JPH0890778A

JPH0890778A - ノズルプレートの撥水膜形成方法

Info

Publication number: JPH0890778A
Application number: JP23475494A
Authority: JP
Inventors: Mitsuru Muto; 満武藤
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1994-09-29
Filing date: 1994-09-29
Publication date: 1996-04-09

Abstract

(57)【要約】【目的】インクジェット記録装置に用いられるノズル
プレート上に、撥水膜を容易に且つ適切に形成する手法
を提供することを目的とする。【構成】固定側型板１０４と可動側型板１０１を型開
きした状態で、前記固定側型板１０４のノズルプレート
１のノズル２が形成される面に相当する面に撥水液１１
のスプレー１２により湿潤被膜を形成し、固定側型板１
０４の熱エネルギーを利用して前記湿潤被膜を乾燥被膜
化させ、型締めされた射出成形金型のキャビティー内に
溶融樹脂を射出し、ノズルプレート１に撥水膜２０であ
る前記乾燥被膜をインサート成形する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクが噴射される複
数のノズルが形成されたインクジェットヘッドのノズル
プレートに、撥水膜を形成する方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、ドロップオンデマンド方式のイン
クジェットヘッドとして、例えば、圧電セラミックスの
変形によってインク流路の容積を変化させ、その容積減
少時にインク流路内のインクをノズルから液滴として噴
射し、容積増大時にインク導入口からインク流路内にイ
ンクを導入するようにしたものがある。そして、所要の
印字データに従って所要の位置のノズルからインク滴を
噴射させることにより、インクジェットヘッドと対向す
る紙面上等に所望する文字や画像を形成するものであ
る。

【０００３】この種のインクジェットヘッドとしては、
例えば特開昭６３−２４７０５１号公報に記載されてい
るものがある。このインクジェットヘッドは、圧電セラ
ミックスの隔壁によって隔てられた複数の平行なインク
流路を形成し、前記インク流路の一端をノズルプレート
の前記ノズルに連通し、他端をインクを供給するインク
供給手段に接続し、前記隔壁の変形によってインク流路
の容積を変化させて前記ノズルからインクを噴射するも
のである。

【０００４】上述のようなインクジェットヘッドのノズ
ルプレートの製造方法として、例えば、特開平３−２９
７６５１号公報に開示されているように、高分子樹脂材
料で射出成形した後、ノズルをレーザ加工により形成す
る方法が知られている。

【０００５】また、ノズル孔周縁部がインクで濡れる
と、インクの吐出方向が曲げられるため、安定噴射が行
えない。この問題を解決するためにノズルプレートのイ
ンク噴射面の少なくともノズル孔周縁部には撥水膜が形
成される。

【０００６】そして、上述のような射出成形法などで製
造されるノズルプレートに撥水膜を形成する方法として
は、転写法、スピンコート法、スプレー法などがあげら
れる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなノズルプレートに撥水膜を形成する周知の方法
では、撥水膜形成工程をノズルプレート製造工程とは別
工程にして製造を行っているので、工程数及び製造設備
が多くなり、製造コストが高かった。また、大量生産性
が悪い。

【０００８】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、製造コストが低く大量生産性に
優れたノズルプレートの撥水膜形成方法を提示すること
にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のノズルプレートの撥水膜形成方法は、射出成
形法により形成され、インクジェットヘッドに使用され
るノズルプレートの表面に撥水膜を形成する手法であ
り、それは、前記ノズルプレートのインク噴射面が形成
される面に相当する型板に、撥水膜の素材となる撥水液
を用いて被膜を形成する工程と、前記型板をはじめとす
る金型により型締めをする工程と、型締めされた射出成
形金型のキャビティー内に溶融樹脂を射出し、前記被膜
をインサート成形する工程と、前記被膜がインサートさ
れた前記ノズルプレートを金型から取り出す工程とから
なる。

【００１０】尚、前記撥水膜となる撥水液をスプレー法
により塗布して前記被膜を形成してもよい。

【００１１】尚、前記被膜は、前記撥水膜となる撥水液
を予め所定の温度に温調された前記型板上に塗布して形
成されるものであってもよい。

【００１２】

【作用】上記の構成を有する本発明のインクジェットヘ
ッドの撥水膜形成方法においては、前記ノズルプレート
のインク噴射面が形成される面に相当する型板に、撥水
膜の素材となる撥水液によりあらかじめ被膜が形成され
る。そして、その被膜が形成された型板を用いて型締め
が為された後に、その金型へ射出成形が行われ、ノズル
プレートが形成される。すると、前記被膜がインサート
成形され、且つノズルプレートのインク噴射側面に撥水
膜として定着される。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。

【００１４】図３、図４及び図５に示すように、インク
ジェットヘッド３００は、圧電セラミックスプレート３
０２とカバープレート３２０とノズルプレート１とマニ
ホールド部材３０１とから構成されている。

【００１５】その圧電セラミックスプレート３０２は、
チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）等のセラミックス材
料で形成され、圧電セラミックスプレート３０２には、
ダイヤモンドブレード等により切削加工された複数の横
溝３０３が形成されている。また、その横溝３０３の側
面となる隔壁３０６は矢印３０５の方向に分極されてい
る。それらの横溝３０３は同じ深さであり、かつ平行で
あり、圧電セラミックスプレート３０２の対向する端面
３０２ａ、３０２ｂに開口して加工されている。

【００１６】また、圧電セラミックスプレート３０２の
端面３０２ａには、縦溝３１１ａが横溝３０３に連通す
るように１つ置きに形成されている。圧電セラミックス
プレート３０２の端面３０２ｂには、縦溝３１１ｂが横
溝３０３に連通するように１つ置きに形成されている。
そして、縦溝３１１ａ、３１１ｂは交互に形成されてお
り、縦溝３１１ａと縦溝３１１ｂとは、隣合う横溝３０
３に形成されている。尚、縦溝３１１ａは、両外側の横
溝３０３に設けられている。また、圧電セラミックプレ
ート３０２の横溝３０３加工側に対して反対側の面３０
２ｃには、パターン３２４、３２５が形成されている。

【００１７】そして、圧電セラミックスプレート３０２
の溝加工面、且つ端面３０２ａに対して斜め上方の位置
に配置されたスパッタリング等の蒸着源（図示せず）か
ら金属電極３０８、３０９、３１０が形成される（矢印
３３０ａ、３３０ｂの方向から蒸着される）。尚、圧電
セラミックスプレート３０２の端面３０２ａ及び隔壁３
０６の天頂部に金属電極が形成されないようにマスクし
ておく。すると、図３に示すように、金属電極３０８は
横溝３０３の両側面の上半分の領域に形成され、金属電
極３０９は、縦溝３１１ａが形成されていない横溝３０
３の端面３０２ａ側の側面の一部及び底面の一部に形成
され、金属電極３１０は縦溝３１１ａの側面のうち端面
３０２ａ側に形成される。尚、金属電極３０８と金属電
極３０９とは電気的に接続され、金属電極３０８と金属
電極３１０とは電気的に接続されている。

【００１８】次に、圧電セラミックスプレート３０２の
面３０２ｃ、且つ端面３０２ｂに対して斜め上方の位置
に配置されたスパッタリング等の蒸着源（図示せず）か
ら金属電極３１６、３１７が形成される（矢印３３１
ａ、３３１ｂの方向から蒸着される）。尚、圧電セラミ
ックスプレート３０２の端面３０２ｂ及び面３０２ｃの
パターン３２４、３２５が形成された領域に金属電極が
形成されないようにマスクしておく。すると、図５に示
すように、その金属電極３１６は、圧電セラミックスプ
レート３０２の面３０２ｃにおいて縦溝３１１ａの底面
より端面３０２ａ側の領域及び縦溝３１１ａ内面の側面
の一部に形成される。このとき、縦溝３１１ａに形成さ
れた金属電極３１０上にも金属電極３１６が形成され
て、縦溝３１１ａの側面に形成された金属電極３１６が
金属電極３１０を介して金属電極３０８と電気的に接続
される。このため、縦溝３１１ａが形成された横溝３０
３ａの片側の隔壁３０６に形成された金属電極３０８
が、その隔壁３０６によって構成される横溝３０３ｂを
挟む他の横溝３０３ａにおける前記横溝３０３ｂを構成
するもう一つの隔壁３０６に形成された金属電極３０８
と電気的に接続される。また、金属電極３１６はパター
ン３２４に電気的に接続される。

【００１９】そして、図４及び図５に示すように、金属
電極３１７は、圧電セラミックスプレート３０２の面３
０２ｃにおいて縦溝３１１ｂの底面より圧電セラミック
スプレート３０２の中央側から端面３０２ｂ側の領域、
縦溝３１１ｂ内面の側面の全部及び縦溝３１１ｂの端面
３０２ｂ側に形成される。このとき、縦溝３１１ｂと連
通する横溝３０３ｂの金属電極３０８上にも金属電極３
１７が形成されて、縦溝３１１ｂの側面に形成された金
属電極３１７と電気的に接続される。このため、縦溝３
１１ｂが形成された横溝３０３ｂの全ての金属電極３０
８が金属電極３１７によって電気的に接続される。ま
た、金属電極３１７はパターン３２５に電気的に接続さ
れる。

【００２０】次に、前記圧電セラミックスプレート３０
２の少なくとも金属電極３０８、３０９、３１７をスピ
ンコート法によりエポキシ樹脂の保護膜７７（図７）で
被覆する。

【００２１】尚、スピンコート法によるエポキシ樹脂膜
のほか、ディッピング法、ＣＶＤ法、などによりアクリ
ル樹脂などの他の有機材質或はＳｉＯ₂などの無機材質
の保護膜７７で被覆してもよい。

【００２２】尚、金属電極３１０及び後述する空気室３
２７を形成する横溝３０３ａに形成されている金属電極
３０８はインクに接しないので、保護膜７７により必ず
しも被覆する必要はない。

【００２３】次に、カバープレート３２０はセラミック
ス材料、ガラス材料または樹脂材料等から形成されてお
り、圧電セラミックスプレート３０２の横溝３０３加工
側の面と、カバープレート３２０とをエポキシ系接着剤
１２０（図７）によって接着する。従って、インクジェ
ットヘッド３００には、横溝３０３の上面が覆われて、
縦溝３１１ｂと連通するインク室３０４（図７参照）及
び縦溝３１１ａと連通する非噴射領域としての空気室３
２７（図７参照）が構成される。尚、インク室３０４は
横溝３０３ｂに対応しており、空気室３２７は横溝３０
３ａに対応している。インク室３０４及び空気室３２７
は長方形断面の細長い形状であり、全てのインク室３０
４はインクが充填され、空気室３２７は空気が充填され
る領域である。

【００２４】そして、圧電セラミックスプレート３０２
の端面３０２ａ及びカバープレート３２０の端面に、各
インク室３０４の位置に対応した位置にノズル２が設け
られたノズルプレート１を接着する。このノズルプレー
ト１に形成されているノズル２は、図８に示すようにテ
ーパ部３及びオリフィス部４から成る。そして、ノズル
プレート１のインク噴射側の面５の表面には撥水膜２０
が形成されている。

【００２５】そして、図５に示すように、マニホールド
部材３０１が、圧電セラミックスプレート３０２の端面
３０２ｂ及び圧電セラミックスプレート３０２の面３０
２ｃにおける縦溝３１１ｂ側に接着される。マニホール
ド部材３０１にはマニホールド３２２が形成されてお
り、そのマニホールド３２２は縦溝３１１ｂを包囲して
いる。

【００２６】圧電セラミックスプレート３０２の面３０
２ｃに形成されたパターン３２４、３２５は、図示しな
いフレキシブルプリント基板の配線パターンと接続され
る。そのフレキシブルプリント基板の配線パターンは、
後述する制御部に接続された図示しないリジット基板に
接続されている。

【００２７】次に、制御部のブロック図を示す図６によ
って、制御部の構成を説明する。圧電セラミックスプレ
ート３０２の面３０２ｃに形成されたパターン３２４、
３２５は、前記フレキシブルプリント基板、前記リジッ
ト基板を介して各々個々にＬＳＩチップ１５１に接続さ
れ、クロックライン１５２、データライン１５３、電圧
ライン１５４及びアースライン１５５もＬＳＩチップ１
５１に接続されている。ＬＳＩチップ１５１は、クロッ
クライン１５２から供給された連続するクロックパルス
に基づいて、データライン１５３上に現れるデータか
ら、どのノズル１２からインク滴の噴射を行うべきかを
判断し、噴射するインク室３０４の両側の空気室３２７
の金属電極３０８に導通するパターン３２４に、電圧ラ
イン１５４の電圧Ｖを印加する。また、他のパターン３
２４及びインク室３０４の金属電極３０８に導通するパ
ターン３２５をアースライン１５５に接続する。

【００２８】次に、本実施例のインクジェットヘッド３
００の動作を説明する。図７（ｂ）のインク室３０４ｂ
からインク滴を噴射するために、そのインク室３０４ｂ
の両側の空気室３２７ｂ、３２７ｃのインク室３０４ｂ
側の金属電極３０８ｃ、３０８ｆに対し電圧パルスをパ
ターン３２４を介して与え、他の金属電極３０８には、
他のパターン３２４、パターン３２５を介して接地す
る。すると、隔壁３０６ｂには矢印１１３ｂ方向の電界
が発生し、隔壁３０６ｃには矢印１１３ｃ方向の電界が
発生して、隔壁３０６ｂと３０６ｃとが互いに離れるよ
うに動く。インク室３０４ｂの容積が増えて、ノズル１
２付近を含むインク室３０４ｂ内の圧力が減少する。こ
の状態をＬ／ａで示される時間だけ維持する。すると、
その間縦溝３１１ｂを介してマニホールド３２２からイ
ンクがインク室３０４ｂに供給される。尚、上記Ｌ／ａ
は、インク室３０４内の圧力波が、インク室３０４の長
手方向（縦溝３１１ｂからノズルプレート１４まで、ま
たはその逆）に対して、片道伝播するに必要な時間であ
り、インク室３０４の長さＬとインク中での音速ａによ
って決まる。

【００２９】圧力波の伝播理論によると、前記の立ち上
げからちょうどＬ／ａの時間経つとインク室３０４ｂ内
の圧力が逆転し、正の圧力に転じるが、このタイミング
に合わせて電極３０８ｃ、３０８ｆに印加されている電
圧を０Ｖに戻す。すると、隔壁３０６ｂと３０６ｃは変
形前の状態（図７（ａ））に戻り、インクに圧力が加え
られる。その時、前記正に転じた圧力と隔壁３０６ｂ、
３０６ｃが変形前の状態に戻って、発生した圧力とがた
し合わされ、比較的高い圧力がインク室３０４ｂ内のイ
ンクに与えられて、インク滴がノズル１２から噴出され
る。

【００３０】また、前記実施例においては、まず駆動電
圧をインク室３０４ｂの容積が増加する方向に印加し、
次に駆動電圧の印加を停止しインク室３０４ｂの容積を
自然状態に減少してインク室３０４ｂからインク滴を噴
射していたが、まず駆動電圧をインク室３０４ｂの容積
が減少するように印加してインク室３０４ｂからインク
滴を噴射し、次に駆動電圧の印加を停止してインク室３
０４ｂの容積を前記減少状態から自然状態へと増加させ
てインク室３０４ｂ内にインクを供給してもよい。

【００３１】ここで、上述のノズルプレート１の製造方
法を説明する。まず、図９に示すような概略構造の射出
成形金型によりノズルプレート本体１０（図２）を製造
する。図９（ｂ）は図９（ａ）のＡ−Ａ断面を示す。図
９中、コア１１０に形成された山部１０３は、前記ノズ
ルプレート本体１０の有底孔６に対応し（図２参照）、
山部１０３が連なった形状をワイヤカットで形成し、そ
の後ダイシング加工を用いてノズル２に対応するように
個々に分断することにより形成することができる。

【００３２】まず、図１に示すように固定側型板１０４
と可動側型板１０１を型開きした状態で、前記固定側型
板１０４の少なくともノズル２が形成される領域に相当
する領域近傍に対して、撥水膜２０となる撥水液１１と
しての溶媒可溶性アモルファスフッ素樹脂サイトップＣ
ＴＸ（旭硝子製）を膜厚０．５〜５μｍ程度にスプレー
１２により塗布する。すると、前記固定側型板１０４に
はサイトップＣＴＸによる湿潤被膜が形成される。本実
施例において、固定側型板１０４は後述するノズルプレ
ート１の射出成形に備えて、図示しないカートリッジヒ
ータにより予め１５０℃に温調されている。よって、撥
水液１１のスプレー１２により塗布された前記湿潤被膜
は、その熱を受けて約２０秒で乾燥被膜となる。

【００３３】次に、固定側型板１０４と可動側型板１０
１を型締めする。そして、図２に示すように射出成形材
料である溶融したポリサルホンがゲート１００から導入
され、固定側型板１０４、可動側型板１０１、山部１０
３が形成されたコア１１０とで形成される空間に充填さ
れる。尚、このときの金型温度は１５０℃であり、材料
温度は３７０℃であり、樹脂材料を充填する圧力は１２
００〜１５００ｋｇ／ｃｍ² である。

【００３４】その後、固定側型板１０４と可動側型板１
０１とを型開きする。そして、エジェクトピン１０２を
矢印１０６の方向に移動し、撥水膜２０がインサートさ
れたノズルプレート本体１０を可動側型板１０１より取
り出す。

【００３５】なお、これにより撥水膜２０がインサート
されたノズルプレート本体１０が完成するが、その後撥
水膜２０をより強固に定着させるために、所定の温度に
制御された加熱オーブンに挿入して熱処理を施してもよ
い。

【００３６】次に、ノズルプレート本体１０の有底孔６
にエキシマレーザビームを照射するなどしてオリフィス
部４を形成する。

【００３７】以上の方法により、図８に示すようにイン
ク噴射側の面５に撥水膜２０が形成され、テーパ部３、
オリフィス部４から成るノズル２を有するノズルプレー
ト１が製作される。

【００３８】なお、ノズルプレート１の材質としては、
ポリサルホンのほか、液晶ポリマー、ポリアセタール、
ポリフェニルサルホン、ポリフタルアミド、ポリフェニ
レンオキサイド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサ
ルホン、ポリカーボネートなどの樹脂材料を用いること
ができる。

【００３９】一方、撥水膜２０の素材としてはサイトッ
プＣＴＸのほか、フッ素シリコーン系コーティング剤、
テトラフルオロエチレンヘキサフルオロプロピレン共重
合体、ジパーフルオロアルキルフマレートスチレン共重
合体、四フッ化エチレンビニルエステル共重合体などを
用いることができる。また、撥水膜２０の素材として、
湿潤被膜を形成せず、常温にて、塗布後直ちに自然乾燥
するような撥水液を使用することも可能である。

【００４０】上述のインサート成形時において、本実施
例の撥水膜２０は塗布時に比べ若干（約１％程度）の成
形収縮を生ずる為、その塗布面より剥離し易くなり、前
記金型の型開き時に固定側型板１０４に撥水膜２０が残
留するようなことはない。しかし、固定側型板１０４の
撥水液塗布部に鏡面加工を施したり、離型剤を予め塗布
しておく等の、撥水膜２０が型板より剥離し易くするよ
うな加工をしておくことが望ましい。

【００４１】また、上述したようなノズルプレート１の
各材質にはそれぞれ、ある程度の温度幅を持って適切な
金型温度がある。また、同様に撥水膜２０の材質に関し
ても適切な定着温度域がある。よって、それらが合致し
たノズルプレート１の材質、撥水膜２０の材質を選定す
ることが望ましい。

【００４２】さらに、撥水膜２０を形成する方法とし
て、スプレー法のほか、転写法などを用いることができ
る。

【００４３】尚、本発明は上述した実施例に限定される
ものではなく、その主旨を逸脱しない範囲で種々の変更
が可能である。例えば、本実施例では、オリフィス部４
が形成されていないノズルプレート本体１０が製造され
てから、オリフィス部４を形成していたが、射出成形時
にオリフィス部４を形成してもよい。

【００４４】また、隔壁３０６は、圧電セラミックスで
形成されていたが、隔壁の上半分の領域を圧電セラミッ
クスで形成し、下半分をアルミナ等の圧電セラミックス
でない材料で形成してもよい。

【００４５】更に、本実施例では、隔壁３０６の上半分
の領域による圧電変形によって、インク室３０４からイ
ンクを噴射していたが、隔壁の上半分の領域の圧電セラ
ミックスの分極方向と反対方向の分極方向である圧電セ
ラミックスで隔壁の下半分の領域を形成し、隔壁の側面
全面に金属電極を形成して、隔壁全体の圧電変形によっ
て、インク室からインクを噴射させてもよい。

【００４６】また、本実施例では、圧電セラミックスを
用いたインクジェットヘッドであったが、周知のバブル
ジェット式のインクジェットヘッドであっても良い。

【００４７】以上説明したように、本実施例では、ノズ
ルプレート１の射出成形時に撥水膜２０を形成できるの
で、製造コスト上昇が比較的小さい。

【００４８】また、特に本実施例のように、前記撥水液
１１に塗布時には湿潤被膜を形成するような素材を用い
ても、金型の予熱により自然と乾燥被膜化が行われるた
め、撥水膜２０の形成の為に別途加熱を行うなどの工程
を追加する必要が無い。よって、上記手法により、様々
な撥水素材を使用して撥水膜２０を形成することを可能
にし、製造コストを更に低くでき、大量生産が可能とな
る。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のノズルプレートの撥水膜形成方法によれば、前記
ノズルプレートのノズルが形成される面に相当する型板
に予め撥水液の被膜を形成し、その後、型締めされた射
出成形金型のキャビティー内に溶融樹脂を射出し、前記
被膜をインサート成形する。つまり、撥水膜の形成とノ
ズルプレートの成形を一連の手順にて行う。よって、射
出成形法により形成されたインクジェットヘッドのノズ
ルプレートに、撥水膜形成工程を別途追加しないため製
造コストを低減でき、且つ大量生産性が高い。

【００５０】また、前記撥水膜となる撥水液をスプレー
法により塗布して前記湿潤被膜を形成すれば、製造設備
の構成が容易となり、さらに製造コストの低減、大量生
産性に優れる。

【００５１】また、予め所定温度に温調された型板上に
撥水液を塗布すれば、乾燥性の悪い撥水液を用いた場合
においても、改めて加熱加工を行わずとも、前記撥水液
による湿潤被膜を速やかに乾燥被膜化させて撥水膜を形
成することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の撥水膜形成方法を示す説明
図である。

【図２】前記実施例のノズルプレート本体の製造方法を
示す説明図である。

【図３】前記実施例のインクジェットヘッドを示す斜視
図である。

【図４】前記実施例の圧電セラミックスプレートを示す
斜視図である。

【図５】前記実施例のインクジェットヘッドを示す斜視
図である。

【図６】前記実施例のインクジェットヘッドの制御部を
示すブロック図である。

【図７】前記実施例のインクジェットヘッドの作動状態
を示す説明図である。

【図８】前記実施例のインクジェットヘッドのノズル部
を示す断面図である。

【図９】前記実施例のノズルプレート本体を製造するた
めの射出成形金型を示す断面図である。

【符号の説明】

１ノズルプレート２ノズル１２スプレー１１撥水液２０撥水膜１０１可動側型板１０２エジェクトピン１０４固定側型板１１０コア３００インクジェットヘッド

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】射出成形法により形成され、インクジェ
ットヘッドに使用されるノズルプレートの表面に撥水膜
を形成するノズルプレートの撥水膜形成方法において、前記ノズルプレートのインク噴射面が形成される面に相
当する型板に、撥水膜の素材となる撥水液を用いて被膜
を形成する工程と、前記型板をはじめとする金型により型締めをする工程
と、型締めされた射出成形金型のキャビティー内に溶融樹脂
を射出し、前記被膜をインサート成形する工程と、前記被膜がインサートされた前記ノズルプレートを金型
から取り出す工程とからなることを特徴とするノズルプ
レートの撥水膜形成方法。
【請求項２】前記撥水膜となる撥水液をスプレー法に
より塗布して前記被膜を形成することを特徴とする請求
項１記載のノズルプレートの撥水膜形成方法。
【請求項３】前記被膜は、前記撥水膜となる撥水液を
予め所定の温度に温調された前記型板上に塗布して形成
されることを特徴とする請求項１記載のノズルプレート
の撥水膜形成方法。