JPH0918265A - 圧電共振部品の製造方法 - Google Patents
圧電共振部品の製造方法Info
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- JPH0918265A JPH0918265A JP7186399A JP18639995A JPH0918265A JP H0918265 A JPH0918265 A JP H0918265A JP 7186399 A JP7186399 A JP 7186399A JP 18639995 A JP18639995 A JP 18639995A JP H0918265 A JPH0918265 A JP H0918265A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 生産性および安全性がよく、振動電極の周囲
に確実に空洞部を形成することができ、かつ、耐水性の
よい圧電共振部品を製造することができる、圧電共振部
品の製造方法を提供する。 【構成】 圧電共振素子１の振動電極３ａおよび３ｂの
周囲には、トリオキサン系化合物１０が、それぞれ塗布
される。このトリオキサン系化合物としては、たとえ
ば、２，４，６−トリイソプロピル−１，３，５−トリ
オキサンおよび１，３，５−トリオキサンなどの化合物
が用いられる。圧電共振素子１およびトリオキサン系化
合物１０の周囲には、たとえば、紫外線硬化型樹脂を塗
布し、その紫外線硬化型樹脂を硬化することによって、
透気性を有する皮膜１１が形成される。その皮膜１１を
通してトリオキサン系化合物１０を外部に発散すること
によって、振動電極３ａおよび３ｂの周囲には、空洞部
１２が形成される。その皮膜１１の周囲には、たとえば
外装樹脂を塗布し、その外装樹脂を硬化することによっ
て、外装材１３が形成される。
に確実に空洞部を形成することができ、かつ、耐水性の
よい圧電共振部品を製造することができる、圧電共振部
品の製造方法を提供する。 【構成】 圧電共振素子１の振動電極３ａおよび３ｂの
周囲には、トリオキサン系化合物１０が、それぞれ塗布
される。このトリオキサン系化合物としては、たとえ
ば、２，４，６−トリイソプロピル−１，３，５−トリ
オキサンおよび１，３，５−トリオキサンなどの化合物
が用いられる。圧電共振素子１およびトリオキサン系化
合物１０の周囲には、たとえば、紫外線硬化型樹脂を塗
布し、その紫外線硬化型樹脂を硬化することによって、
透気性を有する皮膜１１が形成される。その皮膜１１を
通してトリオキサン系化合物１０を外部に発散すること
によって、振動電極３ａおよび３ｂの周囲には、空洞部
１２が形成される。その皮膜１１の周囲には、たとえば
外装樹脂を塗布し、その外装樹脂を硬化することによっ
て、外装材１３が形成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は圧電共振部品の製造方
法に関し、特に、圧電共振素子の振動電極の周囲に空洞
部が形成された圧電共振部品を製造するための圧電共振
部品の製造方法に関する。
法に関し、特に、圧電共振素子の振動電極の周囲に空洞
部が形成された圧電共振部品を製造するための圧電共振
部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２はこの発明の背景となりかつこの発
明が適用される従来の圧電共振素子の一例を示す平面図
である。この圧電共振素子１は、セラミックからなるた
とえば矩形の圧電体基板２を含む。圧電体基板２の一方
主面および他方主面の中央には、たとえば円形の振動電
極３ａおよび３ｂが、圧電体基板２を挟んで対向するよ
うに形成される。また、圧電体基板２には、その一方主
面の一端から振動電極３ａに延びて引出し電極４ａが形
成され、その他方主面の他端から振動電極３ｂに延びて
引出し電極４ｂが形成される。さらに、それらの引出し
電極４ａおよび４ｂには、たとえば短冊状のリード端子
５ａおよび５ｂの一端がそれぞれはんだ付けされる。
明が適用される従来の圧電共振素子の一例を示す平面図
である。この圧電共振素子１は、セラミックからなるた
とえば矩形の圧電体基板２を含む。圧電体基板２の一方
主面および他方主面の中央には、たとえば円形の振動電
極３ａおよび３ｂが、圧電体基板２を挟んで対向するよ
うに形成される。また、圧電体基板２には、その一方主
面の一端から振動電極３ａに延びて引出し電極４ａが形
成され、その他方主面の他端から振動電極３ｂに延びて
引出し電極４ｂが形成される。さらに、それらの引出し
電極４ａおよび４ｂには、たとえば短冊状のリード端子
５ａおよび５ｂの一端がそれぞれはんだ付けされる。
【０００３】図３は図２に示す圧電共振素子を用いた圧
電共振部品の製造方法の従来例を示す断面図解図であ
る。この従来例では、まず、図３（Ａ）に示すように、
圧電共振素子１の振動電極３ａおよび３ｂの周囲に、た
とえばパラフィンワックスまたはマイクロクリスタリン
ワックスなどのワックス６が、それぞれ点滴される。
電共振部品の製造方法の従来例を示す断面図解図であ
る。この従来例では、まず、図３（Ａ）に示すように、
圧電共振素子１の振動電極３ａおよび３ｂの周囲に、た
とえばパラフィンワックスまたはマイクロクリスタリン
ワックスなどのワックス６が、それぞれ点滴される。
【０００４】そして、図３（Ｂ）に示すように、圧電共
振素子１およびワックス６の周囲に、外装樹脂７が塗布
される。この外装樹脂７は、熱硬化型樹脂，低沸点の溶
剤および充填剤を混合したものである。
振素子１およびワックス６の周囲に、外装樹脂７が塗布
される。この外装樹脂７は、熱硬化型樹脂，低沸点の溶
剤および充填剤を混合したものである。
【０００５】それから、振動電極３ａおよび３ｂの周囲
のワックス６を外部に発散し、かつ外装樹脂７を硬化す
ることによって、図３（Ｃ）に示すように、振動電極３
ａおよび３ｂの周囲に空洞部８が形成され、圧電共振素
子１および空洞部８の周囲に外装材９が形成される。こ
の場合、まず、外装樹脂７を低温で乾燥することによっ
て、外装樹脂７中の溶剤を外部に発散して、外装樹脂７
中において溶剤が発散される通路に気孔が形成される。
そして、外装樹脂７を硬化するために全体が昇温され
る。昇温中には、ワックス６が外装樹脂７中の気孔に吸
収されるとともに外部に発散され、振動電極３ａおよび
３ｂの周囲に空洞部８が形成される。また、全体が昇温
されたときには、外装樹脂７が硬化され、圧電共振素子
１および空洞部８の周囲に外装材９が形成されるととも
に、外装樹脂７中に吸収されているワックスが外部に発
散される。したがって、図３に示す従来例では、圧電共
振素子１の振動電極３ａおよび３ｂの周囲に外装材９で
空洞部８が形成された圧電共振部品が製造される。
のワックス６を外部に発散し、かつ外装樹脂７を硬化す
ることによって、図３（Ｃ）に示すように、振動電極３
ａおよび３ｂの周囲に空洞部８が形成され、圧電共振素
子１および空洞部８の周囲に外装材９が形成される。こ
の場合、まず、外装樹脂７を低温で乾燥することによっ
て、外装樹脂７中の溶剤を外部に発散して、外装樹脂７
中において溶剤が発散される通路に気孔が形成される。
そして、外装樹脂７を硬化するために全体が昇温され
る。昇温中には、ワックス６が外装樹脂７中の気孔に吸
収されるとともに外部に発散され、振動電極３ａおよび
３ｂの周囲に空洞部８が形成される。また、全体が昇温
されたときには、外装樹脂７が硬化され、圧電共振素子
１および空洞部８の周囲に外装材９が形成されるととも
に、外装樹脂７中に吸収されているワックスが外部に発
散される。したがって、図３に示す従来例では、圧電共
振素子１の振動電極３ａおよび３ｂの周囲に外装材９で
空洞部８が形成された圧電共振部品が製造される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図３に示す
従来例では、外装樹脂７中の溶剤を外部に発散して外装
樹脂７中に気孔を形成するために、外装樹脂７を十分に
乾燥しなければならなく、生産性がわるい。
従来例では、外装樹脂７中の溶剤を外部に発散して外装
樹脂７中に気孔を形成するために、外装樹脂７を十分に
乾燥しなければならなく、生産性がわるい。
【０００７】また、図３に示す従来例では、外装樹脂７
を乾燥する際、引火性を有する溶剤を多量に外部に発散
させるので、危険性がある。
を乾燥する際、引火性を有する溶剤を多量に外部に発散
させるので、危険性がある。
【０００８】さらに、図３に示す従来例では、外装樹脂
７中に気孔が十分に形成されない場合があり、この場
合、ワックス６が振動電極３ａおよび３ｂの周囲に残っ
てしまう。また、外装樹脂７中に気孔が十分に形成され
ていても、ワックス６が気孔に吸収されず振動電極３ａ
および３ｂの周囲に残ってしまうことがある。このよう
に振動電極３ａおよび３ｂの周囲にワックス６が残る
と、圧電共振部品の特性が劣化してしまう。
７中に気孔が十分に形成されない場合があり、この場
合、ワックス６が振動電極３ａおよび３ｂの周囲に残っ
てしまう。また、外装樹脂７中に気孔が十分に形成され
ていても、ワックス６が気孔に吸収されず振動電極３ａ
および３ｂの周囲に残ってしまうことがある。このよう
に振動電極３ａおよび３ｂの周囲にワックス６が残る
と、圧電共振部品の特性が劣化してしまう。
【０００９】また、図３に示す従来例で製造された圧電
共振部品では、それを水で洗浄すると、外装材９がポー
ラスであるため、水が外装材９を通って空洞部８に入り
込んでしまうことがある。さらに、空洞部８に入り込ん
だ水は、空洞部８に通じる外装材９の気孔が細長いた
め、外部に抜けにくい。したがって、その圧電共振部品
は耐水性がわるい。
共振部品では、それを水で洗浄すると、外装材９がポー
ラスであるため、水が外装材９を通って空洞部８に入り
込んでしまうことがある。さらに、空洞部８に入り込ん
だ水は、空洞部８に通じる外装材９の気孔が細長いた
め、外部に抜けにくい。したがって、その圧電共振部品
は耐水性がわるい。
【００１０】それゆえに、この発明の主たる目的は、生
産性および安全性がよく、振動電極の周囲に確実に空洞
部を形成することができ、かつ、耐水性のよい圧電共振
部品を製造することができる、圧電共振部品の製造方法
を提供することである。
産性および安全性がよく、振動電極の周囲に確実に空洞
部を形成することができ、かつ、耐水性のよい圧電共振
部品を製造することができる、圧電共振部品の製造方法
を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は、圧電共振素
子の振動電極の周囲に空洞部が形成された圧電共振部品
を製造するための圧電共振部品の製造方法であって、圧
電共振素子の振動電極の周囲にトリオキサン系化合物を
塗布するステップと、圧電共振素子およびトリオキサン
系化合物の周囲に皮膜を形成するステップと、皮膜を通
してトリオキサン系化合物を外部に発散して空洞部を形
成するステップと、皮膜の周囲に外装材を形成するステ
ップとを含む、圧電共振部品の製造方法である。
子の振動電極の周囲に空洞部が形成された圧電共振部品
を製造するための圧電共振部品の製造方法であって、圧
電共振素子の振動電極の周囲にトリオキサン系化合物を
塗布するステップと、圧電共振素子およびトリオキサン
系化合物の周囲に皮膜を形成するステップと、皮膜を通
してトリオキサン系化合物を外部に発散して空洞部を形
成するステップと、皮膜の周囲に外装材を形成するステ
ップとを含む、圧電共振部品の製造方法である。
【００１２】なお、この発明において、トリオキサン系
化合物を塗布するステップは、たとえば、２，４，６−
トリイソプロピル−１，３，５−トリオキサンおよび
１，３，５−トリオキサンの少なくとも１つの化合物を
振動電極の周囲に塗布するステップを含む。
化合物を塗布するステップは、たとえば、２，４，６−
トリイソプロピル−１，３，５−トリオキサンおよび
１，３，５−トリオキサンの少なくとも１つの化合物を
振動電極の周囲に塗布するステップを含む。
【００１３】また、この発明において、皮膜を形成する
ステップは、たとえば、圧電共振素子およびトリオキサ
ン系化合物の周囲に紫外線硬化型樹脂を塗布するステッ
プと、その紫外線硬化型樹脂を硬化するステップとを含
む。
ステップは、たとえば、圧電共振素子およびトリオキサ
ン系化合物の周囲に紫外線硬化型樹脂を塗布するステッ
プと、その紫外線硬化型樹脂を硬化するステップとを含
む。
【００１４】さらに、この発明において、空洞部を形成
するステップは、たとえば、トリオキサン系化合物を揮
発させるステップを含む。
するステップは、たとえば、トリオキサン系化合物を揮
発させるステップを含む。
【００１５】また、この発明において、外装材を形成す
るステップは、たとえば、皮膜の周囲に外装樹脂を塗布
するステップと、その外装樹脂を硬化するステップとを
含む。
るステップは、たとえば、皮膜の周囲に外装樹脂を塗布
するステップと、その外装樹脂を硬化するステップとを
含む。
【００１６】
【作用】この発明では、圧電共振素子の振動電極の周囲
にトリオキサン系化合物を塗布し、圧電共振素子および
トリオキサン系化合物の周囲に皮膜を形成し、その皮膜
を通してトリオキサン系化合物を外部に発散することに
よって、振動電極の周囲に空洞部が形成される。
にトリオキサン系化合物を塗布し、圧電共振素子および
トリオキサン系化合物の周囲に皮膜を形成し、その皮膜
を通してトリオキサン系化合物を外部に発散することに
よって、振動電極の周囲に空洞部が形成される。
【００１７】さらに、この発明では、その皮膜の周囲に
外装材が形成される。
外装材が形成される。
【００１８】
【発明の効果】この発明にかかる圧電共振部品の製造方
法では、振動電極の周囲に空洞部を形成するためには、
外装材に気孔を形成する必要がなく、外装材となるたと
えば外装樹脂を十分に乾燥する必要がないので、生産性
があまりわるくならない。
法では、振動電極の周囲に空洞部を形成するためには、
外装材に気孔を形成する必要がなく、外装材となるたと
えば外装樹脂を十分に乾燥する必要がないので、生産性
があまりわるくならない。
【００１９】また、この発明にかかる圧電共振部品の製
造方法では、引火性を有する溶剤を多量に外部に発散さ
せないので、危険性がほとんどない。
造方法では、引火性を有する溶剤を多量に外部に発散さ
せないので、危険性がほとんどない。
【００２０】さらに、この発明にかかる圧電共振部品の
製造方法では、皮膜を通してトリオキサン系化合物を外
部に発散することによって振動電極の周囲に空洞部を形
成するため、振動電極の周囲にトリオキサン系化合物が
残りにくく、振動電極の周囲に確実に空洞部を形成する
ことができる。そのため、圧電共振部品の特性がほとん
ど劣化しない。
製造方法では、皮膜を通してトリオキサン系化合物を外
部に発散することによって振動電極の周囲に空洞部を形
成するため、振動電極の周囲にトリオキサン系化合物が
残りにくく、振動電極の周囲に確実に空洞部を形成する
ことができる。そのため、圧電共振部品の特性がほとん
ど劣化しない。
【００２１】また、この発明にかかる圧電共振部品の製
造方法で製造された圧電共振部品では、外装材がポーラ
スでないため、耐水性がよい。
造方法で製造された圧電共振部品では、外装材がポーラ
スでないため、耐水性がよい。
【００２２】したがって、この発明によれば、生産性お
よび安全性がよく、振動電極の周囲に確実に空洞部を形
成することができ、かつ、耐水性のよい圧電共振部品を
製造することができる、圧電共振部品の製造方法が得ら
れる。
よび安全性がよく、振動電極の周囲に確実に空洞部を形
成することができ、かつ、耐水性のよい圧電共振部品を
製造することができる、圧電共振部品の製造方法が得ら
れる。
【００２３】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００２４】
【実施例】図１は図２に示す圧電共振素子１を用いて圧
電共振部品を製造するためのこの発明の一実施例を示す
断面図解図である。この実施例では、まず、図１（Ａ）
に示すように、圧電共振素子１の振動電極３ａおよび３
ｂの周囲に、トリオキサン系化合物１０が、それぞれ塗
布される。この実施例では、トリオキサン系化合物１０
として、たとえば、融点６２．５℃，沸点１９５．２℃
の２，４，６−トリイソプロピル−１，３，５−トリオ
キサンが使用される。また、トリオキサン系化合物１０
としては、たとえば、融点６４℃，沸点１１４．５℃の
１，３，５−トリオキサンが使用されてもよい。
電共振部品を製造するためのこの発明の一実施例を示す
断面図解図である。この実施例では、まず、図１（Ａ）
に示すように、圧電共振素子１の振動電極３ａおよび３
ｂの周囲に、トリオキサン系化合物１０が、それぞれ塗
布される。この実施例では、トリオキサン系化合物１０
として、たとえば、融点６２．５℃，沸点１９５．２℃
の２，４，６−トリイソプロピル−１，３，５−トリオ
キサンが使用される。また、トリオキサン系化合物１０
としては、たとえば、融点６４℃，沸点１１４．５℃の
１，３，５−トリオキサンが使用されてもよい。
【００２５】なお、トリオキサン系化合物１０として
は、たとえば、２，４，６−トリイソプロピル−１，
３，５−トリオキサンおよび１，３，５−トリオキサン
の少なくとも１つの化合物が用いられる。また、トリオ
キサン系化合物１０としては、融点が２５℃以上で室温
では固体でなければならない。また、圧電体セラミック
などからなる圧電共振素子１の特性を劣化させない温度
で蒸気になる必要があり、化学的に安定であり、毒性の
ないものが望ましい。
は、たとえば、２，４，６−トリイソプロピル−１，
３，５−トリオキサンおよび１，３，５−トリオキサン
の少なくとも１つの化合物が用いられる。また、トリオ
キサン系化合物１０としては、融点が２５℃以上で室温
では固体でなければならない。また、圧電体セラミック
などからなる圧電共振素子１の特性を劣化させない温度
で蒸気になる必要があり、化学的に安定であり、毒性の
ないものが望ましい。
【００２６】そして、圧電共振素子１およびトリオキサ
ン系化合物１０の周囲には、図１（Ｂ）に示すように、
透気性を有する皮膜１１が形成される。この場合、たと
えば、圧電共振素子１およびトリオキサン系化合物１０
の周囲に紫外線硬化型樹脂を塗布し、その紫外線硬化型
樹脂に紫外線を照射してその紫外線硬化型樹脂を硬化す
ることによって、皮膜１１が形成される。この皮膜１１
の材料としては、トリオキサン系化合物１０の融点以下
の温度で硬化し、かつ、トリオキサン系化合物１０を溶
かさないものが用いられる。また、皮膜１１の特に透気
性を高くするための方法としては、皮膜１１の材料とし
て分子構造の橋かけ密度の低いポリマーを使うこと、皮
膜１１の材料中にフィラーを分散させて、フィラーおよ
びポリマーの界面から透気するようにすること、皮膜１
１の材料中のフィラーとして多孔質のもの，針状のも
の，皮膜１１の材料中の樹脂との密着性を下げるような
表面処理が施されたものを使うこと、あるいは、皮膜１
１の材料として紫外線硬化シリコーンなどの表面張力の
低いものを使うことなどが挙げられる。
ン系化合物１０の周囲には、図１（Ｂ）に示すように、
透気性を有する皮膜１１が形成される。この場合、たと
えば、圧電共振素子１およびトリオキサン系化合物１０
の周囲に紫外線硬化型樹脂を塗布し、その紫外線硬化型
樹脂に紫外線を照射してその紫外線硬化型樹脂を硬化す
ることによって、皮膜１１が形成される。この皮膜１１
の材料としては、トリオキサン系化合物１０の融点以下
の温度で硬化し、かつ、トリオキサン系化合物１０を溶
かさないものが用いられる。また、皮膜１１の特に透気
性を高くするための方法としては、皮膜１１の材料とし
て分子構造の橋かけ密度の低いポリマーを使うこと、皮
膜１１の材料中にフィラーを分散させて、フィラーおよ
びポリマーの界面から透気するようにすること、皮膜１
１の材料中のフィラーとして多孔質のもの，針状のも
の，皮膜１１の材料中の樹脂との密着性を下げるような
表面処理が施されたものを使うこと、あるいは、皮膜１
１の材料として紫外線硬化シリコーンなどの表面張力の
低いものを使うことなどが挙げられる。
【００２７】それから、その皮膜１１を通してトリオキ
サン系化合物１０を外部に発散することによって、振動
電極３ａおよび３ｂの周囲には、図１（Ｃ）に示すよう
に、空洞部１２が形成される。この場合、圧電共振素子
１を劣化しない範囲で圧電共振素子１およびトリオキサ
ン系化合物１０を昇温することによって、すなわち、こ
の実施例ではたとえば１６０℃，１０分間の熱処理を圧
電共振素子１およびトリオキサン系化合物１０に与える
ことによって、トリオキサン系化合物１０が揮発され外
部に発散される。このとき、トリオキサン系化合物１０
は、蒸気となって皮膜１１を通り抜ける。なお、皮膜１
１に透気性がない場合には、皮膜１１と圧電共振素子１
との界面あるいは皮膜１１とリード端子５ａおよび５ｂ
との界面を通して、トリオキサン系化合物１０を外部に
発散させてもよい。
サン系化合物１０を外部に発散することによって、振動
電極３ａおよび３ｂの周囲には、図１（Ｃ）に示すよう
に、空洞部１２が形成される。この場合、圧電共振素子
１を劣化しない範囲で圧電共振素子１およびトリオキサ
ン系化合物１０を昇温することによって、すなわち、こ
の実施例ではたとえば１６０℃，１０分間の熱処理を圧
電共振素子１およびトリオキサン系化合物１０に与える
ことによって、トリオキサン系化合物１０が揮発され外
部に発散される。このとき、トリオキサン系化合物１０
は、蒸気となって皮膜１１を通り抜ける。なお、皮膜１
１に透気性がない場合には、皮膜１１と圧電共振素子１
との界面あるいは皮膜１１とリード端子５ａおよび５ｂ
との界面を通して、トリオキサン系化合物１０を外部に
発散させてもよい。
【００２８】そして、皮膜１１の周囲には、図１（Ｄ）
に示すように、外装材１３が形成される。この場合、皮
膜１１の周囲に外装樹脂としてたとえば液状のエポキシ
樹脂などの熱硬化型樹脂をディッピングによって塗布
し、その熱硬化型樹脂を加熱して硬化することによっ
て、外装材１３が形成される。なお、外装樹脂を塗布す
る方法としては、ディッピングによる塗布以外に、たと
えば、ディスペンサによる塗布，注型塗装，粉体塗装な
どの方法が挙げられる。
に示すように、外装材１３が形成される。この場合、皮
膜１１の周囲に外装樹脂としてたとえば液状のエポキシ
樹脂などの熱硬化型樹脂をディッピングによって塗布
し、その熱硬化型樹脂を加熱して硬化することによっ
て、外装材１３が形成される。なお、外装樹脂を塗布す
る方法としては、ディッピングによる塗布以外に、たと
えば、ディスペンサによる塗布，注型塗装，粉体塗装な
どの方法が挙げられる。
【００２９】したがって、図１に示す実施例では、圧電
共振素子１の振動電極３ａおよび３ｂの周囲に空洞部１
２が形成された圧電共振部品が製造される。
共振素子１の振動電極３ａおよび３ｂの周囲に空洞部１
２が形成された圧電共振部品が製造される。
【００３０】図１に示す実施例では、振動電極３ａおよ
び３ｂの周囲に空洞部１２を形成するためには、外装材
１３に気孔を形成する必要がなく、外装材１３となるた
とえば外装樹脂を十分に乾燥する必要がないので、生産
性があまりわるくならない。
び３ｂの周囲に空洞部１２を形成するためには、外装材
１３に気孔を形成する必要がなく、外装材１３となるた
とえば外装樹脂を十分に乾燥する必要がないので、生産
性があまりわるくならない。
【００３１】また、図１に示す実施例では、引火性を有
する溶剤を多量に外部に発散させないので、危険性がほ
とんどない。
する溶剤を多量に外部に発散させないので、危険性がほ
とんどない。
【００３２】さらに、図１に示す実施例では、透気性を
有する皮膜１１を通してトリオキサン系化合物１０を外
部に発散することによって振動電極３ａおよび３ｂの周
囲に空洞部１２を形成するため、振動電極３ａおよび３
ｂの周囲にトリオキサン系化合物１０が残りにくく、振
動電極３ａおよび３ｂの周囲に確実に空洞部１２を形成
することができる。そのため、圧電共振部品の特性がほ
とんど劣化しない。
有する皮膜１１を通してトリオキサン系化合物１０を外
部に発散することによって振動電極３ａおよび３ｂの周
囲に空洞部１２を形成するため、振動電極３ａおよび３
ｂの周囲にトリオキサン系化合物１０が残りにくく、振
動電極３ａおよび３ｂの周囲に確実に空洞部１２を形成
することができる。そのため、圧電共振部品の特性がほ
とんど劣化しない。
【００３３】また、図１に示す実施例で製造された圧電
共振部品では、外装材１３がポーラスでないため、耐水
性がよい。
共振部品では、外装材１３がポーラスでないため、耐水
性がよい。
【００３４】なお、図示していないが、上述の実施例で
は、圧電共振素子１に接続されたリード端子５ａおよび
５ｂの一端は、皮膜１１および外装材１３で覆われる。
は、圧電共振素子１に接続されたリード端子５ａおよび
５ｂの一端は、皮膜１１および外装材１３で覆われる。
【００３５】また、上述の実施例では、２つのリード端
子を有する圧電共振部品の製造方法の一例について説明
したが、この発明は、３つ以上のリード端子を有する圧
電共振部品にも適用され得る。
子を有する圧電共振部品の製造方法の一例について説明
したが、この発明は、３つ以上のリード端子を有する圧
電共振部品にも適用され得る。
【図１】この発明の一実施例を示す断面図解図である。
【図２】この発明の背景となりかつこの発明が適用され
る従来の圧電共振素子の一例を示す平面図である。
る従来の圧電共振素子の一例を示す平面図である。
【図３】圧電共振部品の製造方法の従来例を示す断面図
解図である。
解図である。
１ 圧電共振素子 ２ 圧電体基板 ３ａ，３ｂ 振動電極 ４ａ，４ｂ 引出し電極 ５ａ，５ｂ リード端子 ６ ワックス ７ 外装樹脂 ８ 空洞部 ９ 外装材 １０ トリオキサン系化合物 １１ 皮膜 １２ 空洞部 １３ 外装材
Claims (5)
- 【請求項１】 圧電共振素子の振動電極の周囲に空洞部
が形成された圧電共振部品を製造するための圧電共振部
品の製造方法であって、 前記圧電共振素子の前記振動電極の周囲にトリオキサン
系化合物を塗布するステップ、 前記圧電共振素子および前記トリオキサン系化合物の周
囲に皮膜を形成するステップ、 前記皮膜を通して前記トリオキサン系化合物を外部に発
散して前記空洞部を形成するステップ、および前記皮膜
の周囲に外装材を形成するステップを含む、圧電共振部
品の製造方法。 - 【請求項２】 前記トリオキサン系化合物を塗布するス
テップは、２，４，６−トリイソプロピル−１，３，５
−トリオキサンおよび１，３，５−トリオキサンの少な
くとも１つの化合物を前記振動電極の周囲に塗布するス
テップを含む、請求項１の圧電共振部品の製造方法。 - 【請求項３】 前記皮膜を形成するステップは、 前記圧電共振素子および前記トリオキサン系化合物の周
囲に紫外線硬化型樹脂を塗布するステップ、および前記
紫外線硬化型樹脂を硬化するステップを含む、請求項１
または請求項２の圧電共振部品の製造方法。 - 【請求項４】 前記空洞部を形成するステップは、前記
トリオキサン系化合物を揮発させるステップを含む、請
求項１ないし請求項３のいずれかの圧電共振部品の製造
方法。 - 【請求項５】 前記外装材を形成するステップは、 前記皮膜の周囲に外装樹脂を塗布するステップ、および
前記外装樹脂を硬化するステップを含む、請求項１ない
し請求項４のいずれかの圧電共振部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7186399A JPH0918265A (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | 圧電共振部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7186399A JPH0918265A (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | 圧電共振部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0918265A true JPH0918265A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=16187729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7186399A Pending JPH0918265A (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | 圧電共振部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0918265A (ja) |
-
1995
- 1995-06-28 JP JP7186399A patent/JPH0918265A/ja active Pending
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