JPH09105908A - Active matrix liquid crystal display device - Google Patents

Active matrix liquid crystal display device

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JPH09105908A
JPH09105908A JP26123595A JP26123595A JPH09105908A JP H09105908 A JPH09105908 A JP H09105908A JP 26123595 A JP26123595 A JP 26123595A JP 26123595 A JP26123595 A JP 26123595A JP H09105908 A JPH09105908 A JP H09105908A
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liquid crystal
pixel
display device
crystal display
electrode
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Application number
JP26123595A
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Japanese (ja)
Inventor
Keiichiro Ashizawa
Katsumi Kondo
Nobutake Konishi
Masato Oe
Kazuhiro Ogawa
Masuyuki Ota
Kazuhiko Yanagawa
Masahiro Yanai
昌人 大江
益幸 太田
和宏 小川
信武 小西
和彦 柳川
雅弘 箭内
啓一郎 芦沢
克己 近藤
Original Assignee
Hitachi Ltd
株式会社日立製作所
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating, or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating, or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating, or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1343Electrodes
    • G02F1/134309Electrodes characterised by their geometrical arrangement
    • G02F1/134363Electrodes characterised by their geometrical arrangement for applying an electric field parallel to the substrate, i.e. in-plane switching [IPS]

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an active matrix type liquid crystal display device with which a visual field angle comparable to that of a cathode ray tube is realized since the range of the visual field angle in which gradations are uniform is broad and in which a horizontal electric field system capable of improving picture quality is adopted, SOLUTION: In an active matrix type liquid crystal display device having one pair of substrates, liquid crystal layer to be held in between the one pair of substates. active elements formed on the substrate of one side, pixel electrodes SL connected to the active elements and counter electrodes CL formed on either of the one pair of substrates and impressing electric fields almost parallel with the surface of the substrate in between the pixel electrodes SL, the liquid crystal layer has initial orientational directions of liquid crystal molecules of one direction and also has driving directions of the liquid crystal molecules of not less than two directions in the surface of the substrate.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に係わり、特に、横電界方式のアクティブマトリクス型液晶表示装置に適用して有効な技術に関する。 The present invention relates to relates to a liquid crystal display device, in particular, to a technique effectively applied to an active matrix type liquid crystal display device of IPS mode.

【0002】 [0002]

【従来技術】薄膜トランジスタ(TFT)に代表されるアクティブ素子を用いたアクティブマトリクス型液晶表示装置は薄い、軽量という特徴とブラウン管に匹敵する高画質という点から、OA機器等の表示端末装置として広く普及し始めている。 BACKGROUND OF THE INVENTION Active matrix liquid crystal display device using an active element typified by a thin film transistor (TFT) is a thin, from the viewpoint quality comparable to features and CRT as light weight, widely spread as a display terminal device such as OA equipment It is beginning to.

【0003】このアクティブマトリクス型液晶表示装置の表示方式には、大別して、次の2通りの表示方式が知られている。 [0003] The display method of the active matrix type liquid crystal display device, roughly, is known display method of the following two.

【0004】1つは、2つの透明電極が形成された一対の基板間に液晶層を封入し、2つの透明電極に駆動電圧を印加することにより、基板界面にほぼ直角な方向の電界により液晶層を駆動し、透明電極を透過し液晶層に入射した光を変調して表示する方式(以下、縦電界方式と称する)であり、現在、普及している製品が全てこの方式を採用している。 [0004] One is to encapsulate the liquid crystal layer between two pair of transparent electrodes are formed a substrate, by applying a driving voltage to the two transparent electrodes, the liquid crystal by an electric field substantially perpendicular to the substrate interface drives the layers, a method of displaying by modulating transmitted through the transparent electrode light incident on the liquid crystal layer is (hereinafter, referred to as vertical electric field method), currently products most commonly are employed all this scheme there.

【0005】しかしながら、前記縦電界方式を採用したアクティブマトリクス型液晶表示装置においては、視角方向を変化させた際の輝度変化が著しく、特に、中間調表示を行った場合、視角方向により階調レベルが反転してしまう等、実用上問題があった。 However, in the above active matrix type liquid crystal display device employing a vertical electric field method is considerably luminance change upon changing the viewing direction, particularly, in the case of performing the halftone display, the gradation level by viewing angle but such as is inverted, there was a problem in practical use.

【0006】また、もう1つは、一対の基板間に液晶層を封入し、同一基板あるいは両基板上に形成された2つの電極に駆動電圧を印加することにより、基板界面にほぼ平行な方向の電界により液晶層を駆動し、2つの電極の隙間から液晶層に入射した光を変調して表示する方式(以下、横電界方式と称する)であるが、この横電界方式を採用したアクティブマトリクス型液晶表示装置は未だ実用化されていない。 [0006] Second, by sealing a liquid crystal layer between a pair of substrates, by applying a driving voltage to the two electrodes formed on the same substrate or both substrates, a direction substantially parallel to the substrate surface to drive the liquid crystal layer by an electric field, a method of displaying by modulating light incident on the liquid crystal layer from the gap between the two electrodes is a (hereinafter, referred to as a horizontal electric field mode), active-matrix employing this IPS mode type liquid crystal display device has not yet been put to practical use.

【0007】しかしながら、この横電界方式を採用したアクティブマトリクス型液晶表示装置は、広視野角、低負荷容量等の特徴を有しており、この横電界方式は、アクティブマトリクス型液晶表示装置に関して有望な技術である。 However, an active matrix type liquid crystal display device using the transverse electric field mode, wide viewing angle, has a characteristic such as low load capacitance, the horizontal electric field method is promising with respect to the active matrix liquid crystal display device it is a technique.

【0008】前記横電界方式を採用したアクティブマトリクス型液晶表示装置の特徴に関しては、特許出願公表平5−505247号公報、特公昭63−21907号公報、特開平6−160878号公報を参照されたい。 [0008] With respect to the characteristics of the horizontal active matrix type liquid crystal display device of an electric field scheme was adopted, see patent application publication Rights 5-505247, JP-B-63-21907 and JP-the Hei 6-160878 Patent Publication .

【0009】 [0009]

【発明が解決しようとする課題】従来の横電界方式を採用したアクティブマトリクス型液晶表示装置においては、駆動電圧及び応答速度の改善のために、平行に配置された画素電極と対向電極とに対し、液晶層の液晶分子をある傾きを持ってホモジニアスに初期配向し、液晶分子を面内で回転させることにより光を変調し、表示を行っている。 In an active matrix liquid crystal display device SUMMARY OF THE INVENTION Problems to] employing a conventional transverse electric field mode, in order to improve the driving voltage and response speed, to parallel-arranged pixel electrodes and the counter electrode , homogeneous to initially oriented with an inclination that the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer, the liquid crystal molecules to modulate light by rotating in a plane, and performs display.

【0010】これにより、前記縦電界方式を採用したアクティブマトリクス型液晶表示装置と比較して、視野角が著しく広いという特徴を有している。 [0010] Thus, the vertical electric field method in comparison with the active matrix liquid crystal display device employing a viewing angle has a characteristic of markedly broad.

【0011】しかしながら、前記横電界方式を採用したアクティブマトリクス型液晶表示装置においては、ある方向に視野角を傾けた場合に、均一な色調を実現できず、視野角が狭くなり、ブラウン管(CRT)等の自発光表示装置に匹敵する視野角を達成できないという問題点があった。 [0011] However, in an active matrix type liquid crystal display device adopting the IPS mode, when tilting the viewing angle in one direction, can not achieve uniform color, the viewing angle is narrowed, a cathode ray tube (CRT) problem can not be achieved the viewing angle comparable to self-luminous display device and the like had.

【0012】即ち、液晶分子が回転したときの、その長軸方向に視野角を傾けると、その他の方位に視野角を傾けた場合よりも液晶分子の複屈折異方性が変化しやすく、その方位で、他の方位より階調が反転しやすくかつ色調が変化しやすい。 Namely, when the liquid crystal molecules are rotated, Tilting the viewing angle to its longitudinal axis, the birefringence anisotropy of the liquid crystal molecules is likely to change than in the case of tilting the viewing angle other orientation, the in orientation, and it is likely to change color tone than other orientations are easily reversed.

【0013】特に、ノーマリブッラクモードで白表示をした場合、白色の色調が、その方位で青色にシフトする。 [0013] Particularly, when the white display in a no Malibu Tsu easy mode, a white color is shifted to the blue by its orientation.

【0014】また、それと90°の角度をなす液晶分子の短軸方向では、複屈折異方性は変化しないが、視野角の傾きにしたがって光路長が増加することにより、白色の色調が、その方位で黄色にシフトする。 [0014] At the same in the minor axis direction of liquid crystal molecules an angle of 90 °, although birefringence anisotropy does not change, by the optical path length increases with the inclination of the viewing angle, white color tone, its to shift to yellow in orientation.

【0015】その結果、1部の方位において均一な色調を実現できず、視野角が狭くなり、ブラウン管に匹敵する視野角を達成できないという問題点があった。 [0015] As a result, can not achieve uniform color tone in the orientation of the one part, and the viewing angle is narrowed, there is a problem that can not be achieved the viewing angle comparable to a cathode ray tube.

【0016】本発明は、前記従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、横電界方式を採用したアクティブマトリクス型液晶表示装置において、色調が均一である視野角の範囲が広く、ブラウン管並の視野角を実現でき、かつ、画質を向上させることが可能となる技術を提供することにある。 [0016] The present invention has the been made to the prior art solving the problems of technology, object of the present invention, in an active matrix type liquid crystal display device employing a horizontal electric field method, the color tone is uniform field wide range of corners, can be realized the viewing angle of the cathode ray tube parallel, and is to provide a technique which is possible to improve the image quality.

【0017】本発明の前記目的並びにその他の目的及び新規な特徴は、本明細書の記載及び添付図面によって明らかにする。 [0017] The objects and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description and the accompanying drawings.

【0018】 [0018]

【課題を解決するための手段】本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、 Among the inventions disclosed in the present application Means for Solving the Problems] To briefly explain the summary of typical,
下記の通りである。 It is as follows.

【0019】(1)一対の基板と、前記一対の基板間に挟持される液晶層と、前記一方の基板上に形成される複数の映像信号線と、前記一方の基板上に形成され前記映像信号線と交差する複数の走査信号線と、前記複数の映像信号線と前記複数の走査信号線との交差領域内にマトリクス状に形成される複数の画素とを具備し、前記画素が、前記一方の基板上に形成されるアクティブ素子と、 [0019] (1) a pair of substrates, and a liquid crystal layer sandwiched between the pair of substrates, a plurality of video signal lines formed on the one substrate, wherein formed on one substrate the image comprising a plurality of scanning signal lines intersecting the signal lines, and a plurality of pixels formed in a matrix at intersections region of said plurality of video signal lines and the plurality of scanning signal lines, the pixel is the an active element formed on one substrate,
前記アクティブ素子に接続される画素電極と、前記一対の基板のいずれか一方の基板上に形成され、前記画素電極との間で基板面にほぼ平行な電界を液晶層に印加する対向電極とを、少なくとも有するアクティブマトリクス型液晶表示装置において、前記液晶層が、一方向の液晶分子の初期配向方向を有し、かつ、基板面内で2方向の液晶分子の駆動方向を有することを特徴とする。 A pixel electrode connected to said active element, are formed on one substrate of the pair of substrates and a counter electrode for applying a electric field substantially parallel to the substrate surface between the pixel electrode in the liquid crystal layer , in an active matrix type liquid crystal display device having at least said liquid crystal layer has an initial alignment direction in one direction of the liquid crystal molecules, and characterized by having a driving direction of the two directions of the liquid crystal molecules in the substrate surface .

【0020】(2)前記(1)の手段において、前記液晶層が、前記走査信号線に略垂直な液晶分子の初期配向方向を有し、前記各画素内の画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向に対してある傾斜角を持って形成される、それぞれ対向電極および画素電極と相対向する対向面を有し、さらに、前記液晶分子の初期配向方向に対してそれぞれ異なる傾斜角を持つ対向面が形成された画素電極および対向電極を有する画素をマトリクス状に配置したことを特徴とする。 [0020] In means (2) above (1), wherein the liquid crystal layer has an initial alignment direction substantially perpendicular liquid crystal molecules to the scanning signal line, the pixel electrode and the counter electrode in said each pixel, said is formed with an inclination angle with respect to the initial orientation direction of the liquid crystal molecules, each having a facing surface which faces the counter electrode and the pixel electrode, and further, different inclination with respect to the initial orientation direction of the liquid crystal molecules a pixel having a pixel electrode and a counter electrode facing surface is formed with a square, characterized in that arranged in a matrix.

【0021】(3)前記(2)の手段において、前記それぞれ異なる傾斜角が、θあるいは−θであることを特徴とする。 [0021] (3) In the means of the (2), wherein each different tilt angles, characterized in that it is a θ or - [theta].

【0022】(4)前記(3)の手段において、前記θ [0022] (4) In the means of the (3), wherein θ
が、10°≦θ≦20°であることを特徴とする。 But it characterized in that it is a 10 ° ≦ θ ≦ 20 °.

【0023】(5)前記(1)の手段において、前記液晶層が、前記走査信号線に略垂直な液晶分子の初期配向方向を有し、前記各画素内の画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向に対して2つ以上の傾斜角を持って形成される、それぞれ対向電極および画素電極と相対向する対向面を有することを特徴とする。 In means of [0023] (5) (1), wherein the liquid crystal layer has an initial alignment direction substantially perpendicular liquid crystal molecules to the scanning signal line, the pixel electrode and the counter electrode in said each pixel, said is formed with two or more inclination angles with respect to the initial alignment direction of liquid crystal molecules, characterized in that each has an opposed surface which faces the counter electrode and the pixel electrode.

【0024】(6)前記(5)の手段において、前記2 [0024] (6) In the means of the (5), the 2
つ以上の傾斜角が、θあるいは−θであることを特徴とする。 One or more tilt angles, characterized in that it is a θ or - [theta].

【0025】(7)前記(6)の手段において、前記θ [0025] In means (7) the (6), wherein θ
が、10°≦θ≦20°であることを特徴とする。 But it characterized in that it is a 10 ° ≦ θ ≦ 20 °.

【0026】(8)前記(1)の手段において、前記液晶層が、前記走査信号線に略垂直な液晶分子の初期配向方向を有し、各画素の表示領域内で、前記画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向と平行であり、また、各画素の表示領域外で、前記画素電極および対向電極が、2つ以上の角度を持って交差していることを特徴とする。 [0026] In means (8) wherein (1), wherein the liquid crystal layer has an initial alignment direction substantially perpendicular liquid crystal molecules to the scanning signal lines, in the display region of each pixel, the pixel electrode and the counter electrode is parallel to the initial alignment direction of the liquid crystal molecules, also in the display region outside of each pixel, the pixel electrode and the counter electrode, characterized in that intersects with two or more angles .

【0027】(9)前記(8)の手段において、前記2 [0027] In means (9) above (8), the two
つ以上の角度が、θあるいは−θであることを特徴とする。 One or more of the angles, characterized in that it is a θ or - [theta].

【0028】(10)前記(9)の手段において、前記θが、30°≦θ≦60°であることを特徴とする。 [0028] (10) In the means of the (9), wherein theta is characterized by a 30 ° ≦ θ ≦ 60 °.

【0029】(11)前記(1)の手段において、前記液晶層が、前記走査信号線に略垂直な液晶分子の初期配向方向を有し、各画素の表示領域内で、前記画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向と平行であり、また、各画素の表示領域外で、前記画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向に対して2 [0029] (11) In the means of the (1), wherein the liquid crystal layer has an initial alignment direction substantially perpendicular liquid crystal molecules to the scanning signal lines, in the display region of each pixel, the pixel electrode and the counter electrode is parallel to the initial alignment direction of the liquid crystal molecules, also in the display region outside of each pixel, the pixel electrode and the counter electrode, the initial alignment direction of the liquid crystal molecules 2
つ以上の傾斜角を持って形成される、それぞれ対向電極および画素電極と相対向する対向面を有することを特徴とする。 One is formed with more than the inclination angle, and having a facing surface which faces the respective counter electrode and the pixel electrode.

【0030】(12)前記(11)の手段において、前記2つ以上の傾斜角が、θあるいは−θであることを特徴とする。 In means of [0030] (12) wherein (11), said two or more inclination angles, characterized in that it is a θ or - [theta].

【0031】(13)前記(12)の手段において、前記θが、30°≦θ≦60°であることを特徴とする。 [0031] In means (13) wherein (12), wherein theta is characterized by a 30 ° ≦ θ ≦ 60 °.

【0032】(14)前記(1)の手段において、前記液晶層が、前記走査信号線に略垂直な液晶分子の初期配向方向を有し、各画素の画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向に対して、ある傾斜角を持って互いに平行に形成され、前記液晶分子の初期配向方向に対して、それぞれ異なる傾斜角を持つ画素電極および対向電極を有する画素を交互に配置してなることを特徴とする。 [0032] (14) In the means of the (1), wherein the liquid crystal layer has an initial alignment direction substantially perpendicular liquid crystal molecules to the scanning signal line, the pixel electrode and the counter electrode of each pixel, the liquid crystal molecules respect of the initial alignment direction, are formed in parallel to each other with a certain inclination angle, with respect to the initial orientation direction of the liquid crystal molecules, disposed alternately pixel having a pixel electrode and a counter electrode having a different tilt angles, respectively characterized in that it comprises Te.

【0033】(15)前記(14)の手段において、前記それぞれ異なる傾斜角が、θあるいは−θであることを特徴とする。 [0033] (15) In the unit of the (14), wherein each different tilt angles, characterized in that it is a θ or - [theta].

【0034】(16)前記(15)の手段において、前記θが、10°≦θ≦20°であることを特徴とする。 [0034] In means (16) wherein (15), wherein theta is characterized by a 10 ° ≦ θ ≦ 20 °.

【0035】(17)前記(14)ないし(16)の手段において、前記映像信号線が、各画素の画素電極および対向電極と平行に、前記液晶分子の初期配向方向とある傾斜角を持って形成されることを特徴とする。 [0035] (17) In the means to said (14) to (16), the video signal lines, in parallel with the pixel electrode and the counter electrode of each pixel, with an inclination angle in the initial alignment direction of the liquid crystal molecules characterized in that it is formed.

【0036】(18)前記(1)、(5)ないし(1 [0036] (18) (1), to (5) (1
3)の手段において、前記液晶層が、前記一対の基板に対して、チルト角を有することを特徴とする。 In means 3), wherein the liquid crystal layer, with respect to the pair of substrates, characterized by having a tilt angle.

【0037】(19)前記(1)ないし(18)の手段において、前記一対の基板の液晶層を挾持する面と反対側の面上に形成される2枚の偏光板を有し、前記2枚の偏光板の偏光透過軸が互い直交し、かつ、いずれか一方の偏光透過軸が液晶分子の初期配向方向と同一方向であることを特徴とする。 [0037] (19) In the means of (1) to (18), has two polarizing plates are formed on the opposite side of the surface as the surface that sandwiching a liquid crystal layer of the pair of substrates, the 2 polarization transmission axis of the polarizing plate of the sheets is another orthogonal, and one of the polarization transmission axis is characterized in that the initial orientation in the same direction as that of the liquid crystal molecules.

【0038】前記各手段によれば、横電界方式を採用したアクティブマトリクス型液晶表示装置において、液晶層の液晶分子を単一方向に初期配向するとともに、各画素毎に、あるいは、1画素内で、液晶層の液晶分子の初期配向方向と、画素電極と対向電極との間の印加電界方向とのなす角度を異ならせて、液晶分子を2方向に駆動するようにしたので、互いに色調のシフトを相殺して、 [0038] According to each of the units, in an active matrix type liquid crystal display device employing a horizontal electric field method, as well as the initial alignment of the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer in a single direction, for each pixel, or in one pixel , the initial alignment direction of liquid crystal molecules of the liquid crystal layer, by varying the angle between the applied electric field direction between the pixel electrode and the counter electrode, since so as to drive the liquid crystal molecules in two directions, the shift of color tone from each other offset the,
色調の方位による依存性を大幅に低減することが可能となる。 It is possible to significantly reduce the dependency on the orientation of the shade.

【0039】例えば、複屈折性ノーマリブッラクモード(電圧無印加時に暗、電圧印加時に明)の場合に、2枚の偏光板の偏光透過軸は直交し(クロスニコル)、それぞれの偏光透過軸と電界によって回転した液晶分子の長軸のなす角が45°となったとき最大透過率、すなわち白表示を得る。 [0039] For example, (dark when no voltage is applied, light when voltage is applied) birefringent no Malibu Tsu easy mode in the case of the polarization transmission axis of two polarizing plates are perpendicular (crossed Nicols), each polarization transmission axis obtaining a maximum transmittance when the angle of the long axis of the liquid crystal molecules rotated by the electric field becomes 45 °, i.e. the white display.

【0040】その状態で、液晶分子の長軸方向の方位(偏光透過軸から45°の角度)から白表示を見た場合、複屈折異方性の変化し、白色の色調が、その方位で青色にシフトする。 [0040] In this state, when viewed white display from the long axis direction of the orientation of the liquid crystal molecules (45 ° angle from the polarization transmission axis), and the change in birefringence anisotropy, white color tone, in the direction to shift to blue.

【0041】また、それと90°の角度をなす液晶分子の短軸方向(偏光透過軸から−45°の角度)では、複屈折異方性は変化しないが、視野角の傾きにしたがって光路長が増加することにより、白色の色調が、その方位で黄色にシフトする。 Further, the same minor axis direction of liquid crystal molecules at an angle of 90 ° (angle of -45 ° from the polarization transmission axis), although birefringence anisotropy does not change, the optical path length in accordance with the inclination viewing angle by increasing, white color is shifted to yellow in its orientation.

【0042】青色と黄色と色度座標で補色の関係にあり、その2色を混合させると白色になる。 [0042] There complementary colors blue and yellow and the chromaticity coordinates becomes white when mixing the two colors.

【0043】したがって、各画素毎に、あるいは、1画素内で、液晶分子を2方向駆動方向を2方向となし、例えば、白表示を行っている液晶分子の角度が、互いに9 [0043] Accordingly, or for each pixel, in one pixel, the liquid crystal molecules 2 direction driving direction in two directions and without, for example, the angle of the liquid crystal molecules is performed white display, 9 to each other
0°の角度をなす2方向存在すれば、互いに色調のシフトを相殺して、白色色調の方位による依存性を大幅に低減することが可能となる。 If two directions exists at an angle of 0 °, it is possible to offset the shift of color tone from each other, to significantly reduce the dependency on the orientation of the white color.

【0044】また、同様に、階調反転についても、階調反転しにくい液晶分子の短軸方向と、階調反転しやすい液晶分子の長軸方向との特性が平均され、階調反転に弱い方向での非階調反転視野角を拡大することができる。 [0044] Similarly, for the grayscale inversion, and the minor axis direction of the gray scale inversion hardly liquid crystal molecules, the characteristics of the axial direction of the gray scale inversion tends liquid crystal molecules are averaged, sensitive to gray scale inversion it is possible to expand the non-gray scale inversion view angle in the direction.

【0045】それにより、階調の均一性および色調の均一性が全方位で平均化または拡大し、ブラウン管に近い広視野角を実現することが可能である。 [0045] Thereby, the uniformity of the gradation and uniformity of color tone averages or expand in all directions, it is possible to realize a wide viewing angle close to the cathode ray tube.

【0046】 [0046]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, with reference to the drawings illustrating the embodiments of the invention in detail.

【0047】なお、発明の実施の形態(実施例)を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。 [0047] In all the drawings for explaining the embodiments of the invention (Example), parts having identical functions are given same symbols and their repeated explanation is omitted.

【0048】[発明の実施の形態1]まず始めに、本発明の実施の形態で構成した横電界方式のアクティブ・マトリクス方式カラー液晶表示装置の概略を説明する。 [0048] First Embodiment 1 of the invention, an outline of the active matrix system color liquid crystal display device of IPS mode configured in the embodiment of the present invention.

【0049】《マトリクス部(画素部)の平面構成》図1は、本発明の一発明の実施の形態(発明の実施の形態1)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0049] Figure 1 "planar configuration of the matrix portion (pixel portion)" is a pixel of a color active matrix liquid crystal display device which is the embodiment of one aspect of the present invention (Embodiment Referring 1) and its is a plan view showing the periphery.

【0050】各画素は隣接する2本の走査信号線(ゲート信号線または水平信号線)(GL)と、隣接する2本の映像信号線(ドレイン信号線または垂直信号線)(D [0050] Each pixel adjacent two scanning signal lines (gate signal lines or horizontal signal lines) (GL), two adjacent video signal lines (drain signal lines or vertical signal lines) (D
L)との交差領域内(4本の信号線で囲まれた領域内) L) and intersecting the area (the area surrounded by four signal lines)
に配置されている。 It is located in.

【0051】各画素は、薄膜トランジスタ(TFT)、 [0051] Each pixel, a thin film transistor (TFT),
蓄積容量(Cstg)、画素電極(SL)、対向電極(CL')および対向電圧信号線(コモン信号線)(C Storage capacitance (Cstg), the pixel electrode (SL), the counter electrode (CL ') and the counter voltage signal line (common signal line) (C
L)とを含んでいる。 L) and contains.

【0052】ここで、走査信号線(GL)、対向電圧信号線(CL)は、図1においては左右方向に延在し、上下方向に複数本配置されている。 [0052] Here, the scanning signal lines (GL), the counter voltage signal line (CL), in FIG. 1 extends in the lateral direction and are parallelly arranged in the vertical direction.

【0053】また、映像信号線(DL)は、上下方向に延在し、左右方向に複数本配置されている。 [0053] Further, the video signal line (DL) extends in the vertical direction and are parallelly arranged in the lateral direction.

【0054】また、画素電極(SL)は、薄膜トランジスタ(TFT)のソース電極(SD1)と接続され、さらに、対向電極(CL')は、対向電圧信号線(CL) [0054] Further, the pixel electrode (SL) includes a thin film transistor is connected to the source electrode (SD1) of the (TFT), further, the counter electrode (CL ') is counter voltage signal line (CL)
と一体に構成されている。 It is integrally formed with.

【0055】画素電極(SL)と対向電極(CL')とは互いに対向し、各画素電極(SL)と対向電極(C [0055] and opposed to the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL '), each pixel electrode (SL) and the counter electrode (C
L')との間の電界により液晶層(LCD)の光学的な状態を制御し、表示を制御する。 To control the optical state of the liquid crystal layer (LCD) by an electric field between the L '), to control the display.

【0056】画素電極(PX)と対向電極(CT)とは櫛歯状に構成され、図1に示すように、画素電極(S [0056] The pixel electrodes (PX) and the counter electrode (CT) is configured in a comb shape, as shown in FIG. 1, the pixel electrode (S
L)は斜め下方向に延びる直線形状、対向電極(C L) extends obliquely downward linear shape, the counter electrode (C
L')は、対向電圧信号線(CL)から上方向に突起した、対向面(画素電極(SL)と対向する面)が斜め上方向に延びる櫛歯形状をしており、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間の領域は1画素内で2分割されている。 L ') are, (and projections upward from CL), the opposing surface (pixel electrode (SL) counter voltage signal line surface facing the) has a tooth shape extending obliquely upward, the pixel electrode (SL ) and the area between the counter electrode (CL ') is divided into two parts in one pixel.

【0057】《表示マトリクス部(画素部)の断面構成》図2は、図1に示すa−a'切断線における要部断面を示す断面図、図3は、図1に示す4−4切断線における薄膜トランジスタ(TFT)の断面を示す断面図、 [0057] Figure 2 "cross-sectional configuration of the display matrix portion (pixel portion)" is a sectional view showing a principal part cross-section in a-a 'section line shown in FIG. 1, FIG. 3, 4-4 cut shown in FIG. 1 sectional view showing a section of a thin film transistor (TFT) in the line,
図4は、図1に示す5−5切断線における蓄積容量(C 4, the storage capacity in the 5-5 section line shown in FIG. 1 (C
stg)の断面を示す断面図である。 It is a sectional view showing a section of stg).

【0058】図2〜図4に示すように、液晶層(LC [0058] As shown in FIGS. 2 to 4, the liquid crystal layer (LC
D)を基準にして下部透明ガラス基板(SUB1)側には、薄膜トランジスタ(TFT)、蓄積容量(Cst The lower transparent glass substrate (SUB1) side with respect to the D) is a thin film transistor (TFT), a storage capacitor (Cst
g)および電極群が形成され、上部透明ガラス基板(S g) and the electrode group is formed, the upper transparent glass substrate (S
UB2)側には、カラーフィルタ(FIL)、遮光用ブラックマトリクスパターン(BM)が形成されている。 UB2) on the side, a color filter (FIL), the light-shielding black matrix pattern (BM) is formed.

【0059】また、透明ガラス基板(SUB1、SUB [0059] In addition, a transparent glass substrate (SUB1, SUB
2)のそれぞれの内側(液晶層(LCD)側)の表面には、液晶の初期配向を制御する配向膜(OR1、OR On the surface of each of the inner 2) (a liquid crystal layer (LCD) side), an alignment film (OR1, OR for controlling the initial orientation of the liquid crystal
2)が設けられており、透明ガラス基板(SUB1、S 2) is provided, a transparent glass substrate (SUB1, S
UB2)のそれぞれの外側の表面には、それぞれ偏光板(POL1、POL2)が設けられている。 Each outer surface of UB2), polarizing plates (POL1, POL2) is provided.

【0060】以下、より詳細な構成について説明する。 [0060] In the following, a description will be given more detailed configuration.

【0061】《TFT基板》まず、下部透明ガラス基板(SUB1)側(TFT基板)の構成を詳しく説明する。 [0061] "TFT substrate" first described in detail the structure of the lower transparent glass substrate (SUB1) side (TFT substrate).

【0062】《薄膜トランジスタ(TFT)》薄膜トランジスタ(TFT)は、ゲート電極(GT)に正のバイアスを印加すると、ソース−ドレイン間のチャネル抵抗が小さくなり、バイアスを零にすると、チャネル抵抗は大きくなるように動作する。 [0062] "thin-film transistor (TFT)" thin-film transistor (TFT), when a positive bias is applied to the gate electrode (GT), the source - channel resistance between the drain is reduced, when the zero bias, the channel resistance is increased It operates as.

【0063】薄膜トランジスタ(TFT)は、図3に示すように、ゲート電極(GT)、ゲート絶縁膜(G [0063] thin film transistor (TFT), as shown in FIG. 3, the gate electrode (GT), a gate insulating film (G
I)、i型(真性、intrinsic、導電型決定不純物がドープされていない)非晶質シリコン(Si)からなるi型半導体層(AS)、一対のソース電極(SD I), i-type (intrinsic, intrinsic, conductivity determining impurities are not doped) i-type semiconductor layer made of amorphous silicon (Si) (AS), a pair of source electrodes (SD
1)、ドレイン電極(SD2)を有す。 1), having a drain electrode (SD2).

【0064】なお、ソース電極(SD1)、ドレイン電極(SD2)は本来その間のバイアス極性によって決まるもので、この液晶表示装置の回路ではその極性は動作中反転するので、ソース電極(SD1)、ドレイン電極(SD2)は動作中入れ替わると理解されたい。 [0064] Note that the source electrode (SD1), the drain electrode (SD2) intended originally determined by the bias polarity between them, since the circuit of this liquid crystal display device the polarity is inverted during the operation, a source electrode (SD1), the drain electrode (SD2) is understood as interchanged during the operation.

【0065】しかし、以下の説明では、便宜上一方をソース電極(SD1)、他方をドレイン電極(SD2)と固定して表現する。 [0065] However, in the following description, for convenience one source electrode (SD1), for other expressed and fixed to the drain electrode (SD2) the.

【0066】なお、本発明の実施の形態では、薄膜トランジスタ(TFT)として、非晶質(アモルファス)シリコン薄膜トランジスタ素子を用いたが、これに限定されず、ポリシリコン薄膜トランジスタ素子、シリコンウエハ上のMOS型トランジスタ、有機TFT、または、 [0066] In the embodiment of the present invention, as a thin film transistor (TFT), was used amorphous silicon thin-film transistor device is not limited to this, a polysilicon thin-film transistor device, MOS-type on the silicon wafer transistor, an organic TFT, or,
MIM(Metal−Insulator−Meta MIM (Metal-Insulator-Meta
l)ダイオード等の2端子素子(厳密にはアクティブ素子ではないが、本発明ではアクティブ素子とする)を用いることも可能である。 Not active element in two-terminal device (strictly such l) diodes, but it is also possible to use the active element) in the present invention.

【0067】《ゲート電極(GT)》ゲート電極(G [0067] "gate electrode (GT)" gate electrode (G
T)は、走査信号線(GL)と連続して形成されており、走査信号線(GL)の一部の領域がゲート電極(G T) is formed continuously with the scanning signal lines (GL), a part of the region is a gate electrode of the scanning signal lines (GL) (G
T)となるように構成されている。 T) and are configured to be.

【0068】ゲート電極(GT)は、薄膜トランジスタ(TFT)の能動領域を超える部分であり、i型半導体層(AS)を完全に覆う(下方からみて)ように、それより大き目に形成されている。 [0068] The gate electrode (GT) is a portion that exceeds the active region of the thin film transistor (TFT), i-type semiconductor layer (AS) to completely cover (viewed from below have) as is it from larger form .

【0069】これにより、ゲート電極(GT)の役割のほかに、i型半導体層(AS)に外光やバックライト光が当たらないように工夫されている。 [0069] Thus, in addition to the role of the gate electrode (GT), outside light or backlight light is devised to avoid exposure to the i-type semiconductor layer (AS).

【0070】本発明の実施の形態では、ゲート電極(G [0070] In the embodiment of the present invention, the gate electrode (G
T)は、単層の導電膜(g1)で形成されており、導電膜(g1)としては、例えば、スパッタリングで形成されたアルミニウム(Al)系の導電膜が用いられ、その上にはアルミニウム(Al)の陽極酸化膜(AOF)が設けられている。 T) is formed of a single conductive film (g1), as the conductive film (g1), for example, used is a conductive film of aluminum (Al) system formed by sputtering, on top thereof an aluminum anodic oxide film (AOF) is provided in the (Al).

【0071】《走査信号線(GL)》走査信号線(G [0071] "scanning signal line (GL)" scanning signal lines (G
L)は、導電膜(g1)で構成されており、この走査信号線(GL)の導電膜(g1)は、ゲート電極(GT) L) is composed of a conductive film (g1), a conductive film (g1 of the scanning signal lines (GL)), a gate electrode (GT)
の導電膜(g1)と同一製造工程で形成され、かつ一体に構成されている。 Conductive layer and (g1) is formed in the same manufacturing process, and is formed integrally.

【0072】この走査信号線(GL)により、外部回路からゲート電圧(VG)をゲート電極(GT)に供給する。 [0072] The scanning signal lines (GL), supplied from an external circuit gate voltage (VG) to the gate electrode (GT).

【0073】また、走査信号線(GL)上にもアルミニウム(Al)の陽極酸化膜(AOF)が設けられている。 [0073] Further, the anodic oxide film of aluminum (Al) (AOF) is also provided on the scanning signal lines (GL).

【0074】《対向電極(CL')》対向電極(C [0074] "counter electrode (CL ')" counter electrode (C
L')は、ゲート電極(GT)および走査信号線(G L '), a gate electrode (GT) and the scanning signal lines (G
L)と同層の導電膜(g1)で構成されている。 L) and are composed of the same layer of conductive films (g1).

【0075】また、対向電極(CL')上にもアルミニウム(Al)の陽極酸化膜(AOF)が設けられている。 [0075] Further, the anodic oxide film of aluminum (Al) (AOF) is also provided on the counter electrode (CL ').

【0076】対向電極(CL')には、対向電圧(Vc [0076] The counter electrode (CL ') is counter voltage (Vc
om)が印加されるように構成されている。 om) is configured to be applied.

【0077】本発明の実施の形態では、対向電圧(Vc [0077] In the embodiment of the present invention, the counter voltage (Vc
om)は、映像信号線(DL)に印加される最小レベルの駆動電圧(VDmin)と最大レベルの駆動電圧(VD om), the minimum level of the drive voltage applied to the video signal line (DL) (VDmin) and the maximum level of the driving voltage (VD
max)との中間直流電位から、薄膜トランジスタ素子(TFT)をオフ状態にするときに発生するフィードスルー電圧(ΔVs分)だけ低い電位に設定されるが、映像信号駆動回路で使用される集積回路の電源電圧を約半分に低減したい場合は、交流電圧を印加すれば良い。 From an intermediate DC potential between max), but is set to a potential lower feed-through voltage (.DELTA.Vs min) that occurs when the thin film transistor element (TFT) to the OFF state, the integrated circuit used in the video signal driver circuit the power supply voltage if you want reduced to about half, may be applied an alternating voltage.

【0078】《対向電圧信号線(CL)》対向電圧信号線(CL)は、導電膜(g1)で構成されている。 [0078] "counter voltage signal line (CL)" counter voltage signal line (CL) is composed of a conductive film (g1).

【0079】この対向電圧信号線(CL)の導電膜(g [0079] conductive film of the counter voltage signal line (CL) (g
1)は、ゲート電極(GT)、走査信号線(GL)および対向電極(CL')の導電膜(g1)と同一製造工程で形成され、かつ対向電極(CL')と一体に構成されている。 1), the gate electrode (GT), the scanning signal lines (GL) and the counter electrode (CL 'conductive film) and (g1) is formed in the same manufacturing process, and the counter electrode (CL') and formed integrally there.

【0080】この対向電圧信号線(CL)により、外部回路から対向電圧(Vcom)を対向電極(CL')に供給する。 [0080] The counter voltage signal line (CL), and supplies the counter voltage (Vcom) to the counter electrode (CL ') from an external circuit.

【0081】また、対向電圧信号線(CL)上にもアルミニウム(Al)の陽極酸化膜(AOF)が設けられている。 [0081] Further, the anodic oxide film of aluminum (Al) (AOF) is also provided on the counter voltage signal line (CL).

【0082】また、対向電極(CL')および対向電圧信号線(CL)は、上部透明ガラス基板(SUB2) [0082] The counter electrode (CL ') and the counter voltage signal line (CL), the upper transparent glass substrate (SUB2)
(カラーフィルタ基板)側に形成してもよい。 It may be formed on the upper substrate (color filter substrate) side.

【0083】《絶縁膜(GI)》絶縁膜(GI)は、薄膜トランジスタ(TFT)において、ゲート電極(G [0083] "insulating film (GI)" insulating film (GI), in a thin film transistor (TFT), the gate electrode (G
T)と共に半導体層(AS)に電界を与えるためのゲート絶縁膜として使用される。 T) is used as a gate insulating film for applying an electric field to the semiconductor layer (AS) with.

【0084】絶縁膜(GI)は、ゲート電極(GT)および走査信号線(GL)の上層に形成されており、絶縁膜(GI)としては、例えば、プラズマCVDで形成された窒化シリコン膜が選ばれ、1200〜2700オングストロームの厚さに(本発明の実施の形態では、24 [0084] insulating film (GI) is formed above the gate electrode (GT) and the scanning signal lines (GL), as the insulating film (GI), for example, a silicon nitride film formed by plasma CVD chosen, in the embodiment of (the present invention to a thickness of 1200-2700 Å, 24
00オングストローム程度)形成される。 About 00 angstroms) is formed.

【0085】ゲート絶縁膜(GI)は、表示マトリクス部(AR)の全体を囲むように形成され、周辺部は外部接続端子(DTM、GTM)が露出されるように除去されている。 [0085] The gate insulating film (GI) is formed so as to surround the entire display matrix section (AR), the peripheral portion is removed so that the external connection terminal (DTM, GTM) is exposed.

【0086】絶縁膜(GI)は、走査信号線(GL)および対向電圧信号線(CL)と、映像信号線(DL)との電気的絶縁にも寄与している。 [0086] insulating film (GI) includes a scanning signal line (GL) and the counter voltage signal line (CL), also contributes to the electrical insulation between the video signal line (DL).

【0087】《i型半導体層(AS)》i型半導体層(AS)は、非晶質シリコンで、200〜2200オングストロームの厚さに(本発明の実施の形態では、20 [0087] "i-type semiconductor layer (AS)" i-type semiconductor layer (AS) is of amorphous silicon, in the embodiment of (the present invention to a thickness of 200-2200 Å, 20
00オングストローム程度の膜厚)形成される。 00 Angstroms of film thickness) is formed.

【0088】層(d0)は、オーミックコンタクト用のリン(P)をドープしたN(+)型非晶質シリコン半導体層であり、下側にi型半導体層(AS)が存在し、上側に導電膜(d1、d2)が存在するところのみに残されている。 [0088] layer (d0) is the N (+) type amorphous silicon semiconductor layer doped with phosphorus (P) for ohmic contact, i-type semiconductor layer (AS) is present on the lower side, the upper side conductive film (d1, d2) is left only in the place where exists.

【0089】i型半導体層(AS)は、走査信号線(G [0089] i-type semiconductor layer (AS), the scanning signal lines (G
L)および対向電圧信号線(CL)と映像信号線(D L) and the counter voltage signal line (CL) and the video signal lines (D
L)との交差部(クロスオーバ部)の両者間にも設けられている。 L) and the intersection (are also formed between the crossover portion).

【0090】この交差部のi型半導体層(AS)は、交差部における走査信号線(GL)および対向電圧信号線(CL)と映像信号線(DL)との短絡を低減する。 [0090] i-type semiconductor layer of the cross section (AS) reduces the short circuit of the scanning signal line at the intersection (GL) and the counter voltage signal line (CL) video signal lines and (DL).

【0091】《ソース電極(SD1)、ドレイン電極(SD2)》ソース電極(SD1)、ドレイン電極(S [0091] "a source electrode (SD1), drain electrode (SD2)" source electrode (SD1), drain electrode (S
D2)のそれぞれは、N(+)型半導体層(d0)に接触する導電膜(d1)とその上に形成された導電膜(d Each D2), N (+) type semiconductor layer (d0) and the conductive film (d1) contacting the formed thereon a conductive film (d
2)とから構成されている。 Is constructed from the 2).

【0092】導電膜(d1)は、スパッタリングで形成したクロム(Cr)膜を用い、500〜1000オングストロームの厚さに(本発明の実施の形態では、600 [0092] The conductive film (d1) is of chromium (Cr) film formed by sputtering, in the embodiment of (the present invention to a thickness of 500 to 1000 angstroms, 600
オングストローム程度)形成される。 About angstrom) is formed.

【0093】クロム(Cr)膜は、膜厚を厚く形成するとストレスが大きくなるので、2000オングストローム程度の膜厚を越えない範囲で形成する。 [0093] Chromium (Cr) film, since stress increases as forming a thick film thickness is formed in a range that does not exceed the thickness of about 2000 angstroms.

【0094】クロム(Cr)膜は、N(+)型半導体層(d0)との接着性を良好にし、アルミニウム(Al) [0094] Chromium (Cr) film, and a good adhesiveness to the N (+) type semiconductor layer (d0), aluminum (Al)
系の導電膜(d2)におけるアルミニウム(Al)がN Aluminum (Al) is N in the system conductive film (d2)
(+)型半導体層(d0)に拡散することを防止する(いわゆるバリア層の)目的で使用される。 (+) Type semiconductor layer (d0) to prevent the diffusion in (so-called barrier layer) is used for the purpose.

【0095】導電膜(d1)として、クロム(Cr)膜の他に、高融点金属(モリブテン(Mo)、チタン(T [0095] As the conductive film (d1), in addition to the chromium (Cr) film, a refractory metal (molybdenum (Mo), titanium (T
i)、タンタル(Ta)、タングステン(W))膜、高融点金属シリサイド(MoSi2、TiSi2、TaS i), tantalum (Ta), tungsten (W)) film, a refractory metal silicide (MoSi2, TiSi2, TaS
i2、WSi2)膜を用いてもよい。 i2, WSi2) film may be used.

【0096】導電膜(d2)としては、アルミニウム(Al)系の導電膜をスパッタリングで3000〜50 [0096] As the conductive film (d2), a conductive film of aluminum (Al) based sputtering 3000-50
00オングストロームの厚さに(本発明の実施の形態では、4000オングストローム程度)形成する。 00 (in the embodiment of the present invention, about 4000 Angstroms) angstroms in thickness is formed.

【0097】アルミニウム(Al)系の導電膜は、クロム(Cr)膜に比べてストレスが小さく、厚い膜厚に形成することが可能で、ソース電極(SD1)、ドレイン電極(SD2)および映像信号線(DL)の抵抗値を低減したり、ゲート電極(GT)やi型半導体層(AS) [0097] conductive film of aluminum (Al) system, chromium (Cr) reduced stress as compared with the film, it can be formed into a thick film, a source electrode (SD1), the drain electrode (SD2) and video signal linear or reducing the resistance value of (DL), a gate electrode (GT) and i-type semiconductor layer (AS)
に起因する段差乗り越えを確実にする(ステップカバーレッジを良くする)働きがある。 There are (to improve step coverage) serves to ensure overcome step due to.

【0098】また、導電膜(d1)、導電膜(d2)を同じマスクパターンでパターニングした後、同じマスクを用いて、あるいは、導電膜(d1)、導電膜(d2) [0098] The conductive film (d1), after patterning the conductive film (d2) in the same mask pattern, using the same mask, or the conductive film (d1), the conductive film (d2)
をマスクとして、N(+)型半導体層(d0)が除去される。 As a mask, N (+) type semiconductor layer (d0) is removed.

【0099】つまり、i型半導体層(AS)上に残っていたN(+)型半導体層(d0)は導電膜(d1)、導電膜(d2)以外の部分がセルフアラインで除去される。 [0099] That is, i-type semiconductor layer (AS) remaining on have been N (+) type semiconductor layer (d0) the conductive film (d1), parts other than the conductive film (d2) is removed with self-alignment.

【0100】このとき、N(+)型半導体層(d0)はその厚さ分は全て除去されるようエッチングされるので、i型半導体層(AS)も若干その表面部分がエッチングされるが、その程度はエッチング時間で制御すればよい。 [0100] At this time, since the N (+) type semiconductor layer (d0) is etched to be removed in its entirety the thickness of the, i-type semiconductor layer (AS) is also a surface portion thereof slightly etched, the degree may be controlled by the etching time.

【0101】《映像信号線(DL)》映像信号線(D [0101] "the video signal line (DL)" the video signal lines (D
L)は、ソース電極(SD1)、ドレイン電極(SD L), the source electrode (SD1), drain electrode (SD
2)と、同じく、導電膜(d1)と、その上に形成された導電膜(d2)とで構成されている。 2) Similarly, the conductive film (d1), is composed out with the conductive film (d2) which is formed thereon.

【0102】また、映像信号線(DL)は、ソース電極(SD1)、ドレイン電極(SD2)と同層に形成され、さらに、像信号線(DL)は、ドレイン電極(SD [0102] Further, the video signal lines (DL), the source electrode (SD1), is formed in the same layer as the drain electrode (SD2), further, an image signal line (DL), the drain electrode (SD
2)と一体に構成されている。 2) and are integrally formed.

【0103】《画素電極(SL)》画素電極(SL) [0103] "pixel electrode (SL)" pixel electrode (SL)
は、ソース電極(SD1)、ドレイン電極(SD2) The source electrode (SD1), the drain electrode (SD2)
と、同じく、導電膜(d1)と、その上に形成された導電膜(d2)とで構成されている。 When, like, the conductive film (d1), is composed out with the conductive film (d2) which is formed thereon.

【0104】また、画素電極(SL)は、ソース電極(SD1)、ドレイン電極(SD2)と同層に形成され、さらに、画素電極(SL)は、ソース電極(SD [0104] Further, the pixel electrode (SL) is a source electrode (SD1), is formed in the same layer as the drain electrode (SD2), further, the pixel electrode (SL) is a source electrode (SD
1)と一体に構成されている。 1) and are integrally formed.

【0105】《蓄積容量(Cstg)》画素電極(S [0105] "storage capacitance (Cstg)" pixel electrode (S
L)は、薄膜トランジスタ(TFT)と接続される端部と反対側の端部において、対向電圧信号線(CL)と重なるように構成されている。 L), at the end opposite the end connected with the thin-film transistor (TFT), and is configured to overlap the counter voltage signal line (CL).

【0106】この重ね合わせは、図4からも明らかなように、画素電極(SL)を一方の電極(PL2)とし、 [0106] The superposition, as is apparent from FIG. 4, the pixel electrodes (SL) as one electrode (PL2),
対向電圧信号(CL)を他方の電極(PL1)とする蓄積容量(静電容量素子)(Cstg)を構成する。 Counter voltage signal (CL) constituting the storage capacitor to the other electrode (PL1) (capacitance element) (Cstg).

【0107】この蓄積容量(Cstg)の誘電体膜は、 [0107] The dielectric film of this storage capacitance (Cstg) is
薄膜トランジスタ(TFT)のゲート絶縁膜として使用される絶縁膜(GI)および陽極酸化膜(AOF)で構成されている。 It is composed of a thin film transistor insulating film (GI) and the anode oxide film used as a gate insulating film (TFT) (AOF).

【0108】図1に示すように平面的には蓄積容量(C [0108] The planar as shown in Figure 1 the storage capacitor (C
stg)は、対向電圧信号線(CL)の導電膜(g1) stg), the conductive film of the counter voltage signal line (CL) (g1)
の部分に形成されている。 They are formed in portions.

【0109】《保護膜(PSV)》薄膜トランジスタ(TFT)上には、保護膜(PSV)が設けられている。 [0109] On "the protective film (PSV)" thin-film transistor (TFT), a protective film (PSV) is provided.

【0110】保護膜(PSV)は、主に薄膜トランジスタ(TFT)を湿気等から保護するために設けられており、透明性が高く、しかも、耐湿性の良いものを使用する。 [0110] protective layer (PSV) is mainly provided for protecting the thin film transistor (TFT) from moisture or the like, high transparency, moreover, to use a good humidity resistance.

【0111】保護膜(PSV)は、例えば、プラズマC [0111] The protective film (PSV) is, for example, plasma C
VD装置で形成した酸化シリコン膜や窒化シリコン膜で形成されており、1μm程度の膜厚に形成する。 VD device is formed of a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by, formed to a thickness of about 1 [mu] m.

【0112】保護膜(PSV)は、表示マトリクス部(AR)の全体を囲むように形成され、周辺部は外部接続端子(DTM、GTM)を露出されるように除去されている。 [0112] protective layer (PSV) is formed so as to surround the entire display matrix section (AR), the peripheral portion is removed to expose the external connection terminal (DTM, GTM).

【0113】保護膜(PSV)とゲート絶縁膜(GI) [0113] The protective film (PSV) and the gate insulating film (GI)
の厚さ関係に関しては、前者は保護効果を考え厚くされ、後者はトランジスタの相互コンダクタンス(gm) With respect to the thickness relationship of the former is thicker considered a protective effect, the latter transistor transconductance (gm)
を考え薄くされる。 A is thinned thought.

【0114】従って、保護効果の高い保護膜(PSV) [0114] Therefore, a high protective effect protective film (PSV)
は、周辺部もできるだけ広い範囲に亘って保護するようゲート絶縁膜(GI)よりも大きく形成されている。 Is larger than the gate insulating film (GI) to protect Over periphery in as wide a range as possible.

【0115】《カラーフィルタ基板》次に、図1、図2 [0115] "color filter substrate" Then, as shown in FIGS. 1, 2
に戻り、上部透明ガラス基板(SUB2)側(カラーフィルタ基板)の構成を詳しく説明する。 The return will be described in detail a configuration of the upper transparent glass substrate (SUB2) side (color filter substrate).

【0116】《遮光膜(BM)》上部透明ガラス基板(SUB2)側には、不要な間隙部(画素電極(SL) [0116] "light shielding film (BM)" in the upper transparent glass substrate (SUB2) side, an unnecessary gap (pixel electrode (SL)
と対向電極(CL')の間以外の隙間)からの透過光が表示面側に出射して、コントラスト比等を低下させないように遮光膜(BM)(いわゆるブラックマトリクス) A counter electrode (CL ') transmitted light from the gap) than between is emitted to the display surface side, the light shielding film so as not to reduce the contrast ratio and the like (BM) (so-called black matrix)
が形成される。 There is formed.

【0117】遮光膜(BM)は、外部光またはバックライト光がi型半導体層(AS)に入射しないようにする役割も果たしている。 [0117] shielding film (BM) also plays a role to make the external light or backlight from entering the i-type semiconductor layer (AS).

【0118】すなわち、薄膜トランジスタ(TFT)のi型半導体層(AS)は上下にある遮光膜(BM)および大き目のゲート電極(GT)によってサンドイッチにされ、外部の自然光やバックライト光が当たらなくなる。 [0118] That is, i-type semiconductor layer of a thin film transistor (TFT) (AS) is sandwiched by the light blocking film (BM) and larger gate electrode at the top and bottom (GT), not shielded from external natural light and backlight.

【0119】図1に示す遮光膜(BM)の閉じた多角形の輪郭線は、その内側が遮光膜(BM)が形成されない開口を示している。 [0119] closed polygonal contour of the light-shielding film shown in FIG. 1 (BM), the inner side shows the opening where the light-shielding film (BM) is not formed.

【0120】遮光膜(BM)は、光に対する遮蔽性を有し、かつ、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間の電界に影響を与えないように絶縁性の高い膜で形成されており、本発明の実施の形態では、黒色の顔料をレジスト材に混入し、1.2μm程度の厚さに形成している。 [0120] shielding film (BM) has a shielding property against light, and formed of a film having high insulating property so as not to affect the electric field between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL ') It is, in the embodiment of the present invention, by mixing a black pigment into a resist material, is formed to a thickness of about 1.2 [mu] m.

【0121】遮光膜(BM)は、各画素の周囲に格子状に形成され、この格子で1画素の有効表示領域が仕切られている。 [0121] shielding film (BM) is formed in a lattice pattern around each pixel, the effective display area of ​​one pixel in this grid is partitioned.

【0122】従って、各画素の輪郭が遮光膜(BM)によってはっきりとする。 [0122] Thus, the contour of each pixel is clearly by the light blocking film (BM).

【0123】つまり、遮光膜(BM)は、ブラックマトリクスとi型半導体層(AS)に対する遮光との2つの機能をもつ。 [0123] That is, the light shielding film (BM) has two functions of the light-shielding black matrix and the i-type semiconductor layer to the (AS).

【0124】遮光膜(BM)は、周辺部にも額縁状に形成され、そのパターンは、ドット状に複数の開口を設けた図1に示すマトリクス部のパターンと連続して形成されている。 [0124] shielding film (BM) is also formed in a frame shape on the periphery, the pattern is formed continuously with the pattern of the matrix portion shown in FIG. 1 having a plurality of openings in a dot shape.

【0125】周辺部の遮光膜(BM)は、シール部(S [0125] shielding film in the peripheral portion (BM), the sealing portion (S
LP)の外側に延長され、パソコン等の実装機に起因する反射光等の漏れ光が表示マトリクス部に入り込むのを防いでいる。 Is extended to the outside of the LP), the leakage light such as reflection light resulting from mounting machine such as a personal computer is prevented from entering the display matrix section.

【0126】他方、この遮光膜(BM)は上部透明ガラス基板(SUB2)の縁よりも約0.3〜1.0mm程内側に留められ、上部透明ガラス基板(SUB2)の切断領域を避けて形成されている。 [0126] On the other hand, this light blocking film (BM) is fastened to the inside approximately 0.3~1.0mm than the edge of the upper transparent glass substrate (SUB2), to avoid the cutting region of the upper transparent glass substrate (SUB2) It is formed.

【0127】《カラーフィルタ(FIL)》カラーフィルタ(FIL)は、画素に対向する位置に赤、緑、青の繰り返しでストライプ状に形成され、また、カラーフィルタ(FIL)は、遮光膜(BM)のエッジ部分と重なるように形成されている。 [0127] "color filter (FIL)" color filter (FIL) is in a position facing the pixel red, green, formed in stripes in repeating blue The color filter (FIL) is the light shielding film (BM It is formed so as to overlap an edge portion of the).

【0128】カラーフィルタ(FIL)は、次のようにして形成することができる。 [0128] The color filter (FIL) can be formed as follows.

【0129】まず、上部透明ガラス基板(SUB2)の表面にアクリル系樹脂等の染色基材を形成し、フォトリソグラフィ技術で赤色フィルタ形成領域以外の染色基材を除去する。 [0129] First, acrylic dyeing substrate formed of such a resin on the surface of the upper transparent glass substrate (SUB2), to remove the dyeing base material other than the red filter forming region by a photolithography technique.

【0130】この後、染色基材を赤色染料で染め、固着処理を施し、赤色フィルタ(R)を形成する。 [0130] After this, dyed dyed material with a red dye and fixed to form a red filter (R).

【0131】つぎに、同様な工程を施すことによって、 [0131] Next, by performing the same process,
緑色フィルタ(G)、青色フィルタ(B)を順次形成する。 Green filter (G), are sequentially formed blue filter (B).

【0132】《オーバーコート膜(OC)》オーバーコート膜(OC)は、カラーフィルタ(FIL)から染料が液晶層(LCD)へ漏洩するのを防止し、および、カラーフィルタ(FIL)、遮光膜(BM)による段差を平坦化するために設けられている。 [0132] "overcoat film (OC)" overcoat film (OC) prevents dye from the color filter (FIL) is a leaking into the liquid crystal layer (LCD), and a color filter (FIL), the light-shielding film It is provided in order to planarize the step due to (BM).

【0133】オーバーコート膜(OC)はたとえばアクリル樹脂、エポキシ樹脂等の透明樹脂材料で形成されている。 [0133] The overcoat layer (OC), for example is formed of a transparent resin material such as an acrylic resin, an epoxy resin.

【0134】《表示マトリクス部(AR)周辺の構成》 [0134] "display matrix portion (AR) peripheral configuration"
図5は、上下の透明ガラス基板(SUB1、SUB2) 5, the upper and lower transparent glass substrates (SUB1, SUB2)
を含む表示パネル(PNL)の表示マトリクス(AR) Display matrix of the display panel, including (PNL) (AR)
部周辺の要部平面を示す図である。 Parts is a diagram showing a principal plan around.

【0135】また、図6は、左側に走査回路が接続されるべき外部接続端子(GTM)付近の断面を、右側に外部接続端子がないところのシール部付近の断面を示す図である。 [0135] FIG. 6 is an external connection terminal (GTM) near the cross-section to the scanning circuit to the left is connected, a diagram showing a cross section of the vicinity of the seal portion where no external connection terminal on the right.

【0136】このパネルの製造では、小さいサイズであれば、スループット向上のため1枚のガラス基板で複数個分のデバイスを同時に加工してから分割し、また、大きいサイズであれば、製造設備の共用のためどの品種でも標準化された大きさのガラス基板を加工してから、各品種に合ったサイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を経てからガラスを切断する。 [0136] In the manufacture of this panel, if small in size, divided from simultaneously processing a plurality fraction of the device in one glass substrate for improving throughput, also, if a large size, the manufacturing equipment after processing the glass substrate of a standardized size in any breed for shared, reducing the size to suit each model, in either case the glass is cut through the one way process.

【0137】図5、図6は後者の例を示すもので、図5、図6の両図とも上下透明ガラス基板(SUB1、S [0137] Figure 5, Figure 6 shows the latter example, FIG. 5, both figures both the upper and lower transparent glass substrate (SUB1, S in FIG. 6
UB2)の切断後を表しており、図5に示すLNは両基板の切断前の縁を示す。 Represents the post-cleavage of UB2), LN shown in FIG. 5 shows the edges before cutting the two substrates.

【0138】いずれの場合も、完成状態では外部接続端子群(Tg、Td)および端子(CTM)(添字略)が存在する(図で上辺と左辺の)部分は、それらが露出されるように上部透明ガラス基板(SUB2)の大きさが下部透明ガラス基板(SUB1)よりも内側に制限されている。 [0138] In any case, the external connection terminal group in a completed state (Tg, Td) and a terminal (CTM) (subscript omitted) are present (the upper side and the left side in the figure) part, as they are exposed the size of the upper transparent glass substrate (SUB2) is limited to the inside than the lower transparent glass substrate (SUB1).

【0139】端子群(Tg、Td)は、それぞれ後述する走査回路接続用端子(GTM)、映像信号回路接続用端子(DTM)とそれらの引出配線部を集積回路チップ(CHI)が搭載されたテープキャリアパッケージ(T [0139] terminals (Tg, Td), the scanning circuit connection terminals which will be described later, respectively (GTM), a video signal circuit connecting terminals (DTM) and the integrated circuit chip thereof lead wire sections (CHI) is mounted tape carrier package (T
CP)(図16、図17)の単位に複数本まとめて名付けたものである。 CP) (FIG. 16, in which a plurality of collectively named the unit of Figure 17).

【0140】各群の表示マトリクス部から外部接続端子部に至るまでの引出配線は、両端に近づくにつれ傾斜している。 [0140] lead wire to the external connection terminal portion from the display matrix section of each group are inclined as they approach both ends.

【0141】これは、パッケージ(TCP)の配列ピッチ及び各パッケージ(TCP)における接続端子ピッチに表示パネル(PNL)の端子(DTM、GTM)を合わせるためである。 [0141] This is to align the package (TCP) arrangement pitch and the terminal of the connection terminal pitch in the display panel (PNL) in each package (TCP) of (DTM, GTM).

【0142】また、対向電極端子(CTM)は、対向電極(CL')に対向電圧(Vcom)を外部回路から与えるための端子である。 [0142] The counter electrode terminal (CTM) is a terminal for applying to the counter electrode (CL ') opposite voltage (Vcom) from the external circuit.

【0143】表示マトリクス部の対向電圧信号線(C [0143] The display matrix section of the counter voltage signal line (C
L)は、走査回路用端子(GTM)の反対側(図では右側)に引き出し、各対向電圧信号線(CL)を共通バスライン(CB)(対向電極接続信号線)で一纏めにして、対向電極端子(CTM)に接続している。 L) is opposite (drawer on the right side) in the figure, it is collectively on each counter voltage signal line (CL) common bus line (CB) (counter electrode connected signal lines) of the scanning circuit terminals (GTM), opposite It is connected to the electrode terminal (CTM).

【0144】透明ガラス基板(SUB1、SUB2)の間にはその縁に沿って、液晶封入口(INJ)を除き、 [0144] Between the transparent glass substrates (SUB1, SUB2) along their edges, except for a liquid crystal filling port (INJ),
液晶層(LCD)を封止するようにシールパターン(S Seal pattern so as to seal the liquid crystal layer (LCD) (S
LP)が設けられる。 LP) is provided.

【0145】シールパターン(SLP)は、例えば、エポキシ樹脂から形成される。 [0145] seal pattern (SLP) is formed, for example, from epoxy resin.

【0146】配向膜(OR1、OR2)の層は、シールパターン(SLP)の内側に形成され、また、偏光板(POL1、POL2)は、それぞれ下部透明ガラス基板(SUB1)、上部透明ガラス基板(SUB2)の外側の表面に形成されている。 [0146] layer of the alignment film (OR1, OR @ 2) is formed inside the seal pattern (SLP), The polarizing plate (POL1, POL2), respectively lower transparent glass substrate (SUB1), the upper transparent glass substrate ( It is formed on the outer surface of SUB2).

【0147】液晶層(LCD)は、液晶分子の向きを設定する下部配向膜(OR1)と上部配向膜(OR2)との間でシールパターン(SLP)で仕切られた領域に封入される。 [0147] The liquid crystal layer (LCD) is enclosed in a region partitioned by the seal pattern (SLP) between the lower alignment layer to set the orientation of the liquid crystal molecules and (OR1) and an upper alignment layer (OR @ 2).

【0148】下部配向膜(OR1)は、下部透明ガラス基板(SUB1)側の保護膜(PSV)の上部に形成される。 [0148] lower alignment layer (OR1) is formed on the lower transparent glass substrate (SUB1) side of the protective film (PSV).

【0149】本発明の実施の形態の液晶表示装置では、 [0149] In the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention,
下部透明ガラス基板(SUB1)、上部透明ガラス基板(SUB2)を別個に種々の層を積み重ねて形成した後、シールパターン(SLP)を上部透明ガラス基板(SUB2)側に形成し、下部透明ガラス基板(SUB The lower transparent glass substrate (SUB1), was formed by stacking the various layers of the upper transparent glass substrate (SUB2) separately, forming a seal pattern (SLP) to the upper transparent glass substrate (SUB2) side, the lower transparent glass substrate (SUB
1)と上部透明ガラス基板(SUB2)とを重ね合わせ、シールパターン(SLP)の開口部(INJ)から液晶(LCD)を注入し、注入口(INJ)をエポキシ樹脂などで封止し、上下基板を切断することによって組み立てられる。 1) and superposed upper and transparent glass substrates (SUB2), and injection apertures from (INJ) liquid crystals (LCD) of the seal pattern (SLP), inlet and (INJ) sealed with an epoxy resin, the upper and lower assembled by cutting the substrate.

【0150】《ゲート端子(GTM)部》図7は、表示マトリクス部(AR)の走査信号線(GL)からその外部接続端子であるゲート端子(GTM)までの接続構造を示す図であり、図7(A)は、平面図であり、図7 [0150] "gate terminal (GTM) unit" FIG. 7 is a diagram showing a connection structure of the scanning signal lines from the (GL) to the gate terminal (GTM) is its external connection terminals of the display matrix section (AR), 7 (a) is a plan view, FIG. 7
(B)は、図7(A)に示すB−B切断線における断面図である。 (B) is a cross-sectional view taken along B-B cutting line shown in FIG. 7 (A).

【0151】なお、図7は、図5における下方付近に対応し、斜め配線の部分は便宜状一直線状で表した。 [0151] Incidentally, FIG. 7 corresponds to the vicinity of the lower in Fig. 5, the portion of the oblique line is expressed for convenience like straight line.

【0152】図7において、AOはホトレジスト直接描画の境界線、言い換えれば選択的陽極酸化のホトレジストパターンである。 [0152] In FIG. 7, AO is photoresist direct drawing borders, a photoresist pattern for selective anodic oxidation in other words.

【0153】従って、このホトレジストは陽極酸化後除去され、図7に示すパターン(AO)は完成品としては残らないが、ゲート配線(GL)には断面図に示すように酸化膜(AOF)が選択的に形成されるのでその軌跡が残ることになる。 [0153] Thus, the photoresist is removed after the anodic oxidation, but does not remain as a pattern (AO) is finished product shown in FIG. 7, oxide film as shown in the sectional view in the gate line (GL) (AOF) is since it is selectively formed so that its trajectory remains.

【0154】図7(A)の平面図において、ホトレジストの境界線(AO)を基準にして左側はレジストで覆い陽極酸化をしない領域、右側はレジストから露出され陽極酸化される領域である。 [0154] In a plan view of FIG. 7 (A), the left and photoresist boundary line (AO) in the standard region not anodized is covered with a resist, the right is the area which is anodized is exposed from the resist.

【0155】陽極酸化されたアルミニウム(AL)系の導電膜(g1)は、表面にアルミニウム酸化膜(Al2 [0155] anodized aluminum (AL) based conductive film (g1) is aluminum surface oxide film (Al2
O3)が形成され下方の導電部は体積が減少する。 O3) conductive portions of the lower formed the volume is reduced.

【0156】勿論、陽極酸化はその導電部が残るように適切な時間、電圧などを設定して行われる。 [0156] Of course, anodization its conductive parts appropriate time to leave, is performed by setting such as a voltage.

【0157】図7において、アルミニウム(AL)系の導電膜(g1)は、判り易くするためハッチを施してあるが、陽極化成されない領域は櫛状にパターニングされている。 [0157] In FIG. 7, aluminum (AL) based conductive film (g1) is are hatched for easy understanding, but areas not anodized is patterned in a comb shape.

【0158】これは、アルミニウム(Al)系の導電膜の幅が広いと表面にホイスカが発生するので、1本1本の幅は狭くし、それらを複数本並列に束ねた構成とすることにより、ホイスカの発生を防ぎつつ、断線の確率や導電率の犠牲を最低限に押さえる狙いである。 [0158] This is because the whiskers on an aluminum (Al) based conductive wider the surface of the film is generated by narrowing the one single width, and they were bundled into a plurality of parallel configuration , while preventing the occurrence of whiskers, a aim to suppress the sacrifice of the probability and the conductivity of the disconnection to a minimum.

【0159】ゲート端子(GTM)は、アルミニウム(Al)系の導電膜(g1)と、更にその表面を保護し、かつ、TCP(Tape Carrier Pac [0159] The gate terminal (GTM) is aluminum (Al) based conductive film (g1), and further protect the surface, and, TCP (Tape Carrier Pac
kege)との接続の信頼性を向上させるための透明導電膜(g2)とで形成されている。 It is formed out with a transparent conductive film (g2) for improving the reliability of the connection between kege).

【0160】この透明導電膜(g2)は、スパッタリングで形成された透明導電膜(Indium−Tin−O [0160] The transparent conductive film (g2) is formed by sputtering a transparent conductive film (Indium-Tin-O
xide ITO:ネサ膜)からなり、1000〜20 xide ITO: Nesa film) made from, 1000-20
00オングストロームの厚さに(本発明の実施の形態では、1400オングストローム程度の膜厚)形成される。 (In the embodiment of the present invention, the thickness of about 1400 Angstroms) 00 angstroms in thickness is formed.

【0161】また、アルミニウム(Al)系の導電膜(g1)上、および、その側面部に形成された導電膜(d1)は、導電膜(g1)と透明導電膜(g2)との接続不良を補うために、導電膜(g1)と透明導電膜(g2)との両方に接続性の良いクロム(Cr)層(d [0161] Further, on an aluminum (Al) based conductive film (g1), and a conductive film formed on the side surface portion (d1), the connection between the conductive film (g1) and the transparent conductive film (g2) poor to compensate for the conductive films (g1) and both connection having good chromium (Cr) layer and the transparent conductive film (g2) (d
1)を接続し、接続抵抗の低減を図るためのものであり、導電膜(d2)は導電膜(d1)と同一マスクで形成しているために残っているものである。 1) Connect the provided for reducing the connection resistance, a conductive film (d2) are those remaining to have formed in the same mask and the conductive film (d1).

【0162】図7(A)の平面図において、ゲート絶縁膜(GI)は、その境界線(AO)よりも右側に、保護膜(PSV)は、その境界線(AO)よりも左側に形成されており、左端に位置する端子部(GTM)はそれらから露出し外部回路との電気的接触ができるようになっている。 [0162] In a plan view of FIG. 7 (A), a gate insulating film (GI), the right side of the boundary line than the (AO), the protective film (PSV) is formed on the left side than its boundary (AO) are, the terminal portions located at the left end (GTM) is adapted to be electrical contact with an external circuit is exposed therefrom.

【0163】図7では、ゲート線(GL)とゲート端子の一つの対のみが示されているが、実際はこのような対が上下に複数本並べられて、図5に示す端子群(Tg) [0163] In Figure 7, the gate line and (GL) only one pair of gate terminals are shown, in practice such pairs are arranged a plurality of vertically, the terminal group shown in FIG. 5 (Tg)
が構成され、ゲート端子の左端は、製造過程では、下部透明ガラス基板(SUB1)の切断領域を越えて延長され配線(SHg)(図示せず)によって短絡される。 There is constructed, the left end of the gate terminal, the manufacturing process is short-circuited by extending beyond the cutting area of ​​the lower transparent glass substrate (SUB1) wiring (SHg) (not shown).

【0164】製造過程におけるこのような短絡線(SH [0164] Such a short-circuit line in the manufacturing process (SH
g)は、陽極化成時の給電と、配向膜(OR1)のラビング時等の静電破壊防止に役立つ。 g) comprises a power supply during anodization, help prevent electrostatic breakdown of the isochronous rubbing the orientation film (OR1).

【0165】《ドレイン端子(DTM)部》図8は、表示マトリクス部(AR)の映像信号線(DL)からその外部接続端子であるドレイン端子(DTM)までの接続を示す図であり、図8(A)はその平面図であり、図8 [0165] "drain terminal (DTM) unit" FIG. 8 is a diagram showing the connection of the video signal line from (DL) drain to the terminal (DTM) is its external connection terminals of the display matrix section (AR), FIG. 8 (a) is a plan view thereof, FIG. 8
(B)は、図8(A)に示すB−B切断線における断面図である。 (B) is a cross-sectional view taken along B-B cutting line shown in FIG. 8 (A).

【0166】なお、図8は、図5における右上付近に対応し、図面の向きは便宜上変えてあるが右端方向が下部透明ガラス基板(SUB1)の上端部に該当する。 [0166] Incidentally, FIG. 8 corresponds to the vicinity of the upper right in FIG. 5, the drawing orientation are changed for convenience right end direction corresponds to the upper end of the lower transparent glass substrate (SUB1).

【0167】図8において、TSTdは検査端子であり、ここには外部回路は接続されないが、プローブ針等を接触できるよう配線部より幅が広げられている。 [0167] In FIG. 8, TSTd is an inspection terminal, here is an external circuit is not connected, and the width is widened than the wiring portion so that it can contact the probe needles or the like.

【0168】同様に、ドレイン端子(DTM)も外部回路との接続ができるよう配線部より幅が広げられている。 [0168] and similarly, the drain terminal (DTM) is also wider than the wiring portion to allow connection to an external circuit is expanded.

【0169】ドレイン端子(DTM)は複数本上下方向に並べられ、図5に示す端子群(Td)(添字省略)を構成し、さらに、ドレイン端子(DTM)は、下部透明ガラス基板(SUB1)の切断線を越えて延長され、製造過程中は静電破壊防止のためその全てが互いに配線(SHd)(図示せず)によって短絡される。 [0169] The drain terminal (DTM) is arranged in a plurality of vertically, the terminal group shown in FIG. 5 (Td) constitute (subscript is omitted), and further, the drain terminal (DTM), the lower transparent glass substrate (SUB1) is extended beyond the cutting line, are short-circuited by all wiring to each other for during the manufacturing process preventing electrostatic breakdown (SHd) (not shown).

【0170】検査端子(TSTd)は、図8に示すように一本置きの映像信号線(DL)に設けられる。 [0170] inspection terminals (TSTd) is provided one every other video signal line as shown in FIG. 8 (DL).

【0171】ドレイン接続端子(DTM)は、透明導電膜(g2)の単層で形成されており、ゲート絶縁膜(G [0171] The drain connection terminal (DTM) is a single layer of the transparent conductive film (g2), a gate insulating film (G
I)を除去した部分で映像信号線(DL)と接続されている。 It is connected to the video signal line (DL) by removing portions of I).

【0172】ゲート絶縁膜(GI)の端部上に形成された半導体層(AS)は、ゲート絶縁膜(GI)の縁をテーパ状にエッチングするためのものである。 [0172] The gate insulating film semiconductor layer formed on the end of (GI) (AS) is used to etch the edge of the gate insulating film (GI) in a tapered shape.

【0173】ドレイン接続端子(DTM)上では、外部回路との接続を行うため保護膜(PSV)は勿論のこと取り除かれている。 [0173] on the drain connection terminal (DTM), a protective layer for connection to an external circuit (PSV) are removed of course.

【0174】表示マトリクス部(AR)からドレイン端子部(DTM)までの引出配線は、映像信号線(DL) [0174] lead wire from the display matrix section (AR) to the drain terminal portion (DTM), the video signal lines (DL)
と同じレベルの導電膜(d1、d2)が、保護膜(PS The same level of the conductive film and (d1, d2) is, the protective film (PS
V)の途中まで構成されており、保護膜(PSV)の中で透明導電膜(g2)と接続されている。 It is configured halfway through the V), and is connected to the transparent conductive film (g2) in the protective film (PSV).

【0175】これは、電触し易いアルミニウム(Al) [0175] This is, Densawa easy aluminum (Al)
系の導電膜(d2)を保護膜(PSV)やシールパターン(SLP)でできるだけ保護する狙いである。 It is aimed at as far as possible protected with a conductive film (d2) a protective layer of the system (PSV) and the seal pattern (SLP).

【0176】《対向電極端子(CTM)》図9は、対向電圧信号線(CL)からその外部接続端子である対向電極端子(CTM)までの接続を示す図であり、図9 [0176] "counter electrode terminal (CTM)" Fig. 9 is a diagram showing the connection from the counter voltage signal line (CL) to the opposite electrode terminals (CTM) is its external connection terminal, FIG. 9
(A)は、その平面図であり、図9(B)は、図9 (A) is a plan view thereof, FIG. 9 (B) 9
(A)に示すB−B切断線における断面図である。 It is a sectional view of B-B section line shown in (A).

【0177】なお、図9は、図5における左上付近に対応する。 [0177] Note that FIG 9 corresponds to the vicinity of the upper left in FIG.

【0178】各対向電圧信号線(CL)は、共通バスライン(CB)で一纏めして対向電極端子(CTM)に引き出されている。 [0178] Each counter voltage signal line (CL) is drawn to the counter electrode terminal (CTM) and collectively by the common bus line (CB).

【0179】共通バスライン(CB)は、導電膜(g [0179] a common bus line (CB), the conductive film (g
1)の上に導電膜(d1)、導電膜(d2)を積層した構造となっている。 Conductive (d1) on the 1) has a structure formed by stacking a conductive film (d2).

【0180】これは、共通バスライン(CB)の抵抗を低減し、対向電圧が外部回路から各対向電圧信号線(C [0180] It is common resistance of the bus line (CB) to reduce, the counter voltage signal line counter voltage from an external circuit (C
L)に十分に供給されるようにするためである。 L) to in order to be sufficiently supplied.

【0181】この構造によれば、特に新たに導電膜を付加することなく、共通バスライン(CB)の抵抗を下げられるのが特徴である。 [0181] According to this structure, in particular without newly adding a conductive film, the lowered resistance of the common bus line (CB) is characterized.

【0182】共通バスライン(CB)の導電膜(g1) [0182] conductive film of the common bus line (CB) (g1)
は、導電膜(d1)、導電膜(d2)と電気的に接続されるように、陽極参加はされておらず、また、ゲート絶縁膜(GI)からも露出している。 The conductive film (d1), so as to be connected to the conductive film (d2) electrically, the anode participation has been yet not also exposed from the gate insulating film (GI).

【0183】対向電極端子(CTM)は、導電膜(g [0183] The counter electrode terminal (CTM), the conductive film (g
1)の上に透明導電膜(g2)が積層された構造になっている。 Transparent conductive film (g2) is in the laminated structure on the 1).

【0184】このように、その表面を保護し、また、電食等を防ぐために耐久性のよい透明導電膜(g2)で、 [0184] Thus, to protect the surface, and in durable good transparent conductive film (g2) in order to prevent electric food or the like,
導電膜(g1)を覆っている。 Covering the conductive film (g1).

【0185】《表示装置全体等価回路》図10は、表示マトリクス部(AR)の等価回路とその周辺回路の結線図を示す図である。 [0185] "display overall equivalent circuit" 10 is a diagram showing a connection diagram of an equivalent circuit and its peripheral circuits of the display matrix portion (AR).

【0186】なお、図10は、回路図ではあるが、実際の幾何学的配置に対応して描かれている。 [0186] Incidentally, FIG. 10, albeit in a schematic, is drawn to correspond to the actual geometric arrangement.

【0187】図10において、ARは、複数の画素を二次元状に配列した表示マトリクス部(マトリクス・アレイ)を示している。 [0187] In FIG. 10, AR illustrates the display matrix portion in which a plurality of pixels two-dimensionally (the matrix array).

【0188】図10中、SLは画素電極であり、添字G、BおよびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応して付加されている。 [0188] In FIG. 10, SL denotes a pixel electrode, subscripts G, B and R are added respectively corresponding to green, blue and red pixels.

【0189】走査信号線(GL)のy0、y1、…、y [0189] scanning signal lines (GL) y0, y1, ..., y
endは走査タイミングの順序を示している。 end represents the order of the scanning timing.

【0190】走査信号線(GL)は垂直走査回路(V) [0190] scanning signal lines (GL) vertical scanning circuit (V)
に接続されており、映像信号線(DL)は映像信号駆動回路(H)に接続されている。 It is connected to the video signal line (DL) is connected to the video signal driver circuit (H).

【0191】回路(SUP)は、1つの電圧源から複数の分圧した安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上位演算処理装置)からのCRT(陰極線管) [0191] circuits (SUP) is, CRT from one power supply circuit for obtaining a plurality of dividing the stabilized voltage source from the voltage source and the host (host processor) (cathode ray tube)
用の情報を(TFT)液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路である。 Information use (TFT) is a circuit including a circuit for exchanging the information for the liquid crystal display device.

【0192】《駆動方法》図11は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における駆動時の駆動波形を示す図であり、図11(a)、図11(b)は、それぞれ、(i [0192] "driving method" FIG. 11 is a diagram showing driving waveforms in driving the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention, FIG. 11 (a), the FIG. 11 (b), respectively, (i
−1)番目、(i)番目の走査信号線(GL)に印加されるゲート電圧(走査信号電圧)(VG)を示している。 -1) th, shows (i) th gate voltage applied to the scanning signal lines (GL) (scan signal voltage) (VG).

【0193】また、図11(c)は、映像信号線(D [0193] Further, FIG. 11 (c), the video signal lines (D
L)に印加される映像信号電圧(VD)を示し、図11 Video signal voltage applied to L) indicates (VD), 11
(d)は、対向電極(CL')に印加される対向電圧(Vcom)を示している。 (D) shows the counter voltage applied to the counter electrode (CL ') (Vcom).

【0194】さらに、図11(e)は、(i)行、 [0194] Further, FIG. 11 (e) is, (i) rows,
(j)列の画素における画素電極(SL)に印加される画素電極電圧(Vs)を示し、図11(f)は、(i) (J) indicates a pixel electrode voltage applied to the pixel electrode (SL) in the pixel row (Vs), FIG. 11 (f) is, (i)
行、(j)列の画素の液晶層(LCD)に印加される電圧(VLC)を示している。 Row shows the voltage (VLC) to be applied to the (j) the liquid crystal layer of the pixel column (LCD).

【0195】本発明の実施の形態の液晶表示装置の駆動方法においては、図11(d)に示すように、対向電極(CL')に印加する対向電圧(Vcom)を、VCHとVCLの2値の交流矩型波にし、それに同期させてゲート電極(GT)に印加するゲート電圧(VG)の非選択電圧を1走査期間ごとに、VGLHとVGLLの2値で変化させる。 [0195] In the method for driving a liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 11 (d), the counter voltage applied to the counter electrode (CL ') (Vcom), the VCH and VCL 2 the AC rectangular type wave value, the non-selection voltage of the gate voltage applied to the gate electrode (GT) in synchronization (VG) for each scanning period it varied in binary VGLH and VGLL.

【0196】この場合に、対向電圧(Vcom)の振幅値と、ゲート電圧(VG)の非選択電圧の振幅値とは同一にする。 [0196] In this case, the same as the amplitude value of the counter voltage (Vcom), and the amplitude value of the non-selected voltage of the gate voltage (VG).

【0197】映像信号線(DL)に印加される映像信号電圧(VD)は、液晶層(LCD)に印加したい電圧から、対向電圧(VC)の振幅の1/2を差し引いた電圧(VSIG)である。 [0197] image signal voltage to be applied to the video signal line (DL) (VD) from the voltage to be applied to the liquid crystal layer (LCD), a voltage obtained by subtracting a half of the amplitude of the counter voltage (VC) (VSIG) it is.

【0198】対向電極(CL')に印加する対向電圧(Vcom)は直流でもよいが、交流化することで映像信号電圧(VD)の最大振幅を低減でき、映像信号駆動回路(信号側ドライバ)に耐圧の低いものを用いることが可能になる。 [0198] counter voltage applied to the counter electrode (CL ') (Vcom) may be a direct current, but can reduce the maximum amplitude of the video signal voltage (VD) by AC, the video signal driving circuit (signal side driver) it is possible to use a low withstand voltage.

【0199】《蓄積容量(Cstg)の働き》蓄積容量(Cstg)は、画素に書き込まれた(薄膜トランジスタ(TFT)がオフした後の)映像情報を、長く蓄積するために設ける。 [0199] "work of the storage capacitor (Cstg)" storage capacitance (Cstg) is written to the pixel video information (thin-film transistor (TFT) is after off), provided for storing long.

【0200】本発明の実施の形態のように、電界を基板面と平行に印加する方式では、電界を基板面に垂直に印加する方式と異なり、画素電極(SL)と対向電極(C [0200] As embodiments of the present invention, in a manner of applying an electric field parallel to the substrate surface, unlike the method of applying perpendicular electric field to the substrate surface, the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (C
L')とで構成される容量(いわゆる液晶容量(Cpi L ') and de composed capacitance (so-called liquid crystal capacitance (Cpi
x))がほとんど無いため、蓄積容量(Cstg)がないと映像情報を画素に蓄積することができない。 Since x)) is little, the storage capacitor (Cstg) is not unable to accumulate image information in a pixel.

【0201】したがって、電界を基板面と平行に印加する方式では、蓄積容量(Cstg)は必須の構成要素である。 [0202] Thus, in a manner of applying an electric field parallel to the substrate surface, the storage capacitance (Cstg) is an essential component.

【0202】また、蓄積容量(Cstg)は、薄膜トランジスタ(TFT)がスイッチングするとき、画素電極電位(Vs)に対するゲート電位変化(ΔVG)の影響を低減するようにも働く。 [0202] In addition, the storage capacitance (Cstg), when the thin film transistor (TFT) is switched, also works to reduce the influence of the gate potential change ([Delta] Vg) to the pixel electrode potential (Vs).

【0203】この様子を式で表すと、次のようになる。 [0203] and represent this state in the equation, is as follows.

【0204】 [0204]

【数1】ΔVs={Cgs/(Cgs+Cstg+Cp [Number 1] ΔVs = {Cgs / (Cgs + Cstg + Cp
ix)}×ΔVG ここで、Cgsは薄膜トランジスタ(TFT)のゲート電極(GT)とソース電極(SD1)との間に形成される寄生容量、Cpixは画素電極(SL)と対向電極(CL')との間に形成される容量、ΔVsはΔVGによる画素電極電位の変化分いわゆるフィードスルー電圧を表わす。 ix)} × ΔVG here, Cgs is a thin film transistor (parasitic capacitance formed between the gate electrode and the (GT) and a source electrode (SD1) of the TFT), Cpix is ​​the pixel electrode (SL) and the counter electrode (CL ') capacitance formed between the, .DELTA.Vs represents the change in the so-called feed-through voltage of the pixel electrode potential by [Delta] Vg.

【0205】この変化分(ΔVs)は、液晶層(LC [0205] This variation (ΔVs), the liquid crystal layer (LC
D)に加わる直流成分の原因となるが、保持容量(Cs Causing the DC component to be added to the D), but storage capacitor (Cs
tg)を大きくすればする程、その値を小さくすることができる。 The greater the tg), it is possible to reduce the value.

【0206】液晶層(LCD)に印加される直流成分の低減は、液晶層(LCD)の寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に前の画像が残るいわゆる焼き付きを低減することができる。 [0206] The DC component to be applied to the liquid crystal layer (LCD) can improve the service life of the liquid crystal layer (LCD), to reduce the so-called sticking the previous image remains at the time of switching the liquid crystal display screen.

【0207】前述したように、ゲート電極(GT)は、 [0207] As described above, the gate electrode (GT) is
i型半導体層(AS)を完全に覆うよう大きくされている分、ソース電極(SD1)、ドレイン電極(SD2) i-type semiconductor layer (AS) min, which is completely covered so large, the source electrode (SD1), the drain electrode (SD2)
とのオーバラップ面積が増え、従って寄生容量(Cg Increasing overlap area between, thus the parasitic capacitance (Cg
s)が大きくなり、画素電極電位(Vs)は、ゲート電圧(走査信号電圧)(VG)の影響を受け易くなるという逆効果が生じる。 s) is increased, the pixel electrode potential (Vs) is the inverse effect is easily affected by the gate voltage (scanning signal voltages) (VG) is produced.

【0208】しかし、蓄積容量(Cstg)を設けることによりこのデメリットも解消することができる。 [0208] However, it is also possible to eliminate this disadvantage by providing a storage capacitance (Cstg).

【0209】《製造方法》つぎに、前記した液晶表示装置の下部透明ガラス基板(SUB1)側の製造方法について図12〜図14を参照して説明する。 [0209] "production process" Next, a manufacturing method of the lower transparent glass substrate (SUB1) side of the liquid crystal display device described above will be described with reference to FIGS. 12 to 14 for.

【0210】なお、図12〜図14において、中央の文字は工程名の略称であり、左側は図3に示す薄膜トランジスタ(TFT)部分、右側は図7に示すゲート端子付近の断面形状でみた加工の流れを示す。 [0210] Note that, in FIGS. 12 to 14, the central character is an abbreviation of step names, left thin film transistor (TFT) portion shown in FIG. 3, right side as viewed in cross section around the gate terminal shown in FIG. 7 processing It shows the flow.

【0211】工程B、工程Dを除き、工程A〜工程Iは各写真処理に対応して区分けしたもので、各工程のいずれの断面図も写真処理後の加工が終わりフォトレジストを除去した段階を示している。 [0211] step B, except for step D, steps A~ step I obtained by dividing in correspondence with the photographic processing steps of processing after any cross section also photographic processing of each step is the removal of the photoresist end the shows.

【0212】なお、以下の説明においては、写真処理とは、フォトレジストの塗布からマスクを使用した選択露光を経てそれを現像するまでの一連の作業を示すものとし、繰返しの説明は避ける。 [0212] In the following description, the photographic processing, and shows a series of operations until the developing it through a selective exposure using a mask from the coating of photoresist, description of repeated avoid.

【0213】以下区分けした工程に従って、説明する。 [0213] according to the process that is divided will be described below.

【0214】(工程A、図12)ガラスからなる下部透明ガラス基板(SUB1)上に、膜厚が3000オングストロームのアルミニウム(Al)−パラジウム(P [0214] (Step A, Fig. 12) on the lower transparent glass substrate (SUB1) made of glass, thickness 3000 Å aluminum (Al) - palladium (P
d)、アルミニウム(Al)−シリコン(Si)、アルミニウム(Al)−タンタル(Ta)、アルミニウム(Al)−チタン(Ti)−タンタル(Ta)等からなる導電膜(g1)をスパッタリングにより形成する。 d), aluminum (Al) - silicon (Si), aluminum (Al) - tantalum (Ta), aluminum (Al) - Titanium (Ti) - tantalum (conductive film (g1 consisting Ta) or the like) is formed by sputtering .

【0215】写真処理後、リン酸と硝酸と氷酢酸と水との混酸液で導電膜(g1)を選択的にエッチングする。 [0215] After the photographic treatment, selectively etching the conductive film (g1) a mixed acid solution of phosphoric acid, nitric acid and glacial acetic acid and water.

【0216】それによって、ゲート電極(GT)、走査信号線(GL)、対向電極(CL')、対向電圧信号線(CL)、電極(PL1)、ゲート端子(GTM)、共通バスライン(CB)の第1導電膜、対向電極端子(C [0216] Thereby, the gate electrode (GT), the scanning signal lines (GL), the counter electrode (CL '), the counter voltage signal line (CL), the electrode (PL1), a gate terminal (GTM), a common bus line (CB the first conductive film, the opposite electrode terminals) (C
TM)の第1導電膜、ゲート端子(GTM)を接続する陽極酸化バスライン(SHg)(図示せず)および陽極酸化バスライン(SHg)に接続された陽極酸化パッド(図示せず)を形成する。 The first conductive film TM), without anodization bus line connecting the gate terminal (GTM) (SHg) (shown) and form an anodic oxidation connected anodized pad to the bus line (SHg) (not shown) to.

【0217】(工程B、図12)直接描画による陽極酸化マスク(AO)の形成後、3%酒石酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に調整した溶液をエチレングリコール液で1:9に稀釈した液からなる陽極酸化液中に下部透明ガラス基板(SUB1)を浸漬し、化成電流密度が0.5mA/cm 2になるように調整する(定電流化成)。 [0217] (step B, FIG. 12) directly after the formation of the anodic oxidation mask by drawing (AO), a solution of 3% tartaric acid was adjusted to pH 6.25 ± 0.05 with ammonia in ethylene glycol solution 1: 9 dilution the lower transparent glass substrate (SUB1) and immersed in the anodizing liquid consisting of liquid was, formation current density is adjusted to 0.5 mA / cm 2 (constant current Kasei).

【0218】次に、所定膜厚のアルミニウム酸化膜(A [0218] Next, a predetermined thickness of the aluminum oxide film (A
OF)が得られるのに必要な化成電圧125Vに達するまで陽極酸化を行う。 Anodic oxidation until OF) reaches the formation voltage 125V required is obtained.

【0219】その後、この状態で数10分保持することが望ましい(定電圧化成)。 [0219] Thereafter, it is desirable to retain a few 10 minutes in this state (constant voltage Kasei).

【0220】これは均一なアルミニウム酸化膜(AO [0220] This uniform aluminum oxide film (AO
F)を得る上で大事なことである。 F) it is important for achieving a.

【0221】それによって、導電膜(g1)が陽極酸化され、ゲート電極(GT)、走査信号線(GL)、対向電極(CL')、対向電圧信号線(CL)および電極(PL1)上に膜厚が1800オングストロームの陽極酸化膜(AOF)が形成される。 [0221] Thereby, the conductive film (g1) is anodized, the gate electrode (GT), the scanning signal lines (GL), the counter electrode (CL '), on the counter voltage signal line (CL) and the electrode (PL1) thickness 1800 Å anodic oxide film (AOF) is formed.

【0222】(工程C、図12)膜厚が1400オングストロームのITO膜からなる透明導電膜(g2)をスパッタリングにより形成する。 [0222] (Step C, Fig. 12) thickness is formed by sputtering a transparent conductive film (g2) formed of 1400 Å ITO film.

【0223】写真処理後、エッチング液として、塩酸と硝酸との混酸液で透明導電膜(g2)を選択的にエッチングすることにより、ゲート端子(GTM)の最上層、 [0223] After the photographic treatment, as an etching solution, by selectively etching the transparent conductive film (g2) a mixed acid solution of hydrochloric acid and nitric acid, the top layer of the gate terminal (GTM),
ドレイン端子(DTM)および対向電極端子(CTM) The drain terminal (DTM) and the counter electrode terminal (CTM)
の第2導電膜を形成する。 Forming a second conductive film.

【0224】(工程D、図13)プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒素ガスを導入して、膜厚が2200オングストロームの窒化シリコン膜(Si [0224] (Step D, Figure 13) the ammonia gas into a plasma CVD apparatus, silane gas, and nitrogen gas are introduced into the thickness 2200 Å silicon nitride film (Si
NX)を設け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入して、膜厚が2000オングストロームのi NX) and provided, by introducing silane gas, a hydrogen gas into a plasma CVD device, the film thickness is 2000 angstroms i
型非晶質シリコン(Si)膜を設けたのち、プラズマC After providing the type amorphous silicon (Si) film, a plasma C
VD装置に水素ガス、ホスフィンガスを導入して、膜厚が300オングストロームのN(+)型非晶質シリコン(Si)膜を設ける。 Hydrogen gas VD apparatus, by introducing phosphine gas, the film thickness is provided 300 Å N (+) - type amorphous silicon (Si) film.

【0225】(工程E、図13)写真処理後、ドライエッチングガスとして四塩化炭素(CCl4)、六弗化硫黄(SF6)を使用してN(+)型非晶質シリコン(S [0225] (Step E, Fig. 13) after photographic processing, carbon tetrachloride (CCl4) as a dry etching gas, using sulfur hexafluoride (SF6) N (+) type amorphous silicon (S
i)膜、i型非晶質シリコン(Si)膜を選択的にエッチングすることにより、i型半導体層(AS)の島を形成する。 i) film, by selectively etching the i-type amorphous silicon (Si) film, to form an island of the i-type semiconductor layer (AS).

【0226】(工程F、図13)写真処理後、ドライエッチングガスとして六弗化硫黄(SF6)を使用して、 [0226] (Step F, Fig. 13) after photographic processing, using hexafluoride sulfur (SF6) as a dry etching gas,
窒化シリコン膜を選択的にエッチングする。 The silicon nitride film is selectively etched.

【0227】(工程G、図14)膜厚が600オングストロームのクロム(Cr)からなる導電膜(d1)をスパッタリングにより設け、さらに膜厚が4000オングストロームのアルミニウム(Al)−タンタル(T [0227] (Step G, Fig. 14) thickness is provided by sputtering a conductive film (d1) consisting of 600 angstroms of chromium (Cr), further thickness 4000 Å aluminum (Al) - Tantalum (T
a)、アルミニウム(Al)−チタン(Ti)−タンタル(Ta)等からなる導電膜(d2)をスパッタリングにより設ける。 a), aluminum (Al) - Titanium (Ti) - tantalum (Ta) conductive film made of such as (d2) provided by sputtering.

【0228】写真処理後、導電膜(d2)を、リン酸と硝酸と氷酢酸と水とからなる混酸液でエッチングし、導電膜(d1)を硝酸第2セリウムアンモン液でエッチングし、映像信号線(DL)、ソース電極(SD1)、ドレイン電極(SD2)、画素電極(SL)、電極(PL [0228] After the photographic treatment, the conductive film (d2), and etched with a mixed acid solution composed of phosphoric acid, nitric acid and glacial acetic acid and water, the conductive film (d1) was etched with ceric nitrate ammon solution, video signal line (DL), the source electrode (SD1), the drain electrode (SD2), the pixel electrode (SL), the electrode (PL
2)、共通バスライン(CB)の第2導電膜、第3導電膜およびドレイン端子(DTM)を短絡するバスライン(SHd)(図示せず)を形成する。 2), to form the second conductive film common bus line (CB), a bus line for short-circuiting the third conductive film and the drain terminal (DTM) (SHd) (not shown).

【0229】なお、本発明の実施の形態で用いているレジスト材は、東京応化製半導体用レジストOFPR80 [0229] The resist material is used in the embodiment of the present invention, Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. for semiconductor resist OFPR80
0(商品名)を用いた。 0 (trade name) was used.

【0230】つぎに、ドライエッチング装置に四塩化炭素(CCl4)、六弗化硫黄(SF6)を導入して、N [0230] Next, carbon tetrachloride (CCl4) in a dry etching apparatus, by introducing sulfur hexafluoride (SF6), N
(+)型非晶質シリコン(Si)膜をエッチングすることにより、ソースとドレイン間のN(+)型半導体層(d0)を選択的に除去する。 (+) Type by etching the amorphous silicon (Si) film is selectively removed N between the source and the drain (+) type semiconductor layer (d0).

【0231】(工程H、図14)プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒素ガスを導入して、膜厚が1μmの窒化シリコン膜を設ける。 [0231] (Step H, Fig. 14) by introducing ammonia gas, silane gas, nitrogen gas into a plasma CVD device, the film thickness is provided a silicon nitride film of 1 [mu] m.

【0232】写真処理後、ドライエッチングガスとして六弗化硫黄(SF6)を使用した写真蝕刻技術で窒化シリコン膜を選択的にエッチングすることによって、保護膜(PSV)を形成する。 [0232] After the photographic treatment, by selectively etching the silicon nitride film by photolithography technique using hexafluoride sulfur (SF6) as a dry etching gas to form a protective film (PSV).

【0233】《表示パネル(PNL)と駆動回路基板P [0233] "display panel (PNL) and the drive circuit board P
CB1》図15は、図5等に示す表示パネル(PNL) CB1 "Figure 15 is a display panel shown in FIG. 5 or the like (PNL)
に映像信号駆動回路(H)と垂直走査回路(V)を接続した状態を示す平面図である。 It is a plan view showing a state of connecting the video signal driving circuit (H) and the vertical scanning circuit (V) to.

【0234】図15において、CHIは表示パネル(P [0234] In FIG. 15, CHI display panel (P
NL)を駆動させる駆動ICチップであり、図15に示す下側の5個は垂直走査回路側の駆動ICチップ、左の10個は映像信号駆動回路側の駆動ICチップである。 NL) is a drive IC chip for driving the five lower side shown in FIG. 15 is a vertical scanning circuit side of the driver IC chip, 10 left a driver IC chip of the video signal driving circuit side.

【0235】TCPは図16、図17で後述するように駆動用ICチップ(CHI)がテープ・オートメイティド・ボンディング法(TAB)により実装されたテープキャリアパッケージ、PCB1は前記テープキャリアパッケージ(TCP)やコンデンサ等が実装された駆動回路基板で、映像信号駆動回路用と走査信号駆動回路用の2つに分割されている。 [0235] TCP is 16, a tape carrier package driving IC chip as will be described later (CHI) is mounted by a tape automated bonding method (TAB) in FIG. 17, it is the tape carrier package PCB1 (TCP ) in the driving circuit board and a capacitor or the like is mounted, it is divided into two for the scanning signal drive circuit for a video signal driving circuit.

【0236】FGPはフレームグランドパッドであり、 [0236] FGP is a frame ground pad,
シールドケース(SHD)に切り込んで設けられたバネ状の破片が半田付けされる。 Spring-like pieces provided by cutting the shield case (SHD) is soldered.

【0237】FCは下側の駆動回路基板(PCB1)と左側の駆動回路基板(PCB1)を電気的に接続するフラットケーブルである。 [0237] FC is a flat cable for electrically connecting the left drive circuit board and the lower side of the drive circuit board (PCB1) (PCB1).

【0238】フラットケーブル(FC)としては、複数のリード線(りん青銅の素材にスズ(Sn)鍍金を施したもの)をストライプ状のポリエチレン層とポリビニルアルコール層とでサンドイッチして支持したものを使用する。 [0238] The intended as a flat cable (FC), which is supported sandwiched between the plurality of lead wires (phosphor bronze material to tin (Sn) that has been subjected to plating) a striped polyethylene layer and a polyvinyl alcohol layer use.

【0239】《TCPの接続構造》図16は、走査信号駆動回路(V)や映像信号駆動回路(H)を構成する、 [0239] "TCP connection structure" 16 constitute the scanning signal driver circuit (V) and the video signal driving circuit (H),
集積回路チップ(CHI)がフレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッケージ(TCP)の断面構造を示す断面図であり、図17は、それを液晶表示パネル(PNL)に接続した状態(図16では、走査信号回路用端子(GTM)に接続した状態)を示す要部断面図である。 An integrated circuit chip (CHI) is a sectional view showing the sectional structure of a tape carrier package mounted on the flexible wiring board (TCP), FIG. 17, in the state (Fig. 16 it was connected to the liquid crystal display panel (PNL) is a fragmentary cross-sectional view showing a scanning signal circuit terminals while connected to (GTM)).

【0240】図16において、TTBは集積回路(CH [0240] In FIG. 16, TTB integrated circuits (CH
I)の入力端子・配線部であり、TTMは集積回路(C An input terminal and wiring portion of I), TTM integrated circuits (C
HI)の出力端子・配線部であり、端子(TTB、TT An output terminal and wiring part of HI), terminal (TTB, TT
M)は、例えば、銅(Cu)から成り、それぞれの内側の先端部(通称インナーリード)には、集積回路(CH M), for example, made of copper (Cu), in each of the inner tip (called inner leads), integrated circuits (CH
I)のボンディングパッド(PAD)がいわゆるフェースダウンボンディング法により接続される。 Bonding pads I) (PAD) is connected by a so-called face-down bonding method.

【0241】端子(TTB、TTM)の外側の先端部(通称アウターリード)には、それぞれ半導体集積回路チップ(CHI)の入力及び出力に対応し、半田付け等によりCRT/TFT変換回路・電源回路(SUP)、 [0241] terminal (TTB, TTM) outer to the distal end (called outer leads), respectively corresponding to the input and output of the semiconductor integrated circuit chip (CHI), CRT / TFT converting circuit, power supply circuit by soldering or the like (SUP),
あるいは、異方性導電膜(ACF)によって液晶表示パネル(PNL)が接続される。 Alternatively, the liquid crystal display panel (PNL) is connected by an anisotropic conductive film (ACF).

【0242】パッケージ(TCP)は、その先端部が、 [0242] package (TCP) is, its tip,
パネル(PNL)側の接続端子(GTM)が露出される保護膜(PSV)を覆うようにパネルに接続されており、従って、外部接続端子(GTM)(またはDTM) Panel (PNL) side of the connection terminals (GTM) is connected to the panel so as to cover the protective film to be exposed (PSV), therefore, the external connection terminal (GTM) (or DTM)
は、保護膜(PSV)かパッケージ(TCP)の少なくとも一方で覆われるので電触に対して強くなる。 It is stronger against electrolytic corrosion since at least be covered with one of the protective film (PSV) or package (TCP).

【0243】BF1はポリイミド等からなるベースフィルムであり、SRSは半田付けの際半田が余計なところへつかないようにマスクするためのソルダレジスト膜である。 [0243] BF1 is a base film made of polyimide or the like, SRS is a solder resist film for masking so that the solder during soldering not from adhering to unnecessary.

【0244】シールパターン(SLP)の外側の上下ガラス基板の隙間は洗浄後エポキシ樹脂(ESL)等により保護され、パッケージ(TCP)と上部基板(SUB [0244] clearance outside the upper and lower glass substrates of the seal pattern (SLP) is protected by washing after the epoxy resin (ESL) or the like, the package (TCP) and the upper substrate (SUB
2)の間には更にシリコーン樹脂(SPX)が充填され保護が多重化されている。 Protection is further filled silicone resin (SPX) is between 2) are multiplexed.

【0245】《駆動回路基板(PCB2)》駆動回路基板(PCB2)は、IC、コンデンサ、抵抗等の電子部品が搭載されている。 [0245] "driving circuit board (PCB 2)" driving circuit board (PCB 2) is, IC, capacitors, electronic components such as resistors are mounted.

【0246】この駆動回路基板(PCB2)には、1つの電圧源から複数の分圧した安定化された電圧源を得るための電源回路や、ホスト(上位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を(TFT)液晶表示装置用の情報に変換する回路を含む回路(SUP)が搭載されている。 [0246] The drive circuit board (PCB 2), 1 single power circuit and for obtaining a plurality of dividing the stabilized voltage source from the voltage source, CRT (cathode ray tube from a host (host processor) ) information for (TFT) circuit which includes a circuit for converting the information for the liquid crystal display device (SUP) are mounted.

【0247】CJは外部と接続される図示しないコネクタが接続されるコネクタ接続部である。 [0247] CJ is a connector connecting portion to which the connector (not shown) connected with the outside is connected.

【0248】駆動回路基板(PCB1)と駆動回路基板(PCB2)とはフラットケーブル(FC)により電気的に接続されている。 [0248] the driving circuit board and (PCB1) and the drive circuit board (PCB 2) are electrically connected by a flat cable (FC).

【0249】《液晶表示モジュール(MDL)の全体構成》図18は、液晶表示モジュール(MDL)の各構成部品を示す分解斜視図である。 [0249] "overall structure of a liquid crystal display module (MDL)" Figure 18 is an exploded perspective view showing respective components of the liquid crystal display module (MDL).

【0250】SHDは金属板から成る枠状のシールドケース(メタルフレーム)、LCWその表示窓、PNLは液晶表示パネル、SPBは光拡散板、LCBは導光体、 [0250] SHD is a frame-like shield case made of a metal plate (metal frame), LCW the display window, PNL is a liquid crystal display panel, SPB is a light diffuser plate, LCB is the light guide,
RMは反射板、BLはバックライト蛍光管、LCAはバックライトケースであり、図に示すような上下の配置関係で各部材が積み重ねられてモジュールMDLが組み立てられる。 RM is reflecting plate, BL is the backlight fluorescent tube, LCA is a backlight case, the module MDL is assembled members are stacked in the arrangement relation of the upper and lower as shown in FIG.

【0251】モジュール(MDL)は、シールドケース(SHD)に設けられた爪とフックによって全体が固定されるようになっている。 [0251] Module (MDL) is generally by claws and hooks provided to the shield case (SHD) is adapted to be fixed.

【0252】バックライトケース(LCA)は、バックライト蛍光管(BL)、光拡散板(SPB)、導光体(LCB)、反射板(RM)を収納する形状になっており、導光体(LCB)の側面に配置されたバックライト蛍光管(BL)の光を、導光体(LCB)、反射板(R [0252] The backlight case (LCA), the back light fluorescent tube (BL), the light diffuser plate (SPB), the light guide (LCB), which is shaped for accommodating reflecting plate (RM), the light guide the backlight fluorescent tube disposed on the side surface of the (LCB) the light (BL), the light guide (LCB), reflector (R
M)、光拡散板(SPB)により表示面で一様なバックライトにし、液晶表示パネル(PNL)側に出射する。 M), the light diffuser plate (SPB) to uniform backlighting the display surface, is emitted to the liquid crystal display panel (PNL) side.

【0253】バックライト蛍光管(BL)にはインバータ回路基板(PCB3)が接続されており、バックライト蛍光管(BL)の電源となっている。 [0253] The backlight fluorescent tube (BL) is connected an inverter circuit board (PCB 3) has a power source of the backlight fluorescent tube (BL).

【0254】《液晶層および偏向板》次に、液晶層、配向膜、偏光板等について説明する。 [0254] "liquid crystal layer and deflector" Next, the liquid crystal layer, orientation film, described polarizing plate or the like.

【0255】《液晶層》液晶層(LCD)の液晶材料としては、誘電率異方性(Δε)が正で、その値が13. [0255] As the liquid crystal material "crystal layer" liquid crystal layer (LCD), dielectric anisotropy ([Delta] [epsilon]) is positive and its value is 13.
2、屈折率異方性(Δn)が0.081(589nm、 2, the refractive index anisotropy ([Delta] n) is 0.081 (589 nm,
20℃)のネマティック液晶を用いる。 Using a nematic liquid crystal of 20 ° C.).

【0256】液晶層の厚み(ギャップ)は、3.9μm [0256] thickness of the liquid crystal layer (gap), 3.9μm
とし、リタデーション(Δn・d)は0.316とする。 And, the retardation (Δn · d) shall be 0.316.

【0257】このリタデーション(Δn・d)の値は、 [0257] The value of the retardation (Δn · d) is,
バックライト光の波長特性のほぼ平均の波長の1/2となる様に設定され、バックライト光の波長特性との組み合わせにより、液晶層の透過光が色調が白色(C光源、 Backlight is set so as substantially half the mean wavelength of the wavelength characteristic of the combination of the wavelength characteristics of the backlight light, transmitted light color tone of the liquid crystal layer is white (C light source,
色度座標x=0.3101、y=0.3163)となる様に設定する。 Chromaticity coordinates x = 0.3101, set y = .3163) and becomes like.

【0258】偏光板の偏光透過軸と液晶分子の長軸方向のなす角が45°になるとき最大透過率を得ることができ、可視光の範囲ないで波長依存性がほとんどない透過光を得ることができる。 [0258] angle between the long axis direction of the polarized light transmission axis of the liquid crystal molecules of the polarizing plate can be obtained maximum transmittance when it comes to 45 °, obtaining the transmitted light wavelength dependence has little in not the visible range be able to.

【0259】なお、液晶層の厚み(ギャップ)は、ポリマビーズで制御している。 [0259] It should be noted that the thickness of the liquid crystal layer (gap) is controlled by polymer beads.

【0260】また、誘電率異方性(Δε)は、その値が大きいほうが、駆動電圧が低減でき、さらに、屈折率異方性(Δn)は小さいほうが、液晶層の厚み(ギャップ)を厚くでき、液晶の封入時間が短縮され、かつギャップばらつきを少なくすることができる。 [0260] Further, dielectric anisotropy ([Delta] [epsilon]) is more the value is large, the driving voltage can be reduced, further, more refractive index anisotropy ([Delta] n) is small, increasing the thickness of the liquid crystal layer (gap) can, liquid crystal encapsulating time is shortened, and it is possible to reduce the gap variation.

【0261】《配向膜》配向膜(OR)としては、ポリイミドを用いる。 [0261] As the "alignment layer" alignment film (OR), polyimide.

【0262】配向膜の配向(ラビング)方向、即ち、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)は、図1に示すように、上下基板で互いに平行、かつ、映像信号配線(DL)と平行(あるいは走査信号線(GL)に垂直) [0262] orientation of the alignment layer (rubbed) direction, i.e., the initial alignment direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), as shown in FIG. 1, the upper and lower substrates parallel to each other and the video signal wiring (DL) parallel (or scanning signal line (GL) perpendicular to)
とする。 To.

【0263】《偏光板》図19は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL [0263] "polarizing plate" 19, the applied electric field direction in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, a polarizing plate (POL
1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、 1, POL2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction,
および、液晶分子(LC)の駆動方向を示す図である。 And a diagram showing the driving direction of the liquid crystal molecules (LC).

【0264】図19に示すように、下側の偏光板(PO [0264] As shown in FIG. 19, the lower polarizing plate (PO
L1)の偏光透過軸(OD1)と、上側の偏向板(PO L1) polarization transmission axes of the (OD1), the upper deflection plate (PO
L2)の偏光透過軸(OD2)とは互いに直交し、また、偏光透過軸(OD1)と偏光透過軸(OD2)とのいずれか一方は、液晶層(LCD)の初期配向方向(R L2) of mutually orthogonal polarization transmission axis (OD2), also one of the polarization transmission axis (OD1) and the polarization transmission axis (OD2), the initial alignment direction of the liquid crystal layer (LCD) (R
D)と同一方向にされている。 D) is the same direction as the.

【0265】これにより、本発明の実施の形態では、画素に印加される電圧(画素電極SLと対向電極CL'の間の電圧)を増加させるに伴い、透過率が上昇するノーマリクローズ特性を得ることができる。 [0265] Thus, in the embodiment of the present invention, along with increasing the voltage applied to the pixel (voltage between the pixel electrode SL and the counter electrode CL '), a normally closed characteristic that the transmittance is increased it is possible to obtain.

【0266】なお、画素に印加される電圧を増加させるに伴い、透過率が減少するノーマリホワイト特性を得るためには、下側の偏光板(POL1)の偏光透過軸(O [0266] Note that, with the increasing voltage applied to the pixel, in order to obtain a normally-white characteristic in which the transmittance is decreased, the lower polarizing plate polarizing transmission axis (POL1) (O
D1)と、上側の偏向板(POL2)の偏光透過軸(O And D1), the upper deflection plate polarization transmission axis (POL2) (O
D2)とを、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD) The D2) and an initial alignment direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD)
と同一方向にすればよい。 It may be set in the same direction as the.

【0267】図1に示すように、本発明の実施の形態では、画素電極(SL)および対向電極(CL')の対向面(互いに対向電極(CL')あるいは画素電極(S [0267] As shown in FIG. 1, in the embodiment of the present invention, 'facing surface of the (opposing electrode (CL pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL)') or the pixel electrode (S
L)と対向する面)を傾斜させ、画素電極(SL)および対向電極(CL')の対向面が、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)に対して、反時計方向にθ(あるいは時計方向に−θ)の傾斜角を持つようにする。 L) and is inclined opposing surfaces), the opposing surfaces of the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL ') is, with respect to the initial orientation direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), in a counterclockwise direction theta ( or to have a tilt angle of - [theta]) in a clockwise direction.

【0268】これにより、液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の初期配向方向(RD)と印加電界方向(E [0268] Thus, the liquid crystal layer an initial alignment direction (RD) and the applied electric field direction (E of the liquid crystal molecules (LCD) (LC)
D)とのなす角度を90°−θとし、1画素内の液晶駆動領域(対向電極(CL')と画素電極(SL)との間の領域)での液晶分子(LC)駆動方向を図19(d) An angle between D) and 90 ° - [theta], FIG liquid crystal molecules (LC) driving direction of the region) between the liquid crystal drive area (counter electrode (CL ') and the pixel electrode (SL) in one pixel 19 (d)
のように規定する。 It is defined as.

【0269】なお、傾斜角θは、10°ないし20°が最適である。 [0269] Incidentally, the inclination angle theta, to no 10 ° 20 ° is optimum.

【0270】本発明の実施の形態の液晶表示装置では、 [0270] In the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention,
画素電極(SL)と対向電極(CL')との間で基板面にほぼ平行に電界(ED)を印加し、ねじれのないホモジニアス配向された液晶層(LCD)の複屈折性を利用して表示する。 Electric field (ED) is applied substantially parallel to the substrate surface between the pixel electrode (SL) and the counter electrode (CL '), by utilizing the birefringence of liquid crystal layer homogeneously aligned without kinks (LCD) indicate.

【0271】液晶分子(LC)は基板面でその長軸を回転させるため、パネルを正面から見た場合と斜めから見た場合、さらには階調表示した場合において、液晶分子の見え方の差が小さいため、広い視野角が実現できる。 [0271] for rotating the major axis in the liquid crystal molecules (LC) is the substrate surface, when viewed from an oblique and when viewed panel from the front, more in the case of displaying gray scale, the difference in appearance of the liquid crystal molecules because of the small, wide viewing angle can be realized.

【0272】また、本発明の実施の形態では、液晶分子の駆動方向を液晶駆動領域内で揃えることにより、駆動電圧を低減し、応答速度を早くすることができる。 [0272] Further, in the embodiment of the present invention, by aligning the drive direction of the liquid crystal molecules in the liquid crystal drive area, to reduce the driving voltage, it is possible to increase the response speed.

【0273】図20ないし図22は、図1に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [0273] FIGS. 20 to 22 are views showing an arrangement example of placing the pixel or similar pixel shown in FIG. 1 in a matrix.

【0274】本発明の実施の形態では、図20ないし図22に示す配置例のように、その対向面が、液晶層(L [0274] In the embodiment of the present invention, as the arrangement example shown in FIGS. 20 through 22, the opposing faces thereof, the liquid crystal layer (L
CD)の初期配向方向(RD)に対して、θあるいは− With respect to the initial orientation direction of the CD) (RD), θ or -
θの傾斜角を持つ対向電極(CL')および画素電極(SL)を有する画素を組み合わせて、マトリクス状に配置することにより、画素間で液晶分子(LC)の駆動方向を異ならせることができる。 A combination of pixels having a counter electrode having the inclination angle of theta (CL ') and a pixel electrode (SL), by arranging in a matrix, it is possible to vary the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) between the pixels .

【0275】これにより、本発明の実施の形態では、ホモジニアス配向された液晶層(LCD)における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を補償し、表示品質を向上させ、高画質の表示画像を得ることが可能となる。 [0275] Thus, in the embodiment of the present invention, to compensate for non-uniformity due to the white color of the viewing angle due to the unified driving direction of the liquid crystal layer aligned homogeneously (LCD), to improve the display quality, it is possible to obtain a display image of high quality.

【0276】図20に示す配置例は、映像信号線(D [0276] arrangement example shown in FIG. 20, the video signal lines (D
L)に平行する各画素において、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)に対する、対向電極(CL')および画素電極(SL)の対向面の傾斜角が互いに等しくなるように、その対向面が、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)に対して、同じ傾斜角(θあるいは−θ) In each pixel parallel to L), to the initial orientation direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), as the angle of inclination of the opposing surface of the opposing electrode (CL ') and a pixel electrode (SL) are equal to each other, the opposing plane, with respect to the initial orientation direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), the same inclination angle (theta or - [theta])
を持つ対向電極(CL')および画素電極(SL)を有する画素を、映像信号線(DL)に平行な方向に配置し、また、その対向面が、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)に対して、θあるいは−θの傾斜角を持つ対向電極(CL')および画素電極(SL)を有する画素を、走査信号線(GL)に平行な方向に交互に配置した配置例である。 Pixels with the counter electrode (CL ') and a pixel electrode (SL) with, disposed in a direction parallel to the video signal line (DL), also the facing surface, the initial orientation direction of the liquid crystal layer (LCD) ( relative to RD), theta or a pixel having a counter electrode (CL ') and a pixel electrode (SL) having a tilt angle of - [theta], in an arrangement example in which alternately in a direction parallel to the scanning signal lines (GL) is there.

【0277】また、図21に示す配置例は、その対向面が、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)に対して、θあるいは−θの傾斜角を持つ対向電極(CL') [0277] The arrangement example shown in FIG. 21, the facing surface, relative to the initial orientation direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), the counter electrode having the inclination angle of θ or -θ (CL ')
および画素電極(SL)を有する画素を、映像信号線(DL)に平行な方向に交互に配置し、さらに、走査信号線(GL)に平行する各画素において、液晶層(LC And a pixel having a pixel electrode (SL), arranged alternately in a direction parallel to the video signal line (DL), furthermore, in each pixel which is parallel to the scanning signal lines (GL), a liquid crystal layer (LC
D)の初期配向方向(RD)に対する、対向電極(C For D) initial alignment direction (RD), the counter electrode (C
L')および画素電極(SL)の対向面の傾斜角が互いに等しくなるように、その対向面が、液晶層(LCD) L ') and as the inclination angle of the opposing surfaces of the pixel electrodes (SL) are equal to each other, the facing surface, a liquid crystal layer (LCD)
の初期配向方向(RD)に対して、同じ傾斜角(θあるいは−θ)を持つ対向電極(CL')および画素電極(SL)を有する画素を、走査信号線(GL)に平行な方向に配置した配置例である。 Respect of the initial alignment direction (RD), a pixel having a counter electrode (CL ') and a pixel electrode (SL) with the same inclination angle (theta or - [theta]), in a direction parallel to the scanning signal lines (GL) is an arrangement the arrangement example.

【0278】さらに、図22に示す配置例は、その対向面が、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)に対して、θあるいは−θの傾斜角を持つ対向電極(CL') [0278] Furthermore, the arrangement example shown in FIG. 22, the facing surface, relative to the initial orientation direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), the counter electrode having the inclination angle of θ or -θ (CL ')
および画素電極(SL)を有する画素を、映像信号線(DL)および走査信号線(GL)に平行な方向に交互に配置した配置例である。 And a pixel having a pixel electrode (SL), an arrangement example in which alternately in a direction parallel to the video signal line (DL) and the scanning signal lines (GL).

【0279】図20ないし図22に示す配置例において、液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の駆動方向は、いずれも2方向となるが、図22に示す配置例では、隣接する各画素において、液晶分子(LC)の駆動方向が異なるため、白色色調の視角による不均一性に対する補償効果をさらに向上させることができる。 [0279] In the arrangement example shown in FIGS. 20 through 22, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) of the liquid crystal layer (LCD) are both becomes a two-way, in the arrangement example shown in FIG. 22, each pixel adjacent in, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) is different, it is possible to further improve the compensation effect relative to non-uniformity due to the viewing angle of the white color.

【0280】本発明の実施の形態では、図23で定義する視角において、全方位に渡りφが50度までの範囲では完全に白色色調が均一化でき、視角方向に対する均一性を向上できる。 [0280] In the embodiment of the present invention, in the viewing angle defined in Figure 23, phi in all around can be equalized completely white color in the range of up to 50 degrees, it is possible to improve the uniformity with respect to viewing angle.

【0281】また、非階調反転領域は、特性が平均化されて、全方位で非階調反転領域が平均化され、特定の方位で、特性が落ちるという問題が解決される。 [0281] Further, non-gradation inversion areas, characteristics are averaged, the non-tone reversal region in all directions is averaged, in particular orientation, problem characteristics fall is resolved.

【0282】これは、コントラスト比の視角依存性についても同様である。 [0282] This also applies to the viewing angle dependence of the contrast ratio.

【0283】以上、説明したように、本発明の実施の形態では、色調、階調反転、コントラスト比の視角方向に対する均一性を向上でき、ブラウン管により近い広視野角の液晶表示装置を得ることができる。 [0283] As described above, in the embodiment of the present invention, color tone, tone reversal, can improve uniformity for viewing angle contrast ratio, to obtain a liquid crystal display device with a wide viewing angle closer to a cathode ray tube it can.

【0284】[発明の実施の形態2]図24は、本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態2)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0284] Figure 24 [Second Embodiment of the Invention are, one pixel and its periphery of a color active matrix liquid crystal display device which is Embodiment (Embodiment of the Invention 2) Another aspect of the present invention it is a plan view showing.

【0285】図25は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL [0285] Figure 25 is the applied electric field direction in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, a polarizing plate (POL1, POL
2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(LC)の駆動方向を示す図である。 2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and a diagram showing the driving direction of the liquid crystal molecules (LC).

【0286】なお、本発明の実施の形態は、画素電極(SL)および対向電極(CL')の形状が前記発明の実施の形態1と相違するが、それ以外の構成は前記発明の実施の形態1と同じである。 [0286] Note that the embodiments of the present invention, the shape of the pixel electrode (SL) and the counter electrode (CL ') is different from the first embodiment of the invention, other configurations of embodiments of the invention is the same as the first embodiment.

【0287】本発明の実施の形態では、図24に示すように、画素電極(SL)は、対向面(対向電極(C [0287] In the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 24, the pixel electrode (SL) is facing surfaces (counter electrode (C
L')と対向する面)が斜め下方向に延びる略三角形状、また、対向電極(CL')は、対向電圧信号線(C L ') and opposite surfaces) of substantially triangular shape extending obliquely downward direction, the counter electrode (CL') is counter voltage signal line (C
L)から上方向に突起した、対向面(画素電極(SL) And projecting upwardly from L), facing surface (pixel electrode (SL)
と対向する面)が斜め上方向に延びる櫛歯形状をしており、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間の領域は1画素内で2分割されている。 Opposing surfaces) has a tooth shape extending obliquely upward, the region between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL ') is divided into two parts in one pixel and.

【0288】本発明の実施の形態では、配向膜の配向(ラビング)方向、即ち、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)は、図24に示すように、上下基板で互いに平行、かつ、映像信号線(DL)と平行(あるいは走査信号線(GL)に垂直)とする。 [0288] In the embodiment of the present invention, the orientation of the alignment layer (rubbed) direction, i.e., the initial alignment direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), as shown in FIG. 24, the upper and lower substrates parallel to each other and , video signal lines and (DL) parallel to (or scanning signal line (GL) perpendicular to).

【0289】また、図24に示すように、本発明の実施の形態では、画素電極(SL)および対向電極(C [0289] Further, as shown in FIG. 24, in the embodiment of the present invention, the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (C
L')の対向面(互いに対向電極(CL')あるいは画素電極(SL)と対向する面)を傾斜させ、画素電極(SL)および対向電極(CL')の対向面が、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)に対して、反時計方向にθ、−θ(あるいは時計方向に−θ、θ)の傾斜角を持つようにする。 L ') facing surface (opposing electrode (CL' of the) or pixel electrodes (SL) and the facing surfaces) are inclined, facing surfaces of the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL ') is a liquid crystal layer (LCD ) relative to the initial alignment direction (RD) of, in a counterclockwise direction theta, to have a tilt angle of - [theta] (or - [theta] in a clockwise direction, theta).

【0290】これにより、液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の初期配向方向(RD)と印加電界方向(E [0290] Thus, the liquid crystal layer an initial alignment direction (RD) and the applied electric field direction (E of the liquid crystal molecules (LCD) (LC)
D)とのなす角度を90°−θ、90°+θとし、1画素内の液晶駆動領域(対向電極(CL')と画素電極(SL)との間の領域)での液晶分子(LC)駆動方向を図25(d)のように規定する。 Angle of 90 ° - [theta] with D), and 90 ° + θ, the liquid crystal molecules in the liquid crystal driving area in one pixel region between the (counter electrode (CL ') and the pixel electrode (SL)) (LC) driving direction are defined as FIG. 25 (d).

【0291】したがって、本発明の実施の形態では、液晶分子(LC)の駆動方向を、1画素内で2方向とすることができる。 [0291] Thus, in the embodiment of the present invention, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC), may be two directions in one pixel.

【0292】本発明の実施の形態の液晶表示装置においても、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間で基板面にほぼ平行に電界(ED)を印加し、ねじれのないホモジニアス配向された液晶層(LCD)の複屈折性を利用して表示する。 [0292] In the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, an electric field (ED) is applied substantially parallel to the substrate surface between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL '), without kinks homogeneous orientation It has been displayed by utilizing the birefringence of the liquid crystal layer (LCD).

【0293】液晶分子(LC)は、基板面でその長軸を回転させるため、パネルを正面から見た場合と斜めから見た場合、さらには階調表示した場合において、液晶分子の見え方の差が小さいため、広い視野角が実現できる。 [0293] The liquid crystal molecules (LC) is for rotating the major axis in the substrate surface, when viewed from when obliquely viewed panel from the front, in the case where more the display gradation of the liquid crystal molecules appearance of because the difference is small, wide viewing angle can be realized.

【0294】また、液晶分子(LC)の駆動方向を液晶駆動領域内で揃えることにより、駆動電圧を低減し、応答速度を早くすることができる。 [0294] Further, by aligning the drive direction of the liquid crystal molecules (LC) in the liquid crystal drive area, to reduce the driving voltage, it is possible to increase the response speed.

【0295】なお、この時、傾斜度θは10〜20°が最適である。 [0295] At this time, the inclination θ is optimal 10 to 20 °.

【0296】本発明の実施の形態では、1画素内の液晶駆動領域毎に液晶分子(LC)の駆動方向を異ならせることができ、ホモジニアス配向された液晶層(LCD) [0296] In the embodiment of the present invention, it is possible to vary the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) for each liquid crystal driving area in one pixel, a liquid crystal layer which is homogeneous orientation (LCD)
における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を1画素内で補償し、表示品質を向上させ、高画質の表示画像を得ることが可能となる。 The non-uniformity due to the viewing angle of the white color tone due to the unified drive direction compensated within one pixel in, to improve display quality, it is possible to obtain a display image of high quality.

【0297】図26、図27は、図24に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [0297] Figure 26, Figure 27 is a diagram showing an arrangement example of placing the pixel or similar pixels shown in FIG. 24 in a matrix.

【0298】図26に示す配置例は、図24に示す画素をマトリクス状に配置した配置例でり、また、図27に示す配置例は、映像信号線(DL)に平行な方向で、図24に示す画素、および、図24に示す画素と対向電極(CL')と画素電極(SL)の形状が対称である画素を交互に並べてマトリクス状に配置した配置例である。 Arrangement example shown in [0298] Figure 26 is a layout example Deli arranging the pixels shown in FIG. 24 in a matrix, also the arrangement example shown in FIG. 27, in a direction parallel to the video signal line (DL), FIG. pixel shown in 24, and an arrangement example shape arranged in a matrix arranged alternately pixel is symmetrical pixel and the counter electrode shown in FIG. 24 (CL ') and the pixel electrode (SL).

【0299】図26、図27に示す配置例において、液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の駆動方向は、いずれも2方向となるが、図27に示す配置例では、隣接する各画素において、液晶分子(LC)の駆動方向が異なるため、白色色調の視角による不均一性に対する補償効果をさらに向上させることができる。 [0299] Figure 26, in the arrangement example shown in FIG. 27, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) of the liquid crystal layer (LCD) are both becomes a two-way, in the arrangement example shown in FIG. 27, each pixel adjacent in, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) is different, it is possible to further improve the compensation effect relative to non-uniformity due to the viewing angle of the white color.

【0300】[発明の実施の形態3]図28は、本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態3)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0300] Embodiment 3 of the invention] Fig. 28, one pixel and its periphery of a color active matrix liquid crystal display device in the form (the third embodiment of the invention) in the practice of another aspect of the present invention it is a plan view showing.

【0301】図29は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL [0301] Figure 29 is the applied electric field direction in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, a polarizing plate (POL1, POL
2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(LC)の駆動方向を示す図である。 2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and a diagram showing the driving direction of the liquid crystal molecules (LC).

【0302】なお、本発明の実施の形態は、画素電極(SL)および対向電極(CL')の形状が前記発明の実施の形態1と相違するが、それ以外の構成は前記発明の実施の形態1と同じである。 [0302] Note that the embodiments of the present invention, the shape of the pixel electrode (SL) and the counter electrode (CL ') is different from the first embodiment of the invention, other configurations of embodiments of the invention is the same as the first embodiment.

【0303】本発明の実施の形態においては、図28に示すように、画素電極(SL)は、画素の表示領域内(遮光膜(BM)の開口領域)の部分が傾斜部とされた上開きのコの字型、また、対向電極(CL')は対向電圧信号線(CL)から上方向に突起した櫛歯形状をしており、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間の領域は1画素内で4分割されている。 [0303] In the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 28, the pixel electrode (SL) is on part of the (opening area of ​​the light shielding film (BM)) the display area of ​​the pixel is an inclined portion open U-shaped, the counter electrode (CL ') is of a comb-teeth shape protruding upward from the counter voltage signal line (CL), the pixel electrode (SL) and the counter electrode (CL') of the area between is divided into four in one pixel.

【0304】本発明の実施の形態では、配向膜の配向(ラビング)方向、即ち、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)は、図28に示すように、上下基板で互いに平行、かつ、映像信号線(DL)と平行(あるいは走査信号線(GL)と垂直)とする。 [0304] In the embodiment of the present invention, the orientation of the alignment layer (rubbed) direction, i.e., the initial alignment direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), as shown in FIG. 28, the upper and lower substrates parallel to each other and , parallel to the video signal lines (DL) (or scanning signal line (GL) vertical) and.

【0305】また、対向電極(CL')を、液晶層(L [0305] The counter electrode (CL '), the liquid crystal layer (L
CD)の初期配向方向(RD)と平行にし、画素電極(SL)を傾斜させ、画素電極(SL)が、液晶層(L And parallel to the initial alignment direction (RD) of the CD), tilting the pixel electrode (SL), the pixel electrode (SL) is a liquid crystal layer (L
CD)の初期配向方向(RD)に対して、反時計方向にθ、−θの傾斜角を持つようにする。 The initial alignment direction of CD) (RD), in a counterclockwise direction theta, to have a tilt angle of - [theta].

【0306】これにより、液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の初期配向方向(RD)と印加電界方向(E [0306] Thus, the liquid crystal layer an initial alignment direction (RD) and the applied electric field direction (E of the liquid crystal molecules (LCD) (LC)
D)とのなす角度を90°−θ、90°+θとし、1画素内の液晶駆動領域(対向電極(CL')と画素電極(SL)との間の領域)で液晶分子(LC)駆動方向を、図29(b)のように規定する。 Angle of 90 ° - [theta] with D), and 90 ° + θ, the liquid crystal drive area within one pixel (counter electrode (CL ') and liquid crystal molecules (LC) driving the region) between the pixel electrode (SL) direction, are defined as in FIG. 29 (b).

【0307】したがって、本発明の実施の形態においても、液晶分子(LC)の駆動方向を、1画素内で2方向とすることができる。 [0307] Thus, also in the embodiment of the present invention, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC), may be two directions in one pixel.

【0308】本発明の実施の形態の液晶表示装置においても、画素電極(SL)と対向電極(CL')との間で基板面にほぼ平行に電界(ED)が印加され、ねじれのないホモジニアス配向された液晶層(LCD)の複屈折性を利用して表示する。 [0308] In the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, the electric field (ED) substantially parallel to the substrate surface between the pixel electrode (SL) and the counter electrode (CL ') is applied, without kinks homogeneous by utilizing the birefringence of the oriented liquid crystal layer (LCD) display.

【0309】液晶分子(LC)は基板面でその長軸を回転させるため、パネルを正面から見た場合と斜めから見た場合、さらには階調表示した場合において、液晶分子の見え方の差が小さいため、広い視野角が実現できる。 [0309] for rotating the major axis in the liquid crystal molecules (LC) is the substrate surface, when viewed from an oblique and when viewed panel from the front, more in the case of displaying gray scale, the difference in appearance of the liquid crystal molecules because of the small, wide viewing angle can be realized.

【0310】また、液晶分子(LC)の駆動方向を液晶駆動領域内で揃えることにより、駆動電圧を低減し、応答速度を早くすることができる。 [0310] Further, by aligning the drive direction of the liquid crystal molecules (LC) in the liquid crystal drive area, to reduce the driving voltage, it is possible to increase the response speed.

【0311】なお、この時、角度θは10〜20°が最適である。 [0311] It should be noted that, this time, the angle θ is optimal 10~20 °.

【0312】本発明の実施の形態では、1画素内の液晶駆動領域で、液晶分子(LC)の駆動方向を異ならせることができ、ホモジニアス配向された液晶層(LCD) [0312] In the embodiment of the present invention, the liquid crystal driving area in one pixel, it is possible to vary the driving direction of the liquid crystal molecules (LC), a liquid crystal layer aligned homogeneously (LCD)
における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を1画素内で補償し、表示品質を向上させ、高画質の表示画像を得ることが可能となる。 The non-uniformity due to the viewing angle of the white color tone due to the unified drive direction compensated within one pixel in, to improve display quality, it is possible to obtain a display image of high quality.

【0313】図30、図31は、図28に示す画素および類似の画素を、マトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [0313] Figure 30, Figure 31 is a diagram showing an arrangement example of the pixel and similar pixels shown in FIG. 28, arranged in a matrix.

【0314】図30に示す配置例は、図28に示す画素をマトリクス状に配置した配置例であり、また、図31 [0314] arrangement example shown in FIG. 30 is a layout example arranging the pixels shown in FIG. 28 in a matrix, and FIG. 31
に示す配置例は、映像信号線(DL)に平行な方向で、 Arrangement example shown in is a direction parallel to the video signal line (DL),
図28に示す画素、および、図28に示す画素と映像信号線(DL)方向で対称である画素を、対向電圧信号線(CL)を2画素で共有しながら交互に並べてマトリクス状に配置した配置例である。 Pixels shown in FIG. 28 and, the pixel is symmetrical with the pixel and the video signal lines (DL) direction shown in FIG. 28, arranged in a matrix arranged alternately while sharing counter voltage signal line (CL) in 2 pixels it is an arrangement example.

【0315】図30、図31に示す配置例において、液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の駆動方向は、いずれも2方向となるが、図31に示す配置例では、隣接する各画素において、液晶分子(LC)の駆動方向が異なるため、白色色調の視角による不均一性に対する補償効果をさらに向上させることができる。 [0315] Figure 30, in the arrangement example shown in FIG. 31, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) of the liquid crystal layer (LCD) are both becomes a two-way, in the arrangement example shown in FIG. 31, each pixel adjacent in, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) is different, it is possible to further improve the compensation effect relative to non-uniformity due to the viewing angle of the white color.

【0316】また、前記発明の実施の形態1、発明の実施の形態2よりも、1画素あたりの表示面積を大きくすることができ、高輝度、低消費電力の表示が可能となる。 [0316] Further, the first embodiment of the invention, than the second embodiment of the invention, it is possible to increase the display area per pixel, high luminance, it becomes possible to display with low power consumption.

【0317】[発明の実施の形態4]図32は、本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態4)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0317] Figure 32 [Fourth Embodiment of the Invention are, one pixel and its periphery of a color active matrix liquid crystal display device in the form (the fourth embodiment of the invention) in the practice of another aspect of the present invention it is a plan view showing.

【0318】図33は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL [0318] Figure 33 is the applied electric field direction in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, a polarizing plate (POL1, POL
2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(LC)の駆動方向を示す図である。 2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and a diagram showing the driving direction of the liquid crystal molecules (LC).

【0319】なお、本発明の実施の形態は、画素電極(SL)および対向電極(CL')の形状が前記発明の実施の形態1と相違するが、それ以外の構成は前記発明の実施の形態1と同じである。 [0319] Note that the embodiments of the present invention, the shape of the pixel electrode (SL) and the counter electrode (CL ') is different from the first embodiment of the invention, other configurations of embodiments of the invention is the same as the first embodiment.

【0320】本発明の実施の形態では、図32に示すように、画素電極(SL)は下方向に延びる直線形状、対向電極(CL')は対向電圧信号線(CL)から上方向に突起した、画素の表示領域内の部分が上方向に延びる櫛歯形状をしており、画素電極(SL)と対向電極(C [0320] In the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 32, the projection pixel electrodes (SL) is a straight line shape extending downward, the counter electrode (CL ') is from the counter voltage signal line (CL) in the upward direction were, portions of the display area of ​​the pixel has a comb teeth shape extending upward, the pixel electrode (SL) and the counter electrode (C
L')の間の領域は1画素内で2分割されている。 Area between the L ') is divided into two parts in one pixel.

【0321】また、本発明の実施の形態においては、図32中のA部に示すように、対向電極(CL')における画素の表示領域外の部分の、画素電極(SL)と対向する側が、テーパ状に形成される。 [0321] In the embodiment of the present invention, as shown in the A portion in FIG. 32, the display area outside the portion of the pixel in the counter electrode (CL '), the side facing the pixel electrode (SL) , it is formed in a tapered shape.

【0322】これにより、画素の表示領域外の部分で、 [0322] Thus, in the display area outside the portion of the pixel,
対向電極(CL')と画素電極(SL)とが、保護膜(PSV)を介して、反時計方向にθ、−θの角度をもって交差されている。 A counter electrode (CL ') and the pixel electrode (SL), but through the protective film (PSV), in a counterclockwise direction theta, are intersecting at an angle of - [theta].

【0323】この交差部は、対向電極(CL')および画素電極(SL)との電極間距離が最も短く、最も強い電界が加わるために、液晶層(LCD)に電界(ED) [0323] The intersections, the counter electrode (CL ') and is the shortest distance between the electrodes of the pixel electrode (SL), to the most intense electric field applied, an electric field to the liquid crystal layer (LCD) (ED)
が印加されると、この交差部の液晶層(LCD)の液晶分子(LC)が逸早く駆動し始める。 When There is applied, the liquid crystal molecules (LC) of the liquid crystal layer of the cross section (LCD) begins to quickly drive.

【0324】これにより、画素の表示領域における対向電極(CL')と画素電極(SL)との間の液晶駆動領域内の液晶分子(LC)は、交差部の液晶分子(LC) [0324] Thus, the liquid crystal molecules of the liquid crystal drive area between the counter electrode in the display region of the pixel (CL ') and the pixel electrode (SL) (LC), the liquid crystal molecules of the intersection (LC)
の初期駆動方向の影響を受け、交差部の液晶分子(L Affected by the initial driving direction, the liquid crystal molecules of the cross-section (L
C)と同じ方向に駆動される。 C) to be driven in the same direction.

【0325】このように、本発明の実施の形態では、前記交差部により、液晶層(LCD)の液晶分子(LC) [0325] Thus, in the embodiment of the present invention, by the intersection, the liquid crystal layer liquid crystal molecules (LCD) (LC)
の初期駆動方向を規定する。 To define the initial drive direction.

【0326】即ち、本発明の実施の形態では、対向電極(CL')と画素電極(SL)との交差角度を反時計方向にθ、−θとし、対向電極(CL')と画素電極(S [0326] That is, in the embodiment of the present invention, the counter electrode (CL ') theta crossing angle between the pixel electrode (SL) in a counterclockwise direction, and - [theta], the counter electrode (CL') and pixel electrodes ( S
L)との間での液晶分子(LC)の駆動方向を図33 FIG driving direction of the liquid crystal molecules (LC) between the L) 33
(b)のように規定する。 It is defined as (b).

【0327】したがって、本発明の実施の形態においても、液晶分子(LC)の駆動方向を、1画素内で2方向とすることができる。 [0327] Thus, also in the embodiment of the present invention, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC), may be two directions in one pixel.

【0328】なお、角度θは、0°を越え90°未満であればよいが、30°〜60°が最適である。 [0328] The angle theta, 0 ° may be less than the over 90 °, but optimally 30 ° to 60 °.

【0329】また、本発明の実施の形態では、配向膜の配向(ラビング)方向、即ち、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)は、図32に示すように、上下基板で互いに平行、かつ、映像信号線(DL)と平行(あるいは走査信号線(GL)と垂直)とする。 [0329] Further, in the embodiment of the present invention, the orientation of the alignment layer (rubbed) direction, i.e., the initial alignment direction (RD) of the liquid crystal layer (LCD), as shown in FIG. 32, the upper and lower substrates parallel with each other and, parallel to the video signal lines (DL) (or scanning signal line (GL) vertical) and.

【0330】本発明の実施の形態の液晶表示装置においても、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間で基板面にほぼ平行に電界(ED)を印加し、ねじれのないホモジニアス配向された液晶層(LCD)の複屈折性を利用して表示する。 [0330] In the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, an electric field (ED) is applied substantially parallel to the substrate surface between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL '), without kinks homogeneous orientation It has been displayed by utilizing the birefringence of the liquid crystal layer (LCD).

【0331】液晶層(LCD)の液晶分子(LC))は基板面でその長軸を回転させるため、パネルを正面から見た場合と斜めから見た場合、さらには階調表示した場合において、液晶分子の見え方の差が小さいため、広い視野角が実現できる。 [0331] Since the liquid crystal layer liquid crystal molecules (LCD) (LC)) is rotated its long axis in the substrate surface, when viewed from when obliquely viewed panel from the front, in the case of further displayed tone, for the difference between the appearance of the liquid crystal molecules is small, wide viewing angle can be realized.

【0332】また、液晶分子(LC)の初期駆動方向を規定し、液晶駆動方向を揃えることにより、駆動電圧を低減し、応答速度を早くすることができる。 [0332] Further, defining the initial driving direction of the liquid crystal molecules (LC), by aligning the liquid crystal driving direction, to reduce the driving voltage, it is possible to increase the response speed.

【0333】また、本発明の実施の形態では、1画素内の液晶駆動領域毎に液晶分子(LC)の駆動方向を異ならせることができ、ホモジニアス配向された液晶層(L [0333] Further, in the embodiment of the present invention, it is possible to vary the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) for each liquid crystal driving area in one pixel, a liquid crystal layer which is homogeneously aligned (L
CD)における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を1画素内で補償補償し、表示品質を向上させ、高画質の表示画像を得ることが可能となる。 The non-uniformity due to the viewing angle of the white color compensated compensated in one pixel caused by the unified driving direction in CD), to improve the display quality, it is possible to obtain a display image of high quality.

【0334】図34、図35は、図32に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [0334] Figure 34, Figure 35 is a diagram showing an arrangement example of placing the pixel or similar pixel shown in FIG. 32 in a matrix.

【0335】図34に示す配置例は、図32の画素をマトリクス状に配置した配置例であり、また、図35に示す配置例は、映像信号線(DL)に平行な方向で図32 [0335] arrangement example shown in FIG. 34 is a layout example was arranged pixels 32 in a matrix, also the arrangement example shown in FIG. 35, FIG. In a direction parallel to the video signal line (DL) 32
に示す画素、および、図32に示す画素とは映像信号線(DL)方向で対称である画素を、対向電圧信号線(C Pixel shown in, and the pixel is symmetrical with the video signal lines (DL) direction from the pixel shown in FIG. 32, the counter voltage signal line (C
L)を2画素で共有しながら交互に並べてマトリクス状に配置した配置例である。 An arrangement example arranged in a matrix arranged alternately while L) was shared by two pixels.

【0336】図34、図35に示す配置例において、液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の駆動方向は、いずれも2方向となるが、図35に示す配置例では、隣接する各画素において、液晶分子(LC)の駆動方向が異なるため、白色色調の視角による不均一性に対する補償効果をさらに向上させることができる。 [0336] Figure 34, in the arrangement example shown in FIG. 35, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) of the liquid crystal layer (LCD) are both becomes a two-way, in the arrangement example shown in FIG. 35, each pixel adjacent in, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) is different, it is possible to further improve the compensation effect relative to non-uniformity due to the viewing angle of the white color.

【0337】また、本発明の実施の形態では、画素電極(SL)および対向電極(CL')が、配向膜のラビング方向と平行に形成されるため、配向膜をラビング処理する際に、画素の表示領域内の電極脇の部分にバフ布の毛がスムーズに当てることが可能となるので、電極の端面付近でのラビング処理が円滑かつ確実に行われるので、電極脇の部分の液晶層の液晶分子の配向を良好にすることが可能となる。 [0337] Further, when in the embodiment of the present invention, the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL ') is because it is parallel to the rubbing direction of the alignment film, a rubbing processing the orientation films, the pixel the so hair buff cloth electrode side portion of the display area becomes possible to apply smoothly, since rubbing treatment in the vicinity of the end face of the electrode is carried out smoothly and reliably, the electrode side portion of the liquid crystal layer it is possible to improve the alignment of the liquid crystal molecules.

【0338】[発明の実施の形態5]図36は、本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態5)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0338] Figure 36 [Fifth Embodiment of the Invention are, one pixel and its periphery of a color active matrix liquid crystal display device in the form (EMBODIMENT 5) Embodiment of another aspect of the present invention it is a plan view showing.

【0339】図37は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL [0339] Figure 37 is the applied electric field direction in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, a polarizing plate (POL1, POL
2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(LC)の駆動方向を示す図である。 2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and a diagram showing the driving direction of the liquid crystal molecules (LC).

【0340】なお、本発明の実施の形態は、画素電極(SL)および対向電極(CL')の形状が前記発明の実施の形態1と相違するが、それ以外の構成は前記発明の実施の形態1と同じである。 [0340] Note that the embodiments of the present invention, the shape of the pixel electrode (SL) and the counter electrode (CL ') is different from the first embodiment of the invention, other configurations of embodiments of the invention is the same as the first embodiment.

【0341】本発明の実施の形態では、図36に示すように、画素電極(SL)は、画素の表示領域内の部分が下方向に延びる直線形状、対向電極(CL')は対向電圧信号線(CL)から上方向に突起した櫛歯形状をしており、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間の領域は1画素内で2分割されている。 [0341] In the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 36, the pixel electrode (SL) is linear shape portion of the display area of ​​the pixel extends downward, the counter electrode (CL ') the counter voltage signal has a comb-tooth shape protruding upward from the line (CL), the region between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL ') is divided into two parts in one pixel.

【0342】また、本発明の実施の形態では、図36中のA部に示すように、画素電極(SL)の下側で対向電圧信号線(CL)に近接する部分が台形形状に形成され、画素の表示領域外の部分で、対向電極(CL')と画素電極(SL)とが、保護膜(PSV)を介して、反時計方向にθ、−θの角度をもって交差されている。 [0342] Further, in the embodiment of the present invention, as shown in the portion A in FIG. 36, the portion close to the counter voltage signal line (CL) is formed in a trapezoidal shape on the lower side of the pixel electrode (SL) , in the display area outside the portion of the pixel, the counter electrode (CL ') and the pixel electrode (SL), but through the protective film (PSV), in a counterclockwise direction theta, are intersecting at an angle of - [theta].

【0343】本発明の実施の形態においても、前記交差部により、液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の初期駆動方向を図37(b)のように規定する。 [0343] Also in the embodiment of the present invention, by the intersection, defining the initial driving direction of the liquid crystal molecules (LC) of the liquid crystal layer (LCD) as shown in FIG. 37 (b).

【0344】即ち、前記発明の実施の形態4では、直線形状の画素電極(SL)と角度を持った対向電極(C [0344] That is, the fourth embodiment of the invention, the counter electrode having a pixel electrode (SL) and the angle of the linear shape (C
L')で液晶分子(LC)の初期駆動方向を規定し表示を行っているのに対し、本発明の実施の形態では、直線形状の対向電極(CL')と角度を持った画素電極(S L 'in) while doing a display defines the initial driving direction of the liquid crystal molecules (LC), in the embodiment of the present invention, the linear shape opposing electrode (CL' of) a pixel electrode having an angle ( S
L)で、液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の初期駆動方向を規定し、表示を行っている。 In L), to define the initial driving direction of the liquid crystal molecules (LC) of the liquid crystal layer (LCD), and performs display.

【0345】したがって、本発明の実施の形態においても、液晶分子(LC)の駆動方向を、1画素内で2方向とすることができる。 [0345] Thus, also in the embodiment of the present invention, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC), may be two directions in one pixel.

【0346】なお、角度θは、0°を越え90°未満であればよいが、30°〜60°が最適である。 [0346] The angle theta, 0 ° may be less than the over 90 °, but optimally 30 ° to 60 °.

【0347】また、本発明の実施の形態では、配向膜の配向(ラビング)方向、即ち、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)は、図36に示すように、上下基板で互いに平行、かつ、映像信号線(DL)と平行(あるいは走査信号線(GL)と垂直)とする。 [0347] Further, in the embodiment of the present invention, the orientation of the alignment layer (rubbed) direction, i.e., the initial alignment direction (RD) of the liquid crystal layer (LCD), as shown in FIG. 36, the upper and lower substrates parallel with each other and, parallel to the video signal lines (DL) (or scanning signal line (GL) vertical) and.

【0348】図38、図39は、図36に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [0348] Figure 38, Figure 39 is a diagram showing an arrangement example of placing the pixel or similar pixel shown in FIG. 36 in a matrix.

【0349】本発明の実施の形態においても、前記発明の実施の形態3と同様に、ホモジニアス配向された液晶層(LCD)における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を1画素内で補償し、表示品質を向上させ、高画質の表示画像を得ることが可能となる。 Also in the embodiment of the 0349 present invention, as in the third embodiment of the invention, the non-uniformity due to the white color of the viewing angle due to the unified driving direction of the liquid crystal layer aligned homogeneously (LCD) compensated in one pixel, thereby improving the display quality, it is possible to obtain a display image of high quality.

【0350】また、本発明の実施の形態においても、配向膜をラビング処理する際に、画素の表示領域内の電極の端面付近でのラビング処理が円滑かつ確実に行われるので、電極脇の部分の液晶層の液晶分子の配向を良好にすることが可能となる。 [0350] Also in the embodiment of the present invention, when rubbing an alignment film, the rubbing treatment in the vicinity of the end face of the electrode in the display area of ​​the pixel is performed smoothly and reliably, portions of the electrodes aside it is possible to improve the orientation of the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer.

【0351】[発明の実施の形態6]図40は、本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態6)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0351] Figure 40 [Sixth Embodiment of the Invention] is one pixel and its periphery of a color active matrix liquid crystal display device which is Embodiment (Embodiment of the Invention 6) Another aspect of the present invention it is a plan view showing.

【0352】図41は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL [0352] Figure 41 is the applied electric field direction in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, a polarizing plate (POL1, POL
2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(LC)の駆動方向を示す図である。 2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and a diagram showing the driving direction of the liquid crystal molecules (LC).

【0353】なお、本発明の実施の形態は、画素電極(SL)および対向電極(CL')の形状が前記発明の実施の形態1と相違するが、それ以外の構成は前記発明の実施の形態1と同じである。 [0353] Note that the embodiments of the present invention, the shape of the pixel electrode (SL) and the counter electrode (CL ') is different from the first embodiment of the invention, other configurations of embodiments of the invention is the same as the first embodiment.

【0354】本発明の実施の形態においては、図40に示すように、画素電極(SL)は、下開きのコの字型、 [0354] In the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 40, the pixel electrode (SL), under opening of U-shaped,
また、対向電極(CL')は対向電圧信号線(CL)から上方向に突起した櫛歯形状をしており、画素電極(S The counter electrode (CL ') is of a comb-teeth shape protruding upward from the counter voltage signal line (CL), the pixel electrode (S
L)と対向電極(CL')の間の領域は1画素内で4分割されている。 Region between L) and the counter electrode (CL ') is divided into four parts in one pixel.

【0355】また、本発明の実施の形態では、図40中のA部に示すように、画素電極(SL)は、対向電極(CL')に近接する部分がテーパ形状にされ、画素の表示領域外の部分で、対向電極(CL')と画素電極(SL)とが、保護膜(PSV)を介して、反時計方向にθ、−θの角度をもって交差されている。 [0355] Further, in the embodiment of the present invention, as shown in the portion A in FIG. 40, the pixel electrode (SL), the portion close to the counter electrode (CL ') is tapered, the display of the pixel in part of the extracellular region, a counter electrode (CL ') and the pixel electrode (SL), but through the protective film (PSV), in a counterclockwise direction theta, they are intersecting at an angle of - [theta].

【0356】前記発明の実施の形態4で説明した如く、 [0356] As described in the fourth embodiment of the invention,
この交差部は、対向電極(CL')および画素電極(S This intersection is the counter electrode (CL ') and a pixel electrode (S
L)との電極間距離が最も短く、最も強い電界が加わるために、液晶層(LCD)に電界(ED)が印加されると、この交差部の液晶層(LCD)の液晶分子(LC) L) the distance between the electrodes is the shortest and, for the most intense electric field applied, the liquid crystal layer (the electric field (ED) is applied to the LCD), liquid crystal layer of the cross section (the liquid crystal molecules in the LCD) (LC)
が逸早く駆動し始め、これにより、画素の表示領域内における画素電極(SL)と中央の対向電極(CL')との間の液晶駆動領域内の液晶分子(LC)は、交差部(図40中のA部)の液晶分子(LC)の初期駆動方向の影響を受け、交差部の液晶分子(LC)と同じ方向に駆動される。 Begins to quickly driven, thereby, the liquid crystal molecules of the liquid crystal drive area between the pixel and the electrode (SL) and the center of the counter electrode (CL ') in the display area of ​​the pixel (LC) are cross section (FIG. 40 affected by the initial driving direction of the liquid crystal molecules (LC) of part a) in, it is driven in the same direction as the liquid crystal molecules (LC) of the intersection.

【0357】また、本発明の実施の形態においては、図40中のB部に示すように、対向電極(CL')における画素の表示領域外の部分の、画素電極(SL)と近接する側が、画素電極(SL)と同様にテーパ状にされ、 [0357] In the embodiment of the present invention, as shown in part B in FIG. 40, the display area outside the portion of the pixel in the counter electrode (CL '), the side close to the pixel electrode (SL) , it is similarly to the pixel electrode (SL) in a tapered shape,
当該テーパ状にされた対向電圧信号線(CL)と、中央の対向電極(CL')とのなす角度は、反時計方向にθ、−θとされている。 The tapered to have been counter voltage signal line (CL), the angle between the center of the counter electrode (CL ') is in a counterclockwise direction theta, there is a - [theta].

【0358】さらに、図40に示すB部では、対向電極(CL')と画素電極(SL)との間隔が、画素の表示領域(遮光層(BM)の開口領域)内における対向電極(CL')と画素電極(SL)との間隔よりも狭くされている。 [0358] Further, in the B section shown in FIG. 40, the distance between the counter electrode (CL ') and the pixel electrode (SL) is the counter electrode (CL within (the opening area of ​​the light blocking layer (BM)) the display area of ​​the pixel ') and it is narrower than the distance between the pixel electrode (SL).

【0359】このように、図40に示すB部では、画素の表示領域内よりも、対向電極(CL')と画素電極(SL)との間隔を狭くし、かつ、電界方向(ED)と液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の初期配向方向とのなす角度を90−θ、90+θとして、図40に示すB部における液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の初期駆動方向を規定する。 [0359] Thus, in the B section shown in FIG. 40, than the display area of ​​the pixel, the counter electrode (CL ') to narrow the gap between the pixel electrode (SL), and the electric field direction (ED) angle to 90-theta between the initial alignment direction of liquid crystal molecules (LC) of the liquid crystal layer (LCD), a 90 + theta, the initial driving direction of the liquid crystal molecules (LC) of the liquid crystal layer (LCD) in the B section shown in FIG. 40 regulatory.

【0360】これにより、画素の表示領域における画素電極(SL)と両端の対向電極(CL')との間の液晶駆動領域内の液晶分子(LC)は、図40に示すB部の液晶分子(LC)の初期駆動方向の影響を受け、図40 [0360] Thus, the liquid crystal molecules of the liquid crystal drive area between the pixel electrode in the display region of the pixel (SL) and the two ends counter electrode (CL ') (LC), the liquid crystal molecules of the B section shown in FIG. 40 affected by initial driving direction (LC), FIG. 40
に示すB部の液晶分子(LC)と同じ方向に駆動される。 It is driven in the same direction as the liquid crystal molecules (LC) of the B section shown in.

【0361】したがって、本発明の実施の形態においても、液晶分子(LC)の駆動方向を、1画素内で、2方向とすることができる。 [0361] Thus, also in the embodiment of the present invention, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC), in one pixel may be two directions.

【0362】なお、角度θは、0°を越え90°未満であればよいが、30°〜60°が最適である。 [0362] The angle theta, 0 ° may be less than the over 90 °, but optimally 30 ° to 60 °.

【0363】また、本発明の実施の形態では、配向膜の配向(ラビング)方向、即ち、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)は、図40に示すように、上下基板で互いに平行、かつ、映像信号線(DL)と平行(あるいは走査信号線(GL)と垂直)とする。 [0363] Further, in the embodiment of the present invention, the orientation of the alignment layer (rubbed) direction, i.e., the initial alignment direction (RD) of the liquid crystal layer (LCD), as shown in FIG. 40, the upper and lower substrates parallel with each other and, parallel to the video signal lines (DL) (or scanning signal line (GL) vertical) and.

【0364】本発明の実施の形態の液晶表示装置においても、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間で基板面にほぼ平行に電界(ED)を印加し、ねじれのないホモジニアス配向された液晶層(LCD)の複屈折性を利用して表示する。 [0364] In the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, an electric field (ED) is applied substantially parallel to the substrate surface between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL '), without kinks homogeneous orientation It has been displayed by utilizing the birefringence of the liquid crystal layer (LCD).

【0365】液晶分子(LC)は基板面でその長軸を回転させるため、パネルを正面から見た場合と斜めから見た場合、さらには階調表示した場合において、液晶分子の見え方の差が小さいため、広い視野角が実現できる。 [0365] for rotating the major axis in the liquid crystal molecules (LC) is the substrate surface, when viewed from an oblique and when viewed panel from the front, more in the case of displaying gray scale, the difference in appearance of the liquid crystal molecules because of the small, wide viewing angle can be realized.

【0366】また、本発明の実施の形態では、1画素内の液晶駆動領域毎に液晶分子(LC)の駆動方向を異ならせることができ、ホモジニアス配向された液晶層(L [0366] Further, in the embodiment of the present invention, it is possible to vary the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) for each liquid crystal driving area in one pixel, a liquid crystal layer which is homogeneously aligned (L
CD)における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を1画素内で補償し、表示品質を向上させ、高画質の表示画像を得ることが可能となる。 The non-uniformity due to the viewing angle of the white color tone due to the unified driving direction in CD) compensated in one pixel, thereby improving the display quality, it is possible to obtain a display image of high quality.

【0367】図42、図43は、図40に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [0367] Figure 42, Figure 43 is a diagram showing an arrangement example of placing the pixel or similar pixel shown in FIG. 40 in a matrix.

【0368】図42に示す配置例は、図40に示す画素をマトリクス状に配置した配置例であり、また、図43 [0368] arrangement example shown in FIG. 42 is a layout example arranging the pixels shown in FIG. 40 in a matrix, and FIG. 43
に示す配置例は、映像信号線(DL)に平行な方向で、 Arrangement example shown in is a direction parallel to the video signal line (DL),
図40に示す画素、および、図40に示す画素とは映像信号線(DL)方向で対称である画素を、対向電圧信号線(CL)を2画素で共有しながら交互に並べてマトリクス状に配置した配置例である。 Pixels shown in FIG. 40, and, placing a pixel are symmetrical with the video signal lines (DL) direction from the pixel shown in FIG. 40, in a matrix arranged alternately while sharing counter voltage signal line (CL) in 2 pixels it is an arrangement example of.

【0369】図42、図43に示す配置例において、液晶層(LCD)の液晶分子(LC)の駆動方向は、いずれも2方向となるが、図43に示す配置例では、隣接する各画素において、液晶分子(LC)の駆動方向が異なるため、白色色調の視角による不均一性に対する補償効果をさらに向上させることができる。 [0369] Figure 42, in the arrangement example shown in FIG. 43, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) of the liquid crystal layer (LCD) are both becomes a two-way, in the arrangement example shown in FIG. 43, each pixel adjacent in, the driving direction of the liquid crystal molecules (LC) is different, it is possible to further improve the compensation effect relative to non-uniformity due to the viewing angle of the white color.

【0370】この場合に、図40に示すA部とB部の角度θの値を違う値とすることも可能である。 [0370] In this case, it is possible to a value different from the value of the angle θ of the A and B regions shown in FIG. 40.

【0371】また、本発明の実施の形態においても、配向膜をラビング処理する際に、画素の表示領域内の電極の端面付近でのラビング処理が円滑かつ確実に行われるので、電極脇の部分の液晶層の液晶分子の配向を良好にすることが可能となる。 [0371] Also in the embodiment of the present invention, when rubbing an alignment film, the rubbing treatment in the vicinity of the end face of the electrode in the display area of ​​the pixel is performed smoothly and reliably, portions of the electrodes aside it is possible to improve the orientation of the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer.

【0372】[発明の実施の形態7]図44は、本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態7)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0372] Figure 44 [seventh embodiment of the invention] is one pixel and its periphery of a color active matrix liquid crystal display device in the form (Embodiment 7 of the invention) in the practice of another aspect of the present invention it is a plan view showing.

【0373】図45、図46は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL [0373] Figure 45, Figure 46, the applied electric field direction in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, a polarizing plate (POL
1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、 1, POL2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction,
および、液晶分子(LC)の駆動方向を示す図である。 And a diagram showing the driving direction of the liquid crystal molecules (LC).

【0374】なお、本発明の実施の形態は、画素電極(SL)、対向電極(CL')および映像信号線(D [0374] Note that the embodiments of the present invention, the pixel electrode (SL), the counter electrode (CL ') and the video signal lines (D
L)の形状が前記発明の実施の形態1と相違するが、それ以外の構成は前記発明の実施の形態1と同じである。 The shape of L) is different from the first embodiment of the invention, other configurations are the same as in the first embodiment of the invention.

【0375】本発明の実施の形態においては、図44に示すように、画素電極(SL)は、斜め下方向に延びる直線形状、また、対向電極(CL')は対向電圧信号線(CL)から斜め上方向に突起した櫛歯形状をしており、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間の領域は1画素内で2分割されている。 [0375] In an embodiment of the present invention, as shown in FIG. 44, the pixel electrode (SL) is a linear shape extending obliquely downward direction, the counter electrode (CL ') the counter voltage signal line (CL) has projections were tooth shape obliquely upwardly from the region between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL ') is divided into two parts in one pixel.

【0376】本発明の実施の形態では、配向膜の配向(ラビング)方向、即ち、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)は、図44に示すように、上下基板で互いに平行、かつ、走査信号線(GL)と垂直とする。 [0376] In the embodiment of the present invention, the orientation of the alignment layer (rubbed) direction, i.e., the initial alignment direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), as shown in FIG. 44, the upper and lower substrates parallel to each other and and the scanning signal lines and (GL) and the vertical.

【0377】また、図44に示すように、対向電極(C [0377] Further, as shown in FIG. 44, the counter electrode (C
L')および画素電極(SL)を平行にし、かつ、対向電極(CL')および画素電極(SL)を傾斜させ、各電極が、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)に対して、反時計方向にθあるいは−θの傾斜角を持つようにする。 L ') and the parallel pixel electrodes (SL), and the counter electrode (CL') and pixel electrodes (SL) is inclined, each electrode, the initial alignment direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD) , to have a tilt angle of θ or -θ counterclockwise.

【0378】また、映像信号線(DL)を、対向電極(CL')および画素電極(SL)と平行にし、映像信号線(DL)も、液晶層(LCD)の初期配向方向(R [0378] Further, the video signal line (DL), in parallel with the counter electrode (CL ') and a pixel electrode (SL), the video signal lines (DL) is also the initial orientation direction of the liquid crystal layer (LCD) (R
D)に対して、反時計方向にθあるいは−θの傾斜角を持つようにする。 Relative to D), to have a tilt angle of θ or -θ counterclockwise.

【0379】さらに、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)に対して、反時計方向にθあるいは−θの傾斜角を持つ対向電極(CL')と画素電極(SL)とを有する画素および映像信号線(DL)をジグザグに配置する。 [0379] Further, a pixel having the initial alignment direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), and a counter electrode (CL ') and the pixel electrode having the inclination angle of θ or -θ counterclockwise (SL) and video signal lines (DL) arranged in a zigzag.

【0380】これにより、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)と電界方向(ED)とのなす角度を90° [0380] Thus, the angle between the initial orientation direction (RD) and the electric field direction (ED) of the liquid crystal layer (LCD) 90 °
−θ、90°+θとし、画素電極(SL)と対向電極(CL')との間での液晶分子(LC)の駆動方向を図45(b)、図46(b)のように規定する。 - [theta], and 90 ° + θ, defining the drive direction of the liquid crystal molecules (LC) between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL ') FIG. 45 (b), as shown in FIG. 46 (b) .

【0381】なお、角度θは10〜20°が最適である。 [0381] It should be noted that the angle θ is optimal 10~20 °.

【0382】本発明の実施の形態の液晶表示装置においても、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間で基板面にほぼ平行に電界(ED)を印加し、ねじれのないホモジニアス配向された液晶層(LCD)の複屈折性を利用して表示する。 [0382] In the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, an electric field (ED) is applied substantially parallel to the substrate surface between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL '), without kinks homogeneous orientation It has been displayed by utilizing the birefringence of the liquid crystal layer (LCD).

【0383】液晶分子(LC)は基板面でその長軸を回転させるため、パネルを正面から見た場合と斜めから見た場合、さらには階調表示した場合において、液晶分子の見え方の差が小さいため、広い視野角が実現できる。 [0383] for rotating the major axis in the liquid crystal molecules (LC) is the substrate surface, when viewed from an oblique and when viewed panel from the front, more in the case of displaying gray scale, the difference in appearance of the liquid crystal molecules because of the small, wide viewing angle can be realized.

【0384】また、液晶分子(LC)の駆動方向を液晶駆動領域内で揃えることにより、駆動電圧を低減し、応答速度を早くすることができる。 [0384] Further, by aligning the drive direction of the liquid crystal molecules (LC) in the liquid crystal drive area, to reduce the driving voltage, it is possible to increase the response speed.

【0385】本発明の実施の形態では、液晶層(LC [0385] In the embodiment of the present invention, a liquid crystal layer (LC
D)の初期配向方向(RD)に対して、反時計方向にθ Against D) the initial alignment direction of the (RD), in a counter-clockwise direction θ
あるいは−θの傾斜角を持つ対向電極(CL')と画素電極(SL)とを有する画素をジグザグに配置するようにしたので、映像信号線(DL)に沿って連続する画素で、2つの異なる液晶分子(LC)の駆動方向を交互に有することとなり、ホモジニアス配向された液晶層(L Alternatively since pixels having a counter electrode (CL ') and the pixel electrode (SL) with an angle of inclination of -θ and be arranged in a zigzag, with consecutive pixels along the video signal line (DL), the two different will have a driving direction of the liquid crystal molecules (LC) alternately, a liquid crystal layer which is homogeneously aligned (L
CD)における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を補償し、表示品質を向上させ、 To compensate for non-uniformity due to the viewing angle of the white color tone due to the unified driving direction in CD), to improve the display quality,
高画質の表示画像を得ることが可能となる。 It is possible to obtain a display image of high quality.

【0386】[発明の実施の形態8]図47は、本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態8)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0386] Figure 47 [Embodiment 8 of the invention] is one pixel and its periphery of a color active matrix liquid crystal display device in the form (Embodiment 8 of the invention) in the practice of another aspect of the present invention it is a plan view showing.

【0387】図48は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL [0387] Figure 48 is the applied electric field direction in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, a polarizing plate (POL1, POL
2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(LC)の駆動方向を示す図である。 2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and a diagram showing the driving direction of the liquid crystal molecules (LC).

【0388】なお、本発明の実施の形態は、下記の構成を除いて、前記発明の実施の形態1と同じである。 [0388] The embodiments of the present invention, except for the configuration described below, the same as in the first embodiment of the invention.

【0389】本発明の実施の形態では、図48に示すように、液晶層(LCD)を基準にして上部透明ガラス基板(SUB2)側には、上部配向膜(OR2)、保護膜(PSV1)、対向電圧信号線(CL)および対向電極(CL')、オーバーコート膜(OC)、および、カラーフィルタ(FIL)、遮光用ブラックマトリクスパターン(BM)が形成されている。 [0389] In the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 48, the liquid crystal layer with respect to the (LCD) the upper transparent glass substrate (SUB2) side, an upper alignment film (OR @ 2), a protective film (PSV1) , counter voltage signal line (CL) and the counter electrode (CL '), an overcoat layer (OC), and a color filter (FIL), the light-shielding black matrix pattern (BM) is formed.

【0390】また、蓄積容量(Cstdg)は、画素電極(SL)の他端と、次段の走査信号線(GL)とを重畳して構成されている。 [0390] Further, the storage capacitor (Cstdg) is configured to overlap the other end of the pixel electrode (SL), the next stage of the scanning signal lines and (GL).

【0391】本発明の実施の形態では、配向膜の配向(ラビング)方向、即ち、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)は、図47に示すように、上下基板で互いに平行、かつ、対向電極(CL')、画素電極(S [0391] In the embodiment of the present invention, the orientation of the alignment layer (rubbed) direction, i.e., the initial alignment direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), as shown in FIG. 47, the upper and lower substrates parallel to each other and , the counter electrode (CL '), the pixel electrode (S
L)、および、映像信号線(DL)と平行(あるいは走査信号線(GL)に垂直)とする。 L), and the vertical) to (parallel to the DL) (or scanning signal line (GL) video signal lines.

【0392】また、対向電圧信号線(CL)および対向電極(CL')を、上部透明ガラス基板(SUB2)に配置し、図48(b)に示すように、画素電極(SL) [0392] The counter voltage signal line (CL) and the counter electrode (CL '), placed on the upper transparent glass substrate (SUB2), as shown in FIG. 48 (b), the pixel electrode (SL)
と対向電極(CL')との間の電界に極わずか基板に対して傾斜を与える。 To give a very inclined with respect to only the substrate to an electric field between the counter electrode (CL ').

【0393】ここで、液晶層(LCD)の材料やプロセス条件の選定により、液晶層(LCD)の初期配向時にプレチルトを持たせた場合に、各液晶分子(LC)に画素電極(SL)に近い部分と対向電極(CL')に近い部分が生じ、図48(C)に示すように液晶駆動方向が規定される。 [0393] Here, the selection of materials and process conditions of the liquid crystal layer (LCD), when to have a pre-tilt during initial alignment of the liquid crystal layer (LCD), the pixel electrode (SL) to the respective liquid crystal molecules (LC) occur portion near the near portion and the counter electrode (CL '), the liquid crystal driving direction is defined as shown in FIG. 48 (C).

【0394】本発明の実施の形態の液晶表示装置においても、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間で基板面にほぼ平行に電界(ED)を印加し、ねじれのないホモジニアス配向された液晶層(LCD)の複屈折性を利用して表示する。 [0394] In the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, an electric field (ED) is applied substantially parallel to the substrate surface between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL '), without kinks homogeneous orientation It has been displayed by utilizing the birefringence of the liquid crystal layer (LCD).

【0395】液晶分子(LC)は基板面でその長軸を回転させるため、パネルを正面から見た場合と斜めから見た場合、さらには階調表示した場合において、液晶分子の見え方の差が小さいため、広い視野角が実現できる。 [0395] for rotating the major axis in the liquid crystal molecules (LC) is the substrate surface, when viewed from an oblique and when viewed panel from the front, more in the case of displaying gray scale, the difference in appearance of the liquid crystal molecules because of the small, wide viewing angle can be realized.

【0396】また、本発明の実施の形態では、図48に示すように、上部透明ガラス基板(SUB2)上に形成されている対向電極(CL')と、下部透明ガラス基板(SUB1)上に形成される画素電極(SL)とは交互に配置されるために、1画素内の液晶駆動領域(画素電極(SL)と対向電極(CL')との間の領域)で、電界(ED)の基板に対する傾斜方向が逆になる。 [0396] Further, in the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 48, a counter electrode formed on the upper transparent glass substrate (SUB2) (CL '), on the lower transparent glass substrate (SUB1) to be alternately arranged with the pixel electrode (SL) to be formed in the liquid crystal drive area within one pixel (the region between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL ')), the electric field (ED) inclination direction is opposite to the substrate.

【0397】したがって、本発明の実施の形態では、1 [0397] Thus, in the embodiment of the present invention, 1
画素内で異なる2方向の液晶駆動方向を持つことなり、 It becomes possible with two directions liquid crystal driving direction different inside the pixels,
ホモジニアス配向された液晶層(LCD)における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を1画素内で補償し、表示品質を向上させ、高画質の表示画像を得ることが可能となる。 Compensates homogeneous oriented liquid crystal layer non-uniformity due to the viewing angle of the white color tone due to the unified driving direction in (LCD) in one pixel, it can improve the display quality to obtain a display image of high quality to become.

【0398】図49は、図47に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [0398] Figure 49 is a diagram showing an arrangement example of placing the pixel or similar pixel shown in FIG. 47 in a matrix.

【0399】また、本発明の実施の形態においても、配向膜をラビング処理する際に、画素の表示領域内の電極の端面付近でのラビング処理が円滑かつ確実に行われるので、電極脇の部分の液晶層の液晶分子の配向を良好にすることが可能となる。 [0399] Also in the embodiment of the present invention, when rubbing an alignment film, the rubbing treatment in the vicinity of the end face of the electrode in the display area of ​​the pixel is performed smoothly and reliably, portions of the electrodes aside it is possible to improve the orientation of the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer.

【0400】なお、上部透明ガラス基板(SUB2)上に形成される対向電極(CL')の形状、下部透明ガラス基板(SUB1)上に形成される画素電極(SL)の形状、および、上部透明ガラス基板(SUB2)上に形成される対向電極(CL')と下部透明ガラス基板(S [0400] The shape of the shape of the counter electrode formed on the upper transparent glass substrate (SUB2) (CL '), the pixel electrode formed on the lower transparent glass substrate (SUB1) (SL), and an upper transparent counter electrode formed on the glass substrate (SUB2) (CL ') and the lower transparent glass substrate (S
UB1)上に形成される画素電極(SL)との相対関係を、前記発明の実施の形態2、4、5と同様にすることにより、液晶分子(LC)の駆動方向の規定に有効となり、駆動電圧の低下が見込める。 The relationship between the pixel electrode (SL) formed UB1) on, by the same manner as in embodiment 2, 4 and 5 of the invention, it is effective to the provision of the driving direction of the liquid crystal molecules (LC), lowering of the drive voltage can be expected.

【0401】[発明の実施の形態9]図50は、本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態9)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0401] Figure 50 [Embodiment 9 of the invention] is one pixel and its periphery of a color active matrix liquid crystal display device which is Embodiment (Embodiment of the Invention 9) Another aspect of the present invention it is a plan view showing.

【0402】図51は、図50に示すa−a′切断線における画素の断面図である。 [0402] Figure 51 is a cross-sectional view of a pixel in a-a 'section line shown in FIG. 50.

【0403】本発明の実施の形態は、対向電極(C [0403] Embodiments of the present invention, the counter electrode (C
L')が画素電極(SL)と同層に形成されている以外は、前記発明の実施の形態1と同じである。 L ') except that is formed in the same layer as the pixel electrode (SL) is the same as the first embodiment of the invention.

【0404】図51に示すように、本発明の実施の形態においては、画素電極(SL)と対向電極(CL')は同層に構成されており、対向電極(CL')と対向電圧信号線(CL)とは、ゲート絶縁膜(GI)にスルーホール(SH)を形成し、両者を電気的に接続している。 [0404] As shown in FIG. 51, in the embodiment of the present invention, the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL ') is constructed in the same layer, the counter electrode (CL') and the counter voltage signal the line (CL), a gate insulating film (GI) to form a through hole (SH), are electrically connected to each other.

【0405】ここで、対向電圧信号線(CL)をアルミニウム(Al)系の導電膜(g1)で形成する場合には、対向電極(CL')と対向電圧信号線(CL)との接続をとるために、対向電圧信号線(CL)とそれと同一材料、同工程で形成されるものについて陽極酸化は行わない。 [0405] Here, in the case of forming the counter voltage signal line (CL) of aluminum (Al) based conductive film (g1), the connection of the counter electrode and (CL ') the counter voltage signal line (CL) to take, anodic oxidation is not performed for those counter voltage signal line (CL) and therewith the same material, is formed in the same process.

【0406】なお、この場合に、対向電圧信号線(C [0406] In this case, the counter voltage signal line (C
L)、および、それと同一材料、同工程で形成される導電膜としてクロム(Cr)を用いれば、陽極酸化を行う必要がない。 L), and therewith the same material, the use of chromium (Cr) as a conductive film formed in the same step, it is not necessary to perform the anodic oxidation.

【0407】また、対向電圧信号線(CL)を画素電極(SL)と同層に設けることにより、スルーホールを(SH)構成しないようにすることも可能であり、さらに、画素電極(SL)を対向電極(CL')と同層に同工程で形成してもよい。 [0407] Further, by providing the counter voltage signal line (CL) and the same layer in the pixel electrode (SL), it is also possible to prevent the through-hole (SH) structure, further, the pixel electrode (SL) the counter electrode (CL ') and may be formed in the same process in the same layer.

【0408】本発明の実施の形態の液晶表示装置においても、前記発明の実施の形態1と同様に、その対向面が、液晶層(LCD)の初期配向方向(RD)に対して、θあるいは−θの傾斜角を持つ対向電極(CL') [0408] In the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, as in the first embodiment of the invention, the facing surface, relative to the initial orientation direction of the liquid crystal layer (LCD) (RD), θ or a counter electrode having the inclination angle of - [theta] (CL ')
および画素電極(SL)を有する画素を組み合わせて、 And a combination of pixels having pixel electrodes (SL),
マトリクス状に配置することにより、ホモジニアス配向された液晶層(LCD)における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を補償し、表示品質を向上させ、高画質の表示画像を得ることが可能となる。 By arranged in a matrix, to compensate for non-uniformity due to the viewing angle of the white color tone due to the unified driving direction of the liquid crystal layer aligned homogeneously (LCD), to improve the display quality, a display image of high quality It can be obtained to become.

【0409】また、前記発明の実施の形態2ないし発明の実施の形態7においても、対向電極(CL')を画素電極(SL)と同層に形成することが可能であり、それにより、前記各発明の実施の形態と同様な効果を得ることが可能である。 [0409] Also in the seventh embodiment 2 to invention embodiments of the invention, it is possible to form the counter electrode (CL ') and the pixel electrode (SL) the same layer, whereby said it is possible to obtain the same effect as the embodiment of the invention.

【0410】[発明の実施の形態10]図52は、本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態10)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0410] Figure 52 [Embodiment 10 of the invention] is one pixel and its periphery of a color active matrix liquid crystal display device in the form (Embodiment 10 of the invention) in the practice of another aspect of the present invention it is a plan view showing.

【0411】本発明の実施の形態は、以下の構成を除いて、前記発明の実施の形態1と同じである。 [0411] Embodiments of the present invention, except for the following arrangement, is the same as in the first embodiment of the invention.

【0412】本発明の実施の形態は、前記発明の実施の形態1に示す液晶表示装置において、隣接する走査信号線(GL)から対向電極(CL')に対向電圧(Vco [0412] Embodiments of the present invention, in the liquid crystal display device described in Embodiment 1 of the invention, the adjacent scanning signal line (GL) counter electrode (CL ') the counter voltage from the (Vco
m)を供給するようにした発明の実施の形態である。 m) is a preferred embodiment of the invention which is adapted to supply.

【0413】図52に示すように、本発明の実施の形態においては、ゲート電極(GT)、および、対向電極(CL')が、査信号線(GL)と連続して一体に構成される。 [0413] As shown in FIG. 52, in the embodiment of the present invention, the gate electrode (GT), and the counter electrode (CL ') is configured to continuously and integrally with the scanning signal Line (GL) .

【0414】また、映像信号線(DL)と交差する部分は、映像信号線(DL)との短絡の確率を小さくするため細くし、また、短絡しても、レーザートリミングで切り離すことができるように二股にされている。 [0414] Also, the portion that intersects the video signal line (DL) is made narrow to minimize the probability of a short circuit and the video signal line (DL), also short-circuited, so that can be separated by laser trimming It is bifurcated to.

【0415】ここで、対向電極(CL')は、1つ前のラインの走査信号線(GL)に接続される。 [0415] Here, the counter electrode (CL ') is connected to the preceding line of scanning signal lines (GL).

【0416】なお、本発明の実施の形態における画素の断面(図1に示すa−a′切断線における断面)は、図2と同じである。 [0416] Note that the cross-section of the pixel in the embodiment of the present invention (cross-section at a-a 'section line shown in FIG. 1) is the same as FIG.

【0417】図53は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における表示マトリクス部(AR)の等化回路とその周辺回路を示す図である。 [0417] Figure 53 is a diagram showing and its peripheral circuits equalizing circuit of a display matrix unit in the liquid crystal display device of the embodiment (AR) of the present invention.

【0418】図53も、回路図ではあるが、実際の幾何学的配置に対応して描かれている。 [0418] Figure 53, albeit in a schematic, is drawn to correspond to the actual geometric arrangement.

【0419】図53において、ARは、複数の画素を二次元状に配列した表示マトリクス部(マトリクス・アレイ)を示している。 [0419] In FIG. 53, AR illustrates the display matrix portion in which a plurality of pixels two-dimensionally (the matrix array).

【0420】図53中、SLは画素電極であり、添字G、BおよびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応して付加されている。 [0420] In FIG. 53, SL is a pixel electrode, subscripts G, B and R are added respectively corresponding to green, blue and red pixels.

【0421】GLは走査信号線であり、y0、…、ye [0421] GL is a scanning signal line, y0, ..., ye
ndは走査タイミングの順序を示している。 nd represents the order of the scanning timing.

【0422】走査信号線(GL)は垂直走査回路(V) [0422] scanning signal lines (GL) vertical scanning circuit (V)
に接続されており、映像信号線(DL)は映像信号駆動回路(H)に接続されている。 It is connected to the video signal line (DL) is connected to the video signal driver circuit (H).

【0423】回路(SUP)は、1つの電圧源から複数の分圧した安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上位演算処理装置)からのCRT(陰極線管) [0423] circuits (SUP) is, CRT from one power supply circuit for obtaining a plurality of dividing the stabilized voltage source from the voltage source and the host (host processor) (cathode ray tube)
用の情報を(TFT)液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路である。 Information use (TFT) is a circuit including a circuit for exchanging the information for the liquid crystal display device.

【0424】図54は、本発明の実施の形態の液晶表示装置における駆動時の駆動波形を示す図であり、図54 [0424] Figure 54 is a diagram showing driving waveforms in driving the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention, FIG. 54
(a)、図54(b)は、それぞれ、(i−1)番目、 (A), FIG. 54 (b), respectively, (i-1) -th,
(i)番目の走査信号線(GL)に供給されるゲート電圧(走査信号電圧)(VG)を示している。 (I) th gate voltage supplied to the scanning signal lines (GL) shows the (scan signal voltage) (VG).

【0425】なお、図54では、(i)は偶数であり、 [0425] In FIG. 54, (i) is an even number,
したがって、(i−1)番目の走査信号線(GL)は奇数番目の走査信号線(GL)を、(i)番目の走査信号線(GL)は偶数番目の走査信号線(GL)をそれぞれ示している。 Therefore, (i-1) th scan signal line (GL) is the odd-numbered scanning signal lines (GL), (i) th scan signal line (GL) is even-numbered scanning signal lines (GL), respectively shows.

【0426】また、図54(c)は、映像信号線(D [0426] Further, FIG. 54 (c), the video signal lines (D
L)に印加される映像信号電圧(VD)を示し、さらに、図54(d)は、(i)行、(j)列の画素における画素電極(SL)に印加される画素電極電圧(Vs) Video signal voltage applied to L) indicates (VD), further, FIG. 54 (d) is, (i) row, (j) the pixel electrode voltage applied to the pixel electrode (SL) in the pixel row (Vs )
を示し、図54(e)は、(i)行、(j)列の画素の液晶層(LCD)に印加される電圧(VLC)を示している。 Are shown, FIG. 54 (e) shows the (i) line, (j) the liquid crystal layer of the pixel column voltage applied to the (LCD) (VLC).

【0427】本発明の実施の形態の液晶表示装置の駆動方法においては、走査信号線(GL)から対向電極(C [0427] In the method for driving a liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, the counter electrode from the scanning signal line (GL) (C
L')に対向電圧(Vcom)を印加しなければならないので、走査信号線(GL)に供給されるゲート電圧(VG)の非選択電圧を、各フレーム毎に、VGLHとVGL Since L ') to must be applied to the counter voltage (Vcom), the non-selection voltage of the gate voltage supplied to the scanning signal lines (GL) (VG), for each frame, VGLH and VGL
Mの2値の矩形波、あるいは、VGLMとVGLLの2値の矩形波で変化させる。 Square wave of 2 values ​​M, or changing a rectangular wave of 2 values ​​VGLM and VGLL.

【0428】さらに、隣接する走査信号線(GL)に供給されるゲート電圧(VG)の非選択電圧の変化が同じにならないようにする。 [0428] Furthermore, changes in the non-selection voltage of the gate voltage supplied to the adjacent scanning signal line (GL) (VG) are prevented from becoming the same.

【0429】図54(a)、図54(b)に示す例では、(i−1)番目の走査信号線(GL)に供給されるゲート電圧(VG)の非選択電圧は、奇フレームで、VG [0429] Figure 54 (a), in the example shown in FIG. 54 (b), (i-1) -th non-selection voltage of the gate voltage supplied to the scanning signal lines (GL) (VG) is a odd frame , VG
LM、VGLLの2値、偶フレームで、VGLH、VGLMの2値で変化させ、また、(i)番目の走査信号線(GL)に供給されるゲート電圧(VG)の非選択電圧は、奇フレームで、VGLH、VGLMの2値、偶フレームで、VGLM、 LM, binary VGLL, the even frame, VGLH, varied binary VGLM, also non-selection voltage of the (i) th gate voltage supplied to the scanning signal lines (GL) (VG) is odd in the frame, VGLH, 2 value of VGLM, the even frame, VGLM,
VGLLの2値で変化させる。 Varied binary VGLL.

【0430】この場合に、VGLHとVGLMの中心電位はV [0430] center potential of in this case, VGLH and VGLM is V
GL1、VGLMとVGLLの中心電位はVGL2であり、VGLHとVGLMの振幅値、および、VGLMとVGLLの振幅値は、等しく2VBとする。 GL1, central potential of VGLM and VGLL are VGL2, amplitude values ​​of VGLH and VGLM, and the amplitude value of VGLM and VGLL is equally 2VB.

【0431】本発明の実施の形態の液晶表示装置においても、その対向面が、液晶層(LCD)の液晶分子(L [0431] In the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention, the opposing faces thereof, the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer (LCD) (L
C)の初期配向方向に対して、θあるいは−θの傾斜角を持つ対向電極(CL')および画素電極(SL)を有する画素を組み合わせて、マトリクス状に配置することで、ホモジニアス配向された液晶層(LCD)における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を補償し、表示品質を向上させ、高画質の表示画像を得ることが可能となる。 The initial orientation direction of C), a combination of pixels having a counter electrode (CL ') and a pixel electrode (SL) with an inclination angle of θ or - [theta], by arranging in a matrix, which is homogeneously aligned to compensate for non-uniformity due to the viewing angle of the white color tone due to the unified driving direction in the liquid crystal layer (LCD), to improve the display quality, it is possible to obtain a display image of high quality.

【0432】また、前記発明の実施の形態2ないし発明の実施の形態7においても、隣接する走査信号線(G [0432] Also in the seventh embodiment 2 to invention embodiments of the invention, the adjacent scanning signal lines (G
L)から対向電極(CL')に対向電圧(Vcom)を供給することが可能であり、それにより、前記各発明の実施の形態と同様な効果を得ることが可能である。 L) from it is possible to supply a counter voltage (Vcom) to the counter electrode (CL '), whereby it is possible to obtain the same effect as the embodiment of the inventions.

【0433】さらに、本発明の実施の形態の液晶表示装置においては、開口率を向上させることが可能となる。 [0433] Further, in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, it is possible to improve the aperture ratio.

【0434】[発明の実施の形態11]図55は、本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態11)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 [0434] Figure 55 [Embodiment 11 of the invention] is one pixel and its periphery of a color active matrix liquid crystal display device which is Embodiment (Embodiment 11 of the invention) another aspect of the present invention it is a plan view showing.

【0435】本発明の実施の形態は、前記発明の実施の形態10に示す液晶表示装置において、対向電極(C Embodiment of the 0435] The present invention provides a liquid crystal display device in Embodiment 10 of the invention, the counter electrode (C
L')を画素電極(SL)と同層に形成した発明の実施の形態である。 L ') which is the embodiment of the invention, which is formed in the same layer as the pixel electrode (SL).

【0436】図55に示すように、本発明の実施の形態の液晶表示装置においては、ゲート電極(GT)が、査信号線(GL)と連続して一体に構成される。 [0436] As shown in FIG. 55, in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, the gate electrode (GT) is constructed integrally continuous with scanning signal Line (GL).

【0437】また、対向電極(CL')は、スルホール(SH)を介して1つ前の走査信号線(GL)に接続される。 [0437] The counter electrode (CL ') is connected to the through hole via (SH) 1 preceding the scan signal lines (GL).

【0438】なお、本発明の実施の形態における画素の断面(図50に示すa−a′切断線における断面)は、 [0438] Note that the cross-section of the pixel in the embodiment of the present invention (cross-section at a-a 'section line shown in FIG. 50),
図51と同じである。 Is the same as FIG. 51.

【0439】この場合に、走査信号線(GL)をアルミニウム(Al)系の導電膜(g1)で形成する場合には、対向電極(CL')と走査信号線(GL)との接続をとるために、走査信号線(GL)とそれと同一材料、 [0439] In this case, when forming the scanning signal lines (GL) with an aluminum (Al) based conductive film (g1) takes the connection of the counter electrode (CL ') and the scanning signal lines and (GL) identical material, the scanning signal lines and (GL) for,
同工程で形成されるものについて陽極酸化は行わない。 Anodic oxidation is not performed for those formed in the same process.

【0440】なお、この場合に、走査信号線(GL)、 [0440] In this case, the scanning signal lines (GL),
および、それと同一材料、同工程で形成される導電膜としてクロム(Cr)を用いれば、陽極酸化を行う必要がない。 And, identical to the material, the use of chromium (Cr) as a conductive film formed in the same step, it is not necessary to perform the anodic oxidation.

【0441】本発明の実施の形態の液晶表示装置においても、その対向面が、液晶層(LCD)の液晶分子(L [0441] In the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, the facing surface, the liquid crystal molecules (L in the liquid crystal layer (LCD)
C)の初期配向方向に対して、θあるいは−θの傾斜角を持つ対向電極(CL')および画素電極(SL)を有する画素を組み合わせて、ホモジニアス配向された液晶層(LCD)における統一された駆動方向に起因する白色色調の視角による不均一性を補償し、表示品質を向上させ、高画質の表示画像を得ることが可能となる。 The initial orientation direction of C), a combination of pixels having a counter electrode having the inclination angle of θ or -θ (CL ') and a pixel electrode (SL), are unified in the liquid crystal layer which is homogeneous orientation (LCD) and compensating for non-uniformity due to the white color of the viewing angle due to the driving direction, to improve the display quality, it is possible to obtain a display image of high quality.

【0442】また、前記発明の実施の形態2ないし発明の実施の形態7においても、隣接する走査信号線(G [0442] Also in the seventh embodiment 2 to invention embodiments of the invention, the adjacent scanning signal lines (G
L)から対向電極(CL')に対向電圧(Vcom)を供給し、かつ、対向電極(CL')を画素電極(SL) Counter electrode (CL from L) 'supplies a counter voltage (Vcom) in), and the counter electrode (CL') the pixel electrode (SL)
と同層に形成することが可能であり、それにより、前記各発明の実施の形態と同様な効果を得ることが可能である。 And it is possible to form in the same layer, whereby it is possible to obtain the same effect as the embodiment of the inventions.

【0443】さらに、本発明の実施の形態の液晶表示装置においては、開口率を向上させることが可能となる。 [0443] Further, in the liquid crystal display device of the embodiment of the present invention, it is possible to improve the aperture ratio.

【0444】なお、前記各発明の実施の形態においては、画素電極(SL)と対向電極(CL')の間の領域を、1画素内で2または4に分割するようにしたが、画素電極(SL)と対向電極(CL')とを周期的に追加することにより、画素電極(SL)と対向電極(C [0444] Incidentally, in the above embodiment of the invention, the region between the pixel electrodes (SL) and the counter electrode (CL '), but so as to divide into two or four in one pixel, the pixel electrode (SL) and the counter electrode (CL ') and a by adding periodically, the pixel electrode (SL) and the counter electrode (C
L')の間の領域を、1画素内で2または4以上に分割することも可能である。 The area between the L '), can be divided into 2 or 4 or more in one pixel.

【0445】以上、本発明を発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記発明の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更し得ることは言うまでもない。 [0445] While the present invention has been concretely described based on the embodiments of the invention, the present invention is not limited to the embodiment of the invention, various changes without departing from the scope of the invention get it is needless to say.

【0446】 [0446]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。 To briefly explain advantageous effects obtained by typical ones of the inventions disclosed in the present application, according to the present invention, is as follows.

【0447】(1)本発明によれば、横電界方式を採用したアクティブマトリクス型液晶表示装置において、互いに色調のシフトを相殺して、白色色調の方位による依存性を大幅に低減することが可能となる。 According to the 0447] (1) The present invention, in an active matrix type liquid crystal display device employing a horizontal electric field method, to offset the shift of color tone from each other, it can be greatly reduced dependency on the orientation of the white color to become.

【0448】さらに、階調反転しにくい液晶分子の短軸方向と、階調反転しやすい液晶分子の長軸方向との特性が平均され、階調反転に弱い方向での非階調反転視野角を拡大することが可能となる。 [0448] Further, the minor axis direction of the gray scale inversion hardly liquid crystal molecules, the characteristics of the axial direction of the gray scale inversion tends liquid crystal molecules are averaged, non gray scale inversion viewing angle of a weak direction gradation inversion it is possible to expand.

【0449】これにより、全方位における視野角の範囲を向上させ、かつ、階調の均一性および色調の均一性が全方位で平均化または拡大することが可能となる。 [0449] Thus, to improve the range of viewing angle in all directions, and, uniformity and homogeneity of the color tone of the tone it is possible to average or larger in all directions.

【0450】(2)本発明によれば、液晶分子の駆動方向を液晶駆動領域内で揃えることにより、駆動電圧を低減し、応答速度を早くすることが可能である。 [0450] (2) According to the present invention, by aligning the drive direction of the liquid crystal molecules in the liquid crystal drive area, to reduce the driving voltage, it is possible to increase the response speed.

【0451】(3)本発明によれば、液晶層の液晶分子の初期配向方向が、単一方向であるため、製造プロセスを増加させる必要がない。 [0451] (3) According to the present invention, the initial alignment direction of liquid crystal molecules of the liquid crystal layer is therefore not necessary to increase the manufacturing process and unidirectional.

【0452】(4)本発明によれば、極めて広視野角で、色調の視角特性に優れ、ブラウン管並の視野角を実現でき、高コントラスト比を有し、表示品質にも優れた極めて高画質の液晶表示装置を得ることが可能となる。 [0452] (4) According to the present invention, an extremely wide viewing angle, excellent viewing angle characteristics of color, can be realized the viewing angle of the cathode ray tube parallel, have a high contrast ratio, extremely high image quality excellent in display quality it is possible to obtain a liquid crystal display device.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の一発明の実施の形態(発明の実施の形態1)であるアクティブマトリックス型カラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す要部平面図である。 1 is a plan view showing one pixel and its periphery of the active matrix type color liquid crystal display device which is the embodiment of one invention (embodiment of the invention 1) of the present invention.

【図2】図1のa−a′切断線における画素の断面図である。 2 is a cross-sectional view of a pixel in a-a 'section line of FIG.

【図3】図1の4−4切断線における薄膜トランジスタ素子(TFT)の断面図である。 It is a cross-sectional view of a thin-film transistor element (TFT) in 4-4 section line of FIG. 3 FIG.

【図4】図1の5−5切断線における蓄積容量(Cst Storage capacity in the 5-5 section line in FIG. 4 FIG. 1 (Cst
g)の断面図である。 It is a cross-sectional view of the g).

【図5】発明の実施の形態1の液晶表示装置における表示パネル(PNL)のマトリクス周辺部の構成を説明するための平面図である。 5 is a plan view for explaining the structure of the matrix peripheral portion of a display in the liquid crystal display device of the first embodiment of the invention the panel (PNL).

【図6】発明の実施の形態1の液晶表示装置における左側に走査信号端子、右側に外部接続端子のないパネル縁部分を示す断面図である。 [6] the scanning signal terminal on the left side in the liquid crystal display device of the first embodiment of the invention, is a cross-sectional view showing a free panel edge portions of the external connection terminal on the right.

【図7】発明の実施の形態1の液晶表示装置における表示マトリクス部(AR)の走査信号線(GL)からその外部接続端子であるゲート端子(GTM)までの接続構造を示す図である。 7 is a diagram showing the connection structure to the gate terminal (GTM) scanning signal lines from the (GL) which is a external connection terminals of the display matrix unit in the liquid crystal display device of Embodiment 1 (AR) of the invention.

【図8】発明の実施の形態1の液晶表示装置における表示マトリクス部(AR)の映像信号線(DL)からその外部接続端子であるドレイン端子(DTM)までの接続を示す図である。 8 is a diagram showing the connection of the video signal line from (DL) drain to the terminal (DTM) is its external connection terminals of the display matrix unit in the liquid crystal display device of Embodiment 1 (AR) of the invention.

【図9】発明の実施の形態1の液晶表示装置における対向電圧信号線(CL)からその外部接続端子である対向電極端子(CTM)までの接続を示す図である。 9 is a diagram showing a connection to the counter electrode terminal counter voltage signal line in the liquid crystal display device of the first embodiment of the invention from (CL) which is the external connection terminal (CTM).

【図10】発明の実施の形態1の液晶表示装置における表示マトリクス部(AR)の等化回路とその周辺回路を示す図である。 10 is a diagram showing and its peripheral circuits equalizing circuit of a display matrix unit in the liquid crystal display device of Embodiment 1 (AR) of the invention.

【図11】発明の実施の形態1の液晶表示装置における駆動時の駆動波形を示す図である。 11 is a diagram showing a driving waveform in driving the liquid crystal display device of Embodiment 1 of the invention.

【図12】発明の実施の形態1の液晶表示装置における透明基板(SUB1)側の工程A〜Cの製造工程を示す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートである。 12 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal part showing a manufacturing process of the liquid crystal display transparent substrate (SUB1) side step A~C in the apparatus of the embodiment 1 of the invention.

【図13】発明の実施の形態1の液晶表示装置における透明基板(SUB1)側の工程D〜Fの製造工程を示す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートである。 13 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal part showing a manufacturing process of the transparent substrate (SUB1) side step D~F in the liquid crystal display device of the first embodiment of the invention.

【図14】発明の実施の形態1の液晶表示装置における透明基板(SUB1)側の工程G〜Hの製造工程を示す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートである。 14 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal part showing a manufacturing process of the transparent substrate (SUB1) side step G~H in the liquid crystal display device of the first embodiment of the invention.

【図15】発明の実施の形態1における液晶表示パネル(PNL)に周辺の駆動回路を実装した状態を示す平面図である。 15 is a plan view showing a state of mounting the driving circuit around the the liquid crystal display panel (PNL) in the first embodiment of the invention.

【図16】発明の実施の形態1の液晶表示装置における駆動回路を構成する集積回路チップ(CHI)がフレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッケージ(TCP)の断面構造を示す断面図である。 16 is a sectional view showing a sectional structure of an integrated circuit chip tape carrier package (CHI) is mounted on the flexible wiring substrate constituting the driving circuit in the liquid crystal display device of Embodiment 1 of the invention (TCP).

【図17】発明の実施の形態1の液晶表示装置におけるテープキャリアパッケージ(TCP)を液晶表示パネル(PNL)の走査信号回路用端子(GTM)に接続した状態を示す要部断面図である。 17 is a fragmentary cross-sectional view showing a state of connecting a tape carrier package (TCP) to the scanning signal circuit terminals of the liquid crystal display panel (PNL) (GTM) in the liquid crystal display device of Embodiment 1 of the invention.

【図18】発明の実施の形態1の液晶表示装置における液晶表示モジュールの分解斜視図である。 Figure 18 is an exploded perspective view of a liquid crystal display module of the liquid crystal display device of Embodiment 1 of the invention.

【図19】発明の実施の形態1の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(L [Figure 19] is applied in the liquid crystal display device of the first embodiment of the invention the electric field direction, a polarizing plate (POL1, POL2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and the liquid crystal molecules (L
C)の駆動方向を示す図である。 It is a diagram illustrating a driving direction C).

【図20】図1に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [20] The pixels or similar pixel shown in FIG. 1 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図21】図1に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [21] The pixels or similar pixel shown in FIG. 1 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図22】図1に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [22] The pixels or similar pixel shown in FIG. 1 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図23】発明の実施の形態1における視角の定義を示す図である。 23 is a diagram showing the definition of a viewing angle in the first embodiment of the invention.

【図24】本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態2)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 Is a plan view showing one pixel and its periphery of the embodiment a color liquid crystal display device of active matrix type is a (second embodiment of the invention) of the other invention of Figure 24 the present invention.

【図25】発明の実施の形態2の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(L [Figure 25] is applied in the liquid crystal display device of the second embodiment of the invention the electric field direction, a polarizing plate (POL1, POL2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and the liquid crystal molecules (L
C)の駆動方向を示す図である。 It is a diagram illustrating a driving direction C).

【図26】図24に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [26] The pixels or similar pixel shown in FIG. 24 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図27】図24に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [27] The pixels or similar pixel shown in FIG. 24 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図28】本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態3)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 28 is a plan view showing one pixel and its periphery of the embodiment a color liquid crystal display device of active matrix type is (Embodiment 3 of the invention) of another aspect of the present invention.

【図29】発明の実施の形態3の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(L [29] applied electric field direction in the liquid crystal display device of Embodiment 3 of the invention, a polarizing plate (POL1, POL2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and the liquid crystal molecules (L
C)の駆動方向を示す図である。 It is a diagram illustrating a driving direction C).

【図30】図28に示す画素および類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [Figure 30] The pixel and similar pixels shown in FIG. 28 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図31】図28に示す画素および類似の画素を、マトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [Figure 31] pixels and similar pixel shown in FIG. 28 is a diagram showing an arrangement example of arranged in a matrix.

【図32】本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態4)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 32 is a plan view showing one pixel and its periphery of the embodiment a color liquid crystal display device of active matrix type is (Embodiment 4 of the invention) of another aspect of the present invention.

【図33】発明の実施の形態4の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(L [Figure 33] is applied in the liquid crystal display device of the fourth embodiment of the invention the electric field direction, a polarizing plate (POL1, POL2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and the liquid crystal molecules (L
C)の駆動方向を示す図である。 It is a diagram illustrating a driving direction C).

【図34】図32に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [34] The pixels or similar pixel shown in FIG. 32 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図35】図32に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [Figure 35] pixels or similar pixel shown in FIG. 32 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図36】本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態5)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 FIG. 36 is a plan view showing one pixel and its periphery of the embodiment a color liquid crystal display device of active matrix type is a (fifth embodiment of the invention) of another aspect of the present invention.

【図37】発明の実施の形態5の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(L [Figure 37] is applied in the liquid crystal display device of the fifth embodiment of the invention the electric field direction, a polarizing plate (POL1, POL2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and the liquid crystal molecules (L
C)の駆動方向を示す図である。 It is a diagram illustrating a driving direction C).

【図38】図36に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [38] The pixels or similar pixel shown in FIG. 36 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図39】図36に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [39] The pixels or similar pixel shown in FIG. 36 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図40】本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態6)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 Is a plan view showing one pixel and its periphery of the Figure 40 is another embodiment of the invention a color active matrix liquid crystal display device is a (sixth embodiment of the present invention) of the present invention.

【図41】発明の実施の形態6の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(L [Figure 41] applied electric field direction in the liquid crystal display device of the sixth embodiment of the invention, a polarizing plate (POL1, POL2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and the liquid crystal molecules (L
C)の駆動方向を示す図である。 It is a diagram illustrating a driving direction C).

【図42】図40に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [Figure 42] pixels or similar pixel shown in FIG. 40 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図43】図40に示す画素あるいは類似の画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 [Figure 43] pixels or similar pixel shown in FIG. 40 is a diagram illustrating an arrangement example of placing a matrix.

【図44】本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態7)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 FIG. 44 is a plan view showing one pixel and its periphery of the embodiment a color liquid crystal display device of active matrix type is (Embodiment 7 invention) of the other inventions of the present invention.

【図45】発明の実施の形態7の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(L [Figure 45] applied electric field direction in the liquid crystal display device of the seventh embodiment of the invention, a polarizing plate (POL1, POL2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and the liquid crystal molecules (L
C)の駆動方向を示す図である。 It is a diagram illustrating a driving direction C).

【図46】発明の実施の形態7の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(L [Figure 46] applied electric field direction in the liquid crystal display device of the seventh embodiment of the invention, a polarizing plate (POL1, POL2) polarization transmission axis (OD1, OD2) direction, and the liquid crystal molecules (L
C)の駆動方向を示す図である。 It is a diagram illustrating a driving direction C).

【図47】本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態8)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 FIG. 47 is a plan view showing one pixel and its periphery of the embodiment a color liquid crystal display device of active matrix type is (exemplary embodiment eighth invention) of the other inventions of the present invention.

【図48】発明の実施の形態8の液晶表示装置における印加電界方向、偏光板(POL1,POL2)の偏光透過軸(OD1,OD2)方向、および、液晶分子(L [Figure 48] is applied in the liquid crystal display device of the eighth embodiment of the invention the electric field direction, the polarization transmission axis of the polarizer (POL1, POL2) (OD1, OD2) direction, and the liquid crystal molecules (L
C)の駆動方向を示す図である。 It is a diagram illustrating a driving direction C).

【図49】図47に示す画素をマトリクス状に配置する配置例を示す図である。 The pixel shown in FIG. 49 FIG. 47 is a diagram showing an arrangement example of arranged in a matrix.

【図50】本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態9)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 FIG. 50 is a plan view showing one pixel and its periphery of another embodiment of the invention a color active matrix liquid crystal display device is a (ninth embodiment of the present invention) of the present invention.

【図51】図50のa−a′切断線における画素の断面図である。 51 is a cross-sectional view of a pixel in a-a 'section line of Figure 50.

【図52】本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態10)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 FIG. 52 is a plan view showing one pixel and its periphery of the embodiment a color liquid crystal display device of active matrix type is a (tenth embodiment of the present invention) of the other inventions of the present invention.

【図53】発明の実施の形態10の液晶表示装置における表示マトリクス部(AR)の等化回路とその周辺回路を示す図である。 FIG. 53 is a diagram showing an equivalent circuit and its peripheral circuits of the display matrix portion (AR) in the liquid crystal display device of the tenth embodiment of the invention.

【図54】発明の実施の形態10の液晶表示装置における駆動時の駆動波形を示す図である。 FIG. 54 is a diagram showing a driving waveform in driving the liquid crystal display device of the tenth embodiment of the invention.

【図55】本発明の他の発明の実施の形態(発明の実施の形態11)であるアクティブマトリクス方式のカラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。 It is a plan view showing one pixel and its periphery of the embodiment a color liquid crystal display device of active matrix type is (Embodiment 11 of the invention) of the other invention of Figure 55 the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

SUB…透明ガラス基板、GL…走査信号線、DL…映像信号線、CL…対向電圧信号線、SL…画素電極、C SUB ... Transparent glass substrate, GL ... scanning signal lines, DL ... Video signal line, CL ... counter voltage signal line, SL ... pixel electrode, C
L'…対向電極、GI…絶縁膜、GT…ゲート電極、A L '... counter electrode, GI ... insulating film, GT ... Gate electrode, A
S…i型半導体層、SD…ソース電極またはドレイン電極、OR…配向膜、OC…オーバーコート膜、POL… S ... i-type semiconductor layer, SD ... Source electrode or drain electrode, OR ... orientation film, OC ... overcoat film, POL ...
偏光板、PSV…保護膜、BM…遮光膜、FIL…カラーフィルタ、LCD…液晶層、LC…液晶分子、TFT Polarizers, PSV ... protective film, BM ... light blocking film, FIL ... color filter, LCD ... liquid crystal layer, LC ... liquid crystal molecules, TFT
…薄膜トランジスタ、g,d…導電膜、Cstg…蓄積容量、AOF…陽極酸化膜、AO…陽極酸化マスク、G ... TFT, g, d ... conductive film, Cstg ... storage capacitor, AOF ... anodized film, AO ... anodization mask, G
TM…ゲート端子、DTM…ドレイン端子、CTM…対向電極端子、CB…共通バスライン、SHD…シールドケース、PNL…液晶表示パネル、SPB…光拡散板、 TM ... Gate terminal, DTM ... drain terminal, CTM ... counter electrode terminal, CB ... Common bus line, SHD ... Shield case, PNL ... liquid crystal display panel, SPB ... Light diffuser,
LCB…導光体、BL…バックライト蛍光管、LCA… LCB ... the light guide, BL ... backlight fluorescent tubes, LCA ...
バックライトケース、RM…反射板。 Backlight case, RM ... reflection plate.

フロントページの続き (72)発明者 柳川 和彦 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 箭内 雅弘 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 近藤 克己 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 大江 昌人 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 小西 信武 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 Of the front page Continued (72) inventor Kazuhiko Yanagawa Chiba Prefecture Mobara Hayano 3300 address Hitachi Seisakusho electronic device business unit (72) inventor Masahiro Yanai Mobara City, Chiba Prefecture Hayano 3300 address Hitachi Seisakusho electronic device business unit (72 ) inventor Katsumi Kondo Hitachi City, Ibaraki Prefecture Omika-cho, seven chome No. 1 Co., Ltd. Hitachi, Ltd. Hitachi the laboratory (72) inventor Masato Oe Mobara City, Chiba Prefecture Hayano 3300 address Hitachi Seisakusho electronic device business unit (72 ) inventor Nobutake Konishi Mobara City, Chiba Prefecture Hayano 3300 address Hitachi Seisakusho electronic device within the Division

Claims (19)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 一対の基板と、前記一対の基板間に挟持される液晶層と、前記一方の基板上に形成される複数の映像信号線と、前記一方の基板上に形成され前記映像信号線と交差する複数の走査信号線と、前記複数の映像信号線と前記複数の走査信号線との交差領域内にマトリクス状に形成される複数の画素とを具備し、前記画素が、 1. A pair of substrates, and a liquid crystal layer sandwiched between the pair of substrates, a plurality of video signal lines formed on the one substrate, wherein formed on one substrate the video signal comprising a plurality of scanning signal lines intersecting the lines, and a plurality of pixels formed in a matrix at intersections region of said plurality of video signal lines and the plurality of scanning signal lines, the pixel,
    前記一方の基板上に形成されるアクティブ素子と、前記アクティブ素子に接続される画素電極と、前記一対の基板のいずれか一方の基板上に形成され、前記画素電極との間で基板面にほぼ平行な電界を液晶層に印加する対向電極とを、少なくとも有するアクティブマトリクス型液晶表示装置において、前記液晶層が、一方向の液晶分子の初期配向方向を有し、かつ、基板面内で2方向の液晶分子の駆動方向を有することを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。 An active element formed on the one substrate, wherein the pixel electrodes connected to the active element, are formed on one substrate of the pair of substrates, substantially to the substrate surface between the pixel electrode a counter electrode for applying an electric field parallel to the liquid crystal layer, an active matrix type liquid crystal display device having at least said liquid crystal layer has an initial alignment direction in one direction of the liquid crystal molecules, and, in two directions within the substrate plane active matrix liquid crystal display device characterized by having a driving direction of the liquid crystal molecules.
  2. 【請求項2】 前記液晶層が、前記走査信号線に略垂直な液晶分子の初期配向方向を有し、前記各画素内の画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向に対してある傾斜角を持って形成される、それぞれ対向電極および画素電極と相対向する対向面を有し、さらに、 Wherein said liquid crystal layer has an initial alignment direction substantially perpendicular liquid crystal molecules to the scanning signal line, the pixel electrode and the counter electrode in said each pixel, the initial alignment direction of the liquid crystal molecules is formed with a certain inclination angle, each having a facing surface that faces the electrode and the pixel electrode and the opposing further,
    前記液晶分子の初期配向方向に対してそれぞれ異なる傾斜角を持つ対向面が形成された画素電極および対向電極を有する画素をマトリクス状に配置したことを特徴とする請求項1に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 The active matrix of claim 1, characterized in that a pixel having a liquid crystal molecule pixel electrode and a counter electrode facing surface is formed with different inclination angles respectively with respect to the initial orientation direction of the matrix type liquid crystal display device.
  3. 【請求項3】 前記それぞれ異なる傾斜角が、θあるいは−θであることを特徴とする請求項2に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 Wherein the different tilt angles, respectively, theta or an active matrix type liquid crystal display device according to claim 2, characterized in that the - [theta].
  4. 【請求項4】 前記θが、10°≦θ≦20°であることを特徴とする請求項3に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 Wherein said theta is, 10 ° ≦ theta active matrix type liquid crystal display device according to claim 3, characterized in that ≦ a 20 °.
  5. 【請求項5】 前記液晶層が、前記走査信号線に略垂直な液晶分子の初期配向方向を有し、前記各画素内の画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向に対して2つ以上の傾斜角を持って形成される、それぞれ対向電極および画素電極と相対向する対向面を有することを特徴とする請求項1に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 Wherein said liquid crystal layer has an initial alignment direction substantially perpendicular liquid crystal molecules to the scanning signal line, the pixel electrode and the counter electrode in said each pixel, the initial alignment direction of the liquid crystal molecules is formed with two or more inclination angles, an active matrix type liquid crystal display device according to claim 1, characterized in that it has a respective facing surface which faces the counter electrode and the pixel electrode.
  6. 【請求項6】 前記2つ以上の傾斜角が、θあるいは− Wherein said two or more inclination angles, theta or -
    θであることを特徴とする請求項5に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 Active matrix liquid crystal display device according to claim 5, characterized in that the theta.
  7. 【請求項7】 前記θが、10°≦θ≦20°であることを特徴とする請求項6に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 Wherein said theta is, 10 ° ≦ θ ≦ active matrix type liquid crystal display device according to that which is 20 ° to claim 6, wherein.
  8. 【請求項8】 前記液晶層が、前記走査信号線に略垂直な液晶分子の初期配向方向を有し、各画素の表示領域内で、前記画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向と平行であり、また、各画素の表示領域外で、前記画素電極および対向電極が、2つ以上の角度を持って交差していることを特徴とする請求項1に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 Wherein said liquid crystal layer has an initial alignment direction substantially perpendicular liquid crystal molecules to the scanning signal lines, in the display region of each pixel, the pixel electrode and the counter electrode, the initial orientation of the liquid crystal molecules is parallel to the direction, an active matrix display area outside of each pixel, the pixel electrode and the counter electrode, according to claim 1, characterized in that intersects with two or more angles type liquid crystal display device.
  9. 【請求項9】 前記2つ以上の角度が、θあるいは−θ Wherein said two or more angles, theta or -θ
    であることを特徴とする請求項8に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 Active matrix liquid crystal display device according to claim 8, characterized in that it.
  10. 【請求項10】 前記θが、30°≦θ≦60°であることを特徴とする請求項9に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 Wherein said theta is an active matrix liquid crystal display device according to claim 9, characterized in that it is 30 ° ≦ θ ≦ 60 °.
  11. 【請求項11】 前記液晶層が、前記走査信号線に略垂直な液晶分子の初期配向方向を有し、各画素の表示領域内で、前記画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向と平行であり、また、各画素の表示領域外で、前記画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向に対して2つ以上の傾斜角を持って形成される、それぞれ対向電極および画素電極と相対向する対向面を有することを特徴とする請求項1に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 Wherein said liquid crystal layer has an initial alignment direction substantially perpendicular liquid crystal molecules to the scanning signal lines, in the display region of each pixel, the pixel electrode and the counter electrode, the initial orientation of the liquid crystal molecules is parallel to the direction, in the display region outside of each pixel, the pixel electrode and the counter electrode, wherein the initial alignment direction of the liquid crystal molecules are formed with two or more inclination angles, respectively counter electrode and an active matrix type liquid crystal display device according to claim 1, characterized in that it comprises a facing surface pixel electrode and the opposing.
  12. 【請求項12】 前記2つ以上の傾斜角が、θあるいは−θであることを特徴とする請求項11に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 12. The method of claim 11, wherein two or more inclination angles, theta or an active matrix type liquid crystal display device according to claim 11, characterized in that the - [theta].
  13. 【請求項13】 前記θが、30°≦θ≦60°であることを特徴とする請求項12に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 Wherein said theta is, 30 ° ≦ θ active matrix type liquid crystal display device according to claim 12, characterized in that a ≦ 60 °.
  14. 【請求項14】 前記液晶層が、前記走査信号線に略垂直な液晶分子の初期配向方向を有し、各画素の画素電極および対向電極が、前記液晶分子の初期配向方向に対して、ある傾斜角を持って互いに平行に形成され、前記液晶分子の初期配向方向に対して、それぞれ異なる傾斜角を持つ画素電極および対向電極を有する画素を交互に配置してなることを特徴とする請求項1に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 14. The method of claim 13, wherein the liquid crystal layer has an initial alignment direction substantially perpendicular liquid crystal molecules to the scanning signal lines, pixel electrodes and counter electrodes of each pixel, the initial alignment direction of the liquid crystal molecules, there with an inclination angle in parallel to each other, according to claim, wherein the initial alignment direction of liquid crystal molecules, characterized by being arranged alternately pixel having a pixel electrode and a counter electrode having a different tilt angles, respectively active matrix described in 1 liquid crystal display device.
  15. 【請求項15】 前記それぞれ異なる傾斜角が、θあるいは−θであることを特徴とする請求項14に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 15. The different inclination angles, respectively, theta or an active matrix type liquid crystal display device according to claim 14, characterized in that the - [theta].
  16. 【請求項16】 前記θが、10°≦θ≦20°であることを特徴とする請求項15に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 16. wherein theta is, 10 ° ≦ θ ≦ active matrix type liquid crystal display device according to that which is 20 ° to claim 15, wherein.
  17. 【請求項17】 前記映像信号線が、各画素の画素電極および対向電極と平行に、前記液晶分子の初期配向方向とある傾斜角を持って形成されることを特徴とする請求項14ないし請求項16のいずれか1項に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 17. The video signal lines, in parallel with the pixel electrode and the counter electrode of each pixel, according to claim 14 or claims, characterized in that it is formed with an inclination angle in the initial alignment direction of the liquid crystal molecules active matrix liquid crystal display device according to any one of claim 16.
  18. 【請求項18】 前記液晶層が、前記一対の基板に対して、チルト角を有することを特徴とする請求項1、請求項5ないし請求項10のいずれか1項に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 18. The liquid crystal layer is, with respect to the pair of substrates, according to claim 1, characterized in that it has a tilt angle, an active matrix type according to any one of claims 5 to 10 The liquid crystal display device.
  19. 【請求項19】 前記一対の基板の液晶層を挾持する面と反対側の面上に形成される2枚の偏光板を有し、前記2枚の偏光板の偏光透過軸が互い直交し、かつ、いずれか一方の偏光透過軸が液晶分子の初期配向方向と同一方向であることを特徴とする請求項1ないし請求項18のいずれか1項に記載されたアクティブマトリクス型液晶表示装置。 19. has two polarizing plates are formed on the opposite side of the surface as the surface that sandwiching a liquid crystal layer of the pair of substrates, the polarization transmission axes of the two polarizers is another orthogonal, and one of the polarizing transmission axis active matrix type liquid crystal display device according to any one of claims 1 to 18, characterized in that the initial orientation in the same direction as that of the liquid crystal molecules.
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