後に遮断し、その後は放
電電極305、306のみに電圧を印加した。この場合
の放電電流(電極305、306の間に流れる電流)か
ら測定した放電開始時間は、その平均が6.5μsであ
り、ばらつきは最小値が5.5μs、最大値が7.2μ
sと、比較例よりは小さかった。
Next, a voltage was applied to the auxiliary electrode 501 and the same measurement was performed. A voltage is applied to the auxiliary electrode 501 and at the same time a voltage is applied to the discharge electrodes 305 and 306. The voltage application to the auxiliary electrode 501 was cut off after 5 μs, and thereafter the voltage was applied only to the discharge electrodes 305 and 306. The average discharge start time measured from the discharge current (current flowing between the electrodes 305 and 306) in this case is 6.5 μs, and the variation has a minimum value of 5.5 μs and a maximum value of 7.2 μs.
s, which was smaller than that of the comparative example.

【0078】また封入ガスとして、前述のような衝突断
面積の大きなガスを用いたところ、プラズマの減衰が高
速であった。
When a gas having a large collision cross-sectional area as described above was used as the enclosed gas, the plasma decayed quickly.

【0079】つぎに、この電極構造を用いたディスプレ
イを試作し、表示画面の観察を行ったところ、補助電極
501を用いない場合コントラストが1:15であった
が、用いた場合は1:60と、大幅に改善された。
Next, when a display using this electrode structure was prototyped and the display screen was observed, the contrast was 1:15 when the auxiliary electrode 501 was not used, but it was 1:60 when it was used. And was greatly improved.

【0080】図6は放電室の別の構造を概略的に示す斜
視図である。図6に例示する放電室では隔壁に欠落部が
あり、放電室301間を連通している。放電室301を
分離する隔壁303の表示部分(図4参照)と重ならな
い場所に欠け部601が設けられている。放電電極は外
部回路に接続されている。
FIG. 6 is a perspective view schematically showing another structure of the discharge chamber. In the discharge chamber illustrated in FIG. 6, the partition wall has a missing portion, and the discharge chambers 301 communicate with each other. A cutout 601 is provided at a position that does not overlap the display portion (see FIG. 4) of the partition wall 303 that separates the discharge chamber 301. The discharge electrode is connected to the external circuit.

【0081】欠落部がない場合の動作特性は、図5ので
述べた補助電極501がない場合の特性に相当すし、放
電開始時間の平均値が10μs、100回の試行におい
て、放電開始時間のばらつきは5から14μsまでであ
る。
The operation characteristics when there is no missing portion correspond to the characteristics when there is no auxiliary electrode 501 described in FIG. 5, and the average discharge start time is 10 μs, and the dispersion of the discharge start time is 100 trials. Is from 5 to 14 μs.

【0082】次に図6の放電室構造で特性を測定したと
ころ、同一の電気回路を用いて、放電開始時間の平均値
6.2μs、そのばらつきは最小値5.2μs、最大値
7.1μsと、従来例に比べ放電の立ち上がりが高速に
なり、かつばらつきのない特性を示した。
Next, the characteristics of the discharge chamber structure shown in FIG. 6 were measured. As a result, using the same electric circuit, the average value of the discharge start time was 6.2 μs, and the variation was a minimum value of 5.2 μs and a maximum value of 7.1 μs. Then, the discharge rises faster than the conventional example, and there is no variation.

【0083】前述のような振動エネルギー、回転エネル
ギーを有する分子種を含むガスを放電室301に封入し
て、図6の放電室構造を有する表示装置を試作したとこ
ろ、そのコントラストは1:55と、比較例に比べ優れ
た特性を示した。試作したディスプレイの表示部と、放
電電極の欠け部との位置関係は次の通りである。欠け部
と表示部とは互いに重なっておらず、かつ欠け部と表示
部との最短距離が0.6mmあるため、画面の均一性も
問題なかった。比較のため欠け部と表示部との最短距離
が0.05mmであるようなディスプレイを試作したと
ころ、画面の端部のコントラストがよくなく、均一性の
不十分な画像であった。
When a gas containing a molecular species having vibrational energy and rotational energy as described above was enclosed in the discharge chamber 301 and a display device having the discharge chamber structure shown in FIG. 6 was produced as a prototype, the contrast was 1:55. , And showed excellent characteristics as compared with the comparative example. The positional relationship between the display portion of the prototype display and the discharge electrode chipped portion is as follows. Since the cutout portion and the display portion do not overlap with each other and the shortest distance between the cutout portion and the display portion is 0.6 mm, there is no problem with the uniformity of the screen. For the purpose of comparison, a prototype of a display in which the shortest distance between the cutout portion and the display portion was 0.05 mm was produced, and the contrast at the edge of the screen was not good, resulting in an image with insufficient uniformity.

【0084】図7は放電室の別の構造を概略的に示す斜
視図である。表示装置の表示部以外の領域で、放電電極
305、306を絶縁体層701により被覆した。放電
電極305、306は外部回路に接続されている。
FIG. 7 is a perspective view schematically showing another structure of the discharge chamber. The discharge electrodes 305 and 306 were covered with an insulator layer 701 in a region other than the display portion of the display device. The discharge electrodes 305 and 306 are connected to an external circuit.

【0085】絶縁体層を形成しない場合の動作特性は、
図5に例示した放電室構造の補助電極501がない場合
の特性に相当し、先に述べたとおり、放電開始時間の平
均値が10μs、100回の試行において、放電開始時
間のばらつきは5μs〜14μsまでである。
The operating characteristics when the insulator layer is not formed are as follows.
This corresponds to the characteristic in the case where there is no auxiliary electrode 501 having the discharge chamber structure illustrated in FIG. 5, and as described above, the average value of the discharge start times is 10 μs, and the dispersion of the discharge start times is 5 μs in 100 trials. Up to 14 μs.

【0086】次に図7に例示した放電室での放電の特性
を測定したところ、前述と同じ電気回路を用いて、放電
開始時間の平均値6.8μs、そのばらつきは最小値
5.5μs、最大値7.8μsと、従来例に比べ開始時
間が短くなり、かつばらつきのない特性を示した。
Next, when the characteristics of the discharge in the discharge chamber illustrated in FIG. 7 were measured, using the same electric circuit as described above, the average value of the discharge start time was 6.8 μs, and its variation was the minimum value of 5.5 μs. The maximum value was 7.8 μs, and the start time was shorter than that of the conventional example, and there was no variation.

【0087】本実施例によるディスプレイを試作したと
ころ、そのコントラストは1:40と、比較例に比べは
るかに優れた特性を示した。
When a display according to this example was manufactured as a prototype, the contrast was 1:40, which was far superior to that of the comparative example.

【0088】さらに、前述した絶縁体膜701に代えて
ダイヤモンド薄膜702を用いて、放電電極を被覆した
ところ、さらに高速な応答が実現し、放電開始時間の平
均値2.2μsが得られた(図8)。
Further, when a diamond thin film 702 was used instead of the above-mentioned insulator film 701 to cover the discharge electrode, a faster response was realized, and an average value of the discharge start time of 2.2 μs was obtained ( (Figure 8).

【0089】図9は放電室の別の構造を概略的に示す斜
視図である。表示装置の表示部以外の領域で、放電電極
305、306の離間間隔が異なる部分991が形成さ
れている。図10は放電電極305、306の離間間隔
が異なる部分991を拡大して示す図であり、図11は
その変形例である 図9、図10、図11では放電電極の端部形状をもう一
方の放電電極にむかって広がるように形成したが、両方
の放電電極の幅が異なるように形成して、電極間の離間
間隔を異ならせるようにしてもよい。また、放電電極間
の離間間隔は不連続に変化するようにしてもよい。連続
的に変化するように形成するほうがさらに好適である。
FIG. 9 is a perspective view schematically showing another structure of the discharge chamber. In a region other than the display portion of the display device, portions 991 having different discharge electrodes 305 and 306 are formed. FIG. 10 is an enlarged view of a portion 991 in which the discharge electrodes 305 and 306 have different spacings, and FIG. 11 is a modification thereof. In FIG. 9, FIG. 10, and FIG. Although the discharge electrodes are formed so as to spread toward the discharge electrodes, the discharge electrodes may be formed so that the widths of the discharge electrodes are different from each other, and the distance between the electrodes may be different. Further, the spacing between the discharge electrodes may be changed discontinuously. It is more preferable to form it so as to change continuously.

【0090】前述のように放電開始のトリガー部分であ
る放電電極305、306の離間間隔が異なる部分99
1により、放電の換算電極間距離の範囲が広がるから、
封入ガスの組成、同位体比組成、圧力が変化した場合で
も効果的に放電を立ち上げることができる。
As described above, the portion 99 where the discharge electrodes 305 and 306, which are the trigger portions for starting the discharge, have different spacings.
Since 1, the range of the distance between the converted electrodes of the discharge is expanded,
Even when the composition of the enclosed gas, the isotope ratio composition, or the pressure changes, the discharge can be effectively started.

【0091】トリガー部を形成しない場合の動作特性
は、図5の例で述べた補助電極501がない場合の特性
に相当する。したがって放電開始時間の平均値が10μ
s、100回の試行において放電開始時間のばらつきは
5から14μsまでである。
The operating characteristics in the case where the trigger portion is not formed correspond to the characteristics in the case where the auxiliary electrode 501 is absent, as described in the example of FIG. Therefore, the average discharge start time is 10μ
The variation of the discharge start time is 5 to 14 μs in 100 trials.

【0092】次に図10の電極を形成した放電室301
での放電の特性を測定したところ、同一の電気回路を用
いて、放電開始時間の平均値4.8μs、そのばらつき
は最小値4.2μs、最大値55μsと、従来例に比べ
てはるかに開始時間が短くなり、かつばらつきのない特
性を示した。
Next, the discharge chamber 301 having the electrodes shown in FIG. 10 is formed.
When the characteristics of the discharge were measured, the average value of the discharge start time was 4.8 μs and the variation was the minimum value of 4.2 μs and the maximum value of 55 μs using the same electric circuit. The time was shortened and there was no variation.

【0093】また、図10に例示した電極を形成した放
電室301を備えた表示装置を試作したところ、そのコ
ントラストは1:80と、比較例に比べはるかに優れた
特性を示した。
When a display device provided with the discharge chamber 301 having the electrodes illustrated in FIG. 10 was prototyped, the contrast was 1:80, which was far superior to the comparative example.

【0094】以上説明した例は、それぞれ単独でも効果
があるが、組み合わせて実施するとさらに優れた効果を
示す。例えば、図5に例示した補助電極501を用い、
さらに補助電極501をダイヤモンド薄膜で被覆するよ
うにしてもよい。また例えば、図5〜図9に例示した放
電室にこれまで説明したような、電子との衝突断面積の
大きな分子種を含むガスを封入することにより、放電の
立ち上がり、減衰ともに高速な表示装置を得ることがで
きる。したがって、走査時間を短くすることができ、高
精細な表示を得ることができる。
The examples described above are effective alone, but when they are used in combination, more excellent effects are shown. For example, using the auxiliary electrode 501 illustrated in FIG. 5,
Further, the auxiliary electrode 501 may be covered with a diamond thin film. Further, for example, by enclosing a gas containing a molecular species having a large cross-sectional area of collision with electrons in the discharge chamber illustrated in FIGS. Can be obtained. Therefore, the scanning time can be shortened and high-definition display can be obtained.

【0095】[0095]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
放電の立ち上がり、減衰ともに高速な表示装置を得るこ
とができる。したがって走査時間を短くなり、クロスト
ークの少ない、コントラストの高い表示品質を得ること
ができる。また、同じコントラストであれば、よりちら
つきのない表示を得ることができる。
As described above, according to the present invention,
It is possible to obtain a display device in which discharge rises and decays at high speed. Therefore, the scanning time can be shortened, and display quality with less crosstalk and high contrast can be obtained. Further, if the contrast is the same, it is possible to obtain a more flicker-free display.

【0096】また、走査線の数を増やすことができるか
らより高精細な表示装置を得ることができる。
Further, since the number of scanning lines can be increased, a higher definition display device can be obtained.

【0097】また、本発明の表示装置は、経時変化など
により封入ガスの組成(同位体比組成を含む)、圧力が
変化しても安定して放電を開始できる。さらに、製造時
の電極間隔、封入ガス圧、封入ガス組成のマージンが広
がり、生産性が向上する。
Further, the display device of the present invention can stably start the discharge even if the composition (including the isotope ratio composition) of the enclosed gas and the pressure change due to changes over time. Further, the margins of the electrode spacing, the enclosed gas pressure, and the enclosed gas composition at the time of manufacture are widened, and the productivity is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を適用した表示装置(PALC)の1例
を概略的に示す断面図。
FIG. 1 is a sectional view schematically showing an example of a display device (PALC) to which the present invention is applied.

【図2】AC型PDPの構造を概略的に示す図。FIG. 2 is a diagram schematically showing the structure of an AC PDP.

【図3】図3は本発明を適用したPALCを概略的に示
す図。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a PALC to which the present invention is applied.

【図4】放電室の配列を模式的に示す図。FIG. 4 is a diagram schematically showing an arrangement of discharge chambers.

【図5】放電室内の様子を概略的に示す斜視図。FIG. 5 is a perspective view schematically showing a state inside the discharge chamber.

【図6】放電室内の様子を概略的に示す斜視図。FIG. 6 is a perspective view schematically showing a state in the discharge chamber.

【図7】放電室内の様子を概略的に示す斜視図。FIG. 7 is a perspective view schematically showing a state inside the discharge chamber.

【図8】放電室内の様子を概略的に示す斜視図。FIG. 8 is a perspective view schematically showing a state inside the discharge chamber.

【図9】放電室内の様子を概略的に示す斜視図。FIG. 9 is a perspective view schematically showing a state inside the discharge chamber.

【図10】電極端部を拡大して示す図。FIG. 10 is an enlarged view showing an electrode end portion.

【図11】電極端部を拡大して示す図。FIG. 11 is an enlarged view showing an electrode end portion.

【図12】従来のPALCを概略的に示す断面図。FIG. 12 is a sectional view schematically showing a conventional PALC.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101……ガラス基板、102……放電室、103……
放電電極 104……絶縁性薄板、105……液晶層、106…
…、透明導電膜 301……放電室、302……ガラス基板、303……
隔壁 304……上部隔壁、305……アノード電極、306
……カソード電極 307……透明導電膜、308……ガラス基板、309
……液晶層 501……補助電極、601……欠落部、701……絶
縁体被膜 702……ダイアモンド被膜
101 ... Glass substrate, 102 ... Discharge chamber, 103 ...
Discharge electrode 104 ... Insulating thin plate, 105 ... Liquid crystal layer, 106 ...
..., transparent conductive film 301 ... discharge chamber, 302 ... glass substrate, 303 ...
Partition wall 304 ... Upper partition wall, 305 ... Anode electrode, 306
...... Cathode electrode 307 …… Transparent conductive film, 308 …… Glass substrate, 309
...... Liquid crystal layer 501 …… Auxiliary electrode 601 …… Missing part 701 …… Insulator coating 702 …… Diamond coating

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01J 17/20 H01J 17/20 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical indication H01J 17/20 H01J 17/20

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プラズマを画素の構成要素として用いた
表示装置であって、 放電室と、 この放電室に封入された、イオン状態のとき、単原子分
子のイオンと電子とが衝突して再結合する第1の確率よ
りも大きい第2の確率で電子と衝突して再結合する分子
種を含む封入ガスと、 前記放電室内に形成され、前記封入ガスに電圧を印加し
てプラズマ状態を生成する電圧印加手段とを具備したこ
とを特徴とする表示装置。
1. A display device using plasma as a constituent element of a pixel, comprising: a discharge chamber and ions of a monoatomic molecule and electrons colliding with each other in an ion state enclosed in the discharge chamber, A sealed gas containing a molecular species that recombines by colliding with electrons with a second probability higher than the first probability of bonding, and a voltage is applied to the sealed gas to generate a plasma state. A display device comprising:
【請求項2】 プラズマを画素の構成要素として用いた
表示装置であって、 放電室と、 この放電室に封入された、振動エネルギーと回転エネル
ギーとを有する分子種を含む封入ガスと、 前記放電室内に形成され、前記封入ガスに電圧を印加し
てプラズマ状態を生成する電圧印加手段とを具備したこ
とを特徴とする表示装置。
2. A display device using plasma as a constituent element of a pixel, comprising: a discharge chamber, an enclosed gas containing a molecular species having vibrational energy and rotational energy, which is enclosed in the discharge chamber, A display device, comprising: a voltage applying unit that is formed in a chamber and applies a voltage to the enclosed gas to generate a plasma state.
【請求項3】 プラズマを画素の構成要素として用いた
表示装置であって、 放電室と、 この放電室に封入された封入ガスと、 前記放電室内に、第1の放電開始電圧に対応する第1の
距離で離間した第1の領域と、第2の放電開始電圧に対
応する第2の距離で離間した第2の領域とを有するよう
に形成された第1の電極と第2の電極とを具備したこと
を特徴とする表示装置。
3. A display device using plasma as a constituent element of a pixel, comprising: a discharge chamber, a fill gas filled in the discharge chamber, and a first discharge start voltage corresponding to a first discharge start voltage in the discharge chamber. A first electrode and a second electrode that are formed to have a first region that is separated by a distance of 1 and a second region that is separated by a second distance that corresponds to a second discharge firing voltage; A display device comprising:
【請求項4】 プラズマを画素の構成要素として用いた
表示装置であって、 放電室と、 この放電室に封入された封入ガスと、 前記放電室内に、前記封入ガスに電圧を印加してプラズ
マ状態を生成する略平行に形成された一対の電極と、 前記一対の電極の1部領域を被覆するように形成された
ダイアモンド構造の炭素からなる薄膜とを具備したこと
を特徴とする表示装置。
4. A display device using plasma as a constituent element of a pixel, wherein a discharge chamber, a filling gas filled in the discharge chamber, and a plasma by applying a voltage to the filling gas in the discharge chamber. A display device comprising: a pair of electrodes formed substantially parallel to each other to generate a state; and a thin film made of carbon having a diamond structure formed so as to cover a partial region of the pair of electrodes.
【請求項5】 前記封入ガスはH2 、CO、CO2 、N
2 、O2 、SF6 、NF3 、XeF2 、ArF2 、He
2 、NeF2 、H2 O、CH4 、CF4 、C2 2
2 4 、C2 2 からなる群の少なくとも1種を含む
ことを特徴とする請求項1乃至4記載の表示装置。
5. The filling gas is H 2 , CO, CO 2 , N
2 , O 2 , SF 6 , NF 3 , XeF 2 , ArF 2 , He
F 2 , NeF 2 , H 2 O, CH 4 , CF 4 , C 2 H 2 ,
5. The display device according to claim 1, which contains at least one member selected from the group consisting of C 2 H 4 and C 2 N 2 .
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