JPH09198638A - Magnetic head slider - Google Patents
Magnetic head sliderInfo
- Publication number
- JPH09198638A JPH09198638A JP2312496A JP2312496A JPH09198638A JP H09198638 A JPH09198638 A JP H09198638A JP 2312496 A JP2312496 A JP 2312496A JP 2312496 A JP2312496 A JP 2312496A JP H09198638 A JPH09198638 A JP H09198638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- negative pressure
- rails
- upstream
- height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、負圧を利用する
タイプの浮上型磁気ヘッドスライダに関し、浮上特性を
向上させたものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flying type magnetic head slider utilizing negative pressure and having improved flying characteristics.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ハードディスク装置に用いられている従
来の浮上型磁気ヘッドスライダは、記録媒体対向面に上
流端から下流端にかけて２本または３本のレールを直線
状に平行に形成し、レールの上流端をテーパ面に形成
し、レールの下流端に磁気ヘッド素子（トランスデュー
サ）を配設したものが一般的であった。これは、レール
の上流端から流入する空気流による正圧のみを利用して
浮上するタイプのもので、記録媒体との相対速度やヨー
角（（トラック接線方向に対するスライダ長手方向中心
軸の傾き）さらにはシーク動作（スライダのディスク径
方向への移動動作）によって浮上量が大きく変動する欠
点があった。2. Description of the Related Art In a conventional flying type magnetic head slider used in a hard disk device, two or three rails are formed linearly in parallel from the upstream end to the downstream end on the recording medium facing surface. In general, the upstream end is formed in a tapered surface and the magnetic head element (transducer) is arranged at the downstream end of the rail. This is a type that floats by using only the positive pressure due to the air flow that flows in from the upstream end of the rail, and the relative velocity with the recording medium and the yaw angle ((the inclination of the slider longitudinal center axis with respect to the track tangential direction)). Further, there is a drawback that the flying height fluctuates greatly due to the seek operation (movement operation of the slider in the disk radial direction).
【０００３】そこで、浮上特性を改善した磁気ヘッドス
ライダとして、負圧型の磁気ヘッドスライダが開発され
ている。これは、上流端近傍に沿ってクロスレールと呼
ばれる突状部を形成し、このクロスレールと左右のレー
ル（サイドレール）とで囲まれる部分に負圧発生凹部を
形成したもので、上流端から流入する空気が負圧発生凹
部で膨脹する際に発生する負圧を利用して、サイドレー
ルで発生する正圧の速度による変動分を打ち消し、これ
により、記録媒体との相対速度による浮上量の変動を抑
えている。また、サイドレールの途中にくびれを形成す
ることでヨー角やシーク動作による浮上量の変動を抑え
ている。このくびれは、従来はサイドレールの内縁部に
平面形状が山形の切り込みを入れるかあるいはサイドレ
ールの外縁部と内縁部の両方に平面形状が山形の切り込
みを左右対称に入れることによって構成されていた。Therefore, a negative pressure type magnetic head slider has been developed as a magnetic head slider having improved flying characteristics. This is a projecting part called a cross rail formed near the upstream end, and a negative pressure generating recess is formed in the part surrounded by the cross rail and the left and right rails (side rails). By using the negative pressure generated when the inflowing air expands in the negative pressure generating recesses, the fluctuation due to the speed of the positive pressure generated at the side rails is canceled out, and thus the flying height due to the relative speed with the recording medium is reduced. It suppresses fluctuations. Also, by forming a constriction in the middle of the side rail, fluctuations in the flying height due to the yaw angle and seek operation are suppressed. This constriction was conventionally constructed by making a chevron-shaped notch on the inner edge of the side rail, or by making a bifurcated notch on the outer and inner edges of the side rail. .
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】サイドレールの内縁部
にのみ山形の切り込みを入れるものでは、外縁部は直線
なので、ヨー角が生じた時あるいはシーク動作時に、空
気流入側に位置するサイドレールの外縁部全体が、空気
流（斜行空気流）に対し浅い角度しかとれず、空気流が
サイドレールの外縁部に沿って側方に逃げてしまい、正
圧が発生しにくく、ヨー角やシーク動作による浮上量の
低下を抑えきれなかった。また、サイドレールの外縁部
と内縁部の両方に山形の切り込みを入れるものでは、切
り込み量を大きくすることができず（切り込みを大きく
すると、両側の切り込みがつながってサイドレールが切
断されてしまう。）、やはりヨー角やシーク動作による
浮上量の低下を抑えきれなかった。When the chevron notch is formed only on the inner edge of the side rail, the outer edge is a straight line. Therefore, when a yaw angle is generated or a seek operation is performed, the side rail positioned on the air inflow side is The entire outer edge can only take a shallow angle with respect to the airflow (oblique airflow), and the airflow escapes laterally along the outer edge of the side rail, making it difficult for positive pressure to occur, and for yaw angle and seek. It was not possible to suppress the decrease in the flying height due to the operation. In addition, when the mountain-shaped notches are formed on both the outer edge portion and the inner edge portion of the side rail, the amount of notch cannot be increased (when the notch is increased, the notches on both sides are connected and the side rail is cut. ), Of course, it was not possible to suppress the decrease in the flying height due to the yaw angle and seek operation.
【０００５】この発明は、前記従来の技術における問題
点を解決して、浮上特性を改善した磁気ヘッドスライダ
を提供しようとするものである。The present invention intends to solve the above problems in the prior art and provide a magnetic head slider having improved flying characteristics.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明は、負圧型磁気
ヘッドスライダにおいて、左右のサイドレールの外縁部
と内縁部に平面形状が山形の切り込みをそれぞれ形成
し、かつこれら山形の切り込みの頂部を外縁部の頂部の
方が内縁部の頂部よりも上流側に位置するようにずらし
て配置し、かつこれら山形の切り込みの頂部の高さを少
なくとも外方側の切り込みの頂部の高さがサイドレール
の最大幅の半幅よりも高くなるように設定したものであ
る。これによれば、ヨー角が生じた時あるいはシーク動
作時に、斜行気流の空気流入側に位置するサイドレール
の外縁部の切り込みを構成する辺に対し斜行気流が深い
角度で流入するので、正圧が発生し易くなる。特に、外
縁部の切り込みの頂部の位置と内縁部の切り込みの頂部
の位置をずらして配置したので、従来のものに比べて切
り込み量を大きくとることができ、しかも外縁部の切り
込みの頂部を内縁部の切り込みの頂部よりも上流側に配
置したので、斜行気流が深い角度で流入する上記辺の長
さを長くとることができ、より大きな正圧を発生させる
ことができ、ヨー角やシーク動作による浮上量の変動を
大幅に低減することができる。また、サイドレールの内
外の切り込みを大きく形成できるので、ヨー角が生じて
いない時の直行気流に対してサイドレールで発生する正
圧を阻害する効果を高めることができ、直行気流に対し
浮上高さが高くなる傾向を減少させることができる。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, in a negative pressure type magnetic head slider, notches having a planer chevron shape are formed at the outer and inner edges of the left and right side rails, and the tops of these chevron notches are formed. The tops of the outer edges are staggered so that they are located upstream of the tops of the inner edges, and the height of the tops of these chevron-shaped notches is at least the height of the tops of the outer notches is the side rail. It is set to be higher than the half width of the maximum width of. According to this, when the yaw angle is generated or during the seek operation, the oblique airflow flows at a deep angle with respect to the side forming the cut of the outer edge portion of the side rail located on the air inflow side of the oblique airflow, Positive pressure is likely to occur. In particular, since the positions of the tops of the cuts on the outer edge and the tops of the cuts on the inner edge are offset from each other, the amount of cuts can be made larger than that of the conventional one, and the tops of the cuts on the outer edge can be set to the inner edge Since it is arranged on the upstream side of the top of the cut of the part, it is possible to lengthen the side where the oblique airflow flows at a deep angle, generate a larger positive pressure, yaw angle and seek. The fluctuation of the flying height due to the operation can be significantly reduced. Also, since the notches inside and outside the side rail can be formed large, it is possible to enhance the effect of inhibiting the positive pressure generated in the side rail against the direct air flow when the yaw angle is not generated, and the flying height with respect to the direct air flow. It is possible to reduce the tendency for height to increase.
【０００７】また、この発明によれば、クロスレールを
上流側の部分と下流側の部分の２段に分けて、上流側の
部分を前記サイドレールと前記負圧発生凹部の中間の高
さに形成し、下流側の部分を前記各サイドレールと連続
した同一面に形成したので、サイドレールに対しては２
段のクロスレールがテーパ面と同等の効果を発揮し、サ
イドレールに安定した正圧を発生させる。また、負圧発
生凹部に対しては、クロスレール下流部との段差が大き
くなり、大きな負圧を発生させることができる。Further, according to the present invention, the cross rail is divided into two stages, that is, an upstream side portion and a downstream side portion, and the upstream side portion is located at an intermediate height between the side rail and the negative pressure generating recess. Since it is formed and the downstream side portion is formed on the same surface that is continuous with each of the side rails, 2
The stepped cross rails have the same effect as the tapered surface, and generate a stable positive pressure on the side rails. Further, the negative pressure generating recess has a large step with the downstream portion of the cross rail, and a large negative pressure can be generated.
【０００８】尚、負圧発生凹部とサイドレール内縁部と
の境界部分に沿って、クロスレールの上流側の部分と同
一高さの細幅の中間段部を形成することにより、斜行気
流が負圧発生凹部から下流側のサイドレールに流れる時
に、中間段部が段差減らしの作用を果たし、流路を比較
的滑らかにして流れを容易にし、スライダを安定に浮上
させることができる。By forming a narrow intermediate step portion having the same height as the upstream side portion of the cross rail along the boundary portion between the negative pressure generating concave portion and the inner edge portion of the side rail, the oblique air flow is generated. When flowing from the negative pressure generating concave portion to the side rail on the downstream side, the intermediate step portion acts to reduce the step difference, makes the flow path relatively smooth and facilitates the flow, and the slider can be stably floated.
【０００９】また、左右のサイドレールの中間位置に相
当する負圧発生凹部内に左右のサイドレールの中間位置
に沿ってサイドレールと同一高さのセンターレールを前
記クロスレールと不連続に形成することにより、負圧発
生凹部を流れる直行気流が安定し、スライダの姿勢を安
定に保つことができる。Further, a center rail having the same height as the side rail is formed discontinuously with the cross rail along the intermediate position of the left and right side rails in the negative pressure generating recess corresponding to the intermediate position of the left and right side rails. As a result, the direct airflow flowing through the negative pressure generating recess is stabilized, and the posture of the slider can be maintained stable.
【００１０】[0010]
（実施の形態１）この発明の第１の実施の形態を図１に
記録媒体対向面上流側から見た斜視図で示す。また、そ
の平面図および各部分の端面図を図２に示す。スライダ
１０は、アルチック（Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ）等の材料で
作られている。スライダ１０の記録媒体対向面１２には
レールパターンがイオンミーリングによる堀込加工等で
形成されている。このレールパターンは、上段、中段、
下段の３段階のステップ（突出平坦面）構造で形成さ
れ、はじめに平坦面（上段に相当）の状態から中段を堀
込加工し、次いで下段を堀込加工する２回の堀込加工で
作られている。(Embodiment 1) A first embodiment of the present invention is shown in FIG. 1 in a perspective view seen from the upstream side of a recording medium facing surface. Further, FIG. 2 shows a plan view and end views of each part. The slider 10 is made of a material such as AlTiC (Al 2 O 3 -TiC). A rail pattern is formed on the recording medium facing surface 12 of the slider 10 by engraving by ion milling or the like. This rail pattern has upper, middle,
It is formed by a three-step (protruding flat surface) structure in the lower stage, and is formed by performing two engraving processes in which first the middle stage is excavated from the state of the flat surface (corresponding to the upper stage), and then the lower stage is excavated.
【００１１】レールパターンの構造について説明する。
レールパターンは左右対称に形成されている。スライダ
１０の上流端１４の近傍には、細幅の下段部１６を介し
てクロスレール１８が上流端１４に沿ってスライダ１０
の幅方向略々全体に亘り突出平坦面状に形成されてい
る。クロスレール１８は上流側の部分１８ａと下流側の
部分１８ｂの２段に構成され、上流側の部分１８ａはサ
イドレール２８，３０と負圧発生凹部８０の中間の高さ
に形成され、下流側の部分１８ｂはサイドレール２８，
３０と連続した同一面に形成されている。クロスレール
１８の上流端左右角部には面取り３４，３６が施されて
いる。The structure of the rail pattern will be described.
The rail patterns are formed symmetrically. In the vicinity of the upstream end 14 of the slider 10, a cross rail 18 is provided along the upstream end 14 via a narrow lower step portion 16.
Is formed in a protruding flat surface shape over substantially the entire width direction. The cross rail 18 is configured in two stages of an upstream side portion 18a and a downstream side portion 18b, and the upstream side portion 18a is formed at an intermediate height between the side rails 28, 30 and the negative pressure generating recess 80, and the downstream side. 18b is a side rail 28,
It is formed on the same surface that is continuous with 30. Chamfers 34 and 36 are provided on the left and right corners of the upstream end of the cross rail 18.
【００１２】スライダ１０の左右両側端２０，２２の近
傍には、細幅の下段部２４，２６を介して上段の高さの
サイドレール２８，３０が左右両側端２０，２２に沿っ
てクロスレール１８の下流位置からスライダ１０の下流
端３２の近傍位置にかけて突出平坦面状に形成されてい
る。サイドレール２８，３０の上流端は、クロスレール
１８の下流端と同一平面をなしてつながっている。サイ
ドレール２８，３０の下流端付近には、ＭＲヘッド等の
磁気ヘッド素子３８，４０が埋め込み配置され、そのポ
ール端面４２，４４はサイドレール２８，３０の表面に
露出している。In the vicinity of the left and right ends 20 and 22 of the slider 10, side rails 28 and 30 having an upper height via narrow lower steps 24 and 26 are cross rails along the left and right ends 20 and 22. A protruding flat surface is formed from a downstream position of 18 to a position near the downstream end 32 of the slider 10. The upstream ends of the side rails 28 and 30 are connected to the downstream end of the cross rail 18 in the same plane. Magnetic head elements 38 and 40 such as MR heads are embedded and arranged near the downstream ends of the side rails 28 and 30, and their pole end surfaces 42 and 44 are exposed on the surfaces of the side rails 28 and 30, respectively.
【００１３】サイドレール２８の外縁部４６の途中の部
分には平面形状が山形（この例では三角形）の切り込み
４８が形成されている。切り込み４８を構成する２辺５
０，５２は上流側の辺５０が下流側の辺５２よりも短く
形成されている。サイドレール２８の内縁部５４には略
々全域にわたり平面形状が山形（この例では三角形）で
かつ外側の切り込み４８とは非対称の切り込み５６が形
成されている。切り込み５６を構成する２辺５８，６０
は、上流側の辺５８が下流側の辺６０よりも長く形成さ
れている。これにより、外縁部４６の切り込み４８の頂
部６２は内縁部５４の切り込み５６の頂部６４よりも上
流側にずれて配置されている。また、外縁部４６の切り
込みの頂部６２の高さＨ0 は、サイドレール２８の最大
幅Ｗmaxの半幅Ｗmax ／２よりも高く形成されている。
以上の構造により、サイドレール２８の幅は上流側から
外縁部４６の頂部６２にかけて徐々に狭くなる傾向を示
し、頂部６２から下流側にかけて徐々に広くなる傾向を
示す。A notch 48 having a chevron shape (triangle in this example) is formed in the middle of the outer edge portion 46 of the side rail 28. Two sides 5 that make up the cut 48
As for 0 and 52, the side 50 on the upstream side is formed shorter than the side 52 on the downstream side. The inner edge portion 54 of the side rail 28 is formed with a notch 56 having a chevron shape (triangle in this example) in a plan view and asymmetrical to the notch 48 on the outer side. Two sides 58, 60 forming the cut 56
Is formed such that the upstream side 58 is longer than the downstream side 60. As a result, the top portion 62 of the notch 48 of the outer edge portion 46 is displaced from the top portion 64 of the notch 56 of the inner edge portion 54 on the upstream side. Further, the height H0 of the cut-out top portion 62 of the outer edge portion 46 is formed to be higher than the half width Wmax / 2 of the maximum width Wmax of the side rail 28.
With the above structure, the width of the side rail 28 tends to gradually decrease from the upstream side to the top portion 62 of the outer edge portion 46, and tends to gradually increase from the top portion 62 to the downstream side.
【００１４】他方のサイドレール３０にも、サイドレー
ル２８と左右対称に、外縁部６６に山形の切り込み６８
が形成され、内縁部７０に山形の切り込み７２が形成さ
れている。外縁部６６の切り込み６８の頂部７１は内縁
部７０の切り込み７２の頂部７４よりも上流側に配置さ
れている。サイドレール２８，３０の下流端部外側角部
には面取り８８，９０が施されている。On the other side rail 30 as well, symmetrically with the side rail 28, a chevron notch 68 is formed in the outer edge portion 66.
Is formed, and a chevron-shaped notch 72 is formed in the inner edge portion 70. The top portion 71 of the notch 68 of the outer edge portion 66 is arranged on the upstream side of the top portion 74 of the notch 72 of the inner edge portion 70. Chamfers 88 and 90 are provided on the outer corners of the downstream ends of the side rails 28 and 30.
【００１５】クロスレール１８とサイドレール２８，３
０とで囲まれた箇所には、下段の高さの負圧発生凹部８
０が形成されている。負圧発生凹部８０とサイドレール
２８，３０の内縁部５４，７０との境界部分には、中段
の高さの細幅の中間段部８２，８４が形成されている。Cross rail 18 and side rails 28, 3
In the area surrounded by 0 and the negative pressure generating concave portion 8 of the lower height
0 is formed. At the boundary between the negative pressure generating recess 80 and the inner edge portions 54, 70 of the side rails 28, 30, there are formed intermediate step portions 82, 84 having a narrow width with an intermediate height.
【００１６】以上の構成の磁気ヘッドスライダ１０をハ
ードディスク装置に搭載した例を図３に示す。これはロ
ータリー式のヘッド位置決め機構を有するもので、スラ
イダ１０はヘッド支持装置９２の先端部に固定支持され
て、回転軸９５を中心に回動して、ハードディスク９４
の記録面に沿ってその径方向に移動自在に配設されてい
る。ハードディスク９４上のトラック９６の接線方向と
スライダ１０の長手方向中心軸９８とのなす角度はハー
ドディスク９４上の径方向位置によって変化し、径方向
中周部で両者は平行となり、内周部に行くにつれて角度
が大きくなり（スライダ位置１０′で示す。）、外周部
に行くにつれて逆方向に角度が大きくなる（スライダ位
置１０″で示す。）。FIG. 3 shows an example in which the magnetic head slider 10 having the above configuration is mounted on a hard disk device. This has a rotary type head positioning mechanism. The slider 10 is fixedly supported by the tip of the head supporting device 92 and rotates about a rotary shaft 95 to drive the hard disk 94.
Is arranged so as to be movable in the radial direction along the recording surface. The angle formed by the tangential direction of the track 96 on the hard disk 94 and the central axis 98 of the slider 10 in the longitudinal direction changes depending on the radial position on the hard disk 94, and the two become parallel to each other at the radially inner peripheral portion and go to the inner peripheral portion. As the angle increases, the angle increases (indicated by the slider position 10 '), and the angle increases in the opposite direction toward the outer peripheral portion (indicated by the slider position 10 ").
【００１７】中周部におけるスライダ１０の記録媒体対
向面１２の空気流の流れを図４に矢印で示す。中周部で
は空気流１００は直行気流となる。この時スライダ１０
の上流端１４から流入する空気流１００は下段部１６か
らクロスレール１８の上流部分１８ａ（中段）に乗り上
げ、さらに下流部分１８ａ（上段）に乗り上げて正圧を
発生し、左右両側端側ではそのままサイドレール２８，
３０を通って正圧を発生し（２段階に構成されたクロス
レール１８ａ，１８ｂの左右両側端の部分はサイドレー
ル２８，３０に対し、従来のテーパ面と同等の機能を果
たし、しかもテーパ面を形成するのに比べて製造が容易
である。）、下流側へ流れていく。また、中央部の空気
流１００は、負圧発生凹部８０に流れ込み、負圧を発生
して下流側へ流れていく。そして正圧から負圧を差し引
いた分の正圧によってスライダ１０は浮上する。この場
合、サイドレール２８，３０の外縁部４６，６６に形成
した切り込み４８，６８と、内縁部５４，７０に形成し
た切り込み５６，７２が正圧を阻害するように作用する
ので、中周部で浮上高さが内周部、外周部に比べて高く
なる傾向を減少させる。また、クロスレールの下流部分
１８ｂは上段であり、負圧発生凹部８０（下段）との段
差が大きいので、負圧発生凹部８０で発生する負圧を大
きくすることができ、スライダ１０の浮上高を低くする
ことができる。The flow of the air flow on the recording medium facing surface 12 of the slider 10 in the middle portion is shown by arrows in FIG. The air flow 100 becomes a direct air flow in the middle circumference part. At this time, the slider 10
The airflow 100 flowing in from the upstream end 14 of the vehicle runs from the lower step portion 16 to the upstream portion 18a (middle step) of the cross rail 18 and further to the downstream portion 18a (upper step) to generate positive pressure, which remains unchanged at both left and right end sides. Side rails 28,
Positive pressure is generated through 30 (the left and right end portions of the cross rails 18a and 18b configured in two stages perform the same function as the conventional tapered surface with respect to the side rails 28 and 30, and the tapered surface It is easier to manufacture compared to forming a.), And flows to the downstream side. Further, the air flow 100 in the central portion flows into the negative pressure generating concave portion 80, generates negative pressure, and flows downstream. Then, the slider 10 floats due to the positive pressure that is obtained by subtracting the negative pressure from the positive pressure. In this case, the notches 48 and 68 formed on the outer edge portions 46 and 66 of the side rails 28 and 30 and the notches 56 and 72 formed on the inner edge portions 54 and 70 act so as to inhibit the positive pressure. Therefore, the tendency that the flying height becomes higher than that of the inner peripheral portion and the outer peripheral portion is reduced. Further, since the downstream portion 18b of the cross rail is in the upper stage and has a large step with the negative pressure generating recess 80 (lower stage), the negative pressure generated in the negative pressure generating recess 80 can be increased and the flying height of the slider 10 can be increased. Can be lowered.
【００１８】外周部あるいは内周部におけるスライダ１
０の記録媒体対向面１２の空気流の流れを図５に矢印で
示す。外周部あるいは内周部では空気流１００は斜行気
流となる。斜行気流１００はクロスレール１８およびサ
イドレール２８，３０において正圧を発生する。この場
合、斜行気流１００はサイドレール２８の外側の切り込
み４８を構成する辺５２に対して深い角度で流入するの
で、正圧が発生し易くなる。特に、この例では切り込み
４８が大きく、辺５２が長く形成されているので、サイ
ドレール２８において大きな正圧を発生することができ
る。したがって、ヨー角が生じた時の浮上量の低下を抑
制することができる。Slider 1 at the outer or inner circumference
The flow of the air flow on the recording medium facing surface 12 of 0 is shown by an arrow in FIG. At the outer peripheral portion or the inner peripheral portion, the airflow 100 becomes an oblique airflow. The oblique airflow 100 generates positive pressure in the cross rail 18 and the side rails 28 and 30. In this case, the oblique airflow 100 flows in at a deep angle with respect to the side 52 that constitutes the notch 48 on the outer side of the side rail 28, so that positive pressure is likely to occur. In particular, in this example, since the notch 48 is large and the side 52 is long, a large positive pressure can be generated in the side rail 28. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the flying height when a yaw angle occurs.
【００１９】また、サイドレール３０の内縁部７０に沿
って形成した中間段部８４が負圧発生凹部８０からサイ
ドレール３０に乗り上げる斜行気流１００に対し段差減
らしの効果（テーパ面と同等の作用）を果たし、斜行気
流１００の流路を比較的滑らかにして流れを容易にし、
スライダ１０を安定に浮上させるのに役立つ。さらに、
サイドレール３０の外側の切り込み６８が大きいため、
斜行気流１００がサイドレール３０の上流部分を乗り越
えて切り込み６８に流入する際に負圧を発生し、この負
圧もスライダ１０を安定な姿勢に保持するのに役立つ。Further, the intermediate step portion 84 formed along the inner edge portion 70 of the side rail 30 reduces the level difference with respect to the oblique air flow 100 riding on the side rail 30 from the negative pressure generating recess 80 (equivalent to a tapered surface). ), The flow path of the oblique airflow 100 is made relatively smooth to facilitate the flow,
This serves to stably fly the slider 10. further,
Since the notch 68 on the outside of the side rail 30 is large,
Negative pressure is generated when the oblique airflow 100 passes over the upstream portion of the side rail 30 and flows into the notch 68, and this negative pressure also serves to hold the slider 10 in a stable posture.
【００２０】（実施の形態２）この発明の第２の実施の
形態を図６に示す。前記第１の実施の形態と共通する部
分には、同一の符号を用いる。このスライダ１０２は、
クロスレール１８の下流側の部分１８ｂと負圧発生凹部
８０との境界部分に沿って中段の高さの中間段部１１６
を、サイドレール２８，３０と負圧発生凹部８０との境
界部分の中間段部８２，８４と連続面を形成するよう
に、かつ中間段部８２，８４よりもやや広幅に形成した
ものである。このスライダ１０２によれば、中間段部１
１６の存在により、クロスレール１８の下流側の部分１
８ｂと負圧発生凹部８０との段差をなだらかにし、これ
によりこの部分での負圧の勾配をなだらかにして、クロ
スレール１８の下流側の部分１８ｂから負圧発生凹部８
０への空気の流れを滑らかにするので、スライダ１０２
を安定に浮上させることができる。(Second Embodiment) FIG. 6 shows a second embodiment of the present invention. The same reference numerals are used for the parts common to the first embodiment. This slider 102
An intermediate step portion 116 having an intermediate height along the boundary portion between the downstream portion 18b of the cross rail 18 and the negative pressure generating recess 80.
Is formed so as to form a continuous surface with the intermediate step portions 82, 84 at the boundary portion between the side rails 28, 30 and the negative pressure generating recess 80, and is slightly wider than the intermediate step portions 82, 84. . According to this slider 102, the intermediate step portion 1
Due to the presence of 16, the downstream portion 1 of the cross rail 18
8b and the negative pressure generating recessed portion 80 are made smooth, and the gradient of the negative pressure at this portion is made gentle, so that the negative pressure generating recessed portion 8 from the downstream side portion 18b of the cross rail 18 is smoothed.
Since the air flow to 0 is smoothed, the slider 102
Can be stably surfaced.
【００２１】（実施の形態３）この発明の第３の実施の
形態を図７に示す。前記第１の実施の形態と共通する部
分には同一の符号を用いる。このスライダ１１４は、サ
イドレール２８′，３０′の下流端１２０，１２２をス
ライダ１１４の下流端３２まで達しない構造とし、負圧
発生凹部８０内のサイドレール２８′，３０′の中間位
置に沿ってセンターレール１０４を上段の高さに形成し
た点に特徴を有するものである。センターレール１０４
の上流端１０６はクロスレール１８と不連続に形成さ
れ、下流端１２４はスライダ１１４の略々下流端３２ま
で達する構造とし、磁気ヘッドをセンターレール１０４
の下流端１２４の近傍に埋め込み、そのポール端面１２
６をセンターレール１０４の表面に露出させている。セ
ンターレール１０４は上流側から下流側に向けて徐々に
広幅に形成されている。下流端１２４の外側角部には面
取り１１０，１１２が施されている。(Third Embodiment) FIG. 7 shows a third embodiment of the present invention. The same reference numerals are used for the parts common to the first embodiment. The slider 114 has a structure in which the downstream ends 120 and 122 of the side rails 28 ′ and 30 ′ do not reach the downstream end 32 of the slider 114, and is arranged along the intermediate position of the side rails 28 ′ and 30 ′ in the negative pressure generating recess 80. This is characterized in that the center rail 104 is formed at the upper height. Center rail 104
Has a structure in which the upstream end 106 of the slider is discontinuous with the cross rail 18, and the downstream end 124 reaches almost the downstream end 32 of the slider 114.
Embedded in the vicinity of the downstream end 124 of the
6 is exposed on the surface of the center rail 104. The center rail 104 is formed gradually wider from the upstream side to the downstream side. The outer corner of the downstream end 124 is chamfered 110, 112.
【００２２】以上の構成のスライダ１１４によれば、前
記第１の実施の形態による効果に加えて、負圧発生凹部
８０を流れる直行気流がセンターレール１０４で２分割
されて、これにより負圧も２山生じるので、スライダ１
１４の姿勢を安定に保つことができる。According to the slider 114 having the above-described structure, in addition to the effect of the first embodiment, the direct airflow flowing through the negative pressure generating concave portion 80 is divided into two by the center rail 104, which also reduces the negative pressure. Since two peaks are generated, slider 1
The posture of 14 can be kept stable.
【００２３】（実施の形態４）この発明の第４の実施の
形態を図８に示す。このスライダ１３０は、前記第３の
実施の形態（図７）において、クロスレール１８の下流
側の部分１８ｂと負圧発生凹部８０との境界部分に沿っ
て中段の高さの中間段部１３２を、サイドレール２８，
３０と負圧発生凹部８０との境界部分の中間段部８２，
８４と連続面を形成するように、かつ中間段部８２，８
４よりもやや広幅に形成したものである。このスライダ
１３０によれば、中間段部１３２の存在により、クロス
レール１８の下流側の部分１８ｂと負圧発生凹部８０と
の段差をなだらかにし、これによりこの部分での負圧の
勾配をなだらかにして、クロスレール１８の下流側の部
分１８ｂから負圧発生凹部８０への空気の流れを滑らか
にするので、スライダ１３０を安定に浮上させることが
できる。(Fourth Embodiment) FIG. 8 shows a fourth embodiment of the present invention. In the slider 130 of the third embodiment (FIG. 7), an intermediate step portion 132 having an intermediate height is formed along the boundary portion between the downstream side portion 18b of the cross rail 18 and the negative pressure generating recess 80. , Side rails 28,
30, an intermediate step portion 82 at the boundary between the negative pressure generating concave portion 80 and the negative pressure generating concave portion 80,
84 to form a continuous surface, and the intermediate step portions 82, 8
It is formed to be slightly wider than No. 4. According to this slider 130, due to the presence of the intermediate step portion 132, the step between the downstream side portion 18b of the cross rail 18 and the negative pressure generating concave portion 80 is smoothed, and thereby the negative pressure gradient in this portion is smoothed. As a result, the air flow from the downstream portion 18b of the cross rail 18 to the negative pressure generating recess 80 is made smooth, so that the slider 130 can be stably floated.
【００２４】なお、前記実施の形態では、この発明のス
ライダをロータリー式ヘッド位置決め機構に適用した場
合について説明したが、リニア式ヘッド位置決め機構に
も適用することができ、その場合には、シーク動作時の
浮上特性を改善することができる。In the above embodiment, the slider of the present invention is applied to the rotary head positioning mechanism, but the slider can also be applied to the linear head positioning mechanism. In that case, the seek operation is performed. The floating characteristics can be improved.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、負圧を利用する浮上型磁気ヘッドスライダにおいて
浮上特性を改善することができる。As described above, according to the present invention, the flying characteristics of the flying type magnetic head slider utilizing negative pressure can be improved.
【図１】 この発明の第１の実施の形態を示す図で、記
録媒体対向面上流側から見た斜視図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the invention, and is a perspective view seen from an upstream side of a recording medium facing surface.
【図２】 図１のスライダの平面図および各部分の端面
図である。FIG. 2 is a plan view of the slider of FIG. 1 and an end view of each portion.
【図３】 図１のスライダをロータリー式ヘッド位置決
め機構を有するハードディスク装置に搭載した状態を示
す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a state in which the slider of FIG. 1 is mounted on a hard disk device having a rotary head positioning mechanism.
【図４】 図３において、スライダ１０がハードディス
ク９４の中周部にあるときのスライダ１０の記録媒体対
向面に流れる直行気流を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a perpendicular airflow flowing to the recording medium facing surface of the slider 10 when the slider 10 is located in the middle portion of the hard disk 94 in FIG.
【図５】 図３において、スライダ１０がハードディス
ク９４の内周部あるいは外周部にあるときのスライダ１
０の記録媒体対向面に流れる斜行気流を示す図である。FIG. 5 is a view showing the slider 1 when the slider 10 is located on the inner or outer peripheral portion of the hard disk 94 in FIG.
FIG. 6 is a diagram showing an oblique airflow that flows to the recording medium facing surface of No. 0.
【図６】 この発明の第２の実施の形態を示す平面図で
ある。FIG. 6 is a plan view showing a second embodiment of the present invention.
【図７】 この発明の第３の実施の形態を示す平面図で
ある。FIG. 7 is a plan view showing a third embodiment of the present invention.
【図８】 この発明の第４の実施の形態を示す平面図で
ある。FIG. 8 is a plan view showing a fourth embodiment of the present invention.
１０，１０２，１１４，１３０ スライダ １２ 記録媒体対向面 １４ 上流端 １８ クロスレール １８ａ クロスレールの上流側の部分 １８ｂ クロスレールの下流側の部分 ２０ 左側端 ２２ 右側端 ２８，３０，２８′，３０′ サイドレール ３２ 下流端 ４６，６６ サイドレールの外縁部 ４８，６８ 切り込み（外縁部） ５４，７０ サイドレールの内縁部 ５６，７２ 切り込み（内縁部） ６２，７１ 頂部（外縁部） ６４，７４ 頂部（内縁部） ８０ 負圧発生凹部 ８２，８４ 中間段部 １０４ センターレール Ｈ0 頂部の高さ Ｗmax サイドレールの最大幅 10, 102, 114, 130 slider 12 recording medium facing surface 14 upstream end 18 crossrail 18a crossrail upstream part 18b crossrail downstream part 20 left end 22 right end 28, 30, 28 ', 30' Side rail 32 Downstream end 46,66 Outer edge of side rail 48,68 Cut (outer edge) 54,70 Inner edge of side rail 56,72 Cut (inner edge) 62,71 Top (outer edge) 64,74 Top ( Inner edge) 80 Negative pressure generating recess 82, 84 Intermediate step 104 Center rail H0 Top height Wmax Maximum width of side rail
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成８年１１月２９日[Submission date] November 29, 1996
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項１[Correction target item name] Claim 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【手続補正２】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００４[Correction target item name] 0004
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】サイドレールの内縁部
にのみ山形の切り込みを入れるものでは、外縁部は直線
なので、ヨー角が生じた時あるいはシーク動作時に、空
気流入側に位置するサイドレールの外縁部全体が、空気
流（斜行空気流）に対し浅い角度しかとれず、空気流が
サイドレールの外縁部に沿って側方に逃げてしまい、正
圧が発生しにくく、ヨー角やシーク動作による浮上量の
低下を抑えきれなかった。また、サイドレールの外縁部
と内縁部の両方に山形の切り込みを入れるものでは、切
り込み深さを大きくすることができず（切り込み深さを
大きくすると、両側の切り込みがつながってサイドレー
ルが切断されてしまう。）、やはりヨー角やシーク動作
による浮上量の低下を抑えきれなかった。When the chevron notch is formed only on the inner edge of the side rail, the outer edge is a straight line. Therefore, when a yaw angle is generated or a seek operation is performed, the side rail positioned on the air inflow side is The entire outer edge can only take a shallow angle with respect to the airflow (oblique airflow), and the airflow escapes laterally along the outer edge of the side rail, making it difficult for positive pressure to occur, and for yaw angle and seek. It was not possible to suppress the decrease in the flying height due to the operation. In addition, it is not possible to increase the depth of cut with a mountain-shaped cut on both the outer edge and the inner edge of the side rail (when the depth of cut is increased, the cuts on both sides are connected and the side rail is cut. After all, it was not possible to suppress the decrease in the flying height due to the yaw angle and seek operation.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００６[Correction target item name] 0006
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明は、負圧型磁気
ヘッドスライダにおいて、左右のサイドレールの外縁部
と内縁部に平面形状が山形の切り込みをそれぞれ形成
し、かつこれら山形の切り込みの頂部を外縁部の頂部の
方が内縁部の頂部よりも上流側に位置するようにずらし
て配置し、かつこれら山形の切り込みの頂部までの切り
込み深さを少なくとも外方側の切り込みの切り込み深さ
がサイドレールの最大幅の半幅よりも大きくなるように
設定したものである。これによれば、ヨー角が生じた時
あるいはシーク動作時に、斜行気流の空気流入側に位置
するサイドレールの外縁部の切り込みを構成する辺に対
し斜行気流が深い角度で流入するので、正圧が発生し易
くなる。特に、外縁部の切り込みの頂部の位置と内縁部
の切り込みの頂部の位置をずらして配置したので、従来
のものに比べて切り込み量を大きくとることができ、し
かも外縁部の切り込みの頂部を内縁部の切り込みの頂部
よりも上流側に配置したので、斜行気流が深い角度で流
入する上記辺の長さを長くとることができ、より大きな
正圧を発生させることができ、ヨー角やシーク動作によ
る浮上量の変動を大幅に低減することができる。また、
サイドレールの内外の切り込み深さを大きく形成できる
ので、ヨー角が生じていない時の直行気流に対してサイ
ドレールで発生する正圧を阻害する効果を高めることが
でき、直行気流に対し浮上高さが高くなる傾向を減少さ
せることができる。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, in a negative pressure type magnetic head slider, notches having a planer chevron shape are formed at the outer and inner edges of the left and right side rails, and the tops of these chevron notches are formed. towards the top portion of the outer edge portion is staggered so as to be located on the upstream side of the apex of the inner edge, and cut up to the top of the notch of Yamagata
Inclusive depth at least the outward side of the notch of the cutting depth <br/> is what was set to be larger than the half-width of the maximum width of the side rails. According to this, when the yaw angle is generated or during the seek operation, the oblique airflow flows at a deep angle with respect to the side forming the cut of the outer edge portion of the side rail located on the air inflow side of the oblique airflow, Positive pressure is likely to occur. In particular, since the positions of the tops of the cuts on the outer edge and the tops of the cuts on the inner edge are offset from each other, the amount of cuts can be made larger than that of the conventional one, and the tops of the cuts on the outer edge can be set to the inner edge Since it is arranged on the upstream side of the top of the cut of the part, it is possible to lengthen the side where the oblique airflow flows at a deep angle, generate a larger positive pressure, yaw angle and seek. The fluctuation of the flying height due to the operation can be significantly reduced. Also,
Since the depth of cut inside and outside the side rail can be made large, it is possible to enhance the effect of inhibiting the positive pressure generated in the side rail against the direct air flow when the yaw angle is not generated, and the flying height with respect to the direct air flow. It is possible to reduce the tendency for height to increase.
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１３[Correction target item name] 0013
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００１３】サイドレール２８の外縁部４６の途中の部
分には平面形状が山形（この例では三角形）の切り込み
４８が形成されている。切り込み４８を構成する２辺５
０，５２は上流側の辺５０が下流側の辺５２よりも短く
形成されている。サイドレール２８の内縁部５４には略
々全域にわたり平面形状が山形（この例では三角形）で
かつ外側の切り込み４８とは非対称の切り込み５６が形
成されている。切り込み５６を構成する２辺５８，６０
は、上流側の辺５８が下流側の辺６０よりも長く形成さ
れている。これにより、外縁部４６の切り込み４８の頂
部６２は内縁部５４の切り込み５６の頂部６４よりも上
流側にずれて配置されている。また、外縁部４６の切り
込みの頂部６２までの切り込み深さＨ０は、サイドレー
ル２８の最大幅Ｗｍａｘの半幅Ｗｍａｘ／２よりも大き
く形成されている。以上の構造により、サイドレール２
８の幅は上流側から外縁部４６の頂部６２にかけて徐々
に狭くなる傾向を示し、頂部６２から下流側にかけて徐
々に広くなる傾向を示す。A notch 48 having a chevron shape (triangle in this example) is formed in the middle of the outer edge portion 46 of the side rail 28. Two sides 5 that make up the cut 48
As for 0 and 52, the side 50 on the upstream side is formed shorter than the side 52 on the downstream side. The inner edge portion 54 of the side rail 28 is formed with a notch 56 having a chevron shape (triangle in this example) in a plan view and asymmetrical to the notch 48 on the outer side. Two sides 58, 60 forming the cut 56
Is formed such that the upstream side 58 is longer than the downstream side 60. As a result, the top portion 62 of the notch 48 of the outer edge portion 46 is displaced from the top portion 64 of the notch 56 of the inner edge portion 54 on the upstream side. Further, the cut depth H0 to the top 62 of the cut of the outer edge portion 46 is larger than the half width Wmax / 2 of the maximum width Wmax of the side rail 28.
Well formed. With the above structure, the side rail 2
The width of 8 tends to gradually narrow from the upstream side to the top portion 62 of the outer edge portion 46, and tends to gradually widen from the top portion 62 to the downstream side.
【手続補正５】[Procedure Amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】符号の説明[Correction target item name] Explanation of sign
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【符号の説明】 １０，１０２，１１４，１３０ スライダ １２ 記録媒体対向面 １４ 上流端 １８ クロスレール １８ａ クロスレールの上流側の部分 １８ｂ クロスレールの下流側の部分 ２０ 左側端 ２２ 右側端 ２８，３０，２８′，３０′ サイドレール ３２ 下流端 ４６，６６ サイドレールの外縁部 ４８，６８ 切り込み（外縁部） ５４，７０ サイドレールの内縁部 ５６，７２ 切り込み（内縁部） ６２，７１ 頂部（外縁部） ６４，７４ 頂部（内縁部） ８０ 負圧発生凹部 ８２，８４ 中間段部 １０４ センターレール Ｈ０ 切り込みの頂部までの切り込み深さ Ｗｍａｘ サイドレールの最大幅[Explanation of reference numerals] 10, 102, 114, 130 slider 12 recording medium facing surface 14 upstream end 18 crossrail 18a upstream part of crossrail 18b downstream part of crossrail 20 left end 22 right end 28, 30, 28 ', 30' Side rail 32 Downstream end 46,66 Outer edge of side rail 48,68 Cut (outer edge) 54,70 Inner edge of side rail 56,72 Cut (inner edge) 62,71 Top (outer edge) 64,74 Top part (inner edge part) 80 Negative pressure generating concave part 82,84 Intermediate step part 104 Center rail H0 Depth of cut to the top of cut Wmax Maximum width of side rail
Claims (3)
全幅に亘りクロスレールを突出平坦面状に形成し、かつ
このクロスレールに続き記録媒体対向面の左右側端近傍
に沿ってサイドレールを突出平坦面状に形成して、これ
らクロスレールと左右のサイドレールで囲まれた箇所に
負圧発生凹部を形成してなり、 前記クロスレールを上流側の部分と下流側の部分の２段
に分けて、上流側の部分を前記サイドレールと前記負圧
発生凹部の中間の高さに形成し、下流側の部分を前記各
サイドレールと連続した同一面に形成し、 前記各サイドレールの外縁部と内縁部に平面形状が山形
の切り込みをそれぞれ形成し、かつこれら山形の切り込
みの頂部を外縁部の頂部の方が内縁部の頂部よりも上流
側に位置するようにずらして配置し、かつこれら山形の
切り込みの頂部の高さを少なくとも外縁側の切り込みの
頂部の高さがサイドレールの最大幅の半幅よりも高くな
るように設定してなる磁気ヘッドスライダ。1. A cross rail is formed in the shape of a projecting flat surface over substantially the entire width along the vicinity of the upstream end of the recording medium facing surface, and following this cross rail, along the left and right side ends of the recording medium facing surface. The side rail is formed in a protruding flat surface shape, and a negative pressure generating concave portion is formed in a portion surrounded by these cross rails and the left and right side rails, and the cross rail is formed in an upstream side portion and a downstream side portion. Divided into two stages, the upstream side portion is formed at an intermediate height between the side rails and the negative pressure generating recess, and the downstream side portion is formed on the same surface continuous with each side rail. The rail has outer and inner edges formed with mountain-shaped notches, and the tops of these mountain-shaped notches are staggered so that the top of the outer edge is located upstream of the top of the inner edge. And these Yamagata Cut magnetic head slider height of the top portion of the height of the top portion at least of the outer edge cut is set to be higher than the half-width of the maximum width of the side rails.
部との境界部分に沿って、前記クロスレールの上流部分
と同一高さの細幅の中間段部を形成してなる請求項１記
載の磁気ヘッドスライダ。2. A narrow intermediate step portion having the same height as an upstream portion of the cross rail is formed along a boundary portion between the negative pressure generating concave portion and the inner edge portion of the side rail. Magnetic head slider.
する前記負圧発生凹部内に当該サイドレールに沿って当
該サイドレールと同一高さのセンターレールを前記クロ
スレールと不連続に形成してなる請求項１または２記載
の磁気ヘッドスライダ。3. A center rail having the same height as the side rail is discontinuously formed along the side rail in the negative pressure generating recess corresponding to an intermediate position between the left and right side rails. The magnetic head slider according to claim 1 or 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2312496A JPH09198638A (en) | 1996-01-16 | 1996-01-16 | Magnetic head slider |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2312496A JPH09198638A (en) | 1996-01-16 | 1996-01-16 | Magnetic head slider |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09198638A true JPH09198638A (en) | 1997-07-31 |
Family
ID=12101773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2312496A Pending JPH09198638A (en) | 1996-01-16 | 1996-01-16 | Magnetic head slider |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09198638A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6989966B2 (en) * | 2002-02-15 | 2006-01-24 | Seagate Technology Llc | Slider having plural leading step-level slots |
-
1996
- 1996-01-16 JP JP2312496A patent/JPH09198638A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6989966B2 (en) * | 2002-02-15 | 2006-01-24 | Seagate Technology Llc | Slider having plural leading step-level slots |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3264895B2 (en) | Flying head slider and manufacturing method thereof | |
| JPH09153210A (en) | Head slider and recording and reproducing device formed by using the same | |
| US7701671B2 (en) | Head slider for disk apparatus with rail portions | |
| JPS6321271B2 (en) | ||
| JPH11144219A (en) | Magnetic head | |
| JPH043594B2 (en) | ||
| JPH09198638A (en) | Magnetic head slider | |
| JPH09198637A (en) | Magnetic head slider | |
| JP2000353370A (en) | Magnetic head slider capable of controlling floating amount by pressure control groove formed in negative pressure groove, and magnetic disk device having the same loaded | |
| JPH1064034A (en) | Floating head slider and magnetic disk device | |
| JPH08279265A (en) | Magnetic head slider | |
| JPS61148685A (en) | Floating head slider using negative pressure | |
| JPH08255331A (en) | Magnetic head slider | |
| JPH10255425A (en) | Magnetic head slider and its manufacture | |
| JPH06349026A (en) | Thin-film magnetic head | |
| JPS63255883A (en) | Floating type slider | |
| KR20050008457A (en) | Head slider and magnetic disk device including the same | |
| JP2002074613A (en) | Thin film magnetic head | |
| JPH11144418A (en) | Levitation head slider and magnetic disk device | |
| JPH04159671A (en) | Magnetic head slider and magnetic disk device | |
| JPH06111508A (en) | Magnetic head | |
| JPH06124562A (en) | Floating head slider and rotary disk memory device | |
| JPH09198635A (en) | Magnetic head slider | |
| JP4038354B2 (en) | Magnetic head slider and magnetic disk apparatus using the same | |
| US5768072A (en) | Magnetic head for magnetic recording and reproduction |