JPH09237931A - Tunable laser - Google Patents

Tunable laser

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JPH09237931A
JPH09237931A JP4290196A JP4290196A JPH09237931A JP H09237931 A JPH09237931 A JP H09237931A JP 4290196 A JP4290196 A JP 4290196A JP 4290196 A JP4290196 A JP 4290196A JP H09237931 A JPH09237931 A JP H09237931A
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JP
Japan
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laser
optical material
nonlinear optical
laser resonator
wavelength conversion
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Pending
Application number
JP4290196A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naoji Moriya
直司 森谷
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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Publication of JPH09237931A publication Critical patent/JPH09237931A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tunable laser the structure of which allows increase in product yield. SOLUTION: A tunable laser is provided with a non-linear optical material 4 as a wavelength changing element in a laser resonator 5, and uses one of the light transmitting faces 4b of the non-linear optical material 4 as an output mirror for the laser resonator 5. The face 4b of the non-linear optical material 4 to be the output mirror is positioned outside the laser resonator 4 to form a convex spherical surface. The radius of curvature of the convex spherical surface is set in a predetermined range so that there is always such an adjustment range where both the phase matching conditions and the resonating conditions of the laser resonator 5 will be simultaneously met.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は波長変換レーザに関
する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a wavelength conversion laser.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体レーザ等を励起用光源として用い
る固体レーザにおいては、非線形光学材料を波長変換素
子としてレーザ共振器内に配置する共振器内SHG(第
2高調波発生)方式がある。この方式のレーザは、レー
ザ発振の基本波に対し1/2波長の出力ビームを得るこ
とができ、可視領域や広い波長範囲への適用が可能であ
るといった点で非常に有用なレーザである。
2. Description of the Related Art In a solid-state laser using a semiconductor laser or the like as a light source for excitation, there is an intracavity SHG (second harmonic generation) system in which a nonlinear optical material is arranged in a laser resonator as a wavelength conversion element. This type of laser is a very useful laser in that it can obtain an output beam having a half wavelength with respect to the fundamental wave of laser oscillation and can be applied to the visible region and a wide wavelength range.

【0003】また、このような共振器内SHG方式のレ
ーザにおいては、波長変換効率が基本波出力の2乗に比
例することから、共振器内部の損失を減らし基本波出力
を向上させることが、変換効率を高める上で重要なポイ
ントであり、これを実現する手段として、従来、非線形
光学材料の一方の透過面を出力ミラーとする技術がいく
つか提案されている。
In such an intracavity SHG type laser, since the wavelength conversion efficiency is proportional to the square of the fundamental wave output, it is possible to reduce the loss inside the resonator and improve the fundamental wave output. This is an important point for increasing the conversion efficiency, and as a means for achieving this, there have been conventionally proposed some techniques in which one transmission surface of a nonlinear optical material is used as an output mirror.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、非線形光学
材料の一透過面を出力ミラーとする技術では、従来、非
線形光学材料の加工精度については全く考慮されておら
ず、結晶軸の設定精度が最大で0.2°〜0.5°もあ
ることから、波長変換のための位相整合条件を満たすよ
うに非線形光学材料を傾けた場合、その出力ミラーとな
る面の形状によっては、共振ミラーとしての共振条件を
同時に満たすことができなくなり、このことが製品の歩
留りを大きく低下させる要因となっていた。
By the way, in the technique of using one transmission surface of the nonlinear optical material as the output mirror, conventionally, the processing accuracy of the nonlinear optical material has not been considered at all, and the setting accuracy of the crystal axis is the maximum. Therefore, when the nonlinear optical material is tilted so as to satisfy the phase matching condition for wavelength conversion, depending on the shape of the surface serving as the output mirror, the nonlinear optical material may be a resonant mirror. The resonance conditions cannot be satisfied at the same time, which has been a factor that significantly reduces the yield of products.

【0005】本発明はそのような実情に鑑みてなされた
もので、波長変換素子として用いる非線形光学材料が、
結晶軸の設定精度の良否に関係なく、位相整合条件と共
振条件を同時に満たすことが可能な形状で、もって製品
の歩留りを高めることのできる波長変換レーザを提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and a nonlinear optical material used as a wavelength conversion element is
It is an object of the present invention to provide a wavelength conversion laser which has a shape capable of simultaneously satisfying a phase matching condition and a resonance condition regardless of whether or not the setting accuracy of a crystal axis is good, and which can enhance the yield of products.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、レーザ共振器内に波長変換素子として配
置する非線形光学材料の一方の光透過面に、レーザ発振
の基本波に対して高い反射率で、波長変換により発生す
る第2高調波に対しては高い透過率となる膜がコーティ
ングされ、このコーティング面を第2高調波の出力ミラ
ーとして利用する構造の波長変換レーザにおいて、上記
非線形光学材料のコーティング面が、レーザ共振器の外
側に凸の球面で、その曲率半径Rが、次式で規定される
範囲に設定されていることによって特徴づけられる。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention is directed to a fundamental wave of laser oscillation on one light transmitting surface of a nonlinear optical material arranged as a wavelength conversion element in a laser resonator. With a high reflectance, a film having a high transmittance for the second harmonic generated by wavelength conversion is coated, and the coated surface is used as an output mirror of the second harmonic in a wavelength conversion laser, It is characterized in that the coating surface of the nonlinear optical material is a spherical surface convex to the outside of the laser resonator, and the radius of curvature R thereof is set in the range defined by the following equation.

【0007】R≦(d−r)/2tan(Δρ) ここで、Δρは非線形光学材料において位相整合条件を
満たすべく設定・加工された結晶軸の仕上がり公差角度
である。また、dは非線形光学材料の光透過面の有効に
作用する部分の最小寸法(図1参照)で、非線形光学材
料の縦断面形状が円形である場合は直径とし、断面形が
四角形である場合には対角線ではなく一辺(短辺)の長
さとする。さらに、rはレーザビームの径の最大値で、
ビームが円形の場合は直径、円形でない場合は最も長い
径とする。
R ≦ (d−r) / 2 tan (Δρ) where Δρ is the finished tolerance angle of the crystal axis set and processed to satisfy the phase matching condition in the nonlinear optical material. Further, d is the minimum dimension of the portion of the light transmitting surface of the nonlinear optical material that effectively acts (see FIG. 1), and is the diameter when the longitudinal sectional shape of the nonlinear optical material is circular, and the square when the sectional shape is quadrangular. Is not a diagonal line but the length of one side (short side). Furthermore, r is the maximum value of the diameter of the laser beam,
If the beam is circular, it is the diameter, and if it is not circular, it is the longest diameter.

【0008】そして、以上のように非線形光学材料の光
透過面(出力ミラー)を球面とし、その曲率半径を上記
した範囲に規定することで、レーザ共振器中の基本波ビ
ームが位相整合条件を満たすように非線形光学材料を傾
けた場合でも、基本波ビームが出力ミラーで垂直に反射
される範囲が必ず存在することになり、定在波の発生が
可能となる。その理由を以下に説明する。
As described above, the light transmission surface (output mirror) of the nonlinear optical material is a spherical surface, and the radius of curvature thereof is defined in the above range, so that the fundamental wave beam in the laser resonator has a phase matching condition. Even when the non-linear optical material is tilted so as to satisfy the condition, there always exists a range in which the fundamental wave beam is reflected vertically by the output mirror, and a standing wave can be generated. The reason will be described below.

【0009】まず、非線形光学材料において出力ミラー
を構成する光透過面を球面とすることで、非線形光学材
料をある程度の範囲で傾けても、光透過面は共振器ミラ
ーとしての条件を満たすことができる。
First, by making the light-transmitting surface forming the output mirror in the non-linear optical material a spherical surface, the light-transmitting surface can satisfy the condition as the resonator mirror even if the non-linear optical material is tilted within a certain range. it can.

【0010】一方、非線形光学材料において波長変換の
ための位相整合角の設計値に対してΔρだけ異なるとき
に、その角度Δρだけ非線形光学材料をレーザ光軸に対
して傾けたとすると、図2に示すように、光透過面4b
が出力ミラーとして有効に作用する部分の範囲が最低で
〔ε+(r/2)〕であれば、基本波ビームは光透過面
4bに入射することになる。
On the other hand, when the nonlinear optical material differs from the designed value of the phase matching angle for wavelength conversion by Δρ, assuming that the nonlinear optical material is tilted with respect to the laser optical axis by the angle Δρ, FIG. As shown, the light transmitting surface 4b
If the range of the portion effectively operating as an output mirror is [ε + (r / 2)] at the minimum, the fundamental wave beam is incident on the light transmitting surface 4b.

【0011】ここで、光透過面4bが球面である場合、
ε≒Rtan(Δρ) であり、また〔ε+(r/2)〕=d
/2であることから、 〔Rtan(Δρ) +(r/2)〕=d/2 → R=(d
−r)/2tan(Δρ) 従って、非線形光学材料の光透過面4bを球面とし、そ
の曲率半径Rが、 R≦(d−r)/2tan(Δρ) の条件を満たすようにすれば、非線形光学材料をレーザ
光軸に対して角度0°〜Δρの範囲においてどのように
傾けても、基本波ビームは光透過面4bつまり出力ミラ
ーに対して必ず垂直に入射することなり、レーザ共振器
に定在波が確実に発生する。
Here, when the light transmitting surface 4b is a spherical surface,
ε≈Rtan (Δρ), and [ε + (r / 2)] = d
Since it is / 2, [Rtan (Δρ) + (r / 2)] = d / 2 → R = (d
-R) / 2tan (Δρ) Therefore, if the light transmission surface 4b of the nonlinear optical material is a spherical surface and its radius of curvature R satisfies the condition of R ≦ (d−r) / 2tan (Δρ), No matter how the optical material is tilted in the range of an angle of 0 ° to Δρ with respect to the laser optical axis, the fundamental wave beam is always incident perpendicularly to the light transmitting surface 4b, that is, the output mirror. A standing wave is generated reliably.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】図1は本発明の実施の形態の構成
図である。励起光源1は例えば半導体レーザ(LD)等
であって、この励起光源1からの励起光Eはレンズ系2
によって集光されレーザ媒質3の端面に照射される。
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention. The pumping light source 1 is, for example, a semiconductor laser (LD), and the pumping light E from this pumping light source 1 is a lens system 2.
It is condensed by the laser beam and is irradiated onto the end face of the laser medium 3.

【0013】レーザ媒質3の端面3aには、励起光源1
の出力励起光の波長に対しては高い透過率で、レーザ発
振の基本波の波長に対しては高い反射率を示す膜がコー
ティングされており、また、レーザ媒質3のもう一方の
端面3bには、レーザの基本波の波長に対して高い透過
率を示す膜がコーティングされている。
On the end face 3a of the laser medium 3, the excitation light source 1
Is coated with a film having a high transmittance for the wavelength of the output excitation light and a high reflectance for the wavelength of the fundamental wave of the laser oscillation, and the other end face 3b of the laser medium 3 is coated. Is coated with a film showing a high transmittance for the wavelength of the fundamental wave of the laser.

【0014】レーザ媒質3の端面3bに対向して、波長
変換素子として用いる非線形光学材料4が配置されてい
る。この非線形光学材料4の光透過面のうち、レーザ媒
質の端面3bと対向する面4aには、レーザの基本波と
この波長変換素子で発生する第2高調波の各波長に対し
て高い透過率を示す膜がコーティングされている。
A nonlinear optical material 4 used as a wavelength conversion element is arranged facing the end surface 3b of the laser medium 3. Of the light transmitting surface of the nonlinear optical material 4, the surface 4a facing the end surface 3b of the laser medium has a high transmittance for each wavelength of the fundamental wave of the laser and the second harmonic generated by this wavelength conversion element. Is coated.

【0015】また、非線形光学材料4のもう一方の光透
過面4bには、レーザの基本波の波長に対しては高い反
射率で、第2高調波の波長に対しては高い透過率を示す
膜がコーティングされており、この非線形光学材料4の
光透過面4bと先のレーザ媒質3の端面3aとの間で、
その光透過面4bを出力ミラーとするレーザ共振器5が
構成され、その出力ミラーから第2高調波が取り出され
る。
The other light transmitting surface 4b of the nonlinear optical material 4 has a high reflectance for the wavelength of the fundamental wave of the laser and a high transmittance for the wavelength of the second harmonic. A film is coated, and between the light transmitting surface 4b of the nonlinear optical material 4 and the end surface 3a of the laser medium 3 described above,
A laser resonator 5 having the light transmitting surface 4b as an output mirror is configured, and the second harmonic is extracted from the output mirror.

【0016】そして、この実施の形態で注目すべきとこ
ろは、非線形光学材料4の光透過面4bを球面に加工
し、その曲率半径Rを次式の範囲に規定した点にある。 R≦(d−r)/2tan(Δρ) d;非線形光学材料の光透過面の有効に作用する部分の
最小寸法 Δρ;非線形光学材料の結晶軸の仕上がり公差角度 r;レーザビームの径の最大値 このように、非線形光学材料4の光透過面4bを球面と
し、その曲率半径Rを規定することで、先の課題を解決
するための手段の項でも述べたように、非線形光学材料
4の位相整合角が設計に対してΔρだけ異なる場合で
も、必ず、基本波ビームBがレーザ共振器5の出力ミラ
ー(光透過面4b)に対して垂直に入射するように調整
することが可能となり(図2参照)、レーザ共振器5に
定存波を確立することができる。
What is noteworthy in this embodiment is that the light transmitting surface 4b of the nonlinear optical material 4 is processed into a spherical surface, and the radius of curvature R thereof is defined in the range of the following equation. R ≦ (d−r) / 2 tan (Δρ) d; the minimum dimension of the effective portion of the light transmitting surface of the nonlinear optical material Δρ; the finished tolerance angle r of the crystal axis of the nonlinear optical material r; the maximum diameter of the laser beam As described above, by setting the light transmitting surface 4b of the nonlinear optical material 4 to be a spherical surface and defining the radius of curvature R thereof, as described in the section of means for solving the above-mentioned problem, Even if the phase matching angle differs from the design by Δρ, it becomes possible to adjust so that the fundamental wave beam B is always incident perpendicularly to the output mirror (light transmitting surface 4b) of the laser resonator 5 ( 2), a standing wave can be established in the laser resonator 5.

【0017】また、この実施の形態において、光透過面
4bの曲率半径Rを上記した式の右辺の〔(d−r)/
2tan(Δρ) 〕に対して小さい値に設定すれば、Δρの
許容範囲をある程度の幅で広げることが可能で、従っ
て、曲率半径Rの設定の仕方によっては非線形光学材料
4の加工精度をゆるくすることも可能になる。
Further, in this embodiment, the radius of curvature R of the light transmitting surface 4b is [(d-r) /
2tan (Δρ)], it is possible to widen the allowable range of Δρ within a certain range. Therefore, depending on the setting method of the radius of curvature R, the processing accuracy of the nonlinear optical material 4 is loosened. It becomes possible to do it.

【0018】ここで、以上の実施の形態ではレーザ媒質
3の端面3aを平面としているが、その端面3aは、励
起光源1側に凸で適当な曲率半径の球面としてもよく、
この場合、非線形光学材料4内でのレーザ基本波の断面
積が小さくなり、そのエネルギ密度が高くなる結果、変
換効率を向上させることができる。
In the above embodiment, the end surface 3a of the laser medium 3 is a flat surface, but the end surface 3a may be a spherical surface having a convex curvature on the pump light source 1 side and an appropriate radius of curvature.
In this case, the cross-sectional area of the laser fundamental wave in the nonlinear optical material 4 is reduced and the energy density thereof is increased, so that the conversion efficiency can be improved.

【0019】また、レーザ媒質3の端面3bにコーティ
ングする膜として、励起光波長に対して高い反射率を示
すような材料を使用すれば、レーザ媒質3の励起効率が
向上し、さらに第2高調波に対しても高い反射率を示す
ような材料を使用すれば、第2高調波をより有効に取り
出すことができる。
If a material having a high reflectance with respect to the pumping light wavelength is used for the film coating the end face 3b of the laser medium 3, the pumping efficiency of the laser medium 3 is improved, and the second harmonic is further improved. The second harmonic can be more effectively taken out by using a material having a high reflectance with respect to waves.

【0020】なお、以上の実施の形態では、端面励起方
式でレーザ媒質の一端面を共振器ミラーとして利用した
構造のレーザに本発明を適用した例を示したが、これに
限られることなく、本発明は、レーザ媒質の側方から励
起光を入射させる側面励起方式のもの、あるいは、レー
ザ共振器の一方のミラーが、図1においてレンズ系2と
レーザ媒質3との間に個別に配置される構成のレーザに
も適用可能で、そのいずれの場合であっても、上記した
実施の形態と同等な効果を達成できる。
In the above embodiment, an example in which the present invention is applied to a laser having a structure in which one end face of a laser medium is used as a resonator mirror by the end face excitation method has been shown, but the present invention is not limited to this. According to the present invention, a side-pumping type in which pumping light is incident from the side of a laser medium or one mirror of a laser resonator is separately arranged between a lens system 2 and a laser medium 3 in FIG. The present invention can be applied to a laser having the configuration described above, and in any case, the same effect as that of the above-described embodiment can be achieved.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の波長変換
レーザによれば、レーザ共振器内に配置する非線形光学
材料の出力ミラーとなる面を、レーザ共振器の外側に凸
の球面形状とし、その曲率半径を所定の範囲内に規定す
ることで、非線形光学材料の結晶軸の精度が良くなくて
も、レーザ共振器における位相整合条件と共振条件を同
時に満たすことのできる調整範囲が必ず存在するように
したから、製品歩留りが従来に比して大幅に向上する。
As described above, according to the wavelength conversion laser of the present invention, the surface serving as the output mirror of the non-linear optical material arranged in the laser resonator has a spherical shape convex to the outside of the laser resonator. By defining the radius of curvature within a predetermined range, there is always an adjustment range that can satisfy the phase matching condition and the resonance condition in the laser resonator at the same time even if the crystal axis of the nonlinear optical material is not accurate. As a result, the product yield is significantly improved compared to the conventional product yield.

【0022】また、本発明では、出力ミラーとなる部分
の曲率半径の設定の仕方によっては非線形光学材料の加
工精度をゆるくすることも可能なことから、波長変換レ
ーザを低コストで製作できるといった効果も達成でき
る。
Further, according to the present invention, it is possible to loosen the processing accuracy of the nonlinear optical material depending on the setting method of the radius of curvature of the portion to be the output mirror, so that the wavelength conversion laser can be manufactured at low cost. Can also be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態の構成図FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の作用説明図FIG. 2 is an explanatory view of the operation of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 励起光源 2 レンズ系 3 レーザ媒質 4 非線形光学材料 4b 光透過面 5 レーザ共振器 B 基本波ビーム E 励起光 1 Excitation Light Source 2 Lens System 3 Laser Medium 4 Nonlinear Optical Material 4b Light Transmission Surface 5 Laser Resonator B Fundamental Wave Beam E Excitation Light

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非線形光学材料を波長変換素子としてレ
ーザ共振器内に配置する方式のレーザで、その非線形光
学材料の一方の光透過面に、レーザ発振の基本波に対し
て高い反射率で、波長変換により発生する第2高調波に
対しては高い透過率となる膜がコーティングされ、この
コーティング面をレーザ共振器の出力ミラーとして第2
高調波を外部に取り出すように構成されたレーザにおい
て、上記非線形光学材料のコーティング面が、レーザ共
振器の外側に凸の球面で、その曲率半径Rが、 R≦(d−r)/2tan(Δρ) d;非線形光学材料の光透過面の有効に作用する部分の
最小寸法 Δρ;非線形光学材料の結晶軸の仕上がり公差角度 r;レーザビームの径の最大値 に設定されていることを特徴とする波長変換レーザ。
1. A laser of a system in which a nonlinear optical material is arranged as a wavelength conversion element in a laser resonator, wherein one light transmitting surface of the nonlinear optical material has a high reflectance with respect to a fundamental wave of laser oscillation, A film having a high transmittance with respect to the second harmonic generated by the wavelength conversion is coated, and the coated surface is used as an output mirror of the laser resonator.
In a laser configured to extract harmonics to the outside, the coating surface of the nonlinear optical material is a spherical surface convex to the outside of the laser resonator, and its radius of curvature R is R ≦ (d−r) / 2tan ( Δρ) d; the minimum dimension of the effective portion of the light transmitting surface of the nonlinear optical material Δρ; the finished tolerance angle r of the crystal axis of the nonlinear optical material r; the maximum value of the laser beam diameter. Wavelength conversion laser.
JP4290196A 1996-02-29 1996-02-29 Tunable laser Pending JPH09237931A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003124553A (en) * 2001-10-12 2003-04-25 Topcon Corp Laser oscillating device

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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