JPH09180444A - ワードドライバ回路及びそれを利用したメモリ回路 - Google Patents

ワードドライバ回路及びそれを利用したメモリ回路

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JPH09180444A
JPH09180444A JP7340615A JP34061595A JPH09180444A JP H09180444 A JPH09180444 A JP H09180444A JP 7340615 A JP7340615 A JP 7340615A JP 34061595 A JP34061595 A JP 34061595A JP H09180444 A JPH09180444 A JP H09180444A
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孝章 鈴木
Yoshihiro Takemae
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Abstract

(57)【要約】 【課題】サブ・ワードドライバ回路を簡単化し素子数と
制御信号を減らす。 【解決手段】ワードドライバ回路が、第一、第二の入力
端子と、ワード線に接続された出力端子と、ゲートが前
記第一の入力端子に接続され、ソースまたはドレイン電
極の一方が前記第二の入力端子に接続され、ソースまた
はドレイン電極の他方が前記出力端子に接続されたPチ
ャネル型の第一のトランジスタと、ゲートが前記第一の
入力端子に接続され、ソースまたはドレイン電極の一方
が前記第一の電源に接続され、ソースまたはドレイン電
極の他方が前記出力端子に接続されたNチャネル型の第
二のトランジスタとを有する。第一の入力端子には、第
一のアドレス群をデコードして生成され、第二のトラン
ジスタを導通にするに必要な第一の電位と第一の電源よ
り低い第二の電位の内一方の電位になる第一の選択信号
が供給され、第二の入力端子には、ワード線を選択状態
にする時の当該電位である第三の電位と第一の電源の電
位以下の第四の電位の内一方の電位になる第二の選択信
号が供給される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、メモリ回路に係
り、特にメモリ回路のワードドライバ回路の改良に関す
る。
【0002】
【従来の技術】半導体基板上に大容量のメモリを形成し
たDRAM等の開発が盛んに行なわれ、その大容量化に
より、より高機能で高速のパーソナルコンピュータ等の
情報機器が実現されている。
【0003】図6は、従来のDRAMのワードデコーダ
とワードドライバ部分を示した回路図である。通常、半
導体チップ上に複数のメモリ・バンクと呼ばれる領域が
設けられ、そのメモリ・バンク領域の中に複数のメモリ
セルブロックとセンスアンプが併設されている。図6に
はそのメモリセルブロック3とそれに隣接するセンスア
ンプSAが表示されている。メモリセルブロック3内に
は、複数のセルマトリックス4が設けられている。そし
て、セルマトリックス4内には複数のワード線WLとそ
れに交差する複数のビット線(図示せず)が設けられて
いる。そして、それらワード線とビット線の交差部に、
メモリセル(図示せず)が設けられている。
【0004】近年のメモリはその大容量化の為に、ワー
ド線にかかる負荷容量が大きくなり従来の如くメモリセ
ルブロック3内のワード線を一括して一個のワードドラ
イバで駆動することが困難になっている。その解決方法
として、ワード線を複数のサブワード線に分割して、そ
れぞれのサブワード線をセルマトリクス4に隣接して設
けたサブ・ワード・ドライバSWDによって駆動してい
る。図6の例では、例えば、メモリセルブロック3内に
256本のワード線が設けられ、その内の4本づつをメ
イン・ワードデコーダ5が選択し、その選択された4本
のワード線の内一本をサブ・ワードデコーダ6によって
選択している。
【0005】図6に示される通り、メイン・ワードデコ
ーダ5からは、反転、非反転のメイン・ワード選択信号
MWX0,1,MWZ0,1が出力される。また、サブ
・ワードデコーダ6からはサブ・ワード選択信号SWD
0−3が出力される。それぞれのデコーダ5,6には、
プリデコーダから供給されるアドレス信号7,8が供給
される。そして、サブ・ワードドライバ回路SWDで
は、このメイン・ワード選択信号とサブ・ワード選択信
号を入力し、選択された行内にある各サブ・ワード線を
駆動する。
【0006】従って、図6に示される通り、セルマトリ
クス4の間及び隣に、サブ・ワードドライバ回路SWD
の領域がコラム方向に形成されることになる。メモリの
大容量化に応じて、サブ・ワード線の数が増加しそれを
駆動するサブ・ワードドライバ回路の領域も増加するこ
とになり、大容量化の一つの問題となる。
【0007】図7に、図6に示した従来のサブ・ワード
ドライバ回路の例を詳述する。図8はその動作を説明す
るための表である。図7のサブ・ワードドライバ回路
は、Pチャネル型のトランジスタQ1及びNチャネル型
のトランジスタQ2,Q3からなるCMOS回路で構成
される。そして、そのサブ・ワードドライバ回路は、サ
ブ・ワード線WLに接続される。BLはビット線、MC
は1トランジスタ型のメモリセルの例である。トランジ
スタQ1,Q2のゲート電極には共通にメイン・ワード
選択信号MWXが供給され、トランジスタQ3のゲート
電極にはその反転信号であるメイン・ワード選択信号M
WZが供給される。また、P型のトランジスタQ1及び
N型のトランジスタQ3には、サブ・ワード選択信号S
WD0 が供給される。
【0008】その動作について簡単に説明する。先ず、
メインワード選択信号とサブワード選択信号が共に選択
状態である場合は、図8に示した通り、各選択信号MW
X,MWZ,SWD0 はそれぞれ、Vss(グランドレ
ベル),Vcc(電源レベル),SVc(電源より高い
レベル)となる。その結果、トランジスタQ1,Q3が
共にオンし、トランジスタQ2がオフして、ワード線W
Lはサブ・ワード選択信号SWD0のSVcの高いレベ
ルに駆動される。一方、メイン・ワード選択信号が選択
状態であって、サブ・ワード選択信号が非選択状態であ
る場合は、図8に示した通りの電位となる。その結果、
P型のトランジスタQ1はオン状態であるが、サブ・ワ
ード選択信号SWD0がVss(グランド)レベルとな
るため、ワード線WLはLレベルとなる。但し、P型の
トランジスタQ1のみでは、ワード線WLがトランジス
タのゲート電位であるVssからその閾値電圧分高い電
位以下には下がらず、フローティング状態となる。そこ
で、更に、N型のトランジスタQ3を設けることによ
り、そのトランジスタQ3をオンさせて、確実にサブ・
ワード選択信号SWD0のVssレベルまでクランプさ
せるようにしている。
【0009】また、メインワード選択信号が非選択状態
の場合は、メインワード選択信号MWXがHレベルとな
り、N型のトランジスタQ2がオンするので、サブワー
ド選択信号の状態に係わらず、ワード線WLはVssレ
ベルになる。
【0010】以上の様に、図7のサブ・ワードドランバ
回路では、3個のトランジスタと3つの選択信号を供給
することが必要である。
【0011】図9は、従来のサブ・ワードドライバ回路
の他のCMOS回路の例である。図10はその動作を説
明するための各選択信号等のレベルを示している。メイ
ン・ワード選択信号が選択状態で、サブ・ワード選択信
号が選択状態の時は、メイン・ワード選択信号MWXが
Vss(グランド)レベルとなり、P型のトランジスタ
Q4がオンし、サブ・ワード選択信号SWDZに供給さ
れる電源電圧Vccよりも高いSVcにより、ワード線
が駆動されて、SVcレベルに立ち上がる。一方、メイ
ン・ワード選択信号が選択状態で、サブ・ワード選択信
号が非選択状態の時は、サブ・ワード選択信号SWDZ
がVssレベルになる為、トランジスタQ4を通じてワ
ード線WLはLレベルとなる。しかし、図6の場合と同
様に、P型トランジスタQ4の特性に従って、ワード線
WLの電位は、そのゲート電極の電位のVssレベルに
その閾値電圧を加えたレベルでフローティング状態とな
る。そこで、クランプ用のトランジスタとしてN型のト
ランジスタQ6を設けて、強制的にワード線WLをVs
sレベルにしている。
【0012】従って、図9のワードドランバの例でも、
3個のトランジスタと3個の制御信号が必要になる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】前述した通り、サブ・
ワード線に分割してそれぞれをサブ・ワードドライバ回
路で駆動する場合は、従来の回路例では、サブ・ワード
ドライバ回路に3個のトランジスタが必要であり、更に
3個の選択信号を供給する必要がある。
【0014】図6のメモリセルブロック3の領域に示さ
れる通り、サブ・ワードドライバ回路がコラム方向に複
数形成され、それらに対して3本の選択信号を供給して
いる。従って、これらの回路とそれに供給する選択信号
線が使用する領域の面積は、メモリの大容量化に伴う微
細化の弊害となるものである。
【0015】従って、本発明では、このサブ・ワードデ
ライバ回路の構成を単純化することを目的とする。
【0016】本発明の目的は、より単純化されたサブ・
ワードドライバ回路を有するメモリ回路を提供すること
にある。
【0017】また、本発明の目的は、より少ない選択信
号でその動作が制御されるサブ・ワードドライバ回路を
有するメモリ回路を提供することにある。
【0018】また、本発明の目的は、2個のトランジス
タと2つの制御用の選択信号によって構成されるサブ・
ワードドライバ回路を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、本発明に
よれば、第一の電源とそれより高い第二の電源が供給さ
れるメモリ回路内であって、第一導電型の第一のトラン
ジスタと、該第一のトランジスタとゲートが共通に接続
され、ソースまたはドレイン電極の一方が該第一のトラ
ンジスタのソースまたはドレイン電極の一方に接続さ
れ、ソースまたはドレイン電極の他方が前記第一の電源
に接続された第二の導電型の第二のトランジスタとを有
し、該第一及び第二のトランジスタの共通に接続された
ソースまたはドレイン電極にワード線が接続され、前記
共通に接続されたゲート電極に、第一のアドレス信号群
をデコードして生成され、前記第二のトランジスタを導
通状態にする第一の電位と前記第一の電源より低い第二
の電位の内一方の電位になる第一の選択信号が供給さ
れ、前記第一のトランジスタのソースまたはドレイン電
極の他方の電極に、第二のアドレス信号群をデコードし
て生成され、前記ワード線の選択状態の電位の第三の電
位と前記第一の電源の電位以下の第四の電位の内一方の
電位になる第二の選択信号が供給されることを特徴とす
るワードドライバ回路を提供することにより達成され
る。
【0020】ここで、第一導電型のトランジスタとは例
えばPチャネル型のMOSトランジスタであり、第二導
電型のトランジスタとは例えばNチャネル型のMOSト
ランジスタである。
【0021】第二の電位は、望ましくは、第一の電源の
電位より第一のトランジスタの閾値電圧以上低いレベル
である。実際にはメモリ回路内で生成される基板バイア
ス電位にすることが実用的で簡単である。
【0022】動作をより安定的にするためには、第四の
電位が、前記第一の電源の電位より低いことが望まし
い。例えば、第二の電位と同様に基板バイアス電位にす
ることが実用的である。
【0023】このような構成にすることにより、ワード
ドライバ回路は2個のトランジスタから構成され、その
制御用の選択信号は2本だけで良くなる。上記の構成に
すると、Pチャネル型の第一のトランジスタのゲート電
極に供給される電位がグランドレベルよりもその閾値電
圧以上低いので、第一のトランジスタのソースまたはド
レイン電極に接続されるワード線の電位は、十分に低い
レベルにクランプされることができる。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に従って説明する。以下に示される図面の回路
は、本発明の実施の形態の例であり、本発明の技術的範
囲がかかる回路に限定されるものではないことは明らか
である。
【0025】[ワードドライバ回路]図1は、本発明に
係るサブ・ワードドライバ回路の例である。この例で
は、Pチャネル型のトランジスタQ7とNチャネル型の
トランジスタQ8のCMOS回路で構成されている。そ
して、共通のゲート電極には、メイン・ワード選択信号
MWXが供給される。またトランジスタQ7のワード線
WLと反対側の電極には、サブ・ワード選択信号SWD
が供給される。このメイン・ワード選択信号MWXは、
従来例の場合と異なり、選択状態ではVss(グラン
ド)レベルよりも低い電位となる。また、サブ・ワード
選択信号SWDは、非選択状態ではVss(クランド)
レベルまたはVss(クランド)レベルより低い電位と
なる。
【0026】図中では、Vss(グランド)レベルより
低い電位の例として、半導体基板の電位として生成され
る基板バイアス電位VBBが利用されている。但し、基板
バイアス電位である必要はなく、非選択状態のワード線
WLが十分Vss(グランド)レベルまで下がるのに必
要な低いレベルであれば良い。
【0027】図1のサブ・ワードドライバ回路の動作に
ついて、図2を参照して説明する。先ず、メイン・ワー
ド選択信号MWXとサブ・ワード選択信号SWDとが共
に選択状態の時は、ワード線WLも選択状態となる。こ
の時、メイン・ワード選択信号MWXは、グランドレベ
ルよりも低いVBBレベルとなり、サブ・ワード選択信号
SWDは、電源電圧Vccよりも高いレベルSVcとな
る。その結果、P型のトランジスタQ7がオン状態とな
り、ワード線WLはサブ・ワード選択信号SWDと同じ
SVcレベルまで上昇する。そして、メモリセルMCの
トランジスタがオンして、キャパシタに記憶されていた
状態に従ってビット線BLのレベルが上昇または下降す
る。
【0028】一方、メイン・ワード選択信号MWXが選
択状態であっても、サブ・ワード選択信号SWDが非選
択状態の時には、ワード線WLは非選択状態となり、グ
ランドレベルまで下がる必要がある。ワード線WLは、
P型トランジスタの特性に従って、そのゲート電極の電
圧にその閾値電圧Vthを加えた電位になるが、この例で
は、メイン・ワード選択信号MWXがグランドより低い
基板バイアス電位になっているため、ワード線WLのレ
ベルは、VBB+Vthとなる。従って、基板バイアス電位
VBBがグランドレベルよりP型トランジスタの閾値電圧
Vth以上低い場合には、ワード線WLのレベルは、グラ
ンド電位以下になる。
【0029】サブ・ワード選択信号SWDの非選択状態
の電位は、Vss(グランド)レベルまたはそれより低
いレベル、例えば基板バイアス電位VBBになる。より安
定的に非選択のワード線WLをグランド電位以下にする
為には、グランドレベルより低い基板バイアス電位にす
ることが望ましい。
【0030】メイン・ワード選択信号MWXが非選択状
態の時には、そのレベルは高い電源Vccレベルとな
る。通常電源Vccは、3ボルトまたは3.6ボルト等
のレベルに設定される。その結果、サブ・ワードドライ
バ回路では、N型トランジスタQ8がオン状態となり、
ワード線WLはトランジスタQ8を介してグランドレベ
ルVssにクランプされる。この場合は、サブ・ワード
選択信号の状態には影響されない。
【0031】以上の様に、ワード線を駆動するワードド
ライバ回路は、2つのトランジスタで構成され、しかも
その制御用の選択信号も2つになる。そして、上記した
通り、最低限の条件としては、両トランジスタのゲート
に供給されるメイン・ワード選択信号MWXの選択状態
のレベルを、非選択状態のワード線のレベルよりもP型
トランジスタの閾値電圧分低い電位にすることである。
そうすることで、サブ・ワード選択信号SWDの非選択
状態のレベルまでワード線を十分クランプすることがで
きる。また、サブ・ワードデコーダとトランジスタQ7
とを結ぶサブ・ワード選択信号線の電圧上昇や他の要因
などを考慮すると、サブ・ワード選択信号SWDも同様
に非選択状態のワード線のレベルよりも十分低い電位に
することが望ましい。
【0032】尚、メイン・ワード選択信号とサブ・ワー
ド選択信号は、図1に示した通りに供給される必要はな
く、反対の端子に供給されても良い。即ち、第一のアド
レス群をデコードして生成された第一の選択信号と、第
二のアドレス群をデコードして生成された第二の選択信
号とが、図1のCMOS回路の共通ゲート電極と、P型
トランジスタQ7のソースまたはドレイン電極に供給さ
れれば良いことは明らかである。
【0033】[メモリセルブロック全体構成]図3に、
図1のサブ・ワードドライバ回路を利用した場合のメモ
リセルブロックの全体構成を示す。図3全体ではメモリ
バンク2を示している。前述した通り、かかるメモリバ
ンク2の領域は、半導体チップ上に複数形成される。メ
モリバンク2内には、複数のメモリセルブロック3が形
成されている。図3の例では、二つのメモリセルブロッ
ク3が記載されている。
【0034】図3の下側半分に概略的に示した通り、メ
モリセルブロック3の、上下に隣接してセンスアンプS
A1,2が設けられている。また、メモリセルブロック
3内には、セルマトリクス4とサブ・ワードドライバの
アレイSWDAとが交互に形成されている。そして、ワ
ード線を選択する為に、各セルアレイブロック3毎に、
メイン・ワードデコーダ回路5とサブ・ワードデコーダ
回路6とが設けられている。メイン・ワードデコーダ5
からのメイン・ワード選択信号MWX0,1とサブ・ワ
ードデコーダ6からのサブ・ワード選択信号SWD0−
3とが、サブ・ワードドライバ回路に供給され、両選択
信号が選択状態になっているサブ・ワードドライバ回路
が、ワード線を駆動してHレベルに立ち上げる。7,8
はそれぞれのプリデコーダから供給されるアドレス信
号、ブロック選択信号等である。
【0035】図3の上側半分のメモリセルブロック3内
には、メイン・ワード選択信号とサブ・ワード選択信号
がどの様にサブ・ワードドライバ回路SWDに供給され
るかが示されている。メイン・ワードデコーダ5は、一
つのメモリセルブロック3内の例えば256本のワード
線の内4本を選択するようメイン・ワード選択信号MW
Xを出力する。そして、分割されたワード線WLにそれ
ぞれ接続されたサブ・ワードドライバSWDにそのメイ
ン・ワード選択信号が供給される。また、サブ・ワード
デコーダ6は、上記4本のワード線の内の一本を選択す
る為に、それぞれのサブ・ワード選択信号SWD0−3
をそれぞれのサブ・ワードドライバSWDに供給する。
【0036】図3の例では、センスアンプSA0−2
は、メモリセルブロック3の上下に隣接して設けられて
いる。こうすることで、隣接するメモリセルブロック3
がその間にあるセンスアンプを共用することが可能にな
り、その分センスアンプによって専有される面積を減ら
すことができる。図3中には、簡単の為にビット線は省
略されている。
【0037】図4は、図3のメモリセルブロックを更に
詳細に示した回路例である。WL0−7はビット線であ
り、行方向に分割されて配置されている。BLはビット
線であり、隣接するセンスアンプSAに接続されてい
る。ワード線WLとビット線BLの交差部にはメモリセ
ルMCが設けられている。図4では1個のNチャネル型
トランジスタと1個のキャパシタから構成された例が示
されている。ワード線WL0にはサブ・ワードドライバ
SW0が接続されている。ワード線WL1には、サブ・
ワードドランバSW1が接続されている。サブ・ワード
ドライバSW2,SW3には、両側のセルマトリクス領
域に配置されるワード線WL2,WL3が接続されてい
る。そして、それらのサブ・ワードドライバは、図1で
示した回路例であり、ゲート電極にはメイン・ワードデ
コーダ5からの選択信号MWX0,1が供給され、サブ
・ワードデコーダ6からの対応する選択信号SWD0−
3がP型トランジスタQ7のソースまたはドレイン電極
に供給される。
【0038】図4に示される通り、メイン・ワードデコ
ーダ5の高い側の電源はVccであるのに対して、低い
方の電位として基板バイアス電圧VBBが使用されてい
る。メイン・ワードデコーダ5の回路例として、P型の
トランジスタQ9,Q11,Q13,Q14と、N型の
トランジスタQ10,Q12,Q15,Q16から構成
される二つのデコーダ回路が示されている。トランジス
タQ11,Q12,Q13には共通にブロック選択信号
7−5(アドレス信号7の一部)が供給される。また、
トランジスタQ9,Q10及びQ14,Q15及びQ1
6にはそれぞれ異なるアドレス信号7が供給される。
今、ブロック選択信号がHレベルになると、トランジス
タQ12がオンして、デコーダ回路全体が活性化状態と
なる。そして、残りのアドレス信号の状態に応じて、各
デコーダが選択信号MWX0,1を選択状態または非選
択状態のレベルとする。
【0039】メイン・ワード選択信号MWX0が選択状
態の場合では、例えばアドレス信号7−3がHレベル、
アドレス信号7−2がHレベルとなり、トランジスタQ
10,Q16がオン状態となる。その結果、メイン・ワ
ード選択信号MWX0は、基板バイアス電位VBBとな
る。その時、メイン・ワード選択信号MWX1の方は、
アドレス信号7−4がLレベルとなりトランジスタQ1
4がオンとなり、その選択信号MWX1はVcc(Hレ
ベル)となる。
【0040】サブ・ワードデコーダ6の場合も、同様の
回路によって、サブ・ワード選択信号にSVcレベルと
VBBレベルとを出力することになる。そして、両選択信
号を供給されるサブ・ワードドライバ回路は、図1及び
2に従って説明した通りの動作をする。
【0041】図5は、本発明の実施の形態のタイミング
チャートの例である。図4の例で、ワード線WL0が選
択される場合についてのタイミングチャートである。こ
の例では、サブ・ワード選択信号は、非選択状態で基板
バイアス電圧VBBになっている。
【0042】図5に示した様に、例えばロー・アドレス
・ストローブ信号RASのタイミング時刻taにおい
て、メモリ回路がアクティブ状態となる。その結果、供
給されるアドレス信号に応じて、各デコーダの出力が変
化することになる。図5の例では、ワード線WL0が選
択される例である為、メイン・ワード選択信号MWX0
は電源Vccレベルから基板バイアス電位VBBまで降下
し、サブ・ワード選択信号SWD0は基板バイアス電位
VBBから電源より高い電位SVcまで上昇することにな
る。
【0043】一方、非選択のワード線に対応するサブ・
ワード選択信号SWD1−3は基板バイアス電位VBBま
で降下し、メイン・ワード選択信号MWX1は電源電圧
Vccに上昇する。その結果、図1にて説明した通り、
サブ・ワードドライバSW0は、ワード線WL0を駆動
してSVcレベルまで上昇させる。また、その他のサブ
・ワードドライバSW1−3は、P型トランジスタQ7
を介してワード線をサブ・ワード選択信号SWD1−3
の基板バイアス電位VBBに接続され、各ワード線はLレ
ベルにクランプされることになる。
【0044】そして、ワード線WL0が立ち上がった時
点で、センスアンプにラッチ制御信号LEを供給するこ
とで、ビット線BLに読みだされたメモリセルMCの情
報に従う上昇または下降レベルが増幅される。
【0045】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明に従えば、サ
ブ・ワードドライバ回路が2つのトランジスタで構成さ
れ、しかもそれに供給する選択信号は2本になる。従っ
て、図3、4に示される通り、サブ・ワードドライバの
アレイ領域の専有面積を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のサブ・ワードドライバ回路の例であ
る。
【図2】図1の回路の動作説明の表である。
【図3】本発明に係るメモリセルブロックの全体構成図
である。
【図4】本発明に係るメモリセルブロックの詳細回路例
である。
【図5】本発明の実施の形態のタイミングチャート図で
ある。
【図6】従来例を示す図である。
【図7】従来のサブ・ワードドライバ回路の例である。
【図8】図7の回路の動作説明の表である。
【図9】従来のサブ・ワードドライバ回路の例である。
【図10】図9の回路の動作説明の表である。
【符号の説明】
Vss 第一の電源 Vcc 第二の電源 Q7 第一のトランジスタ Q8 第二のトランジスタ MWX 第一の選択信号、メイン・ワード選択信号 SWD 第二の選択信号、サブ・ワード選択信号 WL ワード線 BL ビット線 3 メモリセルブロック 4 セルマトリクス 5 メイン・ワードデコーダ 6 サブ・ワードデコーダ

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第一の電源とそれより高い第二の電源が供
    給されるメモリ回路内であって、 第一導電型の第一のトランジスタと、 該第一のトランジスタとゲートが共通に接続され、ソー
    スまたはドレイン電極の一方が該第一のトランジスタの
    ソースまたはドレイン電極の一方に接続され、ソースま
    たはドレイン電極の他方が前記第一の電源に接続された
    第二の導電型の第二のトランジスタとを有し、 該第一及び第二のトランジスタの共通に接続されたソー
    スまたはドレイン電極にワード線が接続され、 前記共通に接続されたゲート電極に、第一のアドレス信
    号群をデコードして生成され、前記第二のトランジスタ
    を導通状態にする第一の電位と前記第一の電源より低い
    第二の電位の内一方の電位になる第一の選択信号が供給
    され、 前記第一のトランジスタのソースまたはドレイン電極の
    他方の電極に、第二のアドレス信号群をデコードして生
    成され、前記ワード線の選択状態の電位の第三の電位と
    前記第一の電源の電位以下の第四の電位の内一方の電位
    になる第二の選択信号が供給されることを特徴とするワ
    ードドライバ回路。
  2. 【請求項2】請求項1記載のワードドライバ回路におい
    て、 前記第二の電位が、前記第一の電源の電位より該第一の
    トランジスタの閾値電圧以上低いレベルであることを特
    徴とするワードドライバ回路。
  3. 【請求項3】請求項1記載のワードドライバ回路におい
    て、 前記第四の電位が、前記第一の電源の電位より低いこと
    を特徴とするワードドライバ回路。
  4. 【請求項4】請求項3記載のワードドライバ回路におい
    て、 前記第四の電位が、前記第二の電位とほぼ同じレベルで
    あることを特徴とするワードドライバ回路。
  5. 【請求項5】請求項1記載のワードドライバ回路におい
    て、 前記第二の電位が、前記メモリ回路内で生成された基板
    バイアス電位であることを特徴とするワードドライバ回
    路。
  6. 【請求項6】請求項1記載のワードドライバ回路におい
    て、 前記第四の電位が、前記メモリ回路内で生成された基板
    バイアス電位であることを特徴とするワードドライバ回
    路。
  7. 【請求項7】請求項1記載のワードドライバ回路におい
    て、 前記第一の電位が前記第二の電源の電位と同等またはそ
    の近傍の電位であることを特徴とするワードドライバ回
    路。
  8. 【請求項8】グランドレベルにある第一の電源と、それ
    より高いレベルにある第二の電源が供給されるメモリ回
    路内であって、 ワードドライバ回路が、 第一、第二の入力端子と、 ワード線に接続された出力端子とゲートが前記第一の入
    力端子に接続され、ソースまたはドレイン電極の一方が
    前記第二の入力端子に接続され、ソースまたはドレイン
    電極の他方が前記出力端子に接続されたPチャネル型の
    第一のトランジスタと、 ゲートが前記第一の入力端子に接続され、ソースまたは
    ドレイン電極の一方が前記第一の電源に接続され、ソー
    スまたはドレイン電極の他方が前記出力端子に接続され
    たNチャネル型の第二のトランジスタとを有し、 前記第一の入力端子には、第一のアドレス群をデコード
    して生成され、前記第二のトランジスタを導通にするに
    必要な第一の電位と前記第一の電源より低い第二の電位
    の内一方の電位になる第一の選択信号が供給され、 前記第二の入力端子には、前記ワード線を選択状態にす
    る時の当該電位である第三の電位と前記第一の電源の電
    位以下の第四の電位の内一方の電位になる第二の選択信
    号が供給されることを特徴とするワードドライバ回路。
  9. 【請求項9】請求項8記載のワードドライバ回路におい
    て、 前記第二の電位が、メモリ回路内で生成される基板バイ
    アス電位であることを特徴とするワードドライバ回路。
  10. 【請求項10】請求項8記載のワードドライバ回路にお
    いて、 前記第四の電位が、メモリ回路内で生成される基板バイ
    アス電位であることを特徴とするワードドライバ回路。
  11. 【請求項11】グランドレベルにある第一の電源と、そ
    れより高いレベルにある第二の電源が供給されるメモリ
    回路であって、 複数の行に渡って配置され、各行毎に複数に分割された
    ワード線と、 該ワード線に交差する複数のビット線と、 前記ワード線とビット線の交差部に設けられた複数のメ
    モリセルと、 第一のアドレス群をデコードし、メイン・ワード選択信
    号を出力するメインワードデコーダと、 第二のアドレス群をデコードし、サブ・ワード選択信号
    を出力するサブ・ワードデコーダと、 対応する前記メイン・ワード選択信号とサブ・ワード選
    択信号がそれぞれ供給され、対応する行内の複数のワー
    ド線にそれぞれ接続される複数のサブ・ワードドライバ
    回路とを有し、 前記サブ・ワードドライバ回路は、 前記メイン・ワード選択信号が供給される第一入力端子
    と、 前記サブ・ワード選択信号が供給される第二の入力端子
    と、 ワード線に接続された出力端子とゲートが前記第一の入
    力端子に接続され、ソースまたはドレイン電極の一方が
    前記第二の入力端子に接続され、ソースまたはドレイン
    電極の他方が前記出力端子に接続されたPチャネル型の
    第一のトランジスタと、 ゲートが前記第一の入力端子に接続され、ソースまたは
    ドレイン電極の一方が前記第一の電源に接続され、ソー
    スまたはドレイン電極の他方が前記出力端子に接続され
    たNチャネル型の第二のトランジスタとを有し、 前記メイン・ワード選択信号は、非選択状態で前記第二
    のトランジスタを導通にするに必要な第一の電位とな
    り、選択状態で前記第一の電源より低い第二の電位とな
    り、 前記サブ・ワード選択信号は、選択状態で前記ワード線
    を選択状態にする時の当該電位である第三の電位とな
    り、非選択状態で前記第一の電源の電位以下の第四の電
    位となることを特徴とするメモリ回路。
  12. 【請求項12】請求項11記載のメモリ回路において、 前記第二の電位が、メモリ回路内で生成される基板バイ
    アス電位であることを特徴とするメモリ回路。
  13. 【請求項13】請求項11記載のメモリ回路において、 前記第四の電位が、メモリ回路内で生成される基板バイ
    アス電位であることを特徴とするメモリ回路。
  14. 【請求項14】グランドレベルにある第一の電源と、そ
    れより高いレベルにある第二の電源が供給されるメモリ
    回路であって、 複数の行に渡って配置され、各行毎に複数に分割された
    ワード線と、 該ワード線に交差する複数のビット線と、 前記ワード線とビット線の交差部に設けられた複数のメ
    モリセルと、 第一のアドレス群をデコードし、第一の選択信号を出力
    する第一のワードデコーダと、 第二のアドレス群をデコードし、第二の選択信号を出力
    する第二のワードデコーダと、 対応する前記第一の選択信号と第二の選択信号がそれぞ
    れ供給され、対応する行内の複数のワード線にそれぞれ
    接続される複数のワードドライバ回路とを有し、 前記サブ・ワードドライバ回路は、相補型のMOSトラ
    ンジスタ回路から構成され、 前記第一の選択信号は、選択・非選択状態に応じて第二
    の電源の第一の電位と前記第一の電源より低い第二の電
    位の内一方の電位となり、 前記第二の選択信号は、選択・非選択状態に応じて前記
    ワード線を選択状態にする時の当該電位である第三の電
    位と前記第一の電源の電位以下の第四の電位の内一方の
    電位となることを特徴とするメモリ回路。
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